JP4462420B2 - ピックアップ装置及びピックアップ方法 - Google Patents

Description

本発明は、液体中に保持される被搬送物を吸着、保持し、該液体中の任意の位置に搬送する装置及び方法に関する。より具体的には、例えば洗浄液の中において洗浄処理が施された磁気ヘッドスライダに例示される該電子部品を吸着保持し、該電子部品を同洗浄液中に配置されたトレイに移載する際に用いられるピックアップ装置及びピックアップ方法に関する。

通常、大気中における電子部品等小型の被搬送物の保持、搬送においては、真空或いは減圧による吸着力を用いた装置が使用される。しかし、当該構成においては、大気圧以上の吸着力を作用させることが原理上不可能である。従って、当該吸着力によって液体中に存在する被搬送物を保持することは困難と思われる。

また、液体中に進入する構成に対して、このような真空吸着力を被搬送物に対して好適に作用可能な機構を付与すること自体が困難とされている。このため、液体中において被搬送物を保持、搬送する装置は、通常は動作機構が液体外部に配置され、且つ液体中への浸漬が必要となる部分には防水機能が付与された構成を有している。また、先にも述べたように、気体により生じさせた吸着力が弱いことから、実際にクランプ機構等、被搬送物を把持する機構を構築することが必要となる。従って、複雑な機構が必須となり、当該構成を有する工程は構築に際して高コストとなる。このため、液体中の操作が必須となる工程以外では、通常液体中での処理を行う工程は含めないこととされている。

以上の状況に鑑みて液中において被搬送物の保持を可能とするために案出された構成として、特許文献１には、特定の構成を有するエジェクタポンプを液体吸引手段として用いる例が開示されている。当該構成においては、チューブを介して該ポンプと吸着部とが連結されており、該ポンプが液体を吸引する際の吸引力によって被搬送物を吸着保持している。当該構成によれば、気体と比較して非圧縮性の液体によって吸引力を生じさせることから、大きな吸引力を得ることが可能となる。従って、液体中での被搬送物の保持、搬送等を容易に実施することが可能なる。
特開平６−１０３５１１号公報

上述した特許文献１に開示する装置の場合、例えば吸着のオンオフが頻繁に行われる場合には、開示される切換レバーを用いた構成では対処できず、電磁弁等を有する切換え用の回路を形成する必要がある。このような切換え回路は通常の空圧、油圧回路と異なって汎用性が無いことから、高価なものとならざるを得ない。

また、汚染対策、パーティクル管理等を厳格に行う必要性がある電子部品等が被搬送物となる場合には、当該構成は液体の清浄度維持の観点から問題があると思われる。当該構成におけるエジェクタポンプは、高圧液体ポンプを回路中に配置する必要があるが、このようなポンプを介在させた場合には当該ポンプにおけるパーティクルの発生は避けられないと思われる。また、このような高圧ポンプを有する液体回路の清浄度の確保も事実上は困難と思われる。従って、特許文献１に開示される構成は、電子部品等の洗浄工程等、清浄状態を維持すべき物品が搬送対象となる場合には、実際の適用は困難と考えられる。

本発明は上記事項に鑑みて為されたものであり、電子部品等の清浄な環境下での搬送が求められる被搬送物を対象とし、液中において該被搬送物を例えばトレイからトレイへ移載する際に用いられるピックアップ装置及びピックアップ方法を提供することを目的とする。例えば磁気ヘッドスライダのような微小な電子部品に対応可能であり、且つ頻繁なオンオフ操作が可能となる簡易な構成からなる小型のピックアップ装置及びピックアップ方法の提供も目的としている。

上記課題を解決するために、本発明に係るピックアップ装置は、液体中において被搬送物の吸着、搬送、及び解放を行う被搬送物のピックアップ装置であって、吸着開口として作用する開口部を有するシリンダと、シリンダの内部に配置されてシリンダの内壁と共に開口部のみを開口とする略閉鎖空間を規定し、且つ略閉鎖空間の内部を移動して略閉鎖空間を拡張及び縮小するピストンとを有し、吸着開口による被搬送物の吸着、搬送、及び解放の各操作は、略閉鎖空間の拡張及び縮小に応じて吸着開口に生じる吸着力及び放出力によって為され各操作を行う際に、略閉鎖空間は液体によって充たされていることを特徴としている。

なお、上述したピックアップ装置は、大気中に配置されたアクチュエータと、アクチュエータとピストンとを連結する連結部材とを更に有し、略閉鎖空間の拡張及び縮小は連結部材を介してアクチュエータがシリンダ内部に配置されるピストンを駆動することによって為されることが好ましい。また、ピストンは開口を閉鎖する或いは開口から一部が突出可能であるように構成されることが好ましい。

また、上記課題を解決するために、本発明に係るピックアップ方法は、液体中において被搬送物の吸着、搬送、及び解放を行う被搬送物のピックアップ方法であって、吸着開口として作用する開口部を有するシリンダの吸着開口を液体中に浸漬し、シリンダの内壁及びシリンダ内に配置されるピストンによって規定される、開口部のみを開口とする略閉鎖空間内部を液体によって充たし、ピストンを駆動して略閉鎖空間の容積を拡張して液体を略閉鎖空間に吸引する吸引力を生じせしめ、吸引力によって被搬送物を吸着開口に吸着保持する工程を含むことを特徴としている。

なお、上述したピックアップ方法において、ピストンの駆動は、液体の外部に配置されるアクチュエータの発生する駆動力を用いて為されることが好ましい。また、閉鎖空間を液体にて充たす工程は、ピストンが開口を閉鎖する或いは開口から一部が突出する状態から、シリンダ内部に収容されることによって行われることが好ましい。

本発明によれば、簡単な空圧回路によって、液中において負圧、正圧を形成することが可能となる。即ち、小型且つ簡易な構成から成り且つ充分な吸引力を有するピックアップノズルを構築することが可能となる。当該構成から成るピックアップ装置は、少量の液体の移動によって吸引力の発生或いは開放を行うことが可能であることから、オンオフ操作も容易且つ迅速に行うことが可能であり、小型の被搬送物を高速且つ多量に搬送する場合であっても対応することが可能である。

また、後述する実施形態に示すような小型のピックアップノズルは、三軸或いは四軸の駆動系も簡易且つ小規模な構成から構築することが可能となり汎用性が高いピックアップ装置を得ることができる。また、当該構成から成るピックアップノズルは、空圧回路中に洗浄液等が進入する危険性が全く無く、通常の使用状況の場合と同様に、耐圧、耐食、及び潤滑剤の保護を行うことが可能となる。同様に、液中に存在する可動部を最小限とすることが可能となり、液体の清浄度を損なう可能性を極力低減することが可能となる。

また、本発明によれば、ピストンの形状或いは停止位置を調整し、シリンダを液体中に浸漬する際に、シリンダ内部に形成される閉鎖空間への気体の進入を容易に防止することができる。従って、シリンダ内部での気体の混在によって吸引力が変動する、或いは所定の吸引力が得られない等の自体を容易に防止することが可能である。

本発明の一実施形態に係るピックアップ装置について、以下に図面を参照して説明する。図１は、本発明の実施形態において用いられるピックアップノズル５０及び関連する他の構成を示す概略図である。ピックアップノズル５０は、略円筒形状のシリンダ５１と、シリンダ５１の円筒内部に配置され、外周部分が円筒内周部と略密着状態で摺動可能なピストン５３とを主たる構成として有している。シリンダ５１は吸着開口として作用する開口部５１ａを有し、シリンダ内壁とピストン５３とによって開口部５１ａのみを開口とする略閉鎖空間を形成する。

ピストン５３は、シリンダ５１の開口部５１ａと異なる方向に伸びるピストンロッド５５の一端部と接続されている。ピストンロッド５５の他端は、駆動源であるエアシリンダ５７の駆動軸５７ａと接続されている。空圧回路５９は、エアシリンダ５７に所定圧力のエアを供給する回路であり、該回路５９にエア供給、排出を行わせることにより、エアシリンダ５７の駆動、及びこれに従うピストンロッド５５の駆動を行うことが可能となる。エアシリンダ５７はピストン５３を駆動する際の駆動力源であるアクチュエータとして作用し、ピストンロッド５５、駆動軸５７ａ及びこれらを連結する部材は、アクチュエータをピストンとを連結する連結部材として作用する。

シリンダ５１、ピストン５３、ピストンロッド５５、及びエアシリンダ５７は、一体としてピックアップノズル駆動機構６１によって、ピストン５３の移動方向及び該移動方向に垂直な平面内、即ち三軸方向において移動可能に支持されている。ピックアップノズル５０及び駆動機構６１により本発明の一実施形態に係るピックアップ装置が構成される。ピックアップノズル５０は、ピストン５３をシリンダ開口５１ａから遠ざけるように移動させることによって、洗浄液１１ａをシリンダ５１内部に吸引し、同時に電子部品（被搬送物）１９をシリンダ開口５１ａに吸着する。また、吸着保持された電子部品１９は、ピストン５３をシリンダ開口５１ａに接近させ、シリンダ５１内部の洗浄液１１ａを放出させることで、シリンダ開口５１ａから放出することが可能である。

また、シリンダ５１には、当該シリンダの軸心を中心として微小角度回転可能とするシリンダ回転機構６３が付随している。当該シリンダ回転機構は、ピストン５３とは独立して、シリンダ５１のみを回転可能とする。なお、本実施の形態においては、シリンダ回転機構６３によって、電子部品とトレイ上の凹部との回転ずれの補正を行うこととしているが、このずれ補正を行う回転機構の設置位置は当該実施形態に示す場合に限られない。具体的には、ピックアップノズル駆動機構６１と一体化して構成されても良い。

また、対象物が微細であること、及び実際にシリンダ５１内部に吸引する洗浄液量が僅かであることから、微小領域において吸着放出の操作を行うことが好ましい。従って、空圧回路による高圧空気の供給排出等の操作は、精密レギュレータ等を空圧回路中に配する等し、ピストン５３の動作精度を高めることが好ましい。
また、ポンプ等を用いて吸引する場合と異なり、シリンダ及びピストンから成る構成によって吸引操作を行う場合、ピストン５３が動作領域の上端部近傍（洗浄液の吸引量の最大値近傍となる位置）存在すると、更なる吸引操作が不可能となる。本構成においては、微小領域での吸着放出操作を行うことから、このような動作不良を生じる可能性は高いと考えられる。従って、該動作不良を防止するために、予めピストン５３が動作領域の上端部近傍にあることを検知するための検知手段を各ノズルに配することが好ましい。この場合、検知手段から得られる信号に基づいて、吸着操作前にピストン５３の初期化を行うことが更に好ましい。

通常、液中において被搬送物を吸着する操作においては、液体用ポンプを用いた吸着装置が用いられる。しかし、液体用ポンプを用いた構成を本発明が対象とする微小電子部品のピックアップ等に用いようとした場合、頻繁なオンオフ及び極微少量の吸引、排出を行うことが必要となる。このような操作は、電磁弁等をいくつか回路中に配置することで、初めて実施することが可能となる。このような電磁弁を含んだ構成は、汎用性は高い反面、高価となると同時に、装置構成の規模もまた大きくなる。従って、ピックアップノズルを三軸に駆動する構成と組み合わせることが、非現実的となってしまうと考えられる。

本実施形態の如く、空圧回路により、液中に負圧、陽圧を形成することによって小型且つ簡易な構成から成るピックアップノズルを構築することが可能となる。また、このような小型のノズル構成であることから、三軸の駆動系も簡易且つ小規模な構成から構築することが可能となる。また、当該構成から成るピックアップノズルは、空圧回路中に洗浄液等が進入する危険性が全く無く、通常の使用状況の場合と同様に、耐圧、耐食、及び潤滑剤の保護を行うことが可能となる。

なお、本実施の形態においては、シリンダ５０は略円筒形状を有するとともに、ピストン５１は外周部分がシリンダ５０の円筒内壁面に略密着する円板形状を有する場合を例示して、本発明の構成について述べた。しかし、本発明の実施形態はこれら形状に限定されない。具体的には、シリンダは吸着開口として作用する開口部を有し、ピストンはシリンダ内壁面と略密着して、該開口部のみを開口とする略閉鎖空間を形成するものであれば良い。また、アクチュエータとしてのエアシリンダ５７は、種々の駆動力源と置換することが可能である。

また、本実施の形態においては、上述した略閉鎖空間を液体において充たした状態で被搬送部材の吸着等を実施することが好適であるとしている。これは、略閉鎖空間内に気体が混在した場合に、好適な吸着力が得られなくなることによる。このような状態の発生を防止するために、例えば図２Ａ、Ｂ或いは図３Ａ、Ｂに示すように、ピストンの形状或いは停止位置を定めることとしても良い。各々の図は、ピックアップノズル５０及びピストン５３の形状等を示す側面図である。なお、これら図面において、図１に示した実施形態における各部材と同様の構成に関しては同一の参照符号を用いて説明することとする。

図２Ａにおいては、ピストン５３におけるシリンダ５１の吸着開口側に位置する端面５３ａが、シリンダ５１の吸着開口５１ａが形成される円筒端部５１ｂの形状に倣った形状とされている。また、ピストン５１が最も吸着開口５１ａに近づいた状態において、ピストン端部５３ｂの端面が吸着開口５１ａと一致している。図２Ａに示す状態を経ることにより、上述した略閉鎖空間内の気体を完全に除去することが可能となる。当該状態から図２Ｂに示す状態まで、ピストン５１が駆動され、シリンダ５３内部に形成された略閉鎖空間が若干の液体によって充たされた状態が待機状態となる。当該状態から、ピックアップノズル５０が所定の電子部品１９上に駆動され、上述した吸着保持、搬送等の各動作が行われる。

図３Ａは、図２Ａ及びＢに示す構成を更に変形させた例を示す。具体的には、略閉鎖空間の気体除去をより確実に行うと共に待機状態における略閉鎖空間の容積を小さくすることを目的としている。即ち、図２Ａ及び２Ｂに示したシリンダ５１に対して、端部形状を短くし、液体浸漬時においてピストン端部５３ｂが吸着開口５１ｂから突出することとしている。

本発明に係るピックアップ装置を実際に用いた液中での電子部品の移載装置について、以下に図面を参照して説明する。当該電子部品は、上述する実施形態における被搬送物に該当する。図４Ａ〜４Ｃは、当該電子部品移載装置について、これを正面から見た状態の概略図であって、電子部品載置用のトレイの設置時、移載準備状態、移載時の状態を各々示している。本発明に係る、電子部品移載装置１は、電子部品取り出しトレイ３が受面５ａ上に載置される第一のエレベータ５、電子部品移載トレイ７が受面９ａ上に載置される第二のエレベータ９、洗浄槽１１、洗浄層１１中に存在する洗浄液１１ａ内に被撮像ポイントが存在するOCR（Optical Character Recognition）カメラ１３、洗浄液中において電子部品１９の把持、移動及び移載をおこなうピックアップノズル、５０、該ピックアップノズルを移動する駆動系６１（図１参照）とを有している。

電子部品取り出しトレイ３、及び電子部品移載トレイ７は、各々略板状の部材からなり、一方の平面（図中上面）に電子部品収容用の複数の凹部を有している。これらトレイは、各々不図示のトレイ交換手段によって、第一のエレベータ５上、及び第二のエレベータ９上からの交換が可能となっている。これらエレベータは、洗浄液外、即ち洗浄液表面の上方であって個々のトレイの取り付け、取り外しが可能な位置と、洗浄液中であって電子部品の移載を行う位置との二位置間での移動が可能とされている。また、各々の受面表面には第一及び第二のクランプ機構５ｂ、９ｂが配置されており、トレイを受面に対して固定可能となっている。この固定操作によって、エレベータの上下動作、即ちトレイの液外と液中間での移動操作時におけるトレイの位置ずれ等を防止している。

洗浄槽１１中には所定の液面高さを保持するように、IPA（イソプロピルアルコール）、NMP（N-メチル-2-ピロリドン）等の洗浄用溶液１１ａが蓄えられている。洗浄槽１１には洗浄交換機構１１ｂがとりつけられており、洗浄液の劣化に応じて随時洗浄液の交換を行うことが可能となっている。また、第一のエレベータ５及び第二のエレベータ９各々の昇降軸５ｃ、９ｃは、洗浄槽１１の構成壁に設けられた不図示のシール材を介して、洗浄槽１１の内部から外部へ、即ち洗浄液１１ａ外部へ引き出されている。当該構成の配することにより、各々のエレベータの上下動を行うための駆動系は洗浄槽１１の外部に位置することが可能となる。従って、これら駆動系による洗浄液１１ａの汚染を防止することが可能となっている。

電子部品として例えば磁気ヘッドスライダは、磁気ヘッドの製造工程において個々の製品を識別、管理するために、製品のデータベースが作成されている。該データベースとして、個々のスライダの素性を把握可能とするための、所謂シリアルナンバーが一般的に用いられる。これらデータベースは、例えば「xxxx」なる番号を有するスライダはＡランク品であり、「yyyy」なる番号を有するスライダはＢランク品である、といった情報も含まれる。OCRカメラ１３は、洗浄液中において磁気ヘッドスライダ等を搬送する際に、これらシリアルナンバーを読み取るために配されている。

OCRカメラ１３は、ピックアップノズル５０が電子部品１９を把持、移動する際の移動経路上において、該電子部品１９の所定面を撮影可能となる位置に配置されている。即ち、被撮像ポイントが移動経路上となるように設置されている。なお、OCRカメラ１３は、不図示のエンクロージャ内に収容され、そのレンズ部分のみが液中に向けられている。OCRカメラ１３におけるレンズ鏡筒部分にはシール材が配置されており、洗浄液中に曝される部分にはコーティングが施されておりこれにより該部分への洗浄液の侵入を防止している。

なお、OCRカメラ１３はシリアルナンバー読み取りに用いられる関係上、その焦点深度は小さく設定されている。このため、洗浄液１１ａ中を移送される電子部品１９を下方から観察し、これらの保持状態の確認と位置決めとを行うために、下カメラ１７が用いられる。洗浄槽１１の底面には、シール材を介して配置、固定されたガラス板１１ｃが存在し、下カメラ１７は該ガラス板１７を介して、ガラス板１１ｃの外方、即ち、洗浄槽１１の下方から、洗浄液１１ａ中を観察可能となるように配置されている。なお、本実施例において使用されるピックアップ装置は、上述した実施形態において説明した構成と何ら変わる部分が無いことからここでの説明は省略する。

次に、実際に電子部品の移載工程について説明する。電子部品の移載時においては、まず図４Ａに示すように、電子部品を収容した電子部品取り出しトレイ３が第一のエレベータ５上に載置され、第一のクランプ機構５ｂによって固定される。同時に、電子部品移載トレイ７が、第二のクランプ機構９ｂによって第二のエレベータ９上に固定される。続いて、図４Ｂに示すように、これらエレベータは降下し、各々のトレイが洗浄液１１ａ中の所定位置に達した段階で、当該降下が停止される。

この状態にて、ピックアップノズル駆動機構６１によって、目標とする電子部品１９の直上まで、ピックアップノズル５０が駆動される。ピックアップノズルにおけるシリンダ開口５１ａが目標とする電子部品１９の上面と所定間隔となった段階で当該駆動が停止される。当該状態にて、エアシリンダ５７の駆動を行い、シリンダ５１内への洗浄液１１ａの吸引及び電子部品１９の吸着を実施する。電子部品吸着後、ピックアップノズル５０は、電子部品１９をOCRカメラ１３の焦点を通過させるように、所定の経路を介して駆動される。この駆動時において、電子部品のデータが認識され、同時に下カメラ１７による映像より電子部品の保持状態が認識される。また、得られた電子部品１９のデータに基づいて、電子部品移載トレイ７上の移載位置が指定される。

ピックアップノズル５０は、電子部品移載トレイ７上の目標とする電子部品載置位置の直上まで駆動される。ここで、下カメラ１７の映像を用いて認識された電子部品１９の保持状態に基づき、電子部品１９が電子部品移載トレイ７上の目標とする載置位置に応じた姿勢となるように、ピックアップノズル５０による位置補正が行われる。その際、シリンダ回転機構６３により、シリンダ５１及び電子部品１９を若干角度回転させても良い。位置補正終了後、電子部品１９の下面が目標載置位置の上面から所定距離となるまで、再度ピックアップノズル５０の降下を行う。その後、エアシリンダ５７の駆動を行い、電子部品１９及び洗浄液１１ａのシリンダ開口５１ａからの放出（解放）を行う。

以上の工程を経ることにより、移載対象とする電子部品１９の、電子部品取り出しトレイ３から電子部品移載トレイ７へ移載工程が終了する。これら移載工程が、概略的に図４Ｃに示されている。以上の電子部品１９一個の移載が終了すると、ピックアップノズル５０は次の移載対象となる目標電子部品の直上まで駆動される。以下、上述した一連の工程が複数回繰り返され、電子部品取り出しトレイ３上に載置された電子部品１９全ての電子部品移載トレイ７上への移載工程が終了する。移載終了後、両エレベータは所定位置まで上昇、停止し、各々のトレイが次工程のものと交換され、次トレイ間での電子部品の移載工程が実施される。

本実施例におけるピックアップ装置を有した電子部品移載装置を洗浄工程に採用することによって、洗浄の前後あるいは並び替え工程において、電子部品を空気中に曝すことが無くなる。従って、液中から電子部品を出すことに起因して生じる種々の汚染を防止することが可能となる。また、迅速に微小な被搬送物たる電子部品の移載を行うことが可能となり、作業効率を向上させることが可能となる。

上述した実施形態及び実施例においては、被搬送対象として微細電子部品を例示している。しかしながら、本発明の適用対象は微細電子部品に限定されない。例えば特殊部品、ペレット等、比較的小型であって高度な品質管理が要求される部材の移載工程に対しても適用可能である。

本発明の一実施形態に係るピックアップ装置の概略構成を示す図である。 本発明の他の実施形態に係るピックアップ装置において、ピックアップノズルの概略構成を示す図である。 本発明の他の実施形態に係るピックアップ装置において、ピックアップノズルの概略構成を示す図である。 本発明の他の実施形態に係るピックアップ装置において、ピックアップノズルの概略構成を示す図である。 本発明の他の実施形態に係るピックアップ装置において、ピックアップノズルの概略構成を示す図である。 本発明の一実施例に係るピックアップ装置を用いた液中移載装置の、概略構成を示す図である。 本発明の一実施例に係るピックアップ装置を用いた液中移載装置の、概略構成を示す図である。 本発明の一実施例に係るピックアップ装置を用いた液中に係る移載装置の、概略構成を示す図である。

符号の説明

１：電子部品移載装置、 ３：電子部品取り出しトレイ、 ５：第一のエレベータ、 ７：電子部品移載トレイ、 ９：第二のエレベータ、 １１：洗浄槽、 １３：OCRカメラ、 １７：下カメラ、 １９：電子部品、 ５０：ピックアップノズル、 ５１：シリンダ、 ５３：ピストン、 ５５：ピストンロッド、 ５７：エアシリンダ、 ５９：空圧回路、 ６１：ピックアップノズル駆動機構、 ６３：ピックアップノズル回転機構

Claims (6)

1. 液体中において被搬送物の吸着及び解放を行う前記被搬送物のピックアップ装置であって、
   吸着開口として作用する開口部を有するシリンダと、
   前記シリンダの内部に配置され、前記シリンダの内壁と共に前記開口部のみを開口とする略閉鎖空間を規定し、且つ前記略閉鎖空間の内部を移動して前記略閉鎖空間を拡張及び縮小するピストンとを有し、
   前記吸着開口による前記被搬送物の吸着及び解放の各操作は、前記略閉鎖空間の拡張及び縮小に応じて前記吸着開口に生じる吸着力及び放出力によって為され、
   前記ピストンの前記シリンダの前記開口部側の端面形状は、前記シリンダの該開口部が形成されるシリンダ内壁の端部に倣った形状であり、以って、前記各操作を行う際に、前記略閉鎖空間は前記液体で充たすことができる、
   ことを特徴とするピックアップ装置。
2. 大気中に配置されたアクチュエータと、前記アクチュエータと前記ピストンとを連結する連結部材とを更に有し、前記略閉鎖空間の拡張及び縮小は、前記連結部材を介して前記アクチュエータが前記シリンダ内部に配置される前記ピストンを駆動することによって為されることを特徴とする請求項１記載のピックアップ装置。
3. 前記ピストンは前記開口を閉鎖する或いは前記開口から一部が突出可能であることを特徴とする請求項１記載のピックアップ装置。
4. 液体中において被搬送物の吸着及び解放を行う前記被搬送物のピックアップ方法であって、
   吸着開口として作用する開口部を有するシリンダの吸着開口を前記液体中に浸漬する工程と、
   前記ピストンの前記シリンダの前記開口部側の端面形状は、前記シリンダの前記開口部を含んで形成されるシリンダ内壁の端部に倣った形状を有し、前記シリンダの内壁及び前記シリンダ内に配置されるピストンによって規定される、前記開口部のみを開口とする略閉鎖空間の容積を、前記ピストンの移動により縮小して該空間内の気体を完全に排出する工程と、
   前記ピストンを駆動して前記略閉鎖空間の容積を拡張し、前記液体を前記略閉鎖空間に吸引する吸引力を生じせしめる工程と、
   前記吸引力によって前記被搬送物を前記吸着開口に吸着保持する工程と、
   を含むことを特徴とするピックアップ方法。
5. 前記ピストンの駆動は、前記液体の外部に配置されるアクチュエータの発生する駆動力を用いて為されることを特徴とする請求項４記載のピックアップ方法。
6. 前記閉鎖空間を前記液体にて充たす工程は、前記ピストンが前記開口を閉鎖する或いは前記開口から一部が突出する状態から、前記シリンダ内部に収容されることによって行われることを特徴とする請求項４記載のピックアップ方法。

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