JP2006190864A - Apparatus and method for mounting part - Google Patents
Apparatus and method for mounting part Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006190864A JP2006190864A JP2005002205A JP2005002205A JP2006190864A JP 2006190864 A JP2006190864 A JP 2006190864A JP 2005002205 A JP2005002205 A JP 2005002205A JP 2005002205 A JP2005002205 A JP 2005002205A JP 2006190864 A JP2006190864 A JP 2006190864A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- component
- mounting
- nozzle
- holding
- chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
Description
本発明は、部品を基板に搭載する部品搭載装置および部品搭載方法に関するものである。 The present invention relates to a component mounting apparatus and a component mounting method for mounting a component on a substrate.
部品搭載装置では、部品供給部から取り出した部品を搭載ヘッドによって保持して基板に搭載する搭載動作が反復して行われる。フリップチップなどのように接続用の突起電極であるバンプが形成された部品は、一般にバンプ形成面を上向きにした姿勢で供給され、部品供給部から取り出された部品は上下反転によってバンプ形成面を下向きにした姿勢で基板に搭載される。このように取り出した後に上限反転を必要とする部品を対象とする部品搭載装置として、複数の部品が載置された保持ヘッドをフラックス膜が形成されたステージ上で反転させることにより、複数の部品を一括して反転するとともにバンプにフラックスを転写する構成の部品反転ステージを備えた部品搭載装置が知られている(特許文献1参照) In the component mounting apparatus, the mounting operation of holding the component taken out from the component supply unit by the mounting head and mounting it on the substrate is repeatedly performed. Parts with bumps, which are projecting electrodes for connection, such as flip chips, are generally supplied with the bump forming surface facing upward, and the components taken out from the component supply unit have their bump forming surfaces turned upside down. Mounted on the board in a downward orientation. As a component mounting device for components that require upper limit reversal after taking out in this way, a plurality of components are obtained by reversing a holding head on which a plurality of components are placed on a stage on which a flux film is formed. There is known a component mounting apparatus provided with a component reversing stage configured to reverse all at once and transfer a flux to a bump (see Patent Document 1).
この特許文献例においては、部品供給部から部品反転ステージまで部品を移動させるための部品取出し用の搬送ヘッドと、反転後の部品を部品反転ステージから取り出して基板へ移送搭載するための部品搭載用の搬送ヘッドを、共通の部品搬送ヘッドによって兼務させる例(実施の形態1)と、部品取出し用および部品搭載用にそれぞれ専用の部品搬送ヘッドを設ける例(実施の形態2)とが開示されている。前者を採用することにより、単一の部品搬送ヘッドによって部品取り出しおよび部品搭載の全てを行えることから、機構の簡略化・コストダウンを図ることができる。また後者を採用することにより、部品取り出し動作、搭載動作を専用の部品搬送ヘッドに並行して行わせることができ、部品取り出しから搭載までの作業時間を短縮して作業効率を向上させることができるという利点がある。
低い設備コストで最大の作業効率を実現する上では、単一の部品搬送ヘッドによって全ての作業を行う方式を採用するのが望ましい。ところがこの方式を採用した場合には、部品搬送ヘッドの移動動作において、次のような不都合が生じる。この方式では、共通の保持ノズルによって部品を保持することから、保持ノズルは部品供給部から取り出して搬送した部品を保持ヘッドに保持させた後に、部品ステージ上に移動して反転後の部品を保持する。すなわち、保持ノズルは保持していた部品の離脱直後に新たな部品を保持する動作を行わなければならない。しかしながら、このような部品離脱・保持動作を反復して実行する過程においては、高速で安定した部品移載動作を確保することが困難であった。 In order to achieve the maximum work efficiency at a low equipment cost, it is desirable to adopt a method in which all work is performed by a single component transport head. However, when this method is adopted, the following inconvenience occurs in the movement operation of the component transport head. In this method, since the parts are held by a common holding nozzle, the holding nozzle holds the parts taken out from the parts supply unit and held by the holding head, and then moves onto the part stage to hold the inverted parts. To do. In other words, the holding nozzle must perform an operation of holding a new part immediately after the held part is detached. However, in the process of repeatedly performing such component detachment / holding operations, it has been difficult to ensure a high-speed and stable component transfer operation.
そこで本発明は、部品供給部から取り出した部品を反転する部品反転ステージにおける部品移載動作を、低コスト・簡略な機構によって高速かつ安定して行うことができる部品搭載装置および部品搭載方法を提供することを目的とする。 Accordingly, the present invention provides a component mounting apparatus and a component mounting method capable of performing a component transfer operation in a component reversing stage for reversing a component taken out from a component supply unit at a high speed and stably by a low cost and simple mechanism. The purpose is to do.
本発明の部品搭載装置は、電極が形成された電極面を片面に有する部品を上下反転して搭載ヘッドによって基板に搭載する部品搭載装置であって、前記部品を前記電極面を上方に向けた姿勢で供給する部品供給部と、前記部品供給部から前記部品を取り出して基板に搭載する部品搭載手段と、前記部品供給部から取り出した部品を前記電極面の反対側の裏
面側から保持する保持部が設けられた保持プレートと、前記保持プレートを反転することにより前記部品を上下反転する反転機構と、前記反転された部品を前記裏面を上方に向けた姿勢で載置する部品ステージとを備え、前記部品搭載手段は、前記部品供給部から前記部品を前記電極面側から保持することにより取り出して前記保持部に保持させる取出しノズルと、この取出しノズルとは別に設けられ前記部品ステージから前記部品を裏面側から保持することにより受け取って前記基板に搭載する搭載ノズルと、前記取出しノズルおよび搭載ノズルがそれぞれ同数個装着された単一の搭載ヘッドとを備えた。
A component mounting apparatus according to the present invention is a component mounting device in which a component having an electrode surface on one side of which an electrode is formed is turned upside down and mounted on a substrate by a mounting head, with the component facing the electrode surface upward. A component supply unit that is supplied in a posture; a component mounting unit that extracts the component from the component supply unit and mounts the component on a substrate; and a holding unit that holds the component extracted from the component supply unit from the back side opposite to the electrode surface A holding plate provided with a portion, a reversing mechanism for reversing the component by reversing the holding plate, and a component stage for placing the reversed component in a posture with the back surface facing upward. The component mounting means takes out the component from the component supply unit by holding it from the electrode surface side and holds it by the holding unit, and the extraction nozzle A mounting nozzle for receiving the component from the back side and mounting it on the substrate by mounting from the component stage, and a single mounting head mounted with the same number of extraction nozzles and mounting nozzles. .
本発明の部品搭載方法は、電極が形成された電極面を片面に有する部品を上下反転して搭載ヘッドによって基板に搭載する部品搭載方法であって、前記部品を前記電極面を上方に向けた姿勢で供給する部品供給部から、複数の前記部品を前記電極面側から保持することにより取り出して保持プレートに設けられた保持部に保持させる部品取出し工程と、前記保持プレートを反転することにより前記複数の部品を上下反転して部品ステージに載置する部品反転工程と、前記部品ステージから前記複数の部品を前記電極面の反対側の裏面側から保持することにより受け取って前記基板に搭載する部品搭載工程とを含み、前記部品取出し工程において、前記保持プレートにおける前記保持部の配列と対応して前記搭載ヘッドに配置された取出しノズルによって前記部品を保持し、前記部品搭載工程において、前記取出しノズルと別に取出しノズルと同数個設けられ前記部品ステージにおける前記部品の配列と対応して前記搭載ヘッドに配置された搭載ノズルによって前記部品を保持する。 The component mounting method of the present invention is a component mounting method in which a component having an electrode surface on one side of which an electrode is formed is turned upside down and mounted on a substrate by a mounting head, with the component facing the electrode surface upward. A component take-out process in which a plurality of the components are taken out from the electrode surface side by holding them from the electrode surface side and held in a holding portion provided on the holding plate, and the holding plate is turned over to reverse the holding plate. A component reversing process in which a plurality of components are turned upside down and placed on a component stage, and a component received from the component stage by holding the plurality of components from the back side opposite to the electrode surface and mounted on the substrate A picking nose arranged in the mounting head in correspondence with the arrangement of the holding portions in the holding plate in the component picking up step. In the component mounting step, the same number of extraction nozzles as the number of extraction nozzles are provided in the component mounting step, and the components are mounted by the mounting nozzles corresponding to the arrangement of the components on the component stage. Hold.
本発明によれば、部品供給部から部品を取り出して部品反転ステージまで搬送する取出しノズルと、部品反転ステージから部品を受け取って基板に搭載する搭載ノズルとを、それぞれ同数個設けて単一の搭載ヘッドに装着する構成を採用することにより、部品供給部から取り出した部品を反転する部品反転ステージにおける部品移載動作を、低コスト・簡略な機構によって高速かつ安定して行うことができる。 According to the present invention, the same number of takeout nozzles for taking out components from the component supply unit and transporting them to the component reversal stage and mounting nozzles for receiving components from the component reversal stage and mounting them on the substrate are provided in a single mounting. By adopting the configuration of mounting on the head, the component transfer operation in the component reversing stage for reversing the component taken out from the component supply unit can be performed at high speed and stably by a low cost and simple mechanism.
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態の部品搭載装置の平面図、図2は本発明の一実施の形態の部品搭載装置の側断面図、図3は本発明の一実施の形態の部品搭載装置の搭載ヘッドにおけるノズル配置の説明図、図4は本発明の一実施の形態の部品搭載装置の部品反転ステージの斜視図、図5は本発明の一実施の形態の部品搭載装置の部品反転ステージの平面図、図6は本発明の一実施の形態の部品搭載装置による部品搭載動作の動作説明図、図7、図8は本発明の一実施の形態の部品搭載装置における部品反転動作の動作説明図である。 Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a plan view of a component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side sectional view of the component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a component mounting according to an embodiment of the present invention. FIG. 4 is a perspective view of a component reversing stage of the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a component reversal of the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention. FIG. 6 is a plan view of the stage, FIG. 6 is an explanatory diagram of the operation of the component mounting operation by the component mounting device according to the embodiment of the present invention, and FIGS. 7 and 8 are the components inversion operation in the component mounting device of the embodiment of the present invention. It is operation | movement explanatory drawing.
まず図1、図2を参照して、部品搭載装置の全体構造を説明する。この部品搭載装置は、電極が形成された電極面を片面に有する部品を上下反転して搭載ヘッドによって基板に搭載する機能を有している。なお図2は、図1におけるA−A矢視を示している。 First, the entire structure of the component mounting apparatus will be described with reference to FIGS. This component mounting apparatus has a function of turning a component having an electrode surface on one side of which electrodes are formed upside down and mounting the component on a substrate by a mounting head. FIG. 2 shows an AA arrow view in FIG.
図1において、基台1上には部品供給部2が配設されている。図2に示すように、部品供給部2は治具ホルダ3を備えており、治具ホルダ3はシート5が装着された治具4を着脱自在に保持する。シート5には部品である半導体チップ(以下、単に「チップ6」と略記する。)が個片に分離された状態で貼着されている。チップ6の上面には突起電極であるバンプ6aが複数形成されており、治具ホルダ3に治具4が保持された状態では、部品供給部2は複数のチップ6をバンプ形成面(電極面)を上方に向けた姿勢で供給する。
In FIG. 1, a
図2において、治具ホルダ3に保持されたシート5の下方には、エジェクタ8がXYテーブル7によって水平移動自在に配設されている。エジェクタ8はチップ突き上げ用のエ
ジェクタピン(図示省略)を昇降させるピン昇降機構を備えており、後述する搭載ヘッドによってシート5からチップ6をピックアップする際に、エジェクタピンによってシート5の下方からチップ6を突き上げることにより、チップ6はシート5から剥離される。エジェクタ8はチップ6をシート5から剥離するシート剥離手段となっている。シート剥離手段としては、エジェクタピンを用いる突き上げ方式以外にも、シート5を下面側から真空吸着することによりシート5をチップ6から剥離させる方式や、シート5の下面側から紫外光を照射してチップ6の粘着力を低減させる方式など、各種の方式を用いることができる。
In FIG. 2, an
図1において、基台1の上面の部品供給部2からY方向に隔てた位置には、基板保持部10が配置されている。基板保持部10の上流側、下流側には、それぞれ基板搬入部11、基板搬出部12がX方向に直列に配置されている。基板搬入部11は、上流側から供給される基板13を受け取って基板保持部10に搬入する。また基板保持部10は、搬入された基板13を保持して部品実装位置に位置決めする。そして基板搬出部12は、基板保持部10から受け渡された部品搭載後の基板13を下流側に搬出する。
In FIG. 1, a
図1において基台1の上面の両端部には、Y軸ベース20A、20BがY方向に配設されており、Y軸ベース20A、20Bの上面には、略全長にわたってY方向ガイド21が配設されている。Y軸ベース20A、20Bには、第1ビーム部材31、センタービーム部材30および第2ビーム部材32の3つのビーム部材が、それぞれ両端部をY方向ガイド21によって支持されてY方向にスライド自在に架設されている。
In FIG. 1, Y-axis bases 20A and 20B are arranged in the Y direction at both ends of the upper surface of the
センタービーム部材30はY軸駆動機構22によってY方向に移動し、さらに内蔵されたX軸駆動機構によってX方向に移動可能な搭載ヘッド33を備えている。搭載ヘッド33は、部品供給部2および基板保持部10を含む移動範囲内において、X方向、Y方向に移動自在となっており、部品供給部2からチップ6を取り出して、基板保持部10に保持された基板13にチップ6を搭載する。したがって、センタービーム部材30,Y軸駆動機構22および搭載ヘッド33は、部品供給部2からチップ6を取り出して基板13に搭載する部品搭載手段となっている。
The
図3に示すように、搭載ヘッド33の下面には、それぞれ複数のノズルを配列したノズル群A,Bが装着されており、ノズル群A,Bはそれぞれ4本の取出しノズル33a、搭載ノズル33bより構成される。取出しノズル33aは、部品供給部2からチップ6を取り出すためのノズルであり、チップ6のバンプ形成面を吸着保持するのに適した形状・サイズおよび材質で製作されている。搭載ノズル33bは、取出しノズル33aによって取り出されて上下反転されたチップ6を保持して基板13に搭載するためのノズルであり、チップ6を裏面側から吸着保持してこのチップ6を基板に対して押圧するのに適した形状・サイズおよび材質となっている。
As shown in FIG. 3, nozzle groups A and B in which a plurality of nozzles are arranged are mounted on the lower surface of the
これらのノズル群A,Bは、搭載ヘッド33の下面にX方向に沿って配置されており、各ノズルはいずれもピッチpyを隔ててX方向に設定された2本のノズル配置線NL1,NL2上に配置されている。ノズル群A,Bにおいては、それぞれ4本の取出しノズル33a、搭載ノズル33bが、井桁配列(X方向ピッチpx,Y方向ピッチpy)で装着されている。そしてノズル群A,Bは、配列間隔d1(各ノズル群において内側に位置するノズル間の間隔)を隔てて配置されている。ここに示す4本の取出しノズル33aと4本の搭載ノズル33bとの相対配列は、後述する部品反転ステージにおいてチップ6を保持する保持部と反転されたチップ6との相対配列に対応したものとなっている。
These nozzle groups A and B are arranged along the X direction on the lower surface of the mounting
第1ビーム部材31、第2ビーム部材32は、それぞれY軸駆動機構23、Y軸駆動機構24によってY方向に移動し、内蔵されたX軸駆動機構によってX方向に移動自在に配
設された基板認識カメラ34、供給部認識カメラ35をそれぞれ備えている。基板認識カメラ34は基板保持部10の上方に移動して基板13を撮像し、また供給部認識カメラ35は部品供給部2の上方に移動してシート5に保持された状態のチップ6を撮像する。
The
そしてこれらの撮像結果を認識処理することにより、基板保持部10における基板13上の部品搭載位置および部品供給部2におけるチップ6の位置が認識される。後述する部品取り出し動作および部品搭載動作においては、これらの認識結果に基づいて搭載ヘッド33の位置補正が行われる。
Then, by recognition processing of these imaging results, the component mounting position on the
部品供給部2と基板保持部10との間には、部品認識カメラ15および部品反転ステージ14が基台1に固定されて配設されている。部品認識カメラ15は1次元画像を取り込むラインカメラを備えており、搭載ノズル33bにチップ6を保持した搭載ヘッド33が部品認識カメラ15の上方をX方向に移動することにより、搭載ノズル33bに保持された状態のチップ6が撮像される。そしてこの撮像結果を認識処理することにより、チップ6の位置が検出される。
A
部品反転ステージ14の構造について、図4、図5を参照して説明する。この部品反転ステージ14は、バンプ形成面を有するチップ6を上下反転する部品反転装置としての機能を有している。図4において、ベース部材40はブラケット14a(図2参照)によって基台1に固定されている。ベース部材40の上面には、部品載置部41が配置されている。部品載置部41の上面に設けられた凹部の底面は平滑な載置面41aとなっており、載置面41aには粘着物であるフラックス48が膜状に延展される。
The structure of the
部品載置部41に対してX方向に隣接した位置には、保持プレート42が反転部材44によって下面側を保持されて配設されている。保持プレート42の上面には、吸着孔43aを有する保持部43が4箇所に設けられている。保持面43には、搭載ヘッド33の複数の取出しノズル33aによってチップ6が載置される(図7(a)参照)。
At a position adjacent to the
搭載ヘッド33における取出しノズル33aの配列ピッチは、後述するようにX方向、Y方向とも保持部43の配列ピッチと一致しており、搭載ヘッド33によって部品供給部2から取り出した4個のチップ6を、4箇所の保持部43に同時に載置することができるようになっている。吸着孔43aは真空吸引源(図示省略)に接続されており、部品供給部2からバンプ形成面を上向きにして取り出したチップ6を保持部43に載置した状態で、吸着孔43aから真空吸引することにより、チップ6は保持部43に吸着保持される。すなわち、保持部43は、部品供給部2から取り出したチップ6を裏面側から保持する。
The arrangement pitch of the take-out nozzles 33a in the mounting
反転部材44のY方向側の端部には、軸受け部45によって軸支された反転軸46が結合されている。反転軸46は回転式のエアアクチュエータを用いた回転機構47によって回転駆動され、回転機構47を駆動して反転軸46を180°回転させることにより、保持プレート42は反転軸46廻りに上下反転する。保持プレート42の保持部43にチップ6を保持した状態で、回転機構47を駆動することにより、保持プレート42の保持部43に保持されたチップ6は、部品載置部41上に上下反転される(図7参照)。すなわち、回転機構47は、保持プレート42を反転することによりチップ6を上下反転する反転機構となっている。
A reverse shaft 46 supported by a bearing 45 is coupled to the end of the reverse member 44 on the Y direction side. The reversing shaft 46 is rotationally driven by a rotating mechanism 47 using a rotary air actuator. By driving the rotating mechanism 47 and rotating the reversing shaft 46 by 180 °, the holding
そして、上下反転されたチップ6は、部品載置部41の載置面41a上において反転軸46について各保持部43と対称な位置(図5に示すチップ載置位置41b)に、裏面を上方に向けた姿勢で載置され、バンプ6aはフラックス48が延展された載置面41aに対して押し付けられるとともに、バンプ6aは載置面41aに塗布されたフラックス48に接触する。そしてこのときの押付力によりバンプ6aの先端部を平滑にするフラットニ
ングが行われる。すなわち部品載置部41は、反転された複数のチップ6をバンプ形成面の反対側の裏面を上方に向けた姿勢で載置する部品ステージとなっている。
The
ここで、図5を参照して、保持プレート42における保持部43の配列および載置面41aにおけるチップ載置位置41bの配列について説明する。図5に示すように、保持部43を上向きにした正転状態においては、保持プレート42の4つの保持部43は、搭載ヘッド33における4本の取出しノズル33aの配列(X方向,Y方向についてそれぞれピッチpx,pyの井桁配列・・図3参照)と等しい配列で配置されている。そして、載置面41aにおけるチップ載置位置41bの配列は、保持部43の配列を反転軸46について対称な位置に移し替えた配列であることから、同様にX方向,Y方向についてそれぞれピッチpx,pyの井桁配列となる。
Here, with reference to FIG. 5, the arrangement of the holding
そして保持プレート42において反転軸46寄りに位置する保持部43と、部品載置部41において反転軸46寄りに位置するチップ載置位置41bとの間隔d2は、図3に示す配列間隔d1と等しくなるように、部品載置部41、保持プレート42と反転軸46との位置関係が設定されている。すなわち、正転状態の保持プレート42における保持部43と部品載置部41におけるチップ載置位置41bの相対配列は、図3に示す取出しノズル33aと搭載ノズル33bの相対配列と対応している。これにより、搭載ヘッド33を部品反転ステージ14に対して下降させる際に、取出しノズル33aを保持部43に位置合わせするとともに、搭載ノズル33bをチップ載置位置41bに対して同時に位置合わせすることができるようになっている。
The distance d2 between the holding
搭載ノズル33bによって載置面41aから取り出されたチップ6は、バンプ6aの先端部にフラックス48が転写塗布された状態で搭載ヘッド33とともに移動する。ここで複数のチップ載置位置41bの配列は、搭載ノズル33bの配列に等しいことから、搭載ヘッド33の複数の搭載ノズル33bによってこれらの複数のチップ6を同時に吸着保持することが可能となっている。そしてこの後、搭載ヘッド33が基板保持部10へ移動し、ここで搭載ヘッド33に部品搭載動作を行わせることにより、複数の搭載ノズル33bに保持されたチップ6は、順次基板13に搭載される。
The
すなわち、前述の部品搭載手段は、部品供給部2からチップ6をバンプ形成面側から保持することにより取り出して、保持プレート42の保持部43に保持させる取出しノズル33aと、この取出しノズル33aとは別に設けられ部品載置部41からチップ6を裏面側から保持することにより受け取って基板13に搭載する搭載ノズル33bと、取出しノズル33aおよび搭載ノズル33bがそれぞれ同数個装着された単一の搭載ヘッド33とを備えた構成となっている。
That is, the above-described component mounting means takes out the
そして部品反転ステージ14においては、部品載置部41の載置面41a上にフラックス43を延展しておき、部品反転ユニット45によりチップ6を上下反転することによって、バンプ6aにフラックス43を塗布するようにしている。これにより、フラックス転写ステージを部品反転ステージと個別に設ける構成と比較して機構簡略化と省スペースを図ることができるとともに、部品反転とフラックス転写とを同一工程で行うことができ、動作時間の短縮が実現される。
In the
そして搭載ヘッド33における取出しノズル33aおよび搭載ノズル33bの装着配置は、保持部43を上方に向けた正転姿勢の保持プレート42と部品載置部41の配置に対応している。すなわち取出しノズル33a側(図3に示すノズル群A側)を保持プレート42側に対応させ、搭載ノズル33b側(図3に示すノズル群B側)を部品搭載ブロック41側に対応させた配置となっている。
The mounting arrangement of the take-out nozzle 33a and the mounting nozzle 33b in the mounting
これにより、搭載ヘッド33が部品反転ステージ14にアクセスする際に、2つのノズル群を構成する各ノズルは、それぞれの動作対象位置(取出しノズル33aについては保持プレート42、搭載ノズル33bについては部品搭載ブロック41)に対して正しい対応関係でアクセスする。したがって、2つのノズル群をそれぞれの動作対象位置まで移動させるための搭載ヘッド33の移動動作を無駄なく行うことができ、効率の良い部品搭載動作が実現される。
Thus, when the mounting
さらに上記実施の形態では、図3に示す配列間隔d1を図5に示す間隔d2と一致させて、搭載ヘッド33における取出しノズル33aと搭載ノズル33bとの相対配列(図3参照)は、正転姿勢の保持プレート42における保持部43と部品載置部41におけるチップ6との相対配列(図5参照)に対応させた形態となっている。これにより、搭載ヘッド33による1回のノズル昇降動作において、取出しノズル33aに保持されたチップ6を保持プレート42に載置し、部品載置部41上に載置されたチップ6を搭載ノズル33bによって保持することが可能となっている。
Further, in the above embodiment, the arrangement interval d1 shown in FIG. 3 is made to coincide with the interval d2 shown in FIG. 5, and the relative arrangement (see FIG. 3) of the take-out nozzle 33a and the installation nozzle 33b in the mounting
なお、図3に示す配列間隔d1と図5に示す間隔d2とが一致しない場合には、搭載ヘッド33に装着された2つのノズル群A,Bを同時に部品反転ステージ14に対して位置合わせすることができない。このため取出しノズル33aによる上下反転前のチップ6の載置と、上下反転されたチップ6の搭載ノズル33bによる保持とを個別のヘッド昇降動作によって行う必要がある。すなわち、搭載ヘッド33を部品反転ステージ14に移動させた後には、まず取出しノズル33aに保持されたチップ6を保持プレート42に載置する。そして搭載ヘッド33を一旦上昇させてX方向に移動させる動作を行った後に、搭載ノズル33bによってチップ6を保持する動作を行う。
When the arrangement interval d1 shown in FIG. 3 and the interval d2 shown in FIG. 5 do not match, the two nozzle groups A and B mounted on the mounting
次に図6、図7、図8を参照して、電極が形成された電極面を片面に有する部品を上下反転して搭載ヘッドによって基板に搭載する部品搭載方法およびこの部品搭載過程で行われる部品反転動作について説明する。図6(a)において、部品供給部2に保持されたシート5には、複数のチップ6が整列状態でバンプ形成面を上向きにした姿勢で貼着されている。部品供給部2においては、まず取り出し対象のチップ6を供給部認識カメラ35によって撮像して、これらのチップ6を認識する。そして供給部認識カメラ35が退去した後に、搭載ヘッド33がシート5の上方に進出し、取り出し対象の複数のチップ6を取出しノズル33aによって順次吸着保持して取り出す。
Next, referring to FIG. 6, FIG. 7, and FIG. 8, a component mounting method in which a component having an electrode surface on one side of an electrode is turned upside down and mounted on a substrate by a mounting head, and this component mounting process is performed. The component reversing operation will be described. In FIG. 6A, a plurality of
この後、各取出しノズル33aにそれぞれチップ6を保持した搭載ヘッド33は、図6(b)に示すように、部品反転ステージ14の上方に移動する。この後、部品反転ステージ14においては、図7、図8に示す部品反転動作が実行される。まず図7(a)に示すように、取出しノズル33aによってチップ6を保持した搭載ヘッド33を部品反転ステージ14に対して位置合わせする。これにより、取出しノズル33aに保持したチップ6は保持部43の直上に位置する。次いで図7(b)に示すように搭載ヘッド33を昇降させて、取出しノズル33aに保持したチップ6を、保持プレート42の保持部43上に載置して吸着保持させる。
Thereafter, the mounting
すなわち部品供給部2から複数のチップ6を、取出しノズル33aによってバンプ形成面側から保持することにより取り出して、保持プレート42に設けられた保持部43に保持させる(部品取出し工程)。そしてこの部品取出し工程においては、保持プレート42における保持部43の配列と対応して搭載ヘッド33に配置された取出しノズル33aによって、チップ6を保持するようにしている。
That is, the plurality of
この後図7(c)に示すように、保持プレート42を上下反転させ、チップ6のバンプ6aをフラックス48が延展された載置面41aに着地させる。そして図7(d)に示す
ように、保持プレート42を再度上下反転させることにより、保持部43に吸着保持されていたチップ6は、部品載置部41の載置面41aに載置される。すなわち保持プレート42を反転することにより、保持部43に保持されたチップ6を上下反転して、部品載置部41に載置する(部品反転工程)。
Thereafter, as shown in FIG. 7C, the holding
この後、搭載ヘッド33は再び部品供給部2に移動し、取出しノズル33aによってシート5から複数のチップ6を再度取り出した後、部品反転ステージ14に移動する。そして図8(a)に示すように、搭載ヘッド33を部品反転ステージ14に対して位置合わせする。これにより、取出しノズル33aに保持したチップ6が保持部43の直上に位置するとともに、搭載ノズル33bは載置面41aに既に載置されたチップ6の直上に位置する。
Thereafter, the mounting
次いで図8(b)に示すように、搭載ヘッド33を下降させ、取出しノズル33aに保持したチップ6を保持部43に保持させるとともに、搭載ノズル33bをチップ6の裏面に当接させ、これらのチップ6を吸着保持する。そして図8(c)に示すように、搭載ヘッド33を上昇させ、搭載ノズル33bに吸着保持したチップ6を載置面41aから上昇させる。このとき、バンプ6aの下端部には載置面41aに延展されていたフラックス48が転写により塗布される。すなわち、ここでは部品載置部41上にフラックス48を延展しておき、部品反転工程においてチップ6を上下反転することによって、バンプ6aにフラックス48を塗布するようにしている。
Next, as shown in FIG. 8B, the mounting
チップ6を取り出した後の載置面41aにおいては、スキージ(図示省略)を往復動させてフラックス48を掻き寄せて、転写により荒れたフラックス膜を平滑に修復するスキージングが行われる。そしてこれにより、部品反転ステージ14は図7(b)に示す状態に戻り、これ以降同様の動作が反復実行される。フラックス転写後のチップ6を保持した搭載ヘッド33は、図6(b)に示すように部品認識カメラ15の上方に移動し、ここでチップ6の認識を行う。この後搭載ヘッド33は基板保持部10に移動して、基板13上の部品搭載位置に各保持ノズル33aに保持したチップ6を順次搭載する。
On the mounting surface 41a after the
すなわち、部品載置部41から複数のチップ6を裏面側から保持することにより受け取って、基板13に搭載する(部品搭載工程)。そしてこの部品搭載工程において、取出しノズル33aと別に取出しノズル33aと同数個設けられ、部品載置部41におけるチップ6の配列と対応して搭載ヘッド33に配置された搭載ノズル33bによって、チップ6を保持するようにしている。
In other words, the plurality of
そして前述のように、搭載ノズル33における取出しノズル33aと搭載ノズル33bとの相対配列は、保持プレート42における保持部43と部品載置部41におけるチップ6との相対配列に対応している。これにより、搭載ヘッド33による1回のノズル昇降動作において、取出しノズル33aに保持されたチップ6を保持プレート42上に載置し、部品載置部41上に載置されたチップ6を搭載ノズル33bによって保持する動作形態が可能となり、搭載ヘッド33の動作効率を大幅に向上させることができる。
As described above, the relative arrangement of the take-out nozzle 33 a and the mounting nozzle 33 b in the mounting
上記説明したように、本実施の形態に示す部品搭載装置においては、部品供給部2からチップ6を取り出して部品反転ステージ14まで搬送する取出しノズル33aと、部品反転ステージ14からチップ6を受け取って基板13に搭載する搭載ノズル33bとをそれぞれ同数個設けて、単一の搭載ヘッド33に装着する構成を採用している。したがって、バンプ形成面を保持してチップ6を保持プレート2に載置する動作と、上下反転された後に部品載置部41上に載置されたチップ6を裏面側から保持して基板13に搭載する動作とを、それぞれ専用のノズルによって実行させることができる。
As described above, in the component mounting apparatus shown in the present embodiment, the take-out nozzle 33a that takes out the
これにより、上述の2つの動作を共通の保持ノズルによって行う場合に生じる不都合、例えば保持ノズルが吸着保持していた部品を離脱させた直後に新たな部品を吸着保持する際に生じる動作不安定がなく、部品供給部2から取り出したチップ6を反転する部品反転ステージ14における部品移載動作を、単一の搭載ヘッドよりなる低コスト・簡略な機構によって高速かつ安定して行うことができる。さらに、取出しノズル33aと搭載ノズル33bとを、対象とする動作特性に応じた形状・サイズ・材質で製作することができるため、移載動作を安定させることが可能となっている。
As a result, inconvenience that occurs when the above two operations are performed by a common holding nozzle, for example, operation instability that occurs when a new component is sucked and held immediately after the component held by the holding nozzle is sucked and held. In addition, the component transfer operation in the
本発明の部品搭載装置は、部品供給部から取り出した部品を反転する反転機構における部品移載動作を、低コスト・簡略な機構によって高速かつ安定して行うことができるという効果を有し、フリップチップなど電極面を有する部品を上下反転した後に搭載する態様の部品搭載装置に対して有用である。 The component mounting apparatus of the present invention has the effect that the component transfer operation in the reversing mechanism for reversing the component taken out from the component supply unit can be performed at high speed and stably by a low cost and simple mechanism. This is useful for a component mounting apparatus in which a component having an electrode surface such as a chip is mounted after being turned upside down.
2 部品供給部
6 チップ
10 基板保持部
13 基板
14 部品反転ステージ
33 搭載ヘッド
33a 取出しノズル
33b 搭載ノズル
41 部品載置部
41a 載置面
42 保持プレート
43 保持部
46 回転機構
48 フラックス
2
Claims (7)
前記部品を前記電極面を上方に向けた姿勢で供給する部品供給部と、前記部品供給部から前記部品を取り出して基板に搭載する部品搭載手段と、前記部品供給部から取り出した部品を前記電極面の反対側の裏面側から保持する保持部が設けられた保持プレートと、前記保持プレートを反転することにより前記部品を上下反転する反転機構と、前記反転された部品を前記裏面を上方に向けた姿勢で載置する部品ステージとを備え、
前記部品搭載手段は、前記部品供給部から前記部品を前記電極面側から保持することにより取り出して前記保持部に保持させる取出しノズルと、この取出しノズルとは別に設けられ前記部品ステージから前記部品を裏面側から保持することにより受け取って前記基板に搭載する搭載ノズルと、前記取出しノズルおよび搭載ノズルがそれぞれ同数個装着された単一の搭載ヘッドとを備えたことを特徴とする部品搭載装置。 A component mounting apparatus that vertically flips a component having an electrode surface on which an electrode is formed on one side and mounts it on a substrate by a mounting head,
A component supply unit for supplying the component with the electrode surface facing upward; component mounting means for extracting the component from the component supply unit and mounting the component on a substrate; and a component extracted from the component supply unit for the electrode A holding plate provided with a holding portion for holding from the back side opposite to the surface, a reversing mechanism for turning the component upside down by reversing the holding plate, and turning the reversed part upside down. Component stage to be placed in a different posture,
The component mounting means takes out the component from the component supply unit by holding it from the electrode surface side and holds it by the holding unit, and is provided separately from the extraction nozzle and removes the component from the component stage. A component mounting apparatus comprising: a mounting nozzle that is received by being held from the back side and mounted on the substrate; and a single mounting head on which the same number of extraction nozzles and mounting nozzles are mounted.
前記部品を前記電極面を上方に向けた姿勢で供給する部品供給部から、複数の前記部品を前記電極面側から保持することにより取り出して保持プレートに設けられた保持部に保持させる部品取出し工程と、前記保持プレートを反転することにより前記複数の部品を上下反転して部品ステージに載置する部品反転工程と、前記部品ステージから前記複数の部品を前記電極面の反対側の裏面側から保持することにより受け取って前記基板に搭載する部品搭載工程とを含み、
前記部品取出し工程において、前記保持プレートにおける前記保持部の配列と対応して前記搭載ヘッドに配置された取出しノズルによって前記部品を保持し、
前記部品搭載工程において、前記取出しノズルと別に取出しノズルと同数個設けられ前記部品ステージにおける前記部品の配列と対応して前記搭載ヘッドに配置された搭載ノズルによって前記部品を保持することを特徴とする部品搭載方法。 A component mounting method in which a part having an electrode surface on which an electrode is formed is turned upside down and mounted on a substrate by a mounting head,
A component take-out step of taking out the plurality of components by holding them from the electrode surface side and holding them on a holding portion provided on a holding plate from a component supply portion that supplies the components with the electrode surface facing upward. A component reversing step in which the plurality of components are turned upside down by placing the holding plate upside down and placed on the component stage, and the plurality of components from the component stage are held from the back side opposite to the electrode surface. And a component mounting process for receiving and mounting on the board,
In the component take-out step, the component is held by a take-out nozzle disposed in the mounting head corresponding to the arrangement of the holding portions in the holding plate,
In the component mounting step, the same number of extraction nozzles as the number of extraction nozzles are provided separately from the extraction nozzle, and the components are held by a mounting nozzle disposed in the mounting head corresponding to the arrangement of the components on the component stage. Component mounting method.
品搭載方法。
6. The component mounting method according to claim 5, wherein an adhesive is spread on the component stage, and the adhesive is applied to the electrode by reversing the component in the component reversing step.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005002205A JP2006190864A (en) | 2005-01-07 | 2005-01-07 | Apparatus and method for mounting part |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005002205A JP2006190864A (en) | 2005-01-07 | 2005-01-07 | Apparatus and method for mounting part |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006190864A true JP2006190864A (en) | 2006-07-20 |
Family
ID=36797786
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005002205A Pending JP2006190864A (en) | 2005-01-07 | 2005-01-07 | Apparatus and method for mounting part |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006190864A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7874068B2 (en) | 2008-12-12 | 2011-01-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Production method for electronic chip component |
KR20170006962A (en) * | 2015-07-10 | 2017-01-18 | 한화테크윈 주식회사 | Chip mounter |
WO2023139685A1 (en) * | 2022-01-19 | 2023-07-27 | 株式会社新川 | Electronic component mounting device and electronic component mounting method |
-
2005
- 2005-01-07 JP JP2005002205A patent/JP2006190864A/en active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7874068B2 (en) | 2008-12-12 | 2011-01-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Production method for electronic chip component |
KR20170006962A (en) * | 2015-07-10 | 2017-01-18 | 한화테크윈 주식회사 | Chip mounter |
KR102062278B1 (en) | 2015-07-10 | 2020-02-11 | 한화정밀기계 주식회사 | Chip mounter |
WO2023139685A1 (en) * | 2022-01-19 | 2023-07-27 | 株式会社新川 | Electronic component mounting device and electronic component mounting method |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4595740B2 (en) | Chip inversion device, chip inversion method, and chip mounting device | |
US7938930B2 (en) | Support board separating apparatus, and support board separating method using the same | |
JP3719182B2 (en) | Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method | |
KR20040030915A (en) | Apparatus and method for mounting electornic parts | |
CN108701620B (en) | Electronic component processing unit | |
US8137050B2 (en) | Pickup device and pickup method | |
JP2017183378A (en) | Electronic component implementation apparatus | |
JP3636153B2 (en) | Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method | |
JP2007220754A (en) | Recovery system of defective electronic components | |
JP4016982B2 (en) | Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method | |
JP4466377B2 (en) | Component mounting device, component mounting method, component reversing device, and component reversing method | |
JP2006190864A (en) | Apparatus and method for mounting part | |
JP4064795B2 (en) | Electronic component mounting equipment | |
JP3152091B2 (en) | Electronic component mounting equipment | |
JP3255065B2 (en) | Chip mounting equipment | |
JP3870803B2 (en) | Chip component supply device | |
JP3744451B2 (en) | Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method | |
JP3613082B2 (en) | Screen printing method | |
JP2000022395A (en) | Method and apparatus for mounting electronic component | |
JP3610941B2 (en) | Electronic component mounting equipment | |
JP2003273166A (en) | Electronic component loading device and electronic component loading method | |
JPH10163265A (en) | Mounting equipment of chip | |
JP4093854B2 (en) | Electronic component mounting equipment | |
JP3763283B2 (en) | Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method | |
JP2005197758A (en) | Electronic component mounting device and method of mounting the electronic component |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070115 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20070214 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091027 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091120 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100309 |