JP4413706B2 - 光学特性解析方法、試料測定装置、及び分光エリプソメータ - Google Patents
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Description
なお、電気光学効果の測定に関しては下記の特許文献でも開示されている。
また、本発明は、電界を印加したまま試料を移動可能にすることで、試料の屈折率の面分布を容易に解析できるようにした光学特性解析方法、及び分光エリプソメータを提供することを目的とする。
さらに、本発明は、電界の強さの変化に連動して効率的に試料を解析できるようにした光学特性解析方法、及び分光エリプソメータを提供することを目的とする。
る位置受け付けステップと、前記解析ステップによる解析後に、前記位置受け付けステップによる受け付けた複数の照射位置に対して前記解析ステップによる解析を実行したか否かを判断する位置判断ステップと、該位置判断ステップにより複数の照射位置に対する解析を実行していないと判断した場合、前記位置受け付けステップにより受け付けた照射位置を変更するステップとを備え、前記判断ステップは、前記位置判断ステップにより複数の照射位置に対する解析を実行したと判断した場合に、前記受け付けステップにより受け付けた複数の電圧値に対して前記解析ステップによる解析を実行したか否かを判断する。
断した場合、前記受け付け手段により受け付けた電圧値を変更する手段とを備えることを特徴とする。
本発明にあっては、光を照射する箇所を順次移動して、移動した箇所毎に解析を行うので、従来の測定方法では困難であった試料の複数箇所を連続的に解析でき、その結果、試料の面分析を容易に行えるようになる。
本発明にあっては、試料台を移動可能にすると共に、試料台に試料との電気的な接触を行う接触手段を設けることで、接触手段を試料台と一体的に移動できるようになり、試料台の移動により試料へ光を照射する箇所を変更しても電気的な接触を維持でき、良好な解析環境を提供できる。
本発明にあっては、複数層の膜を覆う光透過性の電極を有する試料に対して光透過性の電極表面へ光を照射することにより、試料の形態に応じた光の照射形態を確保できる。
本発明にあっては、光を照射する箇所を順次移動して移動した箇所毎に解析を行うので、試料の複数箇所を連続的に解析して試料の面分析を容易に行える。
本発明にあっては、試料との電気的な接触を行う接触手段と、給電に係る電圧値を可変する給電手段とを備えるので、様々な電圧値で試料の解析を行える。
本発明にあっては、試料台を移動可能にすると共に、試料台に試料との電気的な接触を行う接触手段を設けることで、接触手段を試料台と一体的に移動でき、試料台の移動により試料へ光を照射する箇所を変更しても電気的な接触を維持できる。
Rp/Rs=tanΨ・exp(i・Δ)・・・(1)
但し、iは虚数単位である(以下同様)。また、Rp/Rsは偏光変化量ρと云う。
N=n−ik・・・(2)
(d,n,k)=F(ρ)=F(Ψ(λ,φ),Δ(λ,φ))・・・(3)
ε(λ)=N2 (λ)・・・(5)
先ず、分光エリプソメータ1のステージ4に試料30を載置する(S1)。なお、試料30を載置した場合、図3に示すように試料30の各電極33a、33bにプローブ20を接触させる。
2 キセノンランプ
3 光照射器
4 ステージ
5 光取得器
7 分光器
8 データ取込機
9 モータ制御機
10 コンピュータ
18 給電装置
19 導通スタンド
30 試料
31 基板
32 PLZT膜
33a、33b 電極
Claims (7)
- 複数層の膜を備える試料の光学特性を分光エリプソメータで解析する光学特性解析方法であって、
複数の印加する電圧値を受け付ける受け付けステップと、
試料に前記受け付けステップにより受け付けた電圧値に係る電圧を印加する印加ステップと、
電圧が印加された試料の膜表面へ複数波長成分の偏光した光を照射する照射ステップと、
試料で反射した光の偏光状態を測定して試料の膜の光学特性を層毎に解析する解析ステップと、
前記受け付けステップにより受け付けた複数の電圧値に対して前記解析ステップによる解析を実行したか否かを判断する判断ステップと、
該判断ステップにより複数の電圧値に対する解析を実行していないと判断した場合、前記受け付けステップにより受け付けた電圧値を変更するステップと
を備えることを特徴とする光学特性解析方法。 - 複数層の膜及び複数の電極を備え、複数の電極の中に膜を覆う光透過性の電極を有する試料の光学特性を分光エリプソメータで解析する光学特性解析方法であって、
複数の印加する電圧値を受け付ける受け付けステップと、
試料の電極間に前記受け付けステップにより受け付けた電圧値に係る電圧を印加する印加ステップと、
電圧が印加された試料の光透過性の電極表面へ複数波長成分の偏光した光を照射する照射ステップと、
試料で反射した光の偏光状態を測定して試料の膜の光学特性を層毎に解析する解析ステップと、
前記受け付けステップにより受け付けた複数の電圧値に対して前記解析ステップによる解析を実行したか否かを判断する判断ステップと、
該判断ステップにより複数の電圧値に対する解析を実行していないと判断した場合、前記受け付けステップにより受け付けた電圧値を変更するステップと
を備えることを特徴とする光学特性解析方法。 - 前記照射ステップによる複数の照射位置を受け付ける位置受け付けステップと、
前記解析ステップによる解析後に、前記位置受け付けステップによる受け付けた複数の照射位置に対して前記解析ステップによる解析を実行したか否かを判断する位置判断ステップと、
該位置判断ステップにより複数の照射位置に対する解析を実行していないと判断した場合、前記位置受け付けステップにより受け付けた照射位置を変更するステップとを備え、
前記判断ステップは、前記位置判断ステップにより複数の照射位置に対する解析を実行したと判断した場合に、前記受け付けステップにより受け付けた複数の電圧値に対して前記解析ステップによる解析を実行したか否かを判断する
請求項1または請求項2に記載の光学特性解析方法。 - 複数波長成分を有する光を発生する発生手段と、該発生手段が発生した光を偏光して試料台に載置する試料へ照射する照射手段と、試料で反射した光を検光して測定を行う測定手段とを備える試料測定装置であって、
前記試料台に載置される試料へ電圧を印加する電圧印加手段を備え、
該電圧印加手段は、
前記試料台に設けられるスタンド部と、
該スタンド部に取り付けられたホルダ部と、
該ホルダ部先端の球状窪部に回転可能に収容されリード線を通す球状ジョイントと、
前記リード線に電気的に接続され前記球状ジョイントに取り付けられるプローブと
を含み、
前記照射手段は、前記該電圧印加手段が電圧を印加した試料へ光を照射するようにしてあることを特徴とする試料測定装置。 - 複数層の膜を備える試料の光学特性を解析する分光エリプソメータであって、
複数の印加する電圧値を受け付ける受け付け手段と、
試料に前記受け付け手段により受け付けた電圧値に係る電圧を印加する印加手段と、
電圧が印加された試料の膜表面へ複数波長成分の偏光した光を照射する照射手段と、
試料で反射した光の偏光状態を測定して試料の膜の光学特性を層毎に解析する解析手段と、
前記受け付け手段により受け付けた複数の電圧値に対して前記解析手段による解析を実行したか否かを判断する判断手段と、
該判断手段により複数の電圧値に対する解析を実行していないと判断した場合、前記受け付け手段により受け付けた電圧値を変更する手段と
を備えることを特徴とする分光エリプソメータ。 - 複数層の膜及び複数の電極を備え、複数の電極の中に膜を覆う光透過性の電極を有する試料の光学特性を解析する分光エリプソメータであって、
複数の印加する電圧値を受け付ける受け付け手段と、
試料の電極間に前記受け付け手段により受け付けた電圧値に係る電圧を印加する印加手段と、
電圧が印加された試料の光透過性の電極表面へ複数波長成分の偏光した光を照射する照射手段と、
試料で反射した光の偏光状態を測定して試料の膜の光学特性を層毎に解析する解析手段と、
前記受け付け手段により受け付けた複数の電圧値に対して前記解析手段による解析を実行したか否かを判断する判断手段と、
該判断手段により複数の電圧値に対する解析を実行していないと判断した場合、前記受け付け手段により受け付けた電圧値を変更する手段と
を備えることを特徴とする分光エリプソメータ。 - 前記照射手段による複数の照射位置を受け付ける位置受け付け手段と、
前記解析手段による解析後に、前記位置受け付け手段による受け付けた複数の照射位置に対して前記解析手段による解析を実行したか否かを判断する位置判断手段と、
該位置判断手段により複数の照射位置に対する解析を実行していないと判断した場合、前記位置受け付け手段により受け付けた照射位置を変更する手段とを備え、
前記判断手段は、前記位置判断手段により複数の照射位置に対する解析を実行したと判断した場合に、前記受け付け手段により受け付けた複数の電圧値に対して前記解析手段による解析を実行したか否かを判断する
請求項5または請求項6に記載の分光エリプソメータ。
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