JP4444085B2 - ウェーハリング移送システム - Google Patents
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Description
2 シート
3 半導体チップ
10 マガジン
20 テーブル
30 エキスパンド機構
31 固定リング
32 加圧リング
32c 品種表示部
32e 小孔
32d 突片
40 移動ユニット
50 チップ認識カメラ
51 コントローラ
52 警報手段
P1 第1作業位置
P2 第2作業位置
Claims (2)
- 第1作業位置と第2作業位置の間で水平移送される水平なテーブル上に上下に固定リングと加圧リングのそれぞれを品種交換可能に設置した移動ユニットと、前記第2作業位置の上方定位置に配置したチップ認識カメラと、このチップ認識カメラで撮像された画像データを演算処理して前記第2作業位置での作業内容を制御するコントローラを備え、
複数の半導体チップを保持するシートと一体のウェーハリングを第1作業位置にある前記移動ユニットの固定リングとその上方の加圧リングの間に挿入し、加圧リングを下降させてウェーハリングの前記シートをエキスパンドし、移動ユニットを第2作業位置に移送して前記チップ認識カメラでシート上の前記半導体チップを撮像するようにしたウェーハリング移送システムにおいて、
前記加圧リングの、移動ユニットが第1作業位置にあるときにチップ認識カメラで撮像できる部位に、当該加圧リングの品種毎に異なる形態の品種表示部を形成し、ウェーハリングの品種切替時に第1作業位置における加圧リングの前記品種表示部をチップ認識カメラで撮像して前記コントローラで加圧リングの品種判別を行うようにしたことを特徴とするウェーハリング移送システム。 - 前記コントローラに、前記ウェーハリングの品種切替時にパラメータ入力される品種データと、前記コントローラで品種判別された加圧リングの品種データがマッチングしないときに作動する警報手段を付設したことを特徴とする請求項1に記載のウェーハリング移送システム。
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