JP4432035B2

JP4432035B2 - Mini-environment device

Info

Publication number: JP4432035B2
Application number: JP2004101697A
Authority: JP
Inventors: 松雄神谷; 順太平田; 健一中島; 得男久禮
Original assignee: Hitachi Plant Technologies Ltd
Current assignee: Hitachi Plant Technologies Ltd
Priority date: 2004-03-31
Filing date: 2004-03-31
Publication date: 2010-03-17
Anticipated expiration: 2024-03-31
Also published as: JP2005283049A

Description

本発明はミニエンバイロメント装置に係り、特に半導体製造機器などの精密品の製造機器に隣接して配置されるミニエンバイロメント装置に関する。 The present invention relates to a mini-environment apparatus, and more particularly to a mini-environment apparatus disposed adjacent to a precision product manufacturing apparatus such as a semiconductor manufacturing apparatus.

図１１はこの種のミニエンバイロメント装置の一般的な設置例を示す正断面図である。クリーンルーム１内には各種の半導体製造機器２，２，…が多数設置され、例えば半導体ウエハに対して種々の処理、加工を行う。ウエハに空気中の浮遊する微細な塵埃が付着すると加工不良が発生し、製品の歩留まりが低下する。このため、クリーンルーム１内の環境を高清浄に維持し、ウエハを取り扱う過程でウエハに塵埃が付着しないようにする必要がある。この目的でクリーンルームの全体を高清浄に維持することが一般的に行われている。しかしながら、このような方法ではクリーンルームの建設費、運転費が莫大となり、ウエハの製造コストを引き上げる大きな要因になっていた。そこで、近年では図示のようなミニエンバイロメント方式が採用されるようになってきた。 FIG. 11 is a front sectional view showing a typical installation example of this type of mini-environment device. A large number of various semiconductor manufacturing equipments 2, 2,... Are installed in the clean room 1, and various processing and processing are performed on, for example, a semiconductor wafer. If fine dust floating in the air adheres to the wafer, processing defects occur and the product yield decreases. For this reason, it is necessary to keep the environment in the clean room 1 highly clean and prevent dust from adhering to the wafer in the process of handling the wafer. For this purpose, it is common practice to keep the entire clean room clean. However, in such a method, the construction cost and operation cost of the clean room are enormous, which has been a major factor in raising the wafer manufacturing cost. Therefore, in recent years, a mini-environment system as shown in the figure has been adopted.

この方式ではクリーンルーム１の天井に設置する清浄空気吹出し装置３の台数を大幅に削減し、室内の清浄度を緩和することによって、クリーンルーム１の建設費、運転費の削減を図っている。その代わりに各製造機器２に隣接してミニエンバイロメント装置４を配置する。ミニエンバイロメント装置４にはＨＥＰＡ(高性能)フィルタ５が装備されており、クリーンルーム１から取り込んだ空気をＨＥＰＡフィルタ５によって清浄化し、中間室６を局所的な清浄環境に維持する。クリーンルーム１の通路を走行する自動搬送機７にはＦＯＵＰ（開閉機構付き密閉容器）８が搭載され、このＦＯＵＰ８内に被処理品であるウエハが収納されている。自動搬送機７が目的の製造機器２に対応したミニエンバイロメント装置４の前に停止し、ミニエンバイロメント装置４に装備されたオープナ（不図示）上にＦＯＵＰ８が置かれる。 In this method, the number of clean air blowing devices 3 installed on the ceiling of the clean room 1 is greatly reduced, and the cleanliness of the room is eased, thereby reducing the construction cost and the operating cost of the clean room 1. Instead, the mini-environment device 4 is arranged adjacent to each manufacturing device 2. The mini-environment device 4 is equipped with a HEPA (high performance) filter 5, and the air taken in from the clean room 1 is cleaned by the HEPA filter 5 to maintain the intermediate chamber 6 in a local clean environment. A FOUP (sealed container with an opening / closing mechanism) 8 is mounted on the automatic transfer machine 7 that travels in the passage of the clean room 1, and a wafer that is an object to be processed is stored in the FOUP 8. The automatic transfer machine 7 stops in front of the mini-environment device 4 corresponding to the target manufacturing equipment 2, and the FOUP 8 is placed on an opener (not shown) provided in the mini-environment device 4.

オープナはＦＯＵＰ８の扉をクリーンルーム１の雰囲気から遮断した状態で開放する。中間室６内にはウエハの移載機（不図示）が装備されている。ＦＯＵＰ８内のウエハが移載機によって受け渡しされ、ウエハは中間室６内に一旦取り込まれた後、製造機器２に受け渡しされる。製造機器２によって処理、加工を受けたウエハは上記と逆の経路でＦＯＵＰ８に戻された後、別の処理、加工を受けるために自動搬送機７によって次の製造機器２に搬送される。このように、製造機器２間のウエハの搬送が局所的な清浄環境である中間室６とＦＯＵＰ８を介してのみ行われるので、搬送の過程でウエハに塵埃が付着することを防止できる。 The opener opens with the door of the FOUP 8 blocked from the clean room 1 atmosphere. The intermediate chamber 6 is equipped with a wafer transfer machine (not shown). The wafer in the FOUP 8 is transferred by the transfer machine, and the wafer is once taken into the intermediate chamber 6 and then transferred to the manufacturing equipment 2. The wafer that has been processed and processed by the manufacturing device 2 is returned to the FOUP 8 through the reverse path to the above, and then transferred to the next manufacturing device 2 by the automatic transfer machine 7 to receive another processing and processing. As described above, since the wafer is transferred between the manufacturing apparatuses 2 only through the intermediate chamber 6 and the FOUP 8 which are local clean environments, it is possible to prevent dust from adhering to the wafer during the transfer process.

ところで、清浄度が比較的低いクリーンルーム１の空気中には塵埃以外にウエハに悪影響を与えるケミカル成分（化学物質）が含まれている。したがって、ミニエンバイロメント装置４に取り込んだ空気中のケミカル成分をウエハに接触させないための措置が必要になる。ＨＥＰＡフィルタ５は塵埃の除去に対しては有効であるが、ケミカル成分を除去することはできない。このため、最近のミニエンバイロメント装置４においては、ＨＥＰＡフィルタ５とは別個にケミカル成分を除去するケミカルフィルタを装備したものが増えている。このような装置ではクリーンルーム１から取り込んだ空気をケミカルフィルタに通し、ケミカル成分を除去した後の空気をＨＥＰＡフィルタ５に通して中間室６に吹き出すようにしている。しかしながら、ケミカルフィルタは一般に高価であり、かつケミカル成分の除去容量が比較的少ない。このため、ケミカルフィルタの寿命が短くなり頻繁な交換を余儀なくされ、保守費が嵩むという問題点があった。 By the way, the air in the clean room 1 having a relatively low cleanliness contains chemical components (chemical substances) that adversely affect the wafer in addition to dust. Therefore, it is necessary to take measures to prevent chemical components in the air taken into the mini-environment device 4 from coming into contact with the wafer. The HEPA filter 5 is effective for removing dust, but cannot remove chemical components. For this reason, in recent mini-environment devices 4, those equipped with a chemical filter for removing chemical components separately from the HEPA filter 5 are increasing. In such an apparatus, the air taken in from the clean room 1 is passed through a chemical filter, and the air after the removal of chemical components is passed through the HEPA filter 5 and blown out to the intermediate chamber 6. However, chemical filters are generally expensive and have relatively little removal capacity for chemical components. For this reason, there has been a problem in that the life of the chemical filter is shortened, frequent replacement is required, and maintenance costs increase.

特許文献１には上記問題点を改善したミニエンバイロメント装置が開示されている。図１２にその概要を示す。ミニエンバイロメント装置１０はクリーンルーム１１内に設置されており、クリーンルーム１１内の空気１２が吸引ファン１３によって装置内に取り込まれる。すなわち、空気１２を冷却器１４で冷却した後、ケミカルフィルタ１５によって空気中のケミカル成分を除去し、しかる後に装置内に送り込む。装置内には循環ファン１６とＨＥＰＡフィルタ１７が装備され、ＨＥＰＡフィルタ１７を通過した清浄空気１８が中間室１９に吹き出され、中間室１９は清浄環境に維持される。中間室１９を通過した空気は循環経路２０を経由して循環ファン１６の吸込側に循環される。循環経路２０には温度計２１が設置されており、温度計２１で検出される循環空気の温度が所定値以下となるように冷却器１４に通水する冷却水２２の流量を調節する。 Patent Document 1 discloses a mini-environment device that improves the above-described problems. The outline is shown in FIG. The mini-environment device 10 is installed in a clean room 11, and air 12 in the clean room 11 is taken into the device by a suction fan 13. That is, after the air 12 is cooled by the cooler 14, the chemical components in the air are removed by the chemical filter 15, and then sent into the apparatus. A circulation fan 16 and a HEPA filter 17 are installed in the apparatus, and the clean air 18 that has passed through the HEPA filter 17 is blown into the intermediate chamber 19 so that the intermediate chamber 19 is maintained in a clean environment. The air that has passed through the intermediate chamber 19 is circulated to the suction side of the circulation fan 16 via the circulation path 20. A thermometer 21 is installed in the circulation path 20, and the flow rate of the cooling water 22 that passes through the cooler 14 is adjusted so that the temperature of the circulating air detected by the thermometer 21 becomes a predetermined value or less.

この特許文献１に記載されたミニエンバイロメント装置１０によれば、中間室１９に吹き出した清浄空気１８を循環ファン１６によって内部循環するので、クリーンルーム１１内から取り込む空気１２の量を大幅に少なくできる。このため、ケミカルフィルタ１５に対する負荷がその分、低減し、高価なケミカルフィルタ１５の寿命を延ばすことができる。その結果、ケミカルフィルタ１５の交換頻度が少なくなり、保守費の低減を図ることができる。なお、清浄空気を内部循環すると循環ファン１６の駆動によって循環空気の温度が次第に上昇するが、取り込み空気１２を冷却器１４で冷却することによって循環空気の温度を所定値以下に維持することができる。
特開２００３−５１４３１号公報 According to the mini-environment device 10 described in Patent Document 1, since the clean air 18 blown into the intermediate chamber 19 is internally circulated by the circulation fan 16, the amount of air 12 taken from the clean room 11 can be greatly reduced. . For this reason, the load on the chemical filter 15 is reduced correspondingly, and the life of the expensive chemical filter 15 can be extended. As a result, the frequency of replacement of the chemical filter 15 is reduced, and maintenance costs can be reduced. When the clean air is circulated internally, the temperature of the circulating air gradually increases by driving the circulation fan 16, but the temperature of the circulating air can be maintained at a predetermined value or less by cooling the intake air 12 with the cooler 14. .
JP 2003-51431 A

しかしながら、上記特許文献１に記載されたミニエンバイロメント装置１０では、取り込み空気１２のみをケミカルフィルタ１５で処理するので、ミニエンバイロメント装置１０内で発生したケミカル成分、例えばミニエンバイロメント装置１０の構成部材から揮発した有機化合物などのケミカル成分は除去することができない。このため、循環空気中に内部発生に起因したケミカル成分が蓄積することになり、中間室１９内を搬送されるウエハなどがケミカル成分によって汚染される恐れがあった。また、特許文献１に記載されたミニエンバイロメント装置１０は内部温度の上昇を防ぐために冷却器１４を必要としている。クリーンルーム内に多数設置される各製造機器に対応して設けられるミニエンバイロメント装置のそれぞれに冷却器を装備することは設備費の高騰を招き、また、装置の運転保守を複雑にするという問題点があった。このような問題点はウエハの処理、加工を行う製造機器に限らず、各種の精密品の製造機器に隣接して配置されるミニエンバイロメント装置において共通する問題点であった。 However, in the mini-environment device 10 described in Patent Document 1, since only the intake air 12 is processed by the chemical filter 15, the chemical components generated in the mini-environment device 10, for example, the configuration of the mini-environment device 10. Chemical components such as organic compounds volatilized from the member cannot be removed. For this reason, chemical components resulting from internal generation accumulate in the circulating air, and there is a possibility that the wafers and the like conveyed in the intermediate chamber 19 are contaminated by the chemical components. Further, the mini-environment device 10 described in Patent Document 1 requires a cooler 14 in order to prevent an increase in internal temperature. Equipped with a cooler in each of the mini-environment devices installed corresponding to each manufacturing equipment installed in a clean room causes a rise in equipment costs and complicates the operation and maintenance of the equipment. was there. Such a problem is not limited to manufacturing equipment that processes and processes wafers, but is a common problem in mini-environment devices arranged adjacent to various precision manufacturing equipment.

本発明の目的は、上記従来技術の問題点を改善し、ケミカルフィルタの負荷を低減できるとともに、内部発生に起因したケミカル成分に対しても対応でき、かつ、冷却器を必要としないミニエンバイロメント装置を提供することにある。 The object of the present invention is to improve the above-mentioned problems of the prior art, reduce the load of the chemical filter, and can cope with chemical components caused by internal generation, and does not require a cooler. To provide an apparatus.

上記の目的を達成するために、本発明に係るミニエンバイロメント装置は、精密品の製造機器に隣接して配置され、外部領域との間で受け渡した精密品を清浄環境が維持された中間室を介して前記製造機器との間で受け渡すようにしたミニエンバイロメント装置であって、空気取込口から取り込んだ空気と前記中間室から返送された循環空気との混合空気を前記中間室に循環させる循環経路と、前記循環空気の循環ルートに配設されたケミカル成分除去手段と、前記循環経路の混合部に配置され前記中間室に混合空気を吹き出す循環送風機と、前記空気取込口または前記循環経路の開度を調整することにより前記循環空気の循環率を調整可能な循環率調整手段とを具備したことを特徴とする。

In order to achieve the above object, a mini-environment device according to the present invention is disposed adjacent to a precision product manufacturing apparatus, and an intermediate chamber in which a clean product is maintained for a precision product delivered to and from an external region. A mini-environment device that is passed to and from the manufacturing equipment via a mixed air of air taken in from an air intake and circulating air returned from the intermediate chamber into the intermediate chamber. A circulation path to be circulated, a chemical component removing means disposed in the circulation path of the circulation air, a circulation fan disposed in a mixing section of the circulation path and blowing mixed air to the intermediate chamber, and the air intake port or A circulation rate adjusting means capable of adjusting a circulation rate of the circulating air by adjusting an opening degree of the circulation path is provided.

上記構成のミニエンバイロメント装置は通常クリーンルーム内に配設され、このクリーンルームが前記外部領域とされる。この場合、クリーンルームの天井エリア内の空気を前記空気取込口から取り込むようにしたことが望ましい。また、前記循環率調整手段を前記空気取込口及び／又は前記循環経路に配設されたダンパーとすることができる。前記循環率は０．７５〜０．９５に調整されていることが望ましい。 The mini-environment apparatus having the above-described configuration is normally disposed in a clean room, and this clean room is used as the external area. In this case, it is desirable to take in the air in the ceiling area of the clean room from the air intake. The circulation rate adjusting means may be a damper disposed in the air intake port and / or the circulation path. The circulation rate is desirably adjusted to 0.75 to 0.95.

上記構成のミニエンバイロメント装置は、前記ケミカル成分除去手段がハニカム構造の成形体によって形成されたケミカルフィルタであることが望ましい。また、前記ケミカル成分除去手段をシート状の除去手段とし、このシート状除去手段を前記循環経路の壁面に貼り付けるようにしてもよい。また、前記循環経路が前記中間室を挟んだ対称位置に２系統で配設されたことが望ましい。 In the mini-environment apparatus having the above-described configuration, it is desirable that the chemical component removing unit is a chemical filter formed by a honeycomb structure. Further, the chemical component removing unit may be a sheet-shaped removing unit, and the sheet-shaped removing unit may be attached to the wall surface of the circulation path. Further, it is desirable that the circulation path is arranged in two lines at a symmetrical position across the intermediate chamber.

本発明のミニエンバイロメント装置によれば、中間室内に吹き出した清浄空気を内部循環するようにしたので、ケミカル成分が多い外部領域からの空気の取り込み量を削減することができる。その結果、ケミカル成分除去手段の負荷を低減でき、その寿命を長くすることができる。循環空気の循環ルートにケミカル成分除去手段が配設されているので、内部発生に起因したケミカル成分に対しても十分に対応できる。また、循環率調整手段によって循環空気の循環率を任意に調整できるので、循環率を適宜に選定することによって、内部温度を許容値以下に抑えつつケミカル成分の濃度を十分に低減させた運転を、格別な冷却器を装備することなく実現することができる。 According to the mini-environment apparatus of the present invention, the clean air blown into the intermediate chamber is internally circulated, so that the amount of air taken in from the external region with a large amount of chemical components can be reduced. As a result, the load on the chemical component removing means can be reduced and the life can be extended. Since the chemical component removing means is disposed in the circulation route of the circulating air, it can sufficiently cope with the chemical component caused by the internal generation. In addition, since the circulation rate of the circulating air can be arbitrarily adjusted by the circulation rate adjusting means, by appropriately selecting the circulation rate, the operation in which the concentration of the chemical component is sufficiently reduced while keeping the internal temperature below the allowable value is performed. It can be realized without installing a special cooler.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は本発明に係るミニエンバイロメント装置の第１実施形態を示す正断面図、図２は同実施形態の側断面図、図３は図２のＡ−Ａ矢視平断面図、図４は当該ミニエンバイロメント装置が設置されたクリーンルームの側断面図である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a front sectional view showing a first embodiment of a mini-environment device according to the present invention, FIG. 2 is a side sectional view of the same embodiment, FIG. 3 is a sectional view taken along the line AA in FIG. These are the sectional side views of the clean room where the said mini-environment apparatus was installed.

図４に示したようにクリーンルーム３０内には精密品の製造機器３２が設置されており、製造機器３２に隣接してミニエンバイロメント装置５０が配置されている。クリーンルーム３０の通路を走行する自動搬送機３４にはＦＯＵＰ（開閉機構付き密閉容器）３６が搭載され、このＦＯＵＰ３６内に被処理品である精密品が収納されている。自動搬送機３４がミニエンバイロメント装置５０の前に停止し、ミニエンバイロメント装置５０に装備されたオープナ５２上にＦＯＵＰ３６が移載される。 As shown in FIG. 4, a precision manufacturing apparatus 32 is installed in the clean room 30, and a mini-environment device 50 is disposed adjacent to the manufacturing apparatus 32. A FOUP (sealed container with an opening / closing mechanism) 36 is mounted on the automatic transfer machine 34 that travels in the passage of the clean room 30, and a precision product that is an object to be processed is stored in the FOUP 36. The automatic conveyance machine 34 stops in front of the mini-environment device 50, and the FOUP 36 is transferred onto the opener 52 provided in the mini-environment device 50.

クリーンルーム３０には空気調和機３８が接続し、空気調和機３８ではクリーンルーム３０での熱負荷に対応すべく、１５℃程度に冷却した空気をダクト３９からクリーンルーム３０の天井エリア４０に供給している。天井エリア４０にはＨＥＰＡフィルタを内蔵した清浄空気吹出し装置４１が分散配置され、清浄空気をクリーンルーム３０に吹き出す。従来型の全面層流式クリーンルームに比べて清浄空気吹出し装置４１の台数が大幅に削減されているため、クリーンルーム３０の清浄度は緩和されており、その分、クリーンルームの建設費、運転費の削減が図られている。クリーンルーム３０内を下降した空気は通気性の床面から床下エリア４２に吸い込まれ、その大部分が循環経路４３を介して天井エリア４０に戻り、循環使用される。クリーンルーム３０内の空気の一部は換気のためにダクト４４などから排気され、この排気量に見合った量の冷却空気が前記空気調和機３８から供給されることによって、クリーンルーム３０での空気流量バランスが保たれる。 An air conditioner 38 is connected to the clean room 30, and the air conditioner 38 supplies air cooled to about 15 ° C. from the duct 39 to the ceiling area 40 of the clean room 30 in order to cope with the heat load in the clean room 30. . In the ceiling area 40, clean air blowing devices 41 having a built-in HEPA filter are distributed and blown out clean air to the clean room 30. Since the number of clean air blowing devices 41 is greatly reduced as compared with a conventional full-scale laminar flow type clean room, the cleanliness of the clean room 30 is reduced, and the construction cost and operation cost of the clean room are reduced accordingly. Is planned. The air descending in the clean room 30 is sucked into the underfloor area 42 from the breathable floor surface, and most of the air returns to the ceiling area 40 via the circulation path 43 and is circulated for use. A part of the air in the clean room 30 is exhausted from the duct 44 or the like for ventilation, and the amount of cooling air corresponding to the exhaust amount is supplied from the air conditioner 38, whereby the air flow balance in the clean room 30 is achieved. Is preserved.

ミニエンバイロメント装置５０はケーシング５４によって囲われ、ケーシング５４にはクリーンルーム３０に通じる外部受渡口５６，５６が設けられ、外部受渡口５６，５６の設置位置のケーシング５４外にはそれぞれオープナ５２が取り付けられている。また、外部受渡口５６，５６の設置位置に対向したケーシング５４面には製造機器３２と通じる内部受渡口５８，５８が設けられている。ケーシング５４の天井面には空気取込口６０，６０が設けられ、各空気取込口６０にはダンパー６２が取り付けられている。 The mini-environment device 50 is surrounded by a casing 54. The casing 54 is provided with external delivery ports 56 and 56 leading to the clean room 30, and openers 52 are attached to the outside of the casing 54 at the positions where the external delivery ports 56 and 56 are installed. It has been. Further, on the surface of the casing 54 facing the installation position of the external delivery ports 56, 56, internal delivery ports 58, 58 communicating with the manufacturing equipment 32 are provided. Air intake ports 60, 60 are provided on the ceiling surface of the casing 54, and a damper 62 is attached to each air intake port 60.

ケーシング５４内の各空気取込口６０の直下位置にはそれぞれ循環送風機６４が配設され、各循環送風機６４の下方にケミカルフィルタ６６とＨＥＰＡフィルタ６８とが積層配置されている。なお、ＨＥＰＡフィルタ６８に換えてＵＬＰＡ（超高性能）フィルタを配置してもよい。ＨＥＰＡフィルタ６８の下方が中間室７０とされ、中間室７０には移載機７２が配置されている。中間室７０の左右の側面７４はケーシング５４の側面と間隔をあけて設けられ、その下端が開口している。中間室７０の下部には多孔板７６が水平に敷設されている。中間室７０の左右の側面７４とケーシング５４の側面との間の空間は空気の循環経路７８，７８とされ、各循環経路７８の下部には排気口８０が設けられている。循環経路７８，７８の少なくとも一方には循環空気の温度を検出する温度計８２が取り付けられている。 Circulating blowers 64 are respectively disposed immediately below the air intake ports 60 in the casing 54, and a chemical filter 66 and a HEPA filter 68 are stacked below the circulating blowers 64. Instead of the HEPA filter 68, a ULPA (ultra-high performance) filter may be arranged. Below the HEPA filter 68 is an intermediate chamber 70, and a transfer machine 72 is disposed in the intermediate chamber 70. The left and right side surfaces 74 of the intermediate chamber 70 are provided at a distance from the side surface of the casing 54, and the lower ends thereof are open. A perforated plate 76 is laid horizontally in the lower part of the intermediate chamber 70. A space between the left and right side surfaces 74 of the intermediate chamber 70 and the side surface of the casing 54 is an air circulation path 78, 78, and an exhaust port 80 is provided below each circulation path 78. A thermometer 82 for detecting the temperature of the circulating air is attached to at least one of the circulation paths 78 and 78.

上記構成のミニエンバイロメント装置５０において、循環送風機６４を駆動すると、循環送風機６４の吸込側に負圧が作用して、空気取込口６０からクリーンルーム３０内の空気が取り込まれるとともに、中間室７０と循環経路７８を巡る循環流が生起される。取り込み空気と循環空気が混合した混合空気は、循環送風機６４の吐出側からケミカルフィルタ６６とＨＥＰＡフィルタ６８とを経て、中間室７０の天井部から下降流として吹き出される。混合空気中のケミカル成分はケミカルフィルタ６６によって除去され、混合空気中の微細塵埃はＨＥＰＡフィルタ６８によって除去されるので、中間室７０に吹き出される混合空気は清浄化されている。このため、中間室７０内は清浄環境が安定に維持される。 In the mini-environment device 50 configured as described above, when the circulation blower 64 is driven, a negative pressure is applied to the suction side of the circulation blower 64 so that the air in the clean room 30 is taken in from the air intake port 60 and the intermediate chamber 70. A circulation flow around the circulation path 78 is generated. The mixed air obtained by mixing the intake air and the circulating air is blown out from the discharge side of the circulation fan 64 as a downward flow from the ceiling portion of the intermediate chamber 70 through the chemical filter 66 and the HEPA filter 68. The chemical component in the mixed air is removed by the chemical filter 66, and the fine dust in the mixed air is removed by the HEPA filter 68, so the mixed air blown out to the intermediate chamber 70 is cleaned. For this reason, the clean environment is stably maintained in the intermediate chamber 70.

中間室７０の下部には多孔板７６が水平に敷設されているので、中間室７０内では偏流が生じにくく、清浄空気が層流状で安定に下降する。多孔板７６を通過した清浄空気は循環経路７８に至り、その大部分が循環空気として循環送風機６４の吸込側に返送され、一部が排気口８０からクリーンルーム３０側に排出される。循環経路７８が、中間室７０を挟んで対称位置に２系統で配設されているため、循環流がバランスよく形成され、中間室７０内での偏流がより一層生じにくくなる。 Since the perforated plate 76 is laid horizontally in the lower part of the intermediate chamber 70, uneven flow hardly occurs in the intermediate chamber 70, and the clean air descends stably in a laminar flow. The clean air that has passed through the perforated plate 76 reaches the circulation path 78, most of which is returned as circulation air to the suction side of the circulation fan 64, and a part is discharged from the exhaust port 80 to the clean room 30 side. Since the circulation path 78 is arranged in two systems at symmetrical positions with the intermediate chamber 70 in between, the circulation flow is formed in a well-balanced manner, and uneven flow in the intermediate chamber 70 is further less likely to occur.

ケミカルフィルタ６６としてはケミカル成分の除去性能が優れていることが最重要であるが、通気抵抗が小さいことも重要である。通気抵抗が大きいと循環送風機６４の動力の増大や目詰まりの問題が発生する。このため、ケミカルフィルタ６６としては図５に示したように活性炭などの多孔質材をハニカム構造に成形した成形体又はこの成形体に、ケミカル成分を吸着可能な吸着剤を担持させたものを用いる。このような構造のケミカルフィルタ６６によれば、開口率が大きいので通気抵抗が小さく目詰まりの問題も発生しない。しかしながら、この種のケミカルフィルタ６６においては空気が通過する際に、成形体に担持した吸着剤と接触したケミカル成分のみが除去され、吸着剤と接触しないケミカル成分は除去されずにそのままケミカルフィルタ６６を素通りするという特性がある。このため、空気をケミカルフィルタ６６に１回だけ通過させただけではケミカル成分の除去率が低い。空気を何回も繰り返し通過させることによって、ケミカル成分が吸着剤と接触する機会が増え、ケミカル成分の除去効果が発揮される。この意味で、循環送風機６４によって内部空気を繰り返し循環させる本実施形態では、ハニカム構造のケミカルフィルタ６６はきわめて有効である。なお、ハニカム構造以外に粒状活性炭や繊維状活性炭を用いて通気抵抗を小さくしたフィルタを用いても良い。 It is most important for the chemical filter 66 to have excellent chemical component removal performance, but it is also important that the ventilation resistance is low. If the airflow resistance is large, problems such as an increase in power of the circulation fan 64 and clogging occur. For this reason, as the chemical filter 66, as shown in FIG. 5, a molded body in which a porous material such as activated carbon is molded into a honeycomb structure or an adsorbent capable of adsorbing chemical components is supported on this molded body. . According to the chemical filter 66 having such a structure, since the aperture ratio is large, the ventilation resistance is small and the problem of clogging does not occur. However, in this type of chemical filter 66, when air passes, only the chemical component that has come into contact with the adsorbent carried on the molded body is removed, and the chemical component that does not come into contact with the adsorbent is not removed and is directly removed. There is a characteristic of passing through. For this reason, the removal rate of the chemical component is low only by passing the air through the chemical filter 66 only once. By repeatedly passing the air many times, the chance that the chemical component comes into contact with the adsorbent increases and the effect of removing the chemical component is exhibited. In this sense, the honeycomb structure chemical filter 66 is extremely effective in the present embodiment in which the internal air is repeatedly circulated by the circulation fan 64. In addition to the honeycomb structure, a filter in which ventilation resistance is reduced by using granular activated carbon or fibrous activated carbon may be used.

図６は循環率とケミカル成分濃度との関係を示したモデル図である。循環率とは循環送風機６４によって中間室７０に吹き出す混合空気量に対する循環空気量の比率である。循環率が０の場合とは循環空気量が文字通り零であり、空気取込口６０から取り込んだ空気の全量を循環させずに排気口８０から排出する運転の場合である。循環率が１．０の場合とは中間室７０に吹き出す混合空気量の全量を循環させる運転の場合であり、この場合には空気取込口６０から取り込む空気量と排気口８０から排出する空気量がいずれも零である。図６から明らかなように循環率を大きくするに従って、取り込んだ空気中のケミカル成分が徐々に除去され、その濃度が低下する。このことから、中間室７０におけるケミカル成分濃度を下げるには、なるべく循環率を大きくした運転をすることが望ましい。例えば、ケミカル成分の除去率を９０％以上とするために循環率を０．７５以上に設定する。 FIG. 6 is a model diagram showing the relationship between the circulation rate and the chemical component concentration. The circulation rate is the ratio of the amount of circulating air to the amount of mixed air blown into the intermediate chamber 70 by the circulation fan 64. The case where the circulation rate is 0 is a case where the circulation air amount is literally zero and the entire amount of air taken in from the air intake port 60 is discharged from the exhaust port 80 without being circulated. The case where the circulation rate is 1.0 is a case where the entire amount of the mixed air blown out to the intermediate chamber 70 is circulated. In this case, the amount of air taken in from the air intake port 60 and the air discharged from the exhaust port 80 Both quantities are zero. As is apparent from FIG. 6, as the circulation rate is increased, the chemical components in the taken-in air are gradually removed, and the concentration thereof decreases. For this reason, in order to reduce the chemical component concentration in the intermediate chamber 70, it is desirable to operate with as high a circulation rate as possible. For example, the circulation rate is set to 0.75 or higher in order to set the chemical component removal rate to 90% or higher.

一方、循環率を大きくすると、中間室７０を含む装置の内部温度が上昇するという問題がある。図７は循環率と内部温度との関係を示したモデル図である。循環率０の場合には、図中、実線で示したようにクリーンルーム３０からの取り込み空気が循環送風機６４の駆動エネルギによって昇温し、当該取り込み空気温度よりも少し高い内部温度になる。循環率を大きくするに従って、クリーンルーム３０から取り込む比較的冷たい空気の量が少なくり、循環送風機６４の駆動エネルギが内部熱に変換して、内部温度が次第に上昇する。したがって、中間室７０の内部温度を例えば３０℃以下に維持するように循環率を設定する。 On the other hand, when the circulation rate is increased, there is a problem that the internal temperature of the apparatus including the intermediate chamber 70 increases. FIG. 7 is a model diagram showing the relationship between the circulation rate and the internal temperature. When the circulation rate is 0, the intake air from the clean room 30 is heated by the drive energy of the circulation blower 64 as shown by the solid line in the figure, and becomes an internal temperature slightly higher than the intake air temperature. As the circulation rate is increased, the amount of relatively cool air taken from the clean room 30 is reduced, the driving energy of the circulation fan 64 is converted into internal heat, and the internal temperature gradually increases. Therefore, the circulation rate is set so that the internal temperature of the intermediate chamber 70 is maintained at, for example, 30 ° C. or less.

以上の関係から、本実施形態のミニエンバイロメント装置５０では内部温度の上昇を許容値以内の抑えつつ、循環率をなるべく大きくして中間室７０におけるケミカル成分濃度を下げるように循環率を選定して運転する。すなわち、図７において内部温度の許容最大値Ｘから循環率Ｙが求まり、この循環率Ｙの運転を実行することによって、図６に示したようにケミカル成分濃度を小さな値Ｚにすることができる。又は、ケミカル成分濃度の目標値Ｚから循環率Ｙを求め、この循環率Ｙの運転したときの内部温度Ｘの妥当性を検証するようにしても良い。 From the above relationship, in the mini-environment device 50 of the present embodiment, the circulation rate is selected so as to reduce the chemical component concentration in the intermediate chamber 70 by increasing the circulation rate as much as possible while suppressing the increase in internal temperature within an allowable value. Drive. That is, the circulation rate Y is obtained from the allowable maximum value X of the internal temperature in FIG. 7, and the chemical component concentration can be reduced to a small value Z as shown in FIG. . Alternatively, the circulation rate Y may be obtained from the target value Z of the chemical component concentration, and the validity of the internal temperature X when the circulation rate Y is operated may be verified.

循環率の調整は空気取込口６０に設けたダンパー６２の開度を調節することによって容易に実施できる。すなわち、ダンパー６２を全開にすると空気抵抗の小さい空気取込口６０からクリーンルーム３０内の空気が多量に取り込まれ、空気抵抗が大きい循環経路７８には循環空気が殆ど循環しない循環率が０に近い運転が可能になる。ダンパー６２の開度を全開から徐々に絞るに従って、循環率が大きくなり、ダンパー６２の開度を全閉にすると循環率が１．０の運転になる。なお、この間の循環送風機６４の運転は、中間室７０における清浄空気の下降流速を一定にした安定運転を行うために定風量運転をベースとして駆動される。 The circulation rate can be easily adjusted by adjusting the opening degree of the damper 62 provided at the air intake port 60. That is, when the damper 62 is fully opened, a large amount of air in the clean room 30 is taken in from the air intake port 60 with low air resistance, and the circulation rate in which the circulating air hardly circulates in the circulation path 78 with high air resistance is close to zero. Driving becomes possible. As the opening degree of the damper 62 is gradually reduced from fully opened, the circulation rate increases. When the opening degree of the damper 62 is fully closed, the circulation rate becomes 1.0. The operation of the circulating blower 64 during this period is driven based on a constant air flow operation in order to perform a stable operation in which the descending flow rate of the clean air in the intermediate chamber 70 is constant.

実運転では循環経路７８に設けた温度計８２の指示値を監視しながら、ダンパー６２の開度を必要に応じて調節する。又は、温度計８２の検出信号に基づいてダンパー６２の開度を自動制御する制御手段を設けるようにしてもよい。なお、温度計８２を循環経路７８ではなく、中間室７０に設置し、中間室７０の温度検出結果に基づいて上記のダンパー開度の調節又は制御を行うようにしてもよい。 In actual operation, the opening degree of the damper 62 is adjusted as necessary while monitoring the indicated value of the thermometer 82 provided in the circulation path 78. Or you may make it provide the control means which controls automatically the opening degree of the damper 62 based on the detection signal of the thermometer 82. FIG. The thermometer 82 may be installed not in the circulation path 78 but in the intermediate chamber 70, and the above-described damper opening degree may be adjusted or controlled based on the temperature detection result of the intermediate chamber 70.

上記した循環率の調整によって、中間室７０内は許容温度以下で、かつケミカル成分濃度が低い清浄環境に維持される。このような中間室７０内の環境下で、オープナ５２によってＦＯＵＰ３６の扉がクリーンルーム３０の雰囲気から遮断した状態で開放される。そして、図３に示したようにＦＯＵＰ３６に収納された精密品が移載機７２によって外部受渡口５６から中間室７０内に一旦取り込まれた後、内部受渡口５８を介して製造機器３２に受け渡しされる。製造機器３２によって処理、加工を受けた精密品は矢印Ｂのルートで内部受渡口５８を介して中間室７０に戻される。次いで、精密品は移載機７２によって外部受渡口５６を介してＦＯＵＰ３６に戻される。そして、精密品はＦＯＵＰ３６に収納された状態で別の処理、加工を受けるために自動搬送機３４によって搬送される。このように精密品の搬送が密閉容器であるＦＯＵＰ３６と局所的な清浄環境である中間室７０を介してのみ行われるので、搬送の過程で精密品が塵埃やケミカル成分によって汚染されることを防止できる。 By adjusting the circulation rate described above, the inside of the intermediate chamber 70 is maintained in a clean environment having a temperature lower than the allowable temperature and a low chemical component concentration. Under such an environment in the intermediate chamber 70, the opener 52 opens the door of the FOUP 36 while being blocked from the atmosphere of the clean room 30. Then, as shown in FIG. 3, the precision product housed in the FOUP 36 is once taken into the intermediate chamber 70 from the external delivery port 56 by the transfer device 72, and then delivered to the manufacturing equipment 32 through the internal delivery port 58. Is done. The precision product processed and processed by the manufacturing device 32 is returned to the intermediate chamber 70 through the internal delivery port 58 along the route indicated by the arrow B. Next, the precision product is returned to the FOUP 36 by the transfer device 72 via the external delivery port 56. Then, the precision product is transported by the automatic transport machine 34 to be subjected to another processing and processing while being stored in the FOUP 36. In this way, precision products are transported only through the FOUP 36, which is a sealed container, and the intermediate chamber 70, which is a local clean environment, so that the precision products are prevented from being contaminated by dust and chemical components during the transport process. it can.

上述のとおり、この第１実施形態のミニエンバイロメント装置５０によれば、中間室７０内に吹き出した清浄空気を内部循環するようにしたので、ケミカル成分が多いクリーンルーム３０内の空気の取り込み量を削減することができる。その結果、ケミカルフィルタ６６の負荷を低減でき、その寿命を長くすることができる。また、ミニエンバイロメント装置５０の構成部材からもケミカル成分が揮発し、循環空気中にケミカル成分の濃度が上昇することが考えられる。しかしながら、本実施形態では循環空気の循環ルートである循環送風機６４の吐出側にケミカルフィルタ６６が配設されているので、内部発生に起因したケミカル成分に対しても十分に対応できる。また、ダンパー６２の開度を調節することによって、循環空気の循環率を任意に調整することができる。このため、循環率を適宜に選定することによって、内部温度を許容値以下に抑えつつケミカル成分の濃度を十分に低減させた運転を、格別な冷却器を装備することなく実現することができる。 As described above, according to the mini-environment device 50 of the first embodiment, the clean air blown into the intermediate chamber 70 is internally circulated, so the amount of air taken in the clean room 30 with a large amount of chemical components can be reduced. Can be reduced. As a result, the load of the chemical filter 66 can be reduced, and the lifetime can be extended. Further, it is conceivable that the chemical component is volatilized also from the constituent members of the mini-environment device 50 and the concentration of the chemical component is increased in the circulating air. However, in the present embodiment, the chemical filter 66 is disposed on the discharge side of the circulating blower 64, which is the circulating route of the circulating air, so that it is possible to sufficiently cope with chemical components caused by internal generation. Further, the circulation rate of the circulating air can be arbitrarily adjusted by adjusting the opening degree of the damper 62. For this reason, by appropriately selecting the circulation rate, it is possible to realize an operation in which the concentration of the chemical component is sufficiently reduced while the internal temperature is kept below the allowable value without being equipped with a special cooler.

図８は本発明の第２実施形態であるミニエンバイロメント装置が設置されたクリーンルームの側断面図である。図８において図４に示した符号と同一の符号を付した要素は、図４について説明したものと同一であり、その説明を省略する。この第２実施形態では天井エリア４０に開口したダクト８４がミニエンバイロメント装置５０Ａの空気取込口に接続している。天井エリア４０にはクリーンルーム３０を冷却するためにダクト３９によって供給された１５℃程度の冷却空気の吹き出しており、空気温度が低い。この天井エリア４０内の冷たい空気がダクト８４から直接にミニエンバイロメント装置５０Ａに取り込まれる。すると、図７において破線で示したように、クリーンルーム３０から空気を取り込んだ場合に比べて内部温度を相対的に低くすることができる。その結果、内部温度の許容最大値Ｘを維持するための循環率Ｙ₁を大きくすることができる。例えば、１５℃の空気を取り込むと循環率が０．９５と大きい場合でも中間室７０の内部温度を３０℃以下に抑制できる。 FIG. 8 is a side sectional view of a clean room in which a mini-environment device according to a second embodiment of the present invention is installed. In FIG. 8, elements having the same reference numerals as those shown in FIG. 4 are the same as those described with reference to FIG. In the second embodiment, a duct 84 opened to the ceiling area 40 is connected to an air intake port of the mini-environment device 50A. Cooling air of about 15 ° C. supplied by the duct 39 for cooling the clean room 30 is blown out to the ceiling area 40, and the air temperature is low. The cold air in the ceiling area 40 is taken directly into the mini-environment device 50A from the duct 84. Then, as indicated by a broken line in FIG. 7, the internal temperature can be relatively lowered as compared with the case where air is taken in from the clean room 30. As a result, the circulation rate Y ₁ for maintaining the allowable maximum value X of the internal temperature can be increased. For example, when air at 15 ° C. is taken in, the internal temperature of the intermediate chamber 70 can be suppressed to 30 ° C. or less even when the circulation rate is as high as 0.95.

また、循環率が大きくなるため、図６に示したようにケミカル成分濃度を小さな値Ｚ₁にすることができる。なお、上記実施形態に替えて、ダクト８４の開口をダクト３９に接続し、ダクト３９内の冷却空気を直接、ミニエンバイロメント装置５０Ａの空気取込口から取り込むようにしても良い。 Further, since the circulation rate is increased, the chemical component concentration can be set to a small value Z ₁ as shown in FIG. Instead of the above embodiment, the opening of the duct 84 may be connected to the duct 39, and the cooling air in the duct 39 may be directly taken in from the air intake port of the mini-environment device 50A.

図９は本発明に係るミニエンバイロメント装置の第３実施形態を示す正断面図である。図９において図１に示した符号と同一の符号を付した要素は、図１について説明したものと同一であり、その説明を省略する。この第３実施形態の係るミニエンバイロメント装置５０Ｂではケミカル成分除去手段としてシート状除去手段９０を用いている。このシート状除去手段９０は活性炭やゼオライトなどの分子吸着剤を含むシート材又はこのシート材にケミカル成分を吸着可能な吸着剤を担持させたものであり、循環経路７８の壁面に貼り付けられる。このような構成にすれば、循環空気が循環経路７８を通過する過程でシート状除去手段９０と接触し、循環空気中のケミカル成分が徐々にシート状除去手段９０に吸着される。このため、循環空気や中間室内のケミカル成分濃度を低く維持することができる。循環経路７８の壁面積は大きいので必要に応じてシート状除去手段９０を多面積にわたって貼り付けることができる。また、前記第１実施形態に係るケミカルフィルタ６６のような空気流路を横断する構造ではないので循環空気に対する通気抵抗を大幅に低減できる。 FIG. 9 is a front sectional view showing a third embodiment of the mini-environment device according to the present invention. 9, elements denoted by the same reference numerals as those shown in FIG. 1 are the same as those described with reference to FIG. 1, and description thereof is omitted. In the mini-environment device 50B according to the third embodiment, the sheet-like removing means 90 is used as the chemical component removing means. The sheet removing means 90 is a sheet material containing a molecular adsorbent such as activated carbon or zeolite, or an adsorbent capable of adsorbing chemical components on this sheet material, and is attached to the wall surface of the circulation path 78. With such a configuration, the circulating air comes into contact with the sheet-like removal means 90 in the process of passing through the circulation path 78, and the chemical components in the circulating air are gradually adsorbed by the sheet-like removal means 90. For this reason, the concentration of chemical components in the circulating air and the intermediate chamber can be kept low. Since the wall area of the circulation path 78 is large, the sheet-like removing means 90 can be attached over a large area as necessary. Further, since the structure does not cross the air flow path like the chemical filter 66 according to the first embodiment, the ventilation resistance to the circulating air can be greatly reduced.

また、この第３実施形態では空気取込口６０には可動式ルーバ８６が取付けられ、循環経路７８の下部にはダンパー８８が設けられている。この可動式ルーバ８６とダンパー８８との開度を調節することで循環空気の循環率を任意の値に調整することができる。 In the third embodiment, a movable louver 86 is attached to the air intake port 60, and a damper 88 is provided below the circulation path 78. By adjusting the opening degree of the movable louver 86 and the damper 88, the circulation rate of the circulating air can be adjusted to an arbitrary value.

図１０は本発明に係るミニエンバイロメント装置の第４実施形態を示す平断面図である。ミニエンバイロメント装置５０Ｃは隣接した製造機器３２Ａ，３２Ｂを繋ぐようにして配置されている。中間室７０Ａ内には移載機７２Ａが走行自在に配置され、製造機器３２Ａとの間では内部受渡口５８Ａを介して、製造機器３２Ｂとの間では内部受渡口５８Ｂを介して精密品を受け渡す。また、外部領域との間では外部受渡口５６Ａ，５６Ｂを介して精密品を受け渡す。中間室７０Ａ内の清浄空気は循環経路７８Ａ，７８Ｂを経て循環される。この実施形態は製造機器３２Ａで処理、加工した精密品を製造機器３２Ｂでシリーズに処理、加工する場合に特に有効な構成であり、精密品は矢印（１）→（２）→（３）→（４）→（５）→（６）→（７）の順で中間室７０Ａ内を搬送される。製造機器３２Ａ，３２Ｂ間での精密品の搬送を清浄環境が維持された中間室７０Ａ内で行うことができ、外部領域との精密品の受け渡しを省略できるので、効率のよい精密品の移送を実現できる。ただし、すべての精密品をこの順序で搬送させる必要はなく、例えば製造機器３２Ａでの処理、加工を独立させ、矢印（１）→（２）→（３）の順で搬送した精密品を直接、外部受渡口５６Ａから外部領域に渡してもよい。同様に、外部受渡口５６から受けた精密品を矢印（５）→（６）→（７）の順で外部領域に渡してもよい。 FIG. 10 is a plan sectional view showing a fourth embodiment of a mini-environment device according to the present invention. The mini-environment device 50C is arranged so as to connect adjacent manufacturing devices 32A and 32B. A transfer machine 72A is movably disposed in the intermediate chamber 70A, and receives a precision product from the manufacturing equipment 32A via the internal delivery port 58A and from the manufacturing equipment 32B via the internal delivery port 58B. hand over. Also, precision products are delivered to and from the external area via the external delivery ports 56A and 56B. The clean air in the intermediate chamber 70A is circulated through circulation paths 78A and 78B. This embodiment is a configuration that is particularly effective when precision products processed and processed by the manufacturing equipment 32A are processed and processed in series by the manufacturing equipment 32B. The precision products are arrows (1) → (2) → (3) → The inside of the intermediate chamber 70A is transported in the order of (4) → (5) → (6) → (7). The precision products can be transported between the manufacturing equipment 32A and 32B in the intermediate chamber 70A where the clean environment is maintained, and the delivery of the precision products to the external area can be omitted. realizable. However, it is not necessary to transport all precision products in this order. For example, the processing and processing in the manufacturing equipment 32A are independent, and the precision products transported in the order of arrows (1) → (2) → (3) are directly used. Alternatively, it may be transferred from the external delivery port 56A to the external area. Similarly, the precision product received from the external delivery port 56 may be delivered to the external area in the order of arrows (5) → (6) → (7).

発明に係るミニエンバイロメント装置の第１実施形態を示す正断面図である。It is a front sectional view showing a first embodiment of a mini-environment device according to the invention. 第１実施形態の側断面図である。It is a sectional side view of a 1st embodiment. 図２のＡ−Ａ矢視平断面図である。FIG. 3 is a plan sectional view taken along the line AA in FIG. 2. 第１実施形態に係るミニエンバイロメント装置が設置されたクリーンルームの側断面図である。It is a sectional side view of the clean room in which the mini-environment device according to the first embodiment is installed. ケミカルフィルタの基本構造を例示した斜視図である。It is the perspective view which illustrated the basic structure of the chemical filter. 循環率とケミカル成分濃度との関係を示したモデル図である。It is the model figure which showed the relationship between a circulation rate and a chemical component density | concentration. 循環率と内部温度との関係を示したモデル図である。It is the model figure which showed the relationship between a circulation rate and internal temperature. 本発明の第２実施形態であるミニエンバイロメント装置が設置されたクリーンルームの側断面図である。It is a sectional side view of the clean room where the mini-environment apparatus which is 2nd Embodiment of this invention was installed. 本発明に係るミニエンバイロメント装置の第３実施形態を示す正断面図である。It is a front sectional view showing a third embodiment of a mini-environment device according to the present invention. 本発明に係るミニエンバイロメント装置の第４実施形態を示す平断面図である。It is a plane sectional view showing a 4th embodiment of a mini environment device concerning the present invention. ミニエンバイロメント装置の一般的な設置例を示す正断面図である。It is a front sectional view showing a typical installation example of a mini-environment device. 特許文献１に開示されたミニエンバイロメント装置の概要を示す側断面図である。It is a sectional side view which shows the outline | summary of the mini-environment apparatus disclosed by patent document 1. FIG.

Explanation of symbols

３０………クリーンルーム、３２，３２Ａ，３２Ｂ………製造機器、３４………自動搬送機、３６………ＦＯＵＰ（開閉機構付き密閉容器）、３８………空気調和機、４１………清浄空気吹出し装置、５０，５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ………ミニエンバイロメント装置、５２………オープナ、５４………ケーシング、５６………外部受渡口、５８………内部受渡口、６０………空気取込口、６２………ダンパー、６４………循環送風機、６６………ケミカルフィルタ、６８………ＨＥＰＡフィルタ、７０………中間室、７２………移載機、７６………多孔板、７８………循環経路、８０………排気口、８２………温度計、８４………ダクト８６………可動式ルーバ、８８………ダンパー、９０………シート状除去手段。
30 ......... Clean room, 32, 32A, 32B ......... Manufacturing equipment, 34 ......... Automatic transfer machine, 36 ......... FOUP (sealed container with opening / closing mechanism), 38 ......... Air conditioner, 41 ......... Clean air blowing device, 50, 50A, 50B, 50C ......... Mini-environment device, 52 ......... Opener, 54 ......... Case, 56 ...... External delivery port, 58 ...... Internal delivery port, 60 ... ... Air intake port, 62 ......... Damper, 64 ......... Circulating fan, 66 ......... Chemical filter, 68 ......... HEPA filter, 70 ...... Intermediate chamber, 72 ......... Transfer machine, 76 ......... perforated plate, 78 ......... circulation path, 80 ......... exhaust port, 82 ......... thermometer, 84 ......... duct 86 ...... movable louver, 88 ......... damper, 90 ......... Sheet removal means.

Claims

A mini-environment device that is arranged adjacent to a precision product manufacturing device and that transfers the precision product delivered to and from an external area to the manufacturing device via an intermediate chamber in which a clean environment is maintained. The manufacturing equipment and the mini-environment device are disposed in a clean room, and the clean room is used as the external area, and an air intake port for taking in air in a ceiling area of the clean room, and the air intake A circulation path for circulating the mixed air of the air taken in from the inlet and the circulating air returned from the intermediate chamber to the intermediate chamber, a chemical component removing means disposed in the circulation route of the circulating air, and the circulation the circulation and circulation blower is disposed in the mixing portion of the path blows air mixture into the intermediate chamber, by adjusting the degree of opening of the air inlet or the circulation route Mini environment system, characterized in that the circulation rate of the gas was and a adjustable circulation rate adjusting means.

The mini-environment device according to claim 1, wherein the circulation rate adjusting means is a damper disposed in the air intake port and / or the circulation path.

The mini-environment device according to claim 1 or 2, wherein the circulation rate is adjusted to 0.75 to 0.95.

The mini-environment device according to any one of claims 1 to 3, wherein the chemical component removing means is a chemical filter formed of a honeycomb-shaped formed body.

The mini-environment according to any one of claims 1 to 3, wherein the chemical component removing means is a sheet-like removing means, and the sheet-like removing means is attached to a wall surface of the circulation path. Equipment.

The mini-environment device according to any one of claims 1 to 5, wherein the circulation path is arranged in two systems at symmetrical positions with the intermediate chamber interposed therebetween.