JP4417427B1 - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体装置は、ワイヤの先端に形成したイニシャルボールをキャピラリによって第1ボンド点11に接合させて圧着ボール12を形成し、キャピラリを略垂直に上昇させてからキャピラリを第2ボンド点19の方向に向かって斜め下方にキャピラリの上昇量よりも少ない量だけ下降させるという連続動作を複数回繰り返して行い、複数の位置でワイヤを第2ボンド点19の方向に向かって押し込み、キャピラリを上昇させ、続いてキャピラリを第2ボンド点19の方向に移動させてワイヤを第2ボンド点19に圧着させることにより接合することにより組み立てる。
【選択図】図9
Description
[1]第1ボンド点と第2ボンド点との間をワイヤで接続するワイヤボンディング方法であって、
ワイヤの先端に形成したイニシャルボールをキャピラリによって第1ボンド点に接合させて圧着ボールを形成する第1ボンディング工程と、
第1ボンディング工程の後、キャピラリを略垂直に上昇させ、続いてキャピラリの上昇量を半径としてキャピラリを第2ボンド点の方向に向かって円弧状に移動させ、キャピラリを第2ボンド点の方向に向かって斜め下方にキャピラリの上昇量よりも少ない量だけ下降させるという上昇円弧状動作を連続して複数回繰り返して行い、複数の位置でワイヤを斜め下方に向かって押し込むワイヤ押込み工程と、
ワイヤ押し込み工程の後、キャピラリを上昇させ、続いてキャピラリを第2ボンド点の方向に移動させてワイヤを第2ボンド点に圧着させることにより接合する第2ボンディング工程と、を含み
上昇円弧状動作の第1回目のキャピラリの上昇量は、第2回目のキャピラリの上昇量よりも大きく、
上昇円弧状動作のキャピラリの円弧状移動は、前回上昇円弧状動作のキャピラリの円弧状移動の終了点を中心とする円弧動作であり、
上昇円弧状動作の第1回目のキャピラリの円弧状移動の際の移動角度は、第2回目のキャピラリの円弧状移動の際の移動角度よりも大きいこと、
を特徴とするワイヤボンディング方法。
[2]
[1]に記載のワイヤボンディング方法であって、
上昇円弧状動作の円弧状の移動は、円弧を複数の直線で近似した近似折線に沿ってキャピラリが移動すること、
を特徴とするワイヤボンディング方法。
[3]
[1]または[2]に記載のワイヤボンディング方法であって、
上昇円弧状動作は、2回行うことを特徴とするワイヤボンディング方法。
[4]
[1]または[2]に記載のワイヤボンディング方法であって、
上昇円弧状動作の第3回目以降のキャピラリの上昇量は、第1回目及び第2回目のキャピラリの上昇量よりも大きいことを特徴とするワイヤボンディング方法。
[5]
[1]から[4]のいずれか1項に記載のワイヤボンディング方法であって、
ワイヤ押し込み工程と第2ボンディング工程との間に、キャピラリを上昇させ、続いてキャピラリを第1ボンド点の中心線よりも第2ボンド点と反対側に移動させるリバース動作を少なくとも1回行い、ワイヤにキンクを形成するキンク形成工程を更に含むこと、
を特徴とするワイヤボンディング方法。
Claims (5)
- 第1ボンド点と第2ボンド点との間をワイヤで接続するワイヤループ形状を有する半導体装置であって、
ワイヤの先端に形成したイニシャルボールをキャピラリによって第1ボンド点に接合させて形成される圧着ボールと、
圧着ボールを形成後、キャピラリを略垂直に上昇させ、続いてキャピラリの上昇量を半径としてキャピラリを第2ボンド点の方向に向かって円弧状に移動させ、キャピラリを第2ボンド点の方向に向かって斜め下方にキャピラリの上昇量よりも少ない量だけ下降させるという上昇円弧動作を連続して複数回繰り返して行い、複数の位置でワイヤを斜め下方に向かって押し込むことによって形成される複数の癖と、
複数の位置でワイヤを斜め下方に向かって押し込んだ後、キャピラリを上昇させ、続いてキャピラリを第2ボンド点の方向に移動させてワイヤを第2ボンド点に圧着させることにより形成される接合部と、を含み、
ワイヤループは、圧着ボールの上面から第2ボンド点に向かって水平方向よりやや下向きに伸びた後、各癖の位置のワイヤは下向きに凸で、各癖の位置の間のワイヤが上に凸となるような波型の形状で、最初に形成された癖と二番目に形成された癖の位置との下向きに凸のワイヤ下面は第1ボンド点を含む面よりも上側となっており、
上昇円弧状動作の第1回目のキャピラリの上昇量は、第2回目のキャピラリの上昇量よりも大きく、
上昇円弧状動作のキャピラリの円弧状移動は、前回上昇円弧状動作のキャピラリの円弧状移動の終了点を中心とする円弧動作であり、
上昇円弧状動作の第1回目のキャピラリの円弧状移動の際の移動角度は、第2回目のキャピラリの円弧状移動の際の移動角度よりも大きく、
第1ボンド点と最初に形成される癖との間のワイヤ長さが、最初に形成された癖と二番目に形成された癖とのワイヤ長さよりも長いこと、
を特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置であって、
上昇円弧状動作の円弧状の移動は、円弧を複数の直線で近似した近似折線に沿ってキャピラリが移動すること、
を特徴とする半導体装置。 - 請求項1または2に記載の半導体装置であって、
上昇円弧状動作は、2回行うことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1または2に記載の半導体装置であって、
上昇円弧状動作の第3回目以降のキャピラリの上昇量は、第1回目のキャピラリの上昇量及び第2回目のキャピラリの上昇量よりも大きいことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載の半導体装置であって、
複数の位置でワイヤを斜め下方に向かって押し込んだ後、キャピラリでワイヤを第2ボンド点に圧着させる前にキャピラリを上昇させ、続いてキャピラリを第1ボンド点の中心線よりも第2ボンド点と反対側に移動させるリバース動作を少なくとも1回行うことにより形成される屈曲部、を更に含むことを特徴とする半導体装置。
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CN113574642A (zh) * | 2019-04-24 | 2021-10-29 | 株式会社新川 | 半导体装置、半导体装置的制造方法及打线接合装置 |
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- 2009-05-28 JP JP2009129135A patent/JP4417427B1/ja active Active
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