JP4455733B2

JP4455733B2 - Probe sheet and probe apparatus using the same

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Publication number: JP4455733B2
Application number: JP2000160284A
Authority: JP
Inventors: 雄康古川; 満範葛西; 亨石村
Original assignee: Micronics Japan Co Ltd
Current assignee: Micronics Japan Co Ltd
Priority date: 2000-05-30
Filing date: 2000-05-30
Publication date: 2010-04-21
Anticipated expiration: 2020-05-30
Also published as: JP2001337111A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶パネル、集積回路等の平板状被検査体の検査に用いるプローブシート及びプローブ装置に関し、特に液晶パネルの検査に好適なプローブシート及びプローブ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
集積回路、液晶パネル等の平板状被検査体は、一般に、プローブカードのようなプローブ装置を用いて検査される。この種のプローブ装置の１つとして、互いに平行に伸びる複数の配線を電気絶縁性のフィルム又はガラス板の一方の面に形成し、各配線の一部を被検査体の電極への接触部として利用するプローブシートを用いるものがある。そのようなプローブシートは、平坦であることから、面プローブとも称されている。
【０００３】
プローブシートを用いたプローブ装置は、金属細線から形成されたプローブを用いたニードルタイプのプローブ装置や、ブレード状のプローブを用いたブレードタイプのプローブ装置に比べ、針立て作業が不要であることから、製作が容易で、廉価になる。
【０００４】
プローブシートを用いたプローブ装置は、種々提案され、実用に供されている。そのようなプローブ装置は、一般に、１以上のプローブシートを基板に組み付けている。また、被検査体の大きさ、被検査体の電極数、電極の配置ピッチ等は被検査体の種類に応じて異なることから、被検査体の種類に応じたプローブ装置が検査装置に組み付けられる。
【０００５】
【解決しようとする課題】
しかし、従来のプローブ装置では、プローブ装置が検査装置に正しく組み付けられていない場合や、プローブ装置又はプローブシートが熱伸縮をした場合に、検査装置に対するプローブ要素（特に、接触部）の座標位置が不正確になり、その結果プローブ要素が被検査体の電極に正しく接触せず、正しい検査（試験）をすることができない。
【０００６】
プローブシート及びこれを用いたプローブ装置においては、検査装置に対する接触部の位置を容易に調整し得ることが重要である。
【０００７】
本発明に係るプローブシートは、弾性変形が可能なガラス板と、該ガラス板に第１の方向に間隔をおいて該第1の方向と交差する第２の方向へ伸びる状態に形成された複数の配線であってそれぞれの配線が被検査体の電極に接触される接触部を備える複数の配線を含み、各配線の前記接触部は、各配線から突出する複数の突起電極を含み、各配線に設けられた前記突起電極は前記被検査体の前記電極の１つに接触可能であり、各配線において前記突起電極は該各配線からの突出量を異にし、各配線の前記突起電極は該突起電極が設けられた前記配線の長手方向に間隔を置いて配置されている。前記ガラス板に複数のアライメントマークを設けることができる。
【０００８】
本発明に係るプローブ装置は、プローブシートと、該プローブシートが装着されたプローブホルダと、複数のテレビカメラとを含み、前記プローブシートは、弾性変形が可能なガラス板と、該ガラス板に第１の方向に間隔をおいて該第1の方向と交差する第２の方向へ伸びる状態に形成された複数の配線であってそれぞれの配線が被検査体の電極に接触される接触部を備える複数の配線と、前記第１の方向に間隔をおいて前記ガラス板に形成された複数のアライメントマークであって前記テレビカメラにより撮影されるアライメントマークとを含み、各配線に設けられた前記突起電極は前記被検査体の前記電極の１つに接触可能であり、各配線において前記突起電極は該各配線からの突出量を異にし、各配線の前記突起電極は該突起電極が設けられた前記配線の長手方向に間隔を置いて配置されている。
【０００９】
アライメントマークは、プローブシートを用いたプローブ装置が検査装置に組み付けられた状態において、プローブ装置のテレビカメラにより撮影される。検査装置上におけるアライメントマークの座標位置は、テレビカメラの出力信号を用いて求められる。求めた座標位置は、検査用ソフトウエアにおける座標位置の調整に用いられる。これにより、検査装置に対する接触部の位置が調整される。
【００１０】
上記のように、本発明によれば、シート状部材としてガラス板を用い、複数のアライメントマークをガラス板に第１の方向に間隔をおいて形成したから、検査装置に対する接触部の位置を容易に調整することができる。
【００１２】
前記接触部は、前記配線から突出する複数の突起電極であって前記配線からの突出量が異なる複数の突起電極を含むことから、突出量の大きい突起電極に摩耗が生じると、突出量の小さい突起電極が被検査体の電極に接触するようになるから、プローブシートあるいはプローブ装置の寿命が長くなる。
【００１３】
各配線の前記突起電極は対応する配線の長手方向に間隔をおいていることができる。そのようにすれば、突出量の大きい突起電極に摩耗が生じると、突出量の小さい突起電極が被検査体の電極に確実に接触する。
【００１４】
前記接触部は前記ガラス板の一方の面に形成されており、プローブシートは、さらに、前記ガラス板の他方の面を覆う樹脂層を含むことができる。そのようにすれば、ガラス板が樹脂層により補強される。
【００１５】
前記ガラス板が矩形の平面形状を有しており、前記配線が前記矩形の対向する一対の縁部の一方から他方へ伸びており、前記接触部は前記配線の一端部に形成されており、前記プローブシートは前記接触部の部位を前記第２の方向における前記プローブホルダの一端部から突出させており、前記ガラス板及び前記配線を透明とすることができる。そのようにすれば、プローブホルダからのプローブシートの突出領域を介してプローブシートの配線と被検査体の電極との位置関係を確認することができる。
【００１６】
プローブ装置は、さらに、前記接触部の配置箇所を被検査体の電極に向けて変位させる力を前記プローブシートに作用させる押圧機構を備えることができる。そのようにすれば、プローブシートの接触部と被検査体の電極とが相対的に押圧されたとき、プローブシートの接触部の配置領域がその後方の領域に対し大きく曲げられることが防止される。
【００１７】
プローブ装置は、さらに、前記プローブホルダが着脱可能に配置されたプローブベースと、前記第２の方向における一端部及び他端部を有するアームであって前記他端部が前記プローブベースの上側となる状態に及び前記第１の方向へ伸びる軸線の周りに枢軸運動可能に前記他端部において前記プローブベースに結合されたアームを含み、前記押圧機構は前記アームの一端部に配置されていることができる。そのようにすれば、プローブベースに対するプローブホルダの着脱時、アームをプローブホルダの着脱の妨げにならない位置に変位させることができる。
【００１８】
プローブ装置は、さらに、前記プローブホルダに配置されたタブであって前記プローブシートの配線に接続された集積回路を備えるタブと、前記集積回路を介して前記プローブシートの配線に接続された複数の第２の配線を備えるフラットケーブルとを含むことができる。そのようにすれば、プローブシートが配線をガラス板に形成していることとあいまって、タブとフラットケーブルとを熱圧着することができるのみならず、プローブシートとタブとを熱圧着することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
図１から図６を参照するに、プローブ装置１０は、一部を図３及び図４に示す液晶パネル１２の検査装置、特に点灯すなわち通電検査装置にプローブユニットとして用いられる。本発明においては、液晶パネル１２側を前方といい、それと反対側を後方という。
【００２０】
液晶パネル１２は、長方形の形状をしており、また帯状をした複数の電極１４（図３及び図６参照）を長方形の１以上の辺に対応する縁部に所定のピッチで形成している。このため、検査装置は、電極が設けられた液晶パネル１２の縁部毎に図示のような１以上のプローブ装置１０を備えている。液晶パネル１２は、また、十字状のアライメントマーク１６（図５参照）を電極の配列方向（第1の方向）における各端部に有する。
【００２１】
プローブ装置１０は、プローブブロック２０を含む。プローブブロック２０は、図示の例では、プローブシート２２と、プローブシート２２に接続された複数の第１の接続シート２４と、各第１の接続シート２４に接続された第２の接続シート２６と、それらシート２２，２４及び２６が装着されたプローブホルダ２８とにより形成されている。
【００２２】
プローブシート２２は、左右方向（第１の方向）に間隔をおいて前後方向（第２の方向）へ伸びる複数の配線３０を印刷配線技術によりガラス板３２の一方の面に形成したフィルム状プローブユニット（面プローブ）である。プローブシート２２は、平面的にみて配線３０の配列方向（第１の方向）に長い長方形の形状を有する。図示の例では、液晶パネル１２の１つの縁部に設けられた電極の数と同数の配線３０がガラス板３２に形成されている。
【００２３】
各配線３０は、帯状の形をしており、またガラス板３２の幅方向（前後方向＝第２の方向）における一端（前端）から他端（後端）まで伸びている。配線３０の配列ピッチは、液晶パネル１２の電極の配列ピッチと同じである。各配線３０は、インジウムとすずとの合金酸化膜（ＩＴＯ）のような透明電極とすることができる。配線３０は、第１の接続シート２４に対応された複数の配線群に分けられており、配線群毎に対応する第１の接続シート２４に接続されている。
【００２４】
プローブシート２２は、また、第２の方向に間隔をおいた複数の接触子３４を各配線３０の前端部に有する。各接触子３４は、ニッケルのような導電性金属材料から形成されており、また図示の例では角錐状の突起電極である。各配線３０からの接触子３４の突出高さは、図６に示すように互いに異なる。
【００２５】
ガラス板３２は、液晶パネル１４のガラス基板と同様に、透明な強化ガラスから形成されており、また他方の面をポリイミドのような透明の樹脂層３６により覆われている。この樹脂層３６により、ガラス板３２の破損が防止され、プローブシート２２が補強されている。
【００２６】
ガラス板３２は、十字状をしたアライメントマーク３８を長手方向（第１の方向）の各端部に有する。アライメントマーク３８は、後に説明するテレビカメラ４０（図５参照）により撮影可能である。液晶パネル１２に設けられたアライメントマーク１６も、テレビカメラ４０により撮影可能である。
【００２７】
第１の接続シート２４は、帯状をした複数の配線４２及び４４を印刷配線技術によりポリイミドのような電気絶縁性フィルム４６の一方の面に形成したタブ（ＴＡＢ＝テープ自動化実装）であり、また配線４２，４４に電気的に接続された駆動用集積回路４８を一方の面に有する。
【００２８】
各第１の接続シート２４の各配線４２は、プローブシート２２の配線３０に一対一の形に対応されており、対応する配線３０の後端部に電気的に接続されている。集積回路４８は、液晶パネル１２の駆動に用いられ、駆動用制御信号を配線４４から受けて、駆動信号を配線４２に出力する。プローブシート２２と第１の接続シート２４とは、加熱圧着、接着等の適宜な手法により接合することができる。
【００２９】
第２の接続シート２６は、帯状をした複数の配線５０を印刷配線技術によりポリイミドのような電気絶縁性フィルム５２の一方の面に形成したフレキシブル印刷配線板（ＦＰＣ）又はフラットケーブル（ＦＦＣ）である。各第２の接続シート２６の各配線５０は、第１の接続シート２４の配線４４に一対一の形に対応されており、対応する配線４４の後端部に電気的に接続されている。第１及び第２の接続シート２４及び２６も、加熱圧着、接着等の適宜な手法により接合することができる。
【００３０】
プローブホルダ２８は、プローブシート２２の長手方向（第１の方向）に長い厚板状のブロックであり、電気絶縁材料から形成されている。シート２２，２４，２６は、プローブホルダ２８の下面に配置されて、接着、ねじ止め等の適宜な手法によりプローブホルダ２８に装着されている。
【００３１】
プローブシート２２は、接触子３４の配置領域がプローブホルダ２８から液晶パネル１２側（前方）に突出し、アライメントマーク３８の形成箇所がプローブホルダ２８から第１の方向に突出し、樹脂層３６がプローブホルダ２８側となる状態に、プローブホルダ２８に装着されている。
【００３２】
第１の接続シート２４は、配線４２，４４及び集積回路４８がプローブホルダ２８側下側となる状態に、フィルム４６においてプローブホルダ２８に装着されている。第２の接続シート２６は、フィルム５２がプローブホルダ２８側となる状態に、フィルム５２においてプローブホルダ２８に装着されている。配線３０，４２の電気的接続及び配線４４,５０の電気的接続は、配線同士を直接接触させることにより行ってもよいし、導電性部材を介して行ってもよい。
【００３３】
各配線３０の前端部、その前端部に対応するガラス板３２の部位及び接触子３４は、プローブ要素として作用する。したがって、プローブシート２２の前端部、特に接触子３４が形成された領域は、プローブ領域として作用し、またプローブホルダ２８から前方へ突出されている。
【００３４】
プローブホルダ２８は、複数のねじ部材５４（図３参照）により板状のプローブベース５６の下面に組み付けられている。プローブベース５６は、検査装置のフレーム（図示せず）に組み付けられる。
【００３５】
プローブ装置１０は、また、プローブベース５６に連結されたアーム５８と、アーム５８の前端部に配置されてプローブシート２２の前端部を下方へ押する押圧機構６０と、押圧機構６０がプローブシート２２を押圧している状態に解除可能にアーム５８を維持する複数のねじ部材６２とを含む。プローブシート２２の前端部は押圧機構６０からさらに前方へ突出されている。
【００３６】
アーム５８は、プローブシート２２の幅方向（第２の方向）における一端部（前部）及び他端部（後部）によりほぼへ字状の形をしており、また第１の方向へ伸びる枢軸６４と第１の方向へ間隔をおいた一対のブラケット６６とにより他端部においてプローブベース５６に結合されている。
【００３７】
アーム５８の一端部はプローブホルダ２８及びプローブベース５６の前側を斜め上下方向へ伸びており、またアーム５８の他端部はプローブベース５６の上側に位置している。ブラケット６６は、プローブベース５６に設けられている。ねじ部材６２は、プローブベース５６に形成されたねじ穴に螺合されている。
【００３８】
図３及び図４に示すように、押圧機構６０は、アーム５８の前端部下側に配置された角柱状のベース部材６８と、アーム５８の前端部を上下方向に貫通してベース部材６８に螺合する１以上の調整ねじ７０と、アーム５８とベース部材６８との間に配置されてベース部材６８をアーム５８に対し下方へ付勢する一対以上の第１の弾性体７２と、ベース部材６８の下面に配置されてプローブシート２２の前端部上面に接触する第２の弾性体７４と、調整ねじ７０を間にして左右方向に間隔をおいて上下方向へ伸びる一対以上のガイドピン７６とを備える。
【００３９】
図示の例では、３つの調整ねじ７０と、三対の第１の弾性体７２と、三対のガイドピン７６とが備えられている。第１の弾性体７２は、ガイドピン７６毎に備えられている。調整ねじ７０は、接触子３４が電極１４に押圧されない状態において、プローブシート２２を変形させないように、調整されている。
【００４０】
ベース部材６８は、第１の方向へ伸びており、また調整ねじ７０及びガイドピン７６によりアーム５８に上下方向へ移動可能に組み付けられている。ガイドピン７６は、アーム５８及びベース部材６８のいずれか一方に支持されていると共にアーム５８及びベース部材６８の他方に上下方向へ相対的移動可能に受け入れられており、また第１の弾性体７２を貫通して伸びている。
【００４１】
第１の弾性体７２は、図示の例では圧縮コイルばねであるが、ゴムのような他の部材であってもよい。第２の弾性体７４は、シリコーンゴムのような弾性材料により厚い板状に形成されており、またベース部材６８に第１の方向へ伸びる状態に組み付けられている。
【００４２】
図５に示すように、アライメントマーク１６，３８は、プローブ装置１０と液晶基板１２との位置関係が正し場合に一致する位置に形成されている。アライメントマーク１６と電極１４とは、それらが所定の位置関係を有するように、形成されている。同様に、アライメントマーク３８と配線３０（特に、接触子３４）とは、それらが所定の位置関係を有するように、形成されている。
【００４３】
図５に示すように、テレビカメラ４０は、アライメントマーク１６，３８の対毎に備えられており、また鏡筒８０を介してアライメントマーク１６，３８を選択的に又は同時に撮影するように、プローブベース５６に配置されている。
【００４４】
プローブシート２２は、プローブホルダ２８に装着された状態において、アライメントマーク３８がプローブホルダ２８及び押圧機構６０により隠蔽されないように、アライメントマーク３８の位置をプローブホルダ２８及び押圧機構６０から第１の方向に突出させており、また前端部を押圧機構６０から前方に突出させている。
【００４５】
検査に先立って、プローブ装置１０とこれを用いる検査装置とのアライメントが行われる。このアライメントは、例えば、先ずプローブ装置１０が検査装置に組み付けられた状態において、プローブシート２２のアライメントマーク３８をテレビカメラ４０により撮影し、次いでテレビカメラ４０の出力信号を基に検査装置上におけるアライメントマーク３８の座標位置を求め、次いで求めた座標位置を基に検査用ソフトウエアにおけるアライメントマーク３８の座標位置調整又は変更することにより、行うことができる。これにより、検査用ソフトウエアにおける検査装置に対する接触子３４の座標位置が見かけ上修正される。
【００４６】
そのような検査用ソフトウエア上におけるアライメントは、検査装置に組み付けるプローブ装置１０を交換したとき、一定期間毎、液晶パネルの検査毎等、所定の機会に行われる。しかし、検査装置に対する接触子３４の位置は、上記のようにアライメントマーク３８を利用して、容易に調整することができる。
【００４７】
また、液晶パネル１２の実際の検査に先立って、プローブ装置１０に対する液晶パネル１２のアライメントが行われる。このアライメントは、アライメントマーク１６，３８を交互に撮影しつつ、アライメントマーク１６，３８の位置がテレビカメラ４０により撮影した画像内において一致するように、液晶パネル１２をプローブシート２２に対して二次元的に移動させことにより、行うことができる。このアライメントは、液晶基板１２を交換するたびに行われる。
【００４８】
検査時、先ずプローブ装置１０と液晶パネル１２とが相寄る方向へ相対的に移動される。これにより、図６（Ａ）に示すように、１以上の接触子３４が液晶パネル１２の電極１４に接触される。この時点においては、プローブシート２２は液晶パネル１２に対しわずかに傾いており、１又はそれ以上の接触子３４は電極に接触していない。しかし、接触子３４が配線３０の下方から突出しているから、接触子３４は電極１４に接触するが，配線３０は電極に接触しない。
【００４９】
次いで、プローブ装置１０と液晶パネル１２とがさらに相寄る方向へ相対的に移動される。これにより、図６（Ｂ）に示すように、プローブシート２２の上方への湾曲が押圧機構６０により阻止された状態で、オーバードライブがプローブシート２２の先端部すなわちプローブ領域に作用するから、プローブシート２２が弾性体７２の力に抗してわずかに弾性変形し、１以上の接触子３４が電極１４に押圧される。
【００５０】
プローブシート２２の接触子３４が液晶パネル１２の電極１４に押圧されたとき、アーム５８及び押圧機構６０は、プローブシート２２の前端部（接触子３４の配置領域）がその後方の領域に対し大きく曲げられることを防止する。また、プローブシート２２の接触子３４が液晶パネル１２の電極１４に押圧されたとき、弾性体７４が弾性変形するから、接触子３４と電極１４との間の接触圧（針圧）が大きくなる。
【００５１】
プローブシート２２がオーバードライブにより湾曲されると、１以上の接触子３４は電極１４に接触している状態で電極１４に対し滑る。これにより、電極１４の表面の酸化膜が掻き取られ、電極１４と接触子３４との間の電気的接続状態が良好になる。
【００５２】
プローブ装置１０と液晶パネル１２とを相寄る方向へ相対的に移動させるとき、プローブシート２２の突出領域を介してプローブシート２２の配線３０と液晶パネル１２の電極１４との位置関係を肉眼で又は適宜なテレビカメラを用いて確認することができる。
【００５３】
上記の状態で各配線３０に通電されて、液晶パネル１２の検査が行われる。検査が終了すると、プローブ装置１０と液晶パネル１２との相対的な押圧が解除され、これによりプローブシート２２の前端部は元の形状に戻る。
【００５４】
液晶パネル１２の検査を繰り返すと、図６（Ｃ）に示すように、配線３０からの突出量の大きい接触子３４が摩耗し、配線３０からの突出量の小さい接触子３４が配線３０に接触し始める。このため、いずれかの接触子３４が電極１４に確実に接触し、プローブシート２２の寿命が長くなる。
【００５５】
配線３０、ガラス板３２及び樹脂層３６が透明であると、液晶パネル１２をプローブシート２２に対し位置決めるとき、プローブシート２２の配線３０と液晶パネル１２の電極１４との位置関係を、プローブホルダ２８及び押圧機構６０から前方へ突出するプローブシート２２の前端部を通して確認することができる。また、液晶パネル１２のアライメントマーク１６を、プローブホルダ２８及び押圧機構６０から第１の方向へ突出するプローブシート２２の領域を通して確認することができるし、テレビカメラ４０により撮影することができる。
【００５６】
プローブブロック２０をプローブベース５６から外すときは、先ずねじ部材６２がプローブベース５６から外され、次いでねじ部材５４の頭部が上方に露出する位置までアーム５８が立ち上げられ、次いで、プローブブロック２０がプローブブロック２０から取り去られる。
【００５７】
プローブブロック２０をプローブベース５６に装着するときは、プローブブロック２０が上記のようにプローブベース５６から外され、次いでねじ部材５４が新たなプローブブロック２０にねじ込まれ、次いでアーム５８が下げられ、ねじ部材６２がプローブベース５６にねじ込まれる。
【００５８】
プローブブロック２０が新たにプローブベース５６に装着された状態において、押圧機構６０の弾性体７４は、プローブシート２２の先端部に当接しており、また押圧機構６０によるプローブシート２２の押圧力が調整ねじ７０により調整調整される。その後、新たなプローブブロック２０のアライメントマーク３８を利用するアライメントが行われる。
【００５９】
上記のようにねじ部材５４，６２の締め緩めをすることにより、プローブブロック２０をプローブベース５６に対し着脱することができると、プローブベース５６へのプローブブロック２０の着脱作業が容易になる。また、アーム５８を上げた状態で、プローブベース５６に対するプローブブロック２０の着脱作業を行うことができると、アーム５８及び押圧機構６０はプローブブロック２０の着脱の妨げにならない。
【００６０】
図７に示すように、複数のプローブ要素からなるプローブ要素群（プローブ領域）を区画するスリット７８をガラス板３２及び樹脂層３６に形成してもよい。また、接触子３４は、半球状、短い円柱状、短い多角柱状、直方体状、リング状等、他の形状を有する電極であってもよい。
【００６１】
図１に示す実施例においては、プローブシート２２は、隣り合うプローブ要素が分離されていないから、プローブ領域が変形する際、プローブ要素の左右方向への変位を弾性体７４により阻止される。
【００６２】
これに対し、図７に示す実施例においては、隣り合うプローブ領域がスリット７８により分離されているから、プローブシート２２のプローブ領域が弾性変形するとき、隣り合うプローブ領域が独立して変形する。この際、各プローブ要素は、弾性体７４の対応する箇所を圧縮変形させつつ、弾性変形するから、プローブ要素の第１の方向への変位を、隣り合うプローブ要素の先端が切り離されていないことと相まって、弾性体７４により阻止される。
【００６３】
上記の実施例においては、プローブシート２２が液晶パネル１２の１つの縁部に形成された電極１４と同数の配線３０を有するから、検査装置は、電極１４が設けられた液晶パネル１２の各縁部に１つのプローブ装置１０が配置される。
【００６４】
しかし、液晶パネル１２の１つの縁部に形成された電極１４の数より少ない複数の配線（例えば、１つの第１の接続シート２４に接続された配線）を備えるプローブシートとし、そのようなプローブシートを用いた複数のプローブ装置１０を電極１４が設けられた液晶パネル１２の縁部に配置してもよい。この場合、複数のプローブ装置１０は、図８に示すように、共通のプローブベース５６に装着することができる。
【００６５】
第１及び第２の方向におけるプローブブロック２０とプローブベース５６とを機械的に位置決めるストッパ及びこれが当接するストッパ面をプローブブロック２０及びプローブベース５６に設けておくことが好ましい。
【００６６】
また、プローブシート２２の前端部を上記実施例のように押圧機構６０から前方へ突出させるならば、上記したように、プローブシート２２の配線３０と液晶パネル１２の電極１４との位置関係をプローブシート２２の前端部を通して確認することができる、という利点を得ることができる。しかし、プローブシート２２の前端部をそのように突出させなくてもよい。
【００６７】
ガラスは、ポリイミドのような合成樹脂製のフィルムに比べ、温度変化、経時変化、環境変化等による寸法変化が著しく小さい。そのようなガラス板３２を用いたプローブシート２２は、配線の配列ピッチ、アライメントマークと配線との相対的位置関係等、各種の寸法が長期間安定である。また、プローブシート２２と接続シート２４とを加熱圧着により接合しても、それによる寸法変化はほとんど生じない。
【００６８】
本発明は、液晶パネルの検査装置に用いるプローブシート及びプローブ装置に適用すると、ガラス板３２として、液晶パネル１２のガラス基板と同じ材質で同じ性状を有するガラス板とすることにより、温度変化のような環境変化に対する変形量が液晶パネル１２のガラス基板とガラス板３２とで同じになる、という利点を有し、好適である。しかし、本発明は、集積回路のような他の平板状被検査体の検査に用いるプローブシート及びプローブ装置にも適用することができる。
【００６９】
本発明は、水平に配置された被検査体用のプローブシート及びプローブ装置のみならず、斜めに傾斜された被検査体用のプローブシート及びプローブ装置にも適用することができる。後者の場合、上下方向は斜めの方向となる。
【００７０】
本発明は、上記実施例に限定されない。本発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るプローブシートの一実施例を示す斜視図
【図２】図１に示すプローブシートの一部を詳細に示す平面図
【図３】本発明に係るプローブ装置の一実施例を示す断面図
【図４】図３に示すプローブ装置の斜視図
【図５】図３に示すプローブ装置の一部を詳細に示す斜視図
【図６】プローブシートの作用を説明するための図
【図７】プローブシートの他の実施例を示す斜視図
【図８】プローブ装置の他の実施例を示す図
【符号の説明】
１０プローブ装置
１２液晶パネル
１４液晶パネルの電極
１６液晶パネルのアライメントマーク
２０プローブブロック
２２プローブシート
２４第１の接続シート（タブ）
２６第２の接続シート（ＦＰＣ）
２８プローブホルダ
３０プローブシートの配線
３２プローブシートのガラス板
３４接触子（突起電極）
３６樹脂層
３８プローブシートのアライメントマーク
４０テレビカメラ
４２，４４，５０接続シートの配線
４６，５２接続シートのフィルム
４８駆動用集積回路
５６プローブベース
５８アーム
６０押圧機構
６８ベース部材
７０調整ねじ
７２，７４弾性体
７６ガイドピン[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a probe sheet and a probe device used for inspecting a flat object such as a liquid crystal panel and an integrated circuit, and more particularly to a probe sheet and a probe device suitable for inspecting a liquid crystal panel.
[0002]
[Prior art]
In general, flat inspection objects such as integrated circuits and liquid crystal panels are inspected using a probe device such as a probe card. As one of the probe devices of this type, a plurality of wirings extending in parallel to each other are formed on one surface of an electrically insulating film or glass plate, and a part of each wiring is used as a contact portion to an electrode of an object to be inspected. Some use a probe sheet. Such a probe sheet is also called a surface probe because it is flat.
[0003]
The probe device using the probe sheet does not require a needle stand operation compared to a needle type probe device using a probe formed from a thin metal wire or a blade type probe device using a blade-like probe. Easy to manufacture and inexpensive.
[0004]
Various probe devices using a probe sheet have been proposed and put into practical use. Such probe devices generally have one or more probe sheets assembled to a substrate. Further, since the size of the object to be inspected, the number of electrodes of the object to be inspected, the arrangement pitch of the electrodes, and the like vary depending on the type of the object to be inspected, a probe device corresponding to the type of object to be inspected is assembled in the inspection apparatus. .
[0005]
[Problems to be solved]
However, in the conventional probe device, when the probe device is not correctly assembled to the inspection device, or when the probe device or the probe sheet is thermally expanded and contracted, the coordinate position of the probe element (particularly the contact portion) with respect to the inspection device is As a result, the probe element does not correctly contact the electrode of the object to be inspected, and a correct inspection (test) cannot be performed.
[0006]
In the probe sheet and the probe apparatus using the probe sheet, it is important that the position of the contact portion with respect to the inspection apparatus can be easily adjusted.
[0007]
The probe sheet according to the present invention, Elastic deformation is possible A plurality of wirings formed in a state extending in a second direction intersecting the first direction with an interval in the first direction on the glass plate; Each wiring Provided with a contact portion that comes into contact with the electrode of the object plural Including wiring, Said each wiring Contact part is each Multiple protruding electrodes protruding from the wiring Including each wiring The protruding electrode provided on the inspection object is one of the electrodes of the object to be inspected. Can contact , Each wiring In the projection electrode, the wirings Different amount of protrusion from The protruding electrodes of each wiring are arranged at intervals in the longitudinal direction of the wiring on which the protruding electrodes are provided. . A plurality of alignment marks can be provided on the glass plate.
[0008]
The probe device according to the present invention includes a probe sheet, a probe holder to which the probe sheet is mounted, and a plurality of television cameras, Elastic deformation is possible A plurality of wirings formed in a state extending in a second direction intersecting the first direction with an interval in the first direction on the glass plate; Each wiring Provided with a contact portion that comes into contact with the electrode of the object plural A plurality of alignment marks formed on the glass plate at intervals in the first direction and photographed by the television camera; each wiring The protruding electrode provided on the inspection object is one of the electrodes of the object to be inspected. Can contact , Each wiring In the projection electrode, the wirings Different amount of protrusion from The protruding electrodes of each wiring are arranged at intervals in the longitudinal direction of the wiring on which the protruding electrodes are provided. .
[0009]
The alignment mark is photographed by the television camera of the probe device in a state where the probe device using the probe sheet is assembled to the inspection device. The coordinate position of the alignment mark on the inspection apparatus is obtained using the output signal of the television camera. The obtained coordinate position is used for adjustment of the coordinate position in the inspection software. Thereby, the position of the contact part with respect to a test | inspection apparatus is adjusted.
[0010]
As described above, according to the present invention, since the glass plate is used as the sheet-like member and the plurality of alignment marks are formed on the glass plate at intervals in the first direction, the position of the contact portion with respect to the inspection apparatus is easy. Can be adjusted.
[0012]
The contact portion includes a plurality of protruding electrodes that protrude from the wiring and have different protruding amounts from the wiring. From that If the protruding electrode with a large protruding amount is worn, the protruding electrode with a small protruding amount comes into contact with the electrode of the object to be inspected. Or probe device The lifetime of
[0013]
The protruding electrodes of each wiring can be spaced in the longitudinal direction of the corresponding wiring. By doing so, when wear occurs in the protruding electrode having a large protruding amount, the protruding electrode having a small protruding amount reliably contacts the electrode of the object to be inspected.
[0014]
The contact portion may be formed on one surface of the glass plate, and the probe sheet may further include a resin layer that covers the other surface of the glass plate. By doing so, the glass plate is reinforced by the resin layer.
[0015]
The glass plate has a rectangular planar shape, the wiring extends from one of a pair of opposing edges of the rectangle to the other, and the contact portion is formed at one end of the wiring; The probe sheet has a portion of the contact portion protruding from one end portion of the probe holder in the second direction, and the glass plate and the wiring can be made transparent. By doing so, the positional relationship between the wiring of the probe sheet and the electrode of the object to be inspected can be confirmed through the protruding region of the probe sheet from the probe holder.
[0016]
The probe device can further include a pressing mechanism that causes the probe sheet to act on the probe sheet by displacing the arrangement portion of the contact portion toward the electrode of the object to be inspected. By doing so, when the contact portion of the probe sheet and the electrode of the object to be inspected are relatively pressed, the arrangement region of the contact portion of the probe sheet is prevented from being greatly bent with respect to the rear region. .
[0017]
The probe device further includes a probe base on which the probe holder is detachably disposed, and an arm having one end and the other end in the second direction, and the other end is an upper side of the probe base. An arm coupled to the probe base at the other end so as to be pivotable about an axis extending in the first direction and the pressing mechanism is disposed at one end of the arm it can. By doing so, when the probe holder is attached to or detached from the probe base, the arm can be displaced to a position that does not hinder the attachment or detachment of the probe holder.
[0018]
The probe device further includes a tab disposed on the probe holder, the tab having an integrated circuit connected to the wiring of the probe sheet, and a plurality of wirings connected to the wiring of the probe sheet via the integrated circuit. And a flat cable including the second wiring. By doing so, in addition to the fact that the probe sheet forms the wiring on the glass plate, not only the tab and the flat cable can be thermocompression bonded, but also the probe sheet and the tab can be thermocompression bonded. it can.
[0019]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
1 to 6, the probe device 10 is used as a probe unit in a part of the inspection device for the liquid crystal panel 12 shown in FIGS. In the present invention, the liquid crystal panel 12 side is referred to as the front, and the opposite side is referred to as the rear.
[0020]
The liquid crystal panel 12 has a rectangular shape, and a plurality of strip-shaped electrodes 14 (see FIGS. 3 and 6) are formed at predetermined pitches on edges corresponding to one or more sides of the rectangle. . For this reason, the inspection apparatus is provided with one or more probe devices 10 as shown for each edge of the liquid crystal panel 12 provided with electrodes. The liquid crystal panel 12 also has a cross-shaped alignment mark 16 (see FIG. 5) at each end in the electrode arrangement direction (first direction).
[0021]
The probe device 10 includes a probe block 20. In the illustrated example, the probe block 20 includes a probe sheet 22, a plurality of first connection sheets 24 connected to the probe sheet 22, and a second connection sheet 26 connected to each first connection sheet 24. The probe holder 28 to which the sheets 22, 24 and 26 are attached is formed.
[0022]
The probe sheet 22 is a film probe in which a plurality of wirings 30 extending in the front-rear direction (second direction) at intervals in the left-right direction (first direction) are formed on one surface of the glass plate 32 by a printed wiring technique. Unit (surface probe). The probe sheet 22 has a rectangular shape that is long in the arrangement direction (first direction) of the wirings 30 in plan view. In the illustrated example, the same number of wirings 30 as the number of electrodes provided on one edge of the liquid crystal panel 12 are formed on the glass plate 32.
[0023]
Each wiring 30 has a strip shape and extends from one end (front end) to the other end (rear end) in the width direction (front-rear direction = second direction) of the glass plate 32. The arrangement pitch of the wirings 30 is the same as the arrangement pitch of the electrodes of the liquid crystal panel 12. Each wiring 30 can be a transparent electrode such as an alloy oxide film (ITO) of indium and tin. The wiring 30 is divided into a plurality of wiring groups corresponding to the first connection sheet 24, and is connected to the first connection sheet 24 corresponding to each wiring group.
[0024]
The probe sheet 22 also has a plurality of contacts 34 spaced in the second direction at the front end of each wiring 30. Each contact 34 is made of a conductive metal material such as nickel, and is a pyramid-shaped protruding electrode in the illustrated example. The protruding height of the contact 34 from each wiring 30 is different from each other as shown in FIG.
[0025]
Similar to the glass substrate of the liquid crystal panel 14, the glass plate 32 is made of transparent tempered glass, and the other surface is covered with a transparent resin layer 36 such as polyimide. The resin layer 36 prevents the glass plate 32 from being damaged, and the probe sheet 22 is reinforced.
[0026]
The glass plate 32 has a cross-shaped alignment mark 38 at each end in the longitudinal direction (first direction). The alignment mark 38 can be photographed by a television camera 40 (see FIG. 5) described later. The alignment mark 16 provided on the liquid crystal panel 12 can also be photographed by the television camera 40.
[0027]
The first connection sheet 24 is a tab (TAB = tape automated mounting) in which a plurality of strip-like wirings 42 and 44 are formed on one surface of an electrically insulating film 46 such as polyimide by a printed wiring technique. A driving integrated circuit 48 electrically connected to the wirings 42 and 44 is provided on one surface.
[0028]
Each wiring 42 of each first connection sheet 24 corresponds to the wiring 30 of the probe sheet 22 on a one-to-one basis, and is electrically connected to the rear end portion of the corresponding wiring 30. The integrated circuit 48 is used for driving the liquid crystal panel 12, receives a driving control signal from the wiring 44, and outputs a driving signal to the wiring 42. The probe sheet 22 and the first connection sheet 24 can be joined by an appropriate technique such as thermocompression bonding or adhesion.
[0029]
The second connection sheet 26 is a flexible printed wiring board (FPC) or flat cable (FFC) in which a plurality of strip-like wirings 50 are formed on one surface of an electrically insulating film 52 such as polyimide by a printed wiring technique. is there. Each wiring 50 of each second connection sheet 26 corresponds to the wiring 44 of the first connection sheet 24 on a one-to-one basis, and is electrically connected to the rear end portion of the corresponding wiring 44. The first and second connection sheets 24 and 26 can also be joined by an appropriate method such as thermocompression bonding or adhesion.
[0030]
The probe holder 28 is a thick plate-like block that is long in the longitudinal direction (first direction) of the probe sheet 22 and is made of an electrically insulating material. The sheets 22, 24, and 26 are disposed on the lower surface of the probe holder 28 and are attached to the probe holder 28 by an appropriate method such as adhesion or screwing.
[0031]
In the probe sheet 22, the arrangement area of the contact 34 protrudes from the probe holder 28 to the liquid crystal panel 12 side (front), the position where the alignment mark 38 is formed protrudes from the probe holder 28 in the first direction, and the resin layer 36 is the probe holder. The probe holder 28 is mounted on the 28 side.
[0032]
The first connection sheet 24 is attached to the probe holder 28 on the film 46 so that the wirings 42 and 44 and the integrated circuit 48 are on the probe holder 28 side lower side. The second connection sheet 26 is attached to the probe holder 28 in the film 52 so that the film 52 is on the probe holder 28 side. The electrical connection between the wirings 30 and 42 and the electrical connection between the wirings 44 and 50 may be performed by bringing the wirings into direct contact with each other or via a conductive member.
[0033]
The front end portion of each wiring 30, the portion of the glass plate 32 corresponding to the front end portion, and the contact 34 act as probe elements. Accordingly, the front end portion of the probe sheet 22, particularly the region where the contact 34 is formed, acts as a probe region and projects forward from the probe holder 28.
[0034]
The probe holder 28 is assembled to the lower surface of the plate-like probe base 56 by a plurality of screw members 54 (see FIG. 3). The probe base 56 is assembled to a frame (not shown) of the inspection apparatus.
[0035]
The probe device 10 also includes an arm 58 connected to the probe base 56, a pressing mechanism 60 that is disposed at the front end of the arm 58 and presses the front end of the probe sheet 22 downward, and the pressing mechanism 60 includes the probe sheet 22. And a plurality of screw members 62 that maintain the arm 58 in a releasable state. The front end portion of the probe sheet 22 protrudes further forward from the pressing mechanism 60.
[0036]
The arm 58 has a substantially U-shaped shape at one end (front part) and the other end (rear part) in the width direction (second direction) of the probe sheet 22 and extends in the first direction. 64 and a pair of brackets 66 spaced in the first direction are coupled to the probe base 56 at the other end.
[0037]
One end of the arm 58 extends diagonally up and down on the front side of the probe holder 28 and the probe base 56, and the other end of the arm 58 is positioned above the probe base 56. The bracket 66 is provided on the probe base 56. The screw member 62 is screwed into a screw hole formed in the probe base 56.
[0038]
As shown in FIGS. 3 and 4, the pressing mechanism 60 includes a prismatic base member 68 disposed below the front end portion of the arm 58 and a front end portion of the arm 58 that vertically penetrates the base member 68. One or more adjusting screws 70, a pair of first elastic bodies 72 disposed between the arm 58 and the base member 68 to urge the base member 68 downward with respect to the arm 58, and the base member 68 A second elastic body 74 disposed on the lower surface of the probe sheet 22 and in contact with the upper surface of the front end portion of the probe sheet 22; and a pair of guide pins 76 extending in the vertical direction with an adjustment screw 70 therebetween and spaced in the horizontal direction. Prepare.
[0039]
In the illustrated example, three adjustment screws 70, three pairs of first elastic bodies 72, and three pairs of guide pins 76 are provided. The first elastic body 72 is provided for each guide pin 76. The adjustment screw 70 is adjusted so as not to deform the probe sheet 22 in a state where the contact 34 is not pressed against the electrode 14.
[0040]
The base member 68 extends in the first direction, and is assembled to the arm 58 by an adjustment screw 70 and a guide pin 76 so as to be movable in the vertical direction. The guide pin 76 is supported by one of the arm 58 and the base member 68 and is received by the other of the arm 58 and the base member 68 so as to be relatively movable in the vertical direction. Extends through.
[0041]
The first elastic body 72 is a compression coil spring in the illustrated example, but may be another member such as rubber. The second elastic body 74 is formed in a thick plate shape by an elastic material such as silicone rubber, and is assembled to the base member 68 so as to extend in the first direction.
[0042]
As shown in FIG. 5, the alignment marks 16 and 38 are formed at positions that coincide with each other when the positional relationship between the probe device 10 and the liquid crystal substrate 12 is correct. The alignment mark 16 and the electrode 14 are formed so that they have a predetermined positional relationship. Similarly, the alignment mark 38 and the wiring 30 (in particular, the contactor 34) are formed so that they have a predetermined positional relationship.
[0043]
As shown in FIG. 5, the television camera 40 is provided for each pair of alignment marks 16 and 38, and the probe is so selected as to selectively or simultaneously photograph the alignment marks 16 and 38 through the lens barrel 80. It is arranged on the base 56.
[0044]
When the probe sheet 22 is attached to the probe holder 28, the position of the alignment mark 38 is moved from the probe holder 28 and the pressing mechanism 60 in the first direction so that the alignment mark 38 is not hidden by the probe holder 28 and the pressing mechanism 60. Further, the front end portion protrudes forward from the pressing mechanism 60.
[0045]
Prior to the inspection, the probe device 10 and the inspection device using the probe device 10 are aligned. For example, in the alignment, first, in a state where the probe apparatus 10 is assembled to the inspection apparatus, the alignment mark 38 of the probe sheet 22 is photographed by the TV camera 40, and then the alignment on the inspection apparatus is performed based on the output signal of the TV camera 40 This can be done by obtaining the coordinate position of the mark 38 and then adjusting or changing the coordinate position of the alignment mark 38 in the inspection software based on the obtained coordinate position. Thereby, the coordinate position of the contact 34 with respect to the inspection apparatus in the inspection software is apparently corrected.
[0046]
Such alignment on the inspection software is performed at a predetermined opportunity, for example, every predetermined period or every inspection of the liquid crystal panel when the probe apparatus 10 assembled in the inspection apparatus is replaced. However, the position of the contact 34 with respect to the inspection apparatus can be easily adjusted using the alignment mark 38 as described above.
[0047]
Prior to the actual inspection of the liquid crystal panel 12, the alignment of the liquid crystal panel 12 with respect to the probe device 10 is performed. In this alignment, while the alignment marks 16 and 38 are alternately photographed, the liquid crystal panel 12 is two-dimensionally arranged with respect to the probe sheet 22 so that the positions of the alignment marks 16 and 38 coincide in the image photographed by the television camera 40. This can be done by moving it automatically. This alignment is performed every time the liquid crystal substrate 12 is replaced.
[0048]
At the time of inspection, first, the probe device 10 and the liquid crystal panel 12 are relatively moved in the direction in which they approach each other. Thereby, as shown in FIG. 6A, one or more contacts 34 are brought into contact with the electrodes 14 of the liquid crystal panel 12. At this point, the probe sheet 22 is slightly tilted with respect to the liquid crystal panel 12, and one or more contacts 34 are not in contact with the electrodes. However, since the contact 34 protrudes from below the wiring 30, the contact 34 contacts the electrode 14, but the wiring 30 does not contact the electrode.
[0049]
Next, the probe device 10 and the liquid crystal panel 12 are relatively moved in the direction in which they approach each other. Thereby, as shown in FIG. 6B, the overdrive acts on the tip portion of the probe sheet 22, that is, the probe region in a state where the upward bending of the probe sheet 22 is blocked by the pressing mechanism 60. The sheet 22 is slightly elastically deformed against the force of the elastic body 72, and the one or more contacts 34 are pressed against the electrode 14.
[0050]
When the contact 34 of the probe sheet 22 is pressed against the electrode 14 of the liquid crystal panel 12, the arm 58 and the pressing mechanism 60 have a front end portion (arrangement area of the contact 34) of the probe sheet 22 larger than the area behind it. Prevent bending. Further, when the contact 34 of the probe sheet 22 is pressed against the electrode 14 of the liquid crystal panel 12, the elastic body 74 is elastically deformed, so that the contact pressure (needle pressure) between the contact 34 and the electrode 14 increases. .
[0051]
When the probe sheet 22 is bent by overdrive, the one or more contacts 34 slide relative to the electrode 14 while in contact with the electrode 14. Thereby, the oxide film on the surface of the electrode 14 is scraped off, and the electrical connection state between the electrode 14 and the contact 34 is improved.
[0052]
When the probe device 10 and the liquid crystal panel 12 are relatively moved in the approaching direction, the positional relationship between the wiring 30 of the probe sheet 22 and the electrode 14 of the liquid crystal panel 12 through the protruding region of the probe sheet 22 is visually or This can be confirmed using an appropriate TV camera.
[0053]
In the above state, each wiring 30 is energized and the liquid crystal panel 12 is inspected. When the inspection is completed, the relative pressing between the probe device 10 and the liquid crystal panel 12 is released, whereby the front end portion of the probe sheet 22 returns to the original shape.
[0054]
When the inspection of the liquid crystal panel 12 is repeated, as shown in FIG. 6C, the contact 34 having a large protruding amount from the wiring 30 is worn, and the contact 34 having a small protruding amount from the wiring 30 contacts the wiring 30. Begin to. For this reason, one of the contacts 34 reliably contacts the electrode 14 and the life of the probe sheet 22 is extended.
[0055]
When the wiring 30, the glass plate 32, and the resin layer 36 are transparent, when the liquid crystal panel 12 is positioned with respect to the probe sheet 22, the positional relationship between the wiring 30 of the probe sheet 22 and the electrode 14 of the liquid crystal panel 12 is determined by the probe holder. 28 and the front end portion of the probe sheet 22 protruding forward from the pressing mechanism 60 can be confirmed. In addition, the alignment mark 16 of the liquid crystal panel 12 can be confirmed through the region of the probe sheet 22 protruding from the probe holder 28 and the pressing mechanism 60 in the first direction, and can be photographed by the television camera 40.
[0056]
When removing the probe block 20 from the probe base 56, first, the screw member 62 is removed from the probe base 56, then the arm 58 is raised to a position where the head of the screw member 54 is exposed upward, and then the probe block 20. Is removed from the probe block 20.
[0057]
When mounting the probe block 20 to the probe base 56, the probe block 20 is removed from the probe base 56 as described above, then the screw member 54 is screwed into the new probe block 20, and then the arm 58 is lowered and screwed. The member 62 is screwed into the probe base 56.
[0058]
In a state where the probe block 20 is newly attached to the probe base 56, the elastic body 74 of the pressing mechanism 60 is in contact with the distal end portion of the probe sheet 22, and the pressing force of the probe sheet 22 by the pressing mechanism 60 is adjusted. Adjustment and adjustment are performed by the screw 70. Thereafter, alignment using the alignment mark 38 of the new probe block 20 is performed.
[0059]
When the probe block 20 can be attached to and detached from the probe base 56 by tightening and loosening the screw members 54 and 62 as described above, the attachment and detachment work of the probe block 20 to the probe base 56 is facilitated. Further, if the probe block 20 can be attached to and detached from the probe base 56 with the arm 58 raised, the arm 58 and the pressing mechanism 60 do not hinder the attachment or detachment of the probe block 20.
[0060]
As shown in FIG. 7, a slit 78 that partitions a probe element group (probe region) composed of a plurality of probe elements may be formed in the glass plate 32 and the resin layer 36. Further, the contact 34 may be an electrode having another shape such as a hemispherical shape, a short cylindrical shape, a short polygonal column shape, a rectangular parallelepiped shape, a ring shape, or the like.
[0061]
In the embodiment shown in FIG. 1, the probe sheet 22 is not separated from adjacent probe elements. Therefore, when the probe region is deformed, the probe element 22 is prevented from being displaced in the left-right direction by the elastic body 74.
[0062]
On the other hand, in the embodiment shown in FIG. 7, since the adjacent probe regions are separated by the slits 78, when the probe regions of the probe sheet 22 are elastically deformed, the adjacent probe regions are independently deformed. At this time, since each probe element is elastically deformed while compressing and deforming a corresponding portion of the elastic body 74, the tip of the adjacent probe element is not separated from the displacement of the probe element in the first direction. Coupled with the elastic body 74.
[0063]
In the above embodiment, since the probe sheet 22 has the same number of wirings 30 as the electrodes 14 formed on one edge of the liquid crystal panel 12, the inspection apparatus has each edge of the liquid crystal panel 12 provided with the electrodes 14. One probe device 10 is arranged in the section.
[0064]
However, a probe sheet having a plurality of wires (for example, wires connected to one first connection sheet 24) smaller than the number of electrodes 14 formed on one edge of the liquid crystal panel 12 is used, and such a probe is used. A plurality of probe devices 10 using a sheet may be arranged at the edge of the liquid crystal panel 12 provided with the electrodes 14. In this case, the plurality of probe devices 10 can be mounted on a common probe base 56 as shown in FIG.
[0065]
It is preferable to provide the probe block 20 and the probe base 56 with a stopper for mechanically positioning the probe block 20 and the probe base 56 in the first and second directions and a stopper surface with which the stopper abuts.
[0066]
If the front end portion of the probe sheet 22 protrudes forward from the pressing mechanism 60 as in the above embodiment, the positional relationship between the wiring 30 of the probe sheet 22 and the electrode 14 of the liquid crystal panel 12 is probed as described above. The advantage that it can confirm through the front-end part of the sheet | seat 22 can be acquired. However, the front end portion of the probe sheet 22 does not have to be so projected.
[0067]
Compared with a film made of synthetic resin such as polyimide, glass has a remarkably small dimensional change due to a temperature change, a change with time, an environmental change, and the like. The probe sheet 22 using such a glass plate 32 is stable in various dimensions for a long time, such as the wiring arrangement pitch and the relative positional relationship between the alignment mark and the wiring. Further, even if the probe sheet 22 and the connection sheet 24 are joined by thermocompression bonding, the dimensional change due to the bonding hardly occurs.
[0068]
When the present invention is applied to a probe sheet and a probe device used in a liquid crystal panel inspection apparatus, the glass plate 32 is made of the same material as the glass substrate of the liquid crystal panel 12 and has the same properties, so that the temperature changes. This has an advantage that the deformation amount with respect to various environmental changes is the same between the glass substrate of the liquid crystal panel 12 and the glass plate 32, which is preferable. However, the present invention can also be applied to a probe sheet and a probe device that are used for inspection of other flat inspection objects such as integrated circuits.
[0069]
The present invention can be applied not only to a probe sheet and a probe apparatus for an object to be inspected horizontally but also to a probe sheet and a probe apparatus for an object to be inspected obliquely. In the latter case, the vertical direction is an oblique direction.
[0070]
The present invention is not limited to the above embodiments. The present invention can be variously modified without departing from the gist thereof.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a probe sheet according to the present invention.
FIG. 2 is a plan view showing a part of the probe sheet shown in FIG. 1 in detail.
FIG. 3 is a cross-sectional view showing an embodiment of the probe apparatus according to the present invention.
4 is a perspective view of the probe device shown in FIG.
5 is a perspective view showing a part of the probe device shown in FIG. 3 in detail.
FIG. 6 is a view for explaining the action of the probe sheet.
FIG. 7 is a perspective view showing another embodiment of the probe sheet.
FIG. 8 is a diagram showing another embodiment of the probe device.
[Explanation of symbols]
10 Probe device
12 LCD panel
14 LCD panel electrodes
16 LCD panel alignment marks
20 Probe block
22 Probe sheet
24 First connection sheet (tab)
26 Second connection sheet (FPC)
28 Probe holder
30 Probe sheet wiring
32 Glass plate of probe sheet
34 Contact (projection electrode)
36 Resin layer
38 Probe sheet alignment mark
40 TV camera
42, 44, 50 Wiring of connection sheet
46,52 Connection sheet film
48 Integrated circuits for driving
56 Probe base
58 arms
60 Pressing mechanism
68 Base member
70 Adjustment screw
72, 74 Elastic body
76 Guide pin

Claims

A glass plate capable of elastic deformation, and a plurality of wirings formed in a state extending in a second direction intersecting the first direction with an interval in the first direction on the glass plate. And a plurality of wirings having contact portions that are in contact with the electrodes of the object to be inspected, and each contact portion of each wiring includes a plurality of protruding electrodes protruding from each wiring, and the protruding electrodes provided on each wiring Can be in contact with one of the electrodes of the object to be inspected, and in each wiring, the protruding electrode has a different amount of protrusion from the wiring, and the protruding electrode of each wiring is provided with the protruding electrode. A probe sheet arranged at intervals in the longitudinal direction of the wiring.

The probe sheet according to claim 1, wherein a plurality of alignment marks are formed on the glass plate.

The glass plate has a rectangular planar shape, the wiring extends from one of a pair of opposing edges of the rectangle to the other, and the contact portion is formed at one end of the wiring. The probe sheet according to any one of claims 1 and 2.

The probe sheet according to claim 3, wherein the glass plate and the wiring are transparent.

The contact portion is formed on one surface of the glass plate, and the probe sheet further includes a resin layer covering the other surface of the glass plate. Probe sheet.

The probe sheet includes a probe sheet, a probe holder to which the probe sheet is mounted, and a plurality of television cameras. The probe sheet includes an elastically deformable glass plate, and the glass plate is spaced in a first direction. A plurality of wirings formed in a state extending in a second direction intersecting the first direction, each wiring having a contact portion in contact with an electrode of a device under test; and the first wiring A plurality of alignment marks formed on the glass plate at intervals in the direction of the alignment mark and photographed by the television camera, and the contact portion of each wiring is a plurality of protrusions protruding from each wiring The protruding electrode provided on each wiring can be in contact with one of the electrodes of the object to be inspected, and the protruding electrode has a different protruding amount from each wiring in each wiring. The protruding electrode lines are spaced in the longitudinal direction of the wires is protrusion electrode is provided, the probe device.

The glass plate has a rectangular planar shape, the wiring extends from one of a pair of opposing edges of the rectangle to the other, and the contact portion is formed at one end of the wiring, The probe device according to claim 6, wherein the probe sheet projects a portion of the contact portion from one end portion of the probe holder in the second direction, and the glass plate and the wiring are transparent.

The probe device according to claim 6, further comprising a pressing mechanism that causes the probe sheet to act on the probe sheet to displace the arrangement portion of the contact portion toward the electrode of the object to be inspected.

And a probe base in which the probe holder is detachably disposed, an arm having one end and the other end in the second direction, wherein the other end is on the upper side of the probe base. 9. An arm coupled to the probe base at the other end so as to be pivotable about an axis extending in a first direction, the pressing mechanism being disposed at one end of the arm. The probe apparatus as described.

Further, a tab disposed on the probe holder and including an integrated circuit connected to the wiring of the probe sheet, and a plurality of second wirings connected to the wiring of the probe sheet via the integrated circuit The probe apparatus of any one of Claim 6 to 9 including a flat cable provided with.