JP4450968B2 - 走査型近視野顕微鏡用プローブの製造方法 - Google Patents
走査型近視野顕微鏡用プローブの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4450968B2 JP4450968B2 JP2000327118A JP2000327118A JP4450968B2 JP 4450968 B2 JP4450968 B2 JP 4450968B2 JP 2000327118 A JP2000327118 A JP 2000327118A JP 2000327118 A JP2000327118 A JP 2000327118A JP 4450968 B2 JP4450968 B2 JP 4450968B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stopper
- chip
- opening
- tip
- cantilever
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Optical Head (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、走査型近視野顕微鏡用プローブの作製方法とその製造方法によって作製された走査型近視野顕微鏡用プローブに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
試料表面においてナノメートルオーダの微小な領域を観察するために走査型トンネル顕微鏡(STM)や原子間力顕微鏡(AFM)に代表される走査型プローブ顕微鏡(SPM)が用いられている。SPMは、先端が先鋭化されたプローブを試料表面に走査させ、プローブと試料表面との間に生じるトンネル電流や原子間力などの相互作用を観察対象として、プローブ先端形状に依存した分解能の像を得ることができるが、比較的、観察する試料に対する制約が厳しい。
【0003】
そこでいま、チップ先端に形成された開口から照射される近視野光と試料との間に生じる相互作用を観察対象とすることで、試料表面の微小な領域の観察を可能にした近視野光学顕微鏡(SNOM)が注目されている。
【0004】
近視野光学顕微鏡においては、先鋭化された光ファイバーの先端に設けられた開口から近視野光を試料の表面に照射する。開口は、光ファイバーに導入される光の波長の回折限界以下の大きさを有しており、たとえば、100nm程度の直径である。プローブ先端に形成された開口と試料間の距離は、SPMの技術によって制御され、その値は開口の大きさ以下である。このとき、試料上での近視野光のスポット径は、開口の大きさとほぼ同じである。したがって、試料表面に照射される近視野光を走査することで、微小領域における試料の光学物性の観測を可能としている。
【0005】
顕微鏡としての利用だけでなく、光ファイバープローブを通して試料に向けて比較的強度の大きな光を導入させることにより、光ファイバープローブの開口にエネルギー密度の高い近視野光を生成し、その近視野光によって試料表面の構造または物性を局所的に変更させる高密度な光記録としての応用も可能である。強度の大きな近視野光を得るために、プローブ先端の先端角を大きくすることが試みられている。
【0006】
近視野光を利用したデバイスにおいて、開口の形成が最も重要である。開口の作製方法の一つとして、特公平5-21201に開示されている方法が知られている。開口を形成するプローブとして、先鋭化した光波ガイドに遮光膜を堆積したものを用いている。開口の作製方法は、遮光膜付きの先鋭化した光波ガイドを圧電アクチュエータによって良好に制御された非常に小さな押しつけ量で硬い平板に押しつけることによって、先端の遮光膜を塑性変形させている。
【0007】
また、他の開口の形成方法として、特開平11-265520に開示されている方法がある。開口を形成する対象は、平板上に集束イオンビーム(FIB)によって形成された突起先端である。開口の形成方法は、突起先端の遮光膜に、側面からFIBを照射し、突起先端の遮光膜を除去することによって行っている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特公平5-21201の方法によれば、光波ガイド一本ずつしか開口を形成する事ができない。また、特公平5-21201の方法によれば、移動分解能が数nmの圧電アクチュエータによって押し込み量を制御する必要があるため、開口形成装置を空気などの振動による影響が少ない環境におかなくてはならない。また、光波ロッドが平板に対して垂直に当たるように調整する時間がかかってしまう。また、移動量の小さな圧電アクチュエータの他に、移動量の大きな機械的並進台が必要となる。さらに、移動分解能が小さな圧電アクチュエータをもちいて、押し込み量を制御するさいに、制御装置が必要であり、かつ、制御して開口を形成するためには数分の時間がかかる。したがって、開口作製のために、高電圧電源やフィードバック回路などの大がかりな装置が必要となる。したがって、開口形成にかかるコストが高くなる問題があった。
【0009】
また、特開平11-265520の方法によれば、加工対象は平板上の突起であるが、FIBを用いて開口を形成しているため、一つの開口の形成にかかる時間が10分程度と長い。また、FIBを用いるために、試料を真空中におかなければならない。従って、開口作製にかかる作製コストが高くなる問題があった。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、SNOM用カンチレバーの製造方法において、錐状(例えば円錐状)のチップと、前記チップの近傍に配置され、前記チップと略同じ高さを有するストッパーと、少なくとも前記チップ上に形成された遮光膜からなる被開口形成体に対して、少なくとも前記チップおよび前記ストッパーの少なくとも一部を覆うような略平面を有する押し込み体を、前記チップに向かう成分を有する力によって変位させることによって、前記チップ先端に光学的な開口を形成する押し開け工程を含むことを特徴とする走査型近視野顕微鏡用プローブの製造方法とした。
【0011】
また、前記ストッパーが走査型近視野顕微鏡用プローブの構成要素に含まれないように、前記ストッパーを除去する工程を含むことを特徴とする走査型近視野顕微鏡用プローブの製造方法とした。
【0012】
また、前記走査型近視野顕微鏡用プローブのカンチレバーと前記ストッパーが重ならないように配置されたことを特徴とする走査型近視野顕微鏡用プローブの製造方法とした。
【0013】
また、前記ストッパーを除去する工程が、前記カンチレバーの形成工程前に、前記ストッパー以外を保護膜で覆い、前記ストッパーをエッチング工程で除去する工程であることを特徴とする走査型近視野顕微鏡用プローブの製造方法とした。
【0014】
したがって、前記チップと略同じ高さを有するストッパーによって、前記平面の変位が制御されるため、所定の力で平面を押すだけで簡単に光学的な開口を作製する事ができる。また、真空中、液中、大気中など様々な環境下で開口を作製することができる。また、光学的な開口を作製する際に特別な制御装置を必要としないため、光学的な開口を作製するための装置を単純化する事ができる。また、所定の力を与える時間を非常に短くすることが容易であり、開口作製にかかる時間を短くすることができるため、開口作製にかかるコストを低くすることができる。ストッパーを除去する工程を含んでいるため、SNOM用カンチレバーの構成要素にストッパーが含まれず、ストッパーがSNOM測定のじゃまになるようなことがない。したがって、大きさが均一な開口を有するSNOM用カンチレバーを大量に製造することが容易となる。また、開口形成にかかる費用が少ないため、SNOM用カンチレバーの製造コストを低減できる。また、任意の大きさの開口を一枚のウエハ上に作製することができるため、さまざまな分解能を有するSNOM用カンチレバーを同時に作製する事ができる。
【0015】
また、基部と、前記基部からのびる片持ち梁状のカンチレバーと、前記カンチレバー上の自由端近傍に形成され測定試料側に突出し先鋭化されたチップと、前記チップおよび前記カンチレバーの少なくとも一部を覆うように形成された遮光膜と、前記チップの先端に形成された開口からなる走査型近視野顕微鏡用プローブにおいて、前記開口が前記押し開け工程によって製造されたことを特徴とする走査型近視野顕微鏡用プローブとした。
【0016】
また、前記走査型近視野顕微鏡用プローブにおいて、前記チップの先端が前記遮光膜よりも試料側に飛び出していることを特徴とする走査型近視野顕微鏡用プローブとした。
【0017】
押し開け工程によって開口を形成しているため低コストで走査型近視野顕微鏡用プローブを提供できる。また、チップの先端が遮光膜よりも突出した構造である走査型近視野顕微鏡用プローブは、高分解能なAFM像やSNOM像を得ることができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の開口の形成方法について、添付の図面を参照して詳細に説明する。
(実施の形態1)
図1から図3は、本発明の実施の形態1に係る開口の形成方法について説明した図である。図1に示すワーク1000は、基板4上に形成された透明層5、透明層5の上に形成された錐状のチップ1および尾根状のストッパー2、チップ1、ストッパー2および透明層5の上に形成された遮光膜3からなる。なお、ワーク1000において、透明層5は、必ずしも必要ではなく、その場合、遮光膜3は、チップ1、ストッパー2および基板4上に形成される。また、遮光膜3は、チップ1にだけ堆積されていてもよい。
【0019】
チップ1の高さH1は、数mm以下であり、ストッパー2の高さH2は、数mm以下である。高さH1と高さH2の差は、1000nm以下である。チップ1とストッパー2の間隔は、数mm以下である。また、遮光膜3の厚さは、遮光膜3の材質によって異なるが、数10nmから数100nmである。
【0020】
チップ1、ストッパー2および透明層5は、二酸化ケイ素やダイヤモンドなどの可視光領域において透過率の高い誘電体や、ジンクセレンやシリコンなどの赤外光領域において透過率の高い誘電体や、フッ化マグネシウムやフッ化カルシウムなどの紫外光領域において透過率の高い材料を用いる。また、チップ1の材料は、開口を通過する光の波長帯において少しでもチップ1を透過する材料であれば用いることができる。また、チップ1、ストッパー2および透明層5は、同一の材料で構成されても良いし、別々の材料で構成されても良い。遮光膜3は、たとえば、アルミニウム、クロム、金、白金、銀、銅、チタン、タングステン、ニッケル、コバルトなどの金属や、それらの合金を用いる。
【0021】
図2は、開口を形成する方法において、チップ1上の遮光膜3を塑性変形させている状態を示した図である。図1で示したワーク1000の上に、チップ1および少なくともストッパー2の一部を覆い、かつ、少なくともチップ1およびストッパー2側が平面である板6を載せ、さらに板6の上には、押し込み用具7を載せる。押し込み用具7にチップ1の中心軸方向に力Fを加えることによって、板6がチップ1に向かって移動する。チップ1と板6との接触面積に比べて、ストッパー2と板6との接触面積は、数100〜数万倍も大きい。したがって、与えられた力Fは、ストッパー2によって分散され、結果として板6の変位量は小さくなる。板6の変位量が小さいため、遮光膜3が受ける塑性変形量は非常に小さい。また、チップ1およびストッパー2は、非常に小さな弾性変形を受けるのみである。力Fの加え方は、所定の重さのおもりを所定の距離だけ持ち上げて、自由落下させる方法や、所定のバネ定数のバネを押し込み用具7に取り付け、所定の距離だけバネを押し込む方法などがある。板6が、遮光膜よりも堅く、チップ1およびストッパー2よりも柔らかい材料である場合、チップ1およびストッパー2が受ける力は、板6によって吸収されるため、板6の変位量がより小さくなり、遮光膜3の塑性変形量を小さくすることが容易となる。
【0022】
図3は、力Fを加えた後に、板6および押し込み用具7を取り除いた状態を示した図である。遮光膜3の塑性変形量が非常に小さく、チップ1およびストッパー2が弾性変形領域でのみ変位しているため、チップ1の先端に開口8が形成される。開口8の大きさは、数nmからチップ1を通過する光の波長程度の大きさである。なお、上記では、押し込み用具7とワーク1000の間に板6が挿入されていたが、板6を除去して直接押し込み用具7で押し込むことによっても同様に開口8を形成できることは、いうまでもない。開口8に光を導入するために、基板4をチップ1の形成面と反対側からエッチングすることによって透明体5またはチップ1の少なくとも一部を露出させて、開口8への光の導入口を形成する。また、基板4を透明材料103で構成することによって、光の導入口を形成する工程を省くことができることは言うまでもない。
【0023】
以上説明したように、本発明の開口作製方法によれば、ストッパー2によって板6の変位量を良好に制御することができ、かつ、板6の変位量を非常に小さくできるため、大きさが均一で小さな開口8をチップ1先端に容易に作製することができる。また、基板側から光を照射して、開口8から近視野光を発生させることができる。
【0024】
次に、ワーク1000の製造方法を図4から図6を用いて説明する。図4は、基板材料104上に透明材料103を形成したのち、チップ用マスク101およびストッパー用マスク102を形成した状態を示している。図4(a)は上面図を示しており、図4(b)は、図4(a)のA-A'で示す位置における断面図を示している。透明材料103は、気相化学堆積法(CVD)やスピンコートによって基板材料104上に形成する。また、透明材料103は、固相接合や接着などの方法によっても基板材料104上に形成することができる。次に、透明材料103上にフォトリソグラフィ工程によって、チップ用マスク101及びストッパー用マスク102を形成する。チップ用マスク101とストッパー用マスク102は、同時に形成しても良いし、別々に形成しても良い。
【0025】
チップ用マスク101およびストッパー用マスク102は、透明材料103の材質と次工程で用いるエッチャントによるが、フォトレジストや窒化膜などを用いる。透明材料103は、二酸化ケイ素やダイヤモンドなどの可視光領域において透過率の高い誘電体や、ジンクセレンやシリコンなどの赤外光領域において透過率の高い誘電体や、フッ化マグネシウムやフッ化カルシウムなどの紫外光領域において透過率の高い材料を用いる。
【0026】
チップ用マスク101の直径は、たとえば数mm以下である。ストッパー用マスク102の幅W1は、たとえば、チップ用マスク101の直径と同じかそれよりも数10nm〜数μmだけ幅が広くても狭くてもよい。また、ストッパー用マスク102の長さは、数10μm以上である。
【0027】
図5は、チップ1およびストッパー2を形成した状態を示している。図5(a)は上面図であり、図5(b)は、図5(a)のA-A'で示す位置の断面図である。チップ用マスク101およびストッパー用マスク102を形成した後、ウエットエッチングによる等方性エッチングによってチップ1およびストッパー2を形成する。透明材料103の厚さとチップ1およびストッパー2の高さの関係を調整することによって、図1に示す透明層5が形成されたり、形成されなかったりする。チップ1の先端半径は、数nmから数100nmである。この後、遮光膜をスパッタや真空蒸着などの方法で堆積する事によって、図1に示すワーク1000を形成する事ができる。また、遮光膜3をチップ1にだけ堆積する場合、遮光膜3の堆積工程において、チップ1上に遮光膜が堆積するような形状を有するメタルマスクを乗せてスパッタや真空蒸着などを行う。また、ワーク1000のチップが形成された面の全面に遮光膜3を堆積した後、チップ1にだけ遮光膜3が残るようなフォトリソグラフィ工程を用いることによっても、チップ1上にだけ遮光膜3を形成する事ができることは言うまでもない。
【0028】
図6および図7は、上記で説明したワーク1000の作製方法におけるチップ1とストッパー2の高さの関係を説明する図である。なお、以下では、チップ用マスク101の直径が、ストッパー用マスク102の幅よりも小さい場合について説明する。図6は、図5(a)で説明した工程において、チップ1とストッパー2だけを示した図であり、図7は、図6中B-B'で示す位置のチップ1と、図6中C-C'で示す位置のストッパー2の断面図である。
図7(a)は、チップ1がちょうど形成された状態を示した図である。ストッパー用マスク102の幅は、チップ用マスク101の直径よりも大きいため、図7(a)の状態では、ストッパー2の上面には、平らな部分が残り、この平らな部分上にストッパー用マスク102が残っている。しかしながら、チップ用マスク101は、チップ1との接触面積が非常に小さくなるため、はずれてしまう。図7(a)の状態では、チップ1の高さH11とストッパー2の高さH22は、同じである。
図7(b)は、図7(a)の状態からさらにエッチングを進め、ストッパー2上面の平らな部分がちょうどなくなった状態を示している。図7(a)の状態からさらにエッチングを行うと、チップ用マスク101が無いチップ1の高さH111は、徐々に低くなっていく。一方、ストッパー用マスクが残っているストッパー2の高さH222は、H22と同じままである。ストッパー2の上面の平らな部分の幅は、徐々に狭くなり、断面形状は図7(b)に示すように、三角形になる。このときのチップ1とストッパー2の高さの差ΔHは、チップ用マスク101の直径とストッパー用マスク102の幅の差、および、チップ1とストッパー2の先端角によって異なるが、おおよそ1000nm以下程度である。
【0029】
図7(c)は、図7(b)の状態からさらにエッチングを進めた状態を示している。チップ1の高さH1111は、高さH111よりも低くなる。同様に、ストッパー2の高さH2222も、高さH222よりも小さくなる。しかし、高さH1111と高さH2222の減少量は、同じであるため、チップ1とストッパー2の高さの差ΔHは、変化しない。なお、ストッパー用マスク102の幅が、チップ用マスク101よりも小さい場合は、チップ1とストッパー2の高さの関係が逆になるだけである。また、チップ用マスク101とストッパー用マスク102が等しい場合は、チップ1とストッパー2の高さが等しくなることは言うまでもない。
【0030】
本発明のワーク1000の作製方法によれば、フォトリソグラフィ工程によってチップ1とストッパー2の高さの差ΔHを良好に制御することができる。したがって、図1から図3で説明した開口作製方法において、板6の変位量を良好に制御することができる。
【0031】
以上説明したように、本発明の実施の形態1によれば、チップ1とストッパー2の高さを良好に制御することができ、かつ、ストッパー2を設けることによって板6の変位量を小さくすることができるため、分解能の高いアクチュエータを用いなくても、大きさが均一で微小な開口8をチップ1先端に形成する事が容易である。我々の実験では、手に持ったハンマーなどで、押し込み用具7を叩くだけで直径100nm以下の開口8を形成する事ができた。また、チップ1とストッパー2の高さが良好に制御されるため、開口8の作製歩留まりが向上した。また、本発明の実施の形態1で説明したワーク1000は、フォトリソグラフィ工程によって作製可能なため、ウエハなどの大きな面積を有する試料に、複数個作製することが可能であり、力Fを一定にすることによって複数個作製されたワーク1000それぞれに対して均一な開口径の開口8を形成する事ができる。また、力Fの大きさを変えることが非常に簡単なため、複数個作製されたワーク1000に対して個別に開口径の異なる開口8を形成する事が可能である。また、単純に力Fを加えるだけで開口8が形成されるため、開口作製にかかる時間は数秒から数10秒と非常に短い。また、本発明の実施の形態1によれば、加工雰囲気を問わない。従って、大気中で加工する事が可能でありすぐに光学顕微鏡などで加工状態を観察できる。また、走査型電子顕微鏡中で加工することによって、光学顕微鏡よりも高い分解能で加工状態を観察することも可能である。また、液体中で加工することによって、液体がダンパーの役目をするため、より制御性の向上した加工条件が得られる。
【0032】
また、ワーク1000が複数個作製された試料に対して、一括で力Fを加えることによって、開口径のそろった開口8を一度に複数個作製する事も可能である。一括で加工する場合、ウエハ一枚あたりのワーク1000の数にもよるが、開口1個あたりの加工時間は、数100ミリ秒以下と非常に短くなる。
(実施の形態2)
次に、実施の形態1で詳述した開口形成方法を用いたSNOM用カンチレバーおよびその製造方法について、図8〜10および図12〜16を用いて説明する。
【0033】
図16は、本発明の第2の実施例に関するSNOM用カンチレバー2000の構成を示した図である。SNOM用カンチレバー2000は、一般的な走査型プローブ顕微鏡用プローブと同様な形状を有しており、基部21上に形成された透明材料201からなるカンチレバー401と、透明材料201からなり基部21とは反対側に形成されたチップ1と、透明材料201上の基部21と反対側に形成された遮光膜3と、チップ1の先端に形成された開口8からなる。チップ1、開口8の形状および寸法は、実施の形態1と同じである。レバー401の長さは、50から1000μmである。レバー401の幅は、10μm以上である。レバー401の厚さは、数10nm以上である。透明材料201は、実施の形態1における透明材料103と同じである。遮光膜3の材料は、実施の形態1と同じである。
【0034】
基部21側から、図示していないレンズや光ファイバーなどによって、図示していない光源からの光をチップ1に導入することによって、SNOM用カンチレバー2000は、開口8から近接場を試料に対して照射することができる。また、開口8によって検出した光を、基部21側に設置された図示していないレンズや光ファイバーなどによって集光する事によって、試料表面に発生した近接場を検出する事ができる。また、走査型プローブ顕微鏡の技術を用いて開口8が、試料上を走査することで試料の光学的特性の2次元分布を得ることができ、同時に試料の凹凸状態を得ることができる。
【0035】
図12から図14は、チップ1、ストッパー2およびレバー401の位置関係を示した図である。
【0036】
チップ1は、レバー401の先端近傍に位置する。ストッパー2は、チップ1の周囲に位置する。ストッパー2とレバー401は、互いに接触しないような配置となっている。たとえば、ストッパー2は、チップ1を中心として放射状にのびた構造である。このとき、ストッパー2の個数は、少なくとも2つ以上必要である。また、図13に示すようにレバー401の長さ方向に略平行に配置されたストッパー2でもよい。また、図14に示すように、チップ1を略中心とするような輪の一部を切り取った形状を有するストッパー2でもよい。
【0037】
本発明の実施の形態2にかかるSNOM用カンチレバーの製造工程を、一例として図14に示すA-A'断面に対応する断面図である図8〜図10を用いて説明する。なお、以下の説明では図面の上をおもて側、図面の下を裏側とする。
【0038】
まず、図8(a)に示すように、裏面に裏面マスク203を有する基板202上に、CVD、スパッタ、スピンコートなどの方法によって透明材料201を堆積する。また、透明材料201は、固相接合や接着などの方法によって基板202上に形成しても良い。透明材料201の材質は、実施の形態1における透明材料103と同様である。基板202は、単結晶シリコンを用いる。また、基板202は、単結晶シリコンの他に、ガラスや石英基板などを用いることもできる。透明材料201の厚さは、後ほど説明するチップ1の高さとレバー211の厚さの和程度である。
【0039】
次に、図8(b)に示すように、フォトリソグラフィ工程によってチップ用マスク204とストッパー用マスク205を透明材料201上に形成する。チップ用マスク204およびストッパー用マスク205の材質は、透明材料201の材質と次工程で用いるエッチャントによるが、フォトレジストや窒化膜などを用いる。また、チップ用マスク204およびストッパー用マスク205の大きさは、実施の形態1で示したチップ用マスク101およびストッパー用マスク102と同じである。
【0040】
次に、図8(c)に示すように、ウエットエッチングによる等方性エッチングによってチップ1およびストッパー2を形成する。このとき、図示していないが裏面マスク203上にフォトレジストなどの保護膜を形成しても良い。チップ1およびストッパー2を形成した後、チップ用マスク204およびストッパー用マスク205を除去する。
【0041】
次に、図9(a)に示すように、フォトリソグラフィ工程によって、レバー用マスク206およびストッパー保護マスク210を形成する。レバー用マスク206は、チップ1を完全に覆うように形成する。レバー用マスク206およびストッパー保護マスク210の材質は、チップ用マスク204およびストッパー用マスク205と同じである。
【0042】
次に、図9(b)に示すように、ウエットエッチングによる等方性エッチングによって透明材料201からなるレバー部212およびストッパー部213を形成する。また、レバー部212およびストッパー部213は、リアクティブイオンエッチングをはじめとするドライエッチングによって形成しても良い。また、このとき裏面の裏面マスク203をフォトリソグラフィー工程によってパターニングする。レバー部212およびストッパー部213を形成した後、レバー用マスク206およびストッパー用マスク206を除去する。
【0043】
次に、図9(c)に示すように、おもて側から遮光膜207を、スパッタや真空蒸着などの方法によって堆積する。遮光膜207の材質および厚さは、本発明の実施の形態1で説明した遮光膜3と同じである。
【0044】
次に、図10(a)に示すように、遮光膜207上にガラス板208を載せ、実施の形態1の図1から図3で説明した工程によって、開口8をチップ1の先端に形成する。
【0045】
開口8を形成した後、図10(b)に示すように、遮光膜207上に保護膜209を形成する。保護膜209は、フォトレジストをはじめとする樹脂や、窒化シリコンをはじめとする誘電体である。
【0046】
次に、図10(c)に示すように、裏面からテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液(TMAH)や水酸化カリウム水溶液(KOH)による結晶異方性エッチングによってカンチレバーをリリースする。また、カンチレバーのリリースは、ドライエッチングなどの方法によっても可能である。カンチレバーのリリース後、遮光膜207を裏面からエッチングすることによって、不要な遮光膜207を取り除く。
【0047】
最後に、図10(d)に示すように、保護膜209を除去し、SNOM用カンチレバー2000が完成する。
【0048】
以上説明したように、本発明の実施の形態2にかかるSNOM用カンチレバーの製造方法によれば、硬い基板上で開口を形成することができるため、本発明の実施の形態1で説明した開口形成方法を用いることができる。また、本発明の実施の形態2にかかるSNOM用カンチレバーの製造方法によれば、ストッパー2を除去する工程を含んでいるため、SNOM用カンチレバー2000の構成要素にストッパー2が含まれず、ストッパー2が測定のじゃまになるようなことがない。したがって、本発明の実施の形態2によれば、大きさが均一な開口を有するSNOM用カンチレバーを大量に製造することが容易である。また、本発明の実施の形態2にかかるSNOM用カンチレバーの製造方法によれば、ガラス板208の変位量が大きい場合、図17に示すようにチップ1の先端が遮光膜8よりも突出した構造となる。したがって、SNOM用カンチレバー2000を用いた場合、AFM像やSNOM像の分解能が向上する。また、開口形成にかかる費用が少ないため、SNOM用カンチレバーの製造コストを低減できる。また、任意の大きさの開口8を一枚のウエハ上に作製することができるため、さまざまな分解能を有するSNOM用カンチレバー2000を同時に作製する事ができる。
(実施の形態3)
次に、本発明の第3の実施の形態にかかるSNOM用カンチレバーの製造方法について説明する。図11は、SNOM用カンチレバーの製造方法を説明する図である。
【0049】
図11(a)に至るまでの工程は、図8〜図 10(a)で説明した工程と同じである。図10(a)で説明した工程の後、図11(a)に示すように、保護膜209を少なくともチップおよびレバーを覆うように堆積する。このとき、ストッパー2は露出するようなパターンとする。
【0050】
次に、ストッパー2上に堆積した遮光膜207をウエットエッチングやドライエッチングによって除去し、さらに、ストッパー2をウエットエッチングやドライエッチングによって除去する。図11(b)は、ストッパー2を除去した後の状態を示す。
【0051】
最後に、図11(c)に示すように、裏面からTMAHやKOHによる結晶異方性エッチングによってカンチレバーをリリースする。
【0052】
以上説明したように、本発明の第3の実施の形態によれば、カンチレバーのリリース工程前にストッパー2を除去するため、カンチレバーリリース工程でストッパー2による残留物が発生しない。したがって、カンチレバーやチップ表面にゴミなどの付着がより少なくなる。
【0053】
【発明の効果】
チップ1とストッパー2の高さ、および、力Fを制御する事によって、分解能の高いアクチュエータを用いなくても、簡単に開口8を形成する事ができる。また、チップ1とストッパー2の高さが良好に制御されるため、開口8の作製歩留まりが向上した。また、本発明の実施の形態1で説明したワーク1000は、フォトリソグラフィ工程によって作製可能なため、ウエハなどの大きな面積を有する試料に、複数個作製することが可能であり、力Fを一定にすることによって複数個作製されたワーク1000それぞれに対して均一な開口径の開口8を形成する事ができる。また、力Fの大きさを変えることが非常に簡単なため、複数個作製されたワーク1000に対して個別に開口径の異なる開口8を形成する事が可能である。また、単純に力Fを加えるだけで開口が形成されるため、開口作製にかかる時間は数10秒以下と非常に短い。また、本発明の実施の形態1によれば、加工雰囲気を問わない。従って、大気中で加工する事が可能でありすぐに光学顕微鏡などで加工状態を観察できる。また、走査型電子顕微鏡中で加工することによって、光学顕微鏡よりも高い分解能で加工状態を観察することも可能である。また、液体中で加工することによって、液体がダンパーの役目をするため、より制御性の向上した加工条件が得られる。
【0054】
また、ワーク1000が複数個作製された試料に対して、一括で力Fを加えることによって、開口径のそろった開口8を一度に複数個作製する事も可能である。一括で加工する場合、ウエハ一枚あたりのワーク1000の数にもよるが、開口1個あたりの加工時間は、数100ミリ秒以下と非常に短くなる。
【0055】
本発明の実施の形態2にかかるSNOM用カンチレバーの製造方法によれば、硬い基板上で開口を形成することができるため、本発明の実施の形態1で説明した開口形成方法を用いることができる。また、本発明の実施の形態2にかかるSNOM用カンチレバーの製造方法によれば、ストッパー2を除去する工程を含んでいる。したがって、SNOM用カンチレバー2000の構成要素にストッパー2が含まれず、ストッパー2が測定のじゃまになるようなことがない。したがって、本発明の実施の形態2によれば、大きさが均一な開口を有するSNOM用カンチレバーを大量に製造することが容易である。また、本発明の実施の形態2にかかるSNOM用カンチレバーの製造方法によれば、ガラス板208の変位量が大きい場合、図17に示すようにチップ1の先端が遮光膜8よりも突出した構造となる。したがって、SNOM用カンチレバー2000を用いた場合、AFM像やSNOM像の分解能が向上する。また、開口形成にかかる費用が少ないため、SNOM用カンチレバーの製造コストを低減できる。また、任意の大きさの開口8を一枚のウエハ上に作製することができるため、さまざまな分解能を有するSNOM用カンチレバー2000を同時に作製する事ができる。
【0056】
また、本発明の第3の実施の形態によれば、カンチレバーのリリース工程前にストッパー2を除去するため、カンチレバーリリース工程でストッパー2による残留物が発生しない。したがって、カンチレバーやチップ表面にゴミなどの付着がより少なくなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1に係る開口の形成方法について説明した図である。
【図2】本発明の実施の形態1に係る開口の形成方法について説明した図である。
【図3】本発明の実施の形態1に係る開口の形成方法について説明した図である。
【図4】ワーク1000の製造方法について説明した図である。
【図5】ワーク1000の製造方法について説明した図である。
【図6】ワーク1000の作製方法におけるチップ1とストッパー2の高さの関係を説明する図である。
【図7】ワーク1000の作製方法におけるチップ1とストッパー2の高さの関係を説明する図である。
【図8】第2の実施例を示す図である。
【図9】第2の実施例を示す図である。
【図10】第2の実施例を示す図である。
【図11】第3の実施例を示す図である。
【図12】第2の実施例を示す図である。
【図13】第2の実施例を示す図である。
【図14】第2の実施例を示す図である。
【図15】第2の実施例を示す図である。
【図16】第2の実施例を示す図である。
【図17】第2の実施例を示す図である。
【符号の説明】
1 チップ
2 ストッパー
3 遮光膜
4 基板
5 透明層
6 板
7 押し込み用具
8 開口
101 チップ用マスク
102 ストッパー用マスク
103 透明材料
104 基板材料
1000 ワーク
F 力
H1 チップの高さ
H2 ストッパーの高さ
Claims (5)
- カンチレバーと前記カンチレバー上に備えられた錐状のチップと前記チップ上に備えられた遮光膜とを有する走査型近視野顕微鏡用プローブにおける前記チップ先端に、押し込み体を接触させることによって前記遮光膜を塑性変形させて開口を形成する走査型近視野顕微鏡用プローブの作製方法において、
前記走査型近視野顕微鏡用プローブと、前記チップと略同じ高さの度当たり部を有するストッパーとを備える被開口形成体を略平坦な面上に形成し、
前記押し込み体は前記チップを覆うとともに前記ストッパーの少なくとも一部を覆うような略平面部を有するものであり、前記押し込み体と前記度当たり部との接触によって前記押し込み体の変位を制御することにより、前記チップ先端に前記開口を形成した後、
前記ストッパーが前記走査型近視野顕微鏡用プローブの構成要素に含まれないように、前記ストッパーを除去する除去工程を含むことを特徴とする走査型近視野顕微鏡用プローブの製造方法。 - 前記カンチレバーと前記ストッパーとが重ならないように配置されたことを特徴とする請求項1に記載の走査型近視野顕微鏡用プローブの製造方法。
- 前記ストッパー以外を保護膜で覆う工程を備え、前記除去工程では、前記ストッパーをエッチングで除去することを特徴とする請求項1に記載の走査型近視野顕微鏡用プローブの製造方法。
- 前記走査型近視野顕微鏡用プローブは、基部を備えており、前記カンチレバーは、前記基部からのびる片持ち梁状のものであり、前記チップは、前記カンチレバー上の自由端近傍に形成されており、測定試料側に突出し先鋭化されていることを特徴とする請求項1に記載の走査型近視野顕微鏡用プローブの製造方法。
- 前記走査型近視野顕微鏡用プローブにおいて、前記チップの先端が前記遮光膜よりも試料側に飛び出していることを特徴とする請求項4に記載の走査型近視野顕微鏡用プローブの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000327118A JP4450968B2 (ja) | 2000-10-26 | 2000-10-26 | 走査型近視野顕微鏡用プローブの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000327118A JP4450968B2 (ja) | 2000-10-26 | 2000-10-26 | 走査型近視野顕微鏡用プローブの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002131213A JP2002131213A (ja) | 2002-05-09 |
JP4450968B2 true JP4450968B2 (ja) | 2010-04-14 |
Family
ID=18804205
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000327118A Expired - Fee Related JP4450968B2 (ja) | 2000-10-26 | 2000-10-26 | 走査型近視野顕微鏡用プローブの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4450968B2 (ja) |
-
2000
- 2000-10-26 JP JP2000327118A patent/JP4450968B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002131213A (ja) | 2002-05-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6156215A (en) | Method of forming a projection having a micro-aperture, projection formed thereby, probe having such a projection and information processor comprising such a probe | |
US6376833B2 (en) | Projection having a micro-aperture, probe or multi-probe having such a projection and surface scanner, aligner or information processor comprising such a probe | |
EP1211694B1 (en) | Apparatus and method for forming optical aperture | |
JP4451015B2 (ja) | 光学的な開口の作製方法 | |
JP4450968B2 (ja) | 走査型近視野顕微鏡用プローブの製造方法 | |
JP4450975B2 (ja) | 光学的な開口の作製方法 | |
JP4421768B2 (ja) | 近視野光素子の作製方法 | |
JP4450972B2 (ja) | 光学的な開口の作製方法 | |
JP4450977B2 (ja) | 光学的な開口の作製方法及び光学的な開口の作製装置 | |
JP2002181683A (ja) | 光学的な開口の形成方法とその形成方法によって作製される近接場光デバイス | |
JP4446297B2 (ja) | 開口形成装置 | |
JP4450981B2 (ja) | 光学的な開口の作製方法及び作製装置 | |
JP4450978B2 (ja) | 光学的な開口の作製方法及び光学的な開口の作製装置 | |
JP4450979B2 (ja) | 光学的な開口の作製方法 | |
JP4450974B2 (ja) | 光学的な開口の作製方法 | |
JP4450976B2 (ja) | 光学的な開口の作製方法 | |
JP2002174586A (ja) | 光学的な開口の作製方法 | |
JP2002160200A (ja) | 光学的な開口の作製方法 | |
EP1209690B1 (en) | Method of fabricating optical aperture and method of fabricating probe for near field light device | |
JP2002181684A (ja) | 近視野光発生素子の作製方法 | |
JP2003161686A (ja) | 光学的な開口の作製方法 | |
JP2002174582A (ja) | 走査型近視野顕微鏡 | |
JP2003231095A (ja) | 微小物体固定装置及び微小物体固定方法 | |
JP2002168763A (ja) | 光学的な開口の作製方法 | |
JP2000146807A (ja) | 光カンチレバーとその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20040303 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070509 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080808 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090127 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090317 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20090611 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090915 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091022 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091023 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20100107 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100126 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100127 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130205 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |