JP4421658B2 - ゲートバルブ及びこのゲートバルブを用いた真空装置 - Google Patents
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Description
2 弁箱
2a スライド空間
2b 開口部
3 サイド板
4 蓋部材
5 弁体
6 エアシリンダの駆動軸(シリンダロッド)
8a,8b 側壁
9a,9b ゲート開口部
11右シール座面
11a 右側傾斜面
13 シール部材
13a,13b 略U字状部分
15 段違い部
16 左シール座面
16a 左側傾斜面
21 スペーサ部材
31 収納凹部
31a 開口部
31b 蓋体
51 本体部
52 右側端面
53 右側弁体部
55 切欠き部
56 左側弁体部
53a 右シール面(周端面)
56a 左シール面(周端面)
57 段違い部
80 プラズマCVD装置
81 加熱室
82 成膜室
83 取り出し室
Claims (3)
- 被搬送物を通過させるためのゲート開口部が設けられた弁箱と、前記ゲート開口部を一方向からスライド往復移動させることによって開閉する板状の弁体とからなり、前記弁体をスライド移動させて前記弁箱のゲート開口部を閉じたとき、前記弁体に形成されたシール面が前記弁箱のゲート開口部を囲むようにして設けられたシール座面に当接することによって前記ゲート開口部が遮断されるゲートバルブにおいて、
前記弁体が前記弁箱に対して横方向にスライド往復移動可能に設けられ、前記弁体のシール面及び前記弁箱のシール座面の下部が傾斜面に形成され、前記傾斜面の下端部に粉塵を収納するための収納凹部が設けられていることを特徴とするゲートバルブ。 - 請求項1に記載のゲートバルブにおいて、
前記シール座面の下部がV字状の傾斜面に形成されており、前記収納凹部が前記傾斜面の交差部分に設けられていることを特徴とするゲートバルブ。 - 請求項1または請求項2に記載のゲートバルブが、被搬送物の第1処理室と第2処理室との間を開閉するゲートバルブとして設けられていることを特徴とする真空装置。
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