JP4417958B2 - 高精度試験体の角度依存アライメントの検査または校正装置 - Google Patents
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Description
更に、支持部または台座全体の傾斜も可能である。この傾斜手段は、正確な垂直アライメント、特に支持部または試験体で、または試験体の傾斜センサの検査に使用できる。電圧供給または測定値を送信する電子試験体の場合、回転可能に取付けた支持部に、適宜に、電子接続手段を設ける。例えば、スリップリングまたは回転リングシステムで、台座と試験体の電気的接続を行う。無線通信、例えばブルーツース(Bluetooth)、赤外線システム、または同様のシステムも使用できる。
Claims (14)
- 高精度試験体(1)の基準構造体の角度依存アライメントを検査または校正する装置が、
台座(2,2a,2b)と、
試験体(1)を支持する支持部(3)と、
該支持部(3)を、台座(2,2a,2b)に支持部軸(4)に対して回転可能に取り付け、支持部軸(4)での、台座(2,2a,2b)と支持部(3)の間の支持部の回転角度が測定可能で、
測定部(5,5a,5b,5c,5d)と、
該測定部は、測定部(5,5a,5b,5c,5d)を取り付ける測定部軸受ユニット(6,6a)を備え、支持部軸(4)に直角に交わる測定部軸(7)で台座(2,2a,2b)に対して回転可能で、台座(2,2a,2b)と測定部(5,5a,5b,5c,5d)の間の測定部軸(7)の回転角度が測定可能で、
光学検出器(9)を備えた光学ユニット(8,8a,8b,8c)と、
該光学検出器を、試験体(1)の基準構造体と相互作用する少なくとも1つの試験体ビーム(10,10a,10b,10c,10d)が検出可能となるように、測定部(5,5a,5b,5c,5d)に設け、該試験体ビームは、測定部軸(7)が垂直に通過そして支持部軸(4)が面内に横たわる面内を通り、測定部(5,5a,5b,5c,5d)の一部分で交わり、検出器(9)に少なくとも1つの点(12)を生成し、
コントロール/制御ユニット(13)と、
前記光学ユニット(8,8a,8b,8c)を自動的に、試験体(1)の基準構造体に対してモータにより、支持部(3)および測定部(5,5a,5b,5c,5d)のモータ動力の調整で、検出器(9)の少なくとも1つの点(12)の位置の関数で調整するように、形成および接続した該コントロール/制御ユニットで、支持部の回転角度と測定部の回転角度が自動的に測定できる、
装置において、
測定部軸受ユニット(6,6a)を、測定面(11)の片側またはその面内に設け、
測定部(5,5a,5b,5c,5d)が、測定部軸(7)と測定面(11)の支持部軸(4)および試験体(1)の交差する点を、包む又は取り囲む基本的な形を備え、重要な部分が、測定部軸(7)に対して軸対称になる、ことを特徴とする装置。 - 前記測定部の重要な部分が、測定部軸(7)が横たわる面にミラー対称である測定ロッカー(5,5a,5b)である、ことを特徴とする請求項1記載の装置。
- 前記測定部の重要な部分が、測定部軸(7)に回転対称で、測定ホイール(5c)、測定リング(5d)又はディスクの形を備えている、ことを特徴とする請求項1記載の装置。
- 前記測定部(5,5a,5b,5c,5d)が、少なくとも2つの部分を備え、
光学ユニット(8,8a,8b,8c,8d)を、測定部(5,5a,5b,5c,5d)の第一の部分に設け、光学偏向素子、特に反射ユニット又は光ファイバを測定部(5,5a,5b,5c,5d)の第二の部分に設け、各々で、試験体ビーム(10,10a,10b,10c,10d)を偏向し、光学ユニット(8,8a,8b,8c)に導く、ことを特徴とする請求項1〜3の何れか1項記載の装置。 - 前記光学ユニットが、方向を検査するオートコリメータ(8,8a)の形式で、放射線を発生する放射体(31a)と、検出器(9)と、光学ユニット対物レンズ(34a)とを備え、該対物レンズは、放射線を透過ビーム(35a,35b)に整形し、試験体ビーム(10,10a,10b)を検出器(9)に焦点を合わせ、
試験体(1)の基準構造体またはその基準構造体に接続および相互作用する部分が、透過ビーム(35a,35b)の反射に対して反射表面(36,39)を備え、該反射透過ビームが、試験体ビーム(10,10a,10b)を形成する、ことを特徴とする請求項1〜4の何れか1項記載の装置。 - 前記オートコリメータ(8,8a)が、透過ビーム(35b)および試験体ビーム(10,10a)の種々の整形に、付属のレンズユニット(37a)を備え、
試験体(1)の基準構造体、特に対物レンズ(16)のレンズ(39)、を形成する部分の反射面を、凸または凹の表面で形成する、ことを特徴とする請求項5記載の装置。 - 前記光学ユニット(8,8a,8b,8c)が、カメラの形式で、及び光学検出器(9)が、画像を記録する光を感知する画像センサーの形式で、
試験体(1)の基準構造体に対するモータ動力の光学ユニット(8,8a,8b,8c)のアライメントを、光学ユニット(8,8a,8b,8c)の記録画像のプロセスの結果の関数で行なうように、コントロール/制御ユニット(13)を形成および接続する、ことを特徴とする請求項1〜4の何れか1項記載の装置。 - 付加放射体、付加鏡または付加カメラからなる付加光学ユニット(15)を、測定部軸(7)に対して、光学ユニット(8,8a,8b,8c)の反対側の測定部(5,5a,5b,5c,5d)に設けている、ことを特徴とする請求項1〜7の何れか1項記載の装置。
- 前記付加光学ユニット(15)が、試験体(1)のアイピースに関して方向を検査するオートコリメータの形式で、試験体(1)の基準構造体に対するモータ動力の光学ユニット(8,8a,8b,8c)のアライメントを、オートコリメータ形式の付加光学ユニット(13)による方向の検査の結果の関数で行なうように、コントロール/制御ユニット(13)を形成および接続している、ことを特徴とする請求項8記載の装置。
- 前記付加光学ユニット(15)が、画像を記録するカメラの形式で、試験体(1)の基準構造体に対するモータ動力の光学ユニット(8,8a,8b,8c)のアライメントを、付加光学ユニット(13)の記録した画像のプロセスの結果の関数で行なうように、コントロール/制御ユニット(13)を形成および接続している、ことを特徴とする請求項8記載の装置。
- 前記装置が、視軸を決める光学照準ユニット(18)を備えた測地測定装置、特にセオドライト、水準または測地スキャナ、を検査する試験装置の形式で、
垂直軸(20)に回転可能、および、状況に応じて傾斜軸(21)に旋回可能で、
試験体の下部(19)を支持部(3)に固定し、垂直軸(20)を支持部軸(4)に合わせ、状況に応じて傾斜軸(21)を測定部軸(7)に合わせるように、支持部(3)を形成し、
光学照準ユニット(18)および光学ユニット(8,8a,8b,8c)を、互いに支持部軸(4)および測定部軸(7)に合わせ、
試験体ビーム(10,10a,10b,10c,10d)の方向および視軸の方向が、確定可能な関係を備え、
測定した試験体の水平角度および状況に応じて試験体の垂直角度が測定できるように、コントロール/制御ユニット(13)を形成および接続している、ことを特徴とする請求項1〜10の何れか1項記載の装置。 - 操作ロボット(22)を、コントロール/制御ユニット(13)で作動し、測地測定装置の光学照準ユニット(18)を、操作ロボット(22)で調整できるように設ける、ことを特徴とする請求項11記載の装置。
- 前記試験体の熱挙動を測定するために、試験体(1)の少なくとも一方から熱することができるように熱放射体を設けている、ことを特徴とする請求項1〜12の何れか1項記載の装置。
- 前記装置が、台座(2,2a,2b)および/または支持部(3)を傾斜させて試験体(1)を傾斜させる傾斜手段を備え、試験体(1)の傾斜計の測定値を、自動的に検出可能とするように、コントロール/制御ユニット(13)を形成および接続している、ことを特徴とする請求項1〜13の何れか1項記載の装置。
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