JP4437986B2 - 半導体集積回路装置、インターフェース試験制御回路および試験方法 - Google Patents

半導体集積回路装置、インターフェース試験制御回路および試験方法 Download PDF

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Description

本発明は、例えばデータ送受信のためのインターフェースを備える半導体集積回路装置において、高速パラレルインターフェースの試験、特に接続相手先デバイスとの間でインターフェースの動作仕様が異なる場合のインターフェース試験方式に関する。
近年の通信網の高速化や大容量化に伴って、データ送受信のために、例えば32ビット幅のパラレル高速インターフェースが用いられるようになっている。このような通信に用いられるLSI装置に搭載された高速インターフェースの試験を行う場合には、高速試験の結果を判定可能な高価なテスタが必要となる。一般的な汎用LSIと異なって大量出荷を見込むことができない特殊なASICなどでは、このような高価なテスタを利用すると評価コストが高騰し、採算に合わなくなる。そこで高速のインターフェースが搭載されたLSIの試験を、安価な低速テスタを用いて行いたいという要求がある。
このようなインターフェースの試験方式の従来例について、図15から図22を用いて説明する。図15は、ASIC100と接続相手のデバイス101との間のインターフェース接続方式の従来例である。同図においてはASIC100のIF部102と、接続相手のデバイス101のIF部103とが接続されている。ここで接続相手のデバイス101側のIF部103は、ASIC100のIF部102とは動作の仕様が異なるものとする。
図16は、図15の接続方式の従来例に対するインターフェース試験方法の従来例の説明図である。同図において、ASIC100の内部にインターフェース試験専用のIF部として、接続先デバイスのIF部103を備えておき、ASIC100に組み込まれた試験用のBIST(ビルト・イン・セルフ・テスト)回路104を用いて、2つの高速なIF部102と103との間でテストデータの送受信を行わせ、その結果をテスタ105によって判定することにより、2つの高速IF部102、103を実際の使用状態と同じ速度、すなわちアト・スピードで試験することができる。
図17は、図16のインターフェース試験方式のさらに詳細な説明図である。同図においては、システム基盤110上での開発LSI111と接続相手のLIS112とが伝送線115によって接続された状態が評価ボード120上で模擬され、高速インターフェースの試験が行われる。
すなわち評価ボード120上の評価対象LSI121の内部で、開発LSI111側の高速IF部123と、この高速IF部123と接続されるべき相手側のIF部114に相当するIF送受信部124とが備えられ、評価ボード120上で高速IF部123とIF送受信部124とは伝送線125によって接続される。
そして評価対象LSI121上の高速IF試験制御部126の制御によって、高速IF部123とIF送受信部124との間で試験データの高速転送試験が実施され、その結果が判定部127によって判定され、その判定結果がさらに低速テスタ122に送られる。テスタ122は、判定部127の判定結果をチェックするのみであり、最終的に低速テスタ122によって高速インターフェースの試験が可能となる。
しかしながら図16、図17で説明したインターフェース試験方式の従来例においては、高速インターフェースの試験を行うために、動作仕様の異なる接続相手側のIF部を試験専用に備える必要があり、通常動作では不必要な回路やPADが多く存在することになり、面積ペナルティが大きくなり、またコストアップの原因となるという問題点がある。
図18は、ASIC100のIF部102と接続相手のデバイス101のIF部103の接続方式の異なる従来例の説明図である。この従来例においては、2つのIF部102、103が同一の動作仕様を持つものとする。
図19は、図18の接続方式に対するインターフェース試験方式の従来例の説明図である。この方式では、ASIC100の内部に同一の動作仕様を持つIF部102が複数個、例えば2個備えられ、2個のIF部を単純に接続することによってインターフェースの試験が行われる。
一般にASIC100の内部には、接続相手としての複数のデバイスと接続するために、同一動作仕様のIF部を複数個備える場合がある。図19においては、それらのIF部102が相互に接続され、BIST回路104によって試験データの送受信が制御され、その結果がテスタ105によって判定される。接続されるIF部の動作仕様が同じであるため、既存の回路をそのまま単純に接続するだけで、アト・スピードでの試験が可能となるが、接続相手のデバイスが異なる動作仕様を持つ場合には、この試験方式を適用することができないという問題点がある。
図20は、図18の接続方式に対するインターフェース試験方法の異なる従来例の説明図である。この従来例は、ASICに搭載されているIF部が1つだけである場合に対応する。この場合には評価ボード上に2つのASIC100、100を搭載し、各ASICのIF部の間で試験データの送受信を行わせ、その結果をテスタによって判定することによって、IF部を1つしか持たないASICのインターフェースの試験がアト・スピードで可能となる。
しかしながら図20の試験方式では、評価ボード上に2つのASICを搭載する必要があり、評価ボード上に2つのASICを搭載するスペースがない場合には試験が困難であるという問題点があった。また試験結果がNGとなった場合には、どちらのASIC側で故障が生じているかを判定する必要が発生し、試験が煩雑になるという問題点がある。すなわち図19においては1つのASICのみを使用するために、試験結果がNGとなった場合にはそのASICそのものを使用することができないことになるが、図20においてはどちらのASICが使用できないかを判定する必要があり、手間がかかり、試験時間も延び、試験コストが高くなるという問題点がある。
図21、22は、図18の接続方式に対するインターフェース試験方式のさらに異なる従来例の説明図である。この従来例では、図20におけると同様にASICの内部に1つのIF部のみを備えている場合を対象とするが、この1つのIF部において送信部から出力される信号をそのまま受信部にループバックする方法が用いられる。
図21では、IF部102の送信ポート106と受信ポート107が直接に接続され、送信部から出力されるテスト送信データがループバックされ、受信部によって受信されることにより、1つのIF部102においてアト・スピードでの試験が可能となる。
図22では、例えば図21において備えられていたスイッチ108を閉じることによって図21におけると同様に1つのIF部102の試験が可能となる。しかしながらこのような従来例においては、1つのIF部のみ、すなわち1つの送信部と1つの受信部を持つIFを対象とする試験となり、例えばパラレルインターフェースのようにデータ信号が複数送受信される場合には、データ信号の間のばらつきに関する試験ができないという問題点があった。
このような高速インターフェースを含むLSIの試験方式の従来技術として、例えば特許文献1に、高速入出力装置を備えた半導体集積回路装置の外部出力端子と外部入力端子とを伝送線路で接続するループバックパスを用いて、LSI内部に備えられるBIST回路を用いた試験方式が開示されているが、この従来技術においても図21、図22で説明したように1つのIF部のみの試験となり、例えばパラレルインターフェースの試験には適切でないという問題点を解決することができない。
特許第3446124号公報
本発明の課題は、接続相手先のデバイスとの間でインターフェースの動作仕様が異なる場合に、例えば1つのASICに備えられる複数のIF部の1つを、接続先デバイスのインターフェースの動作を擬似的に実行する擬似インターフェースとして動作させることによって、接続相手先デバイスのインターフェースを試験用に備えることなく、またパラレルインターフェースの場合に、両方のインターフェース内の複数の送受信部をそれぞれ相手側インターフェースの対応する送受信部に接続することによって、パラレルインターフェースにおいてデータ信号の間のばらつきのチェックを含む試験を可能とすることである。
図1は、本発明のインターフェース試験制御回路を含むインターフェース試験方式の原理説明図である。同図は外部との間でのデータ送受信を行うためのインターフェース(チャネル1、チャネル2)3、4を複数、例えば2つ備えた半導体集積回路(LSI)、例えば評価対象LSI1におけるインターフェースの試験を制御する回路、例えばDDR−SDRAMインターフェース・エミュレート制御部8を備えるインターフェース試験方式の原理説明図である。
本発明のインターフェース試験方式においては、2つのインターフェース3、4が、例えばデータ信号の伝送線5、データストローブ信号の伝送線6によって、例えば評価ボード2上で接続された時に、2つのインターフェース3、4のいずれか1つに、評価対象LSI1の本来の接続先デバイスであって、動作仕様が異なる相手先接続デバイスのインターフェースをエミュレートする動作を実行させるエミュレート制御部8を備えるものである。
本発明においては、エミュレート制御部、例えばDDR−SDRAMインターフェース・エミュレート制御部8が、例えば評価対象LSI1の内部に組み込まれ、テストデータを生成するビルト・イン・セルフ・テスト(BIST)回路8の内部に備えられる。
次に本発明のインターフェース試験方法は、外部との間でのデータ送受信を行うためのインターフェースを複数備えたLSIにおけるインターフェースの試験方法であり、例えば図1のような構成において用いられる試験方法である。
本発明のインターフェース試験方法においては、複数のインターフェースのうち、2つのインターフェース3、4が評価ボード2上で伝送線、例えばデータ信号(DQ0〜7)の伝送線5とデータストローブ信号(DQS)の伝送線6によって接続され、LSI、例えば評価対象LSI1の内部のエミュレート制御部8が、LSI1の接続先デバイスであって、動作仕様が異なる相手先接続デバイスのインターフェースをエミュレートする動作を2つのインターフェース3、4のいずれか1つに実行させるように制御し、エミュレート動作を行うインターフェースと、2つのインターフェースのうちの残りの1つのインターフェースとの間でテストデータの送受信を実行させ、テストデータ送受信結果に対応して、例えば低速テスタ9によってインターフェースの試験結果を得る方法が用いられる。
また本発明のインターフェース試験方法においては、評価対象のLSI1が、そのLSIの内部に組み込まれるビルト・イン・セルフ・テスト回路8を備え、このビルト・イン・セルフ・テスト回路8によって生成されたテストデータが、前記2つのインターフェースの間で送受信される。
次に本発明のインターフェース試験制御回路は、外部との間でのデータ送受信を行うためのインターフェースを、例えば1つだけ備えたLSIの内部でインターフェースの試験を制御する回路であり、そのインターフェースと動作仕様が異なるインターフェースをエミュレートする動作をそのインターフェースに実行させるエミュレート制御部を備える。
さらに本発明のインターフェース試験方法は、このようにデータ送受信のためのインターフェースを、例えばそれぞれ1つだけ備える2つのLSIを用いる方法であり、2つのLSIのインターフェースを伝送線によって接続し、2つのLSIの内の1つのLSI内のエミュレート制御部が、自LSIのインターフェースと動作仕様が異なるインターフェースをエミュレートする動作を自LSIのインターフェースに実行させるように制御し、該2つのLSIのインターフェースの間でテストデータの送受信を実行させ、その送受信結果に対応してインターフェースの試験結果を得る方法が用いられる。
以上のように本発明によれば、外部との間でのデータ送受信を行うためのインターフェース、例えば高速インターフェースの試験において、動作仕様が異なる相手先接続デバイスのインターフェースをエミュレートする動作を、複数のインターフェースのうちのいずれかに実行させ、残りのインターフェースの1つとの間でテストデータの送受信を行うことによって、インターフェースの試験が実行される。
本発明によれば、複数のインターフェースを備える1つのLSIにおいて、インターフェースの1つを、そのLSIの本来の接続先デバイスであって、動作仕様が異なる相手先接続デバイスのインターフェースをエミュレートする動作を実行させ、他のインターフェースとの間で伝送線を接続することによってそのような相手先接続デバイスと接続した場合のインターフェースの試験が可能となる。またインターフェースを1つだけ備えるLSIにおいても、そのインターフェースに同様のエミュレート動作を実行させ、他のLSIのインターフェースとの間に伝送線を接続することにより、インターフェースの試験が可能となる。
本発明においては、前述のように接続相手先のインターフェースと動作仕様が異なるインターフェースを持つ、例えばLSIにおけるインターフェース試験方式を対象とするが、以下においては例えば一般的な通信用ASICが、一般的なシンクロナス・ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ(SDRAM)に対して、データ転送のバンド幅を2倍にできるダブル・データ・レート(DDR)のSDRAMを接続先デバイスとして持つ場合を具体例として、本発明の実施形態を説明する。
図2は、一般的なLSIとしてのASIC11と、DDR−SDRAM10との間の基本的なデータ送受信方式の説明図である。同図においてASIC11から、DDR−SDRAM10に対してデータを送信する場合、すなわちDDR−SDRAM10へのデータライトの場合には、ASIC11の内部のIF部12において送信すべきデータを保持しているFF15から、送信バッファ16を介してデータ信号DQがDDR−SDRAM10側に送信され、そのデータは受信バッファ17によって受信される。
その時、DDR−SDRAM10側でデータを取り込むべきタイミングを決定するためのデータストローブ信号DQSは、フリップ・フロップ27からストローブ信号送信バッファ28によってDDR−SDRAM10側に送られ、ストローブ信号DQSはストローブ信号受信バッファ29によって受信される。この時、データ信号DQに比べてデータストローブ信号DQSは、例えば90度位相が遅れており、そしてDDR−SDRAM10側ではこのデータストローブ信号DQSの立上りエッジにおいてデータのラッチが行われる。
DDR−SDRAM10からASIC11にデータを送信する場合、すなわちDDR−SDRAM10からのデータリードの場合には、リードデータがDDR−SDRAM10側の送信バッファ18によってASIC11側に送られ、そのデータはASIC11のIF部12においてデータ受信バッファ20によって受信される。その受信データはASIC11側のコア部(内部ロジック部)におけるクロック信号X1の2倍の速度で送られてくる(ダブル・データ・レート)のために、速度を半分にして内部ロジック部におけるデータ取り扱いを可能とさせるための3つのフリップ・フロップ21から23を介して、内部ロジック部に存在する2つのフリップ・フロップ24、25に取り込まれる。
この時、DDR−SDRAM10側からのデータストローブ信号DQSはストローブ信号送信バッファ30からASIC11側に送られ、そのストローブ信号はストローブ信号受信バッファ32によって受信され、そのストローブ信号はディレイ・ロックド・ループ(DLL)33に与えられる。
ここでDDR−SDRAM10側から送られるデータ信号DQとデータストローブ信号DQSとの間に位相差は無く、ASIC11側から送信したデータ信号DQとデータストローブ信号DQSとの間の位相関係と同一の位相関係でASIC11側で受信データを取り扱うために、DLL33によってDDR−SDRAM10側から送られたデータストローブ信号DQSの位相を90度、あるいは270度遅らせて、フリップ・フロップ21、あるいはフリップ・フロップ22、23に対するデータ取り込みのためのクロック信号として与えることによって、データ信号DQとデータストローブ信号DQSとの間の位相関係をデータのライト動作、およびリード動作に対してASIC11側では統一的に扱うことができる。
図3、図4は、DDR−SDRAM10に対するデータライト動作、およびリード動作のタイムチャートである。図3のライト動作において、ASIC11からDDR−SDRAM10に対してライトコマンドが送られ、データ信号DQがASIC11側のクロックの2倍の周波数で送られ、そのデータはデータ信号DQと比べて90度位相が遅れたデータストローブ信号DQSの、例えば立上りと立下りのエッジでDDR−SDRAM10側にラッチされることになる。
図4のリード動作においては、ASIC11からDDR−SDRAM10に対してリードコマンドが発行され、データストローブ信号DQSが、データ信号DQとの位相のずれがない形式でDDR−SDRAM10からASIC11に送られ、前述のようにデータストローブ信号DQSは、例えば90度位相が遅らされて受信データDQのASIC11側へのラッチに用いられる。
本実施形態においては、例えば一般的なLSIとしてのASIC11の内部に複数のIF部が備えられ、この複数のIF部のうちで2つのIF部の間でテストデータの送受信が行われ、一方のIF部は、DDR−SDRAM10内部のIF部をエミュレートする動作を行うものとする。
図5はASIC11の内部の1つのIF部の基本構成を示す。後述するようにこのIF部12の内部に、このIF部をDDR−SDRAM10側のインターフェースとして動作させるためのエミュレート制御部が追加されることによって、ASIC11の内部の1つのIF部12が、DDR−SDRAM10のインターフェースと同一の動作を実行することになる。
図5のIF部12は、基本的に図2で説明したIF部をn+1本のパラレルデータ信号DQ0からDQnに対して拡張したものである。すなわちデータ信号DQ0からDQnに対して、送信データを保持するためのFF15から15、データ送信バッファ16から16、データ受信バッファ20から20、DDR−SDRAM10からダブル・データ・レートで送られるデータをASIC11の内部ロジック部(コア部)31におけるクロック信号の速度に合わせるための、各データ信号に対応する3個1組のFF21から21、22から22、23から23を備える形式となっている。
またディレイ・ロックド・ループ33は、図5においてはDDR−SDRAM10から送られたデータストローブ信号DQSの位相を90度遅らせるものとし、DLL33の出力する信号はFF21から21にデータを取り込むためのクロック信号CKDQSpとして用いられ、この信号をさらにインバータ34によって反転した信号が、FF22から22、23から23にデータを取り込むためのクロック信号CKDQSnとして用いられる。
さらにIF部12の内部には、ダブル・データ・レートのために、内部ロジック部31において用いられるクロック信号X1(=X1p)の2倍の周波数のクロック信号CK_X2が直列接続の2段のインバータ35、35に与えられ、インバータ35の出力が実質的にクロック信号X2と同一のX2正転(同相)信号X2pとして、FF27に対するデータストローブ信号DQS(DDR−SDRAM10への送信用)の取り込みのために与えられる。またインバータ35の出力は、X2反転信号X2nとして送信データを保持するFF15から15に対してクロック信号として与えられる。
図5においてDQS信号送受信端子の下の端子はコマンド(CMD)、アドレス(ADD)の送信端子であり、さらにその下のCLKZ、CLKXはコマンド、アドレス信号に対するクロック信号であり、本実施形態と直接の関連は無いが、CLKZ、CLKXはクロック信号X1p、X1nの生成とも関連があるため、図6のタイムチャートを用いて、その生成について説明する。
図5のインバータ35の出力はFF37のクロック端子に与えられる。インバータ36とFF37によってX2pの周波数の2分の1の周波数を持つxck1pがFF37から出力される。その立上りはX2pの立上りより遅れる。
FF37の出力はインバータ38によって反転され、xck1nとなるが、その立上りはxck1pの立下りより遅れる。xck1pはFF39に、xck1nはFF39に入力され、X2pの立上りエッジで各FFに取り込まれ(たたき直され)ることにより、これらのFFの出力としてのX1pとX1nは正確に180度の位相差を持つ正転、反転信号となる。
図7は、本発明におけるインターフェース試験方式の第1の実施例の構成図である。この第1の実施例において、ASIC11の内部に複数個備えられるIF部のうち、本来の接続先のDDR−SDRAM10側のインターフェースとして擬似的に動作する、すなわち擬似インターフェースとして動作するIF部をチャネル1、すなわちIF部12として、また通常のASIC11の内部のIF部としての動作を行うIF部をチャネル2(IF部12)として第1の実施例を説明する。
図7において、2つのIF部12と12のデータストローブ信号(DQS)端子(ポート)が伝送線路6によって、またデータ信号DQ0端子(ポート)からデータ信号DQn端子(ポート)がそれぞれ伝送線5によって接続され、IF部12と12との間でテストデータの送受信が行われ、その送受信結果に対応してインターフェースの試験の結果が得られる。
ここでは2つのIF部12と12のいずれかを、DDR−SDRAM10の擬似的インターフェース、すなわち擬似インターフェースとして動作させるために、ASIC11の内部にエミュレート制御部40が追加される。エミュレート制御部40は、2つのIF部12と12のいずれかを擬似インターフェースとして動作させるためのエミュレートモード信号emode1z、emode2zを出力するための2つのANDゲート45、46、インバータ47と、例えばIF部12の内部に設けられる各データ信号DQ0からDQnに対応するn+1個のセレクタ48から48、DLL33の出力、またはデータストローブ信号DQSを受信する受信バッファ32の出力のいずれかを選択するためのセレクタ49を備えている。なおIF部12も、例えば擬似インターフェースとしての動作を可能にするために、その内部にn+1個のセレクタ48から48、およびセレクタ49を備えているものとする。ここでセレクタ49はエミュレート制御部40に含まれるものとしたが、図5と比較して、外部から送信されたデータストローブ信号DQS、またはその遅延結果の信号がこのセレクタ49を通ることは当然である。
エミュレート制御部40内の2つのANDゲート45、46、インバータ47に対しては、テストパターン発生回路41から、エミュレート動作指示信号emzと、2つのIF部12と12のいずれを擬似インターフェースとして動作させるかを選択するためのチャネルセレクト信号chselectzが与えられる。ANDゲート45の出力するemode1z信号、またはANDゲート46の出力するemode2z信号のいずれかが“1”となることによって、2つのIF部12と12のいずれが擬似インターフェースとして動作するかが決定される。なおテストパターン発生回路41からは、当然インターフェースのテストに用いられるテストデータが出力されるが、そのテストデータの送受信などについては、さらに詳細な構成回路図を用いて後述する。
図7において、例えばIF部12から送信されるテストデータはIF部12によって受信され、FF22から22、23から23に取り込まれたデータは、受信データラッチ部42を構成するFF51から51、52から52を介して出力パターン圧縮回路43に与えられ、例えば低速テスタ側で試験結果判定可能な形式に圧縮され、低速テスタ9に出力される。ここで受信データラッチ部42を構成するFF51から51、52から52のクロック端子には、内部ロジック部31において用いられるクロック(正転)信号X1pが用いられる。
図7の第1の実施例における動作を図8と図9のタイムチャートを用いて説明する。図8は、DDR−SDRAMに対するデータライト動作における試験タイムチャートである。この場合は、ASICのインターフェースからDDR−SDRAMのインターフェースに対してデータが送信されることになり、図7では、IF部12からIF部1に1に対してデータ信号DQ0からDQn、およびデータストローブ信号DQSが送られることになる。
この試験時には、テストパターン発生回路41から出力されるemz信号は“1”、chselectz信号は“0”となり、その結果ANDゲート45の出力としてのemode1z信号は“1”、ANDゲート46の出力としてのemode2z信号は“0”となり、IF部12は擬似インターフェースとして動作し、IF部12は通常のASICのインターフェースとして動作する。
ANDゲート45の出力としてのemode1z信号は、セレクタ48から48、およびセレクタ49に対する選択制御信号としてセレクト端子Sに与えられる。これらの全てのセレクタは選択制御信号の値が“0”の時に入力端子Aからの入力を、“1”の時に入力端子Bからの入力を出力端子Xから出力するものである。通常のASICインターフェースとしてのIF部12から擬似インターフェースとしてのIF部12に送られるデータストローブ信号DQSは、emode1z信号の値が“1”であるために、受信バッファ32を介して、ディレイ・ロックド・ループ33を介することなく、そのまま受信データを取り込むための、FF21から21に対するクロック信号CKDQSpとして用いられる。インバータ34によるその反転信号CKDQSnがFF22から22、23から23にデータを取り込むためのクロック信号として用いられる。
図8において1番上の波形はDDR動作のためのクロック信号CK_X2であり、X2pは同一周波数、同一位相のX2正転信号、X2nはX2pの反転信号である。図7において、ASICインターフェース、すなわちIF部12から擬似インターフェースとしてのIF部12に対してデータ信号DQとデータストローブ信号DQSが出力される。
データ信号はDQ0からDQnまでのn+1本であるが、これらの信号はパラレルに送信されるため、そのうちの1本のデータをDQ#によって表す。すなわち記号#は、“0”から“n”のいずれかであり、簡単のため#の値を“0”とすると、IF部12からデータ信号DQ0としてD1からD4までの4つのデータがシリアルに出力され、データストローブ信号DQSは反転クロックX2pの立上りエッジに同期し、データ信号DQ0に対して90度位相が遅れた形式でIF部12に送られる。
これは図5において、DQSの送信バッファ28の前段のFF27にクロック信号としてX2pが与えられているためである。またデータ信号DQ0に対する送信バッファ16の前段のFF15に対するクロック信号として、反転クロック信号X2nが与えられているために、データD1、D2、..はX2nの立上りエッジで出力される。
擬似インターフェースとして動作するIF部12側では、前述のように受信されたデータストローブ信号DQSがそのまま信号CKDQSpとして、その反転信号がCKDQSnとして用いられ、受信データのFFへの取り込みが行われる。まず最初にCKDQSp信号の立上りエッジで最初のデータD1がFF21に取り込まれ、次にCKDQSn信号の立上りエッジでデータD1がFF21から22にシフトされるとともに、次のデータD2がFF23に取り込まれ、以下同様にデータD3はCKDQSpの立上りエッジでFF21に取り込まれ、次のCKDQSnの立上りエッジでFF22にシフトされ、同時にデータD4がFF23に取り込まれる。
受信データラッチ部42においては、クロック信号X1pの立上りエッジにおいて、FF22、23のデータが、FF51、52を介して出力パターン圧縮回路43に次々と与えられる。そしてこれらのデータは出力パターン圧縮回路43によって圧縮され、低速テスタ9に与えられる。
図9は、DDR−SDRAMに対するデータリード動作におけるインターフェース試験のタイムチャートである。この場合には、図7の擬似インターフェースとしてのIF部12から、ASICインターフェースとしてのIF部12に対して、データ信号DQとデータストローブ信号DQSとが出力される。この擬似インターフェースから出力されるデータ信号DQ#、例えばDQ0と、データストローブ信号DQSとの間に位相のずれはなく、最初のデータD1はDQSの立上りエッジ、次のデータD2はDQSの立ち下りエッジで出力され、その後データD3、D4も同様にシリアルに出力される。
ASICインターフェースとしてのIF部12側では、データストローブ信号DQSは受信バッファ32を介してディレイ・ロックド・ループ33によって90度位相が遅らされ、クロック信号CKDQSpとして、またそのインバータ34による反転信号がCKDQSnとしてフリップ・フロップへのデータの取り込みに用いられる。すなわち最初のデータD1がCKDQSp信号の立上りエッジでFF21に取り込まれ次にCKDQSn信号の立上りエッジでデータD1はFF22にシフトされ、同時にFF23にデータD2が取り込まれ、以下同様の動作が続けられる。
FF22、23に取り込まれたデータは、前述と同様に出力パターン圧縮回路43を経由して低速テスタ9に与えられる。図7には図示されていないが、擬似インターフェース側から送られ、ASICインターフェースとしてのIF部12によって受信されたテストデータは、当然受信データラッチ部42を介して出力パターン圧縮回路43によって圧縮され、低速テスタ9に出力される。
図7においては、エミュレート動作を基本的に説明するために必要な構成のみを示して第1の実施例の動作について説明したが、実際には通常動作時において内部ロジック部31からのデータの入出力、通常動作と異なる試験時にはテストパターン発生回路41から出力されるテストデータの外部への出力などのために、より具体的な構成が必要となる。図10から図12を用いてそのような詳細構成について説明する。
図10は、内部ロジック部31による通常のデータ送受信、およびインターフェースの試験時におけるテストパターン発生回路41から出力されるテストデータの送受信のための詳細構成回路図である。同図において2つのANDゲート45、46、インバータ47、FF51から51、52から52の部分は図7に示されているものと同じである。
ANDゲート45、46の出力するemode1z、emode2z信号と、その値が“0”の時にDDR−SDRAMへのライトモードであることを、“1”の時にリードモードであることを示すwrz信号とが入力される2つのANDゲート53、54、インバータ55、56、セレクタ57、58は、2つのIF部12、12の内部の各データ信号DQ0からDQnまでに対応するデータ送受信部6510から651n、6520から652nに対して、データ送信のイネーブル信号としてのct1、ct2信号を出力するものである。
後述するように、例えばデータ送受信部6510の内部で、データ信号DQ0を出力するための送信バッファ、図7では16に対して出力イネーブル端子が設けられ、この端子に与えられるデータ出力イネーブル信号が“0”の時に、FF15に保持されていたデータが送信バッファ16を介して外部に出力されるものとする。
セレクタ59、60は、このデータ出力イネーブル信号として、内部ロジック部(コア部)31からの出力イネーブル信号c1、c2と、セレクタ57、58の出力するイネーブル信号ct1、ct2のいずれかを選択して、各データ送受信部6510から651n、6520から652nの端子Cに対して出力するものである。例えばセレクタ60は、インターフェースの試験時においてemz信号が“1”になった時には、入力端子Bからのct1信号を端子Cに出力し、emz信号が“0”の通常動作時においては入力端子Aに入力される、内部ロジック部31からのイネーブル信号c1を端子Cに出力する。
図11は、インターフェース試験時におけるデータ出力イネーブル信号ct1、およびct2を決定する論理の説明図である。この論理はそれぞれ2つのANDゲート53、54、インバータ55、56、およびセレクタ57、58によって実現される。まずemz信号が“0”の時、すなわち通常動作時においては、emode1z、emode2z、およびwrz信号の値はドントケアー(×)であり、信号ct1、ct2の代わりにコア部31からのデータ出力イネーブル信号c1、c2が用いられる。
emz信号が“1”になると、前述のようにchselectz信号の値に対応してemode1z信号、またはemode2z信号のいずれかが“1”、他方が“0”となる。emode1z信号が“1”、emode2zが“0”の時には、前述のようにIF部12(チャネル1)が擬似インターフェースとして動作することになるが、この場合、wrz信号の値によってct1信号、ct2信号の値が決定される。wrz信号が“0”の時、すなわちDDR−SDRAMへのデータのライトモードの時には、ANDゲート53の出力が“1”となっているために、セレクタ57への入力のうちインバータ55の出力が選択され、セレクタ57の出力するct1信号は“1”となる。これに対してANDゲート54の出力が“0”となっているため、セレクタ58への入力のうち、端子Aへの入力信号がセレクタ58の出力となり、ct2信号の値は“0”となる。
セレクタ57の出力としてのct1信号はセレクタ60の入力端子Bに接続されている。この時選択制御信号としてのemz信号の値は“1”であり、セレクタ60は入力端子Bへの入力を選択して、IF部12内の全ての送受信部6510から651nの端子Cに “1”を出力する。端子Cへの信号は、後述するように図7の送信バッファ16から16に相当する出力イネーブル端子付送信バッファに対する出力イネーブル信号として与えられ、この出力イネーブル端子が負論理で動作するために、IF部12内の全ての送受信部6510から651nまでは送信状態とならず、受信状態として動作することになる。
これに対してセレクタ59は同様に入力端子Bへの入力信号ct2を選択し、ct2はIF部12内の全ての送受信部6520から652nの端子Cに対する信号の値として“0”を与える。このため出力イネーブル端子付データ送信バッファは出力イネーブルとなり、送受信部6520から652nは全てデータ送信状態となる。これによって一般的なASIC11のインターフェースとしてのIF部12から、データがDDR−SDRAMの擬似インターフェースとしてのIF部12に送られ、データの書込みが行われることになる。
ここでIF部12からIF部12に送られるデータは、通常動作時には内部ロジック部31から出力される通常データであり、インターフェースの試験時にはテストパターン発生回路41によって出力されるテストデータである。内部ロジック部31からの出力データは、データ送受信部6520から652n内のDOA端子、およびDOB端子に、内部ロジック部31からdoa20からdoa2n、およびdob20からdob2nとして出力される。テストデータは、同じくデータ送受信部6520から652nのDTA、DTB端子に対して、テストパターン発生回路41からデータdta0からdtan、およびdtb0からdtbnとして与えられる。各送受信部の内部で、テストデータと内部ロジック部31からの通常データとのいずれを選択するかについては後述する。
通常のASICインターフェースとしてのIF部12から擬似インターフェースとしてのIF部12に送られたデータは、データ送受信部6510から651nに対する入力信号として与えられ、これらの信号は各送受信部内の端子DIA、DIBから出力される。これらのデータはdia10からdia1n、およびdib10からdib1nとして内部ロジック部31に送られるとともに、これらのデータがテストデータである時には、これらのデータはセレクタ62から62、および63から63に送られる。これらのセレクタに対する選択制御信号としては前述の信号ct2が与えられている。ここで、信号ct2の値は“0”であり、各セレクタの入力端子Aへの入力が選択され、各セレクタの出力、すなわちdia10からdia1n、およびdib10からdib1nはクロック信号X1pの立上りエッジに同期してフリップ・フロップ51から51、52から52に取り込まれ、出力パターン圧縮回路43によって圧縮されて低速テスタ9にその結果が送られる。
図11に戻り、emode1z信号が“1”、emode2z信号が“0”でwrz信号が“1”の時には、IF部12(チャネル1)が擬似インターフェースとして、IF部12(チャネル2)が通常ASICインターフェースとして動作するが、wrz信号が“1”であり、DDR−SDRAMからのデータリードモードであるために、IF部12からデータが出力され、そのデータはIF部12によって受信されることになる。
この時、内部ロジック部31からの出力データdoa10からdoa1n、dob10からdob1n、またはテストパターン発生回路41から出力されるテストデータdta0からdtan、dtb0からdtbnのいずれかが選択されて、IF部12からIF部12に送られる。
IF部12側では入力データdia20からdia2n、dib20からdib2nのデータが内部ロジック部31に送られるとともに、セレクタ62から62、63から63の入力端子Bに与えられる。この時、各セレクタへの選択制御信号としてのct2信号の値は“1”となっており、入力端子Bに与えられたデータがFF51から51、52から52、出力パターン圧縮回路43を介してテスト結果として低速テスタ9に与えられる。
図11でemode1z信号が“0”、emode2z信号が“1”であると、IF部12がDDR−SDRAMのインターフェースの擬似インターフェースとして動作し、IF部12は通常のASICインターフェースとして動作する。wrz信号が“0”の時にはライトモードとしてIF部12からIF部12にデータが送られ、wrz信号が“1”である時にはリードモードとしてIF部12からIF部12にデータが送られるが、その詳細は前述と同様であるのでその説明を省略する。
図12は、図10のIF部12、IF部12内部のデータ送受信部6510から651n、6520から652nの詳細構成を示す。ここではデータ信号DQ0に対するデータ送受信部6510、または6520の構成を示すが、他の送受信部の構成も同一である。
図12の詳細構成を図7と比較すると、前述のようにデータ送信バッファ16が出力イネーブル端子付のデータ出力バッファ78に変更され、データ送信部として内部ロジック部31からの出力データ、またはテストパターン発生回路41からのテストデータを選択するための2つのセレクタ71、72、図7では送信バッファ16の前段のFF15と、2つのセレクタ71、72との間でデータを2倍の速度で送信するために用いられるFF73、74、インバータ75、およびセレクタ76が追加されている。
2つのセレクタ71、72は、内部ロジック部31からの通常データDOA、DOBと、テストパターン発生回路41からのテストデータDTA、DTBのいずれかを選択して、その選択結果をFF73、74に与えるものである。これらのセレクタに対しては選択制御信号としてEMZ端子への入力信号、図10ではemz信号が与えられる。データ送受信部65(6510、または6520)がインターフェース試験時に擬似インターフェース側として動作する場合には、相手側に送信すべきデータはテストデータであり、このためemz信号の値が“1”の時にはテストデータとしての端子DTA、DTBからの信号が2つのセレクタから出力される。通常のASICインターフェースとして動作する場合には、2つのセレクタは送信データとして内部ロジック部31からの信号、すなわち端子DOA、DOBへの入力信号を選択して出力することになる。
FF73はセレクタ71からの入力データをクロック信号X1pの立上りエッジで取り込み、またFF74はセレクタ72からの入力データをインバータ75によるクロック信号X1pの反転結果としてのX1nの立上りエッジで取り込む。セレクタ76はインバータ75の出力としての選択制御信号X1nが“0”の時にはFF73の出力を、また“1”の時にはFF74の出力を選択してFF15に与える。これによってセレクタ76の出力としての信号の速度はセレクタ71、72の出力信号の2倍となる。FF15へのデータの取り込みは、EMODEZ端子から出力される選択制御信号、すなわちemode1z、またはemode2z信号の値が“1”である時には、セレクタ48の入力端子Bへの入力信号としてのクロックX2pの立上りエッジで行われることになる。
なお、本発明の特許請求の範囲、請求項3におけるデータ送信部はFF15、73、74、セレクタ71、72、76、インバータ75、および出力イネーブル端子付バッファ78に相当し、送信データ選択指示信号はEMZ端子から出力されるemz信号に相当する。請求項4におけるデータ送信制御部は図10のANDゲート53、54、インバータ55、56、およびセレクタ57、58に相当し、エミュレート動作指示信号はemode1z、emode2z信号に相当する。
次に、請求項5におけるデータ受信部はバッファ22、およびFF21、22、23に、データ受信制御部は図7のバッファ32、DLL33、インバータ34、およびセレクタ49に相当し、遅延動作指示信号はemode1z(またはemode2z)信号に相当する。さらに請求項6におけるセレクタは図10のセレクタ62、63に相当し、選択制御信号はct2信号に相当する。
以上のように本発明の第1の実施例では、接続相手先のインターフェースの動作を複数のインターフェースのいずれかに実行させることにより、1つのASICによる試験が可能となる。また試験結果を圧縮することにより、低速テスタによる結果判定が可能となる。
以上で本発明のインターフェース試験方式の第1の実施例について詳細に説明したが、次に第2の実施例について図13によって説明する。第1の実施例では2つのIF部のうちいずれか1つが接続先デバイス、例えばDDR−SDRAMのインターフェースの擬似インターフェースとして動作するものとしたが、通常のASICインターフェースとDDR−SDRAMインターフェースの入力負荷の相違については考慮されていなかった。
そこで図13の第2の実施例では、擬似インターフェースとして動作する可能性のあるIF部のすべてのデータ入出力端子に対して、接続先デバイスのインターフェースにおける入力容量と同等となるような静電容量80から80と、各データ信号入力ポートとこれらの静電容量とを接続するスイッチ81から81とが備えられ、擬似インターフェースとしての動作を指示する信号、例えばemode1z信号の値が“1”である時に対応するIF部12(チャネル1)の内部の全てのスイッチ81から81が閉じられ、擬似インターフェースとしてのインターフェースが接続先デバイスのインターフェースと同一の入力容量負荷を持つような構成がとられる。なお、図7で説明したエミュレート制御部40には、これらのスイッチ81から81までが含まれることになる。その他のインターフェースとしての動作は第1の実施例と同様であり、その説明を省略する。このように第2の実施例では接続相手先デバイスの入力負荷を考慮したインターフェース試験が可能となる。
図14は、本発明のインターフェース試験方式の第3の実施例である。一般にDDR−SDRAMのインターフェースにおいては、データ信号DQの8ビット毎にデータストローブ信号DQSが用いられる。例えば32ビットデータに対応するインターフェースであれば、データストローブ信号DQSによってデータ信号のグループをDQグループ85からDQグループ85、すなわち4つのグループに分割することができる。
そこで第3の実施例では、これらのグループ間でデータ転送を行い、インターフェースの試験を行うために、DQグループ85と85とをデータストローブ信号の伝送線6、データ信号の伝送線5によって結び、またDQグループ85と85とをデータストローブ信号DQSの伝送線6、データ信号DQの伝送線5によって結び、それぞれ片方のDQグループをDDR−SDRAMのインターフェースの擬似インターフェースとして動作させ、他方を通常のASICのインターフェースとして動作させる。これによってIF部が1チャンネルしかない場合でも、DQグループの単位でデータ間のばらつきを考慮した試験が可能となる。この第3の実施例は複数ビット毎にデータストローブ信号が用いられる方式であれば、DDR−SDRAM以外のデバイスにも適用可能である。
なお、以上の説明では通常のASICインターフェースと動作仕様の異なるインターフェースとしてDDR−SDRAMのインターフェースを例として発明の実施の形態を説明したが、本発明の適用範囲がDDR−SDRAMのインターフェースとの間にだけ限定されないことは当然である。
本発明の適用可能なインターフェースは、例えば“ソース・シンクロナス”の特性を有する高速パラレル・アーキテクチャ・インターフェースと一般的に表現できる。ここでソース・シンクロナスとは、送信先からの信号に同期させてデータを転送することを意味し、このようなインターフェースとして、例えば図8、図9で1つのデータ、例えばD1の代わりに2つのデータを、D1とD2の2つのデータの代わりに合計4つのデータをまとめて転送するためのDDR2−SDRAMや、合計8つのデータをまとめて転送するXDR−SDRAMのインターフェースなどがあげられる。
最後になるが、以上の説明では、例えばASICの内部に複数のIF部が備えられ、そのうち1つのIF部に、例えばDDR−SDRAMのIFの動作をエミュレートさせ、他の1つのIF部との間でテストデータの送受信を行わせるものとしたが、本発明の基本概念は、例えば1つだけしかIF部を備えていないASICに対しても適用可能である。
すなわち、IF部をそれぞれ1つだけ備える2つのASICのIF部を伝送線によって接続し、一方のIF部にDDR−SDRAMのIFの動作をエミュレートさせ、他方のIF部に通常のASICのIFの動作を実行させることにより、インターフェースの試験が可能になる。これは、例えば図7や図13のIF部12が他のASIC内に存在する場合に相当し、テストパターン発生回路41、出力パターン圧縮回路43などをそのASICと接続することにより、テストデータの送受信が行われる。
ただし、この場合には図20の従来例で説明したように試験結果がNGであるとき、不良なASICの判定が必要になるが、例えば高速パラレルインターフェースを1つだけしか持たないASIC(LSI)に対しても本発明のインターフェース試験方式が適用可能になるという意味で、その実用的価値は大きい。
(付記1) データ送受信を行うためのインターフェースを複数備えた半導体集積回路装置であって、
前記複数のインターフェースのいずれか1つに、前記半導体集積回路装置の接続相手先デバイスであって、動作仕様が異なる接続相手先デバイスのインターフェースをエミュレートする動作を実行させるエミュレート制御部を備えることを特徴とする半導体集積回路装置。
(付記2) 前記エミュレート制御部が、前記半導体集積回路装置内に組み込まれ、テストデータを生成するビルト・イン・セルフ・テスト回路内に備えられることを特徴とする付記1記載の半導体集積回路装置。
(付記3) 前記エミュレート動作を実行するインターフェースが前記テストデータの送信側である時、前記エミュレート制御部が、該インターフェース内のデータ送信部に対して、前記ビルト・イン・セルフ・テスト回路によって生成されるテストデータの送信を選択させる送信データ選択指示信号を出力することを特徴とする付記2記載の半導体集積回路装置。
(付記4) 前記エミュレート制御部が、前記インターフェース内のデータ送信制御部に対して、該インターフェースに対するエミュレート動作指示信号を出力し、
該データ送信制御部が、さらに前記データ送信部内の出力イネーブル端子付データ送信バッファに出力イネーブル信号を出力することを特徴とする付記3記載の半導体集積回路装置。
(付記5) 前記エミュレート動作を実行するインターフェースが前記テストデータの受信側である時、該受信テストデータの送信側から送られるデータストローブ信号を遅延させた信号を、受信するテストデータをラッチするためのクロック信号として該インターフェース内のデータ受信部に用いさせるために、前記エミュレート制御部が、該インターフェース内のデータ受信制御部に対して、該データストローブ信号を遅延させるための遅延動作指示信号を与えることを特徴とする付記2記載の半導体集積回路装置。
(付記6) 前記エミュレート制御部が、前記2つのインターフェースのいずれがテストデータを受信しているかに対応して、2つのインターフェースのデータ受信部内でラッチされたデータを選択してテスト結果判定に用いるためのセレクタに対して、前記エミュレート動作を実行するインターフェースのデータ受信部にラッチされたデータを選択させる選択制御信号を出力することを特徴とする付記5記載の半導体集積回路装置。
(付記7) 前記インターフェースが、高速パラレルインターフェースであることを特徴とする付記1記載の半導体集積回路装置。
(付記8) データ送受信を行うためのインターフェースを複数備えた半導体集積回路装置におけるインターフェースの試験方法であって、
該複数のインターフェースのうち、2つのインターフェースを伝送線によって接続し、
該半導体集積回路装置の接続相手先デバイスであって、動作仕様の異なる接続相手先デバイスのインターフェースをエミュレートする動作を、該2つのインターフェースのいずれか一方に実行させるように制御し、
該エミュレート動作を行うインターフェースと、前記2つのインターフェースの他方のインターフェースとの間でデータの送受信を実行させ、
該データ送受信結果に対応して、インターフェースの試験結果を得ることを特徴とするインターフェース試験方法。
(付記9) 前記半導体集積回路装置が、該半導体集積回路装置内に組み込まれ、データを生成するビルト・イン・セルフ・テスト回路を備え、
該ビルト・イン・セルフ・テスト回路によって生成されたデータが前記2つのインターフェースの間で送受信されることを特徴とする付記8記載のインターフェース試験方法。
(付記10) 前記エミュレート動作を実行するインターフェースがテストデータの送信側である時、前記エミュレート制御部が、該エミュレート動作を行うインターフェース内のデータ送信部に、前記ビルト・イン・セルフ・テスト回路によって生成されたデータの送信を選択させることを特徴とする付記9記載のインターフェース試験方法。
(付記11) 前記エミュレート制御部が、前記インターフェース内のデータ送信制御部に対して、該インターフェースに対するエミュレート動作指示信号を出力し、
該データ送信制御部が、さらに前記データ送信部内の出力イネーブル端子付データ送信バッファに出力イネーブル信号を出力することを特徴とする付記10記載のインターフェース試験方法。
(付記12) 前記エミュレート動作を実行するインターフェースが前記テストデータの受信側である時、該受信テストデータの送信側から送られるデータストローブ信号を遅延させた信号を、受信するテストデータをラッチするためのクロック信号として該インターフェース内のデータ受信部に用いさせるために、前記エミュレート制御部が、該インターフェース内のデータ受信制御部に対して、該データストローブ信号を遅延させるための遅延動作指示信号を与えることを特徴とする付記9記載のインターフェース試験方法。
(付記13) 前記エミュレート制御部が、前記2つのインターフェースのいずれがテストデータを受信しているかに対応して、2つのインターフェースのデータ受信部内でラッチされたデータを選択してテスト結果判定に用いるためのセレクタに対して、前記エミュレート動作を実行するインターフェースのデータ受信部にラッチされたデータを選択させる選択制御信号を出力することを特徴とする付記12記載のインターフェース試験方法。
(付記14) 前記試験の対象となるインターフェースが、高速パラレルインターフェースであることを特徴とする付記8記載のインターフェース試験方法。
(付記15) データ送受信を行うためのインターフェースを備えた半導体集積回路装置の内部でインターフェースの試験を制御する回路であって、
前記半導体集積回路装置のインターフェースと動作仕様が異なるインターフェースをエミュレートする動作を該半導体集積回路のインターフェースに実行させるエミュレート制御部を備えることを特徴とするインターフェース試験制御回路。
(付記16) データ送受信を行うためのインターフェースを備えた半導体集積回路装置を2つ用いるインターフェースの試験方法であって、
該2つの半導体集積回路装置のインターフェースを伝送線によって接続し、
該2つの半導体集積回路装置のうちの1つの半導体集積回路装置内のエミュレート制御部が、自装置のインターフェースと動作仕様が異なるインターフェースをエミュレートする動作を、自装置のインターフェースに実行させるように制御し、
該エミュレート動作を行うインターフェースと、前記2つの半導体集積回路装置のインターフェースのうちの残りの1つのインターフェースとの間でデータの送受信を実行させ、
該テストデータ送受信結果に対応して、インターフェースの試験結果を得ることを特徴とするインターフェース試験方法。
本発明のインターフェース試験方式の原理的な説明図である。 通常のASICとDDR−SDRAMとの間でのデータ送受信の説明図である。 DDR−SDRAMに対するデータライト動作の説明図である。 DDR−SDRAMからのデータリード動作の説明図である。 ASICにおけるインターフェースの構成例を示す図である。 クロック信号X1p、X1n生成のタイムチャートである。 DDR−SDRAMインターフェースのエミュレート動作を行うASICインターフェースの構成例である。 DDR−SDRAMに対するデータライト動作時のインターフェース試験のタイムチャートである。 DDR−SDRAMからのデータリード動作時のインターフェース試験のタイムチャートである。 通常データ、テストデータの送受信経路を含むインターフェースの詳細構成図である。 図10におけるデータ送受信のための制御信号の決定論理を説明する図である。 インターフェース内のデータ送受信部の詳細構成を示す図である。 インターフェース試験方式の第2の実施例の説明図である。 インターフェース試験方式の第3の実施例の説明図である。 接続相手のデバイスの動作仕様が異なる場合のインターフェース接続方式の従来例である。 図15の従来例におけるインターフェース試験方式の説明図である。 図15の従来例に対するインターフェース試験方式の詳細説明図である。 接続相手のデバイスの動作仕様が同じである場合のインターフェース接続方式の従来例である。 図18の従来例に対するインターフェース試験方式(その1)の説明図である。 図18の従来例に対するインターフェース試験方式(その2)の説明図である。 図18の従来例に対するインターフェース試験方式(その3)の説明図である。 図18の従来例に対するインターフェース試験方式(その4)の説明図である。
符号の説明
1 評価対象LSI
2 評価ボード
3、4 インターフェース(IF)
5 データ信号伝送線
6 データストローブ信号伝送線
7 BIST回路
8 DDR−SDRAMインターフェースエミュレート制御部
9 低速テスタ
10 DDR−SDRAM
11 ASIC
12 IF部
33 ディレイ・ロックド・ループ(DLL)
40 エミュレート制御部
41 テストパターン発生回路
42 受信データラッチ部
43 出力パターン圧縮回路
65 データ送受信部
78 出力イネーブル端子付データ送信バッファ
80 静電容量
81 スイッチ
85 データ信号(DQ)グループ

Claims (18)

  1. データ送受信を行う複数の入出力回路および送受信制御回路で構成された複数のインターフェースを備えた半導体集積回路装置であって、
    前記複数のインターフェースのいずれか1つが試験対象インターフェースの場合、前記複数のインターフェースにおいて、前記試験対象インターフェースに接続された他のインターフェースにより、前記試験対象インターフェースに対する接続先デバイスのライト動作またはリード動作を実行させる制御部を備えることを特徴とする半導体集積回路装置。
  2. 記制御部が、前記半導体集積回路装置内に組み込まれ、テストデータを生成するビルト・イン・セルフ・テスト回路内に備えられることを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路装置。
  3. 前記他のインターフェースが前記テストデータの送信側である時、前記制御部が、該他のインターフェース内の送受信制御回路に対して、前記ビルト・イン・セルフ・テスト回路によって生成されるテストデータの送信を選択させる送信データ選択指示信号を出力することを特徴とする請求項2記載の半導体集積回路装置。
  4. 記制御部が、前記他のインターフェース内の前記送受信制御回路に対して、該インターフェースに対するエミュレート動作指示信号を出力し、
    送受信制御回路が、さらに前記他のインターフェースの入出力回路内の出力イネーブル端子付データ送信バッファに出力イネーブル信号を出力することを特徴とする請求項3記載の半導体集積回路装置。
  5. 前記他のインターフェースが前記テストデータの受信側である時、該テストデータの送信側から送られるデータストローブ信号を遅延させた信号を、受信するテストデータをラッチするためのクロック信号として該他のインターフェース内の送受信制御回路に用いさせるために、前記制御部が、該他のインターフェース内の該送受信制御回路に対して、該データストローブ信号を遅延させるための遅延動作指示信号を与えることを特徴とする請求項2記載の半導体集積回路装置。
  6. 記制御部が、前記試験対象インターフェースまたは前記他のインターフェースのいずれがテストデータを受信しているかに対応して、該試験対象インターフェースまたは該他のインターフェースの送受信制御回路内でラッチされたデータを選択してテスト結果判定に用いるためのセレクタに対して、該他のインターフェースの該送受信制御回路にラッチされたデータを選択させる選択制御信号を出力することを特徴とする請求項5記載の半導体集積回路装置。
  7. データ送受信を行う複数の入出力回路および送受信制御回路で構成された複数のインターフェースを備えた半導体集積回路装置の内部でインターフェースの試験を制御する回路であって、
    前記複数のインターフェースのいずれか1つが試験対象インターフェースの場合、前記複数のインターフェースにおいて、前記試験対象インターフェースに接続された他のインターフェースにより、前記試験対象インターフェースに対する接続先デバイスのライト動作またはリード動作を実行させる制御部を備えることを特徴とするインターフェース試験制御回路。
  8. データ送受信を行う複数の入出力回路および送受信制御回路で構成された複数のインターフェースを備えた半導体集積回路装置におけるインターフェースの試験方法であって、
    該複数のインターフェースのうち、試験対象インターフェースと他のインターフェースを伝送線によって接続し、
    前記他のインターフェースにより、前記試験対象インターフェースに対する接続先デバイスのライト動作またはリード動作を実行させるように制御し、
    他のインターフェースと前記試験対象インターフェースとの間でデータの送受信を実行させ、
    ータ送受信結果に対応して、インターフェースの試験結果を得ることを特徴とするインターフェース試験方法。
  9. 前記半導体集積回路装置が、該半導体集積回路装置内に組み込まれ、データを生成するビルト・イン・セルフ・テスト回路を備え、
    該ビルト・イン・セルフ・テスト回路によって生成されたデータが前記他のインターフェースと前記試験対象インターフェースの間で送受信されることを特徴とする請求項8記載のインターフェース試験方法。
  10. データ送受信を行う複数の入出力回路および送受信制御回路で構成された複数のインターフェースを備えた半導体集積回路装置を2つ用いるインターフェースの試験方法であって、
    該2つの半導体集積回路装置のうち第1の半導体集積回路装置内の試験対象インターフェースと第2の半導体集積回路装置内の他のインターフェースを伝送線によって接続し、
    第2の半導体集積回路装置内の制御部が、前記試験対象インターフェースに対する接続先デバイスのライト動作またはリード動作を前記他のインターフェースに実行させるように制御し、
    他のインターフェースと前記試験対象インターフェースとの間でデータの送受信を実行させ、
    ータ送受信結果に対応して、インターフェースの試験結果を得ることを特徴とするインターフェース試験方法。
  11. 前記複数のインターフェースの各々の送受信制御回路は、通常動作用のクロック信号またはエミュレート動作用のクロック信号の一方を選択するセレクタを含み、前記試験対象インターフェースと前記他のインターフェースはデータレートが異なり、前記試験対象インターフェースがテストデータの送信側であり前記他のインターフェースが受信側である場合、該試験対象インターフェース内の送受信制御回路のセレクタが、通常動作用のクロック信号を、送信するテストデータをラッチするためのクロック信号として選択し、該他のインターフェース内の送受信制御回路のセレクタが、エミュレート動作用のクロック信号を、受信するテストデータをラッチするためのクロック信号として選択することを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路装置。
  12. 前記複数のインターフェースの各々の送受信制御回路は、通常動作用のクロック信号またはエミュレート動作用のクロック信号の一方を選択するセレクタを含み、前記試験対象インターフェースと前記他のインターフェースはデータレートが異なり、前記試験対象インターフェースがテストデータの受信側であり前記他のインターフェースが送信側である場合、該試験対象インターフェース内の送受信制御回路のセレクタが、通常動作用のクロック信号を、受信するテストデータをラッチするためのクロック信号として選択し、該他のインターフェース内の送受信制御回路のセレクタが、エミュレート動作用のクロック信号を、送信するテストデータをラッチするためのクロック信号として選択することを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路装置。
  13. 前記複数のインターフェースの各々の送受信制御回路は、通常動作用のクロック信号またはエミュレート動作用のクロック信号の一方を選択するセレクタを含み、前記試験対象インターフェースと前記他のインターフェースはデータレートが異なり、前記試験対象インターフェースがテストデータの送信側であり前記他のインターフェースが受信側である場合、該試験対象インターフェース内の送受信制御回路のセレクタが、通常動作用のクロック信号を、送信するテストデータをラッチするためのクロック信号として選択し、該他のインターフェース内の送受信制御回路のセレクタが、エミュレート動作用のクロック信号を、受信するテストデータをラッチするためのクロック信号として選択することを特徴とする請求項7記載のインターフェース試験制御回路。
  14. 前記複数のインターフェースの各々の送受信制御回路は、通常動作用のクロック信号またはエミュレート動作用のクロック信号の一方を選択するセレクタを含み、前記試験対象インターフェースと前記他のインターフェースはデータレートが異なり、前記試験対象インターフェースがテストデータの受信側であり前記他のインターフェースが送信側である場合、該試験対象インターフェース内の送受信制御回路のセレクタが、通常動作用のクロック信号を、受信するテストデータをラッチするためのクロック信号として選択し、該他のインターフェース内の送受信制御回路のセレクタが、エミュレート動作用のクロック信号を、送信するテストデータをラッチするためのクロック信号として選択することを特徴とする請求項7記載のインターフェース試験制御回路。
  15. 前記複数のインターフェースの各々の送受信制御回路は、通常動作用のクロック信号またはエミュレート動作用のクロック信号の一方を選択するセレクタを含み、前記試験対象インターフェースと前記他のインターフェースはデータレートが異なり、前記試験対象インターフェースがテストデータの送信側であり前記他のインターフェースが受信側である場合、該試験対象インターフェース内の送受信制御回路のセレクタが、通常動作用のクロック信号を、送信するテストデータをラッチするためのクロック信号として選択し、該他のインターフェース内の送受信制御回路のセレクタが、エミュレート動作用のクロック信号を、受信するテストデータをラッチするためのクロック信号として選択することを特徴とする請求項8記載のインターフェース試験方法。
  16. 前記複数のインターフェースの各々の送受信制御回路は、通常動作用のクロック信号またはエミュレート動作用のクロック信号の一方を選択するセレクタを含み、前記試験対象インターフェースと前記他のインターフェースはデータレートが異なり、前記試験対象インターフェースがテストデータの受信側であり前記他のインターフェースが送信側である場合、該試験対象インターフェース内の送受信制御回路のセレクタが、通常動作用のクロック信号を、受信するテストデータをラッチするためのクロック信号として選択し、該他のインターフェース内の送受信制御回路のセレクタが、エミュレート動作用のクロック信号を、送信するテストデータをラッチするためのクロック信号として選択することを特徴とする請求項8記載のインターフェース試験方法。
  17. 前記第1および第2の半導体集積回路装置の各々の各インターフェースの送受信制御回路は、通常動作用のクロック信号またはエミュレート動作用のクロック信号の一方を選択するセレクタを含み、前記試験対象インターフェースと前記他のインターフェースはデータレートが異なり、前記試験対象インターフェースがテストデータの送信側であり前記他のインターフェースが受信側である場合、該試験対象インターフェース内の送受信制御回路のセレクタが、通常動作用のクロック信号を、送信するテストデータをラッチするためのクロック信号として選択し、該他のインターフェース内の送受信制御回路のセレクタが、エミュレート動作用のクロック信号を、受信するテストデータをラッチするためのクロック信号として選択することを特徴とする請求項10記載のインターフェース試験方法。
  18. 前記第1および第2の半導体集積回路装置の各々の各インターフェースの送受信制御回路は、通常動作用のクロック信号またはエミュレート動作用のクロック信号の一方を選択するセレクタを含み、前記試験対象インターフェースと前記他のインターフェースはデータレートが異なり、前記試験対象インターフェースがテストデータの受信側であり前記他のインターフェースが送信側である場合、該試験対象インターフェース内の送受信制御回路のセレクタが、通常動作用のクロック信号を、受信するテストデータをラッチするためのクロック信号として選択し、該他のインターフェース内の送受信制御回路のセレクタが、エミュレート動作用のクロック信号を、送信するテストデータをラッチするためのクロック信号として選択することを特徴とする請求項10記載のインターフェース試験方法。
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