JP4448130B2 - 基板ハンドラ、及び半導体基板洗浄システム - Google Patents
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Description
一般に、CMPは、基板から表面の不規則性を除去する為に研磨材料に対する半導体基板の相対運動に関連する。研摩材料は、研削材または化学製品のうちの少なくとも1つを通常含む研磨流体で濡らされる。
ブレード702は、その後、基板の裏がブレード702と接触するまで、前方の基板に向かって水平に前進する。最後に、ブレード702は、エンドエフェクタ704の基板受容ポケット708内に基板を取り込むため、垂直に上方に移動する。基板は、フランジ701、703により各々の側部で支持されると同時に、基板支持体705により下から支持される。第2フランジ703から延びるショルダー706は、取り込まれた基板が(例えば、一の洗浄モジュールから次ぎの洗浄モジュールへと)x方向に移動されるとき、余分の支持手段を提供する。第1フランジ701に関し、基板支持体705から測定された、第2フランジ703の、より長い全長により容易にされる。フランジ701、703は、基板が前方または後方で傾斜しないことを確実にすることにより、ポケット708の内部で基板が保持され続けることを助ける。このように、重力はエンドエフェクタ704上でポケット708が基板をしっかりと取り込むことを可能にする。そのため、基板は、その位置を獲得する為に、機械的アクチュエータやチャックデバイスより、むしろ、重力を使用して把持される。あるいは、基板把持アセンブリ700は、個々のステップに対して運動を限定するより、むしろ、ブレード702が同時に2軸で移動するように最適化されてもよい。
Claims (13)
- 垂直に向けられた基板を運搬する為の基板ハンドラであって、
第1運動軸に沿って位置決め可能なキャリッジアセンブリと、
キャリッジアセンブリに結合され、前記第1運動軸に対し垂直に向けられた第2運動軸に沿って前記キャリッジアセンブリに関して位置決め可能である第1基板グリッパアセンブリと、
キャリッジアセンブリに結合され、前記第2運動軸に対し平行に向けられた第3運動軸に沿って前記キャリッジアセンブリに関して位置決め可能である第2基板グリッパアセンブリであって、前記第1基板グリッパアセンブリに関して第3軸に沿って独立して移動可能である、該第2基板グリッパアセンブリと、
を備え、
前記第1基板グリッパアセンブリは、
第1下端部と、対向する第2下端部を有するU字型のブレードと、
前記ブレードの前記第1下端部に結合された第1エンドエフェクタと、
前記ブレードの前記第2下端部に結合された第2エンドエフェクタと、
を有しており、
前記第1エンドエフェクタ及び第2エンドエフェクタは、
内面を有する本体と、
前記内面から前記U字型のブレードのU字の中央に向けて内側に延びる第1フランジと、
前記第1フランジに対して平行であり且つ離間されて配置されて前記内面から前記U字型のブレードの前記U字の中央に向けて内方に延びる第2フランジと、
前記第1フランジと前記第2フランジの間の前記内面から延び、前記第1フランジ及び前記第2フランジに対して垂直であり、前記第1フランジおよび第2フランジと共にU字型の基板受容ポケットを画成する基板支持体と、
を有し、
前記第2基板グリッパアセンブリは、
第1下端部と、対向する第2下端部を有するU字型のブレードと、
該ブレードの該第1下端部に結合された第1エンドエフェクタと、
該ブレードの該第2下端部に結合された第2エンドエフェクタと、
を有しており、
該第1エンドエフェクタ及び第2エンドエフェクタは、
内面を有する本体と、
該内面から該U字型のブレードのU字の中央に向けて内側に延びる第1フランジと、
該第1フランジに対して平行であり且つ離間されて配置されて該内面から該U字型のブレードの該U字の中央に向けて内方に延びる第2フランジと、
該第1フランジと該第2フランジの間の該内面から延び、該第1フランジ及び該第2フランジに対して垂直であり、該第1フランジおよび該フランジと共にU字型の基板受容ポケットを画成する基板支持体と、
を有する、
基板ハンドラ。 - 前記キャリッジアセンブリは、
前記第1運動軸に沿って延びている水平トラックと、
前記水平トラックに結合されたキャリッジと、
モータと、
前記水平トラックに沿って前記キャリッジを位置決めするために、前記モータと協働するアクチュエータと、
を更に備える、請求項1記載の基板ハンドラ。 - 前記第1運動軸に対して直交する方向に延び、前記キャリッジアセンブリを前記第1基板グリッパアセンブリ及び第2基板グリッパアセンブリに結合する取付けプレートを更に備え、前記第1基板グリッパアセンブリ及び第2基板グリッパアセンブリが前記取付けプレート上で移動可能に配置される、請求項2記載の基板ハンドラ。
- 前記第1基板グリッパアセンブリと前記第2基板グリッパアセンブリの各々は、
前記取付けプレートに結合された垂直トラックと、
前記垂直トラックに結合された基板グリッパと、
前記垂直トラックに沿って前記基板グリッパを位置決めする為のアクチュエータと、
を備える、請求項3に記載の基板ハンドラ。 - 前記基板グリッパの各々は、前記第1運動軸および第2運動軸に対し直交する軸で基板を把持する、請求項4記載の基板ハンドラ。
- 前記第2フランジは、前記基板支持体から上方へと前記第1フランジより遠くまで延び、あるいは前記内面から前記U字型のブレードのU字の前記中央へと前記第1フランジより遠くまで延びる、請求項1記載の基板ハンドラ。
- 前記第1エンドエフェクタ及び第2エンドエフェクタのうち少なくとも一つが、更に、基板センサを備える、請求項1記載の基板ハンドラ。
- 前記基板センサが、前記エンドエフェクタに結合されたファイバ型光学センサを更に備える、請求項7記載の基板ハンドラ。
- 垂直に向けられた基板を洗浄する半導体基板洗浄システムであって、
複数の洗浄モジュールと、
前記複数の洗浄モジュールの上方に配置された垂直に位置決め可能な第1基板グリッパアセンブリと、
前記複数の洗浄モジュールの上方に配置された垂直に位置決め可能な第2基板グリッパアセンブリと、
を備え、
前記第1基板グリッパアセンブリ及び第2基板グリッパアセンブリは、前記複数の洗浄モジュールの各々にわたり、選択的に位置決め可能であり、前記第1基板グリッパアセンブリ及び第2基板グリッパアセンブリは、互いに独立して前記複数の洗浄モジュールの各々を結びつけるように垂直に移動し、
水平方向に位置決め可能なキャリッジアセンブリであって、前記第1基板グリッパアセンブリ及び第2基板グリッパアセンブリが結合された該キャリッジアセンブリを更に備え、
前記キャリッジアセンブリが、
水平トラックと、
前記水平トラックに取り付けられ、前記第1基板グリッパアセンブリ及び第2基板グリッパアセンブリを結合させたキャリッジと、
前記水平トラックに沿って前記キャリッジを位置決めするように適合されたアクチュエータと、
を更に備え、
前記第1基板グリッパアセンブリ及び第2基板グリッパアセンブリが、
前記キャリッジに結合された垂直トラックと、
前記垂直トラックに取り付けられた基板グリッパと、
前記垂直トラックに沿って前記基板グリッパを位置決めする為のアクチュエータと、
第1下端部と、対向する第2下端部とを有するU字型のブレードと、
前記ブレードの前記第1下端部に結合された第1エンドエフェクタと、
前記ブレードの前記第2下端部に結合された第2エンドエフェクタと、
を備え
前記第1エンドエフェクタと前記第2エンドエフェクタは、
内面を有する本体と、
前記内面から前記U字型のブレードのU字の中央に向けて内側に延びている第1フランジと、
前記第1フランジに対して平行であり且つ離間されて配置されて前記内面から前記U字型のブレードのU字の中央に向けて内方に延びている第2フランジと、
前記第1フランジ及び第2フランジ間の前記内面から延び、前記第1フランジ及び前記第2フランジに対して垂直であり、前記第1フランジ及び第2フランジと共にU字型の基板受容ポケットを画成する基板支持体と、
を有する、
半導体基板洗浄システム。 - 前記第2フランジは、前記第1フランジより前記基板支持体から遠くへ延びており、前記第2フランジは、前記内面から前記第1フランジより遠くへと内方に延びている、請求項9記載の半導体基板洗浄システム。
- 前記第1エンドエフェクタ及び第2エンドエフェクタのうち少なくとも一つは、前記エンドエフェクタに結合され、前記基板受容ポケット内に配置される基板を感知するように適合された、ファイバ型センサを更に備える、請求項9記載の半導体基板洗浄システム。
- 前記第2フランジが、前記U字型のブレードの前記U字の前記中央に向けて内側に延びる平坦なショルダーを更に含む、請求項1に記載の基板ハンドラ。
- 前記第2フランジが、前記U字型のブレードの前記U字の前記中央に向けて内側に延びる平坦なショルダーを更に含む、請求項9に記載の半導体基板洗浄システム。
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