JP4165263B2

JP4165263B2 - Carrier box automatic cleaning apparatus and automatic cleaning method

Info

Publication number: JP4165263B2
Application number: JP2003075009A
Authority: JP
Inventors: 雅典黛
Original assignee: Shin Etsu Handotai Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Handotai Co Ltd
Priority date: 2003-03-19
Filing date: 2003-03-19
Publication date: 2008-10-15
Anticipated expiration: 2023-03-19
Also published as: JP2004281978A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体シリコンウエーハ等を出荷する際に用いられるウエーハのキャリアボックスに洗浄及び乾燥を行うためのキャリアボックスの自動洗浄装置及び自動洗浄方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
現在、半導体デバイス等に使用される半導体シリコンウエーハは、一般的には、プラスティック製のキャリアボックスに収納されて出荷される。このキャリアボックスは、ボックス本体、上蓋、インナーボックス、リテイナー、ガスケット等の部品（パーツ）から構成され、複数の半導体ウエーハを保持し収納できるようになっている。
【０００３】
近年、半導体デバイスの集積度の向上に伴い、半導体ウエーハ上に付着するパーティクルの大きさ、数量の仕様が厳しくなってきている。しかしながら、上記のような半導体ウエーハを収納するキャリアボックスを繰り返して使用すると、その内外面が汚れてしまい、収納しているウエーハを汚染させるという問題がある。また、プラスティックからの溶出による有機物のウエーハへの付着もウエーハ品質上の問題となってきている。
【０００４】
そこで、上記のようなウエーハの汚染を防止して仕様を満足させるものにするために、ウエーハを収納するキャリアボックスにも非常に清浄なものが求められている。したがって、一般的にキャリアボックスの洗浄を行い、キャリアボックスに付着している塵（パーティクル）や有機物等を除去した後、この洗浄が施されたキャリアボックスにウエーハを充填してウエーハの出荷が行われている。
【０００５】
キャリアボックスを洗浄する方法としては、例えば、特許文献１に開示されているような方法等が用いられている。ここで、キャリアボックスの洗浄方法について簡単に説明する。
先ず、キャリアボックスを上記のようなそれぞれのパーツに分解し、その各パーツに分解されたキャリアボックスに純水による前洗浄を行う。続いて、キャリアボックスに界面活性剤等の薬液を用いた洗浄を行うことによって、付着しているパーティクルや有機物等を除去した後、純水によるリンス（水洗）を十分に行う。
【０００６】
リンスが行われた後、キャリアボックスを十分に乾燥させる。キャリアボックスの乾燥を行う方法としては、リンス後のキャリアボックスを例えばクリーンオーブン内に搬送し、オーブン内を６０℃程度に保持して温風の循環により乾燥を行ったり、あるいはキャリアボックスの乾燥装置としてユニット内に組み込まれた回転機構を用いてキャリアボックスを装置内で回転させるとともに清浄な温風を吹き付ける、いわゆるスピンを利用した方法等を用いることによりキャリアボックスの乾燥が行われる。
【０００７】
このようなキャリアボックスの洗浄方法では、洗浄から乾燥までの処理を行う際に分解したキャリアボックスの各パーツをそれぞれ保持・固定するための専用のバスケットやラック等の固定手段（治具）が必要となる。
また、キャリアボックスの洗浄では、乾燥を行う前に水切りを行うことによって乾燥時間を短縮できることから、リンスが施されたキャリアボックスに加熱した清浄空気（クリーンドライエア、以下、ＣＤＡと略すことがある）を高速で吹き付ける方法等が用いられている。このような水切りの処理を行う場合、高速のＣＤＡ吹き付け等によるキャリアボックスの飛散を防止するためにも、専用のバスケットやラックを用いてキャリアボックスを固定する必要があった。
【０００８】
しかしながら、このように専用のバスケットやラックを用いてキャリアボックスの洗浄を行う場合、キャリアボックスを各パーツに分解した後、それらを専用のバスケットやラックに固定する前準備が必要であり、さらに洗浄・乾燥を行った後にはバスケットやラックからキャリアボックスを取り出し、空のバスケットやラックを洗浄装置の投入側に搬送して再び前準備を開始しなければならないという手間が必要とされた。そのため、キャリアボックスの洗浄・乾燥における処理時間の短縮やスループットの向上が妨げられ、キャリアボックスの大量処理が非常に困難であった。
【０００９】
また、このようなバスケットやラックを使用する洗浄装置は、バスケットやラックの管理を行ったり、さらに種類・形状の異なる被洗浄物（パーツ）に対してそれぞれ専用のバスケットやラックを用いなければならないため、設備コストの面でも負担が大きく問題であった。
【００１０】
【特許文献１】
特開２００１−１５６０３４号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、キャリアボックスの洗浄及び乾燥を、専用のバスケットやラックを用いずに効率的に自動で行うことができ、連続的に大量処理が可能なキャリアボックスの自動洗浄装置及び自動洗浄方法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明によれば、少なくとも、複数の処理室と、搬送ベルト機構とを具備し、前記搬送ベルト機構でキャリアボックスを自動的に搬送しながら前記処理室内でキャリアボックスの洗浄及び乾燥を行うキャリアボックスの自動洗浄装置であって、前記少なくとも１つの処理室内で、前記搬送ベルト機構に載置したキャリアボックスを上方から押さえるとともに、前記搬送ベルト機構の搬送速度と同期させてキャリアボックスを搬送する上部ネット機構を有することを特徴とするキャリアボックスの自動洗浄装置が提供される。
【００１３】
このように、少なくとも１つの処理室内で、搬送ベルト機構に載置したキャリアボックスを上方から押さえるとともに、その搬送ベルト機構の搬送速度と同期させてキャリアボックスを搬送する上部ネット機構を有するキャリアボックスの自動洗浄装置であれば、従来のような専用のバスケットやラックを用いなくても、各パーツに分解されたキャリアボックスを上方から押さえて飛散させず、キャリアボックスの洗浄及び乾燥を簡便にかつ効率的に自動で行うことのできるキャリアボックスの自動洗浄装置とすることができる。さらに、このようなキャリアボックスの自動洗浄装置であれば、キャリアボックスを連続的に装置に投入して自動洗浄を行うことが可能となるため、従来よりもスループットを著しく向上させることができ、連続的に大量処理が可能な自動洗浄装置となる。
【００１４】
このとき、前記上部ネット機構の高さを調節する高さ調節手段が設置されていることが好ましい。
このように本発明のキャリアボックスの自動洗浄装置に高さ調節手段が設置されていれば、各パーツに分解したキャリアボックスの寸法や形状に合わせて上部ネット機構の高さを調節することができるため、様々な寸法や形状を有する被洗浄物に対して一つのラインで洗浄及び乾燥を十分に行うことができる自動洗浄装置とすることができる。
【００１５】
また、本発明の自動洗浄装置では、前記上部ネット機構が、少なくとも、前記キャリアボックスを押さえる押さえネット部と、該押さえネット部の両端に取り付けられた押さえネット駆動チェーンと、該押さえネット駆動チェーンを駆動させる押さえネット駆動ギアとを具備し、前記押さえネット部が網状の構造を有するものであることが好ましく、さらに前記上部ネット機構における押さえネット部の網状の構造が、５０×５０ｍｍ以下の開口寸法（目）を有するものであることが好ましい。
【００１６】
このように、上部ネット機構が押さえネット部と、押さえネット駆動チェーンと、押さえネット駆動ギアとを具備するものであれば、各パーツに分解されたキャリアボックスを上方から押さえてキャリアボックスの飛散を確実に防止できるとともに、その搬送速度を制御して搬送ベルト機構と容易に同期させることができるものとなる。さらに、上部ネット機構の押さえネット部が網状の構造を有し、特にこの押さえネット部の網状の構造が５０×５０ｍｍ以下の開口寸法（目）を有するものであれば、キャリアボックスを上方から確実に押さえることができ、また洗浄を行う際にスプレーやシャワーを利用する場合や、水切りや乾燥を行う際にＣＤＡを吹き付けたりエアーナイフを利用する場合でも、その洗浄効果や乾燥効果、また処理時間等に悪影響を及ぼさずに効果的に洗浄及び乾燥を行うことができる。
【００１７】
また、前記搬送ベルト機構が、少なくとも、前記キャリアボックスを載置する搬送ベルト部と、該搬送ベルト部の両端に取り付けられた搬送ベルト駆動チェーンと、該搬送ベルト駆動チェーンを駆動させる搬送ベルト駆動ギアとを具備し、前記搬送ベルト部が網状の構造を有するものであることが好ましく、さらに前記搬送ベルト機構における搬送ベルト部の網状の構造が、２５×２５ｍｍ以下の開口寸法（目）を有するものであることが好ましい。
【００１８】
このように、搬送ベルト機構が、搬送ベルト部と、搬送ベルト駆動チェーンと、搬送ベルト駆動ギアとを具備するものであれば、キャリアボックスを安定して載置し、搬送することができる。さらに、搬送ベルト機構の搬送ベルト部が網状の構造を有し、特にこの搬送ベルト部の網状の構造が２５×２５ｍｍ以下の開口寸法（目）を有するものであれば、キャリアボックスの搬送も非常に安定しており、また洗浄水等をすばやく滴下することができるのでキャリアボックスの洗浄及び乾燥を、その洗浄効果や乾燥効果、また処理時間等に悪影響を及ぼさずに効果的に行うことができる。
【００１９】
このとき、前記搬送ベルト機構の搬送ベルト部に、キャリアボックスを誘導するためのホールドバーが設けられていることが好ましい。
このように、搬送ベルト部にホールドバーが設けられていれば、キャリアボックスを搬送する際のズレを防止でき、さらにキャリアボックスの次工程への受け渡しや洗浄・乾燥後の送り出し等を円滑に行うことができる自動洗浄装置となる。
【００２０】
さらに、前記上部ネット機構の押さえネット部及び／または搬送ベルト機構の搬送ベルト部が、フッ素樹脂またはフッ素樹脂がコートされたものであることが好ましい。
このように、上部ネット機構の押さえネット部及び／または搬送ベルト機構の搬送ベルト部が、フッ素樹脂またはフッ素樹脂がコートされたものであれば、耐熱性、耐薬品性、耐磨耗性に優れており、また優れた清浄度を維持できるので、キャリアボックスを汚染させずに押さえネット部で上方から押さえたり、搬送ベルト部上に載置することができる。さらに、上記のような材質のものであれば、押さえネット部や搬送ベルト部に滑りを持たせることができ、被洗浄物への引っかかりを防止して、搬送を円滑に行うことができる。
【００２１】
また、本発明の自動洗浄装置では、前記処理室のキャリアボックスの出入口にシャッターが設けられていることが好ましい。
このように、処理室のキャリアボックスの出入口にシャッターが設けられていれば、処理室内の雰囲気を外部と遮断することができるし、また外部からの処理室内の汚染も防止できる。
【００２２】
加えて、前記キャリアボックスを次工程へ搬送するための、前記搬送ベルト機構の間でキャリアボックスの受け渡しを行う受け渡しステージまたは受け渡しベルトが設置されていることが好ましい。
このように、本発明の自動洗浄装置に受け渡しステージまたは受け渡しベルトが設置されていれば、キャリアボックスを次工程へ搬送するための搬送ベルト機構間でのキャリアボックスの受け渡しを円滑に行うことができ、洗浄から乾燥までの処理を円滑に進めることのできる装置となる。
【００２３】
また、本発明によれば、少なくとも、処理室と、搬送ベルト機構とを具備し、前記搬送ベルト機構でキャリアボックスを搬送しながら前記処理室内でキャリアボックスの洗浄または乾燥の処理を行うキャリアボックスの処理装置であって、前記処理室内で、前記搬送ベルト機構に載置したキャリアボックスを上方から押さえるとともに、前記搬送ベルト機構の搬送速度と同期させてキャリアボックスを搬送する上部ネット機構を有することを特徴とするキャリアボックスの処理装置を提供することができる。
【００２４】
このように、処理室内で、搬送ベルト機構に載置したキャリアボックスを上方から押さえるとともに、その搬送ベルト機構の搬送速度と同期させてキャリアボックスを搬送する上部ネット機構を有するキャリアボックスの処理装置であれば、被処理物がどのような形状であっても、専用のバスケットやラックを用いずに洗浄または乾燥の処理を被処理物の飛散を防止して簡便かつ効率的に行うことができる処理装置とすることができる。さらに、このようなキャリアボックスの処理装置であれば、キャリアボックスを連続的に処理することが可能となるため、スループットの向上を図ることができる。そして、本発明の処理装置は、複数の処理を連続して自動で行う場合に限られず、単独の工程に用いても良い。
【００２５】
このとき、前記処理室内で、キャリアボックスの前洗浄、界面活性剤洗浄、リンス、水切り、乾燥のいずれかの処理が行われるものとすることができる。
このように、本発明のキャリアボックスの処理装置は、キャリアボックスの前洗浄、界面活性剤洗浄、リンス、水切り、乾燥のいずれの処理を行う場合にも使用することができ、キャリアボックスの飛散を防止して簡便かつ効率的にキャリアボックスの処理を行うことができる。
【００２６】
さらに、本発明によれば、キャリアボックスを搬送ベルト機構で自動的に搬送しながら、前記キャリアボックスに少なくとも前洗浄、界面活性剤洗浄、リンス、水切り、乾燥を行ってキャリアボックスの洗浄及び乾燥を行うキャリアボックスの自動洗浄方法において、少なくとも前記キャリアボックスに前記水切り及び乾燥を行う際に、上部ネット機構を用いてキャリアボックスを上方から押さえつつ、該上部ネット機構と前記搬送ベルト機構との搬送速度を同期させてキャリアボックスを搬送することを特徴とするキャリアボックスの自動洗浄方法が提供される。
【００２７】
このように、少なくともキャリアボックスに水切り及び乾燥を行う際に、上部ネット機構を用いてキャリアボックスを上方から押さえつつ、上部ネット機構と搬送ベルト機構との搬送速度を同期させてキャリアボックスを搬送しながら、キャリアボックスに洗浄及び乾燥を行うことによって、キャリアボックスを分解した各パーツが様々な寸法及び形状を有していても、専用のバスケットやラックを用いずにキャリアボックスの飛散を防止できるので、キャリアボックスの洗浄及び乾燥を容易にかつ効率的に自動で行うことができる。さらに、このようなキャリアボックスの自動洗浄方法であれば、キャリアボックスの洗浄及び乾燥を連続的に行うことができるため、スループットを著しく向上させて、キャリアボックスの処理量の大幅な増加を図ることができる。
【００２８】
さらに、前記キャリアボックスに前記前洗浄、界面活性剤洗浄、リンスのうちの少なくとも１つを行う際にも、前記上部ネット機構を用いてキャリアボックスを上方から押さえつつ、該上部ネット機構と前記搬送ベルト機構との搬送速度を同期させてキャリアボックスを搬送することが好ましい。
このように、前洗浄、界面活性剤洗浄、リンスのうちの少なくとも１つを行う際にも上部ネット機構を用いてキャリアボックスを上方から押さえつつ、上部ネット機構と搬送ベルト機構との搬送速度を同期させてキャリアボックスを搬送することによって、これらの処理工程においてもキャリアボックスが飛散するのを確実に防止して、効率的にキャリアボックスの処理を行うことができる。
【００２９】
このとき、前記キャリアボックスの寸法及び形状に合わせて、前記上部ネット機構の高さを調節することが好ましい。
このようにキャリアボックスの寸法及び形状に合わせて上部ネット機構の高さを調節することによって、様々な寸法や形状を有する各パーツに分解されたキャリアボックスを飛散させずに洗浄及び乾燥を十分に施すことができる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について実施の形態を説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
本発明者等は、キャリアボックスの洗浄を行う際に、各パーツに分解されたキャリアボックスを保持・固定する専用のバスケットやラックを用いずに、キャリアボックスを自動的に搬送しながら洗浄及び乾燥を行うことのできる自動洗浄装置について、鋭意実験及び検討を重ねた。その結果、キャリアボックスの処理が行われる処理室内で、キャリアボックスを上方から押さえるとともに、キャリアボックスを載置する搬送ベルト機構の搬送速度に同期させてキャリアボックスを搬送できるフレキシビリティーを持った上部ネット機構を有するキャリアボックスの自動洗浄装置であれば、バスケットやラックを用いなくてもキャリアボックスの飛散を防止して、キャリアボックスの洗浄及び乾燥を簡便にかつ効率的に自動で行うことができること、さらにスループットを著しく向上させて、大量処理が可能となることを見出し、本発明を完成させた。
【００３１】
先ず、本発明に係るキャリアボックスの自動洗浄装置について、図面を参照しながら説明するが、本発明はこれらに何ら限定されるものではない。図１は、本発明のキャリアボックスの自動洗浄装置の一例を示す概略説明図である。
本発明のキャリアボックスの自動洗浄装置１は、例えば前洗浄、界面活性剤洗浄、リンス、水切り、乾燥等の処理を行う複数の処理室２（２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅ）と、各パーツに分解されたキャリアボックス３を載置する搬送ベルト機構４を具備し、さらに処理室２ｄ及び２ｅ内で搬送ベルト機構４に載置しているキャリアボックス３を上方から押さえるとともに、搬送ベルト機構４の搬送速度と同期させてキャリアボックス３を搬送する上部ネット機構５を有している。
【００３２】
このような自動洗浄装置１において、上部ネット機構５は、図３に示すように、柔軟性を有しキャリアボックスを上方から押さえる押さえネット部７と、押さえネット部７の両端に取り付けられた押さえネット駆動チェーン８と、押さえネット駆動チェーン８を駆動させる押さえネット駆動ギア９とを具備している。この押さえネット部７は細線径の網状の構造を有しており、その網状の構造が、例えば図５（ａ）に拡大図を示すように、５０×５０ｍｍ以下の開口寸法（目）を有している。この押さえネット部７の網状の構造における目の大きさは、キャリアボックスの寸法を考慮して調整すれば良いので特に限定されないが、５０×５０ｍｍ以下であれば、キャリアボックスの種々の寸法や形状を有する部材を上方から安定して押さえることができる。また一方、押さえネット駆動チェーン８は、例えば５０ｍｍ程度の幅を有するものであれば良く、また各コマ２７をピン２８で連結して構成することができる。
【００３３】
このとき、押さえネット部７は、フッ素樹脂またはフッ素樹脂がコートされたものであることが好ましく、例えば押さえネット駆動チェーン８の駆動方向に垂直な方向の押さえネット部７の材質（Ａ材）には細いステンレス棒にＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）をコートしたものを用い、また駆動チェーン８の駆動方向に平行な方向の押さえネット部７の材質（Ｂ材）にはステンレスワイヤーにＰＴＦＥをコートしたものを用いることができる。押さえネット部７がこのような材質からなるものであれば、優れた清浄度を維持できるだけでなく、耐熱性、耐薬品性、耐磨耗性に優れ、さらに押さえネット部に滑りを持たせることができるので、被洗浄物への引っかかりを防止して円滑に搬送することができる。このような押さえネット部７において、Ａ材とＢ材との接合部１５を例えば図５（ｂ）に示したように形成することによって、押さえネット部７のキャリアボックスと接触する面を平坦にできる。
【００３４】
また、本発明の自動洗浄装置１において、搬送ベルト機構４は、図４に示すように、キャリアボックスを載置する搬送ベルト部１０と、搬送ベルト部１０の両端に取り付けられた搬送ベルト駆動チェーン１１と、搬送ベルト駆動チェーン１１を駆動させる搬送ベルト駆動ギア１２とを具備している。この搬送ベルト部１０は細線径の網状の構造を有しており、その網状の構造が、例えば図６に拡大図を示すように、２５×２５ｍｍ以下の開口寸法（目）を有している。網状の構造における目の大きさは、キャリアボックスの寸法や重量を考慮して調整すれば良いので特に限定されないが、上記のように搬送ベルト部１０の網状の構造が２５×２５ｍｍ以下の目を有していることにより耐荷重性が増し、キャリアボックスを安定して載置して搬送することができる。また、搬送ベルト駆動チェーン１１は、例えば５０ｍｍ程度の幅を有し、各コマ３７をピン３８で連結して構成することができる。
【００３５】
このとき、搬送ベルト部１０もフッ素樹脂またはフッ素樹脂がコートされたものであることが好ましく、例えば上記の押さえネット部７と同様に、Ａ材には細いステンレス棒にＰＴＦＥをコートしたものを用い、またＢ材にはステンレスワイヤーにＰＴＦＥをコートしたものを用いることによって、上記押さえネット部７と同様の効果を得ることができる。さらに、搬送ベルト部１０のＡ材とＢ材との接合部についても図５（ｂ）と同様に形成することによって、搬送ベルト部１０のキャリアボックスと接触する面を平坦にできる。
【００３６】
また、このような上部ネット機構５及び搬送ベルト機構４において、押さえネット駆動チェーン８の内側及び搬送ベルト駆動チェーン１１の内面には、それぞれの駆動ギア９及び１２との噛み合わせを容易にするために、例えば図５に示すような内周歯１３、または図６に示すようなギヤ溝１４が形成されている。このように押さえネット駆動チェーン８及び搬送ベルト駆動チェーン１１の内面に、内周歯１３またはギヤ溝１４が形成されていれば、押さえネット駆動ギア９及び搬送ベルト駆動ギア１２の駆動力を確実に駆動チェーンに伝えることができるし、またそれぞれの駆動ギアでその駆動力の大きさを制御することによって、上部ネット機構５及び搬送ベルト機構４のそれぞれの搬送速度を調節して、容易に同期させることができる。このような駆動チェーン及び駆動ギアは、強化プラスチックやクリーン塩ビなどの塩化ビニル樹脂製とすることで、発塵や金属汚染を防止することができる。
【００３７】
さらに、搬送ベルト機構４には、図６に示すように、搬送ベルト部１０にキャリアボックスを誘導するためのホールドバー１６が設けられていることが好ましい。例えば、シリコンラバー等の材質からなるホールドバーを搬送ベルト部１０のＡ材上に３００ｍｍ間隔で設置していれば、キャリアボックスを搬送ベルト機構４に載置して搬送する際にキャリアボックスのズレを防止でき、さらにキャリアボックスを次工程へ搬送するための受け渡しや、乾燥を行った後の送り出し等を円滑に行うことが可能となる。
【００３８】
また、搬送ベルト機構４にホールドバー１６が設けられている場合、図７に示すように、ホールドバー１６の上面は櫛状に形成されていることが望ましい。このような形状を有するホールドバーであれば、例えば図８に示したように、キャリアボックス３を次工程へ受け渡したり、また最終的に送り出す際に、搬送ベルト機構間でホールドバー１６同士がぶつかり合わずにキャリアボックス３の搬送を行うことができる。
【００３９】
さらに、搬送ベルト機構間でキャリアボックスの受け渡しを行う場合や、乾燥後キャリアボックスの送り出しを行う場合、あるいはキャリアボックスをこの洗浄工程に受け入れる場合、例えば図９に示すように搬送ベルト機構間に、被洗浄物より幅の広い受け渡しステージ１７を設置したり、または図１０に示すように受け渡しベルト１８を用いることによって、キャリアボックス３の次工程への受け渡し、送り出し、あるいは受け入れを一層円滑に行うことができる。尚、搬送ベルト機構間に受け渡しベルト１８を用いる場合は、搬送ベルト部１０を網状の構造とせずに、図１０のように搬送ベルト駆動チェーン１１の駆動方向に平行なＢ材のみで搬送ベルト部１０を構成するようにする。
【００４０】
本発明のキャリアボックスの自動洗浄装置１では、上部ネット機構の高さを調節する高さ調節手段が設置されていることが好ましい。例えば図１１に示すように、高さ調節手段２６としては、上部ネット機構５の押さえネット駆動ギア９に駆動力を与えるモーター１９を、バネ（またはダンパー）２３を介して保持具２０で保持し、この保持具２０の外面に等間隔で歯２１を取り付けて上下調節回転ギア２２に噛み合わせる。そして、この上下調節回転ギア２２を回転させることによって、上部ネット機構５の高さを容易に調節することができる。
また、上下調節回転ギア２２にモータを取り付け、物品各々の高さの記憶と、記憶させた高さへのモータ回転数制御ができるコントローラーシステム５０を設置すれば、さらに簡便に搬送を行うことができる。
【００４１】
本発明のキャリアボックスの自動洗浄装置にこのような高さ調節手段２６が設置されていれば、キャリアボックスの寸法や形状に合わせて上部ネット機構の高さを調節することができるため、様々な寸法や形状を有し、大幅に外寸が異なる被洗浄物であっても、同じ洗浄ラインを用いて被洗浄物の飛散を確実に防止しつつ洗浄及び乾燥を十分に行うことができる自動洗浄装置とすることができる。
【００４２】
また、このような高さ調節手段２６によって上部ネット機構５の高さを調節する場合、例えば保持具２０と上下調節回転ギア２２の接触部等から塵が発生することが考えられるので、高さ調整手段２６の周りに外枠２４を配置し、外枠２４内で発生した塵を強制排気できるように排出口２５を形成することが好ましい。このような発塵対策を施しておくことによって、上部ネット機構の高さを調節する場合でも処理室内に塵が入り込むことを防止でき、処理室内を優れた洗浄度に維持することができる。もちろん、高さ調節手段がない場合であっても、駆動ギア、駆動チェーン等は囲って、磨耗等により発生し得る塵等を強制排気するのが好ましい。
同様に、搬送ベルト機構４についても、駆動ギア、駆動チェーン等の駆動エリアを、物品が搬送されるエリアと隔離し、駆動系エリアを強制排気することによって物品搬送エリアを高い清浄度に保持できる構造とすることが好ましい。
【００４３】
さらに、本発明の自動洗浄装置１の処理室２には、キャリアボックスの出入口にシャッター４０が設けられていることが好ましく、それによって処理室２内の雰囲気を外部と遮断することができるし、また外部からの処理室内の汚染も防止できる。尚、シャッターは前洗浄から乾燥までの各処理室に設置することもできるし、また必要な処理室のみに設置しても良い。
【００４４】
次に、本発明のキャリアボックスの自動洗浄方法について、図１に示したキャリアボックスの自動洗浄装置１を参照しながら詳細に説明する。
本発明のキャリアボックスの自動洗浄方法は、各パーツに分解されたキャリアボックス３を搬送ベルト機構４上に載置して自動的に搬送しながら、キャリアボックス４に処理室２内で、例えば前洗浄（処理室２ａ）、界面活性剤洗浄（処理室２ｂ）、リンス（処理室２ｃ）を行った後、少なくとも水切り（処理室２ｄ）及び乾燥（処理室２ｅ）を行う際に、上部ネット機構５を用いてキャリアボックス３を上方から押さえつつ、この上部ネット機構５と搬送ベルト機構４との搬送速度を同期させてキャリアボックス３を搬送することによって、キャリアボックス３に自動的に洗浄及び乾燥を行うものである。
【００４５】
以下、本発明のキャリアボックスの自動洗浄方法について、各処理ごとに具体的に説明する。
先ず、キャリアボックスは、前述のようにボックス本体、上蓋、インナーボックス、リテイナー、ガスケット等のパーツに分解されて、搬送ベルト機構４の搬送ベルト部上に載置される。このとき、搬送ベルト機構には上述のようにホールドバーが設けられているので、搬送ベルト機構上に載置したキャリアボックスのズレを防止して搬送を行うことができ、また処理室２ａの搬送ベルト機構へのキャリアボックスの受け渡しも円滑に行うことができる。尚、以下で説明する前洗浄から乾燥までの各処理を行う処理室２ａ〜２ｅ内の搬送ベルト機構４にも同様にホールドバーが設けられており、キャリアボックスの搬送及び次工程への受け渡しを円滑に行うことができる。
【００４６】
次に、各パーツに分解されたキャリアボックスは処理室２ａ内へ搬送され、キャリアボックスに加温した純水（温水）をスプレーまたはシャワーにより吹き付けることによって、キャリアボックスの前洗浄を行う。このとき、キャリアボックスを載置している搬送ベルト機構４の搬送ベルト部１０は細線径の網状の構造を有しているので、キャリアボックス３の保持されている面にも純水を吹き付けることができ、キャリアボックス全体に均一にかつ効率的に前洗浄を施すことができる。尚、この様な効果は、以下に説明する界面活性剤洗浄やリンスを行う際にも同様に得られる。また、この前洗浄では、キャリアボックスに吹き付ける純水にあまり高純度のものを用いる必要がないため、例えばその後処理室２ｃで行われるリンス処理で用いられた水をフィルター６を介して浄化し、その浄化した再生水を前洗浄で使用するようにしても良い。
【００４７】
この前洗浄が行われたキャリアボックスは、次に処理室２ｂに搬送されて界面活性剤洗浄が行われる。界面活性剤洗浄は、市販の商品名クリンスルー（花王株式会社製）等の界面活性剤を０．１％程度含有する洗浄溶液を加温し、上記前洗浄と同様にスプレーまたはシャワーによりキャリアボックスに吹き付けることによって行うことができる。この洗浄溶液は、処理室２ｂ内でフィルター等を介して循環して再生利用することができ、また洗浄の繰返しにより減少した洗浄溶液を自動補給することで、連続的に搬送されてくるキャリアボックスに界面活性剤洗浄を繰り返し行うことができる。このようにしてキャリアボックスに界面活性剤洗浄を行うことによって、キャリアボックスに付着していたパーティクルや有機物等を除去することができる。
【００４８】
界面活性剤洗浄後、キャリアボックスは処理室２ｃに搬送されてリンスが行われる。このリンス処理は、高純度の純水を加温し、スプレーまたはシャワーによりキャリアボックスに吹き付けることによって行われる。また、リンス処理は、必要に応じて２段階あるいは３段階で行われ、キャリアボックス表面に付着している界面活性剤を完全に除去するようにする。尚、このリンス処理で用いた純水は、前述のようにフィルターで浄化して前洗浄に供給されるが、リンス処理を２段階以上で行う場合では、２段目以降のリンス処理で用いた純水が１段目よりも純度が高いため、この２段目以降の純水をフィルターで浄化して前洗浄に供給することが好ましい。
【００４９】
リンス処理後、処理室２ｄでキャリアボックスの水切りが行われる。水切りの方法としては、例えば高速のクリーンドライエア（ＣＤＡ）を３０〜１００℃程度に加温して（または常温のままでも良い）キャリアボックスに吹き付けるＣＤＡブローや、加圧した空気を利用するエアーナイフ等を用いることによって、キャリアボックスに水切りを行うことができる。
【００５０】
このとき、処理室２ｄ内では、柔軟性のある上部ネット機構５を用いてキャリアボックスを上方から押さえつつ、この上部ネット機構５と搬送ベルト機構４の搬送速度を同期させてキャリアボックスを安定して搬送しながら、キャリアボックスの水切りが行われる。このように上部ネット機構５を用いて水切りを行うことによって、従来のようにバスケットやラックを用いなくても、ＣＤＡブローやエアーナイフ等によるキャリアボックスの飛散を確実に防止して水切りを行うことができる。
【００５１】
このとき、本発明の自動洗浄装置には、上部ネット機構の高さを調節する高さ調節手段が設置されているので、被洗浄物の寸法及び形状に合わせて上部ネット機構の高さを容易に調節することができる。それによって、様々な形状・寸法を有する各パーツに分解されたキャリアボックスでも確実に上方から押さえて飛散を防止して水切りを行うことができる。
【００５２】
また、上部ネット機構及び搬送ベルト機構は、前述のように細線径の網状の構造を有しているため、ＣＤＡブローやエアーナイフ等によってキャリアボックスの全体に空気を吹き付けることができ、水切りを短時間で効率的に行うことができる。また、キャリアボックスに吹き付けられた空気は、例えばＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ、またはケミカルフィルタ等に通して処理室２ｄ内で循環させて、その７０％程度を再利用するようにすることで、コストの低減を図ることができる。
【００５３】
さらに、この水切りを行う際に、図１１に示す高さ調節手段２６のバネ２３等を利用してキャリアボックスに振動を与えながら水切りしたり、また搬送ベルト機構及び上部ネット機構に傾斜や段差を付けておいてキャリアボックスの搬送を行うことによって、キャリアボックスの水切りを効率的に行うことができ、水切り及び後続する乾燥工程の処理時間を短縮できる。
【００５４】
このようにして水切りを行った後、キャリアボックスは処理室２ｅに搬送されて乾燥が行われる。例えば、処理室２ｅ内を高温・減圧雰囲気とし、加温したＣＤＡをキャリアボックスに吹き付けることによって、キャリアボックスの乾燥を行うことができる。そしてその後、キャリアボックスはストック部へ送り出される。
【００５５】
このキャリアボックスの乾燥を行う際にも、上部ネット機構５を用いてキャリアボックスを上方から押さえつつ、この上部ネット機構５と搬送ベルト機構４の搬送速度を同期させてキャリアボックスを搬送させることによって、キャリアボックスの飛散を防止して効率的に乾燥を行うことができる。この場合も、高さ調節手段を用いることによって、上部ネット機構５の高さを被洗浄物の寸法及び形状に合わせて調節できる。また、キャリアボックスに吹き付けられた空気は、上記水切りのときと同様に、ＨＥＰＡフィルタ等を介して循環させることによって７０％程度を再利用することもできる。
【００５６】
さらに、上記のような水切り及び乾燥をキャリアボックスに行う前に、リンスが行われたキャリアボックスに予めアルコールのような揮発性の溶液をスプレー等で吹き付けてキャリアボックスに付着している水滴を揮発性溶液で置換することによって、水切り及び乾燥の処理時間を大幅に短縮することができる。
【００５７】
以上のようにしてキャリアボックスに洗浄及び乾燥を行うことによって、各パーツに分解されたキャリアボックスが様々な寸法や形状を有していても、専用のバスケットやラックを用いずにキャリアボックスの飛散を防止でき、キャリアボックスの洗浄及び乾燥を容易にかつ効率的に自動で行うことができる。さらに、このようなキャリアボックスの自動洗浄方法であれば、キャリアボックスの洗浄及び乾燥を例えば一つのラインで連続的に行うことができるため、スループットが著しく向上し、キャリアボックスの処理量の大幅な増加を図ることができる。更に、異なるサイズのウエーハを収容するための大きさが全く異なるキャリアボックスの洗浄であっても、同じラインで洗浄することも可能である。また、スプレーまたはシャワーによる洗浄とＣＤＡブローやエアーナイフ等による水切り、乾燥を組み合わせているので、処理時間の短縮が可能となるばかりでなく、各工程における搬送距離を短くすることができるので、装置全体を比較的コンパクトに設計することができる。
【００５８】
尚、上述したキャリアボックスの自動洗浄方法では、水切り及び乾燥を行う際に上部ネット機構を用いた場合を例として説明しているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、キャリアボックスに前洗浄、界面活性剤洗浄、リンスのうちの少なくとも１つを行う際にも、上部ネット機構を用いてキャリアボックスを上方から押さえつつ、上部ネット機構と搬送ベルト機構との搬送速度を同期させてキャリアボックスを搬送することができる。
【００５９】
例えば図２に示すように、前洗浄から乾燥までの各処理室に上部ネット機構を設置し、全ての処理においてキャリアボックスを上方から押さえつつ搬送することによって、例えば前洗浄、界面活性剤洗浄、リンスを行う際にジェットノズル等により純水や洗浄溶液を高速で噴射する場合でも、キャリアボックスが飛散するのを確実に防止して、上記全ての処理を効率的に行うことができる。
【００６０】
さらに、このように全ての処理において上部ネット機構と搬送ベルト機構とを用いてキャリアボックスを搬送する場合、前洗浄から乾燥までの処理を一続きになった一つの上部ネット機構及び／または搬送ベルト機構を用いて行うことも可能である。このように一続きの上部ネット機構及び／または搬送ベルト機構を用いることにより、キャリアボックスの洗浄・乾燥を行うだけでなく、上部ネット機構や搬送ベルト機構自体の洗浄も同時に行うことができる。したがって、洗浄装置が常に優れた清浄度を維持できるとともに、洗浄装置のメンテナンスも容易となる。
【００６１】
さらに本発明は、処理室内でキャリアボックスの前洗浄、界面活性剤洗浄、リンス、水切り、または乾燥等が行われるそれぞれの処理装置のみの単独の工程に適用することもできる。すなわち、連続していない洗浄または乾燥等の処理が行われる処理装置に、処理条件等に応じて上部ネット機構を設置することによって、様々な形状や寸法を有する被処理物に対して専用の固定手段を用いなくても被処理物の飛散を確実に防止して効率的に処理を行うことができる。
【００６２】
【実施例】
以下、実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
（実施例）
図１に示したキャリアボックスの自動洗浄装置１を用いて、直径２００ｍｍのシリコンウエーハを収納できるキャリアボックスを連続的に投入してキャリアボックスの洗浄を行った。
先ず、各パーツに分解されたキャリアボックスを搬送ベルト機構上に載置し、処理室２ａに搬送して、処理室２ａ内で加温した純水をスプレーにより吹き付けることによって、キャリアボックスの前洗浄を行った。次に、前洗浄が行われたキャリアボックスを処理室２ｂ、２ｃへ順番に搬送して、界面活性剤として商品名クリンスルー（花王株式会社製）を０．１％含有する加温した洗浄溶液による界面活性剤洗浄、及び純水による２段階のリンスを行った。
【００６３】
その後、キャリアボックスは処理室２ｄへと搬送され、処理室２ｄ内で上部ネット機構を用いてキャリアボックスを上方から押さえつつ搬送しながら、７０℃に加温したＣＤＡをキャリアボックスの全面に吹き付けて、キャリアボックスの水切りを行った。尚、このとき部品ごとに大きさが異なるため、寸法に応じて高さ調節手段により上部ネット機構の高さを調整した。
水切り後、処理室２ｅ内で上部ネット機構を用いてキャリアボックスを上方から押さえながら、高温・減圧雰囲気下で加温したＣＤＡをキャリアボックスに吹き付けることによって、キャリアボックスの乾燥を行った。
【００６４】
以上のようなキャリアボックスの自動洗浄を５時間連続して行い、１時間当たりのキャリアボックスの処理数を求めた。その結果、本発明の自動洗浄装置のスループットは、約１００個／ｈであることがわかった。また処理中、キャリアボックスが吹き飛ばされたり、落下するといった問題は全く生じなかった。
【００６５】
（比較例）
比較例として、キャリアボックスを分解した各パーツを保持・固定する専用のラックを用いて、直径２００ｍｍのシリコンウエーハを収納できるキャリアボックスの洗浄を市販のキャリアボックス洗浄装置を用いて行った。
先ず、各パーツに分解されたキャリアボックスを専用のラックに固定した後、ラックを搬送ベルト機構に載置した。続いて、搬送ベルト機構によってキャリアボックスを前洗浄処理室、界面活性剤洗浄処理室、リンス処理室へ順番に搬送し、それぞれ上記実施例と同様の前洗浄、界面活性剤洗浄、リンスを行った。
【００６６】
次に、キャリアボックスは水切り処理室に搬送され、７０℃に加温したＣＤＡを吹き付けてキャリアボックスの水切りが行われ、その後、キャリアボックスを乾燥処理室へ搬送し、高温・減圧雰囲気下で加温したＣＤＡをキャリアボックスに吹き付けることによって、キャリアボックスの乾燥を行った。
乾燥後、専用のラックからキャリアボックスを取り出し、空のラックを洗浄装置の投入側に搬送した。その後、再び各パーツに分解された次のキャリアボックスをラックに固定し、洗浄・乾燥を行った。
【００６７】
以上のようなキャリアボックスの洗浄・乾燥を５時間行い、１時間当たりのキャリアボックスの処理数を求めた。その結果、比較例における洗浄装置のスループットは、２０個／ｈであることがわかった。
【００６８】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００６９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、専用のバスケットやラックを用いなくてもキャリアボックスの飛散を防止して、キャリアボックスの洗浄及び乾燥を容易にかつ効率的に自動で行うことができる。さらに、キャリアボックスの洗浄及び乾燥を連続的に行うことができるため、スループットが著しく向上し、キャリアボックスの処理量の大幅な増加を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のキャリアボックスの自動洗浄装置の一例を示す概略説明図である。
【図２】本発明のキャリアボックスの自動洗浄装置の別の例を示す概略説明図である。
【図３】（ａ）は、上部ネット機構の概略断面図であり、（ｂ）は、上部ネット機構の概略平面図である。
【図４】（ａ）は、搬送ベルト機構の概略断面図であり、（ｂ）は、搬送ベルト機構の概略平面図である。
【図５】（ａ）は、上部ネット機構を拡大した説明図であり、（ｂ）は、Ａ材とＢ材の接合部をさらに拡大した説明図である。
【図６】搬送ベルト機構を拡大した説明図である。
【図７】ホールドバーの形状を説明する概略説明図である。
【図８】搬送ベルト機構間においてキャリアボックスの受け渡しを説明する概略説明図である。
【図９】搬送ベルト機構間において受け渡しステージを用いたキャリアボックスの受け渡しを説明する概略説明図である。
【図１０】搬送ベルト機構間において受け渡しベルトを用いたキャリアボックスの受け渡しを説明する概略説明図である。
【図１１】高さ調節手段の構成例を示す概略構成図である。
【符号の説明】
１…キャリアボックスの自動洗浄装置、２…処理室、
３…キャリアボックス、４…搬送ベルト機構、
５…上部ネット機構、６…フィルター、
７…押さえネット部、８…押さえネット駆動チェーン、
９…押さえネット駆動ギア、１０…搬送ベルト部、
１１…搬送ベルト駆動チェーン、１２…搬送ベルト駆動ギア、
１３…内周歯、１４…ギヤ溝、１５…接合部、
１６…ホールドバー、１７…受け渡しステージ、
１８…受け渡しベルト、１９…モーター、
２０…保持具、２１…歯、
２２…上下調節回転ギア、２３…バネ、
２４…外枠、２５…排出口、２６…高さ調節手段、
２７、３７…コマ、２８、３８…ピン、４０…シャッター、
５０…コントローラーシステム。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an automatic carrier box cleaning apparatus and an automatic cleaning method for cleaning and drying a wafer carrier box used when shipping a semiconductor silicon wafer or the like.
[0002]
[Prior art]
Currently, semiconductor silicon wafers used for semiconductor devices and the like are generally shipped in a plastic carrier box. This carrier box is composed of parts (parts) such as a box body, an upper lid, an inner box, a retainer, and a gasket, and can hold and store a plurality of semiconductor wafers.
[0003]
In recent years, with the increase in the degree of integration of semiconductor devices, the specification of the size and quantity of particles adhering to a semiconductor wafer has become strict. However, when a carrier box for storing a semiconductor wafer as described above is used repeatedly, the inner and outer surfaces thereof become dirty, and there is a problem that the stored wafer is contaminated. In addition, adhesion of organic substances to the wafer due to elution from the plastic has also become a problem in wafer quality.
[0004]
Therefore, in order to prevent the contamination of the wafer as described above and satisfy the specifications, a very clean carrier box for storing the wafer is also required. Therefore, the carrier box is generally cleaned to remove dust (particles) and organic matter adhering to the carrier box, and then the wafer is filled into the cleaned carrier box and shipped. It has been broken.
[0005]
As a method for cleaning the carrier box, for example, a method as disclosed in Patent Document 1 is used. Here, a method for cleaning the carrier box will be briefly described.
First, the carrier box is disassembled into the above parts, and the carrier box disassembled into the parts is pre-cleaned with pure water. Subsequently, the carrier box is washed with a chemical solution such as a surfactant to remove adhered particles, organic substances, etc., and then rinsed with pure water (washed with water) is sufficiently performed.
[0006]
After rinsing, the carrier box is thoroughly dried. As a method of drying the carrier box, the carrier box after rinsing is transported into, for example, a clean oven, and the oven is dried at a temperature of about 60 ° C. by circulating hot air, or a carrier box drying device The carrier box is dried by using a so-called spin method or the like in which the carrier box is rotated in the apparatus using a rotation mechanism incorporated in the unit and clean hot air is blown.
[0007]
Such a carrier box cleaning method requires fixing means (jigs) such as a dedicated basket or rack for holding and fixing each part of the carrier box that has been disassembled during the processing from cleaning to drying. It becomes.
In the cleaning of the carrier box, since the drying time can be shortened by draining before drying, clean air heated to the rinsed carrier box (clean dry air, hereinafter abbreviated as CDA) The method etc. which spray this at high speed are used. When performing such a draining process, it is necessary to fix the carrier box using a dedicated basket or rack in order to prevent the carrier box from scattering due to high-speed CDA spraying or the like.
[0008]
However, when cleaning a carrier box using a dedicated basket or rack in this way, after disassembling the carrier box into parts, it is necessary to prepare for fixing them to the dedicated basket or rack.・ After drying, it was necessary to take out the carrier box from the basket or rack, transport the empty basket or rack to the input side of the cleaning device, and start preparations again. For this reason, shortening of processing time and improvement of throughput in cleaning and drying of the carrier box are hindered, and mass processing of the carrier box is very difficult.
[0009]
In addition, such a cleaning device that uses a basket or rack must manage the basket or rack, and must use a dedicated basket or rack for the object to be cleaned (parts) of different types and shapes. Therefore, the burden on the equipment cost was also a big problem.
[0010]
[Patent Document 1]
JP 2001-156034 A
[0011]
[Problems to be solved by the invention]
Therefore, the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to efficiently and automatically perform cleaning and drying of a carrier box without using a dedicated basket or rack. Another object of the present invention is to provide a carrier box automatic cleaning apparatus and an automatic cleaning method capable of continuous mass processing.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
  To achieve the above object, according to the present invention, at least a plurality of processing chambers and a transport belt mechanism are provided, and the carrier box is automatically transported by the transport belt mechanism in the processing chamber. A carrier box automatic cleaning device for cleaning and drying the carrier box, wherein the carrier box placed on the transport belt mechanism is pressed from above in the at least one processing chamber and synchronized with the transport speed of the transport belt mechanism. And an automatic carrier box cleaning device having an upper net mechanism for conveying the carrier box..
[0013]
Thus, in at least one processing chamber, the carrier box placed on the transport belt mechanism is pressed from above, and the carrier box having the upper net mechanism that transports the carrier box in synchronization with the transport speed of the transport belt mechanism. If it is an automatic cleaning device, it is easy and efficient to clean and dry the carrier box without holding the carrier box disassembled into individual parts from above, without using a dedicated basket or rack. Thus, the carrier box automatic cleaning device can be automatically performed. Furthermore, with such an automatic carrier box cleaning device, it is possible to perform automatic cleaning by continuously charging the carrier box into the device, so that the throughput can be significantly improved compared to the conventional case. Therefore, it becomes an automatic cleaning device capable of processing a large amount.
[0014]
  At this time, it is preferable that a height adjusting means for adjusting the height of the upper net mechanism is installed..
  Thus, if the height adjusting means is installed in the carrier box automatic cleaning device of the present invention, the height of the upper net mechanism can be adjusted in accordance with the size and shape of the carrier box disassembled into each part. Therefore, it is possible to provide an automatic cleaning apparatus that can sufficiently perform cleaning and drying on a single line with respect to an object to be cleaned having various dimensions and shapes.
[0015]
  In the automatic cleaning apparatus of the present invention, the upper net mechanism includes at least a presser net part that presses the carrier box, presser net drive chains attached to both ends of the presser net part, and the presser net drive chain. It is preferable that the presser net driving gear is driven, and the presser net part has a net-like structure.,Furthermore, it is preferable that the mesh structure of the presser net portion in the upper net mechanism has an opening size (eyes) of 50 × 50 mm or less..
[0016]
In this way, if the upper net mechanism includes a presser net part, a presser net drive chain, and a presser net drive gear, the carrier box disassembled into each part is pressed from above to prevent the carrier box from scattering. While being able to prevent reliably, the conveyance speed can be controlled and it can synchronize easily with a conveyance belt mechanism. Furthermore, if the holding net part of the upper net mechanism has a net-like structure, and the net-like structure of this holding net part has an opening size (eyes) of 50 × 50 mm or less, the carrier box can be securely attached from above. Even when spraying or showering is used for cleaning, or when CDA is blown or air knife is used for draining or drying, the cleaning effect, drying effect, and processing time It is possible to perform cleaning and drying effectively without adversely affecting the above.
[0017]
  The conveyor belt mechanism includes at least a conveyor belt portion on which the carrier box is placed, a conveyor belt drive chain attached to both ends of the conveyor belt portion, and a conveyor belt drive gear that drives the conveyor belt drive chain. It is preferable that the conveyor belt portion has a net-like structure.,Furthermore, it is preferable that the net-like structure of the conveyor belt portion in the conveyor belt mechanism has an opening size (eyes) of 25 × 25 mm or less..
[0018]
As described above, if the transport belt mechanism includes the transport belt portion, the transport belt drive chain, and the transport belt drive gear, the carrier box can be stably placed and transported. Furthermore, if the conveyor belt portion of the conveyor belt mechanism has a net-like structure, especially if the mesh-like structure of the conveyor belt portion has an opening size (eyes) of 25 × 25 mm or less, the carrier box can be transported very much. In addition, the washing and drying of the carrier box can be performed effectively without adversely affecting the washing and drying effects and the processing time. .
[0019]
  At this time, it is preferable that a hold bar for guiding the carrier box is provided in the transport belt portion of the transport belt mechanism..
  As described above, if the holding belt is provided in the transport belt portion, it is possible to prevent the carrier box from being displaced, and further, the delivery to the next process of the carrier box, the delivery after cleaning / drying, and the like are performed smoothly. Can be an automatic cleaning device.
[0020]
  Furthermore, it is preferable that the pressing net part of the upper net mechanism and / or the transport belt part of the transport belt mechanism is coated with fluororesin or fluororesin..
  Thus, if the holding net part of the upper net mechanism and / or the transport belt part of the transport belt mechanism is coated with fluororesin or fluororesin, it has excellent heat resistance, chemical resistance, and wear resistance. In addition, since excellent cleanliness can be maintained, the carrier box can be pressed from above with a pressing net without being contaminated, or placed on the conveyor belt. Further, if the material is as described above, the presser net portion and the conveyor belt portion can be slipped, and the catch to the object to be cleaned can be prevented and the conveyance can be performed smoothly.
[0021]
  In the automatic cleaning apparatus of the present invention, it is preferable that a shutter is provided at the entrance / exit of the carrier box of the processing chamber..
  Thus, if the shutter is provided at the entrance / exit of the carrier box of the processing chamber, the atmosphere in the processing chamber can be shut off from the outside, and contamination of the processing chamber from the outside can also be prevented.
[0022]
  In addition, it is preferable that a transfer stage or a transfer belt for transferring the carrier box between the transfer belt mechanisms for transferring the carrier box to the next process is installed..
  Thus, if the delivery stage or delivery belt is installed in the automatic cleaning apparatus of the present invention, delivery of the carrier box between the delivery belt mechanisms for delivering the carrier box to the next process can be performed smoothly. Thus, an apparatus capable of smoothly proceeding from washing to drying.
[0023]
  Further, according to the present invention, there is provided a carrier box that includes at least a processing chamber and a transport belt mechanism, and performs a cleaning or drying process of the carrier box in the processing chamber while transporting the carrier box by the transport belt mechanism. A processing apparatus, comprising: an upper net mechanism that holds a carrier box placed on the transport belt mechanism from above in the processing chamber and transports the carrier box in synchronization with a transport speed of the transport belt mechanism. A carrier box processing apparatus can be provided..
[0024]
Thus, in the processing chamber, the carrier box processing apparatus having the upper net mechanism that holds the carrier box placed on the transport belt mechanism from above and transports the carrier box in synchronization with the transport speed of the transport belt mechanism. As long as the object to be processed has any shape, the cleaning or drying process can be performed simply and efficiently without scattering of the object to be processed without using a dedicated basket or rack. It can be a device. Furthermore, with such a carrier box processing apparatus, it is possible to continuously process the carrier box, so that throughput can be improved. And the processing apparatus of this invention is not restricted to when performing a several process continuously and automatically, You may use for a single process.
[0025]
  At this time, any of the pre-cleaning, surfactant cleaning, rinsing, draining and drying of the carrier box can be performed in the processing chamber..
  As described above, the carrier box processing apparatus of the present invention can be used for any of the pre-cleaning, surfactant cleaning, rinsing, draining and drying of the carrier box. Thus, the carrier box can be easily and efficiently processed.
[0026]
  Further, according to the present invention, while the carrier box is automatically conveyed by the conveyance belt mechanism, the carrier box is washed and dried at least by pre-washing, surfactant washing, rinsing, draining and drying. In the carrier box automatic cleaning method to be performed, at least when the draining and drying is performed on the carrier box, the upper net mechanism is used to hold the carrier box from above and the conveyance speed between the upper net mechanism and the conveyance belt mechanism. A carrier box automatic cleaning method is provided, wherein the carrier box is transported in synchronization with each other..
[0027]
In this way, when draining and drying at least the carrier box, the carrier box is conveyed by synchronizing the conveyance speed of the upper net mechanism and the conveyance belt mechanism while holding the carrier box from above using the upper net mechanism. However, by washing and drying the carrier box, it is possible to prevent the carrier box from scattering without using a dedicated basket or rack, even if each part of the carrier box has various dimensions and shapes. The carrier box can be easily and efficiently cleaned and dried automatically. Furthermore, with such a carrier box automatic cleaning method, since the carrier box can be continuously washed and dried, the throughput is significantly improved and the throughput of the carrier box is significantly increased. Can do.
[0028]
  Further, when performing at least one of the pre-cleaning, the surfactant cleaning, and the rinsing on the carrier box, the upper net mechanism and the transport are held while holding the carrier box from above using the upper net mechanism. It is preferable to transport the carrier box in synchronization with the transport speed with the belt mechanism..
  In this way, when carrying out at least one of pre-cleaning, surfactant cleaning, and rinsing, the upper net mechanism is used to hold the carrier box from above, and the conveying speed between the upper net mechanism and the conveying belt mechanism is increased. By transporting the carrier box in synchronization, the carrier box can be reliably prevented from being scattered even in these processing steps, and the carrier box can be processed efficiently.
[0029]
  At this time, it is preferable to adjust the height of the upper net mechanism according to the size and shape of the carrier box..
  By adjusting the height of the upper net mechanism according to the size and shape of the carrier box in this way, washing and drying are sufficiently performed without scattering the carrier box that has been disassembled into parts having various sizes and shapes. Can be applied.
[0030]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, although an embodiment is described about the present invention, the present invention is not limited to these.
When cleaning the carrier box, the present inventors cleaned and dried the carrier box while automatically transporting the carrier box without using a dedicated basket or rack for holding and fixing the carrier box disassembled into each part. We have conducted extensive experiments and studies on an automatic cleaning device that can perform the above. As a result, in the processing chamber where the carrier box processing is performed, the carrier box is pressed from above, and the upper part is flexible enough to transport the carrier box in synchronization with the transport speed of the transport belt mechanism on which the carrier box is placed. If the carrier box automatic cleaning device has a net mechanism, the carrier box can be prevented from splashing without using a basket or rack, and the carrier box can be easily and efficiently cleaned and dried automatically. Further, the inventors have found that the throughput can be remarkably improved to enable a large amount of processing, and the present invention has been completed.
[0031]
First, an automatic carrier box cleaning apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings, but the present invention is not limited to these. FIG. 1 is a schematic explanatory view showing an example of a carrier box automatic cleaning apparatus of the present invention.
The carrier box automatic cleaning device 1 of the present invention includes, for example, a plurality of processing chambers 2 (2a, 2b, 2c, 2d, and 2e) that perform processing such as pre-cleaning, surfactant cleaning, rinsing, draining, and drying, The carrier belt mechanism 4 for placing the carrier box 3 disassembled into parts is provided, and the carrier box 3 placed on the carrier belt mechanism 4 is further pressed from above in the processing chambers 2d and 2e, and the carrier belt mechanism. 4 has an upper net mechanism 5 that conveys the carrier box 3 in synchronism with the conveying speed 4.
[0032]
In such an automatic cleaning apparatus 1, the upper net mechanism 5 includes, as shown in FIG. 3, a presser net part 7 that has flexibility and presses the carrier box from above, and pressers attached to both ends of the presser net part 7. A net drive chain 8 and a presser net drive gear 9 for driving the presser net drive chain 8 are provided. The holding net portion 7 has a net-like structure with a thin wire diameter, and the net-like structure has an opening size (eyes) of 50 × 50 mm or less, as shown in an enlarged view in FIG. is doing. The size of the mesh in the mesh structure of the presser net portion 7 is not particularly limited as long as it can be adjusted in consideration of the dimensions of the carrier box. However, as long as it is 50 × 50 mm or less, various dimensions and shapes of the carrier box It is possible to stably hold the member having the above from above. On the other hand, the presser net drive chain 8 only needs to have a width of, for example, about 50 mm, and can be configured by connecting the frames 27 with pins 28.
[0033]
At this time, it is preferable that the presser net portion 7 is coated with fluororesin or fluororesin. For example, a material (A material) of the presser net portion 7 in a direction perpendicular to the drive direction of the presser net drive chain 8 is used. Uses a thin stainless steel rod coated with PTFE (polytetrafluoroethylene), and the material (B material) of the presser net 7 in the direction parallel to the drive direction of the drive chain 8 is coated with PTFE on a stainless wire. Things can be used. If the presser net part 7 is made of such a material, not only can it maintain excellent cleanliness, but it also has excellent heat resistance, chemical resistance, and abrasion resistance, and the presser net part should have slip. Therefore, it is possible to prevent the object to be cleaned from being caught and smoothly convey it. In such a presser net portion 7, the surface of the presser net portion 7 that comes into contact with the carrier box is flattened by forming the joint portion 15 between the A material and the B material as shown in FIG. 5B, for example. it can.
[0034]
Further, in the automatic cleaning apparatus 1 of the present invention, as shown in FIG. 4, the conveyor belt mechanism 4 includes a conveyor belt unit 10 on which a carrier box is placed, and a conveyor belt drive chain attached to both ends of the conveyor belt unit 10. 11 and a conveyor belt drive gear 12 for driving the conveyor belt drive chain 11. The conveyor belt portion 10 has a fine wire diameter net-like structure, and the net-like structure has an opening size (eyes) of 25 × 25 mm or less as shown in an enlarged view in FIG. . The size of the mesh in the mesh structure is not particularly limited as it may be adjusted in consideration of the size and weight of the carrier box. However, as described above, the mesh structure of the conveyor belt unit 10 has an eye of 25 × 25 mm or less. By having it, load resistance increases, and the carrier box can be stably placed and transported. The conveyor belt drive chain 11 has a width of about 50 mm, for example, and can be configured by connecting the frames 37 with pins 38.
[0035]
At this time, it is preferable that the conveyor belt portion 10 is also coated with fluororesin or fluororesin. For example, as in the case of the presser net portion 7 described above, the material A is a thin stainless steel rod coated with PTFE. Further, by using a stainless steel wire coated with PTFE as the B material, the same effect as the presser net portion 7 can be obtained. Further, the surface of the conveyor belt portion 10 that contacts the carrier box can be flattened by forming the joint portion between the A material and the B material of the conveyor belt portion 10 in the same manner as in FIG.
[0036]
In the upper net mechanism 5 and the conveyor belt mechanism 4, the inner side of the presser net drive chain 8 and the inner surface of the conveyor belt drive chain 11 can be easily meshed with the drive gears 9 and 12. Further, for example, an inner peripheral tooth 13 as shown in FIG. 5 or a gear groove 14 as shown in FIG. 6 is formed. Thus, if the inner peripheral teeth 13 or the gear grooves 14 are formed on the inner surfaces of the presser net drive chain 8 and the transport belt drive chain 11, the driving force of the presser net drive gear 9 and the transport belt drive gear 12 is ensured. It can be transmitted to the drive chain, and by controlling the magnitude of the drive force with each drive gear, the respective transport speeds of the upper net mechanism 5 and the transport belt mechanism 4 are adjusted and easily synchronized. be able to. Such drive chains and drive gears can be made of vinyl chloride resin such as reinforced plastic or clean PVC, thereby preventing dust generation and metal contamination.
[0037]
Further, the transport belt mechanism 4 is preferably provided with a hold bar 16 for guiding the carrier box to the transport belt portion 10 as shown in FIG. For example, if hold bars made of a material such as silicon rubber are installed on the A material of the conveyor belt unit 10 at intervals of 300 mm, the carrier box is displaced when the carrier box is placed on the conveyor belt mechanism 4 and conveyed. In addition, it is possible to smoothly perform delivery for transporting the carrier box to the next process, delivery after drying, and the like.
[0038]
Further, when the holding belt 16 is provided in the transport belt mechanism 4, it is desirable that the upper surface of the holding bar 16 is formed in a comb shape as shown in FIG. In the case of a hold bar having such a shape, for example, as shown in FIG. 8, when the carrier box 3 is transferred to the next process or finally sent out, the hold bars 16 collide with each other between the transport belt mechanisms. The carrier box 3 can be transported without matching.
[0039]
Furthermore, when transferring the carrier box between the transport belt mechanisms, when feeding the carrier box after drying, or when receiving the carrier box in this cleaning process, for example, between the transport belt mechanisms as shown in FIG. By installing a delivery stage 17 wider than the object to be cleaned or by using a delivery belt 18 as shown in FIG. 10, delivery, delivery, or acceptance to the next process of the carrier box 3 is performed more smoothly. Can do. When the transfer belt 18 is used between the conveyor belt mechanisms, the conveyor belt portion 10 is not formed in a net-like structure, and only the B material parallel to the driving direction of the conveyor belt drive chain 11 as shown in FIG. 10 is configured.
[0040]
In the carrier box automatic cleaning device 1 of the present invention, it is preferable that a height adjusting means for adjusting the height of the upper net mechanism is provided. For example, as shown in FIG. 11, as the height adjusting means 26, a motor 19 that applies a driving force to the presser net driving gear 9 of the upper net mechanism 5 is held by a holder 20 via a spring (or damper) 23. The teeth 21 are attached to the outer surface of the holder 20 at equal intervals and meshed with the vertical adjustment rotating gear 22. The height of the upper net mechanism 5 can be easily adjusted by rotating the vertical adjustment rotating gear 22.
Further, if a motor is attached to the vertical adjustment rotation gear 22 and a controller system 50 capable of storing the height of each article and controlling the number of rotations of the motor to the stored height is installed, the conveyance can be performed more easily. it can.
[0041]
If the height adjusting means 26 is installed in the carrier box automatic cleaning device of the present invention, the height of the upper net mechanism can be adjusted in accordance with the size and shape of the carrier box. Automatic cleaning that can sufficiently clean and dry the object to be cleaned using the same cleaning line, even if the object to be cleaned has dimensions and shapes, and the external dimensions are significantly different. It can be a device.
[0042]
In addition, when the height of the upper net mechanism 5 is adjusted by such height adjusting means 26, for example, dust may be generated from the contact portion between the holder 20 and the vertical adjustment rotating gear 22, so the height It is preferable to arrange the outer frame 24 around the adjusting means 26 and to form the discharge port 25 so that dust generated in the outer frame 24 can be forcibly exhausted. By taking such measures against dust generation, dust can be prevented from entering the processing chamber even when the height of the upper net mechanism is adjusted, and the processing chamber can be maintained at an excellent cleaning degree. Of course, even if there is no height adjusting means, it is preferable to enclose the drive gear, the drive chain and the like to forcibly exhaust dust or the like that may be generated due to wear or the like.
Similarly, with respect to the transport belt mechanism 4, the drive area such as the drive gear and the drive chain can be isolated from the area where the articles are transported, and the drive system area can be forcibly exhausted to keep the article transport area at a high cleanliness. A structure is preferable.
[0043]
Furthermore, the processing chamber 2 of the automatic cleaning apparatus 1 of the present invention is preferably provided with a shutter 40 at the entrance and exit of the carrier box, whereby the atmosphere in the processing chamber 2 can be shut off from the outside, In addition, contamination of the processing chamber from the outside can be prevented. The shutter can be installed in each processing chamber from pre-cleaning to drying, or can be installed only in a necessary processing chamber.
[0044]
Next, the carrier box automatic cleaning method of the present invention will be described in detail with reference to the carrier box automatic cleaning apparatus 1 shown in FIG.
In the carrier box automatic cleaning method of the present invention, the carrier box 3 disassembled into each part is placed on the transport belt mechanism 4 and automatically transported to the carrier box 4 in the processing chamber 2, for example, before After performing cleaning (processing chamber 2a), surfactant cleaning (processing chamber 2b), rinsing (processing chamber 2c), at least when draining (processing chamber 2d) and drying (processing chamber 2e), the upper net mechanism 5, while the carrier box 3 is pressed from above and the carrier box 3 is conveyed by synchronizing the conveying speeds of the upper net mechanism 5 and the conveying belt mechanism 4, the carrier box 3 is automatically cleaned and dried. Is to do.
[0045]
Hereinafter, the carrier box automatic cleaning method of the present invention will be specifically described for each treatment.
First, the carrier box is disassembled into parts such as a box main body, an upper lid, an inner box, a retainer, and a gasket as described above, and is placed on the conveyance belt portion of the conveyance belt mechanism 4. At this time, since the transport belt mechanism is provided with the hold bar as described above, it can be transported while preventing the carrier box placed on the transport belt mechanism from being displaced, and transport in the processing chamber 2a. Delivery of the carrier box to the belt mechanism can also be performed smoothly. In addition, a hold bar is similarly provided in the transport belt mechanism 4 in the processing chambers 2a to 2e for performing each processing from pre-cleaning to drying described below, and transport of the carrier box and delivery to the next process are performed. It can be done smoothly.
[0046]
Next, the carrier box disassembled into each part is transported into the processing chamber 2a, and the carrier box is pre-cleaned by spraying heated pure water (hot water) onto the carrier box by spraying or showering. At this time, since the conveyor belt portion 10 of the conveyor belt mechanism 4 on which the carrier box is placed has a net-like structure with a thin wire diameter, pure water is also sprayed onto the surface where the carrier box 3 is held. And pre-cleaning can be performed uniformly and efficiently on the entire carrier box. Such an effect can be obtained in the same manner when performing surfactant cleaning and rinsing described below. Further, in this pre-cleaning, it is not necessary to use highly pure water to be sprayed on the carrier box, so for example, the water used in the rinsing process performed thereafter in the processing chamber 2c is purified through the filter 6, The purified reclaimed water may be used for pre-cleaning.
[0047]
The carrier box that has been subjected to the pre-cleaning is then transported to the processing chamber 2b and subjected to surfactant cleaning. Surfactant cleaning is performed by heating a cleaning solution containing about 0.1% of a surfactant such as the commercially available brand name CLEAN THROUGH (manufactured by Kao Corporation), and spraying or showering the carrier box in the same manner as in the previous cleaning. Can be done by spraying on. This cleaning solution can be recycled and reused through a filter or the like in the processing chamber 2b, and the carrier box is continuously transported by automatically replenishing the cleaning solution reduced by repeated cleaning. The surfactant cleaning can be repeated. By performing the surfactant cleaning on the carrier box in this manner, particles, organic substances, etc. attached to the carrier box can be removed.
[0048]
After washing the surfactant, the carrier box is transferred to the processing chamber 2c and rinsed. This rinsing process is performed by heating high purity pure water and spraying it on the carrier box by spraying or showering. Further, the rinsing process is performed in two or three stages as necessary to completely remove the surfactant adhering to the surface of the carrier box. The pure water used in the rinsing process is purified by the filter as described above and supplied to the pre-cleaning. However, when the rinsing process is performed in two or more stages, it is used in the second and subsequent rinsing processes. Since pure water is higher in purity than the first stage, it is preferable to purify the pure water in the second and subsequent stages with a filter and supply it to the pre-cleaning.
[0049]
After the rinse treatment, the carrier box is drained in the treatment chamber 2d. As a draining method, for example, high-speed clean dry air (CDA) is heated to about 30 to 100 ° C. (or may be kept at room temperature) and blown onto a carrier box, or an air knife using pressurized air Etc. can be used to drain the carrier box.
[0050]
At this time, in the processing chamber 2d, while holding the carrier box from above using the flexible upper net mechanism 5, the carrier box is stabilized by synchronizing the transport speeds of the upper net mechanism 5 and the transport belt mechanism 4. The carrier box is drained while being transported. By performing draining using the upper net mechanism 5 in this manner, the carrier box can be reliably prevented from scattering by a CDA blower, an air knife, or the like without using a basket or rack as in the prior art. Can do.
[0051]
At this time, since the automatic cleaning apparatus of the present invention is provided with a height adjusting means for adjusting the height of the upper net mechanism, the height of the upper net mechanism can be easily adjusted according to the size and shape of the object to be cleaned. Can be adjusted to. Thereby, even a carrier box disassembled into parts having various shapes and dimensions can be surely pressed from above to prevent splashing and drain water.
[0052]
In addition, since the upper net mechanism and the conveyor belt mechanism have a net-like structure with a thin wire diameter as described above, air can be blown over the entire carrier box by a CDA blower, an air knife, etc. Can be done efficiently in time. In addition, the air blown to the carrier box is circulated in the processing chamber 2d through, for example, a HEPA filter, a ULPA filter, or a chemical filter, and about 70% of the air is reused. Reduction can be achieved.
[0053]
Furthermore, when performing this draining, draining while applying vibration to the carrier box using the spring 23 of the height adjusting means 26 shown in FIG. 11, or providing an inclination or a step in the transport belt mechanism and the upper net mechanism. In addition, by carrying the carrier box, the carrier box can be drained efficiently, and the processing time for draining and the subsequent drying step can be shortened.
[0054]
After draining in this manner, the carrier box is transported to the processing chamber 2e and dried. For example, the carrier box can be dried by setting the inside of the processing chamber 2e to a high temperature / depressurized atmosphere and spraying the heated CDA onto the carrier box. After that, the carrier box is sent to the stock section.
[0055]
When drying the carrier box, the carrier box is conveyed by synchronizing the conveyance speeds of the upper net mechanism 5 and the conveyance belt mechanism 4 while holding the carrier box from above using the upper net mechanism 5. In addition, the carrier box can be prevented from being scattered and dried efficiently. Also in this case, the height of the upper net mechanism 5 can be adjusted according to the size and shape of the object to be cleaned by using the height adjusting means. Further, the air blown to the carrier box can be reused by about 70% by circulating it through a HEPA filter or the like as in the case of draining.
[0056]
In addition, before performing the draining and drying on the carrier box as described above, a volatile solution such as alcohol is sprayed in advance on the carrier box that has been rinsed to volatilize water droplets adhering to the carrier box. By replacing with a neutral solution, the draining and drying treatment time can be significantly shortened.
[0057]
By washing and drying the carrier box as described above, even if the carrier box disassembled into various parts has various dimensions and shapes, the carrier box is scattered without using a dedicated basket or rack. The carrier box can be easily and efficiently cleaned and dried automatically. Furthermore, with such an automatic carrier box cleaning method, since the carrier box can be continuously cleaned and dried in, for example, one line, the throughput is remarkably improved and the processing amount of the carrier box is greatly increased. An increase can be aimed at. Furthermore, even if the carrier box is completely different in size to accommodate different sized wafers, it can be cleaned in the same line. In addition, since cleaning with spray or shower, draining with CDA blow or air knife, and drying are combined, not only can the processing time be shortened, but also the transport distance in each process can be shortened. The whole can be designed relatively compact.
[0058]
In the carrier box automatic cleaning method described above, the case where the upper net mechanism is used when draining and drying is described as an example, but the present invention is not limited to this. For example, when performing at least one of pre-cleaning, surfactant cleaning, and rinsing on the carrier box, the upper net mechanism and the conveyor belt mechanism are transported while the carrier box is pressed from above. The carrier box can be transported at a synchronized speed.
[0059]
For example, as shown in FIG. 2, an upper net mechanism is installed in each processing chamber from pre-cleaning to drying, and transported while pressing the carrier box from above in all processing, for example, pre-cleaning, surfactant cleaning, Even when pure water or a cleaning solution is sprayed at high speed by a jet nozzle or the like when rinsing, the carrier box can be reliably prevented from scattering and all the above processes can be performed efficiently.
[0060]
Further, when the carrier box is transported using the upper net mechanism and the transport belt mechanism in all the processes as described above, one upper net mechanism and / or the transport belt in which the processes from pre-cleaning to drying are continued. It is also possible to use a mechanism. Thus, by using the continuous upper net mechanism and / or the transport belt mechanism, not only cleaning and drying of the carrier box but also cleaning of the upper net mechanism and the transport belt mechanism itself can be performed simultaneously. Therefore, the cleaning device can always maintain an excellent cleanliness, and the cleaning device can be easily maintained.
[0061]
Furthermore, the present invention can also be applied to a single process of each processing apparatus in which pre-cleaning, surfactant cleaning, rinsing, draining or drying of the carrier box is performed in the processing chamber. In other words, an upper net mechanism is installed in a processing apparatus that performs processing such as washing or drying that is not continuous, depending on the processing conditions, etc., thereby fixing the object to be processed having various shapes and dimensions. Even if no means is used, the processing object can be reliably prevented from being scattered and processed efficiently.
[0062]
【Example】
EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example are shown and this invention is demonstrated more concretely, this invention is not limited to these.
(Example)
Using the carrier box automatic cleaning apparatus 1 shown in FIG. 1, a carrier box capable of storing a silicon wafer having a diameter of 200 mm was continuously introduced to clean the carrier box.
First, the carrier box disassembled into each part is placed on the transport belt mechanism, transported to the processing chamber 2a, and sprayed with pure water heated in the processing chamber 2a, thereby pre-cleaning the carrier box Went. Next, the pre-cleaned carrier box is sequentially transported to the processing chambers 2b and 2c, and a warmed cleaning solution containing 0.1% of the trade name CLEAN THROUGH (manufactured by Kao Corporation) as a surfactant. Surfactant cleaning with, and two-stage rinsing with pure water were performed.
[0063]
Thereafter, the carrier box is transported to the processing chamber 2d, and CDA heated to 70 ° C. is sprayed on the entire surface of the carrier box while transporting the processing chamber 2d while holding the carrier box from above using the upper net mechanism. , Drained the carrier box. At this time, since the size differs for each part, the height of the upper net mechanism was adjusted by the height adjusting means according to the dimensions.
After draining, the carrier box was dried by blowing CDA heated in a high-temperature, reduced-pressure atmosphere onto the carrier box while holding the carrier box from above in the processing chamber 2e using the upper net mechanism.
[0064]
The above automatic cleaning of the carrier box was continuously performed for 5 hours, and the number of treatments of the carrier box per hour was obtained. As a result, it was found that the throughput of the automatic cleaning apparatus of the present invention was about 100 / h. Further, there was no problem that the carrier box was blown off or dropped during the treatment.
[0065]
(Comparative example)
As a comparative example, a carrier box capable of storing a silicon wafer having a diameter of 200 mm was cleaned using a commercially available carrier box cleaning apparatus using a dedicated rack for holding and fixing each part obtained by disassembling the carrier box.
First, the carrier box disassembled into each part was fixed to a dedicated rack, and then the rack was placed on the transport belt mechanism. Subsequently, the carrier box was sequentially conveyed to the pre-cleaning processing chamber, the surfactant cleaning processing chamber, and the rinsing processing chamber by the transport belt mechanism, and pre-cleaning, surfactant cleaning, and rinsing were performed in the same manner as in the above-described example. .
[0066]
Next, the carrier box is transported to a draining treatment chamber, CDA heated to 70 ° C. is sprayed to drain the carrier box, and then the carrier box is transported to a drying treatment chamber where it is heated in a high temperature / depressurized atmosphere. The carrier box was dried by spraying warmed CDA onto the carrier box.
After drying, the carrier box was taken out from the dedicated rack, and the empty rack was transported to the input side of the cleaning device. Thereafter, the next carrier box, which was again disassembled into each part, was fixed to the rack, and washed and dried.
[0067]
The carrier box was washed and dried as described above for 5 hours, and the number of carrier boxes processed per hour was determined. As a result, it was found that the throughput of the cleaning device in the comparative example was 20 / h.
[0068]
The present invention is not limited to the above embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, and the present invention has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention, and any device that exhibits the same function and effect is the present invention. It is included in the technical scope of the invention.
[0069]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the carrier box can be prevented from scattering without using a dedicated basket or rack, and the carrier box can be easily and efficiently cleaned and dried. . Furthermore, since the carrier box can be continuously washed and dried, the throughput is remarkably improved and the throughput of the carrier box can be greatly increased.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic explanatory view showing an example of an automatic cleaning apparatus for a carrier box according to the present invention.
FIG. 2 is a schematic explanatory view showing another example of the automatic carrier box cleaning apparatus of the present invention.
3A is a schematic cross-sectional view of an upper net mechanism, and FIG. 3B is a schematic plan view of the upper net mechanism.
4A is a schematic cross-sectional view of the transport belt mechanism, and FIG. 4B is a schematic plan view of the transport belt mechanism.
5A is an enlarged explanatory view of an upper net mechanism, and FIG. 5B is an enlarged explanatory view of a joint portion between the A material and the B material.
FIG. 6 is an enlarged explanatory view of a conveyor belt mechanism.
FIG. 7 is a schematic explanatory diagram illustrating the shape of a hold bar.
FIG. 8 is a schematic explanatory diagram illustrating delivery of a carrier box between the conveyance belt mechanisms.
FIG. 9 is a schematic explanatory diagram illustrating delivery of a carrier box using a delivery stage between transport belt mechanisms.
FIG. 10 is a schematic explanatory diagram illustrating delivery of a carrier box using a delivery belt between transport belt mechanisms.
FIG. 11 is a schematic configuration diagram illustrating a configuration example of a height adjusting unit.
[Explanation of symbols]
1 ... automatic carrier box cleaning equipment, 2 ... processing chamber,
3 ... carrier box, 4 ... transport belt mechanism,
5 ... upper net mechanism, 6 ... filter,
7: Holding net part, 8 ... Holding net drive chain,
9: Holding net driving gear, 10 ... Conveying belt,
11 ... conveyor belt drive chain, 12 ... conveyor belt drive gear,
13 ... Inner peripheral teeth, 14 ... Gear grooves, 15 ... Joints,
16 ... Hold bar, 17 ... Delivery stage,
18 ... Delivery belt, 19 ... Motor,
20 ... retainer, 21 ... tooth,
22 ... Vertical adjustment rotating gear, 23 ... Spring,
24 ... Outer frame, 25 ... Discharge port, 26 ... Height adjusting means,
27, 37 ... top, 28, 38 ... pin, 40 ... shutter,
50 ... Controller system.

Claims

An automatic carrier box cleaning device comprising at least a plurality of processing chambers and a transport belt mechanism, and cleaning and drying the carrier box in the processing chamber while automatically transporting the carrier box by the transport belt mechanism. Te, wherein at least one processing chamber, together with the press the carrier box placed on the conveyor belt mechanism from above, have a top net mechanism for conveying the conveying speed synchronized with not by the carrier box of the conveyor belt mechanism, the The conveyor belt mechanism includes at least a conveyor belt portion on which the carrier box is placed, a conveyor belt drive chain attached to both ends of the conveyor belt portion, and a conveyor belt drive gear for driving the conveyor belt drive chain. And the conveyor belt portion has a net-like structure and guides the carrier box. Automatic cleaning apparatus of the carrier box, characterized in that the upper surface is intended to hold a bar which is formed in a comb shape is provided for.

The automatic cleaning device for a carrier box according to claim 1, further comprising a height adjusting means for adjusting a height of the upper net mechanism.

The upper net mechanism includes at least a presser net part that presses the carrier box, presser net drive chains attached to both ends of the presser net part, and a presser net drive gear that drives the presser net drive chain. The carrier box automatic cleaning device according to claim 1, wherein the presser net portion has a net-like structure.

The automatic cleaning device for a carrier box according to claim 3, wherein the mesh structure of the presser net portion in the upper net mechanism has an opening size (eyes) of 50 x 50 mm or less.

The automatic cleaning device for a carrier box according to claim 1 , wherein the mesh structure of the conveyor belt portion in the conveyor belt mechanism has an opening size (eyes) of 25 x 25 mm or less.

Conveyor belt portion of the pressing net portion and / or the conveyor belt mechanism of the upper net mechanism, in any one of claims 3 to 5 fluorine resin or fluorine resin is characterized in that coated The automatic cleaning device for the carrier box described.

The automatic cleaning device for a carrier box according to any one of claims 1 to 6 , wherein a shutter is provided at an entrance / exit of the carrier box of the processing chamber.

For transporting the carrier box to the next step, any of claims 1 to 7, characterized in that the transfer stage or transfer belt for transferring the carrier box is placed between said transport belt mechanism The automatic cleaning device for a carrier box according to one item.

A carrier box processing apparatus comprising at least a processing chamber and a transport belt mechanism, wherein the carrier box is cleaned or dried in the processing chamber while the carrier box is transported by the transport belt mechanism. indoors, with pressing the carrier box placed on the conveyor belt mechanism from above, said transport belt mechanism is conveying speed of the synchronization have a top net mechanism for transporting the carrier box, the transport belt mechanism, at least, A conveyor belt portion on which the carrier box is placed; a conveyor belt drive chain attached to both ends of the conveyor belt portion; and a conveyor belt drive gear for driving the conveyor belt drive chain, wherein the conveyor belt portion It has a net-like structure and the upper surface for guiding the carrier box is formed in a comb shape. Processing device carrier box, characterized in that the hold bar is provided with.

The processing apparatus for a carrier box according to claim 9 , wherein any one of pre-cleaning, surfactant cleaning, rinsing, draining and drying of the carrier box is performed in the processing chamber.

The carrier box includes at least a conveyor belt portion on which the carrier box is placed, a conveyor belt drive chain attached to both ends of the conveyor belt portion, and a conveyor belt drive gear that drives the conveyor belt drive chain. The carrier box is automatically conveyed by a conveyor belt mechanism provided with a holding bar having a comb-like upper surface for guiding the carrier box , wherein the conveyor belt portion has a net-like structure. In an automatic carrier box cleaning method in which at least pre-cleaning, surfactant cleaning, rinsing, draining, and drying are performed to dry and dry the carrier box, at least when the draining and drying is performed on the carrier box While holding the carrier box from above using the mechanism, the upper net mechanism and Automatic cleaning method of the carrier box, characterized in that the serial to synchronize conveyance speed of the conveyor belt mechanism for conveying the carrier box.

Even when performing at least one of the pre-cleaning, the surfactant cleaning, and the rinsing on the carrier box, the upper net mechanism and the transport belt mechanism are pressed while holding the carrier box from above using the upper net mechanism. The carrier box automatic cleaning method according to claim 11 , wherein the carrier box is transported in synchronization with the transport speed.

Wherein to the dimensions and shape of the carrier box, automatic cleaning method of the carrier box according to claim 11 or claim 12, characterized in that to adjust the height of the upper net mechanism.