JP4403867B2 - 電子機器用ヒートシンク - Google Patents

電子機器用ヒートシンク Download PDF

Info

Publication number
JP4403867B2
JP4403867B2 JP2004114587A JP2004114587A JP4403867B2 JP 4403867 B2 JP4403867 B2 JP 4403867B2 JP 2004114587 A JP2004114587 A JP 2004114587A JP 2004114587 A JP2004114587 A JP 2004114587A JP 4403867 B2 JP4403867 B2 JP 4403867B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cooling fluid
heat transfer
heat
flow path
transfer container
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2004114587A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2005302898A5 (ja
JP2005302898A (ja
Inventor
茂俊 一法師
哲朗 大串
誠司 羽下
享 木村
山田  晃
浩史 山渕
章浩 村端
秀夫 岡山
伸哲 上原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP2004114587A priority Critical patent/JP4403867B2/ja
Publication of JP2005302898A publication Critical patent/JP2005302898A/ja
Publication of JP2005302898A5 publication Critical patent/JP2005302898A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4403867B2 publication Critical patent/JP4403867B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Landscapes

  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Description

本発明は、電子部品などで構成される発熱体を冷却するための放熱構造をしたヒートシンク(冷却装置)に係るもので、特に、強制対流を利用して冷却を行う放熱構造をしたヒートシンクに関するものである。
従来のヒートシンクにおいては、冷部流体の流れがピン状フィンにより撹拌されることで、連続フィンを設けた放熱材に比べ、伝熱性能(放熱)が増大する構成をしている(例えば、特許文献1参照)。
特開2004−63898号公報(第6頁、図8)
従来のヒートシンクでは、二次元的な流れの中にピン状フィンを設けることで、乱流効果を利用して伝熱効果を向上させる構成をしているが、近年、急増している電子機器の発熱量を十分に放熱するだけの性能が得られなくなっているという問題点があった。
この発明は上記のような従来技術の課題を解消するためになされたもので、三次元的な流れを引き起こすことで、より簡易な構造で熱伝達特性を向上させたヒートシンクを提供することを目的とするものである。
この発明によるヒートシンクは、内部に冷却流体を流通させる流路を有する伝熱容器を備え、該伝熱容器に接触させた発熱体を流路を流通する冷却流体により冷却するようにしたヒートシンクであって、伝熱容器の発熱体に接触させる側に対向する面側に、発熱体方向に従ってその断面が小さくなる突起を2次元的に複数個配列して設け、流路は、伝熱容器の発熱体に接触する側から冷却流体の流れる方向に対して直交する方向に離れるにしたがって狭くなる第1の断面部と、直交する方向にほぼ一定である第2の断面部とを備え、第1の断面部と第2の断面部とが冷却流体の流れる方向に交互に連続するよう構成されたものである。


この発明は、次元的な流れを引き起こすことで、より簡易な構造で熱伝達特性を向上させたヒートシンクを提供することができる。
実施の形態1.
図1はこの発明の実施の形態1によるヒートシンクを説明する斜視図である。また、図2は図1の流路断面図であり、図3は実施の形態1の変形例を説明する斜視図であり、図4は実施の形態1の他の変形例を説明する斜視図である。なお、他の実施の形態を含め、各図を通じて同一符合は同一もしくは相当する部分を示すものである。
図1において、上段の図はヒートシンクの冷却対象である発熱体6であり、中段と下段の図でヒートシンクが構成されている。ヒートシンクは冷却流体送入口1と、内部に流路2が形成された伝熱容器3と、冷却流体送出口4とで一連の通流路5を形成している。冷却対象である発熱体6は伝熱容器3に接して使用される。発熱体6を取り付ける伝熱容器3の壁と対向する伝熱容器3の壁の内面に円錐体(略錐体形状)の突起7を所定の配列で設けたものである。突起7は乱流を促進する役目を果たすものである。
流路2の流れ方向に直交する断面は、発熱体6が取り付けられる側から離れるにしたがって狭くなる箇所と、流路2の幅が一定となる箇所とが交互に構成されることになる。また、流路2は、伝熱容器3の高さ方向(厚み方向)に発熱体6が取り付けられる側から流路2の幅が小さくなる略台形流路と略流路幅一定の流路2とが順次連結された構成になっている。
ヒートシンクは、低温の冷却流体11を送入する冷却流体送入口1と、発熱体6が熱的に結合され内部に流路を形成する伝熱容器3と、発熱体6から熱を吸収し高温になった冷却流体11を送出する冷却流体送出口4とが、一連の通流路を形成した放熱構造である。このヒートシンクは、ポンプまたはファンと通流パイプにより連結され、ヒートシンク内に冷却流体11を通流させ、発熱体6から発生する熱を周囲へ放出する。さらに、通流パイプにより放熱器と連結し、循環する通流ループを形成しても良く、また通流ループ途中路にリザーバおよびフィルターを設けても良い。この場合、通流ループ内を冷却流体11が循環し、発熱体6から発生する熱を冷却流体11が放熱器へ輸送し、放熱器から周囲へ熱を放出する。なお、伝熱容器3内には、冷却流体11が流路内をより均一に流れるように、分配用ヘッダおよび合流用ヘッダを設けても良い。
この実施の形態では、発熱体6と熱的に結合するベース8と側壁9が一体成形され、これに蓋10を結合することにより伝熱容器3を構成している。なお、この構成に限定される必要はなく、ベース8、側壁9および蓋10を別々に製作して結合しても良く、また側壁9と蓋10を一体成形しベース8と結合しても良い。さらに、ベース8、側壁9の一部および蓋10を一体成形し、残りの側壁9を結合しても良い。伝熱容器3がヒートシンク本体をなしている。
次に、ヒートシンクの動作を説明する。冷却流体送入口1から伝熱容器3へ送入された冷却流体(冷媒)11は、ベース8、側壁9および蓋10から形成される流路2を通過する際に、蓋10に設けられた突起7を避けながら、冷却流体送出口4へ移動する。この突起7が先細りした形状であることから、突起7が横断する部分の通過断面(図2中のA−A断面)では、ベース8側ほど通過断面積が大きく通流特性が良いため、蓋10側の冷却流体11はベース8側へ移動し、ベース8側の流量が大きくなる。一方、横断する2列の突起7群間の、突起7の無い通過断面(図2中のB−B断面)では、障害物が無いため通流特性が通過断面内で均一であり、通過断面内の速度分布が均一化しようとする。
従って、冷却流体11の通過断面がA−A断面に相当する部分からB−B断面に相当する部分に移るときに、流量の大きなベース8側から蓋10側へ冷却流体11が移動する。この冷却流体11の縦方向(ヒートシンクの厚み方向)の移動と、冷却流体11が突起7を避けながら移動するために生じる横方向(ヒートシンクの幅方向)への移動が同時に引き起こされるため、三次元的な冷却流体11の移動が生じ、冷却流体11を攪拌することになる。
すなわち、冷却流体11は、図2下段の横断面図中の矢印で示すように、紙面奥行き方向に移動する冷却流体11が、突起7根元に衝突し、突起7斜面沿いにベース8方向へ移動する。その後、冷却流体11はベース8内面に衝突し、突起7間中央へ移動し、さらに蓋10方向へ移動する旋回流を引き起こす。この旋回流は、図示している突起7が所定の配列である千鳥足状配列の場合には、主流流れ方向に交互に旋回方向が換わる流れを引き起こすことになる。また、図示を省略しているが、突起7が所定の配列である碁盤目状配列の場合には、同方向への連続した旋回流を引き起こすことになる。冷却流体11の三次元的な流れを引き起こし、この旋回流およびベース8内面への冷却流体11の衝突による攪拌効果によって、ベース8内面上の熱伝達特性を向上することができる。
発熱体6と直接接触するベース8は、受熱により温度上昇し、流路2内の冷却流体11とベース8との間に温度差が生じるため、ベース8から冷却流体11へ熱が伝えられ、冷却流体11は高温へと昇温し、冷却流体送出口4から送出される。従って、冷却流体11が、冷却流体送入口1、伝熱容器3内の流路2および冷却流体送出口4を順次通流し、流路2を通過する間に、高温に昇温し、高温の冷却流体11が連続的に送出されることになる。
以上のように、錐体形状の突起7が三次元的な流れを引き起こすことにより、ヒートシンク内の冷却流体11の通流による強制対流熱伝達および冷却流体11の顕熱変化に加えて、三次元的な流れを引き起こす流路2内の旋回流および衝突による攪拌効果により、発熱体6からヒートシンク外へ効率良く放熱することができる。
従来の伝熱容器内流路にフィンが設けられていないフィン無しヒートシンクでは、冷却流体送入口から冷却流体送出口へ直線的(一次元的)に冷却流体が移動するために、ベース内面近傍に比較的厚い温度境界層が形成され、熱特性が悪くなる。また、従来の伝熱容器内流路に複数の板が設けられたストレートフィン付ヒートシンクでは、ベースと冷却流体が接する伝熱面積が増大し、熱伝達特性が向上するが、この場合でも、伝熱面近傍に比較的厚い温度境界層が形成され、その向上効果は比較的小さくなる。なお、ここで、フィンとは発熱体6からの熱を冷却流体11へと放熱する機能を有するものを指している。
さらに、従来の伝熱容器内流路に複数のピンが設けられたピンフィン付ヒートシンクでは、ベースと冷却流体が接する伝熱面積が増大し、またピンを避けるために生じる二次元的流れにより、熱伝達特性はある程度向上するが、製作が難しく、高コストになる。なお、ピンフィンの場合、ダイカスト製により製作されることが一般的であるが、ダイカスト製になるとヒートシンク材料の熱伝導率が低下し、それゆえベース部の熱拡散特性およびピンフィン部のフィン効率が低下し、ヒートシンクの熱特性が悪化する。また、ピンフィンを製作する上で、抜き勾配をある程度(1.5〜2°程度)設けねばならなく、この抜き勾配のために、ベース側の通過断面積が小さくなり、流路内の冷却流体が蓋側を通過し易くなり、伝熱特性が悪くなる。なお、この抜き勾配は、大きければ大きいほどヒートシンクの伝熱特性を悪化させるものと通常は考えられている。
これに対し、本発明では、蓋10内面に設けた突起7は3次元方向(特にヒートシンクの厚み方向が含まれている)への乱流促進体であることから、高熱伝導材料で製作する必要が無く、また本発明では抜き勾配が大きくなるほど冷却流体11がベース側を通過し易くなり、さらに縦方向の移動(衝突および旋回流)を促進することから、熱伝達特性が良くなる。すなわち、本発明では、ベース8と冷却流体11が接する伝熱面積増大による熱伝達の向上効果を得るのではなく、低コストで加工性の良い材料を用いて攪拌効果の向上を図り、また、突起7の抜き勾配を通常使用しない領域まで大きくすることで突起7の加工性を向上させながら、ベース8側の通過断面積を大きくし、冷却流体11をベース8側に近づけることで、熱伝達効果を向上させることができる。また、より微細な突起7を蓋10内面に設けることができることから、従来構造のヒートシンクより熱伝達特性が向上することになる。
流体攪拌力の増大により、ヒートシンクの熱伝達特性を向上させるため、突起7の材質は高熱伝導材料である必要はなく、突起7の材料選択の自由度が向上し、例えば、ダイカストで製作する場合には、作業性が良いように抜き勾配を大きくすることができるため、製作が容易であり、低コスト化できる。
なお、発熱体6は、図では模式的に示しているが、発熱体6としては、例えば加熱ヒータ、電子機器、電子部品等の発熱源、またそれらの発熱源から熱輸送する機器の放熱部、熱交換器(本発明と同様のヒートシンクも含む)等であり、発熱体6は熱をヒートシンクへ印加するものであれば特にその構造および寸法には限定されない。また、発熱体6は、ベース8にハンダ付けまたはロー付け、さらには圧接等により直接取付けられたり、サーマルグリースなどの接触熱抵抗低減構造体を介して熱的に接続されたりするものである。
伝熱容器3は、冷却流体11の収容および冷却流体11が移動する通路の役割をするものであるが、発熱体6と冷却流体11とを熱的に接続したり、発熱体6から伝わる熱を熱拡散・均熱化したりする役割を果たすことができる。また、伝熱容器3は、発熱体6および付随する部品を固定するのに用いることもできる。また、伝熱容器3は、冷却流体送入口1の下流においては流路2に冷却流体11を分配し均流化する役割、および冷却流体送出口4の上流においては冷却流体11を合流させる役割を果たしている。
また、分配および合流を促進するために、図3に示すような伝熱容器3内部の冷却流体送入口1下流に冷却流体11を分配する分配用ヘッダ12を設けたり、伝熱容器3内部の冷却流体送出口4上流に冷却流体11を合流させる合流用ヘッダ13を設けたりしても良い。なお、図3では冷却流体送入口1と冷却流体送出口4とが同じ側(紙面左下)になっているが、両者が紙面左下と右上といった逆方になっていることもある。また、均流化を促進するために、分配用ヘッダ12または合流用ヘッダ13と流路2との連結部に、金網およびスリットまたは細孔を伴う整流板などを設けて流量を調整しても良い。なお、上記整流板は蓋10と一体成形されても良い。また、伝熱容器3外表面には、複数の発熱体6を設けても良く、これに伴い伝熱容器3内に複数並列の流路2を設けても良い。分配器である分配用ヘッダ12、合流器である合流用ヘッダ13を設けることで、伝熱容器3の特定の箇所をより集中して冷却するとか、均一化して冷却するとかが、より効率的にできるようになる。
突起7は、冷却流体11を攪拌する役割を有し、場合によってはベース8と蓋10との隙間を保持するための柱または補強材としての役割を有することもある。この実施の形態1では突起7が蓋10内面に設けられた例で説明したが、図4に示すように突起7が基板18上に設けられ、基板4を伝熱容器3内に挿入する構成、または基板4を伝熱容器3内に設ける構成でも良い。このようにすることにより、例えばヒートシンクが非常に大きな場合、加工機の加圧能力によっては型加工(ダイカスト、鍛造など)できない場合があるが、突起7を設けた基板18を複数分割して小さくすることにより、容易に製作ができる。また、基板18の交換により、容易にヒートシンクの熱特性を変更することができる。さらに、異なる突起7を有する複数の基板18を組合せ、流路2内の位置によって熱伝達特性が異なるヒートシンクさえ容易に製作することができる。なお、基板4の固定方法としては、伝熱容器3内流路にガイドとなる突起を設けて固定しても良く、また基板4を伝熱容器3内面に接着剤によって接着または溶剤により溶着させても良い。
また、この実施の形態1では円錐体の突起7で構成した例で説明したが、突起7は円錐体形状(図5のa、e、i)に限定されず、例えば略多角錐(図5のb、c、d)などの略錐体形状であれば、同様の効果が得られる。また、一般には錐体には含まれないが、ここでは、略半球(図5のf)の形状も半錐体に含めて考えることができる。さらに、ここでは略半錐体(図5のg、h、j)などであっても、図5の左方向から右方向に冷却流体11が突起7に衝突すれば、略錐体形状で得られる効果が得られるため、略半錐体であっても略錐体形状に含まれるものである。また、突起7の先端は鋭利な頂角を有していても、平坦面を形成(例えば、図5のd)していても良い。
また、突起7の先端及び根元部分が曲面(例えば、図5のe、fでは先端が曲面)から形成されていても良い。さらに、突起7は外形が錐体形状であることに意味があるため、突起7の中が中空(図5のi、h)になっていても良い。また、図示していないが円錐がタケノコ型のように母線にあたる箇所が外側に膨れていたり、逆に凹んでいたりしても良い。また、軸対象である必要もない(図5のj参照)。
なお、突起7の先端部が平坦であり、かつ、ベース8内面(内面とは流路2と接する側の面)と面接触する場合には、ベース8内面と冷却流体が接する伝熱面積が減少し、伝熱特性が悪化する。それゆえ、突起7の先端は鋭利な頂角を有するか、曲面から形成されることで、ベース8の内面と点接触する構造の方が望ましい。また、突起7とベース8内面との隙間は小さいほど良く、より好ましくは接触した方が望ましい。
一方、突起7先端とベース8内面を熱的に結合させても良く(例えば、ロウ付やハンダ付によって結合させる)、その場合は、突起7先端が鋭利な頂角を有しなくても良い。なお、この場合は、突起7がフィンとしての効果を有し、伝熱容器内面から熱伝導により突起7、さらに蓋10へ熱が伝達され、突起7周りおよび蓋10内面から冷却流体11へ熱が放出され、より効率良く放熱することができる。
また、三次元的流れを活発に発生させるために、突起7の根元部分(蓋10、基板18等と接する部分)は曲面から形成された方が望ましい。このようにすることにより、冷却流体11が突起7の根元からせりあがるように上昇し、冷却流体11のベース8内面へ衝突し、ベース8内面における冷却流体11の攪拌が促進される。
なお、上記突起7の抜き勾配は、1.5°程度でも良いが、5°以上ある方が望ましい。好ましくは20°以上ある方が望ましい。勾配が5度以上であれば、ダイカスト等で製法する際に型から外す際に極めて容易に外すことができるからである。また、勾配が20度以上であれば、ベース8側の通過断面積を大きくし、冷却流体11をベース8側に近づけることで、熱伝達効果を向上させることができる。
冷却流体送入口1は、低温の冷却流体11を送入する役割を有し、一方、冷却流体送出口4は、高温の冷却流体11を送出する役割を有している。これらは、通流パイプ15(円管、矩形管、フレキシブルチューブ、ゴム製のホースなど)と連結され、また、伝熱容器3内流路2断面が扁平している場合は、冷却流体送入口1および冷却流体送出口4は扁平した形状である方が望ましく、それに伴い通流パイプ13もこれらとの連結部近傍で滑らかに扁平し連結されるパイプである方が望ましい。また、図1に示す実施の形態1では、冷却流体送入口1および冷却流体送出口4は、対称的にヒートシンクの側壁9に設けられているが、ベース8および蓋10に設けても良く、また非対称な位置に設けても良い。
ヒートシンクを構成する材料としては、ベース8については熱伝導率の高い材料からなることが望ましく、従って、例えばアルミニウム、銅、あるいはそれらの複合材料など伝熱性の良好な金属材料でなる。一方、ベース8以外の部分(側壁9、蓋10、突起7、基板18および通流パイプ15)もまた同様の金属材料からなっても良いが、成形の容易さおよび低コスト化の観点から、突起7は樹脂材料で成形しても良い。また、蓋10および基板18に関しては、低コスト化のために板金加工しても良く、この場合、突起7の裏面に窪みが形成されて、突起7が中空になるが、突起7は乱流促進体であるため、熱特性の劣化等の問題はない。なお、このようにすることにより、軽量化もできる。
冷却流体11は、蒸留水、不凍液、アルコールおよびアンモニアなどの液体、または空気および窒素ガスなどの気体である。なお、本発明は、冷却流体11が液体である場合の方が、その効果が大きい。
なお、図6に示すようにヒートシンクの上下両面に発熱体6が設けられる場合には、伝熱容器3内に基板14を設けて、基板14の両面に略錐体形状の突起7を所定の配列で設ける構成をとることができる。発熱体6が一方向にしかない場合に対して、ヒートシンクを蓋10を介して面対称に2個重ねて、二枚の蓋10を基板14に置き換えたような構成になっている。二個のヒートシンクを反転して重ねた構成と異なり、冷却流体送入口1および冷却流体送出口4は共用できることになり、より簡易な構成となる。この構成によれば、三次元的な流れを引き起こすことで、より簡易な構造で熱伝達特性を向上させることができ、一つのヒートシンクで同時に上下2個(2セット)の発熱体6を冷却することができる。なお、基板14の両面でなくとも、少なくとも基板14の片面に略錐体形状の突起7を所定の配列で設ければ、突起7を設けた側の冷却効果を高めることができる。また、基板14の片面に略錐体形状の突起7を所定の配列で設けた複数の基板7を、突起7を有さない面どうしを合わせて、伝熱容器内に装着しても良い。
上記実施の形態1の説明では、発熱体を取り付ける伝熱容器3の壁と対向する伝熱容器3の壁内面に略錐体形状の突起7を所定の配列で設けた例、および伝熱容器3内に基板18を設けて、この基板18の少なくとも片面に略錐体形状の突起7を所定の配列で設けた例で説明したが、本発明は、冷却流体送入口1と、内部に流路2が形成された伝熱容器3と、冷却流体送出口4とを備えたヒートシンクにおいて、上記流路2が、発熱体6が取り付けられる側から伝熱容器3高さ方向に流路幅が小さくなる略台形の流路2a(略三角形流路も含む)と略流路幅一定の流路2bとが順次連結された流路2で構成されたものであれば良く、例えば図7に示すように、冷却流体11の主流流れ方向(冷却流体送入口1から冷却流体送出口4方向)のみ流路2aと流路2bとが順次連結された構成でも良い。なお、流路2aおよび2bは、流路2の位置を特定して説明するために便宜上設けた添え番である。
また、図8に示すように、伝熱容器3の流路2内に、略球体の乱流促進体19を複数装着しても良い。なお、この場合は、該乱流促進体19の位置決めを容易にするために、流路2の少なくとも片方の内面に凹部を設けても良い。また、該乱流促進体19を少なくとも流路2の片面に熱的に結合させても良い(例えば、ロウ付やハンダ付によって結合させる)。発熱体6が設けられた側の伝熱容器3の壁面と熱的に結合された場合は、該乱流促進体19はフィンとしての効果を有し、伝熱容器3内面から熱伝導により乱流促進体19に熱が伝達され、乱流促進体19周りから冷却流体11へ熱が放出され、より効率良く放熱することができる。また、乱流促進体19が伝熱容器3の流路の両内面に熱的に接合された場合は、伝熱容器3内面から熱伝導により乱流促進体19、さらに蓋10へ熱が伝達され、乱流促進体19周りおよび蓋10から冷却流体11へ熱が放出され、さらに効率良く放熱することができる。また、該乱流促進体19間は、隙間を設けても良く、また接触しても良い。さらに、乱流促進体19は中空の球体でも良く、乱流促進体19の材質は、突起7同様の高熱伝導体でも良く、また樹脂等の低熱伝導体でも良い。
これらの場合でも、流路2の流れ方向に直交する断面は、発熱体6が取り付けられる側から離れるにしたがって狭くなる箇所と、流路2の幅が一定となる箇所とが交互に構成されることになる。また、流路2は、伝熱容器3の高さ方向(厚み方向)に発熱体6が取り付けられる側から流路2の幅が小さくなる略台形流路と略流路幅一定の流路2とが順次連結された構成になっている。
実施の形態2.
図9は実施の形態2によるヒートシンクを模式的に示す斜視図である。図に示すように、上記伝熱容器3として、発熱体6取付け面に開口16を有する伝熱容器3を用いたものである。符号は上記実施の形態1と同様であるので説明を省略する。
図に示すように、実施の形態1とは異なり、伝熱容器3は、発熱体6を取り付ける面が開口しており、発熱体6を取り付けることで開口が覆われて流路を形成している。すなわち、発熱体6が開口16を覆うように設けることにより、流路2を形成し、また、発熱体6の取付面が直接冷却流体11と接し、冷却流体11へ熱を直接伝達する構成になっている。よって、この場合、冷却流体送入口1と伝熱容器3と冷却流体送出口4に加えて発熱体6とによって、通流路5および流路2が形成されることになる。このようにすることにより、発熱体6とベース8間の接触熱抵抗およびベース8部分の熱抵抗を無くすことができ、ヒートシンクの熱特性を向上させることができる。
また、この実施の形態では、発熱体6にフィンを設けることなく、蓋10に設けた突起7の乱流促進効果により、発熱体6と冷却流体11間の熱伝達が向上し、放熱特性が向上する。このように、発熱体6に直接フィンを設けないことから、発熱体6(例えば電子機器、パワーモジュールなど)の製作が容易になり、低コスト化できる。また、使用条件により発熱体6から生じる発熱量が変化する場合などにおいても、蓋10に設けた突起7の形状・大きさ・配設ピッチを変更することにより放熱特性を変更することができ、発熱体6自体の構造変更を行う必要性が無いことから、発熱体6を汎用性のあるもとして製作することができ、利便性およびシステムとしての低コスト化ができる。
なお、発熱体6と伝熱容器3との結合手法としては、Oリング、ガスケットによる圧着、または接着剤を用いた接着により行うことができる。
さらに、図10に示すように伝熱容器3の両面に開口16を設け、両面に突起7を設けた基板14を、伝熱容器3内流路2内へ挿入しても良い。伝熱容器3内に基板14を設けて、基板14の両面に略錐体形状の突起7を所定の配列で設けることで、一つのヒートシンクによって二つの発熱体を冷却することができる。なお、基板14の両面でなくとも、少なくとも基板14の片面に略錐体形状の突起7を所定の配列で設ければ、突起7を設けた側の冷却効果を高めることができる。
実施の形態3.
図11は、実施の形態3によるヒートシンクを模式的に示す斜視図である。また、図12は、実施の形態3の変形例であるヒートシンクを模式的に示す流路断面図であり、下図が流路横断面図で、上図がC−C断面における上方から見た断面図である。図に示すように、上記ベース8または発熱体6の冷却流体11と接する伝熱面にフィン17を設けたものである。その他の符号は上記実施の形態1と同様であるので説明を省略する。
この実施の形態3によるヒートシンクは、上記実施の形態1および2に対して、フィン17を設けることで伝熱面積を増大したもので、熱伝達特性を向上させることができる。また、図11に示すように所定の配列である碁盤目状の配列でピンフィンを設けたベース8と、そのピンフィンを避けるように所定の配列である碁盤目状の配列で突起7が設けられた蓋10を組合せることにより、フィン17と突起7とで所定の配列である千鳥足状の配列をした構造を形成することができる。これによって、通常、加工が困難な千鳥足状の配列となるピンを容易に製作することができる。なお、伝熱面に千鳥足状の配列でピンフィンを設けたヒートシンクと比較し、伝熱面積が減少するが、この場合においても、3次元的流れが生じ、伝熱面上の熱伝達が向上するので、比較的熱特性は高くなる。逆に、ピンを取り付ける本数が二分されることにより、よりフィン17および突起7を疎な配列にすることができ、フィン17および突起7の両者をあわせることでより細密化が可能となり、熱伝達特性を向上させることができる。
なお、図11では、フィン17として上記突起7と同形状の略錐体形状のフィンで説明したが、この形状に限定されるものではなく、例えば上記ベース8または発熱体6の冷却流体11と接する伝熱面に設けるフィン17としては、図12に示すようなストレートフィン(図12のa)、ピンフィン(図12のb)、ウェービィフィン、ヘリーボーンフィンまたはセレートフィン(図12のc)、オフセットフィンまたは多孔板フィン(図12のd)などのフィンでも良い。
実施の形態1によるヒートシンクを模式的に示す斜視図である。 実施の形態1によるヒートシンクを模式的に示す断面図である。 実施の形態1の変形例であるヒートシンクを模式的に示す斜視図である。 実施の形態1の他の変形例であるヒートシンクを模式的に示す斜視図である。 実施の形態1の他の変形例であるヒートシンクの突起を模式的に示す斜視図である。 実施の形態1の他の変形例であるヒートシンクを模式的に示す斜視図である。 実施の形態1の他の変形例であるヒートシンクを模式的に示す断面図である。 実施の形態1の他の変形例であるヒートシンクを模式的に示す斜視図である。 実施の形態2によるヒートシンクを模式的に示す斜視図である。 実施の形態2の変形例であるヒートシンクを模式的に示す断面図である。 実施の形態3によるヒートシンクを模式的に示す斜視図である。 実施の形態3の変形例であるヒートシンクを模式的に示す流路断面図である。
符号の説明
1 冷却流体送入口、 2 流路、 2a 流路、 2b 流路、3 伝熱容器、 4 冷却流体送出口、 5 通流路、 6 発熱体、 7 突起、 8 ベース、 9 側壁、 10 蓋、 11 冷却流体、 12 分配用ヘッダ、 13 合流用ヘッダ、 14 基板、 15 通流パイプ、 16 開口、 17 フィン、 18 基板、 19 乱流促進体。

Claims (7)

  1. 内部に冷却流体を流通させる流路を有する伝熱容器を備え、該伝熱容器に接触させた発熱体を前記流路を流通する前記冷却流体により冷却するようにしたヒートシンクであって、前記伝熱容器の前記発熱体に接触させる側に対向する面側に、前記発熱体方向に従ってその断面が小さくなる突起を2次元的に複数個配列して設け、前記流路は、前記伝熱容器の前記発熱体に接触する側から前記冷却流体の流れる方向に対して直交する方向に離れるにしたがって狭くなる第1の断面部と、前記直交する方向にほぼ一定である第2の断面部とを備え、前記第1の断面部と前記第2の断面部とが前記冷却流体の流れる方向に交互に連続するよう構成されたことを特徴とする電子機器用ヒートシンク。
  2. 前記突起は、略円錐形状、略多角錐形状、略球形状、半球形状のうち少なくともいずれかの形状を有する突起であることを特徴とする請求項1に記載の電子機器用ヒートシンク。
  3. 前記伝熱容器の内面に、前記冷却流体の流れる方向に延びるフィンを設けたことを特徴とする請求項1又は2に記載の電子機器用ヒートシンク。
  4. 前記突起は、前記伝熱容器に設けた基板に設けられたことを特徴とする請求項1又は2に記載の電子機器用ヒートシンク。
  5. 前記基板は、前記流路を2つの流路に仕切るよう前記伝熱容器の内部に配置されると共にその両面に夫々前記突起が配列されてなり、前記伝熱容器は、前記仕切られた一方の流路に接する側と他方の流路に接する側とが夫々異なる発熱体に接触するよう構成されたことを特徴とする請求項4に記載の電子機器用ヒートシンク。
  6. 冷却流体を流通させる流路を有する伝熱容器を備え、該伝熱容器に接触した発熱体を前記流路を流通する前記冷却流体により冷却するようにしたヒートシンクであって、前記伝熱容器は、前記冷却流体を前記発熱体に直接接触させる開口部を有し、前記伝熱容器の前記開口部に対向する面側に、前記発熱体方向に従ってその断面が小さくなる突起を2次元的に複数個配列して設け、前記流路は、前記伝熱容器の前記発熱体に接触する側から前記冷却流体の流れる方向に対して直交する方向に離れるにしたがって狭くなる第1の断面部と、前記直交する方向にほぼ一定である第2の断面部とを備え、前記第1の断面部分と前記第2の断面部分とが前記冷却流体の流れる方向に交互に連続するよう構成されたことを特徴とする電子機器用ヒートシンク。
  7. 前記発熱体の前記冷却流体に接する面に、前記冷却流体の流れる方向に延びるフィンを設けたことを特徴とする請求項6に記載の電子機器用ヒートシンク。
JP2004114587A 2004-04-08 2004-04-08 電子機器用ヒートシンク Expired - Fee Related JP4403867B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004114587A JP4403867B2 (ja) 2004-04-08 2004-04-08 電子機器用ヒートシンク

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004114587A JP4403867B2 (ja) 2004-04-08 2004-04-08 電子機器用ヒートシンク

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2005302898A JP2005302898A (ja) 2005-10-27
JP2005302898A5 JP2005302898A5 (ja) 2008-01-17
JP4403867B2 true JP4403867B2 (ja) 2010-01-27

Family

ID=35334056

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004114587A Expired - Fee Related JP4403867B2 (ja) 2004-04-08 2004-04-08 電子機器用ヒートシンク

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4403867B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9111911B2 (en) 2011-04-01 2015-08-18 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Heat sink, and heat sink-equipped electronic component part

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4710621B2 (ja) * 2006-01-16 2011-06-29 三菱電機株式会社 放熱構造体
JP2007250753A (ja) * 2006-03-15 2007-09-27 Mitsubishi Electric Corp 冷却板
JP2007294891A (ja) * 2006-03-30 2007-11-08 Dowa Metaltech Kk 放熱器
JP5005356B2 (ja) * 2007-01-11 2012-08-22 株式会社ティラド ヘリボーンタイプ液冷ヒートシンク
JP5182604B2 (ja) * 2007-05-24 2013-04-17 三菱マテリアル株式会社 パワーモジュール用冷却器
JP4941398B2 (ja) * 2008-04-23 2012-05-30 株式会社デンソー 積層型冷却器
JP5949742B2 (ja) * 2008-12-09 2016-07-13 日本軽金属株式会社 液冷ジャケット
JP5136461B2 (ja) * 2009-02-26 2013-02-06 株式会社豊田自動織機 半導体装置
JP5344999B2 (ja) * 2009-06-09 2013-11-20 三菱電機株式会社 ヒートシンク
JP5343775B2 (ja) * 2009-09-08 2013-11-13 三菱電機株式会社 電力用半導体装置
US20110079376A1 (en) * 2009-10-03 2011-04-07 Wolverine Tube, Inc. Cold plate with pins
DE102009051864B4 (de) * 2009-11-04 2023-07-13 Dr. Ing. H.C. F. Porsche Aktiengesellschaft Kühlvorrichtung für eine elektrische Einrichtung
US20130087313A1 (en) * 2010-06-29 2013-04-11 Timothy Michael Rau Fluid cooling module
JP5707916B2 (ja) * 2010-12-14 2015-04-30 トヨタ自動車株式会社 半導体冷却装置及びその製造方法
KR101314723B1 (ko) 2011-07-27 2013-10-08 주식회사 글로벌스탠다드테크놀로지 공정냉각시스템용 열교환기
JP6026772B2 (ja) * 2012-05-17 2016-11-16 株式会社ティラド ヒートシンク
JP6162558B2 (ja) * 2012-09-27 2017-07-12 京セラ株式会社 流路部材およびこれを用いた熱交換器ならびに半導体製造装置
JP2015126207A (ja) * 2013-12-27 2015-07-06 三菱電機株式会社 半導体装置
US10178805B2 (en) 2014-05-23 2019-01-08 Tesla, Inc. Heatsink with internal cavity for liquid cooling
US10462939B2 (en) 2015-01-22 2019-10-29 Mitsubishi Electric Corporation Semiconductor device
JP6635805B2 (ja) * 2016-01-26 2020-01-29 三菱電機株式会社 半導体装置
JP6680160B2 (ja) * 2016-09-16 2020-04-15 トヨタ自動車株式会社 沸騰冷却装置
US10785864B2 (en) * 2017-09-21 2020-09-22 Amazon Technologies, Inc. Printed circuit board with heat sink
KR102076110B1 (ko) * 2019-11-15 2020-02-11 방민철 반도체 제조를 위한 약액의 온도제어장치
JP7463825B2 (ja) 2020-04-27 2024-04-09 富士電機株式会社 半導体モジュールおよび車両
CN113974219A (zh) * 2021-07-22 2022-01-28 深圳市杰仕博科技有限公司 热空气加热雾化香味物质的装置
US20240162117A1 (en) * 2022-11-14 2024-05-16 Semiconductor Components Industries, Llc Power electronics package with dual-single side cooling water jacket
CN116884933B (zh) * 2023-09-08 2023-12-12 苏州韬盛电子科技有限公司 一种交错微流道散热结构及芯片散热系统
CN117542811B (zh) * 2024-01-10 2024-03-26 广东海洋大学 一种基于微纳结构的新型芯片冷却平台

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9111911B2 (en) 2011-04-01 2015-08-18 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Heat sink, and heat sink-equipped electronic component part

Also Published As

Publication number Publication date
JP2005302898A (ja) 2005-10-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4403867B2 (ja) 電子機器用ヒートシンク
WO2007032056A1 (ja) ヒートシンク
US8199505B2 (en) Jet impingement heat exchanger apparatuses and power electronics modules
JP5600097B2 (ja) 冷却板アセンブリおよびパワーエレクトロニクス・モジュール
CN214582684U (zh) 冷却装置及使用冷却装置的冷却系统
CN212725282U (zh) 散热器
US20090145581A1 (en) Non-linear fin heat sink
JP6738226B2 (ja) 冷却装置
JP6546521B2 (ja) 液冷式冷却装置
CN110785070B (zh) 散热器
CN106793668B (zh) 一种散热器及通信设备
CN113316370A (zh) 换热组件、散热结构及电机控制器
TW202028685A (zh) 散熱器
JP2013254787A (ja) 熱交換器及びその製造方法
JP4013883B2 (ja) 熱交換器
JP6932632B2 (ja) 液冷式冷却装置
JP4697171B2 (ja) 冷却装置、およびそれを備えた電子機器
JP7157591B2 (ja) ヒートシンク
JP3198319U (ja) 放熱器
JP2008300447A (ja) 放熱装置
CN215345601U (zh) 换热组件、散热结构及电机控制器
JP2007294983A (ja) 熱交換器
TWI816365B (zh) 散熱器
JP2012033719A (ja) 発熱体モジュール、及び発熱体モジュールユニット
JP7190076B1 (ja) ヒートシンク

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20061213

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20071121

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090306

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090407

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090527

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090825

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090909

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20091013

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20091026

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121113

Year of fee payment: 3

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 4403867

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121113

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121113

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131113

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees