JP4463610B2 - 表面プラズモン共鳴センサ装置 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態に係る表面プラズモン共鳴センサ装置を示す。このセンサ装置は、半導体レーザ部10と、その上に設けられたセンサ部20とにより構成されている。
図5は、図1の表面プラズモン共鳴センサ装置におけるセンサ部20の構成例を示す図である。図5に示すように、半導体レーザ部10の発光面上に厚さ300nmのシリコン酸化膜からなる誘電体膜22を介して厚さ100nmの銀からなる金属膜23を形成する。あらかじめ誘電体膜22表面には同心円状の凸凹を形成してあり、金属膜23のピッチが425nmになるようにしてある。金属膜23の同心円の中心には直径センサ部200nmの開口部24を設けてある。
図6は、図1の表面プラズモン共鳴センサ装置におけるセンサ部20の他の構成例を示す図である。図6に示すように、半導体レーザ部10の発光面上に厚さ300nmのシリコン酸化膜からなる誘電体膜22を介して厚さ100nmの銀からなる金属膜23を形成する。あらかじめ誘電体膜22表面には同心円状の凸凹を形成してあり、金属膜23のピッチが425nmになるようにしてある。金属膜23の同心円の中心には直径センサ部200nmの開口部24を設けてある。
図8は、図1の表面プラズモン共鳴センサ装置におけるセンサ部20の他の構成例を示す図である。本実施形態では、発光波長633nmの赤色面発光レーザを用いる。この半導体レーザは、GaAsに格子整合したAlGaInP系材料により構成される。半導体分布ブラッグ反射鏡は、Al組成を変化させたAlGaAsの積層膜により構成される。図8に示すように、半導体レーザ部10の発光面上に厚さ300nmのシリコン酸化膜からなる誘電体膜22を介して厚さ100nmの銀からなる金属膜23を形成する。あらかじめ誘電体膜22表面には同心円状の凸凹を形成してあり、金属膜23のピッチが425nmになるようにしてある。金属膜23の同心円の中心には直径センサ部200nmの開口部24を設けてある。
本実施例では、第1の実施の形態で示したのと同様の構成のセンサを用い、測定を行った。本実施例では、誘電体膜22はシリコン酸化膜(膜厚250nm)により構成し、金属膜23は銀膜(膜厚50nm)により構成した。金属膜23の凹凸ピッチは400nm、中央開口部の直径はセンサ部200nmとした。
面発光半導体レーザは、AlGaInP系材料からなる発光波長633nmのものを用いた。
11 半導体基板
12 第1多層反射膜
13 多重量子井戸活性層
14 光閉じ込め層
15 第2多層反射膜
16 シリコン窒化膜
17 ポリイミド埋め込み層
18 上部電極
19 裏面電極
20 センサ部
22 誘電体膜
23 金属膜
24 開口部
25 近接場光
26 受容体
27 光ファイバープローブ
30 表面プラズモンセンサ装置
31 蛍光色素
32 凹凸部
203 受光部
204 解析部
205 検量線DB
206 表示部
Claims (8)
- 面発光レーザと、
前記面発光レーザの発光面上に前記発光面と平行に設けられ、周期的な凹凸パターンを有する誘電体膜と、
前記誘電体膜の前記面発光レーザと反対の面上に設けられた導電膜と、
を備え、
前記導電膜は、下地の前記誘電体膜の凹凸形状を反映して、周期的な凹凸パターンを有するとともに一部が開口していることを特徴とする表面プラズモン共鳴センサ装置。 - 前記導電膜が、同心円状の周期的な凹凸パターンを有することを特徴とする請求項1に記載の表面プラズモン共鳴センサ装置。
- 前記導電膜の少なくとも一部に、検体を特異的に認識する受容体が配置されたことを特徴とする請求項1または2に記載の表面プラズモン共鳴センサ装置。
- 前記面発光レーザの前記発光面と前記導電膜との間に、少なくとも1種類以上の誘電体膜が配置されたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の表面プラズモン共鳴センサ装置。
- 前記開口に散乱体が配置されたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の表面プラズモン共鳴センサ装置。
- 前記開口に蛍光体が配置されたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の表面プラズモン共鳴センサ装置。
- 前記開口の近傍に、光導波路が配置されたことを特徴とする請求項5または6に記載の表面プラズモン共鳴センサ装置。
- 前記開口の近傍に、光ファイバープローブが配置されたことを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の表面プラズモン共鳴センサ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004128986A JP4463610B2 (ja) | 2004-04-23 | 2004-04-23 | 表面プラズモン共鳴センサ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004128986A JP4463610B2 (ja) | 2004-04-23 | 2004-04-23 | 表面プラズモン共鳴センサ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005308658A JP2005308658A (ja) | 2005-11-04 |
JP4463610B2 true JP4463610B2 (ja) | 2010-05-19 |
Family
ID=35437591
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004128986A Expired - Fee Related JP4463610B2 (ja) | 2004-04-23 | 2004-04-23 | 表面プラズモン共鳴センサ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4463610B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106646681A (zh) * | 2016-11-29 | 2017-05-10 | 华中科技大学 | 一种光子晶体纳米流体传感器、其制备方法及应用 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7538357B2 (en) | 2004-08-20 | 2009-05-26 | Panasonic Corporation | Semiconductor light emitting device |
JP5222599B2 (ja) | 2007-07-20 | 2013-06-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 核酸分析デバイス及びそれを用いた核酸分析装置 |
JP4649468B2 (ja) * | 2007-12-20 | 2011-03-09 | 日本航空電子工業株式会社 | 表面プラズモンセンサ |
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JP5010511B2 (ja) * | 2008-03-18 | 2012-08-29 | 株式会社リコー | 偏光制御素子、偏光制御装置 |
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JP5829375B2 (ja) * | 2009-06-05 | 2015-12-09 | 日本電気株式会社 | 光学素子とこれを用いた光子発生装置、光発生装置、光記録装置および光検出装置 |
JP2010286418A (ja) * | 2009-06-15 | 2010-12-24 | Sony Corp | 表面プラズモン発生装置およびその製造方法 |
US8835851B2 (en) | 2009-10-21 | 2014-09-16 | Stc.Unm | Plasmonic detectors |
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EP2434274A1 (en) | 2010-09-27 | 2012-03-28 | Stichting IMEC Nederland | Sensor, method for detecting the presence and / or concentration of an analyte using the sensor and use of the method |
JPWO2012131793A1 (ja) * | 2011-03-30 | 2014-07-24 | パナソニック株式会社 | 発光素子 |
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CN106199786B (zh) | 2016-08-29 | 2019-05-03 | 上海交通大学 | 金属微纳米结构及端面具有金属微纳米结构的光纤 |
CN114441481B (zh) * | 2022-01-28 | 2022-09-16 | 天津大学 | 近导波光纤spr探针、制备方法及传感系统 |
-
2004
- 2004-04-23 JP JP2004128986A patent/JP4463610B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005308658A (ja) | 2005-11-04 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090707 |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090831 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20100121 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
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