JP4423879B2 - Automatic conveyance draining apparatus and automatic draining method for articles, automatic cleaning apparatus and automatic cleaning method for articles - Google Patents

Automatic conveyance draining apparatus and automatic draining method for articles, automatic cleaning apparatus and automatic cleaning method for articles Download PDF

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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、物品を自動的に搬送しながら物品に水切りを行うための物品の自動搬送水切り装置及び自動搬送水切り方法、並びにこの物品の自動搬送水切り装置を用いて物品に洗浄及び乾燥処理を行う物品の自動洗浄装置及び自動洗浄方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、物品に例えば洗浄及び乾燥等の処理を施す際に、物品（被処理物）を搬送しながらその物品に純水や洗浄剤等を吹き付けて洗浄処理を行い、その後加熱した清浄空気（クリーンドライエア、以下、ＣＤＡと略すことがある）等を吹き付けて乾燥処理を行う方法が広く用いられている。
【０００３】
例えば、半導体ウエーハを出荷する際にウエーハを保持・収納するキャリアボックスには、通常ウエーハへの汚染を防止するために非常に清浄なものが求められている。そのため、一般的にウエーハを収納する前にキャリアボックスに洗浄及び乾燥等の処理を施し、キャリアボックスに付着している塵（パーティクル）や有機物等を除去することが行われている。このようなキャリアボックスを洗浄する方法としては、例えば、特許文献１に開示されているような方法等が知られている。
【０００４】
ここで、キャリアボックスの洗浄方法について簡単に説明する。
通常、このようなキャリアボックスに洗浄及び乾燥処理を行う場合、キャリアボックスは、先ず、ボックス本体、上蓋、インナーボックス、リテイナー、ガスケット等のパーツに分解され、その各パーツに分解されたキャリアボックスに純水による前洗浄を行う。続いて、前洗浄を行ったキャリアボックスに界面活性剤等の薬液を用いた薬液洗浄を行うことによって、付着しているパーティクルや有機物等を除去し、その後純水によるリンス（水洗）を十分に行う。
【０００５】
リンスが行われた後、キャリアボックスを十分に乾燥させる。キャリアボックスの乾燥を行う方法としては、リンス後のキャリアボックスを例えばクリーンオーブン内に搬送し、オーブン内を６０℃程度に保持して温風の循環により乾燥を行ったり、あるいはキャリアボックスの乾燥装置としてユニット内に組み込まれた回転機構を用いてキャリアボックスを装置内で回転させるとともに清浄な温風を吹き付ける、いわゆるスピンを利用した方法等を用いることによりキャリアボックスの乾燥が行われる。
【０００６】
また、上記のようなキャリアボックスの洗浄及び乾燥処理では、キャリアボックスに洗浄処理を行った後、乾燥を行う前にキャリアボックスの水切りを行うことによって乾燥時間を短縮できることから、リンスが施されたキャリアボックスには、ＣＤＡを高速で吹き付けるＣＤＡブローや、加圧した空気を利用するエアーナイフ等を用いて水切りが行われている。
【０００７】
しかしながら、このような従来のＣＤＡブローやエアーナイフ等のみによるキャリアボックスの水切りでは、キャリアボックスに付着している水滴が十分に水切りされているとは言えず、またキャリアボックスに空気を吹き付けた際に空気の流れが不規則で乱流状態を形成し易く、多量の空気をキャリアボックスに吹き付けても空気の供給量に対して十分な水切りの効果を得ることが難しいという欠点があった。そのため、従来では水切りを行ってもキャリアボックスの表面や内側には多くの水滴が残存しており、その後の乾燥処理でキャリアボックスを完全に乾燥させるためには依然長い処理時間が必要とされ、スループットの低下やコストアップの要因の一つとなっている。
【０００８】
そして、このような水切りの効果が低いことにより乾燥処理に時間がかかるという問題は、半導体ウエーハのキャリアボックスを洗浄する場合に限定されて引き起こされるものではなく、様々な物品に洗浄及び乾燥処理を行う場合に共通して引き起こされる問題である。
【０００９】
さらに上記の問題に加えて、被処理物を搬送しながら洗浄や乾燥等の各種処理を行うときには、被処理物が搬送中に滑って落下したり、また例えば処理中に加圧した空気やＣＤＡの吹き付け等によって被処理物が飛散するのを防止して、被処理物を安定して搬送できるようにするため、一般的に専用のバスケットやラック等を用いて被処理物を保持・固定する必要があった。
【００１０】
しかしながら、このように被処理物を専用のバスケットやラックに固定して搬送する場合、被処理物を専用のバスケットやラックに固定する前準備が必要であり、さらに洗浄や乾燥等の各種処理を行った後には搬送されてきたバスケットやラックから被処理物を取り出し、空のバスケットやラックを搬送装置の投入側に移動させて再び上記の前準備を開始しなければならないという手間が必要とされた。そのため、被処理物の搬送を効率的に行なうことができず、各種処理における処理時間の短縮やスループットの向上が妨げられ、大量処理を行うことが非常に困難であった。
【００１１】
【特許文献１】
特開２００１−１５６０３４号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、物品の水切りを効果的に行うことのできる物品の自動搬送水切り装置及び自動搬送水切り方法、並びにこの物品の自動搬送水切り装置を用いることにより物品に付着している処理溶液の水切りを効果的に行って、その後の乾燥処理を短時間で効率的に行うことができる物品の自動洗浄装置及び自動洗浄方法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明によれば、物品を自動的に搬送しながら水切りを行う物品の自動搬送水切り装置であって、少なくとも前記物品を載置して搬送する搬送ベルト部と、該搬送ベルト部を駆動させるベルト駆動部と、前記物品に上方向及び下方向から空気を吹き付けて水切りを行う上側主ノズル及び下側主ノズルとを具備し、前記搬送ベルト部は網状の構造を有するものであり、かつ前記上側主ノズル及び下側主ノズルが前記物品に対して傾斜方向から空気を吹き付けるもの及び／または前記物品に対して傾斜させて設置されているものであることを特徴とする物品の自動搬送水切り装置が提供される。
【００１４】
このように、少なくとも搬送ベルト部、ベルト駆動部、上側主ノズル及び下側主ノズルを具備し、搬送ベルト部は網状の構造を有するものであり、かつ上側主ノズル及び下側主ノズルが物品に対して傾斜方向から空気を吹き付けるもの及び／または物品に対して傾斜させて設置されているものである物品の自動搬送水切り装置であれば、物品を自動搬送しながら上側主ノズル及び下側主ノズルにより物品に対して空気を吹き付けることによって、物品に付着している水や薬液等を十分に落とし、物品の水切りを効果的に行うことができる自動搬送水切り装置とすることができる。尚、本発明において物品に対して傾斜方向から空気を吹き付けるとは、以下に述べるように、ノズルが物品に対して傾斜させて設置されていることにより物品に対してノズルが斜めの方向から空気を吹き付けることや、物品を傾斜させて搬送することによりノズルに対して物品を傾斜させて空気を吹き付けることが含まれる。
【００１５】
このとき、前記上側主ノズル及び／または下側主ノズルが、前記搬送ベルト部の搬送面に対して傾斜した噴出口を有するものであることが好ましい。
【００１６】
このように上側主ノズル及び／または下側主ノズルが搬送ベルト部の搬送面に対して傾斜した噴出口を有するものであれば、上側主ノズル及び下側主ノズルにより物品に対して容易に傾斜方向から空気を吹き付けることのできる自動搬送水切り装置とすることができる。
【００１７】
また、前記搬送ベルト部に、前記物品の向きを傾ける傾斜部及び／または段差部が形成されていることが好ましい。
本発明では、このように搬送ベルト部に傾斜部及び／または段差部が形成されていることによっても、物品を搬送しながらこの傾斜部及び／または段差部で物品の向きを傾けることができるので、物品の搬送時に上側主ノズル及び下側主ノズルにより物品に対して空気を容易に傾斜方向から吹き付けることのできる自動搬送水切り装置とすることができる。
【００１８】
この場合、前記搬送ベルト部の傾斜部が、前記搬送ベルト部の搬送方向に向かって物品を上昇または下降させるような昇降傾斜、前記搬送ベルト部の搬送方向に対して搬送面全体を片側に傾斜させる片側傾斜、搬送ベルト部の搬送方向に対して搬送面を左右交互に傾斜させる交互傾斜、またはそれらが組合わされた傾斜となるように形成されているものとすることができる。
【００１９】
自動搬送水切り装置において、搬送ベルト部の傾斜部が上記のような傾斜となるように形成されているものであれば、物品を搬送しながら物品の向きを傾けて空気を傾斜方向から容易に吹き付けることができるものとなるし、また物品に付着している水滴を物品の傾斜している方向に落としやすくすることができるので、物品の水切りを一層効果的に行うことができる装置となる。
【００２０】
さらに、前記上側主ノズル及び／または下側主ノズルの各噴出口から噴射される空気の圧力を調節して前記物品に吹き付ける空気の圧力分布を制御する空気圧力調整手段が設置されていることが好ましい。
このように、本発明の自動搬送水切り装置に空気圧力調整手段が設置されていれば、ノズルの各噴出口から噴射される空気の圧力を調節して所望の圧力分布で空気を物品に吹き付けることができる。それによって、物品に吹き付けられた空気が乱流状態を形成せずに一方向に流れるように空気の流れを制御することが可能となるので、水切りの効果をさらに向上させることができる。
【００２１】
また、本発明の自動搬送水切り装置では、前記搬送ベルト部が、Ｏ−リングベルトで構成されているものであることが好ましい。
このように、搬送ベルト部がＯ−リングベルトで構成されているものであれば、搬送ベルト部が容易に網状の構造を有するものとなるだけでなく、搬送ベルト部に傾斜部及び／または段差部を形成することも容易であり、また物品を安定して載置して搬送することができるものとなる。尚、ここで言うＯ−リングベルトとは、円筒状の弾性樹脂やゴムなどを環状に一体成形あるいは接着により形成した、いわゆるＯ−リングを物品搬送用のベルトとして用いたものを言う。
【００２２】
さらに、前記ベルト駆動部が、少なくとも、前記搬送ベルト部を駆動させる駆動シャフトと、該駆動シャフトの両端に取り付けられた駆動チェーンと、該駆動チェーンを介して前記駆動シャフトに回転を与えるモーターと、該モーターの回転速度を制御して前記搬送ベルト部の搬送速度を制御する制御装置とを具備することが好ましい。
【００２３】
ベルト駆動部が、このように、少なくとも駆動シャフト、駆動チェーン、モーター、制御装置を具備するものであれば、構成が簡単で組立ても容易であり、また搬送ベルト部の搬送速度を制御して安定して搬送ベルト部を駆動させることができるものとなる。
【００２４】
また、本発明の自動搬送水切り装置は、前記物品を上方から押さえるとともに、前記搬送ベルト部の搬送速度と同期させて物品を搬送する上部ネット機構を有することが好ましい。
このように、本発明の物品の自動搬送水切り装置が上部ネット機構を有するものであれば、従来のようなバスケットやラック等の専用の治具を用いずに、物品を上方から押さえて物品の落下や飛散を防止でき、物品を連続的に安定して自動搬送しながら効率的に水切りを行うことができる自動搬送水切り装置とすることができる。
【００２５】
さらに、前記搬送ベルト部に、前記搬送される物品の滑り落ちを防止するための滑り落ち防止手段が設けられていることが好ましい。
このように搬送ベルト部に滑り落ち防止手段が設けられていることによって、搬送ベルト部に傾斜部及び／または段差部等が形成されていても、物品を搬送ベルト部から滑り落とさずに安定して搬送しながら水切りすることができる。
【００２６】
そして、本発明によれば、上記本発明の物品の自動搬送水切り装置を具備する物品の自動洗浄装置を提供することができる。
このような本発明の物品の自動洗浄装置であれば、洗浄処理が行われた物品の水切りを効果的に行うことができるので、その後の乾燥処理を短時間で効率的に行うことができる物品の自動洗浄装置とすることができる。
【００２７】
さらに、本発明によれば、物品を自動的に搬送しながら水切りを行う物品の自動搬送水切り方法において、前記物品を網状の構造を有する搬送ベルト部に載置して自動的に搬送し、該物品の自動搬送時に、上側主ノズル及び下側主ノズルにより物品に対して上下の傾斜方向から空気を吹き付ける、及び／または物品に対して傾斜させて設置した上側主ノズル及び／または下側主ノズルから空気を吹き付けることによって物品の水切りを行うことを特徴とする物品の自動搬送水切り方法が提供される。
【００２８】
このように、物品を網状の構造を有する搬送ベルト部に載置して自動的に搬送し、その物品の自動搬送時に上側主ノズル及び下側主ノズルにより物品に対して上下の傾斜方向から空気を吹き付ける、及び／または物品に対して傾斜させて設置した上側主ノズル及び／または下側主ノズルから空気を吹き付けることによって物品の水切りを行えば、物品に付着している水や薬液等をすばやく十分に落として、効果的に物品の水切りを行うことができる。
【００２９】
このとき、前記搬送ベルト部の搬送面に対して傾斜した噴出口を有する前記上側主ノズル及び／または下側主ノズルを設置することにより、前記物品に対して上下の傾斜方向から空気を吹き付けることが好ましい。
【００３０】
本発明の自動搬送水切り方法では、このように搬送ベルト部の搬送面に対して傾斜した噴出口を有する上側主ノズル及び／または下側主ノズルを設置することによって、物品に対して空気を容易に上下の傾斜方向から吹き付けることが可能となる。
【００３１】
また、前記物品を搬送ベルト部に形成した傾斜部及び／または段差部に通過させながら前記上側主ノズル及び下側主ノズルにより空気を吹き付けることが好ましい。
【００３２】
本発明では、このように物品を搬送ベルト部に形成した傾斜部及び／または段差部に通過させながら上側主ノズル及び下側主ノズルにより空気を吹き付けることによっても、物品に対して空気を容易に上下の傾斜方向から吹き付けることができる。
【００３３】
さらに、前記物品に吹き付けた空気が一方向に流れるように、物品に対して吹き付ける空気の傾斜方向及び／または空気の圧力分布を制御することが好ましい。
このように、物品に対して吹き付ける空気の傾斜方向及び／または空気の圧力分布を制御することによって、物品に吹き付けた空気が乱流状態を形成せずに一方向に流れるように空気の流れを制御することができるので、物品の水切りを一層効果的に行うことができる。
【００３４】
また、本発明の自動搬送水切り方法では、前記物品を搬送する際に、上部ネット機構を用いて物品を上方から押さえつつ、該上部ネット機構と前記搬送ベルト部との搬送速度を同期させて物品を搬送することが好ましい。
【００３５】
このように上部ネット機構を用いて物品を上方から押さえつつ、上部ネット機構と搬送ベルト部との搬送速度を同期させて物品を搬送することにより、バスケットやラック等の専用の治具を用いずに物品の落下や飛散を防止して、物品を安定して自動搬送しながら水切りを行うことができる。さらに、このように上部ネット機構を用いれば、物品を連続的に搬送して水切りを行うことができるため、処理時間を短縮させてスループットを著しく向上させることができ、処理量の大幅な増加を図ることが可能となる。
【００３６】
そして、本発明によれば、上記本発明の物品の自動搬送水切り方法を用いて、少なくとも、前記物品を自動的に搬送しながら洗浄処理を行った後に水切りを行い、該水切りと同時または該水切り後に前記物品に乾燥処理を行うことを特徴とする物品の自動洗浄方法が提供される。
【００３７】
このような本発明の物品の自動洗浄方法であれば、洗浄処理が行われた物品の水切りを効果的に行うことができるため、その後物品に乾燥処理を行う際に、乾燥ムラを生じさせず、また短時間で効率的に物品を乾燥させることができるので、洗浄及び乾燥処理のスループットを向上させることができる。
【００３８】
このとき、前記自動洗浄を行う物品をウエーハのキャリアボックスとすることができる。
このように、本発明の物品の自動洗浄方法は、ウエーハのキャリアボックスを洗浄する際に特に好適に用いることができ、それによって、キャリアボックスの洗浄及び乾燥処理を効率的に高いスループットで行うことができる。
【００３９】
この場合、前記乾燥処理をＣＤＡブローまたはエアーナイフにより行うことが好ましい。
このように、乾燥処理をＣＤＡブローまたはエアーナイフにより行うことによって、ウエーハのキャリアボックス等のような物品を搬送しながら乾燥処理を効率的に、また高清浄度を保って行うことができる。
【００４０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について実施の形態を説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
本発明者は、物品の洗浄及び乾燥処理において、洗浄処理が行われた物品に付着している処理溶液の液滴を効果的に水切りできる水切り装置について、鋭意実験及び検討を重ねた。その結果、少なくとも物品を載置して搬送する搬送ベルト部と、その搬送ベルト部を駆動させるベルト駆動部と、物品に上方向及び下方向から空気を吹き付けて水切りを行う上側主ノズル及び下側主ノズルとを具備し、上記の搬送ベルト部は網状の構造を有するものであり、かつ上側主ノズル及び下側主ノズルが物品に対して傾斜方向から空気を吹き付けるもの及び／または物品に対して傾斜させて設置されているものである物品の自動搬送水切り装置であれば、物品を自動的に搬送しながら上側主ノズル及び下側主ノズルにより物品に対して空気を吹き付けることによって、物品に付着している水や薬液等をすばやく十分に落として、物品の水切りを効果的に行うことができることを見出して、本発明を完成させた。
【００４１】
先ず、本発明に係る物品の自動搬送水切り装置について、図面を参照しながら説明するが、本発明はこれらに何ら限定されるものではない。図１は、本発明の物品の自動搬送水切り装置の一例を示す概略説明図である。
本発明の物品の自動搬送水切り装置１は、図１に示すように、少なくとも物品２０を載置して搬送する搬送ベルト部２と、搬送ベルト部２を駆動させるベルト駆動部３と、物品２０に上方向及び下方向から空気２３を吹き付けて水切りを行う上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５とを具備するものである。尚、この図１において、物品２０は、ウエーハのキャリアボックスのような少なくとも一つの面（下側の面）が開放端となるものとする。
【００４２】
上記の搬送ベルト部２は、網状の構造を有するものであり、例えば図２（ａ）に示すように、Ｏ−リングベルト４を用いることによって容易に構成することができる。搬送ベルト部２がこのようにＯ−リングベルト４で構成されているものであれば、搬送ベルト部２に物品２０を安定して載置して搬送することができるし、また下側主ノズル１５による物品２０の下方向からの空気の吹き付けが妨げられずに空気を十分に吹き付けることができる。なお、このＯ−リングベルト４としては、例えば弾性を有するゴム製のものを使用することができる。
【００４３】
ベルト駆動部３は、図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、搬送ベルト部２を駆動させる駆動シャフト５と、駆動シャフト５の両端にチェーンボックス６内でギア７を介して取り付けられた駆動チェーン８と、駆動チェーン８を介して駆動シャフト５に回転動力を与えるモーター９と、モーター９の回転速度を制御して搬送ベルト部２の搬送速度を制御する制御装置１０とを具備するものである。
【００４４】
また、このベルト駆動部３では、駆動チェーン８とモーター９とが変速ギアボックス１１を介して連結されており、搬送ベルト部の搬送速度を容易にかつ円滑に制御することができるようになっている。さらに、上記のような駆動シャフト５や駆動チェーン８等は、強化プラスチックやクリーン塩ビなどの塩化ビニル樹脂製とすることで、発塵の問題や物品の金属汚染を防止することができる。このとき、駆動シャフト５の幅Ｗ及び各駆動シャフト５間の間隔Ｄ１の大きさは搬送する物品の寸法や形状を考慮して調整すれば良く、特に限定されるものではない。
【００４５】
このようなベルト駆動部３において、各駆動シャフト５は、図２（ｂ）に示すように、チェーンボックス６内で支持体１２に支持されている中空ベアリング１３で保持されている。この中空ベアリング１３としては、例えば図３に示すような転がり接触させる構造のものを用いることができ、駆動シャフト５を回転可能に保持することができる。さらに、中空ベアリング１３の外側には、ずり落ち防止ガイド１８がギア７及び駆動チェーン８を挟み込むようにして配置されている。また、駆動シャフト５の表面には、Ｏ−リングベルト４のズレを防止するための突起物や溝を形成しておくことが好ましい。
【００４６】
また、上記の上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５は、空気を噴射する噴出口をそれぞれいくつか有しており、不図示の空気供給装置から送られてきた空気を噴出口から噴射し、搬送されてきた物品２０に対して上方向及び下方向から空気２３を吹き付けることができるようになっている。
【００４７】
そして、本発明の自動搬送水切り装置１は、これらの上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５が、搬送ベルト部２に載置して搬送される物品２０に対して傾斜方向から空気を吹き付けるものである。ここで、上側主ノズル及び下側主ノズルの設置状態の一例として、図４（ａ）に図１の（Ａ）−（Ａ’）における概略断面図を示す。この図４（ａ）に示したように、例えば上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５が、搬送ベルト部２の搬送面に対して傾斜させて設置されていることにより、搬送面上の物品２０に対して傾斜方向から空気を吹き付けることができる自動搬送水切り装置とすることができる。尚、この図４において、上下の各主ノズルから物品に向けて出ている矢印の向き及び長さは、上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５から物品２０に対して噴射される空気の方向及び強さを示している。
【００４８】
このとき、上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５は、搬送面に対する傾斜角度θが２°以上、特に３°〜５°程度となるようにして設置されることが好ましい。上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５がこのような傾斜角度を有するように設置されていれば、各主ノズルの設置も容易であり、また物品２０に傾斜方向からの空気の吹き付けを容易に行うことができる。
【００４９】
尚、上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５を傾斜させる方向は特に限定されるものではなく、図４（ａ）に示したように、上側主ノズル１４と下側主ノズル１５が共に搬送方向に対して右下がり（または共に左下がり）の傾斜方向となるように設置しても良いし、また図４（ｂ）に示したように、上側主ノズル１４を傾斜させる方向と下側主ノズル１５を傾斜させる方向とが互いに反対の向き（右下がりと左下がり）となるように設置しても良い。
【００５０】
また、本発明の自動搬送水切り装置において、上側主ノズル１４及び／または下側主ノズル１５は、物品に対して吹きつける空気を図４に示したようにノズルから垂直に噴射させるものに限定されるものではなく、空気を傾斜させて噴出するような傾斜した噴出口を有するものとすることができる。例えば物品に対して傾斜させて設置した上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５を、図５に示したように傾斜した噴出口を有するものとし、上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５から噴射される空気の方向を垂直方向にすることができる。
【００５１】
さらに、上記本発明の自動搬送水切り装置は、図１に示すように、物品を上方から押さえるとともに、搬送ベルト部の搬送速度と同期させて物品を搬送する上部ネット機構１７が設けられていることが好ましい。この上部ネット機構１７の構成は特に限定されるものではないが、例えば、網状の構造を有して物品を上方から押さえる押さえネット部と、押さえネット部の両端に取り付けられた押さえネット駆動チェーンと、押さえネット駆動チェーンを駆動させる押さえネット駆動ギアとからなるものとすることができる。このような上部ネット機構１７が自動搬送水切り装置１に設置されていることにより、物品を搬送しながら空気を吹き付けて水切りを行う際に、上方からの空気の吹き付けが妨げられず、従来のようなバスケットやラック等の専用の治具を用いずに物品を上方から押さえて物品の落下や飛散を防止することができるし、また物品を連続的に安定して自動搬送することも可能となる。
【００５２】
続いて、本発明の物品の自動搬送水切り方法について、図１に示した物品の自動搬送水切り装置１を参照しながら詳細に説明する。尚、この図１の物品の自動搬送水切り装置１において、上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５は、図４（ａ）に示したようにして搬送ベルト部２の搬送面に対して傾斜させて設置されているものとする。
【００５３】
本発明の物品の自動搬送水切り方法は、物品２０を網状の構造を有する搬送ベルト部２に載置して自動的に搬送し、その物品２０の自動搬送時に、図４（ａ）に示したように搬送ベルト部２の搬送面上の物品に対して傾斜させて設置した上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５により物品２０に対して上下の傾斜方向から空気を吹き付けることによって、物品２０の水切りを行うことができる。このようにして物品２０を自動搬送しながら水切りすることによって、物品に吹き付けた空気の流れ２１が乱流状態を形成せずに、物品２０の上面及び内側で一方向となるように制御することができるので、物品２０に付着している水や薬液等をすばやく十分に落として物品の水切りを非常に効果的に行うことができる。この場合、ノズルは物品に対して傾斜配置されているので、例えば図４（ａ）の下側主ノズルで言えば、左方のノズル噴出口は物品に近く、右方は離れることになる。従って、均等圧及び流量で空気を物品に吹き付けても物品に対する空気の流れは、全体として右方の一方向２１に流れ、乱流とならない。よって効率的に物品の水切りを行うことができる。
【００５４】
尚、本発明の自動搬送水切り方法は、物品２０の自動搬送時に上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５により物品２０に対して上下の傾斜方向から空気２３を吹き付ける、及び／または物品２０に対して傾斜させて設置した上側主ノズル１４及び／または下側主ノズル１５から空気を吹き付けることができれば、物品の水切りを非常に効果的に行うことができるものである。したがって、例えば図４（ｂ）に示したように、上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５を互いに反対の向きとなるように物品２０に対して傾斜させて設置し、物品２０に対して上下の傾斜方向から空気を吹き付けて物品の水切りを行うことによっても、物品に吹き付けた空気の流れ２１が物品２０の上面及び内側で一方向となるように制御することができ、物品の水切りを非常に効果的に行うことができる。
【００５５】
また、例えば図５に示したように、傾斜した噴出口を有する上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５が物品２０に対して傾斜させて設置されているものであれば、これらの上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５から物品２０に対して空気を吹き付けることによって、上記のように物品２０に吹き付けた空気の流れ２１を一方向となるようにすることができるので、物品２０の水切りを非常に効果的に行うことができる。
【００５６】
さらに、本発明の自動搬送水切り装置１には、前述のように上部ネット機構１７が設置されているので、搬送ベルト部２に載置した物品２０を上部ネット機構１７を用いて上方から押さえつつ、この上部ネット機構１７と搬送ベルト部２との搬送速度を同期させて物品２０を自動的に搬送することによって、物品が様々な形状を有していたり、また種類の全く異なるものであっても、バスケットやラック等の専用の治具を用いずに物品の落下や飛散を防止して、物品を安定して自動搬送しながら水切りを行うことができる。さらに、このように上部ネット機構を用いれば、物品を連続的に搬送して水切りすることが可能となるため、処理時間を短縮させてスループットを著しく向上させることができ、処理量の大幅な増加を図ることが可能となる。
【００５７】
次に、本発明の自動搬送水切り装置の別の形態として、搬送ベルト部に傾斜部が形成されている自動搬送水切り装置について、図６及び図７を参照しながら詳細に説明する。尚、この図６及び図７は、本発明の自動搬送水切り装置の構成を解かりやすくするために簡便に図示した構成概略図であり、駆動シャフトの傾き等については理解を容易にする為に、意図的に部分的に視点を変えて図示されている。
【００５８】
図６に示した物品の自動搬送水切り装置３１は、少なくとも、物品２０を載置して搬送する搬送ベルト部３２と、搬送ベルト部３２を駆動させるベルト駆動部３３と、物品２０に上方向及び下方向から空気を吹き付けて水切りを行う上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５とを具備するものである。尚、図６に示した物品２０は、図１と同様に少なくとも一つの面（下側の面）が開放端となるものとする。
【００５９】
このような物品の自動搬送水切り装置３１において、搬送ベルト部３２は、網状の構造を有するものであり、図７（ａ）に示すように、Ｏ−リングベルト４を用いることによって容易に構成することができる。
【００６０】
また図７（ａ）及び（ｂ）に示すように、ベルト駆動部３３は、図２に示したベルト駆動部３と同様に、搬送ベルト部３２を駆動させる駆動シャフト５と、駆動シャフト５の両端にチェーンボックス６内でギア７を介して取り付けられた駆動チェーン８と、駆動チェーン８を介して駆動シャフト５に回転動力を与えるモーター９と、モーター９の回転速度を制御して搬送ベルト部３２の搬送速度を制御する制御装置１０とを具備しており、また駆動チェーン８とモーター９との間には変速ギアボックス１１が設置されている。
【００６１】
そして、上記の搬送ベルト部３２には、図７（ｂ）に示すように各駆動シャフト５を傾斜角度θで傾けることによって、すなわち図８に示すように駆動シャフトの一端を他方のもう一端の高さよりも高くなるようにして駆動シャフト５を保持することによって、搬送ベルト部の搬送方向に対して搬送面全体を片側に傾斜させる片側傾斜となるような傾斜部が形成されている。このとき、傾斜部の傾斜角度θは２°以上、特に３°〜５°程度であることが好ましい。搬送ベルト部３２に傾斜部がこのような傾斜角度で形成されていることによって、物品を傾斜させて安定して搬送することができるとともに、物品を傾斜部に通過させた際に物品に付着している水滴を水滴の自重を利用して非常に落としやすくすることができる。
【００６２】
ここで、図９の（ａ）〜（ｉ）に、図６において上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５を種々の方向で設置した場合の（Ｂ）−（Ｂ’）における概略断面図を示す。
上記のように、この態様の自動搬送水切り装置３１は、搬送ベルト部３２に物品２０の向きを傾ける傾斜部が形成されているため、例えば図９（ａ）に示したように、搬送ベルト部３２上の物品２０をノズルに対して傾斜させることができる。したがって、この自動搬送水切り装置３１は、上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５が搬送ベルト部３２で搬送される物品２０に対して傾斜させて設置されているものとなり、物品２０に対して傾斜方向から空気を吹き付けることができるものとなる。
【００６３】
さらに、本発明の自動搬送水切り装置３１は、上側主ノズル及び／または下側主ノズルを搬送方向に対して右下がりや左下がりとなるように傾斜させた状態で設置することができ、例えば図９（ｂ）〜（ｉ）に示したように上側主ノズル及び／または下側主ノズルを搬送方向に対して右下がりや左下がりに傾斜させて設置しても良い。
【００６４】
このとき、上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５は、物品２０に吹き付けた空気が一方向に流れるようにして設置されていることが好ましい。例えば、図９の（ａ）、（ｃ）、（ｇ）、（ｉ）に示したようにして上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５を設置したり、またその他に上側主ノズル１４及び／または下側主ノズル１５の設置位置や設置数を調整すること等によって、物品に吹き付けた空気の流れが一方向に流れるように制御することができる。
【００６５】
さらに本発明では、上側主ノズル１４及び／または下側主ノズル１５に、各噴出口から噴射される空気の圧力を調節して物品に吹きつける空気の圧力分布を制御する空気圧力調節手段を設置することができる。例えば図９（ｂ）のようにして上側主ノズル及び下側主ノズルを設置した場合に、図１０のように下側主ノズル１５の各噴出口に例えば圧力計とバルブとからなる空気圧力調節手段２２を設けておき、下側主ノズル１５の各噴出口から噴射される空気の圧力を圧力計で測定しながらバルブで調節して、物品に吹きつける空気の圧力分布を制御することができ、物品に吹き付けた空気が一方向に流れるように空気の流れを制御することができる。
【００６６】
また、このように片側傾斜の傾斜部を有する自動搬送水切り装置３１において、図７に示すように、物品を傾斜部に通過（搬送）させる際に物品を搬送ベルト部から滑り落ちないようにするために滑り落ち防止手段３４が搬送ベルト部３２に設置されていることが好ましい。滑り落ち防止手段３４は、チェーンボックス６の外壁にボルト等により固定することができ、その材質は、例えばステンレスにフッ素樹脂をコートしたものを用いれば、金属等の汚染を防止すると同時に搬送物品が接触しても滑りやすい表面なので摩擦による引っ掛かりがなく、スムーズな搬送ができる。
【００６７】
さらに、この自動搬送水切り装置３２には、図１に示したような上部ネット機構１７が設けられていることが好ましい。例えば、上部ネット機構を片側傾斜している搬送ベルト部の傾斜角度θに合わせて傾けて設置することにより、バスケットやラック等の専用の治具を用いなくても物品の搬送を非常に安定して行うことができる。
【００６８】
続いて、図６に示した物品の自動搬送水切り装置３１を用いて、物品の水切りを行う自動搬送水切り方法について説明する。
自動搬送水切り装置３１を用いて物品の水切りを行う方法は、物品２０を網状の構造を有する搬送ベルト部３２に載置し、搬送ベルト部３２に形成した片側傾斜の傾斜部に通過させて物品の向きを傾けながら上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５により空気を吹き付けることによって、物品２０の水切りを行うことができるものである。このようにして物品の水切りを行えば、傾斜配置された物品への空気の吹き付けにより水切りを促進させることができるとともに、物品２０に付着している水滴を水滴自体の自重を利用して物品２０の傾斜している方向に向かって落としやすくすることができるので、物品の水切りを非常に効果的に行うことができる。
【００６９】
このとき、上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５から物品２０に吹き付けた空気が一方向に流れるようにして、上下の主ノズルから物品に対して吹き付ける空気の傾斜方向及び／または空気の圧力分布を制御することが好ましい。例えば、前述したように、図９の（ａ）、（ｃ）、（ｇ）、（ｉ）に示したようにして上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５を設置したり、また図１０に示したように空気圧力調整手段２２を用いて物品に吹き付ける空気の圧力分布を制御することによって、物品に吹き付けた空気の流れ２１が乱流状態を形成せずに物品２０の上面及び内側で一方向となるように制御することができる。このように物品に吹き付けた空気が一方向に流れるように空気の流れを制御することによって、物品２０の水切りの効果を一層高めることができる。特に、図１０に示したように、物品に吹き付けた空気の流れる向きが、水滴が自重で落ちていく方向と同じ方向になるように空気の傾斜方向及び／または空気の圧力分布を制御することによって、極めて効果的に水切りを行うことが可能となる。
【００７０】
尚、図６に示した物品の自動搬送装置３１は、搬送ベルト部３２に物品の向きを傾ける傾斜部として、搬送ベルト部の搬送方向に対して搬送面全体を片側に傾斜させる片側傾斜が形成されているものであるが、本発明において搬送ベルト部に形成する傾斜部は上記のような片側傾斜に限定されるものではない。
【００７１】
搬送ベルト部に形成する傾斜部としては、上記片側傾斜の他に、搬送ベルト部の搬送方向に対して搬送面を左右交互に傾斜させる交互傾斜や、搬送ベルト部の搬送方向に向かって物品を上昇または下降させるような昇降傾斜、またこれらの片側傾斜、交互傾斜、昇降傾斜を組合わせた傾斜となるように傾斜部を形成することができる。
【００７２】
例えば、搬送ベルト部に交互傾斜の傾斜部を形成する場合であれば、図１１に搬送ベルト部３２およびベルト駆動部３３の構成を簡単に示すように、１本の駆動シャフトの一端を搬送面よりも高くなるように保持して１段目の傾斜を作り、次に２段目の傾斜を１段目の傾斜の向きと反対になるように駆動シャフトのもう一端を搬送面よりも高くなるように保持して形成する。そして、この１段目の傾斜と２段目の傾斜を交互に繰り返し形成していくことによって、搬送面を左右交互に傾斜させる交互傾斜の傾斜部を搬送ベルト部に形成することができる。尚、図１１において、点線で示された駆動シャフトの一端は、傾斜させた駆動シャフトの紙面奥側の端面を示している。
【００７３】
そして、このような交互傾斜の傾斜部に物品を通過させて物品の向きを傾けながら、上側主ノズル及び下側主ノズルにより物品に対して上下の傾斜方向から空気を吹き付けて物品の水切りを行うことによって、前記物品を片側傾斜の傾斜部に通過させたときと同様に、物品の水切りを促進させるとともに物品に付着している水滴を物品の傾斜方向に向かって落としやすくすることができるので、物品の水切りを非常に効果的に行うことができる。
【００７４】
さらに、例えばベルト駆動部３３の駆動シャフトを図１２に示すようにして高さを変えて保持することによって、搬送ベルト部３２に物品を下降させる（または上昇させる）昇降傾斜の傾斜部を形成した場合も、物品を搬送ベルト部に載置して搬送しながら上側主ノズル及び下側主ノズルにより物品に対して上下の傾斜方向から空気を吹き付けて物品の水切りを行うことができるので、物品の水切りを非常に効果的に行うことができる。
【００７５】
次に、本発明の自動搬送水切り装置の更に別の形態として、搬送ベルト部に段差部が形成されている自動搬送水切り装置について、図１３を参照しながら詳細に説明する。
図１３（ａ）に示した物品の自動搬送水切り装置４１は、少なくとも、物品２０を載置して搬送する搬送ベルト部４２と、搬送ベルト部４２を駆動させるベルト駆動部４３と、物品２０に上方向及び下方向から空気を吹き付けて水切りを行う上側主ノズル４４及び下側主ノズル４５とを具備するものである。
【００７６】
このような物品の自動搬送水切り装置４１において、搬送ベルト部４２及びベルト駆動部４３は、上記図１に示した搬送ベルト部２及びベルト駆動部３と同様の構成を有するものである。また、この搬送ベルト部４２には、物品２０の向きを傾けるための段差部４６が形成されている。このような段差部４６は、例えばチェーンボックス内で例えば支持体の長さを調節して駆動シャフトの高さを変えることにより容易に形成することができる。このとき、段差部４６の傾斜角度θは、２°以上、特に３°〜５°程度であることが好ましい。
【００７７】
このように自動搬送水切り装置４１の搬送ベルト部４２に段差部が形成されていることにより、搬送ベルト部４２で搬送される物品２０をノズルに対して傾斜させることができるので、上側主ノズル４４及び下側主ノズル４５が物品に対して傾斜させて設置されているものとすることができる。
【００７８】
この自動搬送水切り装置４１において、下側主ノズル４５は、ノズル先端部に噴出口として図１３（ｃ）に示したようなスリット孔４７及びアレイ孔４８ａ、４８ｂ、４８ｃが形成されている複合ノズルとなっている。尚、下側主ノズル４５及び上側主ノズル４４における噴出口の形状は特に限定されるものではなく、物品の形状等に応じて適切な噴出口の形状を選択することができる。
【００７９】
ここで、下側主ノズル４５の具体的な構成を図１４に示す。
図１４に示したように、下側主ノズル４５は、先端部に形成されたスリット孔４７及びアレイ孔４８ａ〜４８ｃのそれぞれに空気供給装置４９から空気が供給され、各噴出口から空気を物品に向けて噴射することができるようになっている。このとき、空気供給装置４９と、スリット孔４７及びアレイ孔４８ａ〜４８ｃとの間には、例えばバルブ５０、圧力計５１、フローメータ５２、フィルター５３等からなる空気圧力調整手段が設置されており、空気供給装置４９からスリット孔４７及びアレイ孔４８ａ〜４８ｃに供給される空気の圧力を圧力計５１で計測したり、また空気の流量をフローメータ５２でそれぞれ計測しながら、バルブ５０で空気の供給量を調節することによって、各噴出口から空気を適切な圧力及び流量で物品に吹き付けることができる。
【００８０】
このような下側主ノズル４５において、スリット孔４７は、図１３及び図１４に示すように、搬送ベルト部４２の搬送面に対して傾斜した噴出口を有しており、また搬送されてきた物品２０の内側上面の中間部に幅広くに空気を吹き付けるようにスリット幅が調節されていることが好ましい。また、アレイ孔４８ａ〜４８ｃについては、例えばアレイ孔４８ａ及び４８ｃが物品２０の内側上面の角隅に空気を吹き付けるように、アレイ孔４８ｂが物品２０の内側上面の真中程度に空気を吹き付けるように傾斜しているものであることが好ましい。
【００８１】
一方、上側主ノズル４４は、その先端部に噴出口として例えば図１３（ｂ）に示すようなスリット孔４７またはアレイ孔４８が形成されている。このとき、上側主ノズル４４は、搬送ベルト部の搬送面に対して傾斜した噴出口を有するものとすることができる。
【００８２】
そして、このような搬送ベルト部４２に段差部４６が形成されている自動搬送水切り装置４１を用いて物品２０に水切りを行う場合、図１３に示したように、物品２０を網状の構造を有する搬送ベルト部４２で自動的に搬送して段差部４６に通過させながら、物品に対して傾斜させて設置されている上側主ノズル４４及び下側主ノズル４５から物品２０に対して空気２３を吹き付けて水切りを行うことができる。
【００８３】
このようにして水切りを行うことによって、物品２０の水切りを促進させることができるとともに、物品２０に付着している水滴１９を水滴の自重を利用して物品２０の傾斜している方向に向かって落としやすくすることができるし、さらに上側主ノズル４４及び下側主ノズル４５によって物品に吹き付けられた空気が乱流状態を形成せずに一方向に流れるように空気の流れを制御することもできる。したがって、このような物品の自動搬送水切り装置４１を用いることにより、物品２０の水切りを非常に効果的に行うことができ、特に物品の上面や進行方向に向いている前面及び後面に付着している水滴、また物品内側の内壁上面、内壁前面、内壁後面に付着している水滴等を極めて効果的に水切りすることができる。
【００８４】
また、このような自動搬送水切り装置４１には、前記の図１に示すような上部ネット機構を設置することができ、それによって物品の落下や飛散を防止して、物品を連続的に安定して自動搬送することができる。
【００８５】
さらに、本発明では、図１３に示した物品の自動搬送水切り装置４１に、前記図１に示した物品の自動搬送水切り装置１や、図６に示した物品の自動搬送水切り装置３１等を組合せて水切りすることによって、物品全体の水切りを極めて効果的に行うことが可能となる。
【００８６】
そして、本発明では、上記本発明の自動搬送水切り装置を具備する物品の自動洗浄装置を提供することができる。
以下、本発明に係る物品の自動洗浄装置について、図面を参照しながら説明するが、本発明はこれらに何ら限定されるものではない。図１５は、本発明の物品の自動洗浄装置の一例を示す概略説明図である。
【００８７】
本発明の物品の自動洗浄装置は、物品２０を自動的に搬送しながら、例えば前洗浄、薬液洗浄、リンス等の洗浄処理を行った後、この洗浄処理が施された物品２０に少なくとも上記本発明の自動搬送水切り装置、例えば図１に示した自動搬送水切り装置１を用いて、物品２０に対して傾斜させて設置した上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５により物品２０に上下の傾斜方向から空気を吹き付けることにより水切りを行い、さらにその後、例えばエアーナイフやＣＤＡブローによる乾燥処理を行うものである。
【００８８】
このように、洗浄処理が施された物品に本発明の自動搬送水切り装置を用いて水切りを行うことにより、非常に効果的に水切りを行って物品に付着している水滴を十分に落とすことができる。したがって、その後エアーナイフ等による乾燥処理を行う際に、乾燥時間を大幅に短縮してスループットを従来に比べて著しく向上させることができるし、また乾燥ムラを生じさせずに均一に物品を乾燥させることもできる。
【００８９】
さらに、本発明では、物品に水切りを行う際に、物品に吹き付ける空気の流量や温度を調節したり、物品に空気を吹き付ける時間を長くしたりすること等により物品の乾燥を同時に行うことが可能となり、その後の乾燥処理を省略して処理時間の大幅な短縮を図ることができる。
【００９０】
そして、このような本発明の自動洗浄方法は、前述のようなウエーハを保持・収納するキャリアボックスを洗浄する際に特に好適に用いることができる。ウエーハのキャリアボックスの洗浄を本発明の自動洗浄方法で行うことによって、キャリアボックスの洗浄処理及び乾燥処理を効率的に非常に高いスループットで行うことができる。
【００９１】
【実施例】
以下、実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
（実施例１）
実施例１として、先ず、直径２００ｍｍのシリコンウエーハを収納できるキャリアボックスに前洗浄、薬液洗浄、リンスによる洗浄処理を行った後、図１に示した物品の自動搬送水切り装置１を用いて、洗浄処理が行われたキャリアボックスを搬送ベルト部２に載置し自動的に搬送しながら、上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５により物品２０に対して上下の傾斜方向からＣＤＡを吹き付けることにより水切りを行った。このとき、自動搬送水切り装置１の上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５は、図４（ａ）のようにして搬送ベルト部２の搬送面に対して傾斜角度θが５°となるように傾斜させて設置されている。
【００９２】
この自動搬送水切り装置１による水切りの効果を確かめるために、洗浄処理が行われる前のキャリアボックスの重量を予め求めておき、そして洗浄処理直後の水滴の付着したキャリアボックスの重量、及び自動搬送水切り装置１により水切りが行われたキャリアボックスの重量を測定して洗浄処理前のキャリアボックスの重量との差を算出することによって、それぞれの段階でキャリアボックスに付着している水滴の量を求めた。
その結果、洗浄処理直後にキャリアボックスに付着している水滴の量はおよそ６８ｇ、自動搬送水切り装置１による水切り後の水滴の量はおよそ４９ｇであることが分かった。
【００９３】
（実施例２）
実施例２として、上記実施例１と同様に、先ずキャリアボックスに前洗浄、薬液洗浄、リンスによる洗浄処理を行った後、図６に示した物品の自動搬送水切り装置３１を用いて、洗浄処理が行われたキャリアボックスを搬送ベルト部３２に載置し自動的に搬送しながら、上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５により物品２０に対して上下の方向からＣＤＡを吹き付けることにより水切りを行った。このとき、物品の自動搬送水切り装置３１の搬送ベルト部３２に形成されている片側傾斜の傾斜部は、傾斜角度θが５°となるように形成されており、また上側主ノズル１４及び下側主ノズル１５は、図９（ａ）に示したように設置されている。また、上側主ノズル及び下側主ノズルから物品に対して吹き付けるＣＤＡの圧力及び流量は、上記実施例１と同様の条件となるようにした。
【００９４】
この自動搬送水切り装置３１による水切りの効果を確かめるために、上記実施例１と同様に、洗浄処理が行われる前のキャリアボックスの重量を予め求めておき、そして洗浄処理直後の水滴の付着したキャリアボックスの重量、及び自動搬送水切り装置３１により水切りが行われたキャリアボックスの重量を測定することによって、それぞれの段階でキャリアボックスに付着している水滴の量を求めた。
その結果、洗浄処理後にキャリアボックスに付着している水滴の量はおよそ６８ｇ、自動搬送水切り装置１による水切り後の水滴の量はおよそ３８ｇであることが分かった。
【００９５】
（比較例）
比較例として、先ずキャリアボックスに前洗浄、薬液洗浄、リンスによる洗浄処理を行った後、物品を搬送しながらＣＤＡを上下方向から物品に対して垂直に吹き付けるＣＤＡブローによりキャリアボックスの水切りを行った。このとき、物品に吹き付けるＣＤＡの圧力及び流量は、上記実施例１及び２と同様の条件となるようにした。
【００９６】
この垂直方向からのＣＤＡブローによる水切りの効果を確かめるために、洗浄処理が行われる前のキャリアボックスの重量を予め求めておき、そして洗浄処理後の水滴の付着したキャリアボックスの重量、及びＣＤＡブロー直後のキャリアボックスの重量を測定することによって、それぞれの段階でキャリアボックスに付着している水滴の量を求めた。
【００９７】
その結果、洗浄処理後にキャリアボックスに付着している水滴の量はおよそ６８ｇ、ＣＤＡブロー直後の水滴の量は５８ｇであることが分かった。このように、ＣＤＡブローによるキャリアボックスの水切りでは、実施例１及び実施例２に比べて水切りの効果が非常に低いことがわかった。
【００９８】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００９９】
例えば、上記では、上下に配置されるノズルとして主ノズルが配置される場合を例示したが、これに加えて複数の補助ノズルを設置しても良い。
【０１００】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、物品を自動搬送しながら上側主ノズル及び下側主ノズルにより物品に対して上下の傾斜方向から空気を吹き付ける、及び／または物品に対して傾斜させて設置した上側主ノズル及び／または下側主ノズルから空気を吹き付けることによって、物品に付着している水滴を十分に落として物品の水切りを効果的に行うことができる。また、本発明の物品の自動洗浄方法によれば、洗浄処理が施された物品に水切りを効果的に行うことができるので、物品の乾燥処理を短時間で効率的に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の物品の自動搬送水切り装置の一例を示す構成概略図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）は、搬送ベルト部及びベルト駆動部の構成を示す構成概略図である。
【図３】中空ベアリングの構成を示す構成概略図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）は、上側主ノズル及び下側主ノズルの設置状態の一例を示す概略断面図である。
【図５】傾斜した噴出口を有する上側主ノズル及び下側主ノズルの設置状態の一例を示す概略断面図である。
【図６】本発明の物品の自動搬送水切り装置の別の例を示す構成概略図である。
【図７】（ａ）、（ｂ）は、搬送ベルト部及びベルト駆動部の構成を示す構成概略図である。
【図８】搬送ベルト部に形成されている傾斜部の一例を示す構成概略図である。
【図９】（ａ）〜（ｉ）は、物品が傾斜配置された場合の上側主ノズル及び下側主ノズルの設置状態の例を示す概略断面図である。
【図１０】空気圧力調整手段を有する場合の上側主ノズル及び下側主ノズルの設置状態の一例を示す概略断面図である。
【図１１】搬送ベルト部に交互傾斜の傾斜部を形成する場合の搬送ベルト部及びベルト駆動部の構成の一例を簡単に示した概略説明図である。
【図１２】搬送ベルト部に昇降傾斜の傾斜部を形成する場合の搬送ベルト部及びベルト駆動部の構成の一例を簡単に示した概略説明図である。
【図１３】（ａ）は、搬送ベルト部に段差部が形成されている本発明の物品の自動搬送水切り装置の一例を示す構成概略図であり、（ｂ）は、上側主ノズルの噴出口を示す構成概略図であり、（ｃ）は、下側主ノズルの噴出口を示す構成概略図である。
【図１４】（ａ）は、下側主ノズルの概略断面図であり、（ｂ）は、下側主ノズルの透視図である。
【図１５】本発明の物品の自動洗浄装置の一例を示す構成概略図である。
【符号の説明】
１…物品の自動搬送水切り装置、 ２…搬送ベルト部、
３…ベルト駆動部、 ４…Ｏ−リングベルト、
５…駆動シャフト、 ６…チェーンボックス、 ７…ギア、
８…駆動チェーン、 ９…モーター、 １０…制御装置、
１１…変速ギアボックス、 １２…支持体、
１３…中空ベアリング、 １４…上側主ノズル、
１５…下側主ノズル、 １７…上部ネット機構、
１８…ずり落ち防止ガイド、 １９…水滴、
２０…物品、 ２１…空気の流れ、
２２…空気圧力調整手段、 ２３…空気、
３１…物品の自動搬送水切り装置、
３２…搬送ベルト部、 ３３…ベルト駆動部、
３４…滑り落ち防止手段、
４１…物品の自動搬送水切り装置、
４２…搬送ベルト部、 ４３…ベルト駆動部、
４４…上側主ノズル、 ４５…下側主ノズル、
４６…段差部、 ４７…スリット孔、
４８，４８ａ，４８ｂ，４８ｃ…アレイ孔、
４９…空気供給装置、 ５０…バルブ、 ５１…圧力計、
５２…フローメータ、 ５３…フィルター、
Ｄ１…駆動シャフトの間隔、 Ｗ…駆動シャフトの幅。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an automatic conveyance draining device and an automatic conveyance draining method for draining an article while automatically conveying the article, and to washing and drying the article using the automatic conveyance draining apparatus for the article. The present invention relates to an automatic cleaning apparatus and automatic cleaning method for articles.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, when performing processing such as washing and drying on an article, the article (object to be processed) is transported and sprayed with pure water or a detergent on the article, and then heated clean air (clean air) A method of performing a drying process by spraying dry air (hereinafter sometimes abbreviated as CDA) is widely used.
[0003]
For example, a carrier box that holds and stores a wafer when shipping a semiconductor wafer is usually required to be very clean in order to prevent contamination of the wafer. Therefore, generally, before storing the wafer, the carrier box is subjected to processing such as washing and drying to remove dust (particles), organic substances, and the like adhering to the carrier box. As a method for cleaning such a carrier box, for example, a method as disclosed in Patent Document 1 is known.
[0004]
Here, a method for cleaning the carrier box will be briefly described.
Usually, when such a carrier box is washed and dried, the carrier box is first disassembled into parts such as a box body, an upper lid, an inner box, a retainer, and a gasket, and the carrier box is disassembled into its parts. Perform pre-cleaning with pure water. Subsequently, the pre-washed carrier box is washed with a chemical solution such as a surfactant to remove the adhering particles and organic matter, and then rinse with pure water (washed with water) sufficiently. Do.
[0005]
After rinsing, the carrier box is thoroughly dried. As a method of drying the carrier box, the carrier box after rinsing is transported into, for example, a clean oven, and the oven is dried at a temperature of about 60 ° C. by circulating hot air, or a carrier box drying device The carrier box is dried by using a so-called spin method or the like in which the carrier box is rotated in the apparatus using a rotation mechanism incorporated in the unit and clean hot air is blown.
[0006]
Further, in the carrier box cleaning and drying process as described above, the carrier box was rinsed, since the drying time can be shortened by draining the carrier box before performing the drying process. The carrier box is drained using a CDA blow that blows CDA at high speed, an air knife that uses pressurized air, or the like.
[0007]
However, in such conventional draining of the carrier box using only CDA blow or air knife, it cannot be said that the water droplets adhering to the carrier box are sufficiently drained, and when air is blown to the carrier box. However, the air flow is irregular and it is easy to form a turbulent state, and even if a large amount of air is blown onto the carrier box, it is difficult to obtain a sufficient draining effect on the air supply amount. Therefore, in the past, many water droplets remain on the surface and inside of the carrier box even after draining, and a long processing time is still required to completely dry the carrier box in the subsequent drying process. This is one of the causes of throughput reduction and cost increase.
[0008]
The problem that the drying process takes time due to such a low draining effect is not limited to the case of cleaning the carrier box of the semiconductor wafer, and cleaning and drying processes are performed on various articles. It is a problem that is commonly caused when doing it.
[0009]
Further, in addition to the above problems, when various processes such as cleaning and drying are performed while conveying the object to be processed, the object to be processed slides and drops during the conveyance, or, for example, pressurized air or CDA during the process. In order to prevent the processed object from being scattered by spraying the surface of the object and to stably convey the processed object, the processed object is generally held and fixed using a dedicated basket or rack. There was a need.
[0010]
However, in the case where the object to be processed is transported while being fixed to a dedicated basket or rack, preparations for fixing the object to be processed to the dedicated basket or rack are necessary, and various processes such as washing and drying are required. After that, it is necessary to take out the work from the basket or rack that has been transported, move the empty basket or rack to the input side of the transport device, and start the above preparation again. It was. For this reason, the object to be processed cannot be efficiently transported, shortening the processing time and improving the throughput in various processes, and preventing a large amount of processing.
[0011]
[Patent Document 1]
JP 2001-156034 A
[0012]
[Problems to be solved by the invention]
Then, this invention was made | formed in view of the said problem, Comprising: The objective of this invention is the automatic conveyance draining apparatus and automatic conveyance draining method of articles which can perform draining of articles effectively, and this article Automatic cleaning apparatus and automatic cleaning method for articles which can effectively drain the treatment solution adhering to the article by using the automatic transport draining apparatus and can efficiently perform the subsequent drying process in a short time Is to provide.
[0013]
[Means for Solving the Problems]
  In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided an automatic conveyance draining apparatus for draining an article while automatically conveying the article, and at least a conveyance belt unit for placing and conveying the article, A belt driving unit for driving the conveyance belt unit; and an upper main nozzle and a lower main nozzle for blowing water by blowing air from above and below the article, and the conveyance belt unit has a net-like structure. And the upper main nozzle and the lower main nozzle are configured to blow air from an inclination direction with respect to the article and / or to be inclined with respect to the article. A device for automatically draining articles to be delivered is provided.The
[0014]
As described above, at least the conveyance belt unit, the belt driving unit, the upper main nozzle, and the lower main nozzle are provided, the conveyance belt unit has a net-like structure, and the upper main nozzle and the lower main nozzle are used as articles. On the other hand, in the case of an automatic conveyance draining device for an article that blows air from an inclination direction and / or is inclined with respect to the article, the upper main nozzle and the lower main nozzle while automatically conveying the article By blowing air on the article, water, chemicals, etc. adhering to the article can be sufficiently dropped, and the automatic conveying drainer can effectively drain the article. In the present invention, the air is blown from the inclined direction to the article, as described below, because the nozzle is installed to be inclined with respect to the article, so that the nozzle is inclined from the direction oblique to the article. And the air is blown by tilting the article with respect to the nozzle by conveying the article while tilting.
[0015]
  At this time, it is preferable that the upper main nozzle and / or the lower main nozzle have an outlet that is inclined with respect to the conveying surface of the conveying belt portion.Yes.
[0016]
In this way, if the upper main nozzle and / or the lower main nozzle has an outlet that is inclined with respect to the conveying surface of the conveying belt portion, the upper main nozzle and the lower main nozzle can be easily inclined with respect to the article. It can be set as the automatic conveyance drainer which can spray air from the direction.
[0017]
  Further, it is preferable that an inclined portion and / or a step portion for inclining the direction of the article is formed on the conveyor belt portion.Yes.
  In the present invention, since the inclined portion and / or the step portion is formed on the conveying belt portion as described above, the direction of the article can be inclined at the inclined portion and / or the step portion while conveying the article. And it can be set as the automatic conveyance draining apparatus which can blow off air with respect to articles | goods from an inclination direction with an upper main nozzle and a lower main nozzle at the time of conveyance of articles | goods.
[0018]
  In this case, the inclined portion of the conveyor belt portion is inclined up and down so that the article is raised or lowered in the conveying direction of the conveyor belt portion, and the entire conveying surface is inclined to one side with respect to the conveying direction of the conveyor belt portion. It can be formed so as to have a one-sided inclination, an alternating inclination in which the conveying surface is alternately inclined to the left and right with respect to the conveying direction of the conveying belt part, or a combined inclination of them.The
[0019]
In the automatic conveying drainer, if the inclined portion of the conveying belt portion is formed so as to be inclined as described above, the direction of the article is inclined while the article is being conveyed and air is easily blown from the inclined direction. In addition, since it is possible to easily drop the water droplets adhering to the article in the direction in which the article is inclined, the apparatus can drain the article more effectively.
[0020]
  Furthermore, air pressure adjusting means for controlling the pressure distribution of the air sprayed on the article by adjusting the pressure of the air injected from the respective outlets of the upper main nozzle and / or the lower main nozzle is installed. LikeYes.
  Thus, if the air pressure adjusting means is installed in the automatic conveying drainer of the present invention, the pressure of the air injected from each nozzle outlet is adjusted and air is blown onto the article with a desired pressure distribution. Can do. As a result, the air flow can be controlled so that the air blown to the article flows in one direction without forming a turbulent flow state, so that the draining effect can be further improved.
[0021]
  In the automatic transport drainer of the present invention, it is preferable that the transport belt portion is composed of an O-ring belt.Yes.
  As described above, if the conveyor belt portion is formed of an O-ring belt, the conveyor belt portion easily has a net-like structure, and an inclined portion and / or a step is formed on the conveyor belt portion. It is also easy to form the part, and the article can be stably placed and transported. The O-ring belt here refers to a belt in which a so-called O-ring formed by integrally forming or bonding a cylindrical elastic resin, rubber, or the like in an annular shape is used as an article transport belt.
[0022]
  Further, the belt drive unit at least drives the transport belt unit, a drive chain attached to both ends of the drive shaft, and a motor that rotates the drive shaft via the drive chain, And a controller that controls the rotation speed of the motor to control the conveyance speed of the conveyance belt unit.Yes.
[0023]
As long as the belt drive unit includes at least the drive shaft, drive chain, motor, and control device, the configuration is simple and easy to assemble, and the conveyance speed of the conveyance belt unit is controlled and stable. Thus, the conveyor belt unit can be driven.
[0024]
  In addition, it is preferable that the automatic transport drainer of the present invention has an upper net mechanism that holds the article from above and conveys the article in synchronization with the conveyance speed of the conveyor belt unit.Yes.
  Thus, if the automatic conveyance draining device of an article of the present invention has an upper net mechanism, the article can be pressed from above without using an exclusive jig such as a basket or a rack as in the prior art. It can be set as the automatic conveyance draining apparatus which can prevent a fall and scattering, and can drain water efficiently, continuously and stably conveying an article.
[0025]
  Furthermore, it is preferable that a slip-off preventing means for preventing the transported article from slipping down is provided on the transport belt portion.Yes.
  By providing the slipping prevention means in the transport belt portion in this way, even if an inclined portion and / or a stepped portion is formed on the transport belt portion, the article is stabilized without slipping off from the transport belt portion. Can be drained while being transported.
[0026]
  And according to this invention, the automatic washing apparatus of the goods which comprise the automatic conveyance draining apparatus of the said goods of the said invention can be provided.The
  With such an automatic cleaning apparatus for articles according to the present invention, the articles that have been subjected to the cleaning process can be drained effectively, so that the subsequent drying process can be performed efficiently in a short time. The automatic cleaning device can be used.
[0027]
  Further, according to the present invention, in the automatic conveyance draining method for articles which drains water while automatically conveying the articles, the articles are automatically conveyed by being placed on a conveyance belt portion having a net-like structure, During the automatic conveyance of the article, the upper main nozzle and / or the lower main nozzle are installed so that the upper main nozzle and the lower main nozzle blow air on the article from the upper and lower inclination directions and / or are inclined with respect to the article. There is provided an automatic conveying draining method for articles, characterized in that the articles are drained by blowing air fromThe
[0028]
In this way, the article is automatically carried by being placed on the conveyor belt portion having a net-like structure, and air is vertically inclined with respect to the article by the upper main nozzle and the lower main nozzle when the article is automatically conveyed. If the product is drained by blowing air from the upper main nozzle and / or the lower main nozzle installed at an inclination with respect to the product, water and chemicals attached to the product can be quickly removed. The article can be sufficiently dropped and the articles can be drained effectively.
[0029]
  At this time, by installing the upper main nozzle and / or the lower main nozzle having the jet nozzle inclined with respect to the conveying surface of the conveying belt portion, air is blown from the upper and lower inclined directions to the article. Is preferredYes.
[0030]
In the automatic conveying draining method of the present invention, air is easily supplied to the article by installing the upper main nozzle and / or the lower main nozzle having the jet nozzles inclined with respect to the conveying surface of the conveying belt portion in this way. It is possible to spray from the up and down inclination direction.
[0031]
  Further, it is preferable that air is blown by the upper main nozzle and the lower main nozzle while allowing the article to pass through an inclined portion and / or a step portion formed on the conveyance belt portion.Yes.
[0032]
In the present invention, the air can be easily blown to the article by blowing air with the upper main nozzle and the lower main nozzle while passing the article through the inclined portion and / or the stepped portion formed on the conveying belt portion in this way. It can spray from the up-and-down inclination direction.
[0033]
  Furthermore, it is preferable to control the inclination direction of the air blown against the article and / or the pressure distribution of the air so that the air blown onto the article flows in one direction.Yes.
  In this way, by controlling the inclination direction of the air blown against the article and / or the pressure distribution of the air, the air flow can be made to flow in one direction without forming a turbulent flow state. Since it can control, draining of articles | goods can be performed more effectively.
[0034]
  Further, in the automatic conveying draining method of the present invention, when conveying the article, the article is held by using the upper net mechanism from above and the conveying speed of the upper net mechanism and the conveying belt portion is synchronized. Is preferred to carryYes.
[0035]
By holding the article from above using the upper net mechanism and conveying the article by synchronizing the conveyance speed between the upper net mechanism and the conveyor belt portion, a dedicated jig such as a basket or rack is not used. In addition, the article can be prevented from falling and scattering, and draining can be performed while the article is stably and automatically conveyed. Furthermore, if the upper net mechanism is used in this way, the articles can be transported continuously and drained, so that the processing time can be shortened and the throughput can be remarkably improved, resulting in a significant increase in throughput. It becomes possible to plan.
[0036]
  Then, according to the present invention, using the method for automatically draining articles according to the present invention, at least the washing process is performed while automatically transporting the articles, and then draining is performed. There is provided an automatic cleaning method for an article, characterized in that a drying process is performed on the article later.The
[0037]
With such an automatic cleaning method for articles according to the present invention, the articles that have been subjected to the cleaning process can be drained effectively, and therefore, when the article is subsequently subjected to a drying process, drying unevenness does not occur. In addition, since the article can be efficiently dried in a short time, the throughput of the cleaning and drying process can be improved.
[0038]
  At this time, the article to be automatically cleaned can be a wafer carrier box.The
  As described above, the automatic cleaning method for articles according to the present invention can be particularly preferably used when cleaning a carrier box of a wafer, thereby efficiently cleaning and drying the carrier box at a high throughput. Can do.
[0039]
  In this case, it is preferable to perform the drying process by CDA blow or air knife.Yes.
  Thus, by performing the drying process by CDA blow or air knife, the drying process can be performed efficiently and while maintaining high cleanliness while conveying an article such as a carrier box of a wafer.
[0040]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, although an embodiment is described about the present invention, the present invention is not limited to these.
The inventor has conducted extensive experiments and studies on a draining device that can effectively drain the droplets of the treatment solution adhering to the article that has been subjected to the cleaning process in the cleaning and drying process of the article. As a result, at least a conveying belt unit for placing and conveying the article, a belt driving unit for driving the conveying belt part, an upper main nozzle and a lower side for blowing water by blowing air from above and below the article A main nozzle, and the conveyor belt portion has a net-like structure, and the upper main nozzle and the lower main nozzle blow air on the article from an inclined direction and / or the article. If it is an automatic conveying drainer for an article that is installed at an inclination, it adheres to the article by blowing air against the article with the upper main nozzle and the lower main nozzle while automatically conveying the article. The present invention has been completed by finding that the water and chemicals used can be quickly and sufficiently dropped to effectively drain the article.
[0041]
First, although the automatic conveyance draining apparatus of the article | item concerning this invention is demonstrated referring drawings, this invention is not limited to these at all. FIG. 1 is a schematic explanatory view showing an example of an automatic conveyance draining apparatus for articles according to the present invention.
As shown in FIG. 1, the automatic conveyance draining apparatus 1 of the present invention includes at least a conveyance belt unit 2 that carries and conveys an article 20, a belt drive unit 3 that drives the conveyance belt unit 2, and an article 20. And an upper main nozzle 14 and a lower main nozzle 15 that drain water by blowing air 23 from above and below. In FIG. 1, it is assumed that the article 20 has an open end at least one surface (lower surface) like a carrier box of a wafer.
[0042]
The conveyor belt portion 2 has a net-like structure, and can be easily configured by using an O-ring belt 4 as shown in FIG. If the conveyor belt portion 2 is configured by the O-ring belt 4 as described above, the article 20 can be stably placed and conveyed on the conveyor belt portion 2, and the lower main nozzle The air can be sufficiently blown without being prevented from being blown from the lower side of the article 20 by 15. In addition, as this O-ring belt 4, the rubber-made thing which has elasticity, for example can be used.
[0043]
As shown in FIGS. 2A and 2B, the belt drive unit 3 is attached to a drive shaft 5 that drives the conveyor belt unit 2, and is attached to both ends of the drive shaft 5 via a gear 7 in a chain box 6. A drive chain 8; a motor 9 that provides rotational power to the drive shaft 5 via the drive chain 8; and a control device 10 that controls the rotational speed of the motor 9 to control the transport speed of the transport belt unit 2. Is.
[0044]
In this belt drive unit 3, the drive chain 8 and the motor 9 are connected via a transmission gear box 11, so that the conveyance speed of the conveyance belt unit can be controlled easily and smoothly. Yes. Further, the drive shaft 5 and the drive chain 8 as described above are made of vinyl chloride resin such as reinforced plastic or clean PVC, thereby preventing dust generation problems and metal contamination of articles. At this time, the width W of the drive shaft 5 and the size of the distance D1 between the drive shafts 5 may be adjusted in consideration of the size and shape of the article to be conveyed, and are not particularly limited.
[0045]
In such a belt drive part 3, each drive shaft 5 is hold | maintained by the hollow bearing 13 currently supported by the support body 12 within the chain box 6, as shown in FIG.2 (b). As the hollow bearing 13, for example, one having a structure of rolling contact as shown in FIG. 3 can be used, and the drive shaft 5 can be held rotatably. Further, a slip-off prevention guide 18 is disposed outside the hollow bearing 13 so as to sandwich the gear 7 and the drive chain 8. Further, it is preferable to form protrusions and grooves for preventing the deviation of the O-ring belt 4 on the surface of the drive shaft 5.
[0046]
In addition, the upper main nozzle 14 and the lower main nozzle 15 each have several jet nozzles for jetting air, jet air sent from an air supply device (not shown) from the jet nozzle, The air 23 can be blown from above and below the article 20 that has been conveyed.
[0047]
And the automatic conveyance draining device 1 of this invention blows air from the inclination direction with respect to the articles | goods 20 in which these upper main nozzles 14 and lower main nozzles 15 are mounted on the conveyance belt part 2 and conveyed. It is. Here, as an example of the installation state of the upper main nozzle and the lower main nozzle, FIG. 4A shows a schematic cross-sectional view taken along (A)-(A ′) in FIG. 1. As shown in FIG. 4A, for example, the upper main nozzle 14 and the lower main nozzle 15 are installed so as to be inclined with respect to the conveying surface of the conveying belt unit 2, so that an article on the conveying surface is obtained. Thus, it is possible to provide an automatic transport drainer that can blow air from 20 in an inclined direction. In FIG. 4, the direction and length of the arrows extending from the upper and lower main nozzles toward the article are the directions of air injected from the upper main nozzle 14 and the lower main nozzle 15 to the article 20. And showing strength.
[0048]
At this time, the upper main nozzle 14 and the lower main nozzle 15 are preferably installed so that the inclination angle θ with respect to the transport surface is 2 ° or more, particularly about 3 ° to 5 °. If the upper main nozzle 14 and the lower main nozzle 15 are installed so as to have such an inclination angle, each main nozzle can be easily installed, and air can be easily blown from the inclination direction to the article 20. It can be carried out.
[0049]
The direction in which the upper main nozzle 14 and the lower main nozzle 15 are inclined is not particularly limited. As shown in FIG. 4A, both the upper main nozzle 14 and the lower main nozzle 15 are transported. The lower main nozzle 14 and the lower main nozzle 14 may be installed so as to be inclined downwardly to the right (or both to the left downward), as shown in FIG. 4B. You may install so that the direction which inclines 15 may become a direction opposite to each other (lower right and lower left).
[0050]
Moreover, in the automatic conveyance draining device of the present invention, the upper main nozzle 14 and / or the lower main nozzle 15 are limited to those in which the air blown against the article is jetted vertically from the nozzle as shown in FIG. Instead of the above, it is possible to have an inclined outlet that inclines and injects air. For example, the upper main nozzle 14 and the lower main nozzle 15 installed to be inclined with respect to the article are assumed to have the inclined outlets as shown in FIG. 5, and injection is performed from the upper main nozzle 14 and the lower main nozzle 15. The direction of the air to be generated can be a vertical direction.
[0051]
Furthermore, as shown in FIG. 1, the automatic transport drainer of the present invention is provided with an upper net mechanism 17 that holds the article from above and conveys the article in synchronization with the conveyance speed of the conveyance belt portion. Is preferred. The configuration of the upper net mechanism 17 is not particularly limited. For example, a presser net part that has a net-like structure and presses an article from above, and presser net drive chains attached to both ends of the presser net part, And a presser net drive gear for driving the presser net drive chain. Since such an upper net mechanism 17 is installed in the automatic conveyance draining device 1, when the air is blown while the article is being transported, the blowing of air from above is not hindered, as in the conventional case. It is possible to prevent the article from falling or scattering by pressing the article from above without using a special jig such as a basket or rack, and it is also possible to carry the article continuously and stably automatically. .
[0052]
Then, the automatic conveyance draining method of the articles | goods of this invention is demonstrated in detail, referring the automatic conveyance draining apparatus 1 of the articles | goods shown in FIG. 1, the upper main nozzle 14 and the lower main nozzle 15 are inclined with respect to the conveying surface of the conveying belt portion 2 as shown in FIG. 4A. Installed.
[0053]
The automatic conveying draining method for an article of the present invention is shown in FIG. 4A when the article 20 is automatically conveyed by being placed on the conveyor belt portion 2 having a net-like structure and the article 20 is automatically conveyed. By blowing air from the upper and lower inclined directions to the article 20 by the upper main nozzle 14 and the lower main nozzle 15 installed so as to be inclined with respect to the article on the conveying surface of the conveying belt portion 2 as described above. Draining can be performed. By thus draining water while automatically transporting the article 20, the air flow 21 sprayed on the article is controlled so as to be in one direction on the upper surface and inside of the article 20 without forming a turbulent state. Therefore, it is possible to drain the article very effectively by quickly and sufficiently dropping the water, the chemical solution, or the like adhering to the article 20. In this case, since the nozzles are inclined with respect to the article, for example, in the case of the lower main nozzle in FIG. 4A, the left nozzle outlet is close to the article and the right side is away. Therefore, even if air is blown onto the article with a uniform pressure and flow rate, the air flow with respect to the article flows in one direction 21 on the right as a whole and does not become turbulent. Therefore, it is possible to drain the article efficiently.
[0054]
In the automatic conveyance draining method of the present invention, the air 23 is blown from the upper and lower main nozzles 14 and the lower main nozzle 15 to the article 20 from the upper and lower inclination directions and / or the article 20 is automatically conveyed. If the air can be blown from the upper main nozzle 14 and / or the lower main nozzle 15 installed so as to be inclined, the articles can be drained very effectively. Therefore, for example, as shown in FIG. 4B, the upper main nozzle 14 and the lower main nozzle 15 are installed to be inclined with respect to the article 20 so as to be opposite to each other. The air can be controlled so that the air flow 21 blown to the article is unidirectional on the upper surface and inside of the article 20 by blowing air from the inclined direction of the article. Can be done effectively.
[0055]
Further, for example, as shown in FIG. 5, if the upper main nozzle 14 and the lower main nozzle 15 having inclined nozzles are installed to be inclined with respect to the article 20, these upper main nozzles. 14 and the lower main nozzle 15 can blow the air to the article 20 so that the air flow 21 blown to the article 20 can be in one direction as described above. Can be done very effectively.
[0056]
Furthermore, since the upper net mechanism 17 is installed in the automatic conveyance draining apparatus 1 of the present invention as described above, the article 20 placed on the conveyance belt unit 2 is pressed from above using the upper net mechanism 17. By automatically conveying the article 20 with the conveyance speeds of the upper net mechanism 17 and the conveying belt unit 2 being synchronized, the article has various shapes or is completely different in type. However, without using a dedicated jig such as a basket or a rack, the article can be prevented from dropping or scattering, and draining can be performed while the article is stably and automatically conveyed. Furthermore, if the upper net mechanism is used in this manner, articles can be continuously conveyed and drained, so that the processing time can be shortened and the throughput can be remarkably improved, resulting in a significant increase in throughput. Can be achieved.
[0057]
Next, as another form of the automatic conveyance draining apparatus of the present invention, an automatic conveyance draining apparatus in which an inclined portion is formed on the conveyance belt portion will be described in detail with reference to FIGS. 6 and 7. FIGS. 6 and 7 are schematic configuration diagrams that are simply illustrated in order to facilitate understanding of the configuration of the automatic conveyance draining apparatus of the present invention, and in order to facilitate understanding of the inclination of the drive shaft and the like. , Intentionally partially changing the viewpoint.
[0058]
The automatic conveyance draining device 31 of the article shown in FIG. 6 includes at least a conveyance belt section 32 that places and conveys the article 20, a belt drive section 33 that drives the conveyance belt section 32, and the article 20 in the upward direction and An upper main nozzle 14 and a lower main nozzle 15 that drain water by blowing air from below are provided. Note that the article 20 shown in FIG. 6 has at least one surface (lower surface) as an open end as in FIG.
[0059]
In such an automatic conveyance draining apparatus 31 for articles, the conveyance belt portion 32 has a net-like structure, and is easily configured by using an O-ring belt 4 as shown in FIG. be able to.
[0060]
Further, as shown in FIGS. 7A and 7B, the belt drive unit 33 includes a drive shaft 5 that drives the conveyance belt unit 32, and a drive shaft 5, similar to the belt drive unit 3 shown in FIG. 2. A drive chain 8 attached to both ends of the chain box 6 via a gear 7, a motor 9 for giving rotational power to the drive shaft 5 via the drive chain 8, and a conveyor belt portion by controlling the rotational speed of the motor 9 32 and a control device 10 for controlling the conveying speed of 32, and a transmission gear box 11 is installed between the drive chain 8 and the motor 9.
[0061]
7 (b), each drive shaft 5 is inclined at an inclination angle θ, that is, one end of the drive shaft is connected to the other end as shown in FIG. By holding the drive shaft 5 so as to be higher than the height, an inclined portion is formed so that the entire conveying surface is inclined to one side with respect to the conveying direction of the conveying belt portion. At this time, the inclination angle θ of the inclined portion is preferably 2 ° or more, particularly about 3 ° to 5 °. Since the inclined portion is formed on the conveying belt portion 32 at such an inclination angle, the article can be stably conveyed while being inclined, and is attached to the article when the article is passed through the inclined portion. Water droplets can be made very easy to drop using the weight of the water droplets.
[0062]
Here, in (a) to (i) of FIG. 9, schematic sectional views in (B)-(B ′) when the upper main nozzle 14 and the lower main nozzle 15 are installed in various directions in FIG. 6. Show.
As described above, in the automatic conveyance draining device 31 of this aspect, since the inclined portion that inclines the direction of the article 20 is formed in the conveyance belt portion 32, for example, as illustrated in FIG. 9A, the conveyance belt portion Article 20 on 32 can be tilted with respect to the nozzle. Therefore, the automatic transport drainer 31 is installed such that the upper main nozzle 14 and the lower main nozzle 15 are inclined with respect to the article 20 conveyed by the conveyor belt portion 32, and are inclined with respect to the article 20. Air can be blown from the direction.
[0063]
Furthermore, the automatic conveying drainer 31 of the present invention can be installed in a state where the upper main nozzle and / or the lower main nozzle are inclined so as to be lowered to the right or to the left with respect to the conveying direction. As shown in 9 (b) to (i), the upper main nozzle and / or the lower main nozzle may be installed so as to be inclined downward or downward to the left with respect to the transport direction.
[0064]
At this time, it is preferable that the upper main nozzle 14 and the lower main nozzle 15 are installed so that the air blown to the article 20 flows in one direction. For example, as shown in (a), (c), (g), and (i) of FIG. 9, the upper main nozzle 14 and the lower main nozzle 15 are installed. Alternatively, the flow of air blown to the article can be controlled to flow in one direction by adjusting the installation position and the number of installation of the lower main nozzle 15.
[0065]
Further, in the present invention, an air pressure adjusting means for controlling the pressure distribution of the air blown to the article by adjusting the pressure of the air injected from each outlet is installed in the upper main nozzle 14 and / or the lower main nozzle 15. can do. For example, when the upper main nozzle and the lower main nozzle are installed as shown in FIG. 9B, the air pressure adjustment composed of, for example, a pressure gauge and a valve is provided at each outlet of the lower main nozzle 15 as shown in FIG. Means 22 can be provided, and the pressure distribution of the air blown to the article can be controlled by adjusting the valve while measuring the pressure of the air injected from each outlet of the lower main nozzle 15 with a pressure gauge. The air flow can be controlled so that the air blown onto the article flows in one direction.
[0066]
Moreover, in the automatic conveyance draining device 31 having the inclined portion inclined on one side in this way, as shown in FIG. 7, when the article is passed (conveyed) to the inclined portion, the article is prevented from slipping off from the conveying belt portion. Therefore, it is preferable that the slip-off preventing means 34 is installed on the conveyor belt portion 32. The slip-off prevention means 34 can be fixed to the outer wall of the chain box 6 with bolts or the like. If the material is made of, for example, stainless steel coated with fluororesin, the contamination of the metal etc. can be prevented and the conveyed article can be prevented. Since it is a slippery surface even if it comes into contact, there is no frictional catch and smooth transport is possible.
[0067]
Furthermore, it is preferable that the automatic transport drainer 32 is provided with an upper net mechanism 17 as shown in FIG. For example, by installing the upper net mechanism in an inclined manner in accordance with the inclination angle θ of the conveying belt portion inclined on one side, the conveyance of articles is very stable without using a dedicated jig such as a basket or a rack. Can be done.
[0068]
Next, an automatic conveyance draining method for draining an article using the article automatic conveyance draining apparatus 31 shown in FIG. 6 will be described.
In the method of draining an article using the automatic conveyance draining device 31, the article 20 is placed on the conveyance belt portion 32 having a net-like structure, and is passed through the inclined portion on one side formed in the conveyance belt portion 32. The article 20 can be drained by blowing air with the upper main nozzle 14 and the lower main nozzle 15 while inclining the direction. If the article is drained in this way, the draining of the article can be promoted by blowing air to the article arranged in an inclined manner, and the article 20 can be removed from the water droplets adhering to the article 20 by utilizing the weight of the water drop itself. Since it can be made easy to drop toward the direction in which the product is inclined, it is possible to drain the article very effectively.
[0069]
At this time, the air blown to the article 20 from the upper main nozzle 14 and the lower main nozzle 15 flows in one direction, and the inclination direction of the air blown to the article from the upper and lower main nozzles and / or the pressure distribution of the air. Is preferably controlled. For example, as described above, the upper main nozzle 14 and the lower main nozzle 15 are installed as shown in FIGS. 9A, 9C, 9G, and 9I, and FIG. As shown, by controlling the pressure distribution of the air blown onto the article using the air pressure adjusting means 22, the air flow 21 blown onto the article does not form a turbulent flow state, and is uniform on the upper surface and inside of the article 20. It can be controlled to be in the direction. Thus, the effect of draining the article 20 can be further enhanced by controlling the air flow so that the air blown onto the article flows in one direction. In particular, as shown in FIG. 10, the air inclination direction and / or the air pressure distribution is controlled so that the direction in which the air blown onto the article flows is the same direction as the direction in which the water drops fall by its own weight. Therefore, draining can be performed extremely effectively.
[0070]
In the article automatic conveyance device 31 shown in FIG. 6, a one-side inclination that inclines the entire conveyance surface to one side with respect to the conveyance direction of the conveyance belt section is formed as an inclined section that inclines the direction of the article on the conveyance belt section 32. However, the inclined portion formed in the conveyor belt portion in the present invention is not limited to the one-side inclined as described above.
[0071]
In addition to the one-side inclination described above, the inclined portion formed on the conveying belt unit may be an alternate inclination in which the conveying surface is alternately inclined to the left and right with respect to the conveying direction of the conveying belt unit, or an article toward the conveying direction of the conveying belt unit. The inclined portion can be formed so as to be an ascending / descending inclination that rises or descends, or a combination of these one-side inclination, alternate inclination, and elevating inclination.
[0072]
For example, in the case of forming alternately inclined portions on the conveyor belt portion, one end of one drive shaft is connected to the conveyor surface so that the configuration of the conveyor belt portion 32 and the belt drive portion 33 is simply shown in FIG. The other end of the drive shaft is made higher than the conveying surface so that the second stage slope is opposite to the direction of the first stage slope. So as to hold and form. Then, by alternately and repeatedly forming the first-stage inclination and the second-stage inclination, it is possible to form an inclined portion having an alternate inclination that alternately inclines the conveyance surface on the left and right sides in the conveyance belt portion. In FIG. 11, one end of the drive shaft indicated by a dotted line indicates the end surface of the inclined drive shaft on the back side of the paper surface.
[0073]
Then, the article is drained by blowing air from the upper and lower inclined directions to the article by the upper main nozzle and the lower main nozzle while the article is passed through the alternately inclined portions and the direction of the article is inclined. By this, it is possible to facilitate the draining of the article and to easily drop the water droplets adhering to the article in the inclination direction of the article, as in the case where the article is passed through the inclined portion with one side inclined. It is possible to drain the article very effectively.
[0074]
Further, for example, by holding the drive shaft of the belt drive unit 33 at a different height as shown in FIG. 12, an inclined part of an up-and-down inclination for lowering (or raising) the article is formed on the conveyor belt part 32. In this case, the article can be drained by blowing air from the upper and lower inclined directions to the article by the upper main nozzle and the lower main nozzle while the article is placed on the conveyor belt and conveyed. Draining can be performed very effectively.
[0075]
Next, as another embodiment of the automatic conveyance draining apparatus of the present invention, an automatic conveyance draining apparatus in which a step portion is formed in the conveyance belt portion will be described in detail with reference to FIG.
The automatic conveyance draining device 41 of the article shown in FIG. 13A includes at least a conveyance belt section 42 that places and conveys the article 20, a belt drive unit 43 that drives the conveyance belt section 42, and the article 20. An upper main nozzle 44 and a lower main nozzle 45 that drain water by blowing air from above and below are provided.
[0076]
In such an automatic conveyance draining device 41 for articles, the conveyance belt unit 42 and the belt driving unit 43 have the same configuration as the conveyance belt unit 2 and the belt driving unit 3 shown in FIG. Further, a stepped portion 46 for tilting the direction of the article 20 is formed in the transport belt portion 42. Such a stepped portion 46 can be easily formed by changing the height of the drive shaft, for example, by adjusting the length of the support in the chain box. At this time, the inclination angle θ of the stepped portion 46 is preferably 2 ° or more, particularly about 3 ° to 5 °.
[0077]
As described above, since the step portion is formed in the conveying belt portion 42 of the automatic conveying drainer 41, the article 20 conveyed by the conveying belt portion 42 can be inclined with respect to the nozzle, and therefore the upper main nozzle 44 In addition, the lower main nozzle 45 may be installed to be inclined with respect to the article.
[0078]
In this automatic transport drainer 41, the lower main nozzle 45 is a composite nozzle in which a slit hole 47 and array holes 48a, 48b, 48c as shown in FIG. It has become. In addition, the shape of the jet nozzle in the lower main nozzle 45 and the upper main nozzle 44 is not particularly limited, and an appropriate jet port shape can be selected according to the shape of the article.
[0079]
Here, a specific configuration of the lower main nozzle 45 is shown in FIG.
As shown in FIG. 14, in the lower main nozzle 45, air is supplied from the air supply device 49 to each of the slit hole 47 and the array holes 48a to 48c formed at the tip, and the air is supplied from the respective outlets to the article. It can be injected toward At this time, an air pressure adjusting means including a valve 50, a pressure gauge 51, a flow meter 52, a filter 53, and the like is installed between the air supply device 49 and the slit hole 47 and the array holes 48a to 48c. The pressure of the air supplied from the air supply device 49 to the slit hole 47 and the array holes 48a to 48c is measured by the pressure gauge 51, and the flow rate of the air is measured by the flow meter 52. By adjusting the supply amount, air can be blown from the respective outlets to the article at an appropriate pressure and flow rate.
[0080]
In such a lower main nozzle 45, the slit hole 47 has a jet nozzle inclined with respect to the conveying surface of the conveying belt portion 42 as shown in FIGS. 13 and 14, and has been conveyed. It is preferable that the slit width is adjusted so that air is widely blown to the middle part of the inner upper surface of the article 20. For the array holes 48a to 48c, for example, the array holes 48a and 48c blow air to the corners of the inner upper surface of the article 20, and the array holes 48b blow air to the middle of the inner upper face of the article 20. It is preferable that it is inclined.
[0081]
On the other hand, the upper main nozzle 44 has a slit hole 47 or an array hole 48 as shown in FIG. At this time, the upper main nozzle 44 may have a jet nozzle that is inclined with respect to the conveying surface of the conveying belt portion.
[0082]
When the article 20 is drained using the automatic conveyance draining device 41 in which the step portion 46 is formed on the conveyance belt portion 42, the article 20 has a net-like structure as shown in FIG. Air 23 is blown to the article 20 from the upper main nozzle 44 and the lower main nozzle 45 which are installed to be inclined with respect to the article while being automatically conveyed by the conveying belt part 42 and passed through the step part 46. Can be drained.
[0083]
By draining in this manner, draining of the article 20 can be promoted, and the water droplet 19 attached to the article 20 is made to move toward the direction in which the article 20 is inclined by utilizing the weight of the water drop. The air flow can be controlled so that the air blown to the article by the upper main nozzle 44 and the lower main nozzle 45 flows in one direction without forming a turbulent flow state. . Therefore, by using such an automatic conveyance draining device 41 for an article, the article 20 can be drained very effectively, particularly by adhering to the upper surface of the article and the front and rear surfaces facing the traveling direction. Water droplets attached to the inner wall upper surface of the article, the inner wall front surface, the inner wall front surface, and the inner wall rear surface can be drained very effectively.
[0084]
In addition, such an automatic transport drainer 41 can be provided with an upper net mechanism as shown in FIG. 1, thereby preventing the articles from falling and scattering, thereby continuously stabilizing the articles. Can be automatically conveyed.
[0085]
Furthermore, in the present invention, the automatic conveyance draining device 41 shown in FIG. 1 is combined with the automatic conveyance draining device 1 shown in FIG. 1, the automatic conveyance draining device 31 shown in FIG. By draining, the entire article can be drained very effectively.
[0086]
And in this invention, the automatic cleaning apparatus of the articles | goods which comprise the automatic conveyance draining apparatus of the said invention can be provided.
Hereinafter, an automatic cleaning apparatus for articles according to the present invention will be described with reference to the drawings, but the present invention is not limited to these. FIG. 15 is a schematic explanatory view showing an example of an automatic cleaning apparatus for articles according to the present invention.
[0087]
The automatic cleaning device for articles according to the present invention performs, for example, pre-cleaning, chemical cleaning, rinsing and the like while automatically transporting the articles 20, and then at least the above-described book is applied to the articles 20 subjected to the cleaning processes. Using the automatic conveying drainer of the invention, for example, the automatic conveying drainer 1 shown in FIG. 1, the upper and lower main nozzles 14 and the lower main nozzle 15 that are installed to be inclined with respect to the article 20 are vertically inclined to the article 20. Then, the water is drained by blowing air, and then, for example, a drying process using an air knife or CDA blow is performed.
[0088]
In this way, by performing draining on the cleaned article using the automatic conveyance draining apparatus of the present invention, it is possible to drain the water adhered to the article sufficiently effectively by draining water. it can. Therefore, when performing a drying process with an air knife or the like thereafter, the drying time can be greatly shortened to significantly improve the throughput as compared with the conventional one, and the article can be uniformly dried without causing uneven drying. You can also.
[0089]
Furthermore, in the present invention, when draining an article, it is possible to dry the article at the same time by adjusting the flow rate and temperature of air blown on the article, or by increasing the time for blowing air on the article. Thus, the subsequent drying process can be omitted, and the processing time can be greatly shortened.
[0090]
Such an automatic cleaning method of the present invention can be particularly suitably used when cleaning the carrier box that holds and stores the wafer as described above. By performing the cleaning of the carrier box of the wafer by the automatic cleaning method of the present invention, the cleaning process and the drying process of the carrier box can be efficiently performed at a very high throughput.
[0091]
【Example】
EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example are shown and this invention is demonstrated more concretely, this invention is not limited to these.
(Example 1)
As Example 1, first, a carrier box capable of storing a silicon wafer having a diameter of 200 mm was subjected to pre-cleaning, chemical cleaning, and rinsing cleaning, and then cleaned using the automatic conveyance draining device 1 shown in FIG. While the processed carrier box is placed on the conveyor belt unit 2 and automatically conveyed, the upper main nozzle 14 and the lower main nozzle 15 spray CDA on the article 20 from the up and down inclination direction to drain water. Went. At this time, the upper main nozzle 14 and the lower main nozzle 15 of the automatic transport water draining apparatus 1 have an inclination angle θ of 5 ° with respect to the transport surface of the transport belt portion 2 as shown in FIG. It is installed at an angle.
[0092]
In order to confirm the effect of draining by the automatic transport drainer 1, the weight of the carrier box before the cleaning process is obtained in advance, and the weight of the carrier box to which water droplets adhere immediately after the cleaning process and the automatic transport drainer By measuring the weight of the carrier box drained by the apparatus 1 and calculating the difference from the weight of the carrier box before the cleaning treatment, the amount of water droplets adhering to the carrier box at each stage was obtained. .
As a result, it was found that the amount of water droplets adhering to the carrier box immediately after the cleaning treatment was approximately 68 g, and the amount of water droplets after draining by the automatic transport drainer 1 was approximately 49 g.
[0093]
(Example 2)
As Example 2, the carrier box was first subjected to pre-cleaning, chemical cleaning, and rinsing cleaning processing as in Example 1 above, and then cleaned using the automatic conveyance draining device 31 shown in FIG. While the carrier box is placed on the conveyor belt 32 and automatically conveyed, the upper main nozzle 14 and the lower main nozzle 15 spray CDA on the article 20 from above and below to drain water. It was. At this time, the inclined part of the one side inclination formed in the conveyance belt part 32 of the automatic conveyance draining device 31 of the article is formed so that the inclination angle θ is 5 °, and the upper main nozzle 14 and the lower side The main nozzle 15 is installed as shown in FIG. Further, the pressure and flow rate of the CDA sprayed on the article from the upper main nozzle and the lower main nozzle were set to the same conditions as in Example 1.
[0094]
In order to confirm the effect of draining by the automatic transport drainer 31, the weight of the carrier box before the cleaning process is obtained in advance as in the first embodiment, and the carrier with water droplets immediately after the cleaning process is attached. By measuring the weight of the box and the weight of the carrier box drained by the automatic transport drainer 31, the amount of water droplets adhering to the carrier box at each stage was determined.
As a result, it was found that the amount of water droplets adhering to the carrier box after the cleaning treatment was about 68 g, and the amount of water droplets after draining by the automatic transport drainer 1 was about 38 g.
[0095]
(Comparative example)
As a comparative example, the carrier box was first subjected to pre-cleaning, chemical cleaning, and rinsing treatment, and then the carrier box was drained by CDA blow in which the CDA was blown perpendicularly to the article from above and below while conveying the article. . At this time, the pressure and flow rate of CDA sprayed on the article were set to the same conditions as in Examples 1 and 2.
[0096]
In order to confirm the effect of draining by CDA blow from the vertical direction, the weight of the carrier box before the cleaning process is obtained in advance, and the weight of the carrier box to which water droplets adhere after the cleaning process, and the CDA blow The amount of water droplets adhering to the carrier box at each stage was determined by measuring the weight of the carrier box immediately after.
[0097]
As a result, it was found that the amount of water droplets adhering to the carrier box after the cleaning treatment was about 68 g, and the amount of water droplets immediately after CDA blowing was 58 g. As described above, it was found that the draining effect of the carrier box by CDA blow was very low as compared with Example 1 and Example 2.
[0098]
The present invention is not limited to the above embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, and the present invention has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention, and any device that exhibits the same function and effect is the present invention. It is included in the technical scope of the invention.
[0099]
For example, in the above, the case where the main nozzle is arranged as the nozzle arranged above and below is illustrated, but in addition to this, a plurality of auxiliary nozzles may be installed.
[0100]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, air is blown from the upper and lower inclination directions to the article by the upper main nozzle and the lower main nozzle while automatically conveying the article and / or is inclined with respect to the article. By blowing air from the installed upper main nozzle and / or lower main nozzle, water drops attached to the article can be sufficiently dropped to drain the article effectively. Further, according to the automatic cleaning method for an article of the present invention, the article subjected to the cleaning process can be drained effectively, so that the drying process of the article can be efficiently performed in a short time.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram illustrating an example of an automatic conveyance draining apparatus for articles according to the present invention.
FIGS. 2A and 2B are schematic configuration diagrams illustrating configurations of a conveyance belt unit and a belt driving unit. FIGS.
FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing a configuration of a hollow bearing.
4A and 4B are schematic cross-sectional views illustrating an example of an installation state of an upper main nozzle and a lower main nozzle.
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing an example of an installation state of an upper main nozzle and a lower main nozzle having inclined nozzles.
FIG. 6 is a schematic diagram showing another example of the automatic conveyance draining apparatus for articles according to the present invention.
7A and 7B are schematic configuration diagrams illustrating configurations of a conveyance belt unit and a belt driving unit.
FIG. 8 is a schematic configuration diagram illustrating an example of an inclined portion formed in a conveyance belt portion.
FIGS. 9A to 9I are schematic cross-sectional views illustrating an example of an installation state of an upper main nozzle and a lower main nozzle when an article is inclined.
FIG. 10 is a schematic cross-sectional view showing an example of an installation state of an upper main nozzle and a lower main nozzle when air pressure adjusting means is provided.
FIG. 11 is a schematic explanatory view simply showing an example of the configuration of the conveyor belt unit and the belt driving unit when alternately inclined portions are formed on the conveyor belt unit.
FIG. 12 is a schematic explanatory diagram simply showing an example of the configuration of the conveyor belt unit and the belt driving unit when forming an inclined portion having an up-and-down inclination in the conveyor belt unit.
13A is a schematic configuration diagram showing an example of an automatic conveyance draining device for articles according to the present invention in which a step portion is formed in the conveyance belt portion, and FIG. 13B is a jet outlet of an upper main nozzle. FIG. 2C is a schematic configuration diagram illustrating a jet port of the lower main nozzle.
14A is a schematic cross-sectional view of a lower main nozzle, and FIG. 14B is a perspective view of the lower main nozzle.
FIG. 15 is a schematic configuration diagram illustrating an example of an automatic cleaning apparatus for articles according to the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Automatic conveyance draining device of articles, 2 ... Conveyance belt part,
3 ... belt drive unit, 4 ... O-ring belt,
5 ... drive shaft 6 ... chain box 7 ... gear
8 ... Drive chain, 9 ... Motor, 10 ... Control device,
11 ... transmission gearbox, 12 ... support,
13 ... Hollow bearing, 14 ... Upper main nozzle,
15 ... Lower main nozzle, 17 ... Upper net mechanism,
18 ... Grip prevention guide, 19 ... Water drops,
20 ... goods, 21 ... air flow,
22 ... Air pressure adjusting means, 23 ... Air,
31 ... Automatic conveying drainer for articles,
32 ... Conveying belt section, 33 ... Belt driving section,
34. Means for preventing slipping,
41 ... Automatic conveying drainer for articles,
42 ... Conveying belt part, 43 ... Belt driving part,
44 ... upper main nozzle, 45 ... lower main nozzle,
46 ... Step part 47 ... Slit hole,
48, 48a, 48b, 48c ... array holes,
49 ... Air supply device, 50 ... Valve, 51 ... Pressure gauge,
52 ... Flow meter, 53 ... Filter,
D1 ... Drive shaft spacing, W ... Drive shaft width.

Claims (18)

物品を自動的に搬送しながら水切りを行う物品の自動搬送水切り装置であって、少なくとも前記物品を載置して搬送する搬送ベルト部と、該搬送ベルト部を駆動させるベルト駆動部と、前記物品に上方向及び下方向から空気を吹き付けて水切りを行う上側主ノズル及び下側主ノズルとを具備し、該上側主ノズル及び下側主ノズルは空気を噴射する複数の噴出口を有し、前記搬送ベルト部は網状の構造を有するものであり、該搬送ベルト部は前記物品の向きを傾ける傾斜部が形成されており、該傾斜部が、前記搬送ベルト部の搬送方向に対して搬送面全体を片側に傾斜させる片側傾斜、搬送ベルト部の搬送方向に対して搬送面を左右交互に傾斜させる交互傾斜、またはそれらが組合わされた傾斜となるように形成されており、前記上側主ノズル若しくは下側主ノズルのいずれか一方、又は、上側主ノズル及び下側主ノズルの両方が前記物品に対して傾斜させて設置されることにより、前記複数の噴出口の各噴出口の物品からの距離が異なるものであることを特徴とする物品の自動搬送水切り装置。An automatic conveyance draining device for draining an article while automatically conveying the article, comprising at least a conveyance belt section for carrying and conveying the article, a belt driving unit for driving the conveyance belt section, and the article An upper main nozzle and a lower main nozzle for blowing water by blowing air from above and below, the upper main nozzle and the lower main nozzle having a plurality of jets for injecting air, The conveyor belt portion has a net-like structure, and the conveyor belt portion is formed with an inclined portion for inclining the direction of the article, and the inclined portion is the entire conveying surface with respect to the conveying direction of the conveyor belt portion. one side inclined to tilt to one side, is formed so as alternately inclined to tilt the transport surface alternately left and right with respect to the conveying direction of the conveyor belt section, or they become inclined that are combined, the upper main nozzle Alternatively, either one of the lower main nozzles, or both the upper main nozzle and the lower main nozzle are installed to be inclined with respect to the article, so that the plurality of jet outlets can be separated from the articles at the respective outlets. The automatic conveyance draining device for articles, characterized in that the distances of the articles are different. 前記上側主ノズル若しくは下側主ノズルのいずか一方、又は、上側主ノズル及び下側主ノズルの両方が、前記搬送ベルト部の搬送面に対して傾斜した噴出口を有するものであることを特徴とする請求項１に記載の物品の自動搬送水切り装置。  Either one of the upper main nozzle or the lower main nozzle, or both the upper main nozzle and the lower main nozzle have an outlet that is inclined with respect to the conveying surface of the conveying belt portion. The automatic conveyance draining apparatus for articles according to claim 1. 前記搬送ベルト部に、段差部が形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の物品の自動搬送水切り装置。The automatic conveyance draining device for articles according to claim 1 , wherein a step portion is formed in the conveyance belt portion. 前記搬送ベルト部に、前記搬送ベルト部の搬送方向に向かって物品を上昇または下降させるような昇降傾斜が形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り装置。 It said conveyor belt section, in any one of claims 1 to 3, characterized in that the lifting tilting swash such as to raise or lower the article toward the conveying direction of the conveyor belt portion is formed The automatic conveyance draining apparatus of the described article. 前記上側主ノズル若しくは下側主ノズルのいずか一方、又は、上側主ノズル及び下側主ノズルの両方の各噴出口から噴射される空気の圧力を調節して前記物品に吹き付ける空気の圧力分布を制御する空気圧力調整手段が設置されていることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り装置。  Pressure distribution of air blown onto the article by adjusting the pressure of air injected from either the upper main nozzle or the lower main nozzle, or the respective outlets of the upper main nozzle and the lower main nozzle The apparatus for automatically draining an article according to any one of claims 1 to 4, wherein an air pressure adjusting means for controlling the air pressure is installed. 前記搬送ベルト部が、Ｏ−リングベルトで構成されているものであることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り装置。  The automatic conveyance draining apparatus for articles according to any one of claims 1 to 5, wherein the conveyance belt portion is configured by an O-ring belt. 前記ベルト駆動部が、少なくとも、前記搬送ベルト部を駆動させる駆動シャフトと、該駆動シャフトの両端に取り付けられた駆動チェーンと、該駆動チェーンを介して前記駆動シャフトに回転を与えるモーターと、該モーターの回転速度を制御して前記搬送ベルト部の搬送速度を制御する制御装置とを具備することを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り装置。  The belt drive unit at least drives the transport belt unit, a drive chain attached to both ends of the drive shaft, a motor for rotating the drive shaft via the drive chain, and the motor The apparatus for automatically draining articles according to any one of claims 1 to 6, further comprising a control device that controls a rotation speed of the conveyor belt unit by controlling a rotation speed of the conveyor belt unit. 前記物品を上方から押さえるとともに、前記搬送ベルト部の搬送速度と同期させて物品を搬送する上部ネット機構を有することを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り装置。  The article according to any one of claims 1 to 7, further comprising an upper net mechanism that holds the article from above and conveys the article in synchronization with a conveyance speed of the conveyance belt unit. Automatic transport drainer. 前記搬送ベルト部に、前記搬送される物品の滑り落ちを防止するための滑り落ち防止手段が設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項８のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り装置。  The article according to any one of claims 1 to 8, wherein a slip-down preventing means for preventing the article to be conveyed from slipping is provided on the conveyor belt portion. Automatic transport drainer. 請求項１ないし請求項９のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り装置を具備する物品の自動洗浄装置。  An automatic cleaning device for articles comprising the automatic conveyance draining apparatus for articles according to any one of claims 1 to 9. 物品を自動的に搬送しながら水切りを行う物品の自動搬送水切り方法において、前記物品を網状の構造を有する搬送ベルト部に載置して自動的に搬送し、該物品の自動搬送時に、前記搬送ベルト部に形成した搬送方向に対して搬送面全体を片側に傾斜させる片側傾斜、搬送ベルト部の搬送方向に対して搬送面を左右交互に傾斜させる交互傾斜、またはそれらが組合わされた傾斜に通過させながら、空気を噴射する複数の噴出口の各噴出口の物品からの距離が異なるように物品に対して傾斜させて設置した上側主ノズル若しくは下側主ノズルのいずか一方、又は、上側主ノズル及び下側主ノズルの両方から空気を吹き付けることによって物品の水切りを行うことを特徴とする物品の自動搬送水切り方法。In automatic transport draining method of an article for performing draining while conveying the article automatically conveyed automatically to the article placed on the conveyor belt section having a structure of net, when automatic transfer of the article, the transport Passes through one-sided inclination that inclines the entire conveying surface to one side with respect to the conveying direction formed in the belt part, alternate inclination that alternately inclines the conveying surface left and right with respect to the conveying direction of the conveying belt part, or a combined inclination while, Izu or the other of the plurality of upper main nozzle or the lower main nozzle distance from the article of each ejection port is installed to be inclined with respect to the article to be different jets for injecting air, or the upper A method for automatically draining an article, wherein the article is drained by blowing air from both a main nozzle and a lower main nozzle. 前記搬送ベルト部の搬送面に対して傾斜した噴出口を有する前記上側主ノズル若しくは下側主ノズルのいずか一方、又は、上側主ノズル及び下側主ノズルの両方を設置することにより、前記物品に対して上下の傾斜方向から空気を吹き付けることを特徴とする請求項１１に記載の物品の自動搬送水切り方法。  By installing either the upper main nozzle or the lower main nozzle having a jet nozzle inclined with respect to the conveying surface of the conveying belt part, or by installing both the upper main nozzle and the lower main nozzle, The method for automatically draining an article according to claim 11, wherein air is blown on the article from an upward / downward tilt direction. 前記物品を搬送ベルト部に形成した段差部に通過させながら前記上側主ノズル及び下側主ノズルにより空気を吹き付けることを特徴とする請求項１１または請求項１２に記載の物品の自動搬送水切り方法。13. The automatic conveying draining method for an article according to claim 11 or 12, wherein air is blown by the upper main nozzle and the lower main nozzle while passing the article through a stepped portion formed on a conveying belt part. . 前記物品に吹き付けた空気が一方向に流れるように、物品に対して吹き付ける空気の傾斜方向及び空気の圧力分布のうち少なくとも一方を制御することを特徴とする請求項１１ないし請求項１３のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り方法。  14. At least one of an inclination direction of air blown against the article and an air pressure distribution is controlled so that the air blown onto the article flows in one direction. A method for automatically draining an article according to one item. 前記物品を搬送する際に、上部ネット機構を用いて物品を上方から押さえつつ、該上部ネット機構と前記搬送ベルト部との搬送速度を同期させて物品を搬送することを特徴とする請求項１１ないし請求項１４のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り方法。  12. When conveying the article, the article is conveyed by synchronizing the conveyance speed between the upper net mechanism and the conveyance belt portion while pressing the article from above using an upper net mechanism. The method for automatically draining an article according to any one of claims 14 to 14. 請求項１１ないし請求項１５のいずれか一項に記載の物品の自動搬送水切り方法を用いて、少なくとも、前記物品を自動的に搬送しながら洗浄処理を行った後に水切りを行い、該水切りと同時または該水切り後に前記物品に乾燥処理を行うことを特徴とする物品の自動洗浄方法。  A method for automatically draining an article according to any one of claims 11 to 15, wherein at least a washing process is performed while automatically conveying the article, and then draining is performed simultaneously with the draining. Or the automatic washing | cleaning method of the articles | goods characterized by performing the drying process to the said articles | goods after this draining. 前記自動洗浄を行う物品をウエーハのキャリアボックスとすることを特徴とする請求項１６に記載の物品の自動洗浄方法。  The article automatic cleaning method according to claim 16, wherein the article to be automatically washed is a wafer carrier box. 前記乾燥処理をＣＤＡブローまたはエアーナイフにより行うことを特徴とする請求項１６または請求項１７に記載の物品の自動洗浄方法。  The method for automatically washing an article according to claim 16 or 17, wherein the drying process is performed by CDA blow or an air knife.
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