JP2004360949A - Automatic article drying device and its method - Google Patents

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Masanori Mayuzumi
雅典 黛
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an automatic article drying device for effectively drying articles in a short time without causing drying irregularity, and to provide its method. <P>SOLUTION: The automatic article drying device for automatically drying the articles comprises, at least, a replacing chamber for replacing water droplets deposited on the articles with volatile organic solvent, a spray nozzle for spraying the volatile organic solvent to the articles in the replacing chamber, a drying chamber for blowing inactive gas from the rear stage of the replacing chamber to the articles to be dried, and a carrying belt mechanism for carrying the articles placed thereon to the replacing chamber and the drying chamber. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、洗浄等が行われた物品に乾燥を行うための物品の自動乾燥装置及び自動乾燥方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、物品に例えば洗浄及び乾燥等の処理を施す際に、物品（被処理物）を搬送しながらその物品に純水や洗浄剤等を吹き付けて洗浄処理を行い、その後加熱した清浄空気（クリーンドライエア、以下、ＣＤＡと略すことがある）等を吹き付けて乾燥処理を行う方法が広く用いられている。
【０００３】
例えば、半導体ウエーハを出荷する際にウエーハを保持・収納するキャリアボックスには、通常ウエーハへの汚染を防止するために非常に清浄なものが求められている。そのため、一般的にウエーハを収納する前にキャリアボックスに洗浄及び乾燥等の処理を施し、キャリアボックスに付着している塵（パーティクル）や有機物等を除去することが行われている。このようなキャリアボックスを洗浄する方法としては、例えば、特許文献１に開示されているような方法等が知られている。
【０００４】
ここで、キャリアボックスの洗浄方法について簡単に説明する。
通常、このようなキャリアボックスに洗浄及び乾燥処理を行う場合、キャリアボックスは、先ず、ボックス本体、上蓋、インナーボックス、リテイナー、ガスケット等のパーツに分解され、その各パーツに分解されたキャリアボックスに純水による前洗浄を行う。続いて、前洗浄を行ったキャリアボックスに界面活性剤等の薬液を用いた薬液洗浄を行うことによって、付着しているパーティクルや有機物等を除去し、その後純水によるリンス（水洗）を十分に行う。
【０００５】
リンスが行われた後、キャリアボックスを十分に乾燥させる。キャリアボックスの乾燥を行う方法としては、リンス後のキャリアボックスを例えばクリーンオーブン内に搬送し、オーブン内を６０℃程度に保持して温風の循環により乾燥を行ったり、あるいはキャリアボックスの乾燥装置としてユニット内に組み込まれた回転機構を用いてキャリアボックスを装置内で回転させるとともに清浄な温風を吹き付ける、いわゆるスピンを利用した方法等を用いることによりキャリアボックスの乾燥が行われる。
【０００６】
また、上記のようなキャリアボックスの洗浄及び乾燥処理では、キャリアボックスに洗浄処理を行った後、乾燥を行う前にキャリアボックスに付着している水滴を落としておくことにより乾燥処理での乾燥時間を短縮できることから、キャリアボックスの水切りが行われている。例えば、リンスが施されたキャリアボックスに対して、ＣＤＡを高速で吹き付けるＣＤＡブローや、加圧した空気を利用するエアーナイフ等を用いて水切りが行われている。
【０００７】
しかしながら、このような従来のＣＤＡブローやエアーナイフ等によるキャリアボックスの水切りでは、キャリアボックスに付着している水滴を十分に水切りできているとは言えず、水切り後のキャリアボックスには多くの水滴が残存していた。そのため、その後の乾燥処理でキャリアボックスの乾燥を行う際に、キャリアボックスを均一に乾燥させることが難しく、乾燥ムラが生じやすいという問題があり、またキャリアボックスを完全に乾燥させるためには依然長い処理時間が必要とされ、スループットの低下やコストアップの要因の一つとなっている。
【０００８】
またその他に、洗浄が行われたキャリアボックスを乾燥させる方法として、例えば特許文献２において、キャリアボックスを浸漬槽内の温度制御された有機溶剤に浸漬し、次いでキャリアボックスを有機溶剤から引き上げて乾燥するようにしたキャリアボックスの乾燥装置及び乾燥方法が開示されている。しかしながら、この特許文献２では、キャリアボックスを有機溶剤に浸漬してキャリアボックス表面の水分を有機溶剤に置換する際に、キャリアボックスの昇降や浸漬にかかる時間が長くなるため、乾燥処理における処理時間を短縮することが困難であり、また装置自体が大型になるので大きな設置スペースが必要とされ、コストへの負担も大きいという問題があった。
【０００９】
そして、上記のような乾燥処理を行う際に処理時間が長くなったり、また乾燥ムラが生じる等といった問題は、半導体ウエーハのキャリアボックスを乾燥する場合に限定されて引き起こされるものではなく、洗浄処理等が行われた様々な物品に乾燥処理を行う場合に共通して引き起こされる問題である。
【００１０】
さらに上記の問題に加えて、物品（被処理物）を搬送しながら乾燥等の処理を行うときには、被処理物が搬送中に滑って落下したり、また例えば処理中に加圧した空気やＣＤＡの吹き付け等によって被処理物が飛散するのを防止して、被処理物を安定して搬送できるようにするため、一般的に専用のバスケットやラック等を用いて被処理物を保持・固定する必要があった。
【００１１】
しかしながら、このように被処理物を専用のバスケットやラックに固定して搬送する場合、被処理物を専用のバスケットやラックに固定する前準備が必要であり、さらに乾燥等の処理を行った後には搬送されてきたバスケットやラックから被処理物を取り出し、空のバスケットやラックを搬送装置の投入側に移動させて再び上記の前準備を開始しなければならないという手間が必要とされた。そのため、被処理物の搬送を効率的に行なうことができず、各種処理における処理時間の短縮やスループットの向上が妨げられ、大量処理を行うことが非常に困難であった。
【００１２】
【特許文献１】
特開２００１−１５６０３４号公報
【特許文献２】
特開平１１−３３７２６３号公報
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、物品の乾燥を行う際に、乾燥ムラを生じさせずに短時間で効果的に物品を乾燥させることのできる物品の乾燥装置及び乾燥方法を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明によれば、物品に自動的に乾燥を行う物品の自動乾燥装置であって、少なくとも、前記物品に付着している水滴を揮発性有機溶剤に置換を行う置換処理室と、該置換処理室内で物品に揮発性有機溶剤を噴射する噴射ノズルと、前記置換処理室の後段で物品に不活性ガスを吹き付けて乾燥を行う乾燥処理室と、前記物品を載置して置換処理室及び乾燥処理室に搬送する搬送ベルト機構とを具備することを特徴とする物品の自動乾燥装置が提供される（請求項１）。
【００１５】
このように、少なくとも、置換処理室、噴射ノズル、乾燥処理室、搬送ベルト機構を具備する物品の自動乾燥装置であれば、物品を自動搬送しながら先ず置換処理室で噴射ノズルから揮発性有機溶剤を噴射して物品に付着している水滴を揮発性有機溶剤に短時間で置換でき、その後乾燥処理室で物品に不活性ガスを吹き付けることにより物品を乾燥させることができるので、物品に乾燥ムラを生じさせずに短時間で効果的に乾燥を行うことのできる自動乾燥装置とすることができる。
【００１６】
このとき、前記噴射ノズルから噴射する揮発性有機溶剤を加熱する有機溶剤加熱手段を具備することが好ましい（請求項２）。
このように噴射ノズルから噴射する揮発性有機溶剤を加熱する有機溶剤加熱手段を具備するものであれば、揮発性有機溶剤を予め加熱して噴射ノズルから噴射することが可能となるので、噴射ノズルから噴射された揮発性有機溶剤を蒸発させる際に有機溶剤の蒸発を促進することができるし、また揮発性有機溶剤が蒸発するときの気化潜熱を補って処理室内の雰囲気温度を容易に一定に保つことができるので、非常に効率的にかつ安定して物品を乾燥させることができる装置となる。
【００１７】
また、前記乾燥処理室で物品に吹き付ける不活性ガスを加熱するガス加熱手段を具備することが好ましい（請求項３）。
このように、物品に吹き付ける不活性ガスを加熱するガス加熱手段を具備するものであれば、乾燥処理室で物品の乾燥を行う際に揮発性有機溶剤の蒸発を促進するとともに雰囲気温度を一定に保つことが容易に可能となるので、非常に効率的に物品を乾燥させることができる自動乾燥装置となる。
【００１８】
この場合、前記噴射ノズルから噴射した揮発性有機溶剤及び／または前記乾燥処理室で物品に吹き付けた不活性ガスを循環して再利用する再生循環システムを具備することが好ましく（請求項４）、さらに前記揮発性有機溶剤及び／または不活性ガスを循環して再利用する再生循環システムが、熱エネルギーを循環利用する熱循環手段を有するものであることが好ましい（請求項５）。
【００１９】
このように本発明の自動乾燥装置が再生循環システムを具備するものであれば、噴射ノズルから噴射した揮発性有機溶剤や乾燥処理室で物品に吹き付けた不活性ガスを循環して再利用することができるので、コストの低減を図ることが可能となり、また資源の浪費が少なく地球環境にやさしい物品の自動乾燥装置とすることができる。さらに、再生循環システムが熱循環手段を有するものであれば、揮発性有機溶剤や不活性ガスを循環して再利用する際に熱エネルギーも循環利用することができるので、コストを一層低下させることができ、またエネルギーの浪費を更に抑えることが可能となる。
【００２０】
また、本発明の自動乾燥装置は、前記搬送ベルト機構が、少なくとも、前記物品を載置する搬送ベルト部と、該搬送ベルト部の両端に取り付けられた搬送ベルト駆動チェーンと、該搬送ベルト駆動チェーンを駆動させる搬送ベルト駆動ギアとを具備し、前記搬送ベルト部が網状の構造を有するものであることが好ましい（請求項６）。
【００２１】
搬送ベルト機構が、搬送ベルト部と、搬送ベルト駆動チェーンと、搬送ベルト駆動ギアとを具備するものであれば、物品を安定して載置して置換処理室及び乾燥処理室に搬送することができる。また、搬送ベルト機構の搬送ベルト部が網状の構造を有するものであれば、例えば置換処理室で物品に揮発性有機溶剤を噴射した際に物品から流れ落ちた有機溶剤等を搬送ベルト機構からすばやく滴下して容易に回収することができるし、さらに乾燥処理室で物品に不活性ガスを吹き付ける際に、物品の下方向からも不活性ガスの吹き付けを行うことが可能となり、非常に効果的に物品を乾燥させることができる。
【００２２】
この場合、前記搬送ベルト機構の搬送ベルト部に、物品を誘導するためのホールドバーが設けられていることが好ましい（請求項７）。
このように、搬送ベルト部にホールドバーが設けられていれば、物品を搬送する際に物品のズレを防止でき、物品の搬送を安定して行うことができる。
【００２３】
さらに、本発明の自動乾燥装置は、前記搬送ベルト機構に載置した物品を上方から押さえるとともに、前記搬送ベルト機構の搬送速度と同期させて物品を搬送する上部ネット機構を有することが好ましい（請求項８）。
このように、本発明の物品の自動乾燥装置が上部ネット機構を有するものであれば、物品を搬送する際に上部ネット機構で物品を上方から押さえることができ、従来のようなバスケットやラック等の専用の治具を用いずに物品の落下や飛散を防止できる。したがって、物品を安定して自動搬送しながら効率的に乾燥を行うことができる自動乾燥装置とすることができる。
【００２４】
この場合、前記上部ネット機構が、少なくとも、前記物品を押さえる押さえネット部と、該押さえネット部の両端に取り付けられた押さえネット駆動チェーンと、該押さえネット駆動チェーンを駆動させる押さえネット駆動ギアとを具備し、前記押さえネット部が網状の構造を有するものであることが好ましい（請求項９）。
【００２５】
このように、上部ネット機構が押さえネット部と、押さえネット駆動チェーンと、押さえネット駆動ギアとを具備するものであれば、搬送ベルト機構で搬送される物品を上方から押さえて物品の飛散を確実に防止できるとともに、その搬送速度を制御して搬送ベルト機構と容易に同期させることができるものとなる。さらに、上部ネット機構の押さえネット部が網状の構造を有するものであれば、例えば置換処理室で噴射ノズルを物品の上方に設置して揮発性有機溶剤を物品全体に噴射することが可能となり、物品に付着している水滴を確実に揮発性有機溶剤に置換することができるし、また乾燥処理室で物品に不活性ガスを吹き付ける際に、物品の上方向から不活性ガスを吹き付けることもできるので、極めて効果的に物品を乾燥させることができる自動乾燥装置となる。
【００２６】
さらに、前記上部ネット機構の高さを調節する高さ調節手段が設置されていることが好ましい（請求項１０）。
このように上部ネット機構の高さを調節する高さ調節手段が設置されていれば、物品の寸法や形状に合わせて上部ネット機構の高さを調節することができるため、物品が様々な寸法や形状を有していても、物品を上方から安定して押さえることができ、物品の落下や飛散を確実に防止できる。
【００２７】
また、本発明の自動乾燥装置は、前記置換処理室及び／または乾燥処理室の物品の出入口にシャッターが設けられていることが好ましい（請求項１１）。
このように、置換処理室及び／または乾燥処理室の物品の出入口にシャッターが設けられていれば、例えば上記の揮発性有機溶剤としてアルコールを使用する場合でも、処理室内の雰囲気を外部と遮断することができるので、置換処理室でのアルコールへの置換、及び乾燥処理室での物品の乾燥を安全に行うことができる。また、置換処理室内及び乾燥処理室内を外部からの汚染から防止することができる。
【００２８】
その上、前記乾燥処理室の後段に、さらに減圧処理室が設置されていることが好ましい（請求項１２）。
このように乾燥処理室の後段に減圧処理室がさらに設置されていれば、乾燥処理室で乾燥処理が行われた物品に揮発性有機溶剤が残存していたとしても、その後減圧処理室で揮発性有機溶剤を完全に揮発させて除去することができるので、物品をより確実に乾燥させることが可能となる。
【００２９】
また、本発明によれば、物品を自動的に搬送しながら乾燥を行う物品の自動乾燥方法において、前記物品を搬送ベルト機構に載置して先ず置換処理室に搬送し、該置換処理室内で噴射ノズルから揮発性有機溶剤を噴射して物品に付着している水滴を揮発性有機溶剤に置換し、その後、該物品を乾燥処理室に搬送し、該乾燥処理室内で物品に不活性ガスを吹き付けて乾燥を行うことを特徴とする物品の自動乾燥方法が提供される（請求項１３）。
【００３０】
このように、物品を搬送ベルト機構に載置して先ず置換処理室に搬送し、置換処理室内で噴射ノズルから揮発性有機溶剤を噴射して物品に付着している水滴を揮発性有機溶剤に置換することによって物品の乾燥を行いやすくすることができ、その後、物品を乾燥処理室に搬送し、乾燥処理室内で物品に不活性ガスを吹き付けて乾燥を行うことにより、物品に乾燥ムラを生じさせずに短時間で効果的に物品の乾燥を行うことができる。
【００３１】
このとき、前記噴射ノズルから噴射する揮発性有機溶剤を加熱することが好ましい（請求項１４）。
このように、噴射ノズルから噴射する揮発性有機溶剤を加熱することにより、物品に付着している水滴を揮発性有機溶剤に置換して蒸発させる際に、有機溶剤の蒸発を促進することができるし、また揮発性有機溶剤が蒸発するときの気化潜熱を補って処理室内の雰囲気温度を一定に保つことができるので、非常に効率的にかつ安定して物品を乾燥させることができる。
【００３２】
また、前記噴射ノズルから噴射する揮発性有機溶剤をアルコールとすることが好ましい（請求項１５）。
このように噴射ノズルから噴射する揮発性有機溶剤としてアルコールを使用することにより、置換処理室で物品に付着している水滴をアルコールに短時間で容易に置換することができるし、またその後乾燥処理室で不活性ガスを物品に吹き付けることによってアルコールを短時間で蒸発させて物品の乾燥を効果的に行うことができる。
【００３３】
さらに、前記乾燥処理室で物品に吹き付ける不活性ガスを加熱することが好ましい（請求項１６）。
このように乾燥処理室で物品に吹き付ける不活性ガスを加熱することにより、乾燥処理室での揮発性有機溶剤の蒸発を促進できるとともに、乾燥処理室の雰囲気温度を一定に保つことができるので、乾燥時間の遅延を抑制して、非常に効率的にかつ安定して物品を乾燥させることができる。
【００３４】
また本発明では、前記噴射ノズルから噴射した揮発性有機溶剤及び／または前記乾燥処理室で物品に吹き付けた不活性ガスを循環して再利用することができ（請求項１７）、さらに前記揮発性有機溶剤及び／または不活性ガスを循環して再利用する際に、熱エネルギーを循環利用することもできる（請求項１８）。
【００３５】
本発明は、再生循環システムを用いることにより噴射ノズルから噴射した揮発性有機溶剤及び／または乾燥処理室で物品に吹き付けた不活性ガスを循環して再利用することができるので、コストを大幅に節減することができるし、また資源の浪費を抑えて地球環境に与える影響も小さくすることができる。このとき、熱エネルギーも循環利用することによって、コストの一層の低減、資源の更なる節約を図ることができる。
【００３６】
また、前記物品を上部ネット機構を用いて上方から押さえつつ、該上部ネット機構と前記搬送ベルト機構の搬送速度を同期させて物品を搬送することが好ましい（請求項１９）。
【００３７】
このように上部ネット機構を用いて物品を上方から押さえつつ、上部ネット機構と搬送ベルト機構の搬送速度を同期させて物品を搬送することにより、バスケットやラック等の専用の治具を用いずに物品の落下や飛散を防止して、物品を安定して自動搬送しながら乾燥させることができる。さらに、このように上部ネット機構を用いれば、物品を連続的に搬送して乾燥を行うことができるため、スループットを著しく向上させることができ、処理量の大幅な増加を図ることが可能となる。
【００３８】
この場合、前記物品の寸法及び形状に合わせて、前記上部ネット機構の高さを調節することが好ましい（請求項２０）。
このように物品の寸法及び形状に合わせて上部ネット機構の高さを調節することによって、物品が様々な寸法や形状を有していても、物品を上方から安定して押さえることができ、搬送する物品の落下や飛散を確実に防止できる。
【００３９】
また、前記乾燥処理室で物品の乾燥を行った後、さらに該物品を減圧処理室に搬送し、該減圧処理室内で物品に付着している揮発性有機溶剤を揮発させて除去することができる（請求項２１）。
本発明では、乾燥処理室で物品の乾燥を行った後、さらに物品を減圧処理室に搬送して減圧処理を行うことにより、物品に付着している揮発性有機溶剤を完全に除去することができるので、物品の乾燥をより確実に行うことができる。
【００４０】
このとき、前記乾燥を行う物品をウエーハのキャリアボックスとすることができる（請求項２２）。
このように、本発明の物品の自動乾燥方法は、洗浄等が行われたウエーハのキャリアボックスを乾燥させる際に特に好適に用いることができ、それによって、キャリアボックスの乾燥処理を短時間で効果的に行うことができる。
【００４１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について実施の形態を説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
先ず、本発明に係る物品の自動乾燥装置について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の物品の自動乾燥装置を具備した自動洗浄・乾燥処理装置の一例を示す概略説明図である。
【００４２】
図１に示すように、本発明の物品の自動乾燥装置１は、少なくとも、物品３０に付着している水滴を揮発性有機溶剤に置換する置換処理室５と、この置換処理室５内で物品３０に揮発性有機溶剤を噴射する噴射ノズル３と、置換処理室５の後段で物品３０に不活性ガスを吹き付けて乾燥を行う乾燥処理室６と、物品３０を載置して置換処理室５及び乾燥処理室６に搬送する搬送ベルト機構２とを具備するものであり、また乾燥処理室６の後段にはさらに減圧処理室２９を設置することができる。このような自動乾燥装置１であれば、例えば前述した特許文献２の乾燥装置等に比べて設置スペースを小さくすることができ、コストへの負担を大幅に軽減することができる。
【００４３】
また、この自動乾燥装置１には、揮発性有機溶剤を加熱する有機溶剤加熱手段３１や、不活性ガスを加熱するガス加熱手段３２が具備されている。このように有機溶剤加熱手段３１が設置されていることにより、置換処理室５で噴射ノズル３から物品３０に噴射する揮発性有機溶剤を加熱することができるし、またガス加熱手段３２が設置されていることにより、乾燥処理室６で物品３０に吹き付ける不活性ガスを加熱することができる。
【００４４】
さらに、本発明の物品の自動乾燥装置１は、置換処理室５で噴射ノズル３から噴射した揮発性有機溶剤や、乾燥処理室６で物品３０に吹き付けた不活性ガスを循環して再利用する再生循環システムを具備するものである。ここで、本発明で用いる再生循環システムの一例について、図２を参照しながら説明する。
【００４５】
本発明で用いる再生循環システム３３は、置換処理室５で噴射ノズル３から噴射された揮発性有機溶剤を循環して再利用するために、例えば物品３０から流れ落ちた有機溶剤を回収する有機溶剤槽３６と、置換処理室５の雰囲気ガス中に含まれている有機溶剤を雰囲気ガスの循環の際に冷却することによって凝縮させて回収する冷却槽３４と、これらの有機溶剤槽３６及び冷却槽３４等で回収された有機溶剤を集めて貯蔵する貯蔵タンク３５と、貯蔵タンク３５に集められた有機溶剤を再び噴射ノズル３に循環させる加圧器３９と、有機溶剤を噴射ノズル３に循環させる際に有機溶剤を浄化する清浄器４０が設置されている。
【００４６】
また、乾燥処理室６では、物品３０に吹き付けた不活性ガスを循環して再利用するために、不活性ガスを冷却することによって不活性ガス中に含まれている水分及び有機溶剤をそれぞれ別々に凝縮して回収する第一冷却槽４１及び第二冷却槽４２と、これらの冷却槽４１、４２で水分及び有機溶剤を分離した不活性ガスを浄化してガス加熱手段に循環させるＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ等のようなエアフィルター４３とが設置されている。
【００４７】
さらに、上記のような揮発性有機溶剤や不活性ガスを循環して再利用する再生循環システムには、熱エネルギーを循環利用する熱循環手段が設けられていることが好ましい。例えば、揮発性有機溶剤を循環して再利用する場合、図２に示したように、熱循環手段として加熱用の熱交換器４４及び冷却用の熱交換器４５をそれぞれ有機溶剤加熱手段３１と冷却槽３４に設置する。そして、これらの熱交換器４４、４５の一端を互いに加圧器３９と加熱ヒーター４６を介して接続し、また他方の一端を圧力調整バルブ４７を介して接続しておき、例えばノンフロン系ガスを加熱用の熱交換器４４と冷却用の熱交換器４５間で循環させることによって、有機溶剤加熱手段３１と冷却槽３４との間で熱エネルギーを循環利用することが可能となる。
【００４８】
また、不活性ガスを循環して再利用する場合は、ガス加熱手段３２に加熱用の熱交換器４４を設置し、また第一冷却槽４１及び第二冷却槽４２のそれぞれに冷却用の熱交換器４５ａ、４５ｂを連結して設置する。そして、例えば冷却用の熱交換器４５ａを加圧器３９と加熱ヒーター４６を介して加熱用の熱交換器４４の一端と接続し、また冷却用の熱交換器４５ｂを圧力調整バルブ４７を介して加熱用の熱交換器４４のもう一端と接続してノンフロン系ガスを循環させることによって、ガス加熱手段３２と冷却槽４１、４２との間で熱エネルギーを循環利用することが可能となる。
【００４９】
また、図１に示した本発明の自動乾燥装置１に設置されている搬送ベルト機構２は、図５に示すように、物品を載置する搬送ベルト部１０と、搬送ベルト部１０の両端に取り付けられた搬送ベルト駆動チェーン１１と、搬送ベルト駆動チェーン１１を駆動させる搬送ベルト駆動ギア１２とを具備している。この搬送ベルト部１０は、図７（ａ）に拡大図を示すように、細線径の網状の構造を有しており、様々な形状の物品を安定して載置することができる。このとき、網状の構造は所定の大きさの開口寸法（目）を有しており、この目の大きさは物品の形状、寸法、重量を考慮して調整すれば良いので特に限定されないが、例えば物品としてウエーハのキャリアボックスを搬送する場合には、搬送ベルト部１０の網状の構造における目の大きさを２５×２５ｍｍ以下にすることにより、耐荷重性が増し、キャリアボックスを安定して載置して搬送することができる。また、搬送ベルト駆動チェーン１１は、例えば５０ｍｍ程度の幅を有し、各コマ３７をピン３８で連結して構成することができる。
【００５０】
このとき、搬送ベルト部１０は、フッ素樹脂またはフッ素樹脂がコートされたものであることが好ましく、例えば搬送ベルト駆動チェーン１１の駆動方向に垂直な方向の搬送ベルト部１０の材質（Ａ材）には細いステンレス棒にＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）をコートしたものを用い、また駆動チェーン１１の駆動方向に平行な方向の搬送ベルト部１０の材質（Ｂ材）にはステンレスワイヤーにＰＴＦＥをコートしたものを用いることができる。搬送ベルト部１０がこのような材質からなるものであれば、優れた清浄度を維持できるだけでなく、耐熱性、耐薬品性、耐磨耗性に優れ、さらに搬送ベルト部に滑りを持たせることができるので、物品への引っかかりを防止して円滑に搬送することができる。このような搬送ベルト部１０において、Ａ材とＢ材との接合部１５を例えば図７（ｂ）に示したように形成することによって、搬送ベルト部１０の物品と接触する面を平坦にできる。
【００５１】
さらに、搬送ベルト機構２には、図７（ａ）に示すように、搬送ベルト部１０に物品を誘導するためのホールドバー１６が設けられていることが好ましい。例えば、シリコンラバー等の材質からなるホールドバーを搬送ベルト部１０のＡ材上に所定の間隔で設置していれば、物品を搬送ベルト機構２に載置して搬送する際に物品のズレを防止することができる。また、このようにホールドバーが設置されていることにより、例えば図１に示したように、リンス処理等の洗浄処理が行われる処理室から物品３０を自動乾燥装置１に受け入れる際や、自動乾燥装置１で置換処理室５から乾燥処理室６に物品３０を搬送する際等に、搬送ベルト機構間での物品の受け渡しを円滑に行うことが可能となる。
【００５２】
また、搬送ベルト機構２にホールドバー１６が設けられている場合、図８に示すように、ホールドバー１６の上面は櫛状に形成されていることが望ましい。このような形状を有するホールドバーであれば、例えば搬送ベルト機構間で物品の受け渡しを行う場合等に、それぞれの搬送ベルト機構に設置されているホールドバー同士がぶつかり合わず、物品の搬送及び受け渡しを円滑に行うことができる。
【００５３】
さらに、本発明の自動乾燥装置１は、図１に示したように、搬送ベルト機構２に載置した物品３０を上方から押さえるとともに、搬送ベルト機構２の搬送速度と同期させて物品３０を搬送する上部ネット機構４を有することが好ましい。このように自動乾燥装置１に上部ネット機構４が設置されていれば、従来のようなバスケットやラック等の専用の治具を用いずに、物品３０を上方から押さえて物品の落下や飛散を防止し、物品３０を連続的に安定して自動搬送することができる。
【００５４】
この上部ネット機構４は、例えば図４に示すように、柔軟性を有し物品を上方から押さえる押さえネット部７と、押さえネット部７の両端に取り付けられた押さえネット駆動チェーン８と、押さえネット駆動チェーン８を駆動させる押さえネット駆動ギア９とを具備している。この押さえネット部７は細線径の網状の構造を有しており、その網状の構造が、例えば図６に拡大図を示すように、所定の大きさの開口寸法（目）を有している。この押さえネット部７の網状の構造における目の大きさは、物品の寸法や形状を考慮して調整すれば良いので特に限定されないが、例えば物品としてウエーハのキャリアボックスを搬送する場合、開口寸法を５０×５０ｍｍ以下程度にすることにより、キャリアボックスを上方から安定して押さえることができる。また一方、押さえネット駆動チェーン８は、例えば５０ｍｍ程度の幅を有するものであれば良く、また各コマ２７をピン２８で連結して構成することができる。
【００５５】
このとき、押さえネット部７も前記搬送ベルト部１０と同様に、フッ素樹脂またはフッ素樹脂がコートされたものであることが好ましく、例えばＡ材には細いステンレス棒にＰＴＦＥをコートしたものを用い、またＢ材にはステンレスワイヤーにＰＴＦＥをコートしたものを用いることによって、前記搬送ベルト部１０と同様の効果を得ることができる。さらに、押さえネット部７のＡ材とＢ材との接合部についても図７（ｂ）と同様に形成することによって、押さえネット部７の物品と接触する面を平坦にできる。
【００５６】
また、上記のような搬送ベルト機構２及び上部ネット機構４において、搬送ベルト駆動チェーン１１の内面及び押さえネット駆動チェーン８の内面には、それぞれの駆動ギア１２及び９との噛み合わせを容易にするために、例えば図６に示すような内周歯１３、または図７（ａ）に示すようなギヤ溝１４が形成されている。このように搬送ベルト駆動チェーン１１及び押さえネット駆動チェーン８の内面に、内周歯１３またはギヤ溝１４が形成されていれば、搬送ベルト駆動ギア１２及び押さえネット駆動ギア９の駆動力を確実に駆動チェーンに伝えることができるし、またそれぞれの駆動ギアでその駆動力の大きさを制御することによって、搬送ベルト機構２及び上部ネット機構４のそれぞれの搬送速度を調節して、容易に同期させることができる。また、このような搬送ベルト機構２及び上部ネット機構４における駆動チェーン及び駆動ギアは、強化プラスチックやクリーン塩ビなどの塩化ビニル樹脂製とすることで、発塵や金属汚染を防止することができる。
【００５７】
さらに、本発明の自動乾燥装置１には、上記上部ネット機構４の高さを調節する高さ調節手段が設置されていることが好ましい。例えば図９に示すように、高さ調節手段２６としては、上部ネット機構４の押さえネット駆動ギア９に駆動力を与えるモーター１９を、バネ２３を介して保持具２０で保持し、この保持具２０の外面に等間隔で歯２１を取り付けて上下調節回転ギア２２に噛み合わせる。そして、この上下調節回転ギア２２を回転させることによって、上部ネット機構４の高さを容易に調節することができる。
【００５８】
また、上下調節回転ギア２２にモーターを取り付け、物品各々の高さの記憶と、記憶させた高さへのモーター回転数制御ができるコントローラーシステム５０を設置すれば、さらに簡便に搬送を行うことができる。
【００５９】
本発明の自動乾燥装置１にこのような高さ調節手段２６が設置されていれば、物品の寸法や形状に合わせて上部ネット機構の高さを調節することができるため、物品が様々な寸法や形状を有し、また大幅に外寸が異なるものであっても、上部ネット機構４で上方から安定して押さえることができ、物品の落下や飛散を確実に防止できる。
【００６０】
また、このような高さ調節手段２６によって上部ネット機構４の高さを調節する場合、例えば保持具２０と上下調節回転ギア２２の接触部等から塵が発生することが考えられるので、高さ調整手段２６の周りに外枠２４を配置し、外枠２４内で発生した塵を強制排気できるように排出口２５を形成することが好ましい。このような発塵対策を施しておくことによって、上部ネット機構の高さを調節する場合でも装置内に塵が入り込むことを防止でき、装置内を優れた洗浄度に維持することができる。もちろん、高さ調節手段がない場合であっても、駆動ギア、駆動チェーン等は囲って、磨耗等により発生し得る塵等を強制排気するのが好ましい。
【００６１】
同様に、搬送ベルト機構２についても、駆動ギア、駆動チェーン等の駆動エリアを、物品が搬送されるエリアと隔離し、駆動系エリアを強制排気することによって物品搬送エリアを高い清浄度に保持できる構造とすることが好ましい。
【００６２】
また、本発明の自動乾燥装置１では、図１に示すように、置換処理室５及び乾燥処理室６、さらに減圧処理室２９の物品の出入口にシャッター４８が設けられていることが好ましい。このように、置換処理室５、乾燥処理室６、及び減圧処理室２９の物品の出入口にシャッター４８が設けられていれば、各処理室内の雰囲気を外部と遮断することができ、例えば揮発性有機溶剤としてアルコールを使用する場合でも、置換処理室で行われる揮発性有機溶剤の置換や、乾燥処理室で行われる物品の乾燥処理、減圧処理室で行われる減圧処理を安全に行うことができるし、また各処理室内を外部からの汚染から防止することもできる。さらに、置換処理室５、乾燥処理室６、及び減圧処理室２９が防爆構造を有するものであれば、装置の安全性を一層高めることができる。
【００６３】
次に、本発明の物品の自動乾燥方法について、図１に示した自動洗浄・乾燥処理装置の概略説明図、及び図３に示した洗浄・乾燥処理のフロー図を参照しながら詳細に説明する。
先ず、物品３０には洗浄処理が行われる。本発明では、この物品の洗浄処理については特に限定されないが、例えば物品３０を搬送ベルト機構２に載置し（ローダー）、物品３０を搬送ベルト機構２で搬送しながら洗浄処理室５１で薬液洗浄を行い、その後リンス処理室５２でリンス処理等を行うことができる。
【００６４】
このようにして物品３０に洗浄処理が行われた後、本発明の物品の自動乾燥装置１を用いて、物品３０を先ず置換処理室５に搬送し、この置換処理室５内で噴射ノズル３から揮発性有機溶剤を噴射（噴霧）して物品３０に付着している水滴を揮発性有機溶剤に置換する。このように水滴を揮発性有機溶剤に置換することによって、その後物品を乾燥させる際に物品の乾燥を行いやすくすることができる。
【００６５】
続いて、置換処理室５で揮発性有機溶剤への置換が行われた物品３０は乾燥処理室６に搬送され、この乾燥処理室６内で物品にアルゴンガスや窒素ガス等の不活性ガスを吹き付けることによって物品３０の乾燥が行われる。このようにして物品３０の乾燥を行うことによって、物品３０に乾燥ムラを生じさせずに短時間で効果的に物品を乾燥させることができる。
【００６６】
また、本発明では、乾燥処理室６で物品３０の乾燥を行った後、さらに物品３０を減圧処理室２９に搬送し、この減圧処理室２９内で物品３０に減圧処理を行うことができる。このように減圧処理室２９で物品３０に減圧処理を行うことによって、揮発性有機溶剤を完全に除去することができるので、物品３０の乾燥をより確実に行うことができる。
【００６７】
このような本発明の自動乾燥方法において、置換処理室５で噴射ノズル３から噴射する揮発性有機溶剤は、有機溶剤加熱手段３１を用いて加熱することが好ましい。例えば、有機溶剤加熱手段３１で３０〜５０℃程度に加熱した揮発性有機溶剤を噴射ノズル３から噴射することにより、物品に付着している水滴を揮発性有機溶剤に置換してその後蒸発させる際に、有機溶剤の蒸発を促進することができるし、また揮発性有機溶剤が蒸発するときにその気化潜熱を補って処理室内の雰囲気温度を一定に保つことができるので、乾燥時間の遅延を防止して、非常に効率的にかつ安定して物品を乾燥させることができる。
【００６８】
このとき、噴射ノズル３から噴射する揮発性有機溶剤としては、乾燥させる物品を溶解しない性質のものを用いる。例えばウエーハのキャリアボックスの場合、アルコールを用いることができ、特にアルコールの中でもイソプロピルアルコールを使用することが好ましい。このように揮発性有機溶剤としてアルコール、特にイソプロピルアルコールを使用して噴射ノズル３から噴射することにより、物品３０に付着している水滴をアルコールに短時間で容易に置換することができるし、またその後乾燥処理室６で不活性ガスを物品３０に吹き付けることによってアルコールを非常に短時間で蒸発させることができるので、物品３０の乾燥を効率的に行うことができる。
【００６９】
また、本発明では、乾燥処理室６で物品３０に吹き付ける不活性ガスをガス加熱手段３２で例えば８０〜１５０℃程度に加熱することが好ましい。それによって、乾燥処理室６で不活性ガスを吹き付けた際に揮発性有機溶剤の蒸発を促進できるとともに、乾燥処理室６内の雰囲気温度を一定に保つことができるので、乾燥時間の遅延を防止し非常に効率的にかつ安定して物品を乾燥させることができる。
【００７０】
さらに、上記のようにして物品３０の乾燥を行う場合、図２に示したような再生循環システム３３を用いることにより、置換処理室５で噴射ノズル３から噴射した揮発性有機溶剤や、乾燥処理室６で物品３０に吹き付けた不活性ガス等を循環して再利用することができる。
【００７１】
このような揮発性有機溶剤等の再利用について図２を参照しながら具体的に説明すると、置換処理室５で噴射ノズル３から噴射した揮発性有機溶剤については、例えば物品３０から流れ落ちた有機溶剤は有機溶剤槽３６で回収することができ、また噴射ノズル３からの噴射により置換処理室５の雰囲気ガスに含まれる有機溶剤は、雰囲気ガスを冷却層３４に循環して例えば０℃程度に冷却することによって有機溶剤を凝縮して回収することができる。また、物品３０に付着して置換処理室５から乾燥処理室６へ持ち出された有機溶剤については、後述するように、乾燥処理室６で物品３０に吹き付けた不活性ガスを第二冷却層４２に循環して、この第二冷却層４２で不活性ガスを０℃程度に冷却することによって有機溶剤を凝縮して回収することができる。そして、これらの有機溶剤槽３６、冷却層３４、及び第二冷却層４２で回収された有機溶剤は貯蔵タンク３５に集められた後、加圧器３９を用いることにより有機溶剤加熱手段３１に循環させて、再び噴射ノズル３から噴射することができる。
【００７２】
このとき、貯蔵タンク３５と有機溶剤加熱手段３１との間に清浄器４０を設置しておくことにより、有機溶剤の浄化を行うことができるので、常に清浄な有機溶剤を物品に噴射することができる。また、貯蔵タンク３５では揮発性有機溶剤の量を制御することができ、乾燥処理を行う物品の数が増えて揮発性有機溶剤が減少したときには、自動バルブ５３ａを開いて新たに揮発性有機溶剤を追加供給することができる。
【００７３】
一方、上記冷却層３４で有機溶剤と分離した置換処理室５の雰囲気ガスは、その後例えばＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ等のエアフィルタ４３を介して置換処理室５に循環させることによって、およそその７０〜８０％程度またはそれ以上の割合で再利用することができる。さらに、自動バルブ５３ｃからは不足した分の雰囲気ガスを新たに追加供給して置換処理室５に導入することができる。尚、本発明で用いる置換処理室５の雰囲気ガスは特に限定されるものではないが、例えばアルゴンガスや窒素ガス等の不活性ガスを用いることが好ましい。
【００７４】
また、乾燥処理室６で物品３０に吹き付けた不活性ガスを再利用する場合は、物品３０に吹き付けて物品の乾燥に使用された不活性ガスを、先ず第一冷却槽４１に循環して冷却することにより、不活性ガス中に含まれている水分を凝縮させて分離することができる。また次に、水分を分離した不活性ガスを第二冷却槽４２に循環させて、第一冷却槽４１よりも低い温度で冷却することによって、不活性ガス中に含まれている有機溶剤を凝縮させて分離することができる。そして、このように水分及び有機溶剤を順に分離した不活性ガスは、エアフィルタ４３を通過させて浄化した後、ガス加熱手段３２で加熱して乾燥処理室６に循環することによって、不活性ガスの７０％以上、さらには８０％以上を再利用することができる。また、不足する不活性ガスについては、自動バルブ５３ｂから新たに追加供給することができる。また一方、第一冷却槽４１で不活性ガスと分離した水分は排水され、また第二冷却槽４２で分離して回収した有機溶剤については、上述のように貯蔵タンク３５に送られて再利用することができる。
【００７５】
本発明は、このように再生循環システムを用いることにより、噴射ノズルから噴射した揮発性有機溶剤、置換処理室の雰囲気ガス、また乾燥処理室で物品に吹き付けた不活性ガスを循環して再利用することができるので、コストを大幅に節減できるし、また資源の浪費を抑えて地球環境に与える影響を小さくすることができる。
【００７６】
さらに揮発性有機溶剤や不活性ガスを循環して再利用する際に、再生循環システムで熱循環手段を利用することにより、熱エネルギーを循環利用してエネルギー損失を小さくすることが可能となり、コストの一層の低減、資源の更なる節約を図ることができる。
【００７７】
例えば、熱循環手段として、有機溶剤加熱手段３１に設置した加熱用の熱交換器４４と、冷却槽３４に設置した冷却用の熱交換器４５とを前述のように互いに接続しておき、加熱用の熱交換器４４側では高圧となるように、また冷却用の熱交換器４５側では低圧となるように加圧器３９、加熱ヒーター４６、及び圧力調整バルブ４７を各々調節してノンフロン系ガスを循環させることによって、加熱用の熱交換器４４には熱媒体として加圧したガス（液体）を流通させることができ、有機溶剤加熱手段３１で有機溶剤を加熱することができる。また一方、冷却用の熱交換器４５には冷却媒体として気化ガスを流通させることができ、冷却槽３４で雰囲気ガスの冷却を行うことができる。
【００７８】
このように、加熱用の熱交換器４４と冷却用の熱交換器４５間でガスを循環させて、加熱用の熱交換器４４ではガスを熱媒体として利用し、また冷却用の熱交換器４５では冷却媒体として利用することにより、有機溶剤加熱手段３１と冷却槽３４との間で熱エネルギーを循環利用することができる。尚、図２において、ノンフロン系ガスの流通を示す矢印については、実線のものは加圧したガスの流れを示しており、また点線のものは気化ガスの流れを示している。
【００７９】
また、不活性ガスを循環して再利用する場合は、ガス加熱手段３２に設置した加熱用の熱交換器４４と、第一冷却槽４１及び第二冷却槽４２のそれぞれに設置した冷却用の熱交換器４５ａ、４５ｂとを接続しておき、加熱用の熱交換器４４側では高圧となるように、また冷却用の熱交換器４５ａ、４５ｂ側では低圧となるように加圧器３９、加熱ヒーター４６、及び圧力調整バルブ４７を各々調節してノンフロン系ガスを循環させることによって、上記と同様にガス加熱手段３２と、第一冷却槽４１及び第二冷却槽４２との間で熱エネルギーを循環利用することができる。
【００８０】
また、本発明の自動乾燥装置１には、図１に示すように柔軟性のある上部ネット機構４が設置されている。この上部ネット機構４を用いて搬送ベルト機構２に載置した物品３０を上方から押さえつつ、上部ネット機構４と搬送ベルト機構２との搬送速度を同期させて物品３０を自動的に搬送することによって、物品が様々な形状を有していたり、また種類の全く異なるものであっても、バスケットやラック等の専用の治具を用いずに物品の落下や飛散を防止でき、物品を置換処理室や乾燥処理室等に安定して自動搬送することができる。さらに、このように上部ネット機構を用いれば、物品を連続的に搬送して乾燥処理を行うことが可能となるため、スループットを著しく向上させることができ、処理量の大幅な増加を図ることが可能となる。
【００８１】
このとき、自動乾燥装置１には上部ネット機構４の高さを調節する高さ調節手段が設置されているので、物品の寸法及び形状に合わせて上部ネット機構の高さを容易に調節することができる。したがって、搬送する物品の寸法や形状が大きく異なるものであっても、物品を上方から安定して押さえることができ、物品の落下や飛散を確実に防止できる。
【００８２】
そして、このような本発明の物品の自動乾燥方法は、ウエーハを保持・収納するキャリアボックスを乾燥させる際に特に好適に用いることができる。ウエーハのキャリアボックスの乾燥を本発明の自動乾燥方法で行うことによって、キャリアボックスに乾燥ムラを生じさせずに短時間で効果的にキャリアボックスを乾燥させることができる。
【００８３】
【実施例】
以下、実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
（実施例）
図１に示した物品の自動乾燥装置１を具備する自動洗浄・乾燥処理装置を用いて、直径２００ｍｍのシリコンウエーハを収納できるキャリアボックスを搬送ベルト機構に載置して搬送しながら、先ず洗浄処理室５１で薬液洗浄を行い、続いてリンス処理室５２でリンス処理を行うことによってキャリアボックスに洗浄処理を施した。
【００８４】
その後、キャリアボックスを置換処理室５に搬送して噴射ノズル３から５０℃に加熱したイソプロピルアルコールを噴射して、キャリアボックスに付着していた水滴をアルコールに置換した。続いて、キャリアボックスを乾燥処理室６に搬送し、乾燥処理室６でアルゴンガスをキャリアボックスに吹き付けて乾燥を行った後、さらにキャリアボックスを減圧処理室２９に搬送して減圧処理を行った。
【００８５】
以上のようなキャリアボックスの乾燥処理を５時間連続して行い、１時間当たりのキャリアボックスの処理数を求めた。その結果、本発明の自動乾燥装置のスループットは、約４０個／ｈであることがわかった。また、減圧処理を行った直後のキャリアボックスを観察したところ、乾燥ムラは見当たらず、キャリアボックスの乾燥を均一に行うことができることが確認された。
【００８６】
（比較例）
比較例として、直径２００ｍｍのシリコンウエーハを収納できるキャリアボックスを搬送しながら、先ず洗浄処理室で薬液洗浄を行い、続いてリンス処理室でリンス処理を行うことによってキャリアボックスに洗浄処理を施した。この比較例においてキャリアボックスを洗浄処理する際の洗浄処理条件は、上記実施例と同じ条件となるようにした。
【００８７】
その後、従来行われているように、キャリアボックスを水切り処理室に搬送し、７０℃に加温したＣＤＡを吹き付けてキャリアボックスの水切りを行い、続いてキャリアボックスを乾燥処理室へ搬送し、高温・減圧雰囲気下で加温したＣＤＡをキャリアボックスに吹き付けることによって、キャリアボックスの乾燥を行った。尚、比較例では、キャリアボックスに上記洗浄処理及び乾燥処理を行う際に、キャリアボックスの飛散や落下を防止するために専用のラックを用いてキャリアボックスを保持・固定し、物品の搬送を行った。
【００８８】
以上のようなキャリアボックスの乾燥処理を５時間行い、１時間当たりのキャリアボックスの処理数を求めた。その結果、比較例における乾燥処理のスループットは、２０個／ｈ程度であることがわかった。また、乾燥処理を行った直後のキャリアボックスを観察したところ、若干の乾燥ムラが観察され、均一に乾燥が行われてないことがわかった。
【００８９】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００９０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、物品を置換処理室に搬送して物品に付着している水滴を揮発性有機溶剤に置換し、その後乾燥処理室で物品に不活性ガスを吹き付けて乾燥を行うことにより、物品に乾燥ムラを生じさせずに短時間で効果的に物品の乾燥を行うことができる。また、本発明では、揮発性有機溶剤や不活性ガス等の材料、また熱エネルギーを再利用することができるので、資源の浪費及びエネルギー損失が少なく、地球環境に悪影響を与えずに物品の乾燥を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の物品の自動乾燥装置を具備した自動洗浄・乾燥処理装置の一例を示す概略説明図である。
【図２】再生循環システム及び熱循環手段の構成の一例を説明する概略説明図である。
【図３】本発明の自動乾燥装置を用いて物品の洗浄・乾燥処理を行う方法の一例を示したフロー図である。
【図４】（ａ）は、上部ネット機構の概略断面図であり、（ｂ）は、上部ネット機構の概略平面図である。
【図５】（ａ）は、搬送ベルト機構の概略断面図であり、（ｂ）は、搬送ベルト機構の概略平面図である。
【図６】上部ネット機構を拡大した説明図である。
【図７】（ａ）は、搬送ベルト機構を拡大した説明図であり、（ｂ）は、Ａ材とＢ材の接合部をさらに拡大した説明図である。
【図８】ホールドバーの形状を説明する概略説明図である。
【図９】高さ調節手段の構成例を示す概略構成図である。
【符号の説明】
１…物品の自動乾燥装置、 ２…搬送ベルト機構、
３…噴射ノズル、 ４…上部ネット機構、
５…置換処理室、 ６…乾燥処理室、
７…押さえネット部、 ８…押さえネット駆動チェーン、
９…押さえネット駆動ギア、 １０…搬送ベルト部、
１１…搬送ベルト駆動チェーン、 １２…搬送ベルト駆動ギア、
１３…内周歯、 １４…ギヤ溝、 １５…接合部、
１６…ホールドバー、 １９…モーター、
２０…保持具、 ２１…歯、
２２…上下調節回転ギア、 ２３…バネ、
２４…外枠、 ２５…排出口、 ２６…高さ調節手段、
２７…コマ、 ２８…ピン、
２９…減圧処理室、 ３０…物品、
３１…有機溶剤加熱手段、 ３２…ガス加熱手段、
３３…再生循環システム、 ３４…冷却槽、
３５…貯蔵タンク、 ３６…有機溶剤槽、
３７…コマ、 ３８…ピン、 ３９…加圧器、 ４０…清浄器、
４１…第一冷却槽、 ４２…第二冷却槽、
４３…エアフィルタ、 ４４…加熱用の熱交換器、
４５，４５ａ，４５ｂ…冷却用の熱交換器、
４６…加熱ヒーター、 ４７…圧力調整バルブ、
４８…シャッター、 ５０…コントローラーシステム、
５１…洗浄処理室、 ５２…リンス処理室、
５３ａ，５３ｂ，５３ｃ…自動バルブ。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an automatic drying apparatus and an automatic drying method for drying articles that have been washed or the like.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, when performing processing such as washing and drying on an article, a cleaning process is performed by spraying pure water or a cleaning agent on the article while transporting the article (object to be processed), and then heating heated clean air (clean air). A method of performing a drying process by spraying dry air (hereinafter, may be abbreviated as CDA) or the like is widely used.
[0003]
For example, a carrier box for holding and storing a wafer when shipping a semiconductor wafer is usually required to be very clean in order to prevent contamination of the wafer. Therefore, generally, before the wafer is stored, the carrier box is subjected to a process such as washing and drying to remove dust (particles), organic substances, and the like attached to the carrier box. As a method for cleaning such a carrier box, for example, a method disclosed in Patent Document 1 is known.
[0004]
Here, a method of cleaning the carrier box will be briefly described.
Usually, when such a carrier box is subjected to cleaning and drying processing, the carrier box is firstly disassembled into parts such as a box body, a top cover, an inner box, a retainer, a gasket, and the like. Perform pre-cleaning with pure water. Subsequently, the carrier box that has been subjected to the pre-cleaning is subjected to a chemical cleaning using a chemical such as a surfactant to remove attached particles and organic substances, and then sufficiently rinsed with pure water. Do.
[0005]
After rinsing, dry the carrier box thoroughly. As a method for drying the carrier box, the carrier box after rinsing is transferred into, for example, a clean oven, and the oven is dried at about 60 ° C. by circulating warm air, or a drying apparatus for the carrier box. The carrier box is dried by rotating the carrier box in the apparatus using a rotating mechanism incorporated in the unit and blowing clean warm air, that is, a method using a so-called spin.
[0006]
Further, in the above-described cleaning and drying of the carrier box, after the cleaning process is performed on the carrier box, the drying time in the drying process is reduced by dropping water droplets attached to the carrier box before performing the drying. Therefore, the carrier box is drained. For example, draining is performed on a rinsed carrier box using a CDA blow that blows CDA at a high speed or an air knife that uses pressurized air.
[0007]
However, in such conventional draining of the carrier box using a CDA blow or an air knife, it cannot be said that the water droplets adhering to the carrier box have been sufficiently drained. Had remained. Therefore, when the carrier box is dried in the subsequent drying process, it is difficult to uniformly dry the carrier box, and there is a problem that drying unevenness is likely to occur, and it is still long to completely dry the carrier box. Processing time is required, which is one of the causes of a decrease in throughput and an increase in cost.
[0008]
In addition, as another method for drying the washed carrier box, for example, in Patent Document 2, the carrier box is immersed in a temperature-controlled organic solvent in an immersion tank, and then the carrier box is pulled up from the organic solvent and dried. An apparatus and a method for drying a carrier box are disclosed. However, in this Patent Document 2, when the carrier box is immersed in an organic solvent to replace the water on the surface of the carrier box with the organic solvent, the time required for raising and lowering and immersing the carrier box becomes longer, so the processing time in the drying process However, there is a problem that it is difficult to shorten the length of the device, and the device itself becomes large, so that a large installation space is required and the burden on costs is large.
[0009]
Problems such as a long processing time and uneven drying when performing the above-described drying process are not limited to the case where the carrier box of the semiconductor wafer is dried, and are not caused by the cleaning process. This is a problem commonly caused when a drying process is performed on various articles that have been subjected to the above-described processes.
[0010]
Further, in addition to the above-mentioned problems, when processing such as drying is performed while transporting an article (object to be processed), the object to be processed slides and falls during the transportation, and for example, air or CDA pressurized during the processing is applied. In order to prevent the object to be scattered by spraying or the like and to stably transport the object to be processed, the object to be processed is generally held and fixed using a dedicated basket or rack. Needed.
[0011]
However, when the object is fixed to a dedicated basket or rack and conveyed, preparation before fixing the object to the dedicated basket or rack is necessary, and after performing processing such as drying. In such a case, it is necessary to take the time and effort to take out the object to be processed from the transported basket or rack, move the empty basket or rack to the loading side of the transport device, and start the above-mentioned preparation again. For this reason, it was not possible to efficiently transport the object to be processed, and shortening of processing time and improvement of throughput in various processes were hindered, and it was very difficult to perform a large amount of processing.
[0012]
[Patent Document 1]
JP 2001-156034 A
[Patent Document 2]
JP-A-11-337263
[0013]
[Problems to be solved by the invention]
Therefore, the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to dry an article effectively in a short time without causing drying unevenness when drying the article. An object of the present invention is to provide a drying apparatus and a drying method for an article that can be performed.
[0014]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided an automatic drying apparatus for automatically drying an article, wherein at least water drops adhering to the article are replaced with a volatile organic solvent. A replacement processing chamber, an injection nozzle for spraying a volatile organic solvent to the article in the replacement processing chamber, a drying processing chamber for blowing an inert gas to the article at a stage subsequent to the replacement processing chamber to dry the article, and The present invention provides an automatic drying apparatus for articles, comprising: a conveyor belt mechanism for transferring the sheet to a replacement processing chamber and a drying processing chamber.
[0015]
As described above, at least a replacement processing chamber, an injection nozzle, a drying processing chamber, and an automatic drying apparatus for an article including a transport belt mechanism. The water droplets adhering to the article can be replaced with a volatile organic solvent in a short time by spraying, and then the article can be dried by blowing an inert gas to the article in a drying treatment chamber. And an automatic drying apparatus capable of effectively performing drying in a short period of time without causing the drying.
[0016]
At this time, it is preferable to include an organic solvent heating means for heating the volatile organic solvent injected from the injection nozzle (claim 2).
As long as the organic solvent heating means for heating the volatile organic solvent injected from the injection nozzle is provided, the volatile organic solvent can be heated in advance and injected from the injection nozzle. Can evaporate the organic solvent when evaporating the volatile organic solvent sprayed from the nozzle, and also compensates for the latent heat of vaporization when the volatile organic solvent evaporates, making it easier to keep the atmospheric temperature in the processing chamber constant. Because it can be maintained, the device can be dried very efficiently and stably.
[0017]
Further, it is preferable to include a gas heating means for heating an inert gas blown to the article in the drying processing chamber (claim 3).
As described above, if the apparatus is provided with the gas heating means for heating the inert gas blown to the article, the evaporation of the volatile organic solvent is promoted when the article is dried in the drying treatment chamber, and the atmosphere temperature is kept constant. Since it can be easily maintained, the automatic drying apparatus can dry the articles very efficiently.
[0018]
In this case, it is preferable to provide a regeneration circulation system for circulating and recycling the volatile organic solvent injected from the injection nozzle and / or the inert gas sprayed on the article in the drying processing chamber (claim 4). Further, it is preferable that the regeneration circulation system that circulates and reuses the volatile organic solvent and / or the inert gas has a heat circulation means that circulates and uses thermal energy (claim 5).
[0019]
As described above, if the automatic drying apparatus of the present invention has a regeneration circulation system, the volatile organic solvent injected from the injection nozzle and the inert gas sprayed on the article in the drying processing chamber can be circulated and reused. Therefore, it is possible to reduce the cost, and it is possible to provide an automatic drying apparatus for articles which is less wasteful of resources and friendly to the global environment. Furthermore, if the regeneration circulation system has a heat circulation means, the thermal energy can be circulated when the volatile organic solvent or the inert gas is circulated and reused, so that the cost can be further reduced. And waste of energy can be further suppressed.
[0020]
Further, in the automatic drying apparatus according to the present invention, the transport belt mechanism may include at least a transport belt portion on which the article is placed, a transport belt drive chain attached to both ends of the transport belt portion, and a transport belt drive chain. And a conveyor belt driving gear for driving the conveyor belt, and the conveyor belt portion preferably has a net-like structure.
[0021]
If the transport belt mechanism includes a transport belt unit, a transport belt drive chain, and a transport belt drive gear, the articles can be stably placed and transported to the replacement processing chamber and the drying processing chamber. it can. Further, if the transport belt portion of the transport belt mechanism has a net-like structure, for example, an organic solvent or the like that has flowed down from the article when the volatile organic solvent is sprayed on the article in the replacement processing chamber is quickly dropped from the transport belt mechanism. In addition, when the inert gas is blown on the article in the drying processing chamber, the inert gas can be blown from below the article, which is very effective. Can be dried.
[0022]
In this case, it is preferable that a hold bar for guiding an article is provided in the transport belt portion of the transport belt mechanism (claim 7).
As described above, when the hold bar is provided in the transport belt portion, it is possible to prevent the deviation of the articles when transporting the articles, and to stably transport the articles.
[0023]
Furthermore, it is preferable that the automatic drying device of the present invention has an upper net mechanism that presses the articles placed on the transport belt mechanism from above and transports the articles in synchronization with the transport speed of the transport belt mechanism. Item 8).
As described above, if the automatic drying device for articles of the present invention has an upper net mechanism, the articles can be pressed from above by the upper net mechanism when conveying the articles, and a conventional basket, rack, or the like can be used. The article can be prevented from falling or scattering without using a special jig. Therefore, it is possible to provide an automatic drying device that can efficiently dry articles while stably automatically transporting the articles.
[0024]
In this case, the upper net mechanism includes at least a holding net portion for holding the article, a holding net drive chain attached to both ends of the holding net portion, and a holding net drive gear for driving the holding net drive chain. Preferably, the holding net portion has a net-like structure (claim 9).
[0025]
As described above, if the upper net mechanism includes the holding net portion, the holding net drive chain, and the holding net drive gear, the articles conveyed by the conveyor belt mechanism are pressed from above to ensure that the articles are scattered. And the transport speed can be controlled to easily synchronize with the transport belt mechanism. Furthermore, if the holding net portion of the upper net mechanism has a net-like structure, for example, a volatile organic solvent can be injected over the entire article by installing an injection nozzle above the article in the replacement processing chamber, Water droplets adhering to the article can be reliably replaced with a volatile organic solvent, and when the inert gas is blown on the article in the drying chamber, the inert gas can be blown from above the article. Therefore, the automatic drying apparatus can dry the article extremely effectively.
[0026]
Further, it is preferable that height adjusting means for adjusting the height of the upper net mechanism is provided (claim 10).
If the height adjusting means for adjusting the height of the upper net mechanism is provided as described above, the height of the upper net mechanism can be adjusted according to the size and shape of the article, so that the article has various dimensions. Even if the article has a shape or shape, the article can be stably pressed from above, and the article can be reliably prevented from falling or scattering.
[0027]
Further, in the automatic drying apparatus according to the present invention, it is preferable that a shutter is provided at a doorway of an article in the replacement processing chamber and / or the drying processing chamber (claim 11).
As described above, if the shutter is provided at the entrance of the article in the replacement processing chamber and / or the drying processing chamber, the atmosphere in the processing chamber is shut off from the outside even when alcohol is used as the volatile organic solvent. Therefore, the replacement with the alcohol in the replacement processing chamber and the drying of the article in the drying processing chamber can be performed safely. Further, the inside of the replacement processing chamber and the drying processing chamber can be prevented from being contaminated from the outside.
[0028]
In addition, it is preferable that a decompression processing chamber is further provided at a stage subsequent to the drying processing chamber (claim 12).
As described above, if the decompression processing chamber is further provided in the subsequent stage of the drying processing chamber, even if the volatile organic solvent remains in the article subjected to the drying processing in the drying processing chamber, the volatile organic solvent is thereafter volatilized in the decompression processing chamber. Since the volatile organic solvent can be completely volatilized and removed, the article can be more reliably dried.
[0029]
Further, according to the present invention, in an automatic drying method of an article for drying while automatically transporting the article, the article is placed on a transport belt mechanism and first transported to a replacement processing chamber. The volatile organic solvent is sprayed from the spray nozzle to replace water droplets adhering to the article with the volatile organic solvent, and then the article is transported to a drying chamber, where an inert gas is supplied to the article in the drying chamber. There is provided an automatic drying method for articles, wherein the drying is performed by spraying.
[0030]
As described above, the article is placed on the transport belt mechanism, and is first transported to the replacement processing chamber. In the replacement processing chamber, the volatile organic solvent is sprayed from the injection nozzle to drop water droplets attached to the article into the volatile organic solvent. The replacement can facilitate drying of the article, and thereafter, the article is conveyed to a drying processing chamber, and the article is dried by blowing an inert gas on the article in the drying processing chamber, thereby causing uneven drying of the article. Without drying, the article can be effectively dried in a short time.
[0031]
At this time, it is preferable to heat the volatile organic solvent injected from the injection nozzle (claim 14).
In this manner, by heating the volatile organic solvent injected from the injection nozzle, when the water droplets attached to the article are replaced with the volatile organic solvent and evaporated, the evaporation of the organic solvent can be promoted. In addition, since the latent temperature of vaporization when the volatile organic solvent evaporates can be compensated for, and the atmospheric temperature in the processing chamber can be kept constant, the article can be dried very efficiently and stably.
[0032]
Further, it is preferable that the volatile organic solvent injected from the injection nozzle is alcohol.
By using alcohol as the volatile organic solvent injected from the injection nozzle in this way, water droplets adhering to the article in the replacement processing chamber can be easily replaced with alcohol in a short time, and then the drying processing is performed. By blowing an inert gas onto the article in the chamber, the alcohol is evaporated in a short time, and the article can be dried effectively.
[0033]
Further, it is preferable to heat the inert gas blown to the article in the drying processing chamber (claim 16).
By heating the inert gas blown to the article in the drying chamber as described above, the evaporation of the volatile organic solvent in the drying chamber can be promoted, and the atmospheric temperature of the drying chamber can be kept constant. The article can be dried very efficiently and stably by suppressing the delay of the drying time.
[0034]
In the present invention, the volatile organic solvent sprayed from the spray nozzle and / or the inert gas sprayed on the article in the drying processing chamber can be circulated and reused (claim 17). When circulating and reusing the organic solvent and / or the inert gas, thermal energy can be circulated and used (claim 18).
[0035]
According to the present invention, the volatile organic solvent injected from the injection nozzle and / or the inert gas sprayed on the article in the drying processing chamber can be circulated and reused by using the regeneration circulation system. It is possible to save money, and to reduce waste of resources and influence on the global environment. At this time, by circulating and using heat energy, it is possible to further reduce costs and further save resources.
[0036]
It is preferable that the article is conveyed by synchronizing the conveying speeds of the upper net mechanism and the conveying belt mechanism while pressing the article from above using an upper net mechanism (claim 19).
[0037]
As described above, the articles are conveyed by synchronizing the conveyance speeds of the upper net mechanism and the conveyance belt mechanism while holding the articles from above using the upper net mechanism, thereby eliminating the use of a dedicated jig such as a basket or a rack. It is possible to prevent the articles from falling or scattering and to dry the articles while stably and automatically transporting the articles. Further, by using the upper net mechanism as described above, the articles can be continuously conveyed and dried, so that the throughput can be remarkably improved, and the throughput can be greatly increased. .
[0038]
In this case, it is preferable to adjust the height of the upper net mechanism according to the size and shape of the article (claim 20).
By adjusting the height of the upper net mechanism according to the size and shape of the article in this way, even if the article has various dimensions and shapes, the article can be stably pressed from above, and transported. It is possible to reliably prevent falling or scattering of the articles to be scattered.
[0039]
Further, after drying the article in the drying processing chamber, the article can be further conveyed to a reduced-pressure processing chamber, and the volatile organic solvent attached to the article can be volatilized and removed in the reduced-pressure processing chamber. (Claim 21).
In the present invention, after drying the article in the drying chamber, the article is further transported to the decompression processing chamber and subjected to decompression processing, whereby the volatile organic solvent attached to the article can be completely removed. As a result, the article can be dried more reliably.
[0040]
At this time, the article to be dried can be used as a wafer carrier box (claim 22).
As described above, the method for automatically drying articles of the present invention can be particularly preferably used when drying a carrier box of a wafer that has been subjected to washing or the like, whereby the drying process of the carrier box can be effected in a short time. Can be done
[0041]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described, but the present invention is not limited thereto.
First, an automatic drying apparatus for articles according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic explanatory view showing an example of an automatic washing / drying processing apparatus provided with an automatic drying apparatus for articles of the present invention.
[0042]
As shown in FIG. 1, an automatic drying apparatus 1 for articles of the present invention includes a substitution processing chamber 5 for replacing at least water droplets attached to an article 30 with a volatile organic solvent, and an article in the substitution processing chamber 5. An injection nozzle 3 for injecting the volatile organic solvent into the nozzle 30, a drying chamber 6 for spraying and drying the article 30 with an inert gas at a subsequent stage of the replacement chamber 5, and a replacement chamber 5 for mounting the article 30 thereon. And a transport belt mechanism 2 for transporting to the drying processing chamber 6. Further, a decompression processing chamber 29 can be further provided at a subsequent stage of the drying processing chamber 6. With such an automatic drying apparatus 1, for example, the installation space can be reduced as compared with the above-described drying apparatus of Patent Document 2, and the burden on costs can be greatly reduced.
[0043]
Further, the automatic drying apparatus 1 includes an organic solvent heating unit 31 for heating the volatile organic solvent and a gas heating unit 32 for heating the inert gas. By providing the organic solvent heating means 31 in this manner, the volatile organic solvent injected from the injection nozzle 3 to the article 30 can be heated in the replacement processing chamber 5, and the gas heating means 32 is provided. Accordingly, the inert gas blown to the article 30 in the drying processing chamber 6 can be heated.
[0044]
Furthermore, the automatic drying apparatus 1 for articles of the present invention circulates and reuses the volatile organic solvent injected from the injection nozzle 3 in the replacement processing chamber 5 and the inert gas sprayed on the article 30 in the drying processing chamber 6. It has a regeneration circulation system. Here, an example of the regeneration circulation system used in the present invention will be described with reference to FIG.
[0045]
The regeneration circulation system 33 used in the present invention is, for example, an organic solvent tank that collects the organic solvent flowing down from the article 30 in order to circulate and reuse the volatile organic solvent injected from the injection nozzle 3 in the replacement processing chamber 5. 36, a cooling tank 34 for condensing and recovering the organic solvent contained in the atmosphere gas in the substitution processing chamber 5 by cooling during circulation of the atmosphere gas, and the organic solvent tank 36 and the cooling tank 34. And the like. A storage tank 35 for collecting and storing the organic solvent collected in the storage tank 35, a pressurizer 39 for circulating the organic solvent collected in the storage tank 35 to the injection nozzle 3 again, and for circulating the organic solvent to the injection nozzle 3 A purifier 40 for purifying the organic solvent is provided.
[0046]
Further, in the drying processing chamber 6, in order to circulate and reuse the inert gas sprayed on the article 30, the inert gas is cooled to separate the water and the organic solvent contained in the inert gas from each other. A first cooling tank 41 and a second cooling tank 42 for condensing and recovering the water, and an HEPA filter for purifying an inert gas from which water and an organic solvent are separated in these cooling tanks 41 and 42 and circulating the gas to a gas heating means; An air filter 43 such as an ULPA filter is provided.
[0047]
Further, it is preferable that the regeneration circulation system for recycling and recycling the volatile organic solvent and the inert gas as described above is provided with a heat circulation means for circulating and using thermal energy. For example, when the volatile organic solvent is circulated and reused, as shown in FIG. 2, the heat exchanger 44 for heating and the heat exchanger 45 for cooling are used as heat circulating means, respectively, with the organic solvent heating means 31. It is installed in a cooling tank 34. One end of each of the heat exchangers 44 and 45 is connected to each other via a pressurizer 39 and a heater 46, and the other end is connected to a pressure regulating valve 47. By circulating between the heat exchanger 44 for cooling and the heat exchanger 45 for cooling, heat energy can be circulated and used between the organic solvent heating means 31 and the cooling bath 34.
[0048]
In the case where the inert gas is circulated and reused, a heat exchanger 44 for heating is installed in the gas heating means 32, and heat for cooling is provided in each of the first cooling tank 41 and the second cooling tank 42. Exchangers 45a and 45b are connected and installed. Then, for example, the heat exchanger 45a for cooling is connected to one end of the heat exchanger 44 for heating via the pressurizer 39 and the heater 46, and the heat exchanger 45b for cooling is connected via the pressure regulating valve 47. By connecting to the other end of the heat exchanger 44 for heating and circulating the non-fluorocarbon gas, it is possible to circulate and use the heat energy between the gas heating means 32 and the cooling tanks 41 and 42.
[0049]
Also, as shown in FIG. 5, the conveyor belt mechanism 2 installed in the automatic drying apparatus 1 of the present invention shown in FIG. It has a transport belt drive chain 11 attached and a transport belt drive gear 12 for driving the transport belt drive chain 11. As shown in an enlarged view in FIG. 7A, the transport belt portion 10 has a net-like structure with a fine wire diameter, and can stably load articles having various shapes. At this time, the mesh structure has a predetermined opening size (eye), and the size of the eye is not particularly limited since it may be adjusted in consideration of the shape, size, and weight of the article. For example, in the case of transporting a wafer carrier box as an article, by setting the size of the mesh in the mesh structure of the transport belt unit 10 to 25 × 25 mm or less, the load resistance increases and the carrier box is stably mounted. Can be placed and transported. The transport belt drive chain 11 has a width of, for example, about 50 mm, and can be configured by connecting the tops 37 with pins 38.
[0050]
At this time, it is preferable that the transport belt portion 10 is coated with a fluororesin or a fluororesin. For example, the material (A material) of the transport belt portion 10 in a direction perpendicular to the driving direction of the transport belt drive chain 11 is used. Is a thin stainless steel rod coated with PTFE (polytetrafluoroethylene), and a stainless steel wire is coated with PTFE on the material (material B) of the transport belt portion 10 in a direction parallel to the driving direction of the drive chain 11. Can be used. If the transport belt portion 10 is made of such a material, not only can it maintain excellent cleanliness, but also have excellent heat resistance, chemical resistance, and abrasion resistance, and the transport belt portion should have a slip. Therefore, it is possible to prevent the article from being caught and to carry the article smoothly. In such a transport belt section 10, by forming the joint 15 between the material A and the material B, for example, as shown in FIG. .
[0051]
Furthermore, as shown in FIG. 7A, it is preferable that the transport belt mechanism 2 is provided with a hold bar 16 for guiding articles to the transport belt unit 10. For example, if a hold bar made of a material such as silicon rubber is installed at a predetermined interval on the material A of the transport belt unit 10, when the articles are placed on the transport belt mechanism 2 and transported, the articles may be misaligned. Can be prevented. In addition, since the hold bar is installed as described above, for example, as shown in FIG. When the article 1 is transported from the replacement processing chamber 5 to the drying processing chamber 6 by the apparatus 1, it is possible to smoothly transfer the articles between the transport belt mechanisms.
[0052]
When the hold bar 16 is provided in the transport belt mechanism 2, it is preferable that the upper surface of the hold bar 16 is formed in a comb shape as shown in FIG. With a hold bar having such a shape, for example, when transferring articles between the transport belt mechanisms, etc., the hold bars installed on the respective transport belt mechanisms do not collide with each other, and the articles are transported and delivered. Can be performed smoothly.
[0053]
Further, as shown in FIG. 1, the automatic drying device 1 of the present invention presses the articles 30 placed on the transport belt mechanism 2 from above and transports the articles 30 in synchronization with the transport speed of the transport belt mechanism 2. It is preferable to have the upper net mechanism 4 that performs the operation. When the upper net mechanism 4 is installed in the automatic drying apparatus 1 as described above, the article 30 is pressed from above without using a special jig such as a basket or a rack to prevent the article from falling or scattering. Thus, the article 30 can be automatically and continuously transported stably.
[0054]
As shown in FIG. 4, for example, the upper net mechanism 4 includes a holding net portion 7 having flexibility and for holding an article from above, a holding net driving chain 8 attached to both ends of the holding net portion 7, and a holding net. A holding net drive gear 9 for driving the drive chain 8 is provided. The holding net portion 7 has a net-like structure with a fine wire diameter, and the net-like structure has an opening dimension (eyes) of a predetermined size, for example, as shown in an enlarged view in FIG. . The size of the mesh in the mesh structure of the holding net portion 7 is not particularly limited because it may be adjusted in consideration of the size and shape of the article, but, for example, when a wafer carrier box is transported as an article, the opening dimension is reduced. The carrier box can be stably pressed from above by setting the size to about 50 × 50 mm or less. On the other hand, the holding net drive chain 8 may have a width of, for example, about 50 mm, and may be configured by connecting the tops 27 with pins 28.
[0055]
At this time, it is preferable that the holding net portion 7 is also coated with a fluororesin or a fluororesin similarly to the transport belt portion 10. For example, the material A is a thin stainless bar coated with PTFE. Further, by using a material obtained by coating PTFE on a stainless steel wire, the same effect as that of the transport belt unit 10 can be obtained. Further, by forming the joint between the material A and the material B of the holding net 7 in the same manner as in FIG. 7B, the surface of the holding net 7 that comes into contact with the article can be flattened.
[0056]
Further, in the transport belt mechanism 2 and the upper net mechanism 4 as described above, the inner surface of the transport belt drive chain 11 and the inner surface of the holding net drive chain 8 facilitate engagement with the respective drive gears 12 and 9. For this purpose, for example, inner peripheral teeth 13 as shown in FIG. 6 or gear grooves 14 as shown in FIG. 7A are formed. If the inner peripheral teeth 13 or the gear grooves 14 are formed on the inner surfaces of the transport belt drive chain 11 and the holding net drive chain 8 in this manner, the driving force of the transport belt drive gear 12 and the holding net drive gear 9 can be reliably increased. It can be transmitted to the drive chain, and by controlling the magnitude of the driving force with each drive gear, the respective transport speeds of the transport belt mechanism 2 and the upper net mechanism 4 are adjusted and easily synchronized. be able to. In addition, dust and metal contamination can be prevented by forming the drive chain and the drive gear in the transport belt mechanism 2 and the upper net mechanism 4 from a vinyl chloride resin such as reinforced plastic or clean PVC.
[0057]
Further, it is preferable that the automatic drying apparatus 1 of the present invention is provided with height adjusting means for adjusting the height of the upper net mechanism 4. For example, as shown in FIG. 9, as the height adjusting means 26, a motor 19 for applying a driving force to the holding net drive gear 9 of the upper net mechanism 4 is held by a holder 20 via a spring 23, and this holder The teeth 21 are attached to the outer surface of the gear 20 at regular intervals, and mesh with the vertically adjustable rotating gear 22. The height of the upper net mechanism 4 can be easily adjusted by rotating the up-down adjusting rotation gear 22.
[0058]
Further, if a motor is attached to the up-and-down adjustment rotating gear 22 and a controller system 50 capable of storing the height of each article and controlling the number of rotations of the motor to the stored height is installed, the transportation can be further simplified. it can.
[0059]
If such a height adjusting means 26 is installed in the automatic drying apparatus 1 of the present invention, the height of the upper net mechanism can be adjusted according to the size and shape of the article. Even if they have different shapes, and have significantly different outer dimensions, they can be stably pressed from above by the upper net mechanism 4, and falling and scattering of articles can be reliably prevented.
[0060]
When the height of the upper net mechanism 4 is adjusted by such a height adjusting means 26, dust may be generated from, for example, a contact portion between the holder 20 and the up-and-down adjusting rotary gear 22, and so on. It is preferable to dispose the outer frame 24 around the adjusting means 26 and form the outlet 25 so that dust generated in the outer frame 24 can be forcibly exhausted. By taking such dust generation measures, it is possible to prevent dust from entering the apparatus even when the height of the upper net mechanism is adjusted, and it is possible to maintain the inside of the apparatus at an excellent cleaning degree. Of course, even when there is no height adjusting means, it is preferable to enclose the drive gear, the drive chain, and the like to forcibly exhaust dust and the like that may be generated due to wear and the like.
[0061]
Similarly, in the transport belt mechanism 2, the drive area such as the drive gear and the drive chain is separated from the area where the articles are transported, and the article transport area can be maintained at high cleanliness by forcibly exhausting the drive system area. Preferably, it has a structure.
[0062]
Further, in the automatic drying apparatus 1 of the present invention, as shown in FIG. 1, it is preferable that a shutter 48 is provided at the entrance and exit of articles in the replacement processing chamber 5 and the drying processing chamber 6, and further in the decompression processing chamber 29. As described above, if the shutters 48 are provided at the entrances and exits of the articles in the replacement processing chamber 5, the drying processing chamber 6, and the decompression processing chamber 29, the atmosphere in each processing chamber can be shut off from the outside. Even when alcohol is used as the organic solvent, the replacement of the volatile organic solvent performed in the replacement processing chamber, the drying processing of the article performed in the drying processing chamber, and the reduced pressure processing performed in the reduced pressure processing chamber can be performed safely. In addition, each processing chamber can be prevented from being contaminated from outside. Furthermore, if the replacement processing chamber 5, the drying processing chamber 6, and the decompression processing chamber 29 have an explosion-proof structure, the safety of the apparatus can be further enhanced.
[0063]
Next, the method for automatically drying articles according to the present invention will be described in detail with reference to the schematic explanatory view of the automatic cleaning / drying apparatus shown in FIG. 1 and the flow chart of the cleaning / drying processing shown in FIG. .
First, the article 30 is subjected to a cleaning process. In the present invention, the cleaning process of the article is not particularly limited. For example, the article 30 is placed on the transport belt mechanism 2 (loader), and while the article 30 is transported by the transport belt mechanism 2, the chemical cleaning is performed in the cleaning chamber 51. After that, a rinsing process or the like can be performed in the rinsing process chamber 52.
[0064]
After the article 30 is thus subjected to the cleaning process, the article 30 is first transported to the replacement processing chamber 5 using the automatic drying apparatus 1 of the present invention. The water droplets adhering to the article 30 are replaced with the volatile organic solvent by spraying (spraying) the volatile organic solvent from the above. By thus replacing the water droplets with the volatile organic solvent, it is possible to easily dry the article when the article is subsequently dried.
[0065]
Subsequently, the article 30 that has been replaced with the volatile organic solvent in the replacement processing chamber 5 is conveyed to the drying processing chamber 6, where an inert gas such as argon gas or nitrogen gas is supplied to the article in the drying processing chamber 6. The article 30 is dried by spraying. By drying the article 30 in this manner, the article 30 can be effectively dried in a short time without causing drying unevenness in the article 30.
[0066]
Further, in the present invention, after drying the article 30 in the drying processing chamber 6, the article 30 can be further transported to the decompression processing chamber 29, and the decompression processing can be performed on the article 30 in the decompression processing chamber 29. By performing the decompression treatment on the article 30 in the decompression processing chamber 29 in this manner, the volatile organic solvent can be completely removed, so that the article 30 can be more reliably dried.
[0067]
In such an automatic drying method of the present invention, the volatile organic solvent injected from the injection nozzle 3 in the replacement processing chamber 5 is preferably heated using the organic solvent heating means 31. For example, when the volatile organic solvent heated to about 30 to 50 ° C. by the organic solvent heating means 31 is sprayed from the spray nozzle 3, the water droplets adhering to the article are replaced with the volatile organic solvent and then evaporated. In addition, the evaporation of the organic solvent can be promoted, and when the volatile organic solvent evaporates, the latent heat of vaporization can be compensated for, and the temperature of the atmosphere in the processing chamber can be kept constant, thus preventing a delay in the drying time. Thus, the article can be dried very efficiently and stably.
[0068]
At this time, the volatile organic solvent injected from the injection nozzle 3 has a property that does not dissolve the article to be dried. For example, in the case of a wafer carrier box, alcohol can be used, and among them, isopropyl alcohol is particularly preferable. By spraying from the spray nozzle 3 using alcohol, particularly isopropyl alcohol, as the volatile organic solvent, water droplets adhering to the article 30 can be easily replaced with alcohol in a short time, and After that, the alcohol can be evaporated in a very short time by blowing an inert gas onto the article 30 in the drying processing chamber 6, so that the article 30 can be dried efficiently.
[0069]
Further, in the present invention, it is preferable that the inert gas blown to the article 30 in the drying processing chamber 6 be heated to, for example, about 80 to 150 ° C. by the gas heating means 32. Thereby, when the inert gas is blown in the drying processing chamber 6, the evaporation of the volatile organic solvent can be promoted, and the atmospheric temperature in the drying processing chamber 6 can be kept constant, thereby preventing a delay in the drying time. The product can be dried very efficiently and stably.
[0070]
Further, when the article 30 is dried as described above, the volatile organic solvent injected from the injection nozzle 3 in the replacement processing chamber 5 and the drying process are performed by using the regeneration circulation system 33 as shown in FIG. The inert gas or the like blown to the article 30 in the chamber 6 can be circulated and reused.
[0071]
Such recycling of the volatile organic solvent and the like will be specifically described with reference to FIG. 2. The volatile organic solvent injected from the injection nozzle 3 in the replacement processing chamber 5 is, for example, the organic solvent that has flowed down from the article 30. Can be recovered in the organic solvent tank 36, and the organic solvent contained in the atmosphere gas in the replacement processing chamber 5 by the injection from the injection nozzle 3 is circulated to the cooling layer 34 and cooled to, for example, about 0 ° C. By doing so, the organic solvent can be condensed and recovered. As for the organic solvent adhered to the article 30 and taken out of the replacement processing chamber 5 to the drying processing chamber 6, as described later, the inert gas sprayed on the article 30 in the drying processing chamber 6 is subjected to the second cooling layer 42. The organic solvent can be condensed and recovered by cooling the inert gas to about 0 ° C. in the second cooling layer 42. The organic solvent collected in the organic solvent tank 36, the cooling layer 34, and the second cooling layer 42 is collected in a storage tank 35, and then circulated to the organic solvent heating means 31 by using a pressurizer 39. Thus, the fuel can be injected again from the injection nozzle 3.
[0072]
At this time, by installing the purifier 40 between the storage tank 35 and the organic solvent heating means 31, the organic solvent can be purified, so that the clean organic solvent can always be sprayed on the article. it can. Further, in the storage tank 35, the amount of the volatile organic solvent can be controlled. When the number of articles to be dried increases and the volatile organic solvent decreases, the automatic valve 53a is opened to newly open the volatile organic solvent. Can be additionally supplied.
[0073]
On the other hand, the atmosphere gas in the replacement processing chamber 5 separated from the organic solvent in the cooling layer 34 is then circulated to the replacement processing chamber 5 through an air filter 43 such as a HEPA filter or an ULPA filter, so that about 70- It can be recycled at a rate of about 80% or more. Further, the insufficient atmospheric gas can be additionally supplied from the automatic valve 53c and introduced into the replacement processing chamber 5. The atmosphere gas in the substitution chamber 5 used in the present invention is not particularly limited, but it is preferable to use an inert gas such as an argon gas or a nitrogen gas.
[0074]
When the inert gas sprayed on the article 30 is reused in the drying processing chamber 6, the inert gas sprayed on the article 30 and used for drying the article is first circulated to the first cooling tank 41 for cooling. By doing so, the water contained in the inert gas can be condensed and separated. Next, the inert gas from which water has been separated is circulated through the second cooling tank 42 and cooled at a temperature lower than that of the first cooling tank 41 to condense the organic solvent contained in the inert gas. Can be separated. The inert gas thus separated from the water and the organic solvent in this order is purified by passing through an air filter 43, and then heated by the gas heating means 32 and circulated to the drying processing chamber 6, whereby the inert gas is removed. 70% or more, and even 80% or more of these can be reused. Insufficient inert gas can be additionally supplied from the automatic valve 53b. On the other hand, the water separated from the inert gas in the first cooling tank 41 is drained, and the organic solvent separated and recovered in the second cooling tank 42 is sent to the storage tank 35 for reuse as described above. can do.
[0075]
The present invention circulates and reuses the volatile organic solvent injected from the injection nozzle, the atmosphere gas in the replacement processing chamber, and the inert gas sprayed on the article in the drying processing chamber by using the regeneration circulation system as described above. As a result, the cost can be significantly reduced, and the impact on the global environment can be reduced by suppressing waste of resources.
[0076]
Furthermore, when volatile organic solvents and inert gases are circulated and reused, the use of heat circulating means in the regeneration circulating system makes it possible to reduce the energy loss by circulating heat energy and reducing costs. Can be further reduced, and resources can be further saved.
[0077]
For example, as a heat circulating means, a heat exchanger 44 for heating provided in the organic solvent heating means 31 and a heat exchanger 45 for cooling provided in the cooling tank 34 are connected to each other as described above, and heating is performed. The pressurizer 39, the heater 46, and the pressure regulating valve 47 are adjusted so that the pressure becomes high on the heat exchanger 44 side and the pressure becomes low on the heat exchanger 45 side for cooling. The pressurized gas (liquid) as a heat medium can be circulated through the heat exchanger 44 for heating, and the organic solvent can be heated by the organic solvent heating means 31. On the other hand, a vaporized gas can be passed through the heat exchanger 45 for cooling as a cooling medium, and the ambient gas can be cooled in the cooling tank 34.
[0078]
As described above, the gas is circulated between the heat exchanger 44 for heating and the heat exchanger 45 for cooling, the gas is used as the heat medium in the heat exchanger 44 for heating, and the heat exchanger 44 for cooling is used. By using the cooling medium 45 as a cooling medium, heat energy can be circulated and used between the organic solvent heating means 31 and the cooling tank 34. In FIG. 2, regarding the arrows indicating the flow of the non-fluorocarbon gas, the solid line indicates the flow of the pressurized gas, and the dotted line indicates the flow of the vaporized gas.
[0079]
When the inert gas is circulated and reused, the heating heat exchanger 44 installed in the gas heating means 32 and the cooling heat exchanger 44 installed in each of the first cooling tank 41 and the second cooling tank 42 are used. The heat exchangers 45a and 45b are connected to each other, and the pressurizing unit 39 is connected to the heating heat exchanger 44 so that the pressure is high and the cooling heat exchangers 45a and 45b are low. By circulating the non-fluorocarbon gas by adjusting the heater 46 and the pressure adjusting valve 47, heat energy can be transferred between the gas heating means 32 and the first cooling tank 41 and the second cooling tank 42 as described above. Can be recycled.
[0080]
Further, the automatic drying apparatus 1 of the present invention is provided with a flexible upper net mechanism 4 as shown in FIG. The upper net mechanism 4 is used to automatically convey the articles 30 by synchronizing the conveying speeds of the upper net mechanism 4 and the conveying belt mechanism 2 while pressing the articles 30 placed on the conveying belt mechanism 2 from above. Therefore, even if the articles have various shapes or are completely different types, the articles can be prevented from dropping and scattering without using a dedicated jig such as a basket or a rack, and the articles are replaced. It can be stably and automatically transferred to a room or a drying processing room. Further, if the upper net mechanism is used as described above, it is possible to carry out the drying process by continuously transporting the articles, so that the throughput can be significantly improved, and the throughput can be greatly increased. It becomes possible.
[0081]
At this time, since the automatic drying device 1 is provided with height adjusting means for adjusting the height of the upper net mechanism 4, it is possible to easily adjust the height of the upper net mechanism according to the size and shape of the article. Can be. Therefore, even if the size and shape of the articles to be conveyed are significantly different, the articles can be stably pressed from above and the articles can be reliably prevented from falling or scattering.
[0082]
Such an automatic drying method for articles of the present invention can be particularly suitably used when drying a carrier box for holding and storing a wafer. By drying the carrier box of the wafer by the automatic drying method of the present invention, the carrier box can be effectively dried in a short time without causing drying unevenness in the carrier box.
[0083]
【Example】
Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited thereto.
(Example)
Using an automatic cleaning / drying apparatus equipped with the automatic article drying apparatus 1 shown in FIG. 1, a carrier box capable of storing a silicon wafer having a diameter of 200 mm is placed on a transport belt mechanism and transported. The carrier box was cleaned by performing a chemical cleaning in the chamber 51 and then performing a rinsing process in the rinsing chamber 52.
[0084]
Thereafter, the carrier box was transported to the replacement processing chamber 5, and isopropyl alcohol heated to 50 ° C. was injected from the injection nozzle 3 to replace water droplets attached to the carrier box with alcohol. Subsequently, the carrier box was transported to the drying chamber 6, and the carrier box was blown with argon gas in the drying chamber 6 to perform drying. After that, the carrier box was further transported to the decompression chamber 29 to perform decompression processing. .
[0085]
The drying process of the carrier box as described above was performed continuously for 5 hours, and the number of processes of the carrier box per hour was obtained. As a result, it was found that the throughput of the automatic drying apparatus of the present invention was about 40 pieces / h. In addition, when the carrier box was observed immediately after the decompression treatment, no drying unevenness was found, and it was confirmed that the carrier box could be dried uniformly.
[0086]
(Comparative example)
As a comparative example, while transporting a carrier box capable of accommodating a silicon wafer having a diameter of 200 mm, a chemical solution was firstly cleaned in a cleaning chamber, and then the carrier box was cleaned by performing a rinsing process in a rinsing chamber. In this comparative example, the cleaning processing conditions for cleaning the carrier box were set to be the same as those in the above example.
[0087]
Thereafter, the carrier box is transported to a draining treatment chamber, and the carrier box is drained by spraying a CDA heated to 70 ° C., and then the carrier box is transported to a drying treatment chamber, as conventionally performed. -The carrier box was dried by spraying CDA heated under a reduced pressure atmosphere onto the carrier box. In the comparative example, when performing the above-described cleaning and drying processes on the carrier box, the carrier box is held and fixed using a dedicated rack to prevent the carrier box from scattering and falling, and the articles are conveyed. Was.
[0088]
The drying process of the carrier box as described above was performed for 5 hours, and the number of processes of the carrier box per hour was obtained. As a result, it was found that the throughput of the drying process in the comparative example was about 20 pieces / h. Further, when the carrier box was observed immediately after the drying treatment, slight drying unevenness was observed, and it was found that drying was not performed uniformly.
[0089]
Note that the present invention is not limited to the above embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, and has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention, and any device having the same operation and effect can be realized by the present invention. It is included in the technical scope of the invention.
[0090]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, an article is conveyed to a replacement processing chamber to replace water drops adhering to the article with a volatile organic solvent, and then an inert gas is sprayed on the article in a drying processing chamber. By performing the drying, the article can be effectively dried in a short time without causing drying unevenness in the article. Further, in the present invention, materials such as volatile organic solvents and inert gases, and thermal energy can be reused, so that resources are not wasted and energy loss is small, and drying of articles without adversely affecting the global environment is performed. It can be performed.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic explanatory view showing an example of an automatic washing / drying processing device provided with an automatic drying device for articles of the present invention.
FIG. 2 is a schematic explanatory diagram illustrating an example of a configuration of a regeneration circulation system and a heat circulation unit.
FIG. 3 is a flowchart showing an example of a method for performing a washing / drying process of an article using the automatic drying apparatus of the present invention.
FIG. 4A is a schematic sectional view of an upper net mechanism, and FIG. 4B is a schematic plan view of the upper net mechanism.
FIG. 5A is a schematic cross-sectional view of a transport belt mechanism, and FIG. 5B is a schematic plan view of the transport belt mechanism.
FIG. 6 is an enlarged explanatory view of an upper net mechanism.
FIG. 7A is an enlarged explanatory view of a transport belt mechanism, and FIG. 7B is an enlarged explanatory view of a joint between a material A and a material B.
FIG. 8 is a schematic explanatory view illustrating the shape of a hold bar.
FIG. 9 is a schematic configuration diagram illustrating a configuration example of a height adjusting unit.
[Explanation of symbols]
1. Automatic drying device for articles 2. Transport belt mechanism
3 injection nozzle 4 upper net mechanism
5: replacement processing chamber, 6: drying processing chamber,
7 ... holding net part, 8 ... holding net drive chain,
9 ... holding net drive gear, 10 ... conveyor belt part,
11: conveyor belt drive chain, 12: conveyor belt drive gear,
13 ... inner peripheral teeth, 14 ... gear grooves, 15 ... joints,
16 ... Hold bar, 19 ... Motor,
20: holder, 21: teeth,
22 ... vertical adjustment rotating gear, 23 ... spring,
24 ... outer frame, 25 ... outlet, 26 ... height adjustment means,
27 ... top, 28 ... pin,
29: decompression processing chamber, 30: article,
31: organic solvent heating means, 32: gas heating means,
33: regeneration circulation system, 34: cooling tank,
35 ... storage tank, 36 ... organic solvent tank,
37 ... top, 38 ... pin, 39 ... pressurizer, 40 ... purifier,
41: first cooling tank, 42: second cooling tank,
43: air filter, 44: heat exchanger for heating,
45, 45a, 45b ... heat exchanger for cooling,
46: heating heater, 47: pressure adjusting valve,
48: shutter, 50: controller system,
51: cleaning processing chamber, 52: rinsing processing chamber,
53a, 53b, 53c ... automatic valves.

Claims (22)

物品に自動的に乾燥を行う物品の自動乾燥装置であって、少なくとも、前記物品に付着している水滴を揮発性有機溶剤に置換を行う置換処理室と、該置換処理室内で物品に揮発性有機溶剤を噴射する噴射ノズルと、前記置換処理室の後段で物品に不活性ガスを吹き付けて乾燥を行う乾燥処理室と、前記物品を載置して置換処理室及び乾燥処理室に搬送する搬送ベルト機構とを具備することを特徴とする物品の自動乾燥装置。An automatic drying apparatus for automatically drying an article, wherein at least a replacement processing chamber for replacing water droplets adhering to the article with a volatile organic solvent, An injection nozzle for injecting an organic solvent, a drying processing chamber for spraying and drying an inert gas on an article at a latter stage of the replacement processing chamber, and a conveyance for mounting the article and conveying the article to the replacement processing chamber and the drying processing chamber An automatic drying apparatus for articles, comprising: a belt mechanism. 前記噴射ノズルから噴射する揮発性有機溶剤を加熱する有機溶剤加熱手段を具備することを特徴とする請求項１に記載の物品の自動乾燥装置。2. The apparatus according to claim 1, further comprising an organic solvent heating unit configured to heat a volatile organic solvent injected from the injection nozzle. 前記乾燥処理室で物品に吹き付ける不活性ガスを加熱するガス加熱手段を具備することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の物品の自動乾燥装置。The automatic drying apparatus for articles according to claim 1 or 2, further comprising gas heating means for heating an inert gas blown to the articles in the drying processing chamber. 前記噴射ノズルから噴射した揮発性有機溶剤及び／または前記乾燥処理室で物品に吹き付けた不活性ガスを循環して再利用する再生循環システムを具備することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の物品の自動乾燥装置。4. A recycling system for recycling a volatile organic solvent sprayed from the spray nozzle and / or an inert gas sprayed on an article in the drying processing chamber. An automatic drying apparatus for an article according to any one of the above. 前記揮発性有機溶剤及び／または不活性ガスを循環して再利用する再生循環システムが、熱エネルギーを循環利用する熱循環手段を有するものであることを特徴とする請求項４に記載の物品の自動乾燥装置。5. The article according to claim 4, wherein the regeneration circulation system for circulating and recycling the volatile organic solvent and / or the inert gas has a heat circulation means for circulating and using thermal energy. Automatic drying equipment. 前記搬送ベルト機構が、少なくとも、前記物品を載置する搬送ベルト部と、該搬送ベルト部の両端に取り付けられた搬送ベルト駆動チェーンと、該搬送ベルト駆動チェーンを駆動させる搬送ベルト駆動ギアとを具備し、前記搬送ベルト部が網状の構造を有するものであることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の物品の自動乾燥装置。The transport belt mechanism includes at least a transport belt portion on which the article is placed, a transport belt drive chain attached to both ends of the transport belt portion, and a transport belt drive gear that drives the transport belt drive chain. The apparatus according to any one of claims 1 to 5, wherein the conveyor belt has a net-like structure. 前記搬送ベルト機構の搬送ベルト部に、物品を誘導するためのホールドバーが設けられていることを特徴とする請求項６に記載の物品の自動乾燥装置。7. The automatic drying apparatus for articles according to claim 6, wherein a hold bar for guiding the articles is provided in a conveyance belt portion of the conveyance belt mechanism. 前記搬送ベルト機構に載置した物品を上方から押さえるとともに、前記搬送ベルト機構の搬送速度と同期させて物品を搬送する上部ネット機構を有することを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の物品の自動乾燥装置。8. An apparatus according to claim 1, further comprising an upper net mechanism for pressing the articles placed on the transport belt mechanism from above and transporting the articles in synchronization with a transport speed of the transport belt mechanism. An automatic drying device for an article according to claim 1. 前記上部ネット機構が、少なくとも、前記物品を押さえる押さえネット部と、該押さえネット部の両端に取り付けられた押さえネット駆動チェーンと、該押さえネット駆動チェーンを駆動させる押さえネット駆動ギアとを具備し、前記押さえネット部が網状の構造を有するものであることを特徴とする請求項８に記載の物品の自動乾燥装置。The upper net mechanism includes at least a holding net portion for holding the article, a holding net drive chain attached to both ends of the holding net portion, and a holding net drive gear for driving the holding net drive chain, 9. The automatic drying apparatus according to claim 8, wherein the holding net has a net-like structure. 前記上部ネット機構の高さを調節する高さ調節手段が設置されていることを特徴とする請求項８または請求項９に記載の物品の自動乾燥装置。10. The apparatus for automatically drying articles according to claim 8, wherein height adjusting means for adjusting the height of the upper net mechanism is provided. 前記置換処理室及び／または乾燥処理室の物品の出入口にシャッターが設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項１０のいずれか一項に記載の物品の自動乾燥装置。The automatic drying apparatus for an article according to any one of claims 1 to 10, wherein a shutter is provided at an entrance of the article in the replacement processing chamber and / or the drying processing chamber. 前記乾燥処理室の後段に、さらに減圧処理室が設置されていることを特徴とする請求項１ないし請求項１１のいずれか一項に記載の物品の自動乾燥装置。The automatic drying apparatus for articles according to any one of claims 1 to 11, wherein a decompression processing chamber is further provided downstream of the drying processing chamber. 物品を自動的に搬送しながら乾燥を行う物品の自動乾燥方法において、前記物品を搬送ベルト機構に載置して先ず置換処理室に搬送し、該置換処理室内で噴射ノズルから揮発性有機溶剤を噴射して物品に付着している水滴を揮発性有機溶剤に置換し、その後、該物品を乾燥処理室に搬送し、該乾燥処理室内で物品に不活性ガスを吹き付けて乾燥を行うことを特徴とする物品の自動乾燥方法。In an automatic drying method of an article for drying while automatically transporting the article, the article is placed on a transport belt mechanism and first transported to a replacement processing chamber. The method is characterized in that water droplets adhering to the article by spraying are replaced with a volatile organic solvent, and thereafter, the article is conveyed to a drying processing chamber, and an inert gas is blown onto the article in the drying processing chamber to perform drying. Automatic drying method for articles. 前記噴射ノズルから噴射する揮発性有機溶剤を加熱することを特徴とする請求項１３に記載の物品の自動乾燥方法。The method for automatically drying articles according to claim 13, wherein the volatile organic solvent injected from the injection nozzle is heated. 前記噴射ノズルから噴射する揮発性有機溶剤をアルコールとすることを特徴とする請求項１３または請求項１４に記載の物品の自動乾燥方法。The method according to claim 13 or 14, wherein the volatile organic solvent injected from the injection nozzle is alcohol. 前記乾燥処理室で物品に吹き付ける不活性ガスを加熱することを特徴とする請求項１３ないし請求項１５のいずれか一項に記載の物品の自動乾燥方法。The method for automatically drying an article according to any one of claims 13 to 15, wherein an inert gas blown to the article is heated in the drying processing chamber. 前記噴射ノズルから噴射した揮発性有機溶剤及び／または前記乾燥処理室で物品に吹き付けた不活性ガスを循環して再利用することを特徴とする請求項１３ないし請求項１６のいずれか一項に記載の物品の自動乾燥方法。The volatile organic solvent sprayed from the spray nozzle and / or the inert gas sprayed on the article in the drying chamber is circulated and reused. An automatic drying method for the described article. 前記揮発性有機溶剤及び／または不活性ガスを循環して再利用する際に、熱エネルギーを循環利用することを特徴とする請求項１７に記載の物品の自動乾燥方法。18. The method for automatically drying articles according to claim 17, wherein, when the volatile organic solvent and / or the inert gas are circulated and reused, thermal energy is circulated and used. 前記物品を上部ネット機構を用いて上方から押さえつつ、該上部ネット機構と前記搬送ベルト機構の搬送速度を同期させて物品を搬送することを特徴とする請求項１３ないし請求項１８のいずれか一項に記載の物品の自動乾燥方法。19. The article according to claim 13, wherein said article is conveyed by synchronizing the conveying speeds of said upper net mechanism and said conveying belt mechanism while pressing said article from above using an upper net mechanism. 6. The method for automatically drying an article according to item 5. 前記物品の寸法及び形状に合わせて、前記上部ネット機構の高さを調節することを特徴とする請求項１９に記載の物品の自動乾燥方法。The method according to claim 19, wherein the height of the upper net mechanism is adjusted according to the size and shape of the article. 前記乾燥処理室で物品の乾燥を行った後、さらに該物品を減圧処理室に搬送し、該減圧処理室内で物品に付着している揮発性有機溶剤を揮発させて除去することを特徴とする請求項１３ないし請求項２０のいずれか一項に記載の物品の自動乾燥方法。After drying the article in the drying chamber, the article is further transported to a reduced-pressure processing chamber, and the volatile organic solvent attached to the article in the reduced-pressure processing chamber is volatilized and removed. The method for automatically drying an article according to any one of claims 13 to 20. 前記乾燥を行う物品をウエーハのキャリアボックスとすることを特徴とする請求項１３ないし請求項２１のいずれか一項に記載の物品の自動乾燥方法。22. The method for automatically drying an article according to claim 13, wherein the article to be dried is a wafer carrier box.
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