JP4411565B2 - 半導体製造装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体製造装置に係わり、例えば、パッケージの周囲から外部電極端子であるリードを突出させた半導体装置の最終外観検査装置等において、検査後の良品半導体装置をトレーに損傷なく収容するアンローディング技術に適用して有効な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置(半導体集積回路装置)の一つのパッケージ形態として、例えば、矩形体からなるパッケージの周面から複数のリードを所定間隔で突出させる構造が知られている。このような半導体装置において、パッケージの両側からリードを突出させる構造としてSOP(Small Outline Package ),SOJ(Small Outline J Leaded)と呼称されるものがあり、同様の構造でパッケージが薄く実装高さが低いものとしてTSOP(Thin Small Outline Package),TSOJと呼称されるものがある。また、パッケージの周面の4面からリードを突出させるものとしてはTQFP(Thin Quad Flat Package)等がある。
【0003】
これら半導体装置は、その製造の最終段階で、パッケージ表面の傷の有無、パッケージ面に印刷したマークの良否、リード曲がりの有無等の検査が行われ、良品のみがトレー等に収容されて出荷される。
【0004】
このような外観検査装置(最終外観検査装置)については、例えば、工業調査会発行「電子材料」1994年5月号、P85〜P89(ICリード外観検査装置)、同誌P91〜P94(ICリード形状測定装置)に開示されている。また、市販の装置として、例えば、IC端子計測装置(IC LEAD INSPECTION SYSTEM )等が知られている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
半導体装置の外観検査装置においては、良品と判定された半導体装置を順次トレーに収容する。また、満杯となったトレー上は所定の場所に移動させられた後、このトレーの上または下に新たに満杯となったトレーを重ねる構造のアンローディング機構が設けられている。
【0006】
このようなアンローディング機構において、トレーの収容窪みに半導体装置が適正に収容されず、トレーの表面(上面)から突出する状態、即ち、図15に示すように、トレー1の収容窪み2を形成する収容窪み側壁の途中や上縁にTSOP型の半導体装置3のパッケージ4から突出するリード5が引っ掛かるような状態では、その上にトレー1を重ねると、トレー面から突出する突出半導体装置6はその上方のトレー1に抑え付けられることになり、突出半導体装置6のリード5が折れまがり、不良品になってしまう。図15では、トレー1を順次下から重ねる状態で示してある。
【0007】
従来の外観検査装置では、突出半導体装置6の有無を検出するため、図16に示すように、トレー1の上面に沿って平行に光ビーム7を投射し、この光ビーム7を受光素子8で検出し、受光素子で光ビームを受光した場合は突出半導体装置が存在せず適正に半導体装置3がトレー1の収容窪み2に収容されていると判定し、光ビーム7を受光素子8が受光しない場合は光ビーム7が突出半導体装置6に当たって遮られる結果であるから突出半導体装置が存在すると判定する収容良否判定機構が採用されている。即ち、この収容良否判定機構では、光ビーム7はトレー1の上面から一定の間隔hとなるように設定されている。
【0008】
図17はトレー1の略中央部分に突出半導体装置6が存在する状態を示す模式図である。光ビーム7は突出半導体装置6のパッケージ4の側面に当たるため、光ビーム7は受光素子8に到達せず、突出半導体装置6が存在することを検出できる。
【0009】
しかし、図18に示すようにトレー1の中央側が低くなるように反っている場合は、突出半導体装置6が存在しても光ビーム7は突出半導体装置6の上方を透過し、受光素子8に到達するため、突出半導体装置6が存在しても突出半導体装置6が存在しないと判定される。従って、トレーを積み重ねた場合、突出半導体装置6と判定されなかった半導体装置3は、トレーの積み重ねによって押し下げられ、リード5に力が加わりリード曲がり等を起こして不良品となってしまうことが多く、歩留り低下を来す。
【0010】
図18(a)は図17に対応し、トレー1の略中央部分に突出半導体装置6が存在する状態を示す模式図であり、図18(b)はトレー1の反りが大きい場合には両側を除く中央及び中央寄りの半導体装置3が突出半導体装置6であっても、突出半導体装置6として検出できない状態を示すものであり、極端な例である。
【0011】
これは、光ビーム7の高さを低くしてトレー1の上面に近づけても、検出の信頼性を維持するためには、その高さ(間隔)は0.5mm程度にしか小さくできないことと、幅300mmのポリフェニレンエーテル樹脂製のトレー1の反りは1mm程度と大きいことによる。
【0012】
本発明の目的は、アンローディング機構部分等において複数のトレーを順次積み重ねても収容されている半導体装置のリード曲がりが発生し難い半導体製造装置を提供することにある。
【0013】
本発明の他の目的は、半導体装置を収容したトレーを順次重ねる前に、トレーに収容された半導体装置の突出不良を検出する収容良否判定機構を有する半導体製造装置において、トレーの反りがあっても確実に突出半導体装置の有無を検出することにある。
【0014】
本発明の他の目的は、歩留りの向上が図れる半導体製造装置を提供することにある。
【0015】
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであろう。
【0016】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
【0017】
(1)トレーの上面に設けた収容窪みに半導体装置を載置収容する手段と、前記半導体装置が収容されたトレーにおいて前記収容窪みから半導体装置が突出しているか否かを検出する収容良否判定機構と、前記半導体装置を収容したトレーの上面側に他のトレーを重ねる手段とを有する半導体製造装置であって、前記収容良否判定機構は前記トレーの少なくとも1列全ての収容窪みの内外に亘ってそれぞれ対面し、前記収容窪みに収容されている半導体装置の上面の高さが前記収容窪みの縁の高さとの間で設定以内であるか否かを判定できるセンサを有し、前記センサでトレー全ての収容窪みに収容されている半導体装置の収容状態の良否を判定する構成になっている。
【0018】
前記(1)の手段によれば、(a)トレーの全ての収容窪みに収容されている半導体装置の上面の高さをセンサで測定して半導体装置の収容状態の良否を判定することができる。従って、半導体装置の収容状態が不良と判定した場合には、半導体製造装置の動作を停止させて半導体装置の収容状態を適正の状態に修正できるため、トレーを積み重ねても半導体装置は押し潰されることもなくリード曲がりが発生しなくなる。
【0019】
(b)この結果、歩留りの向上が達成できる。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。なお、発明の実施の形態を説明するための全図において、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
【0021】
(実施形態1)
図1乃至図14は本発明の一実施形態(実施形態1)である半導体製造装置とその半導体製造装置に取り付けられるトレーおよびそのトレーに収容されるTSOP型の半導体装置等に係わる図である。
【0022】
ここで、本発明が適用される外観検査装置の概略について図2の装置ユニット配置図を用いて説明する。外観検査装置は左から右に向かってトレーを供給する供給部10,計測部11,裏面計測部12,良品と判定された製品(半導体装置)を収容したトレーを収容する収容部13,良品と判定された製品を収容したマガジンを収容する収容部14,不良製品を収容したトレーの第1収容部15及び不良製品を収容したトレーの第2収容部16と並んでいる。供給部10と計測部11に掛けてポイントツウポイント方式のローダ17が配設され、供給部10から計測部11に半導体装置を1個づつ供給するようになっている。また、計測部11と裏面計測部12に掛けてポイントツウポイント方式のローダ18が配設され、計測部11から裏面計測部12に半導体装置を1個づつ供給するようになっている。また、裏面計測部12〜第2収容部16に掛けてポイントツウポイント方式のローダ19が配設されていて、各部間での半導体装置の搬送を行うようになっている。
【0023】
前記計測部11及び裏面計測部12では各種の検査測定が可能であるが、計測(検査)例の一例を挙げるならば、図14に示すような例がある。検査ポジションにはプリズムステージ20が配置され、このプリズムステージ20上には半導体装置3が載置される。この例では半導体装置3はTSOP型半導体装置であり、図13にも示すように矩形のパッケージ4の両側から平行に複数のリード5を突出させる外観形状になっている。リード5は表面実装が可能なガルウィング型になっている。プリズムステージ20の下部側方にはそれぞれ発光体21a,21bが配置されている。これら発光体21a,21bからは光束22a,22bが出射され、半導体装置3の下部を照らすとともに、これら光束22a,22bはプリズム作用で屈折し半導体装置3の両側にそれぞれ屈折光23a,23bとして進む。この屈折光23a,23bの進行方向側にはそれぞれカメラ24a,24bが配設されていて、これらの屈折光23a,23bを受光するようになっている。前記カメラ24a,24bは、例えばCCD(charge coupled device)カメラであり、XYステージ25a,25bに支持されている。また、前記発光体21a,21bは、例えばLED(Light Emitting Diode)である。
【0024】
これによって、リード曲がり,パッケージの欠け等の検査が可能になる。例えば、リードに曲がりが有るか否かの判定,リードの浮き不良があるか否かの判定,リード間隔の良否判定,リード先端位置が揃っているか否かの判定等を行うことができるとともに、パッケージの欠けの有無の判定等を行うことができる。
【0025】
良品と判定された半導体装置は収容部13でトレーに収容され、不良品と判定された半導体装置は不良の形態によって第1収容部15または第2収容部16でそれぞれトレーに収容される。
【0026】
収容部13は、図2及び図3に示すように、トレー供給部30とトレー収容部31を有するとともに、トレー供給部30とトレー収容部31との間でローダ19のピックアォプノズル32で半導体装置3を保持してトレーに半導体装置3を収容する(図3参照)。図3に示すように、トレー供給部30ではからのトレー1が積み重ねられ、最下段のトレー1から順次払い出しされてトレー収容部31側に送られる。払い出されたトレー1には順次良品半導体装置3が収容される。満杯となってトレー収容部31に至ったトレー1は、順次上方に押し上げられてトレー同士が積み重ねられる。
【0027】
この際、前述のようにトレーの収容窪みからTSOP型の半導体装置が食み出していると、トレーとトレーを重ね合わせた際、押し潰されてリード曲がり等が発生する。
【0028】
そこで、本実施形態1では、図2及び図3に示すように、トレー供給部30とトレー収容部31との間に突出半導体装置の有無を検出する収容良否判定機構34が配設されている。収容良否判定機構34は、図4に示すように、トレーの移動方向に直交する方向に延在する支持フレーム35が設けられている。この支持フレーム35は、トレー供給部30からトレー収容部31に向かってトレー1を案内する一対のガイド36の上方に位置している。
【0029】
この支持フレーム35の一面には支持ピン37が固定されているとともに、この支持ピン37には支持体38が取り付けられている。この取り付けは、支持体38に設けた一対のアーム39の底部分の穴に前記支持ピン37を挿入した後、一方のアーム39に設けた図示しない穴にボルト40を挿入し、ボルト40のネジ部分を他方のアーム39に設けた図示しない雌ネジ部分に螺合することによって支持体38を支持ピン37に固定することによって行う。
【0030】
支持体38は図4に示すように逆T字形状となり、その下部のトレー1の面に沿って延在する支持片41の両側面にはボルト42及び座金43を用いて支持板44が固定されている(図4・5参照)。
【0031】
前記支持板44には、図1,図4及び図5に示すように、それぞれセンサ45が固定されている。センサ45に繋がるコード46は図示しない検査本体に接続されている。前記各センサ45は、トレー1の収容窪み2の対応する縁部分を検出できるように配置されている。収容窪み2のサイズは小さいため、同一の支持板44にセンサ45を並べた場合検出ができなくなる。従って、本実施形態1では支持板44を2枚とし、図6に示すように、一方の支持板44のセンサ45で収容窪み2に収容された半導体装置3の右側部分の検出を行い、他方の支持板44のセンサ45で収容窪み2に収容された半導体装置3の左側部分の検出を行うようにしてある。従って、半導体装置3が大きい場合、またはセンサ45をより小さくできる場合は1枚の支持板に全てのセンサを一列に並べて配置してもよい。なお、1枚の支持板にセンサを千鳥の足跡状に配置してもよいことは勿論である。本実施形態1ではセンサ45の保守点検の容易性を考慮して支持板44を離して2枚とした構造になっている。
【0032】
ここで、TSOP型の半導体装置3を収容するトレー1について簡単に説明する。トレー1は、図10に示すように、上面に縦横に半導体装置3を収容する収容窪み2を有する構造になっていて、側面は図11に示すようになり、端面は図12に示すようになっている。トレー1は、例えば長さ315.8mm,幅135.8mmのポリフェニレンエーテル樹脂製となっている。
【0033】
図6は良品と判定された半導体装置3を収容したトレー1と、収容良否判定機構34のセンサ45との位置関係を示す図である。これにより、収容窪み2に収容された半導体装置3のパッケージ4の一縁部分の上面と、近接する収容窪み2の縁の高さを検出することができる。センサ45は、磁気センサからなり、検出できる高さ範囲は2mmと大きく、所定の高さを基準にした場合には、その基準高さAに対して±1mmの転出が可能である。従って、基準高さAをトレー1に反りがない図7の状態とした場合、トレー1の収容窪み2を形成する収容窪み側壁の途中や上縁にTSOP型の半導体装置3のパッケージ4から突出するリード5が引っ掛かるような状態(突出半導体装置6)では、突出した半導体装置3の突出高さが検出高さ域にあるため、収容窪み2の縁の高さL及び突出半導体装置6のパッケージ4の突出上面高さMを検出することができる。本実施形態1のセンサ45は検出高さ範囲は2mmと広いことから、トレー1が1mm程度反るようなことがあっても確実に突出半導体装置6を検出することができる。
【0034】
図8はトレー1に反りがない状態であり、aはセンサ検出範囲を示し、bはセンサ面よりセンサ面真下の半導体装置3のパッケージ4の最も近い部分までの距離を示す。この場合、a>bなる関係にある。また、図9はトレー1に反りがある状態であり、aはセンサ検出範囲を示し、cはトレー1反り量を示し、dはセンサ面よりセンサ面真下の半導体装置3のパッケージ4の最も近い部分までの距離を示す。この場合、a>dなる関係にある。これらの図からも分かるように、本実施形態1によれば、トレー1の幅方向(センサ45の並ぶ方向)の各収容窪み2に収容された半導体装置3は、トレー1の反りの有無に係わらず、その収容状態の良否を正確かつ確実に検出判定することができる。
【0035】
本実施形態1の半導体製造装置(外観検査装置)によれば、トレー1の全ての収容窪み2に収容されている半導体装置3の上面の高さをセンサ45で測定して半導体装置3の収容状態の良否を判定することができる。従って、半導体装置3の収容状態が不良と判定した場合には、外観検査装置の動作を停止させて突出半導体装置6の収容状態を適正の状態に修正できるため、その後トレー1を積み重ねても半導体装置3は押し潰されることもなくリード曲がりが発生しなくなる。この結果、歩留りの向上が達成できる。
【0036】
以上本発明者によってなされた発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない、たとえば、センサとしては磁気センサや容量センサ等他のものでもよい。
【0037】
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明をその背景となった利用分野である外観検査技術に適用した場合について説明したが、それに限定されるものではなく、他の半導体製造装置にも同様に適用でき、同様の効果を得ることができる。
【0038】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
【0039】
(1)半導体製造装置(外観検査装置)において、TSOP型の半導体装置を収容したトレーを重ねる前に、トレーに収容された半導体装置の突出不良を、トレーの反りがあっても収容良否判定機構で確実に検出することができることから、突出半導体装置を適正な収容状態に修正でき、トレーの重ね合わせによって半導体装置が押し潰されるようなこともなくリード曲がりが発生しなくなる。この結果、歩留りの高い外観検査装置になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態(実施形態1)である半導体製造装置(外観検査装置)のアンローディング機構における収容良否判定機構を示す模式的断面図である。
【図2】本実施形態1の外観検査装置の装置ユニット配置図を示す平面図である。
【図3】本実施形態1のアンローディング機構を示す模式図である。
【図4】本実施形態1の外観検査装置における収容良否判定機構を示す模式的断面図である。
【図5】前記収容良否判定機構におけるセンサ配列状態を示す模式図である。
【図6】トレーに対する前記センサの配列状態を示す模式図平面図である。
【図7】トレーの収容窪みに収容された半導体装置とセンサとの位置関係を示す拡大断面図である。
【図8】本実施形態1の外観検査装置においてトレーに反りが無い状態での突出半導体装置の検出状態を示す模式図である。
【図9】本実施形態1の外観検査装置においてトレーに反りがある状態での突出半導体装置の検出状態を示す模式図である。
【図10】本実施形態1の外観検査装置において使用するトレーの平面図である。
【図11】前記トレーの側面図である。
【図12】前記トレーの端面図である。
【図13】本実施形態1の外観検査装置で検査するTSOP型半導体装置の斜視図である。
【図14】本実施形態1の外観検査装置においてTSOP型半導体装置のリード曲がり等を検査する検査機構を示す模式図である。
【図15】トレーを積み重ねた際発生するリード曲がり現象を示す模式的断面図である。
【図16】従来の外観検査装置における突出半導体装置の有無を検出する収容良否判定機構の一部を示す模式図である。
【図17】従来の外観検査装置において突出半導体装置を検出した状態を示す模式図である。
【図18】従来の外観検査装置においてトレーが沿っている状態では突出半導体装置が検出されない状態を示す模式図である。
【符号の説明】
1…トレー、2…収容窪み、3…半導体装置、4…パッケージ、5…リード、6…突出半導体装置、7…光ビーム、8…受光素子、10…供給部、11…計測部、12…裏面計測部、13,14…収容部,15…第1収容部、16…第2収容部、17,18,19…ローダ、20…プリズムステージ、21a,21b…発光体、22a,22b…光束、23a,23b…屈折光、24a,24b…カメラ、25a,25b…XYステージ、30…トレー供給部、31…トレー収容部、32…ピックアォプノズル、34…収容良否判定機構、35…支持フレーム、36…ガイド、37…支持ピン、38…支持体、39…アーム、41…支持片、44…支持板、45…センサ。
Claims (1)
- トレーの上面に設けた収容窪みに半導体装置を載置収容する手段と、前記半導体装置が収容されたトレーにおいて前記収容窪みから半導体装置が突出しているか否かを検出する収容良否判定機構と、前記半導体装置を収容したトレーの上面側に他のトレーを重ねる手段とを有する半導体製造装置であって、前記収容良否判定機構は前記トレーの少なくとも1列全ての収容窪みの内外に亘ってそれぞれ対面し、前記収容窪みに収容されている半導体装置の上面の高さが前記収容窪みの縁の高さとの間で設定以内であるか否かを判定できるセンサを有し、前記センサでトレー全ての収容窪みに収容されている半導体装置の収容状態の良否を判定する構成になっていることを特徴とする半導体製造装置。
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