JP2004203668A - Acid treatment equipment for plate - Google Patents
Acid treatment equipment for plate Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004203668A JP2004203668A JP2002374150A JP2002374150A JP2004203668A JP 2004203668 A JP2004203668 A JP 2004203668A JP 2002374150 A JP2002374150 A JP 2002374150A JP 2002374150 A JP2002374150 A JP 2002374150A JP 2004203668 A JP2004203668 A JP 2004203668A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acid treatment
- plate material
- treatment liquid
- acid
- roller
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010306 acid treatment Methods 0.000 title claims abstract description 303
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 116
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims abstract description 38
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 25
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 68
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 63
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 49
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 31
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 17
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 6
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 abstract description 89
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract description 22
- 239000011148 porous material Substances 0.000 abstract description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 29
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 6
- 230000009471 action Effects 0.000 description 4
- 239000011162 core material Substances 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000006063 cullet Substances 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 2
- HLLSOEKIMZEGFV-UHFFFAOYSA-N 4-(dibutylsulfamoyl)benzoic acid Chemical compound CCCCN(CCCC)S(=O)(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C=C1 HLLSOEKIMZEGFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000011143 downstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 235000014593 oils and fats Nutrition 0.000 description 1
- 239000005373 porous glass Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は板材の酸処理設備およびその酸処理装置に関する。さらに詳しくは、レアメタル、シリコン、平面型ディスプレー用ガラス等の板材の表面を酸によって処理するための板材の酸処理装置、および、この酸処理装置が用いられる板材の酸処理設備に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、種々の分野で板ガラスが使用されている。とくに液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等に用いられる板ガラス(以下、ガラス基板という)は非常に薄いものである。たとえば、厚さが0.7mm程度で大きさが550mm×650mm程度のものが多く生産されている。このようなガラス基板のトリミングや分断等の加工は、一般的に板ガラスを水平の状態(横向きの状態)にしてベルトコンベア等によって搬送し、各装置において水平の状態で行う。加工後の板ガラスに対して所望の表面状態を得るために行われる酸処理についても水平の状態で行われる(たとえば特許文献1、特許文献2および特許文献3参照)。
【0003】
一方、近年、ガラス基板等の分野において、生産性を向上させるために歩留まりをよくする目的で、また、より大型のディスプレイ等に対応することを目的として、複数のガラス基板のもととなるマザーガラスのサイズを大型化したいという要望が出てきている。マザーガラスのサイズを大きくすると一枚のマザーガラスから取れるガラス基板の枚数が多くなり、歩留まりが向上する。さらに、大型ディスプレイ用のガラス基板を製造することも可能となる。加えて、ガラス基板をさらに薄くすることによってディスプレイ等の性能を向上させたいという要望もあり、マザーガラスがいっそう薄型化する傾向がある。その上、ガラス基板の品質に対する要求は年を追うごとに厳しくなっており、且つ、低コスト化への要求もある。
【0004】
【特許文献1】
特公平4−37018号公報
【特許文献2】
特開平11−217240号公報
【特許文献3】
特開2000−140778号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述したような水平状態で板ガラスを搬送して酸処理する技術では、大型化、薄型化した板ガラスを酸処理する場合、その自重に起因するたわみ等による割れ、板ガラスの面を支持する構造部材からの反力による割れ等の生じるおそれがある。
【0006】
本発明はかかる課題を解決するためになされたものであり、大型化、薄型化した板ガラスを含む板材に対し、割れ等の損傷を防止し、板材の品質の一層の向上を可能にした酸処理を行うことができる板材の酸処理設備およびその酸処理装置を提供することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明にかかる板材の酸処理装置は、立てられた状態の板材の下端を支持して水平方向に搬送する搬送装置と、
上記板材の少なくとも一方の面に対向するように立設された、その表面部に酸処理液を含みうる酸処理部材とを備えており、
該酸処理部材の表面に酸処理液を供給するための酸処理液供給装置とを備えており、
上記搬送装置により、板材を酸処理部材の表面の酸処理液に接触させながら搬送するように構成されている。
【0008】
かかる構成によれば、板材は立てた状態なので、その面に自重の影響や構造物からの大きな反力を受けることなく板材の面をくまなく酸処理することができる。したがって、塵埃に限らず油脂分まで除去することができる。さらに、設備のスペースを節約することができる。
【0009】
本発明にかかる他の酸処理装置は、立てられた状態の板材の下端を支持する支持装置と、
上記板材の少なくとも一方の面に対向するように立設された、その表面部に酸処理液を含みうる酸処理ローラと、
該酸処理ローラの表面部に酸処理液を供給するための酸処理液供給装置と、
酸処理ローラをその軸回りに回転させるための回転駆動装置とを備えており、酸処理ローラの回転により、板材を酸処理ローラの表面の酸処理液に接触させながら搬送するように構成されている。
【0010】
かかる構成によれば、前述の本発明の酸処理装置の作用に加えて、酸処理部材(ローラ)が板材の搬送機能を持つので、特別な搬送装置を用意する必要がない。
【0011】
本発明にかかるさらに他の酸処理装置は、立てられた状態の板材の下端を支持する支持装置と、
上記板材の少なくとも一方の面に対向するように配設された、その表面部に酸処理液を含みうる酸処理用の無端ベルトと、
該無端ベルトの表面部に酸処理液を供給するための酸処理液供給装置と、
無端ベルトを回動させるための回動駆動装置とを備えており、
無端ベルトの回動により、板材を無端ベルトの表面の酸処理液に接触させながら搬送するように構成されている。
【0012】
かかる構成によれば、前述の本発明の酸処理装置の作用に加えて、酸処理部材(無端ベルト)の設置数の低減が可能となる。
【0013】
なお、以上に説明した表面部に酸処理液を含みうる酸処理部材の表面材としては、スポンジなどの多孔質材料が好適に用いられる。
【0014】
上記支持装置が、平行に配列された複数の回転自在のフリーローラから構成されてなる酸処理装置にあっては、板材の搬送がスムーズになされるので好ましい。
【0015】
上記酸処理部材が、ローラに代えて、平行に且つ間隔をおいて立設された複数の上下方向に長尺な酸処理部材要素から構成されてなる酸処理装置にあっては、酸処理部材の構造が簡素化される。
【0016】
上記酸処理部材要素が、鉛直方向から板材の搬送方向の上流側または下流側に傾斜して立設されてなる酸処理装置にあっては、酸処理部材要素からの酸処理液は鉛直に流れ、酸処理部材要素に沿って流れないので、酸処理部材要素の表面の酸処理液の量が均一化される。また、片面のみを酸処理する板材に対しては酸処理面からその反対側の面に酸処理液が回り込むことが防止されるので好ましい。
【0017】
上記酸処理液供給装置に対して、上記表面部に対し、その上下方向に間隔をおいて複数箇所の酸処理液供給口を配設し、酸処理対象の板材のサイズに応じて酸処理液を供給する上記酸処理液供給口を切り替えうるように構成することができる。
【0018】
または、上記酸処理液供給装置に、上記表面部に対してその上下方向に移動可能な酸処理液供給口を配設し、酸処理対象の板材のサイズに応じて酸処理液供給口が昇降させられるように構成することもできる。
【0019】
本発明の板材の酸処理設備は、立てられた状態の板材の下端を支持して搬送する搬送装置と、
上記板材の面に流体圧を作用させることによってこの板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイドと、
上記搬送装置の搬送経路の途中に挿入配置された、前述したうちいずれか一の酸処理装置と、
上記搬送経路におけるこの酸処理装置の上流側に配設された、板材の面に水を噴霧する噴霧装置とを備えている。
【0020】
かかる構成により、板材はその面に自重の影響や構造物からの大きな反力を受けることなく酸処理することができる。さらに、設備のスペースを節約することができる。
【0021】
本発明の他の酸処理設備は、立てられた状態の板材の下端を支持して搬送する搬送装置と、
上記板材の面に流体圧を作用させることによってこの板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイドと、
上記搬送装置の搬送経路の途中に挿入配置された、前述したうちいずれか一の酸処理装置と、
上記搬送経路におけるこの酸処理装置の下流側に配設された、板材の面に酸処理液を除去するための水を噴射する洗浄装置とを備えている。
【0022】
本発明の酸処理設備は上記噴霧装置および洗浄装置をともに備えてもよい。
【0023】
上記搬送経路における上記噴霧装置の上流側に、板材の非処理面に向けて膜状気流を噴射する水切り部材を備えてなる酸処理設備では、上流工程で板ガラスの表面に付着する可能性のある粒子や塵埃等を水分とともに除去し、その後、噴霧によって非処理面の乾燥を防止することができるので好ましい。
【0024】
上記洗浄装置が、酸処理された板材の面に向けて水を噴射する噴水ノズルを備えるのが好ましい。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しつつ本発明の板材の酸処理設備、ならびに、この酸処理設備に好適に用いられる酸処理装置の実施形態を説明する。
【0026】
図1は本発明の酸処理設備の一実施形態を示す正面図であり、図2はその平面図である。
【0027】
図示の酸処理設備1には、後述の酸処理装置6の部分を除いて、矩形の板ガラスGを立てた状態でその底辺を支持しながら水平方向に搬送するためのベルトコンベア2が配設されている。ベルトコンベアに限らず、たとえばローラコンベア等の公知のコンベアを採用することができる。ベルトコンベア2による搬送方向に沿って、すなわち板ガラスのパスラインLに沿って、板ガラスGの表面を純水によって洗浄するための水洗装置3と、板ガラスGを鉛直状態から若干傾斜させるための倒し装置4と、板ガラスGの表面から水分を除去するための水切り装置5と、板ガラスGの片面を酸処理液によって処理するための酸処理装置6と、板ガラスGの表面から酸処理液等を洗い流すための洗浄装置7とが上流からこの順番で配置されている。酸処理されるべき板ガラスGは上記各装置3〜7に順に送られて処理される。
【0028】
酸処理装置6の部分を除いて、ベルトコンベア2の搬送方向(パスラインL)に沿って板ガラスGの面を非接触で支持するための流体ガイド8が立設されている。ただし、図2に示すように上記水切り装置5の部分についてはこの流体ガイド8はパスラインLの片側にのみ配置されている。その他の装置、つまり、水洗装置3、倒し装置4および洗浄装置7には、流体ガイド8はパスラインLの両側にそれぞれ配設されている。酸処理装置6には後述するように立った状態の板ガラスを支持することができる酸処理ローラ19が配設されているため、流体ガイドを必要としない。水切り装置5は後述するように板ガラスの片側の面に対向してエアナイフフレーム15や噴霧管16を配設するために、これらの反対側にのみ流体ガイド8を設置している。図1では、理解容易のためにパスラインLより手前側の流体ガイドはその図示を省略している。
【0029】
図3に示すように、流体ガイド8は枠部材9とこの枠部材9に取り付けられた流体噴出部10とを備えている。流体噴出部10は板ガラスGの面に向けて支持用の流体圧を作用させるためのものである。流体噴出部10はその調節機構11によって全体で板ガラスGの面に平行となるように調節可能にされている。流体噴出部10には板ガラスGの面に向けて流体を噴出する流体噴出孔10aが間隔を置いて配列されている。
【0030】
パスラインLの左右両側に流体ガイド8が設置されているので板ガラスGの両面から作用する流体圧がバランスをとり、板ガラスGが構造部材と接触せずにほぼ鉛直状態を維持することができる。本実施形態では支持用の流体として水が用いられている。支持用流体として液体を用いることにより、板ガラスGからカレット粒子や他の塵埃を効果的に除去することが可能である。
【0031】
多数個の流体噴出部10を配列することに代えて、多孔質材料を使用してガイド面に液体をにじみ出させる多孔質流体ガイドを設置してもよい。この多孔質流体ガイドではガイド用液体の表面張力を利用することができるので、パスラインLの片側にのみ配設していても板ガラスGを構造部材と接触させることなく立てた状態で支持することができる。
【0032】
支持用の流体は液体に限定されず、必要に応じてたとえば清浄気体であってもよい。支持用流体として気体を用いた流体ガイドをパスラインLの片側にのみ配設するときには、板ガラスGをこの流体ガイドの方にわずかに傾かせることにより、板ガラスGの自重の横方向成分と噴出する気体圧による力とのバランスによって非接触で流体ガイドによって支持させる。
【0033】
図4は水洗装置4の概略平面図である。水洗装置4はパスラインLの両側に、高圧水を板ガラスGの面に噴射するための噴水管12が立設されている。流体ガイド8はこの噴水管12の範囲を避けて配置されている。噴水管12にはその上下方向に沿って多数の噴水孔12aが形成されており、この噴水孔12aから若干上流側に向けて板ガラスGの面に高圧水が噴出する。パスラインLを挟んだ両噴水孔12aは互いに対向しているため、板ガラスGに加わる流体の作用が左右でバランスし、板ガラスGのほぼ鉛直の状態を乱すことはない。水洗装置4により、上流工程で板ガラスGの面に付着しているおそれのある塵埃やカレット粒子などが洗い落とされる。その両面を水洗された板ガラスGはベルトコンベア2によって下流の倒し装置4に搬送される。
【0034】
図1および図5を参照しつつ倒し装置4を説明する。倒し装置4は板ガラスGを鉛直の状態から下流の水切り装置5および酸処理装置6の傾斜に適合させるために若干傾斜させるものである。図5に示すようにこの倒し装置4ではパスラインLの両側の流体ガイド8が一体で鉛直状態から外方へ、すなわち、パスラインLから離れる方向へ若干角度(本実施形態では約5゜)だけ倒れるように構成されている。流体ガイド8を構成する上記枠部材9を、下端の回転軸13を中心にして駆動シリンダ14によって傾斜させるものである。
【0035】
しかし、本発明ではかかる構成に限定されない。たとえば、図6に示すように、パスラインLの両側の流体ガイド8のうちの一方を図示しない駆動シリンダなどによって傾斜させるように構成してもよい。さらに、図示しない別の水ノズルなどからの流体噴射により、板ガラスを傾斜方向に押すことによって板ガラスGは傾斜した枠部材9について倒れる。
【0036】
板ガラスGは倒し装置4において5゜ほど傾斜させられた状態でベルトコンベア2によって下流の水切り装置5に搬送される。以下、板ガラスGの倒れ側の面(下流に向かって右側の面)を裏面または酸処理面、その反対側の面を非処理面と呼ぶ。
【0037】
図1および図7を参照しつつ水切り装置5を説明する。前述のごとく、水切り装置5ではその流体ガイド8が下流を向いてパスラインLの右側(板ガラスの酸処理面側)にのみ配置されており、予め倒し装置4における流体ガイド8の傾斜方向と同一方向に約5゜傾斜して固定されている。パスラインLを挟んで流体ガイド8と反対側には、この流体ガイド8に対向して上流側から順に給気管(エアナイフフレームともいう)15および噴霧装置としての噴霧管16が配設されている。パスラインLの流体ガイド側には流体ガイド8に近接してその下流側に水切りローラ17が配設されている。エアナイフフレーム15、噴霧管16および水切りローラ17はすべて流体ガイド8の傾斜方向に約5゜傾斜させられている。
【0038】
エアナイフフレーム15には図示しない給気源から清浄な空気が圧送されている。エアナイフフレーム15には空気を板ガラスGの非処理面に向かって吹き出させるための幅狭のスリット15aが上下方向に形成されている。このスリット15aから噴出する膜状気流Nが板ガラスGの非処理面に吹き付けられる。上記スリットはエアナイフフレーム15の長手方向に沿ってわずかな間隔をおいて断続的に形成される(図7)か、または、連続して形成される。いずれにしても、板ガラスGには連続した膜状の気流(エアナイフ)Nが上下方向に連続して吹き付けられる。(わずかに上流側へ傾斜している)
エアナイフフレーム15は鉛直方向に立設してもよいが、図1に示すように本実施形態では鉛直からわずかに上流側へ傾斜している。スリット15aの向きが板ガラスGの面に垂直な方向から僅かに上流側に向いている。したがって、エアナイフNは板ガラスGの非処理面の水分を上流を向いてやや下方に吹き飛ばすことができる。その結果、エアナイフフレーム15から上流側下方に水分を吹き飛ばし、下流側には水分が移動しない。エアナイフNを通過した板ガラスGの非処理面からは水分とともに塵埃等が除去される。
【0039】
ついで、板ガラスGのエアナイフ処理された面には噴霧管16から水の霧が吹き付けられる。これは、非処理面に水膜を形成することにより、酸処理中に非処理面が乾燥することを防止するためである。
【0040】
上記水切りローラ17は、その上端に配設されたモータ18により、上下方向に延びる回転軸回りに回転させられる。本実施形態では水切りローラ17はベルトドライブによって回転させられるが、たとえばチェーンやギア等の公知の伝動機構を用いてもよい。ローラ17の表面にはスポンジ等の吸水性材料が貼設されている。ローラ全体を吸水性材料から形成してもよい。ベルトコンベア2はこの水切りローラ17の上流近接部まで延設されているが、水切りローラ17およびその下流の酸処理装置6の範囲には配設されていない。これは、水切りローラ17と酸処理装置6の酸処理ローラ19とが回転することによって板ガラス搬送作用が生じるからである。このために、これらローラ17、19は平面視で時計回りに回転させられる。ただし、板ガラスGを酸処理装置6内で往復動させる場合には酸処理ローラ19を正逆回転を繰り返す。
【0041】
板ガラスGが上記水切りローラ17に接しながら搬送されることにより、その裏面の水分が水切りローラ17によって吸収除去される。図示しないが、水切りローラ17のパスラインLとは反対側の部分に、水切りローラ17の長手方向に延びる脱水棒部材等を備えてもよい。この脱水棒部材を水切りローラ17に押し当てておくことにより、吸収した水分をしごき取ることが可能となる。板ガラスGは水切り装置5によってその裏面を脱水された後、酸処理装置6に搬送される。
【0042】
図1、図2および図8を参照しつつ酸処理装置6を説明する。酸処理装置6では流体ガイドは設置されておらず、パスラインLの片側にのみ、つまり板ガラスGの酸処理面側にのみ、パスラインLに沿って複数本の酸処理ローラ19が平行に配列されている。これらの酸処理ローラ19は一個のモータ18によってチェーン駆動されるが、他の公知の伝動機構を用いてもよい。全酸処理ローラ19は倒し装置4における流体ガイド8の傾斜方向と同一方向(下流に向かって右側)に約5゜傾斜させられている。しかし、全酸処理ローラ19を鉛直に立設してもよい。ローラ表面に形成される酸処理液膜の表面張力の作用により、板ガラスが酸処理ローラに吸着されるからである。
【0043】
本実施形態では板ガラスGの片面のみを酸処理する装置を例示しているのでパスラインLの片側にのみ酸処理ローラ19を配設しているが、板ガラスの両面ともに酸処理する場合にはパスラインLの両側に酸処理ローラ19を配列すればよい。または、酸処理液を板ガラスの面に直接噴霧してもよい。
【0044】
酸処理ローラ19が回転することにより、酸処理液を介して酸処理ローラ19に自重の一部を預けている板ガラスGはパスライン方向に移動させられる。したがって、酸処理装置6にはベルトコンベアは設置されていない。板ガラスGの下端を支持するのは回転自在に整列されたローラ20である。回転自在であることからフリーローラ20と呼ぶ。
【0045】
酸処理ローラ列のパスラインLとは反対側には、全酸処理ローラ19に酸処理液を供給するための複数本の酸処理液ヘッダ21が配設されている(図8)。酸処理液ヘッダ21は上下に間隔をおいて水平方向に延設されている。各酸処理液ヘッダ21の板ガラスGに対向する部分には酸処理液を噴出する複数個の噴出孔22が形成されている。この噴出孔22から全酸処理ローラ19に酸処理液が供給される。一方、酸処理ローラ19はその表面がスポンジ等の多孔質の部材で形成されている。そのため、上記噴出孔22から供給された酸処理液は多孔質の酸処理ローラ表面全体に浸透し、この表面には酸処理液がにじみ出た状態となっている。酸処理ローラ19に接触する板ガラスGの面には酸処理液が供給されることになる。板ガラスGの高さ寸法に応じて酸処理液が供給されるヘッダ21が選択され、図示しない手動切替弁や電磁切替弁によって酸処理液の供給対象が切り替えられる。なお、酸処理が必要ないときには、酸処理液を水等の流体に切り替えることにより対応可能である。酸処理装置6によってその裏面を処理された板ガラスGは洗浄装置7に搬送される。
【0046】
図1、図2および図9を参照しつつ洗浄装置7を説明する。洗浄装置7は板ガラスGの両面を水によって洗浄するとともに、板ガラスGを約5゜傾斜した状態から鉛直の状態に戻して搬出するためのものである。したがって、水切り装置や酸処理装置が板ガラスGを傾斜させずに鉛直の状態で処理するように構成されている場合は、この傾斜を立て直す機能は必要ではない。
【0047】
板ガラスGは、その両側から水圧が作用するため構造物に接触することなく立った状態で支持される。少なくとも、流体ガイド8から流出する水の表面張力によって立った状態で支持される。この洗浄装置7ではパスラインLの両側の流体ガイド8が一体で、下流に向かって右側(図中、紙面向こう側)に約5゜傾斜した状態と鉛直の状態との間で揺動するように構成されている。洗浄装置7は前述した倒し装置4(図5)と同様に、流体ガイド8を構成する枠部材9を、下端の回転軸13を中心にして駆動シリンダ14によって傾斜させるものである。しかし、本発明ではかかる構成に限定されない。たとえば、図9に示すように、パスラインLの両側の流体ガイド8のうちの一方を図示しない駆動シリンダなどによって傾斜させるように構成してもよい。
【0048】
パスラインLの両側の流体ガイド8からは洗浄用の純水が板ガラスGに向けて噴出させられている。この噴水により、板ガラスGの面から酸処理液や塵埃等が洗い流される。
【0049】
本洗浄装置7のパスラインLの両側には、流体ガイド8の他に板ガラスGの両面にリンス用のシャワーを供給するための給水管25が立設されている。この給水管25には板ガラスGに向けて純水を噴出するための複数個の噴水孔が形成されている。両給水管25は両流体ガイド8とともに鉛直状態と傾斜状態とに揺動可能に構成されている。もちろん、図9に示すように、一方の流体ガイドのみ傾斜する構成のものでは、給水管25もその一方のみを傾斜させるように構成することになる。この洗浄装置7によって洗浄された板ガラスGはベルトコンベア2によって下流工程に搬送される。
【0050】
前述した酸処理装置6では、板ガラスGの面に酸処理液を供給するために回転駆動式の酸処理ローラ19を用いたが、本発明ではかかる構成に限定されない。かかる酸処理ローラ19に代えて固定式の部材を用いてもよい。
【0051】
図10には固定式の酸処理部材32を用いた酸処理装置31が示されている。この酸処理装置31においても流体ガイドは設置されていない。パスラインLの片側にはパスラインLに沿って複数本の酸処理部材32が平行に配列されている。これらの酸処理部材32には板ガラスGの搬送機能はないので、ベルトコンベア2が設置されている。全酸処理部材32は倒し装置4における流体ガイド8の傾斜方向と同一方向(下流に向かって右側)に約5゜傾斜して固定されている。前述した酸処理ローラ19を用いた酸処理装置6と同様に全酸処理部材32を鉛直に立設してもよい。酸処理液膜の表面張力を利用できるからである。
【0052】
図11には酸処理部材32の構造が示されている。酸処理部材32は板状の芯材33の表面を多孔質材34で覆ったものである。芯材33には板ガラスGに対向する面に向けて酸処理液の供給孔32cが形成されており、この供給孔32cに酸処理液が供給される。これにより、多孔質材34からなる表面に酸処理液が浸透し、その表面から酸処理液がにじみ出る。酸処理部材32の板ガラスGに対向する部位はほぼ板ガラスGに平行な面32aにされている。この面32aの上流および下流側の部分は傾斜面32bまたはほぼ曲面にされる。板ガラスGの酸処理面はベルトコンベア2による搬送に伴って各酸処理部材32の上記面32aに接触しつつ酸処理液によって処理される。板ガラスGはこの酸処理部材32の面32aの液膜に接触しているときには酸処理液の表面張力によって酸処理部材32にいわば吸着された状態となる。したがって、全酸処理部材32を鉛直に立設してもよい。
【0053】
上記酸処理液供給孔32cは各酸処理部材32の長手方向(上下方向)に沿って複数個形成されている(図11(a))。酸処理部材32のパスラインLとは反対側には酸処理液供給機構35が設置されており、この酸処理液供給機構から各酸処理液供給孔32cに酸処理液が供給される。このとき、板ガラスGの高さ寸法に応じて、図示しない手動切替弁や電磁切替弁によって異なる供給孔32cに酸処理液を供給することができる。
【0054】
本酸処理装置31における酸処理部材32はパスラインLに直角な方向には前述のとおり僅かに傾斜されているが、搬送方向の上流側および下流側(図中の右側および左側)には傾斜していない。しかし、図12に示すように上流および下流のいずれかに向けて傾斜させておくのが好ましい。傾斜させることにより酸処理部材32の長手方向と板ガラスGの前端縁とが平行にならず、これらが一致することがない。その結果、板ガラスGは搬送されている最中、その前端部が酸処理部材32に達したときに酸処理液が非処理面に回り込むことが制限される。また、酸処理部材32からの酸処理液は鉛直に流れ、酸処理部材32に沿って流れないので、酸処理部材32の表面の酸処理液の量が均一化される。
【0055】
図13〜図15には他の酸処理設備36が示されている。この酸処理設備36は板ガラスGを鉛直状態のまま処理するため、搬入時の倒し装置および搬出時の立て直し装置を備えていない。すなわち、パスラインLに直下な方向に傾斜させる機構はなく、傾斜してもいない。酸処理のために前述した固定式の酸処理部材32を採用しており、板ガラスGは酸処理部材32の面に液体の表面張力で吸着されて鉛直状態を保つ。板ガラス搬送のためには設備36の入り口から出口までベルトコンベア2が設置されている。酸処理部材32も設備36の入り口から出口まで配列されている。
【0056】
本酸処理設備36では、全酸処理部材32のうち上流端の二本の酸処理部材321と下流端の二本の酸処理部材322とには酸処理液ではなく板ガラスの水洗のために水が供給される。したがってこれらの酸処理部材を水洗部材と呼ぶ。これらの水洗部材321、322によって板ガラスGの処理面が洗浄される。真ん中の七本の酸処理部材32には酸処理液が供給される。しかし、これらの本数には限定されない。要するに、上流側の水洗部材および下流側の水洗部材によって板ガラスGの酸処理面を水洗するように構成すればよい。
【0057】
上流端の水洗部材321の範囲を搬入部37と呼び、中央部の酸処理部材32の範囲を酸処理部38と呼び、下流端の水洗部材322の範囲を搬出部39と呼ぶ。搬入部37において、パスラインLを挟んで水洗部材321の反対側には噴霧管16が配設されている。この噴霧管16は前述した水切り装置5における噴霧管16と同様の構成であるため、その説明を省略する。搬出部39において、パスラインLを挟んだ両側には給水管25が配設されている。給水管25は水洗部材322同士の間隙から板ガラスGに水流を吹き付ける。この給水管25は前述した洗浄装置7における給水管25と同様の構成であるため、その説明を省略する。
【0058】
図14に示すように、上流の水洗部材321、酸処理部材32、および、下流の水洗部材322に水または酸処理液を供給する機構はそれぞれ独立している。搬入部37には水洗部材321および噴霧管16に給水するための給水装置40が配設されており、搬出部39には水洗部材322に給水するための給水装置41が配設されている。搬出部39の給水管25には図示しない給水機構が別途設けられている。酸処理部38の酸処理部材32には酸処理液供給機構42が接続されている。
【0059】
図15には酸処理液供給装置42が示されている。酸処理液供給装置42は、酸処理液供給管43と、酸処理部材32の酸処理液供給孔32cに接続された接続金具44と、酸処理液供給管43と接続金具44とをつなぐホース45と、ホース45に取り付けられた止め弁46とを備えている。本実施形態では、酸処理液を供給すべき酸処理液供給孔32cを選択するのに手動の止め弁46を用いているが、電磁式の切替弁を用いてもよい。上記各給水装置40、41はこの酸処理液供給装置42と同等の構成であるため、その説明を省略する。
【0060】
前述した酸処理装置6に採用される酸処理液供給装置もこの酸処理液供給装置42と同等の構成である。
【0061】
本酸処理設備36においても、酸処理部材32を上流および下流のいずれかに向けて傾斜させておくのが好ましい。また、酸処理部材32に代えて酸処理ローラを用いてもよい。
【0062】
図16には他の酸処理部材51が示されている。この酸処理部材51は一対のエンドプーリ52a、52bと、両エンドプーリ52a、52bに掛け回された無端ベルト(以下、単にベルトという)53とを有している。このベルト53はスポンジ等の多孔質材から構成されている。一方のエンドプーリ52aは駆動プーリであり、モータ18によって自軸回りに回転させられる。これによってベルト53が回動する。ベルト全体を多孔質材から構成することに代えて、通常の公知のベルト材の外側表面に多孔質材を貼着したものでもよい。
【0063】
酸処理部材51のパスラインLと反対側にはベルト53に酸処理液を供給する酸処理液ヘッダ21が配設されている。この酸処理液ヘッダ21は図8に示すものと同等の構造であるため、その説明を省略する。ベルト53にはパスラインの反対側で酸処理液が供給され、パスライン側で板ガラスにこの酸処理液を供給する。すなわち、板ガラスGはベルト53が構成している面53aに接触しながら、ベルト53の回動によって搬送される。したがって、ベルトコンベアを必要としない。ベルト53のスパンおよび一の酸処理装置に設置する酸処理部材51の数は板ガラスのサイズや処理時間に応じて任意に設定することができる。
【0064】
また、酸処理液ヘッダ21からベルト53に直接酸処理液を供給するのではなく、一方のエンドプーリに酸処理液の供給孔を形成し、この供給孔に酸処理液を供給してもよい。また、ベルト全体を多孔質材から形成しておき、ベルトの裏面(板ガラスと対向する面と反対側の面)から酸処理液を供給してもよい。
【0065】
以上の構成により、酸処理部材の数量の低減が可能となりるため、構造が簡略化され、一層均一な処理が可能となり、装置のメンテナンスも容易となる。
【0066】
【発明の効果】
本発明によれば、大型化、薄型化した板ガラスを含む板材に対し、割れ等の損傷を防止し、板材の品質の一層の向上を可能にした酸処理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の酸処理設備の一実施形態を概略的に示す正面図である。
【図2】図1の酸処理設備の概略平面図である。
【図3】図1の酸処理設備における流体ガイドの一部を示す横断面図である。
【図4】図1の酸処理設備における水洗装置の一例を示す概略平面図である。
【図5】図1の酸処理設備における倒し装置の一例を示す側面図である。
【図6】図1の酸処理設備における倒し装置の他の例を示す概略側面図であり、図6(a)は倒す前の状態を示し、図6(b)は倒した後の状態を示している。
【図7】図1の酸処理設備における水切り装置の一例を示す概略側面図である。
【図8】図1の酸処理設備における酸処理装置の一実施形態を示す概略側面図である。
【図9】図1の酸処理設備における洗浄装置の一例を示す概略側面図であり、図9(a)は傾斜状態を示し、図9(b)は直立状態を示している。
【図10】図10(a)は図1の酸処理設備における酸処理装置の他の実施形態を示す概略正面図であり、図10(b)はその概略側面図である。
【図11】図11(a)は図1の酸処理装置における酸処理部材の一例を示す正面図であり、図11(b)は図11(a)のXI−XI線断面図である。
【図12】図12(a)は図10の酸処理装置における酸処理部材の配列の一例を示す正面図であり、図12(b)は図10の酸処理装置における酸処理部材の配列の他の例を示す正面図である。
【図13】本発明の酸処理設備の他の実施形態を示す正面図である。
【図14】図13の酸処理設備の平面図である。
【図15】図13の酸処理設備のXV−XV線矢視側面図である。
【図16】図1の酸処理装置における酸処理部材の他の例を示す斜視図である。
【符号の説明】
1・・・・酸処理設備
2・・・・ベルトコンベア
3・・・・水洗装置
4・・・・倒し装置
5・・・・水切り装置
6・・・・酸処理装置
7・・・・洗浄装置
8・・・・流体ガイド
9・・・・枠部材
10・・・・流体噴出部
11・・・・調節機構
12・・・・噴水管
13・・・・回転軸
14・・・・駆動シリンダ
15・・・・エアナイフフレーム
16・・・・噴霧管
17・・・・水切りローラ
18・・・・モータ
19・・・・酸処理ローラ
20・・・・フリーローラ
21・・・・酸処理液ヘッダ
22・・・・噴出孔
25・・・・給水管
31・・・・酸処理装置
32・・・・酸処理部材
33・・・・芯材
34・・・・多孔質材
35・・・・酸処理液供給機構
36・・・・酸処理設備
37・・・・搬入部
38・・・・酸処理部
39・・・・搬出部
40、41・・・・給水装置
42・・・・酸処理液供給装置
43・・・・酸処理液供給管
44・・・・接続金具
45・・・・ホース
46・・・・止め弁
51・・・・酸処理部材
52a、52b・・・・エンドプーリ
53・・・・ベルト
321、322・・・・水洗部材
G・・・・板ガラス
L・・・・(板ガラスの)パスライン[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a plate material acid treatment facility and an acid treatment device therefor. More specifically, the present invention relates to a plate material acid treatment apparatus for treating the surface of a plate material such as rare metal, silicon, and flat display glass with an acid, and an acid treatment facility for a plate material using the acid treatment apparatus.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, sheet glass has been used in various fields. In particular, a sheet glass (hereinafter, referred to as a glass substrate) used for a liquid crystal display, a plasma display, or the like is very thin. For example, many products having a thickness of about 0.7 mm and a size of about 550 mm × 650 mm are produced. Such processing such as trimming and cutting of the glass substrate is generally performed in a horizontal state (horizontal state), the sheet glass is conveyed by a belt conveyor or the like, and each apparatus is in a horizontal state. The acid treatment performed to obtain a desired surface state on the processed glass sheet is also performed in a horizontal state (for example, see
[0003]
On the other hand, in recent years, in the field of glass substrates and the like, motherboards serving as a basis for a plurality of glass substrates have been developed for the purpose of improving yield in order to improve productivity, and for supporting larger displays and the like. There is a demand for increasing the size of glass. Increasing the size of the mother glass increases the number of glass substrates that can be obtained from one mother glass, thereby improving the yield. Further, a glass substrate for a large display can be manufactured. In addition, there is a demand to improve the performance of a display or the like by further reducing the thickness of the glass substrate, and the mother glass tends to be thinner. In addition, the requirements for the quality of the glass substrate are getting stricter each year, and there is also a demand for cost reduction.
[0004]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Publication No. 4-37018
[Patent Document 2]
JP-A-11-217240
[Patent Document 3]
JP-A-2000-140778
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the above-described technology of transporting a sheet glass in a horizontal state and treating it with an acid, a large-sized, thinned sheet glass is subjected to acid treatment. There is a possibility that a crack or the like may occur due to a reaction force from the member.
[0006]
The present invention has been made in order to solve such problems, and has been made an acid treatment that can prevent damage such as cracks on a sheet material including a large and thin sheet glass, and further improve the quality of the sheet material. It is an object of the present invention to provide a plate material acid treatment facility and an acid treatment device capable of performing the above.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The plate acid treatment apparatus according to the present invention is a transfer device that supports the lower end of the plate material in an upright state and transfers the plate material horizontally.
An acid treatment member that can include an acid treatment liquid is provided on the surface of the plate member so as to face at least one surface of the plate material,
An acid treatment liquid supply device for supplying an acid treatment liquid to the surface of the acid treatment member,
The transport device is configured to transport the plate material while being in contact with the acid treatment liquid on the surface of the acid treatment member.
[0008]
According to such a configuration, since the plate material is in an upright state, the surface of the plate material can be acid-treated without any influence of its own weight or a large reaction force from the structure. Therefore, not only dust but also oils and fats can be removed. Furthermore, the space of equipment can be saved.
[0009]
Another acid treatment device according to the present invention, a support device that supports the lower end of the plate material in an upright state,
An acid treatment roller, which is provided upright so as to face at least one surface of the plate material, and may include an acid treatment liquid on its surface,
An acid treatment liquid supply device for supplying an acid treatment liquid to a surface portion of the acid treatment roller,
A rotation driving device for rotating the acid treatment roller around its axis, and configured to convey the plate material while being in contact with the acid treatment liquid on the surface of the acid treatment roller by the rotation of the acid treatment roller. I have.
[0010]
According to this configuration, in addition to the action of the above-described acid treatment apparatus of the present invention, since the acid treatment member (roller) has a plate material conveyance function, there is no need to prepare a special conveyance apparatus.
[0011]
Still another acid treatment device according to the present invention, a support device that supports the lower end of the plate material in an upright state,
An endless belt for acid treatment, which is disposed so as to face at least one surface of the plate material and may include an acid treatment liquid on its surface,
An acid treatment liquid supply device for supplying an acid treatment liquid to a surface portion of the endless belt,
A rotation drive device for rotating the endless belt,
By rotating the endless belt, the plate is transported while being in contact with the acid treatment liquid on the surface of the endless belt.
[0012]
According to this configuration, in addition to the operation of the above-described acid treatment apparatus of the present invention, the number of acid treatment members (endless belts) can be reduced.
[0013]
Note that a porous material such as a sponge is suitably used as a surface material of the acid-treated member that can contain the acid-treated solution in the surface portion described above.
[0014]
In the acid treatment apparatus in which the supporting device is constituted by a plurality of freely rotatable free rollers arranged in parallel, it is preferable because the transport of the plate material is smoothly performed.
[0015]
In the acid treatment apparatus, wherein the acid treatment member is composed of a plurality of vertically long acid treatment member elements which are arranged in parallel and spaced apart from each other in place of the roller, the acid treatment member Is simplified.
[0016]
In an acid treatment apparatus in which the acid treatment member element is erected from the vertical direction to the upstream or downstream side in the transport direction of the plate material, the acid treatment liquid from the acid treatment member element flows vertically. Since it does not flow along the acid treatment member element, the amount of the acid treatment liquid on the surface of the acid treatment member element is made uniform. In addition, it is preferable for a plate material in which only one surface is acid-treated because the acid treatment liquid is prevented from flowing from the acid-treated surface to the opposite surface.
[0017]
For the acid treatment liquid supply device, a plurality of acid treatment liquid supply ports are provided at intervals in the vertical direction with respect to the surface portion, and the acid treatment liquid is supplied in accordance with the size of the plate material to be acid treated. The supply port for supplying the acid treatment liquid can be switched.
[0018]
Alternatively, the acid treatment liquid supply device is provided with an acid treatment liquid supply port movable vertically with respect to the surface portion, and the acid treatment liquid supply port is moved up and down according to the size of the plate material to be acid treated. It is also possible to configure so as to be able to be performed.
[0019]
The plate acid treatment equipment of the present invention is a transport device that supports and transports the lower end of the plate material in an upright state,
A fluid guide that supports the plate in a non-contact manner in a standing state by applying fluid pressure to the surface of the plate;
Any one of the acid treatment devices described above, which is inserted and disposed in the middle of the transport path of the transport device,
And a spray device for spraying water on the surface of the plate material, which is disposed on the upstream side of the acid treatment device in the transport path.
[0020]
With this configuration, the plate can be acid-treated without being affected by its own weight or receiving a large reaction force from the structure. Furthermore, the space of equipment can be saved.
[0021]
Another acid treatment equipment of the present invention, a transport device that supports and transports the lower end of the plate material in an upright state,
A fluid guide that supports the plate in a non-contact manner in a standing state by applying fluid pressure to the surface of the plate;
Any one of the acid treatment devices described above, which is inserted and disposed in the middle of the transport path of the transport device,
A cleaning device disposed on the downstream side of the acid treatment apparatus in the transport path and for injecting water for removing the acid treatment liquid onto the surface of the plate material;
[0022]
The acid treatment equipment of the present invention may include both the spraying device and the cleaning device.
[0023]
In an acid treatment facility comprising a drainer for injecting a film-like airflow toward a non-treatment surface of a sheet material on the upstream side of the spraying device in the transport path, there is a possibility that the acid treatment facility may adhere to the surface of the sheet glass in the upstream process. It is preferable because particles, dust, and the like are removed together with moisture, and thereafter, drying of the non-treated surface can be prevented by spraying.
[0024]
It is preferable that the cleaning device includes a fountain nozzle that sprays water toward a surface of the plate material that has been subjected to the acid treatment.
[0025]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of an acid treatment facility for a sheet material of the present invention and an acid treatment apparatus suitably used for the acid treatment facility will be described with reference to the accompanying drawings.
[0026]
FIG. 1 is a front view showing an embodiment of the acid treatment equipment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view thereof.
[0027]
The illustrated
[0028]
Except for the
[0029]
As shown in FIG. 3, the
[0030]
Since the fluid guides 8 are provided on both left and right sides of the pass line L, the fluid pressures acting on both sides of the sheet glass G are balanced, and the sheet glass G can be maintained almost vertically without contacting the structural members. In the present embodiment, water is used as the supporting fluid. By using a liquid as the supporting fluid, it is possible to effectively remove cullet particles and other dust from the glass sheet G.
[0031]
Instead of arranging a large number of
[0032]
The supporting fluid is not limited to a liquid, and may be, for example, a clean gas as needed. When a fluid guide using a gas as a supporting fluid is provided only on one side of the pass line L, the sheet glass G is slightly inclined toward the fluid guide to eject the sheet glass G with the lateral component of its own weight. It is supported by the fluid guide in a non-contact manner by the balance with the force due to the gas pressure.
[0033]
FIG. 4 is a schematic plan view of the
[0034]
The
[0035]
However, the present invention is not limited to such a configuration. For example, as shown in FIG. 6, one of the fluid guides 8 on both sides of the pass line L may be configured to be inclined by a drive cylinder (not shown) or the like. Further, the sheet glass G is pushed down in the inclined direction by a fluid jet from another water nozzle (not shown) or the like, so that the sheet glass G falls on the
[0036]
The sheet glass G is conveyed to the
[0037]
The
[0038]
Clean air is pressure-fed to the
The
[0039]
Next, water mist is sprayed from the
[0040]
The draining
[0041]
When the sheet glass G is transported while being in contact with the draining
[0042]
The
[0043]
In the present embodiment, an apparatus for acid-treating only one surface of the sheet glass G is illustrated, so the
[0044]
As the
[0045]
A plurality of acid
[0046]
The
[0047]
The sheet glass G is supported in a standing state without contacting the structure because water pressure acts from both sides thereof. At least it is supported in a standing state by the surface tension of the water flowing out of the
[0048]
From the fluid guides 8 on both sides of the pass line L, cleaning pure water is spouted toward the plate glass G. By the fountain, the acid treatment liquid, dust, and the like are washed away from the surface of the sheet glass G.
[0049]
On both sides of the pass line L of the
[0050]
In the above-described
[0051]
FIG. 10 shows an
[0052]
FIG. 11 shows the structure of the
[0053]
A plurality of the acid treatment
[0054]
The
[0055]
FIGS. 13 to 15 show another
[0056]
In the present
[0057]
The range of the
[0058]
As shown in FIG. 14, mechanisms for supplying water or an acid treatment liquid to the
[0059]
FIG. 15 shows an acid treatment
[0060]
The acid treatment liquid supply device employed in the above-described
[0061]
Also in the present
[0062]
FIG. 16 shows another
[0063]
An acid
[0064]
Instead of directly supplying the acid treatment liquid from the acid
[0065]
With the above configuration, the number of acid-treated members can be reduced, so that the structure is simplified, more uniform treatment is possible, and the maintenance of the device is facilitated.
[0066]
【The invention's effect】
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it can prevent the damage, such as a crack, with respect to the sheet material containing the sheet glass which was enlarged and thinned, and can perform the acid treatment which enabled the further improvement of the quality of a sheet material.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a front view schematically showing an embodiment of an acid treatment facility of the present invention.
FIG. 2 is a schematic plan view of the acid treatment equipment of FIG.
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a part of a fluid guide in the acid processing equipment of FIG.
FIG. 4 is a schematic plan view showing an example of a water washing device in the acid treatment equipment of FIG.
FIG. 5 is a side view showing an example of a defeat device in the acid treatment equipment of FIG.
6 is a schematic side view showing another example of the tilting device in the acid treatment equipment of FIG. 1; FIG. 6 (a) shows a state before tilting; FIG. 6 (b) shows a state after tilting; Is shown.
FIG. 7 is a schematic side view showing an example of a draining device in the acid treatment equipment of FIG.
FIG. 8 is a schematic side view showing an embodiment of an acid treatment apparatus in the acid treatment equipment of FIG.
9 is a schematic side view showing an example of a cleaning device in the acid treatment equipment of FIG. 1, wherein FIG. 9 (a) shows an inclined state, and FIG. 9 (b) shows an upright state.
10 (a) is a schematic front view showing another embodiment of the acid treatment apparatus in the acid treatment equipment of FIG. 1, and FIG. 10 (b) is a schematic side view thereof.
11 (a) is a front view showing an example of an acid processing member in the acid processing apparatus of FIG. 1, and FIG. 11 (b) is a sectional view taken along line XI-XI of FIG. 11 (a).
12 (a) is a front view showing an example of the arrangement of the acid treatment members in the acid treatment apparatus of FIG. 10, and FIG. 12 (b) is an arrangement of the acid treatment members in the acid treatment apparatus of FIG. It is a front view showing other examples.
FIG. 13 is a front view showing another embodiment of the acid treatment equipment of the present invention.
FIG. 14 is a plan view of the acid treatment equipment of FIG.
FIG. 15 is a side view of the acid treatment equipment of FIG. 13 taken along line XV-XV.
FIG. 16 is a perspective view showing another example of the acid processing member in the acid processing apparatus of FIG. 1;
[Explanation of symbols]
1 .... Acid treatment equipment
2 .... Belt conveyor
3. ・ ・ ・ Washing device
4. Defeating device
5. Drainer
6 ... Acid treatment equipment
7 Cleaning equipment
8. Fluid guide
9 Frame members
10 Fluid ejection section
11 Adjustment mechanism
12 ··· Fountain pipe
13. Rotary axis
14 ... Driving cylinder
15 ... Air knife frame
16 ··· Spray tube
17 ... Drainer roller
18. Motor
19 ... Acid treatment roller
20 ... Free roller
21 .. Acid treatment liquid header
22 ··· Vent hole
25 ... water pipe
31 ... Acid treatment equipment
32 ... Acid treatment member
33 ... core material
34 ··· Porous material
35 ... Acid treatment liquid supply mechanism
36 Acid treatment equipment
37 ··· Loading section
38 ... Acid treatment section
39 ···· Unloading section
40, 41 ··· Water supply device
42 ... Acid treatment liquid supply device
43 ··· Acid treatment liquid supply pipe
44 Connection fitting
45 ... Hose
46 ··· Stop valve
51 ···· Acid treated member
52a, 52b ····· End pulley
53 ··· Belt
321, 322 ··· Rinsing member
G: Flat glass
L ··· (Plate glass) pass line
Claims (13)
上記板材の少なくとも一方の面に対向するように立設された、その表面部に酸処理液を含みうる酸処理部材とを備えており、
該酸処理部材の表面に酸処理液を供給するための酸処理液供給装置とを備えており、
上記搬送装置により、板材を酸処理部材の表面の酸処理液に接触させながら搬送するように構成されてなる板材の酸処理装置。A transport device that supports the lower end of the plate material in an upright state and transports the horizontal in the horizontal direction,
An acid treatment member that can include an acid treatment liquid is provided on the surface of the plate member so as to face at least one surface of the plate material,
An acid treatment liquid supply device for supplying an acid treatment liquid to the surface of the acid treatment member,
An acid treatment apparatus for a sheet material, wherein the sheet material is conveyed by the transfer device while being in contact with the acid treatment liquid on the surface of the acid treatment member.
上記板材の少なくとも一方の面に対向するように立設された、その表面部に酸処理液を含みうる酸処理ローラと、
該酸処理ローラの表面部に酸処理液を供給するための酸処理液供給装置と、
酸処理ローラをその軸回りに回転させるための回転駆動装置とを備えており、酸処理ローラの回転により、板材を酸処理ローラの表面の酸処理液に接触させながら搬送するように構成されてなる板材の酸処理装置。A support device for supporting the lower end of the plate material in an upright state,
An acid treatment roller, which is provided upright so as to face at least one surface of the plate material, and may include an acid treatment liquid on its surface,
An acid treatment liquid supply device for supplying an acid treatment liquid to a surface portion of the acid treatment roller,
A rotation driving device for rotating the acid treatment roller around its axis, and configured to convey the plate material while being in contact with the acid treatment liquid on the surface of the acid treatment roller by the rotation of the acid treatment roller. Acid processing equipment for plate materials.
上記板材の少なくとも一方の面に対向するように配設された、その表面部に酸処理液を含みうる酸処理用の無端ベルトと、
該無端ベルトの表面部に酸処理液を供給するための酸処理液供給装置と、
無端ベルトを回動させるための回動駆動装置とを備えており、
無端ベルトの回動により、板材を無端ベルトの表面の酸処理液に接触させながら搬送するように構成されてなる板材の酸処理装置。A support device for supporting the lower end of the plate material in an upright state,
An endless belt for acid treatment, which is disposed so as to face at least one surface of the plate material and may include an acid treatment liquid on its surface,
An acid treatment liquid supply device for supplying an acid treatment liquid to a surface portion of the endless belt,
A rotation drive device for rotating the endless belt,
An acid treatment device for a plate material configured to convey the plate material while being in contact with an acid treatment liquid on the surface of the endless belt by rotating the endless belt.
上記板材の面に流体圧を作用させることによって該板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイドと、
上記搬送装置の搬送経路の途中に挿入配置された請求項1から8のうちいずれか一の項に記載の酸処理装置と、
上記搬送経路における該酸処理装置の上流側に配設された、板材の面に水を噴霧する噴霧装置とを備えてなる板材の酸処理設備。A transport device that supports and transports the lower end of the plate material in an upright state,
A fluid guide for supporting the plate material in a non-contact manner in a standing state by applying a fluid pressure to the surface of the plate material;
The acid treatment device according to any one of claims 1 to 8, which is inserted and arranged in the middle of a transport path of the transport device,
A plate material acid treatment facility comprising: a spray device that sprays water onto a surface of the plate material, the spray device being disposed upstream of the acid treatment device in the transport path.
上記板材の面に流体圧を作用させることによって該板材を立った状態で非接触で支持する流体ガイドと、
上記搬送装置の搬送経路の途中に挿入配置された請求項1から8のうちいずれか一の項に記載の酸処理装置と、
上記搬送経路における該酸処理装置の下流側に配設された、板材の面に酸処理液を除去するための水を噴射する洗浄装置とを備えてなる板材の酸処理設備。A transport device that supports and transports the lower end of the plate material in an upright state,
A fluid guide for supporting the plate material in a non-contact manner in a standing state by applying a fluid pressure to the surface of the plate material;
The acid treatment device according to any one of claims 1 to 8, which is inserted and arranged in the middle of a transport path of the transport device,
A plate material acid treatment facility comprising: a cleaning device disposed downstream of the acid treatment device on the transport path and spraying water for removing an acid treatment liquid onto a surface of the plate material.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002374150A JP3901635B2 (en) | 2002-12-25 | 2002-12-25 | Acid treatment equipment for plate materials |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002374150A JP3901635B2 (en) | 2002-12-25 | 2002-12-25 | Acid treatment equipment for plate materials |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004203668A true JP2004203668A (en) | 2004-07-22 |
JP3901635B2 JP3901635B2 (en) | 2007-04-04 |
Family
ID=32812252
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002374150A Expired - Lifetime JP3901635B2 (en) | 2002-12-25 | 2002-12-25 | Acid treatment equipment for plate materials |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3901635B2 (en) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010006545A (en) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Ihi Corp | Branch levitation conveyor and substrate levitation conveying system |
US8260028B2 (en) | 2009-10-28 | 2012-09-04 | Corning Incorporated | Off-axis sheet-handling apparatus and technique for transmission-mode measurements |
US8535548B2 (en) | 2010-03-26 | 2013-09-17 | Corning Incorporated | Non-contact etching of moving glass sheets |
JP2014162566A (en) * | 2013-02-21 | 2014-09-08 | Ihi Corp | Substrate conveyance device and substrate conveyance treatment system |
US9032759B2 (en) | 2010-02-17 | 2015-05-19 | Corning Incorporated | Fluid applicator and glass cleaning process |
WO2022202224A1 (en) * | 2021-03-25 | 2022-09-29 | 日本電気硝子株式会社 | Method for manufacturing glass plate |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111135326B (en) * | 2020-02-18 | 2020-11-13 | 聊城高新区量子生物医药产业发展有限公司 | Cleaning and sterilizing treatment method for medical glass sheets |
-
2002
- 2002-12-25 JP JP2002374150A patent/JP3901635B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010006545A (en) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Ihi Corp | Branch levitation conveyor and substrate levitation conveying system |
US8260028B2 (en) | 2009-10-28 | 2012-09-04 | Corning Incorporated | Off-axis sheet-handling apparatus and technique for transmission-mode measurements |
US9032759B2 (en) | 2010-02-17 | 2015-05-19 | Corning Incorporated | Fluid applicator and glass cleaning process |
US8535548B2 (en) | 2010-03-26 | 2013-09-17 | Corning Incorporated | Non-contact etching of moving glass sheets |
US9120700B2 (en) | 2010-03-26 | 2015-09-01 | Corning Incorporated | Non-contact etching of moving glass sheets |
JP2014162566A (en) * | 2013-02-21 | 2014-09-08 | Ihi Corp | Substrate conveyance device and substrate conveyance treatment system |
WO2022202224A1 (en) * | 2021-03-25 | 2022-09-29 | 日本電気硝子株式会社 | Method for manufacturing glass plate |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3901635B2 (en) | 2007-04-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI382882B (en) | Panel washing machine and washing method | |
WO2005077553A1 (en) | Washing apparatus for plate material | |
KR101055247B1 (en) | Substrate processing apparatus and processing method | |
JPH0536658A (en) | Substrate cleaning and drying device | |
JP2003104544A (en) | Wet treatment device for rectangular board | |
JP3901635B2 (en) | Acid treatment equipment for plate materials | |
JP2007184391A (en) | Method and apparatus of conveying substrate | |
JP3611563B2 (en) | Vertical processing line for plate material | |
JP2015231617A (en) | Substrate processing device, substrate processing method, substrate manufacturing apparatus, and substrate manufacturing method | |
JP2000254605A (en) | Cleaning device for flexible substrate | |
TWI344398B (en) | ||
JP4485853B2 (en) | Substrate transfer apparatus and transfer method | |
JP3550277B2 (en) | Substrate processing equipment | |
JP4602567B2 (en) | Substrate cleaning device | |
KR101635550B1 (en) | apparatus for treating substrate | |
JP2006148144A (en) | Cleaning apparatus for plate and draining apparatus thereof | |
JP4620573B2 (en) | Board cleaning equipment and high-pressure liquid spray cleaning equipment | |
JPH09232268A (en) | Substrate treatment device | |
JPH09276773A (en) | Substrate treating device | |
JP2004153033A (en) | Substrate processing apparatus | |
JP2004210511A (en) | Device and method for processing substrate | |
JPH08293660A (en) | Apparatus and method for etching board | |
JP2004315187A (en) | Device and method for automatic transporting dewatering of article, and device and method for automatic cleaning of article | |
JPH08338686A (en) | Board drying method and device thereof | |
JP2002043266A (en) | Substrate processing apparatus and method, liquid cutting mist-knife |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060627 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060825 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061003 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061226 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061226 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3901635 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100112 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110112 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110112 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110112 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110112 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110112 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110112 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120112 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120112 Year of fee payment: 5 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130112 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140112 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |