JP4391284B2 - 多層基板の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は多層基板の製造方法に関し、特にマイクロ波回路およびミリ波回路の形成に使用されるセラミック接合による多層基板の製造方法に関する。

高度な情報通信を支える技術として、同時焼成セラミック多層基板が実用化されている。同時焼成セラミック多層基板は、グリーンシートのビア穴の加工やビアの充填が容易であり、高密度な実装基板が要求される用途での利用価値が高い。

ここで、同時焼成セラミック多層基板は、その焼成温度で２種類に大別できる。
１つは、アルミナを主成分とするグリーンシート上に、モリブデンやタングステンなどの高融点金属ペーストで回路パターンを形成し、還元雰囲気中、１５００℃程度で焼成する、高温同時焼成セラミック多層基板（以後、ＨＴＣＣと略記）と呼称される基板である。

もう１つは、ガラス−アルミナ系のグリーンシート上に、銀や銅など高伝導性を有する金属ペーストで回路パターンを形成し、１０００℃以下の温度で焼成する低温同時焼成セラミック多層基板（以後、ＬＴＣＣと略記）と呼称される基板である。

製造コストの面で両者を比較すれば、焼成温度が低い点や導体に銀を使用する場合には大気焼成が可能である点でＬＴＣＣが優位である。

性能面で比較すれば、高周波デジタル用途では、セラミック基板の誘電率が５〜７程度にできるＬＴＣＣの方が、誘電率が約１０となるＨＴＣＣより信号伝送の遅延が小さくなる点で優位である。

しかし、近年、市場拡大するマイクロ波回路用途およびミリ波回路用途では、信号伝送の損失におけるセラミック基板の誘電正接による部分が、導体回路パターンの体積抵抗率による部分を上回って増加するので、誘電正接が小さい純度９６％以上のアルミナ基板を使うＨＴＣＣが優位である。

しかし、現状は製造コストを優先し、マイクロ波回路用途やミリ波回路用途であってもＬＴＣＣを選択する機器が増えており、市場におけるＬＴＣＣの占有は拡大している。

マイクロ波回路用途やミリ波回路用途では、共振器やフィルターを基板内に構成するので、形状精度が高い平面回路パターンを形成する製造技術も要求される。

一般的なＬＴＣＣ用グリーンシートはガラス−アルミナ系であり、ガラスの軟化に伴う速やかな緻密化が焼結過程の要因である。従って、回路パターンの形成面内（または積層面内を指し、以下、単に面内と呼称）における焼結体の面積をグリーン体の面積で割って求める面積率として、約７５％におよぶ比較的大きな焼成収縮がガラス軟化点以上で急速に生じる。

グリーンシートと導体ペーストとの焼成収縮挙動の差は基板の反り、回路パターン変形、ビア導通不良の原因となるので、同時焼成用導体ペーストは、この速やかな焼成収縮を考慮して選択しなければならない。

しかし、わずかな不一致は残り、面内の収縮は通常１％程度のばらつきを伴い、同時焼成する平面回路パターンにもこれ以上の精度は要求できないのが現状である。

基板表面に限れば、焼成後に高精度な回路パターンを形成することもできるが、低損失かつ低温焼成可能なガラス組成の探索を伴う素材性能の改善は容易ではない。

特許文献１には、ＬＴＣＣとアルミナ基板を接合して得られるミリ波回路用途のマルチチップモジュール用基板とその製造方法が示されている。

具体的な製造方法として、アルミナ系のグリーンシートにビアホールを加工してタングステン等の高融点金属をビアホールに充填した後に１３００℃以上で焼成する工程と、焼成済みアルミナ基板の両面に薄膜導体の回路パターンを形成する工程と、ＬＴＣＣ用グリーンシートにビアを穴加工して銀等の高伝導度な金属をビアに充填する工程と、回路パターンを形成したアルミナ基板を表面に出すようにビア充填済みのＬＴＣＣ用グリーンシートを交互に挟んで積層する工程と、アルミナ基板とＬＴＣＣ基板の交互積層体を低温焼成して層間を接合する工程が開示されている。

また、特許文献２では、焼成済みＬＴＣＣ表面の抵抗体等の回路素子をトリミングした後、同種のグリーンシートを積層し、低温焼成することで調整済み回路素子を内蔵する多層基板を製造する方法が示されている。

何れも、ＬＴＣＣ部分に元から含有するガラスが、その軟化に伴い、アルミナないしガラス−アルミナの表面組織と結合して一体となる効果で多層基板を得ている。

特開平１０−０６５０９２号公報（図２） 特開平１１−２３３９４２号公報（図１）

特許文献１および２に開示される方法を大量生産ラインに適用し、高い歩留まりで生産するには、少なくとも焼成済みアルミナ基板が、ハンドリングできる厚みを有していなければならない。

特許文献１および２にはその限度値は示されていないが、大きさが５０ｍｍ角程度の焼成済みアルミナ基板を用いて発明者等が試行した際の経験値としては、焼成済みアルミナ基板をハンドリングできる厚みの下限値は２００μｍ程度であった。

この厚み以下では、ハンドリング中や、積層工程および薄膜形成工程において、割れや欠けが頻繁に発生し、大量生産ラインに適用できないという結果を得た。

また、アルミナ系のグリーンシートを焼成する工程においても、当初のグリーンシートの厚みが２００μｍ以下では、得られるアルミナ基板に波打つような反りが入りやすく、歩留まり低下の要因となった。

更に、アルミナ系グリーンシートの焼成収縮のばらつきが原因で、ＬＴＣＣ用グリーンシートに形成した直径１５０μｍ程度のビアホールでは、ビアホールを介した接続が不可能な場合もあった。

以上から、面積が大きく、厚みが薄いアルミナ基板に特許文献１および２に開示される方法を適用することは難しいという結論に達した。

ここで、マイクロ波回路やミリ波回路の回路設計に際して、アルミナ基板の厚みに係わらず、特性インピーダンスが同じなら、アルミナ基板が厚いほど、回路パターン中のマイクロストリップライン型伝送線路やストリップライン型伝送線路の幅は太くする必要が生じ、基板の実装密度は低くなるという問題がある。

そうかと言って、回路パターンに、マイクロストリップライン型伝送線路やストリップライン型伝送線路を使用しないとすれば、設計上の制約が多くなり、設計費用や設計時間の増大を招くことになる。

また特許文献１および２に開示される構造では、実用的な多層基板に必要な抗折強度をＬＴＣＣ部に担わせることで、アルミナ基板の焼成温度はＨＴＣＣより低めに設定している。

このため、同等な設計精度で多層基板を作製する場合、コストの面でもＨＴＣＣより優位にできる可能性がある。しかし、コスト面の優位を出すために、アルミナ基板の焼成温度を低くすれば焼成密度が低下して、大気の湿度や温度履歴によりアルミナ基板の電気特性が劣化する可能性が高い。

本発明は上記のような問題点を解消するためになされたもので、薄いアルミナ系グリーンシートを反りなく焼成し、ハンドリング中や、導体膜の形成工程やＬＴＣＣ用グリーンシートとの積層工程および低温焼成工程に際して、割れや欠けなどの欠損を生じにくく、製造歩留まりを向上した多層基板の製造方法を提供することを目的とする。

本発明に係る請求項１記載の多層基板の製造方法は、第１のグリーンシートを複数枚と、前記第１のグリーンシートより多い枚数の第２のグリーンシートとを準備する工程(ａ)と、前記第１および第２のグリーンシートを交互に積層し、一体化して第１のグリーン体を形成する工程(ｂ)と、前記第１および第２のグリーンシートよりも低温で焼成可能な第３のグリーンシートを複数枚積層し、一体化して第２のグリーン体を形成する工程(ｃ)と、前記第１のグリーン体を焼成して第１の焼成体を形成する工程(ｄ)と、前記第２のグリーン体の少なくとも１方の主面上に前記第１の焼成体を積層し、その状態で、前記第３のグリーンシートを焼成する温度で焼成し、前記第２のグリーン体に相当する部分が第２の焼成体になるとともに、前記第２の焼成体が前記第１の焼成体に接合した低温焼成体を形成する工程(ｅ)と、前記第２の焼成体の主面に前記第２のグリーンシートに対応する焼成層が残るように、当該焼成層より上層の前記第１の焼成体の不要部分を剥離除去する工程(ｆ)と、前記焼成層の表面に印刷法により回路パターンを形成する工程(ｇ)とを備えている。

本発明に係る請求項１記載の多層基板の製造方法によれば、第１の焼成体を多層で構成しているので、ハンドリング性が向上し、ハンドリングに起因して割れや欠けを生ずることなく、第２のグリーン体上に積層することができる。そして、第２のグリーン体の焼成後に、第２の焼成体の主面に第２のグリーンシートに対応する焼成層を残し、当該焼成層に回路パターンを形成するので、焼成層の誘電正接が小さく伝送損失が小さくなるように第２のグリーンシートの材質を選択することで、従来のＬＴＣＣやＨＴＣＣ以上にミリ波回路やマイクロ波回路の基板として適した構成を比較的容易に得ることができる。

＜Ａ．実施の形態１＞
まず、実施の形態１の多層基板の製造方法の概略について説明する。
実施の形態１の製造方法では、粒子の粗い第１のグリーンシートと、第１のグリーンシートより粒子が細かく、焼成によりアルミナ基板を得るための第２のグリーンシートとを準備し、両者を交互に積層して、静水圧プレスで一体化し、それを焼成して焼成体を形成する。そして当該焼成体の状態でハンドリングして、第３のグリーンシートを複数枚積層し一体化したグリーン体に接合した後に、第１および第２のグリーンシートの積層体の焼成体のうち、不要な部分を剥離除去することで、ＬＴＣＣと割れや欠けを有さない薄いアルミナ基板との接合多層基板を得る。

なお、以下の説明における多層基板は、各層に回路パターンやビアホールを有しており、多層型半導体装置とも呼称できるが、説明においては単に多層基板と呼称する。

＜Ａ−１．製造方法＞
以下、図１〜図７を用いて本発明に係る実施の形態１の多層基板の製造方法について説明する。

図１は、実施の形態１の多層基板の全製造工程を一図に示したものであり、各工程は図１(ａ)〜図１（ｊ）として示されている。なお、以下においては、図１を中心として、図２〜図７を参照しつつ説明を行う。

＜Ａ−１−１．グリーンシートの準備工程＞
まず、アルミナ系のグリーンシート、ＬＴＣＣ用グリーンシートの準備工程について説明する。

＜Ａ−１−１−１．グリーンシート１の準備＞
純度９９％以上で平均粒径２μｍ程度のアルミナ粉末を母材とし、これにポリビニルブチラール樹脂やアクリル系樹脂などの有機バインダーと、可塑剤および分散剤を添加して、例えばトルエンとエタノールの混合有機溶媒中で混合分散して調整したスラリーを得る。次に当該スラリーからドクターブレード法により、厚み約１００μｍのアルミナ系のグリーンシート１（第１のグリーンシート）を作製する。

なお、ドクターブレード法とは、ドクターブレードと呼称される金属刃の隙間にスラリーを通すことで成形する手法であり、得られたグリーンシートは可塑性を有して軟らかである。

＜Ａ−１−１−２．グリーンシート２の準備＞
純度９９％以上で平均粒径０．３μｍ程度の低ソーダ易焼結性アルミナ粉末に、ＳｉＯ₂とＢ₂Ｏ₃とＲＯ（ただしＲはアルカリ土類金属元素）を２〜３％添加したものを母材とし、他はグリーンシート１と同じ有機バインダー、可塑剤、分散剤および混合有機溶媒を用いてスラリーに調整し、厚み約２００μｍのアルミナ系のグリーンシート２（第２のグリーンシート）を作製する。なお、上記配合により、グリーンシート２に含まれる易焼結性アルミナ粉末の比率は９６％以上となり、誘電率や誘電正接を低減したアルミナ基板を作製できる。

このような材質を選択することで、グリーンシート１と２とで焼結に必要な温度を変えることができる。

＜Ａ−１−１−３．ＬＴＣＣ用グリーンシート４の準備＞
ガラスの組成をＳｉＯ₂−ＺｒＯ₂−Ａｌ₂Ｏ₃−Ｂ₂Ｏ₃−Ｒ†Ｏ（ただしＲ†＝Ｂａ，Ｃａ，Ｍｇ）系材料とし、平均粒径２μｍ程度のガラス粉末と平均粒径２μｍ程度のアルミナ粉末を等重量で混合したスラリーをグリーンシート１と同じ手法で調製し、アルミナ系グリーンシートと同様に厚み約１００μｍのＬＴＣＣ用グリーンシート４を作製する。ここで、Ｒ†＝Ｂａ，Ｃａ，Ｍｇとは、Ｂａ、Ｃａ，Ｍｇのうち少なくとも１つを使用することを意味する。なお、各グリーンシートは５０ｍｍ×５０ｍｍの大きさに切り揃えた。

＜Ａ−１−２．アルミナ系のグリーンシートの積層工程＞
まず、図１(ａ)に示すように、２枚のグリーンシート１および３枚のグリーンシート２を、１層ごと交互に平坦な金属プレート７（第２のプレート）上に積層する。その後、グリーンシートの積層体を金属プレート７ごと市販のラミネートバッグ（図示せず）に入れて真空パックする。

次に、静水圧プレス装置により８０℃の温水中で、３０ＭＰａ（メガパスカル）の静水圧をかけて３０分間保持し、有機バインダーの結着力で一体化させて図１(ｂ)に示すように、グリーン体ＡＧ１（第１のグリーン体）を得る。

なお、グリーンシート１および２を金属プレート７上に積層するに際しては、金属プレート７の四隅に設けた位置決めピン８が、グリーンシート１および２の四隅に予め設けられたガイド穴を貫通するようにグリーンシート１および２を重ね合わせる。

ここで、図２にはグリーンシート２の平面図を、図３には、金属プレート７の平面図および側面図を示す。なお、グリーンシート１の平面構成も同様である。

図２に示すように、グリーンシート２の４隅にはガイド穴２１（グリーンシート１ではガイド穴１１）が設けられ、また、ガイド穴２１よりも内側には直径約１５０μｍのビアホールが複数個設けられている。なおビアホールのうち、外周配列を構成する１２個のビアホールに符号２３１（グリーンシート１では符号１３１）を付し、それらに囲まれるように配設された複数のビアホールに符号２３２（グリーンシート１では符号１３２）を付している。ビアホール２３２は２個ずつが近接して配設されて対をなしており、各対は互いに間隔を開けて配設されている。これらの機能については後に説明する。

また、図３に示すように、金属プレート７の上主面（グリーンシートの搭載面）の四隅においては位置決めピン８が突出するように配設されている。なお、位置決めピン８は、図３の側面図（一部断面図として表されている）に示されるように、金属プレート７の内部にその一方端部が挿入され、他方の端部が主面に垂直に突出するように配設されている。

＜Ａ−１−３．アルミナ系のグリーン体の焼成工程＞
グリーン体ＡＧ１は、周辺部でシートの積層ずれを生じている部分を切り落とした後、焼成して図１(ｃ)に示すアルミナ焼成体ＡＧ１０（第１の焼成体）を得た。なお、焼成体ＡＧ１０は、グリーンシート１に対応するアルミナ焼成層Ｂ１とグリーンシート２に対応するアルミナ焼成層Ｂ２とで構成される。

この焼成は大気中で行い、温度５００℃程度で数時間保持する脱バインダー過程と、それに引き続いて、温度を１５００℃まで上げて２時間保持（高温保持）してグリーンシートを焼結させる過程とを経て、室温まで炉内で冷却する温度パターンを標準条件とし、当該標準条件で作製された試料を試料１とする。

また、これ以外の条件として、高温保持の時間は１時間として、焼結温度を１４００℃および１３００℃に設定した試料２および３も作製した。

また、比較のために１枚のグリーンシート２だけで構成され、焼結温度１５００℃、１時間保持の温度パターン条件で焼成した比較試料も作製した。なお、各試料の作製条件および性能を下記の表１にまとめて示す。

表１に示されるように、１枚のグリーンシート２だけで焼成した比較試料は、周辺に波打つような変形が見られ、後述する多層基板の製造工程には適用することができない状態であった。

一方、試料１ないし３に対応する焼成体の場合、焼結したグリーンシート２の部分を、それより焼結が進んでいないグリーンシート１の部分で慎重に剥離させると、多層基板の製造に適した平坦な薄いアルミナ基板が得られた。

また、表１には各試料について得られる薄いアルミナ基板の吸水率も示しており、１５００℃で焼成した試料１および比較試料については、焼結密度は真密度の約９８％以上で、吸水率も測定限界の０．０１％以下であった。従って、標準条件で焼成体を作製すれば、セラミックの特性上は実用に十分な耐環境性があり、デバイス実装部のみを樹脂等で封止すれば済みむので、コスト的に安価となる。

しかし、標準条件より低い温度で焼成した試料２および３では、吸水率が数％より大きく、高信頼性や長寿命が要求されれば、多層基板全体を覆うように封止することになり、コスト的に廉価であるという要求を満足し難い。

従って以下においては、標準条件（１５００℃）で焼成したアルミナ焼成体ＡＧ１０を用いて多層基板を製造するものとする。

ただし、焼成温度１３００℃および１４００℃で焼成した試料２および３でも吸水率以外の性能は１５００℃のものに遜色はないので、現実の製品においては１３００℃〜１５００℃がアルミナ系のグリーン体の焼成温度範囲となる。

＜Ａ−１−４．ＬＴＣＣ用グリーンシートの積層工程＞
図１(ｄ)に示すように、６枚（この枚数に限定されるものではない）のＬＴＣＣ用グリーンシート４（第３のグリーンシート）を準備し、それぞれのシートについて、同時焼成用に調整した銀ペーストを用いてスクリーン印刷の方法でビアホールを充填すると共に所定の回路パターンを形成し、平坦な金属プレート７上に積層する。その後、グリーンシートの積層体を金属プレート７ごと市販のラミネートバッグ（図示せず）に入れて真空パックする。

次に、静水圧プレス装置により８０℃の温水中で、１５ＭＰａの静水圧をかけて３０分間保持し、有機バインダーの結着力で一体化させて図１(ｅ)に示すように、ＬＴＣＣ用グリーン体ＬＧ１（第２のグリーン体）を得る。

次に、図４にＬＴＣＣ用グリーンシート４の平面図を示す。図４に示すように、グリーンシート４の４隅には直径約３．０ｍｍのガイド穴４１が設けられ、また、ガイド穴４１よりも内側には直径約１５０μｍのビアホール４３１が１２個、矩形ループを描くように配設されている。

なお、図２を用いて説明したグリーンシート２（グリーンシート１も同じ構造）に設けるガイド穴２１は、焼成に伴う面積収縮でそれらの中心の位置関係および直径が変化するので、焼成後の位置関係および直径が、ＬＴＣＣ用グリーンシート４のガイド穴４１の中心の位置関係および直径と略一致するように設定されている。

具体的には、グリーンシート２（および１）は、面積率で約９０％の大きさに収縮するので、この数値に基づいてガイド穴２１の中心の位置関係および直径を設定する。

また、グリーンシート２に示したビアホール２３１の中心の位置関係および直径も同様に変化するので、ＬＴＣＣ用グリーンシート４のビアホール４３１の中心の位置関係および直径と略一致するように設定されている。

最上層のＬＴＣＣ用グリーンシート４に形成する回路パターンとしては、図５に示すようにマイクロ波およびミリ波特性評価用のマイクロストリップ型伝送線路を構成する２０ｍｍ×２０ｍｍの矩形状導体印刷領域４４と、層間ビアホール配線用の直径約５００μｍの円形ランド部１０とを有している。それらパターンの厚みは平均で約１５μｍとした。 なお、円形ランド部１０の周囲はリング状非印刷領域９となっており、矩形状導体印刷領域４４の周囲は非印刷領域４５となっている。

なお、円形ランド部１０は、図４に示す１２個のビアホール４３１（銀ペースト充填済み）の上に形成され、後の工程でアルミナ焼成体ＡＧ１０を積層する際に生じる誤差と、ＬＴＣＣ用グリーン体ＬＧ１の焼成時の収縮によりアルミナ焼成体ＡＧ１０との間に生ずるビアホールの相対位置のずれを吸収するための構成であり、面積が大きい基板になるほど、製造歩留まりの向上に欠かせない構成となる。

また、中間の各層では回路パターンを形成せずに、図４に示すＬＴＣＣ用グリーンシート４のビアホール４３１に銀ペーストを充填しただけの状態を保っている。従って、中間の各層では上下のビアホール４３１どうしが直線的に繋がることになる。

最下層のＬＴＣＣ用グリーンシート４に形成する回路パターンとしては、図６に示すように並列する２つのビアホール（図示せず）間を面内で接続する太さ約２００μｍの直線状導体印刷領域４２を６本設けたパターンとし、それ以外のＬＴＣＣ用グリーンシート４の表面は非印刷領域４３とした。なお、直線状導体印刷領域４２どうしは連続することなく間隔を開けて配設されるパターンとし、それらパターンの厚みは平均で約１５μｍとした。

＜Ａ−１−５．アルミナ焼成体とＬＴＣＣ用グリーン体との積層、成形工程＞
次に、図１(ｆ)に示す工程において、金属プレート７上に積層された状態にあるＬＴＣＣ用グリーン体ＬＧ１の上に、アルミナ焼成体ＡＧ１０を積層する。その後、金属プレート７ごと市販のラミネートバッグ（図示せず）に入れて真空パックする。

次に、静水圧プレス装置により８０℃の温水中で、３０ＭＰａの静水圧をかけて３０分間保持し、ＬＴＣＣ用グリーン体ＬＧ１に含まれる有機バインダーの結着力により、アルミナ焼成体ＡＧ１０との貼り合わせを行って、成形体を得る。

＜Ａ−１−６．成形体の低温焼成工程＞
次に、図１(ｇ)に示す工程において、成形体を金属プレート７から外して低温焼成を行う。ここでの焼成は、温度５００℃程度で数時間保持する脱バインダー過程と、それに引き続き温度を９００℃まで上げて１時間保持して、ＬＴＣＣ用グリーン体ＬＧ１の低温同時焼成過程およびアルミナとガラスを介した接合の形成過程を経て、室温まで炉内で冷却する温度パターンを採用した。なお、この工程によって得られる低温焼成体ＬＢは、ＬＴＣＣ用グリーン体の焼成体であるＬＴＣＣ部ＬＰ（第２の焼成体）と、アルミナ部ＡＰとで構成され、アルミナ部ＡＰはアルミナ焼成層Ｂ１とアルミナ焼成層Ｂ２とで構成される。

なお、低温焼成体ＬＢの面積は、焼成前の成形体と略一致しており、ＬＴＣＣ用グリーン体ＬＧ１をアルミナ焼成体ＡＧ１０に接合することで、ＬＴＣＣ部ＬＰの焼成収縮は面内で抑制されたものと考えられる。

＜Ａ−１−７．低温焼成体の剥離工程＞
次に、図１(ｈ)に示す工程において、アルミナ部ＡＰのアルミナ焼成層Ｂ１以上の層を不要層ＤＵとして機械的に剥離する。

アルミナ焼成層Ｂ１は、粒度が粗く、アルミナ焼成層Ｂ２との焼結が未焼結（もしくは焼結不十分）であるので、両者の間に薄刃のナイフ等を差し入れることで容易に剥離できる。すなわち、この剥離工程を容易にするためにグリーンシート１と２とを交互に積層したのである。

ここで、剥離するアルミナ焼成層Ｂ１は、ＬＴＣＣ部ＬＰの真上に位置するアルミナ焼成層Ｂ２上の層であり、この工程により６層構造のＬＴＣＣ部ＬＰに１層分のアルミナ焼成層Ｂ２が接合した接合体ＢＢを得る。

＜Ａ−１−８．低温焼成体の洗浄工程＞
次に、図１(ｉ)に示す工程において、接合体ＢＢの剥離面を超音波洗浄して表面やビアホール内に付着するアルミナ粉末を除去する。

＜Ａ−１−９．導体層の形成工程＞
次に、図１(ｊ)に示す工程において、接合体ＢＢのアルミナ焼成層Ｂ２に対して、スクリーン印刷法により銀ペーストでビアホールを充填し、表面に厚み約１５μｍの回路パターンを形成する。

アルミナ焼成層Ｂ２に形成する回路パターンとしては、図７に示すようにマイクロ波とミリ波特性評価用のマイクロストリップ型伝送線路を構成する太さ１７０μｍ程度の、長さが異なる複数の直線状導体印刷領域２４と、評価プローブ用のパッド領域２５とを有したパターンとし、それ以外のアルミナ焼成層Ｂ２の表面は非印刷領域２６とした。なお、複数の直線状導体印刷領域２４を囲む複数のビアホール２３１内には銀ペーストが充填されている。

ここで、パッド領域２５は直線状導体印刷領域２４の両端部に接続され、それぞれ２個ずつ対になるように近接して設けられるが、この位置は図２を用いて説明したグリーンシート２に設けた複数のビアホール２３２の形成位置に略対応する。「略」としたのは、グリーンシート２は焼成により面積率で約９０％の大きさに収縮するので、ビアホール２３２の位置も変化し、そこに銀ペーストを充填してその上にパッド領域２５を設けるからである。

なお、直線状導体印刷領域２４は、特性インピーダンスが５０Ωとなるようにビアホール２３２の対と対との間に設けられ、その長さはビアホール対間の距離に応じて３種類の長さに設定されている。

回路パターンの印刷後、温度８００℃で１５分間保持することで銀ペーストを焼き付けて、接合多層基板１００を得た。なお、接合多層基板は評価のために同じ構造のものを複数製作した。

以上の工程を経て得られた接合多層基板１００は、最上層のアルミナ焼成層Ｂ２のビアホール２３１（図７）内に充填された銀ペーストを焼き付けることで形成された配線（ビア配線と呼称）が、その下のＬＴＣＣ用グリーンシート４を焼成して得られた層の円形ランド部１０（図５）に接続され、それ以下の各層のビアホール内に形成されたビア配線を介して最下層の直線状導体印刷領域４２（図６）に電気的に接続された構造となる。

従って、最上層のアルミナ焼成層Ｂ２のビアホール２３１にテスターあるいはインピーダンスメーターを接続することで、当該ビアホール２３１に繋がる一連の電気回路の導通不良や絶縁不良の有無を検知できる。

＜Ａ−２．評価＞
得られた複数の接合多層基板は、ビアホール内に形成されたビア配線の接続状態を、テスターおよびインピーダンスメーターで調べたが、導通不良や絶縁不良は検知されなかった。

電気計測を行って、電気的不良が存在しないことを確認した複数の接合多層基板の１つについて断面観察を行い、各層間のビアホールのずれ量を測定した。

測定の結果、ずれ量は５０ｍｍの長さの範囲内で最大３００μｍ程度であった。このずれは、主にアルミナ焼成体形成時の焼成収縮のばらつきや、積層時の位置ずれによって生じていると考えられる。

また、電気計測済みの他の接合多層基板を用いて、マイクロストリップ型伝送線路の伝送損失を測定した。ここでは、複数の線路（図７に示す長さが異なる複数の直線状導体印刷領域２４）についての測定を行いの結果、得られる複数の特性を利用して評価プローブ用のパッド領域２５の影響を差し引き、線路の単位長さ当たりの損失に換算した値を図８に示す。

図８においては、横軸を測定周波数（ＧＨｚ）とし、縦軸を伝送損失（ｄＢ／ｍｍ）とし、接合多層基板の伝送損失特性を特性Ｃ１として示す。

なお、図８中には、比較例として別に用意したＨＴＣＣとＬＴＣＣ上の伝送線路における伝送損失特性を、それぞれ特性Ｃ２およびＣ４として示す。

ここで使用したＨＴＣＣは、図２を用いて説明したグリーンシート２に、同時焼成用のタングステンペーストを用いて伝送線路を印刷したものを使用し、ＬＴＣＣは、図４を用いて説明したＬＴＣＣ用グリーンシート４に、同時焼成用の銀ペーストを用いて伝送線路を印刷したものを使用した。

また、比較例の作製においては、それぞれ伝送線路の特性インピーダンスが５０Ωで、線路の太さが１７０μｍ程度になるように、グリーンシートの厚みを調整している。

すなわち、マイクロストリップ型伝送線路の特性インピーダンスは、基板の誘電率、線路幅（太さ）および基板厚みの関数で規定される。そして、各比較例では基板の種類が異なるので誘電率が異なり、同じ線路幅（１７０μｍ）で特性インピーダンスを５０Ωに揃えるために、各基板、すなわちグリーンシートの厚みを変えている。

図８に示すように伝送損失は、測定周波数が高い領域、例えば測定周波数４０ＧＨｚ以上の領域に着目した場合、ＬＴＣＣ（特性Ｃ４）、ＨＴＣＣ（特性Ｃ２）、接合多層基板（特性Ｃ１）の順に小さくなっている。

一般的に伝送損失は、セラミック素材の誘電正接が小さく、線路導体の伝導度が大きいほど小さくなる。従って、図８に示される大小関係は、ＬＴＣＣはＨＴＣＣより誘電正接が大きいことを反映していることになる。

また、接合多層基板の誘電正接はＨＴＣＣと同様に小さく、線路導体である銀がタングステンより高伝導度であることを反映して、接合多層基板の伝送損失はＨＴＣＣに比べて更に小さくなっている。

＜Ａ−３．効果＞
以上説明した実施の形態１の多層基板の製造方法を用いることで、誘電正接が小さく伝送損失がＨＴＣＣに比べて更に小さい接合多層基板を得ることができる。また、接合多層基板の最上面にある薄いアルミナ焼成層Ｂ２（アルミナ基板）にはＨＴＣＣの製造プロセスでは使用できない高伝導な銀を使用できるので、ミリ波回路やマイクロ波回路を、アルミナ基板に集積する構成を採用することで、従来のＬＴＣＣやＨＴＣＣ以上の性能を示す多層基板や半導体パッケージを比較的容易に得ることができる。

また、図１(ｃ)を用いて説明したように、グリーン体ＡＧ１を焼成することで得られる焼成体ＡＧ１０は、２枚のグリーンシート１と３枚のグリーンシート２を積層した厚みを有しているので、ハンドリング性が向上し、ハンドリングに起因して割れや欠けを生ずることを防止できる。

＜Ａ−４．変形例１＞
以上説明した実施の形態１の多層基板の製造方法では、図１(ａ)を用いて説明したように、２枚のグリーンシート１と３枚のグリーンシート２を交互に積層したグリーン体ＡＧ１を焼成した焼成体ＡＧ１０をハンドリングして、ＬＴＣＣ用グリーン体ＬＧ１の上に積層する例を示したが、１枚のグリーンシート１と２枚のグリーンシート２を交互に積層したグリーン体を焼成した焼成体をＬＴＣＣ用グリーン体ＬＧ１の上に積層するようにしても良い。

この場合も、１枚のグリーンシート２だけで焼成したアルミナ基板に比べて、ハンドリング性が向上し、割れや欠けを生ずることを防止できる。

＜Ａ−５．変形例２＞
以上説明した実施の形態１の多層基板の製造方法では、図１(ｆ)を用いて説明したように、金属プレート７上に積層された状態にあるＬＴＣＣ用グリーン体ＬＧ１の上に、アルミナ焼成体ＡＧ１０を積層する例を示したが、ここは図９に示すような構成としても良い。

すなわち、金属プレート７上にアルミナ焼成体ＡＧ１０を搭載し、その上にＬＴＣＣ用グリーン体ＬＧ１を積層する。そして、ＬＴＣＣ用グリーン体ＬＧ１の上に、更にアルミナ焼成体ＡＧ１０を積層する構成としても良い。

このような構成を採用する場合も、静水圧プレスによりＬＴＣＣ用グリーン体ＬＧ１とアルミナ焼成体ＡＧ１０との貼り合わせを行って成形体を得る工程、および図１(ｇ)を用いて説明した成形体の低温焼成工程は同じであるが、図１(ｈ)を用いて説明した低温焼成体ＬＢの剥離工程は、図１０に示すような工程となる。

すなわち、図１０に示すように、低温焼成体ＬＢの上下両面におけるグリーンシート１に対応するアルミナ焼成層Ｂ１以上の層を不要層ＤＵとして機械的に剥離する。

この結果、ＬＴＣＣ部ＬＰの上下両面には、それぞれアルミナ焼成層Ｂ２（アルミナ基板）が残り、ＬＴＣＣ部ＬＰがアルミナ焼成層Ｂ２で挟まれた構成となる。

このように、ＬＴＣＣ部ＬＰの上下両面にアルミナ基板を設けることで、当該多層基板に作り込む集積回路の多様性を増すことができる。

＜Ｂ．実施の形態２＞
実施の形態１においては、最上面が薄いアルミナ基板で構成された接合多層基板を製造する方法を説明したが、実施の形態２においては、上記アルミナ基板の代わりに、ガラス−アルミナ系焼結体基板を形成した構成について説明する。

＜Ｂ−１．製造方法＞
実施の形態２に係る製造方法は、基本的には、図１を用いて説明した実施の形態１の製造方法と同じであるので重複する説明は簡略化し、異なる部分についてのみ詳細に説明する。

まず、グリーンシート１とグリーンシート３とを準備する。グリーンシート１ついては説明済みなので、グリーンシート３についてのみ準備工程を説明する。

＜Ｂ−１−１．グリーンシート３の準備＞
グリーンシート３を形成するためのガラス材料の原料配合比は、重量％で、ｘ・ＳｉＯ₂−ｙ・Ｂ₂Ｏ₃−ｚ・Ａｌ₂Ｏ₃−α・ＣａＯ−β・ＭｇＯ−γ・Ｒ₂Ｏ（Ｒ＝Ｎａ，Ｋ）−δ・ＴｉＯ₂と表される。ここで、Ｒ＝Ｎａ，Ｋとは、ＮａおよびＫのうち少なくとも１つを使用することを意味する。

そして、比率を表すｘ、ｙ、ｚ、α、β、γおよびδの値は、５２≦ｘ≦５６、１５≦ｙ≦２０、１０≦ｚ≦１５、０≦α≦１０、０≦β≦５、０≦γ≦１、０．５≦δ≦５で表される。

以上の構成を有するガラス材料を、平均粒径２μｍ程度まで粉砕して得たガラス粉末と、純度９９％以上で平均粒径２μｍ程度のアルミナ粉末を上記ガラス粉末と等重量（１対１）で混合したものを母材とし、母材にグリーンシート１と同じ有機バインダー、可塑剤、分散剤および混合有機溶媒を混ぜてスラリーに調整し、厚み約２００μｍのガラス−アルミナ系のグリーンシート３（第２のグリーンシート）を作製する。

＜Ｂ−１−２．ガラス−アルミナ系のグリーンシートの積層工程＞
次に、図１１(ａ)に示すように、２枚のグリーンシート１と３枚のグリーンシート３を、１層ごと交互に平坦なセラミックプレート１７（第１のプレート）上に積層する。その後、グリーンシートの積層体をセラミックプレート１７ごと市販のラミネートバッグ（図示せず）に入れて真空パックする。

次に、静水圧プレス装置により８０℃の温水中で、３０ＭＰａ（メガパスカル）の静水圧をかけて３０分間保持し、有機バインダーの結着力で一体化させて図１１(ｂ)に示すように、グリーン体ＡＧＧ１を得る。

なお、グリーンシート１および３をセラミックプレート１７上に積層するに際しては、セラミックプレート１７の四隅に設けた位置決めピン１８が、グリーンシート１および３の四隅に予め設けられたガイド穴を貫通するようにグリーンシート１および３を重ね合わせる。

ここで、図１２には、セラミックプレート１７の平面図および側面図を示す。

図１２に示すように、セラミックプレート１７の上主面（グリーンシートの搭載面）の四隅においては、セラミックプレート１７を厚さ方向に貫通するピン挿入穴ＨＬが設けられており、当該ピン挿入穴ＨＬに位置決めピン１８を挿入する構成となっている。

位置決めピン１８は、図１２の側面図（一部断面図として表されている）に示されるように、ピン挿入穴ＨＬに挿入される部分と、ピン挿入穴ＨＬよりも直径が大きく、セラミックプレート１７の主面から突出する部分とで構成されており、グリーンシート１および３のガイド穴には、この突出部分が係合する。なお、位置決めピン１８は金属で構成しても良い。

なお、ピン挿入穴ＨＬの直径は、図３を用いて説明した金属プレート７の位置決めピン８の直径とほぼ等しく、位置決めピン８を挿入することができる大きさとなっている。

ここで、グリーンシート３の平面構成は図２を用いて説明したグリーンシート２と基本的に同じであるが、ガイド穴の大きさが位置決めピン１８の大きさに適合するように大きくなる。これはグリーンシート１のガイド穴１１についても同じである。なお、図１１(ａ)ではグリーンシート３のガイド穴３１を示している。

＜Ｂ−１−３．ガラス−アルミナ系のグリーン体の焼成工程＞
グリーン体ＡＧＧ１は、周辺部でシートの積層ずれを生じている部分を切り落とした後、位置決めピン１８を取り外し、セラミックプレート１７に搭載した状態で焼成し、図１１(ｃ)に示すガラス−アルミナ焼成体ＡＧＧ１０（第１の焼成体）を得た。

焼成体ＡＧＧ１０は、グリーンシート１に対応するアルミナ焼成層Ｂ１とグリーンシート３に対応するガラス−アルミナ焼成層Ｂ３とで構成される。

この焼成は大気中で行い、温度５００℃程度で数時間保持する脱バインダー過程と、それに引き続いて、温度を１１００℃まで上げて１時間保持してグリーンシートを焼結させる過程とを経て、室温まで炉内で冷却する温度パターンの条件で行った。

こうして得られた焼成体ＡＧＧ１０は、面内の焼成収縮が抑制されて、面積率が９９％以上となって優れた寸法精度を示し、また、ハンドリングに対しても十分な強度でセラミックプレート１７に貼り付いていた。

なお、グリーン体ＡＧＧ１の搭載プレートにセラミックを使用することで、焼成に際して熱膨張係数の違いに起因する不具合の発生を防止できる。

＜Ｂ−１−４．ＬＴＣＣ用グリーンシートの積層工程＞
図１１(ｄ)〜図１１（ｅ）に示すＬＴＣＣ用グリーンシートの積層工程は、図１(ｄ)〜図１（ｅ）に示す工程と基本的には同じであるが、最上層のＬＴＣＣ用グリーンシート４に形成する回路パターンには、図５に示すような円形ランド部１０は設けていない。

＜Ｂ−１−５．ガラス−アルミナ焼成体とＬＴＣＣ用グリーン体との積層、成形工程＞
次に、図１１(ｆ)に示す工程において、金属プレート７上に積層された状態にあるＬＴＣＣ用グリーン体ＬＧ１の上に、セラミックプレート１７上で焼成された状態にあるガラス−アルミナ焼成体ＡＧＧ１０を積層する。

このとき、ＬＴＣＣ用グリーン体ＬＧ１にガラス−アルミナ焼成体ＡＧＧ１０が対面するように、セラミックプレート１７を上側にして積層し、セラミックプレート１７のピン挿入穴ＨＬ（図示せず）に、金属プレート７の位置決めピン８が挿入されるように位置決めを行う。

すなわち、ガラス−アルミナ焼成体ＡＧＧ１０の四隅には、セラミックプレート１７の表面に達するガイド穴が形成されており、その直径は位置決めピン８の直径より大きいので、位置決めピン８をスムーズに挿入できる。そして、当該ガイド穴の底部にはセラミックプレート１７のピン挿入穴ＨＬ（図示せず）が存在するので、そこに位置決めピン８を挿入することでＬＴＣＣ用グリーン体ＬＧ１とガラス−アルミナ焼成体ＡＧＧ１０との重ね合わせの位置決めが完了する。

なお、セラミックプレート１７のピン挿入穴ＨＬは精度良く形成されているので、ＬＴＣＣ用グリーン体ＬＧ１とガラス−アルミナ焼成体ＡＧＧ１０との重ね合わせの位置決めに使用することで、両者の重ね合わせ精度を飛躍的に高めることができる。

その後、金属プレート７およびセラミックプレート１７ごと市販のラミネートバッグ（図示せず）に入れて真空パックする。

次に、静水圧プレス装置により８０℃の温水中で、３０ＭＰａの静水圧をかけて３０分間保持し、ＬＴＣＣ用グリーン体ＬＧ１に含まれる有機バインダーの結着力により、ガラス−アルミナ焼成体ＡＧＧ１０との貼り合わせを行って、成形体を得る。

＜Ｂ−１−６．成形体の低温焼成工程＞
次に、図１１(ｇ)に示す工程において、成形体を金属プレート７から外して低温焼成を行う。ここでの焼成は、温度５００℃程度で数時間保持する脱バインダー過程と、それに引き続き温度を９００℃まで上げて１時間保持して、ＬＴＣＣ用グリーン体ＬＧ１の低温同時焼成過程およびアルミナとガラスを介した接合の形成過程を経て、室温まで炉内で冷却する温度パターンを採用した。なお、この工程によって得られる低温焼成体ＬＢＸは、ＬＴＣＣ部ＬＰと、アルミナ部ＡＰとで構成され、アルミナ部ＡＰはアルミナ焼成層Ｂ１とガラス−アルミナ焼成層Ｂ３（ガラス−アルミナ基板）とで構成される。また、この段階ではセラミックプレート１７も一体化している。

＜Ｂ−１−７．低温焼成体の剥離工程＞
次に、図１１(ｈ)に示す工程において、アルミナ部ＡＰのアルミナ焼成層Ｂ１以上のセラミックプレート１７を含む部分を不要層ＤＵとして機械的に剥離する。アルミナ焼成層Ｂ１は、粒度が粗く、ガラス−アルミナ焼成層Ｂ３との焼結が未焼結（もしくは焼結不十分）であるので、両者の間に薄刃のナイフ等を差し入れることで容易に剥離できる。すなわち、この剥離工程のためにグリーンシート１と３とを交互に積層したのである。

ここで、剥離するアルミナ焼成層Ｂ１は、ＬＴＣＣ部ＬＰの真上に位置するガラス−アルミナ焼成層Ｂ３上の層であり、この工程により６層構造のＬＴＣＣ部ＬＰに１層分のガラス−アルミナ焼成層Ｂ３が接合した接合体ＢＢＸを得る。

＜Ｂ−１−８．低温焼成体の洗浄工程＞
次に、図１１(ｉ)に示す工程において、接合体ＢＢＸの剥離面を超音波洗浄して表面やビアホール内に付着するアルミナ粉末を除去する。

＜Ｂ−１−９．導体層の形成工程＞
次に、図１１(ｊ)に示す工程において、接合体ＢＢＸのガラス−アルミナ焼成層Ｂ３に対して、スクリーン印刷法により銀ペーストでビアホールを充填し、表面に厚み約１５μｍの回路パターンを形成し、銀ペーストを焼き付けることで接合多層基板２００を得た。

なお、この回路パターンとしては、図７に示す構成と同じであり、形成条件等も同じであるので説明は省略する。

＜Ｂ−２．評価＞
得られた接合多層基板２００は、ビアホール内に形成されたビア配線の接続状態を、テスターおよびインピーダンスメーターで調べたが、導通不良や絶縁不良は検知されなかった。

このことは、最上層のＬＴＣＣ用グリーンシート４に形成する回路パターンに、図５に示すような円形ランド部１０を設けずとも、ガラス−アルミナ焼成層Ｂ３に設けたビア配線と、ＬＴＣＣ部ＬＰのビア配線との位置ずれが極力抑制されていることを意味する。

すなわち、実施の形態１では、ＬＴＣＣ部ＬＰとアルミナ焼成層Ｂ２とのビア配線のずれを、ＬＴＣＣ部ＬＰ側に形成する円形ランド部１０によって吸収する構成としているが、これがなくてもビア配線の断線が起きないことを意味している。

また、図８において、接合多層基板２００の伝送損失特性を特性Ｃ３として示す。
図８に示すように、特性Ｃ３は、ＨＴＣＣの特性Ｃ２にほぼ一致し、優れた特性を示している。これは、用いたガラスの誘電率と誘電正接が小さいことを反映している。なお、誘電率は７程度であった。

＜Ｂ−３．効果＞
円形ランド部１０が不要であることは以下の利点を有している。すなわち、ビア配線を低周波帯域で使用するのであれば、円形ランド部１０等を用いることに問題はないが、高周波帯域で使用する場合、ランドおよびビア配線の配置の仕方で、そこに生ずる寄生容量が異なる値となって、基板に構成する回路の回路定数がばらつく可能性がある。

その結果、多層基板の表面に精度の良い回路パターンを形成しても、ビア配線が原因で回路定数がばらつき、製造後の多層基板にたいして回路パターンをトリミングする等の修正が必要となる。

しかし、上述した製造方法に従って、ガラス−アルミナ系の焼結体基板を形成すれば、ガラス−アルミナ焼成層Ｂ３の面積率で９９％以上の優れた寸法精度を活かして、ＬＴＣＣ用グリーン体ＬＧ１とガラス−アルミナ焼成体ＡＧＧ１０との重ね合わせを精度良く行うことができ、円形ランド部などの位置ずれ吸収のための構成を設けずに済みむので、回路定数がばらつきが抑制でき、回路パターンのトリミング等が不要となって、製造コストを低減できる。

また、ガラス−アルミナ焼成層Ｂ３の焼成温度は１１００℃と、アルミナに比べて焼成温度が低いので製造コストの面で有利であり、また緻密なために湿度の影響を受けにくい。また誘電率がＬＴＣＣ並の７程度であり、しかも誘電正接はＬＴＣＣより小さいために、マイクロ波やミリ波帯において性能面でも優れた多層基板を得ることができる。

本発明に係る実施の形態１の多層基板の製造工程を説明する断面図である。 アルミナ系のグリーンシートの構成を説明する図である。 金属プレートの構成を説明する図である。 ＬＴＣＣ用のグリーンシートの構成を説明する図である。 最上層のＬＴＣＣ用のグリーンシートに形成する回路パターンを説明する図である。 最下層のＬＴＣＣ用のグリーンシートに形成する回路パターンを説明する図である。 アルミナ焼成層に形成する回路パターンを説明する図である。 各種基板の伝送損失特性を示す図である。 本発明に係る実施の形態１の変形例の製造工程を説明する断面図である。 本発明に係る実施の形態１の変形例の製造工程を説明する断面図である。 本発明に係る実施の形態２の多層基板の製造工程を説明する断面図である。 セラミックプレートの構成を説明する図である。

符号の説明

１，２，３ グリーンシート、４ ＬＴＣＣ用グリーンシート、７ 金属プレート、８，１８ 位置決めピン、１０ 円形ランド部、１７ セラミックプレート、ＡＧ１ グリーン体、ＡＧ１０ アルミナ焼成体、ＬＧ１ ＬＴＣＣ用グリーン体、２１，４１ ガイド穴。

Claims (7)

1. (ａ)第１のグリーンシートを複数枚と、前記第１のグリーンシートより多い枚数の第２のグリーンシートとを準備する工程と、
   (ｂ)前記第１および第２のグリーンシートを交互に積層し、一体化して第１のグリーン体を形成する工程と、
   (ｃ)前記第１および第２のグリーンシートよりも低温で焼成可能な第３のグリーンシートを複数枚積層し、一体化して第２のグリーン体を形成する工程と、
   (ｄ)前記第１のグリーン体を焼成して第１の焼成体を形成する工程と、
   (ｅ)前記第２のグリーン体の少なくとも１方の主面上に前記第１の焼成体を積層し、その状態で、前記第３のグリーンシートを焼成する温度で焼成し、前記第２のグリーン体に相当する部分が第２の焼成体になるとともに、前記第２の焼成体が前記第１の焼成体に接合した低温焼成体を形成する工程と、
   (ｆ)前記第２の焼成体の主面に前記第２のグリーンシートに対応する焼成層が残るように、当該焼成層より上層の前記第１の焼成体の不要部分を剥離除去する工程と、
   (ｇ)前記焼成層の表面に印刷法により回路パターンを形成する工程と、を備える多層基板の製造方法。
2. 前記工程(ａ)は、
   (ａ−１)前記第１のグリーンシートの母材として、粒子が比較的粗いアルミナ粉末を選択し、前記第２のグリーンシートの母材として、前記第１のグリーンシートと比較して母材の粒子が細かいアルミナ粉末を選択する工程を含み、
   前記工程(ｄ)は、
   (ｄ−１)前記第１のグリーンシートが未焼結となるように焼成条件を設定する工程を含み、
   前記工程(ｆ)は、
   前記第２のグリーン体において、前記焼成層の上の未焼結の前記第１のグリーンシートの部分から上層を剥離する工程を含む、請求項１記載の多層基板の製造方法。
3. 前記工程(ａ)は、
   前記第２のグリーンシートに、前記回路パターンに応じて予めビアホールを形成する工程を含み、
   前記工程(ｇ)は、
   前記回路パターンを銀ペーストで形成するとともに、前記焼成層の前記ビアホールに、前記銀ペーストを充填する工程を含む、請求項１記載の多層基板の製造方法。
4. 前記工程(ｅ)は、
   前記第２のグリーン体の両方の主面上に前記第１の焼成体を積層する工程を含む、請求項１記載の多層基板の製造方法。
5. 前記工程(ａ)は、
   前記第１のグリーンシートの母材として、平均粒径２μｍのアルミナ粉末を選択し、
   前記第２のグリーンシートの母材として、平均粒径２μｍのガラス粉末と、平均粒径２μｍのアルミナ粉末とを等重量で混合したものを選択し、
   前記ガラス粉末として、原料配合比が重量％で、
   ｘ・ＳｉＯ₂−ｙ・Ｂ₂Ｏ₃−ｚ・Ａｌ₂Ｏ₃−α・ＣａＯ−β・ＭｇＯ−γ・Ｒ₂Ｏ（Ｒ＝Ｎａ，Ｋ）−δ・ＴｉＯ₂として表され、
   比率を表す前記ｘ、ｙ、ｚ、α、β、γおよびδの値は、
   ５２≦ｘ≦５６、１５≦ｙ≦２０、１０≦ｚ≦１５、０≦α≦１０、０≦β≦５、０≦γ≦１、０．５≦δ≦５で表されるものを選択する工程を含む、請求項１記載の多層基板の製造方法。
6. 前記工程(ａ)は、
   前記第１および第２のグリーンシートに、それぞれの主面を貫通する複数の第１のガイド穴を設ける工程を含み、
   前記工程(ｂ)は、
   (ｂ−１)前記第１および第２のグリーンシートを積層した場合に、前記複数の第１のガイド穴に対応する位置に、その主面に垂直に突出する抜き差し可能な複数の第１の位置決めピンを有する第１のプレートを準備する工程と、
   (ｂ−２)前記第１のプレートの前記複数の第１の位置決めピンが、前記第１および第２のグリーンシートのそれぞれの前記複数の第１のガイド穴に挿入されるように、前記第１および第２のグリーンシートを積層して前記第１のグリーン体を形成する工程とを含み、
   前記工程(ｃ)は、
   (ｃ−１) 前記第３のグリーンシートを貫通する複数の第２のガイド穴を設ける工程と、
   (ｃ−２) 前記第３のグリーンシートを積層した場合に、前記複数の第２のガイド穴に対応する位置に、その主面に垂直に突出する複数の第２の位置決めピンを有する第２のプレートを準備する工程と、
   (ｃ−３) 前記第２のプレートの前記複数の第２の位置決めピンが、前記第３のグリーンシートの前記複数の第２のガイド穴に挿入されるように、前記第３のグリーンシートを積層する工程とを含み、
   前記工程(ｄ)は、
   (ｄ−１)前記複数の第１の位置決めピンを抜き取り、前記第１のプレートに前記第１のグリーン体を搭載した状態で前記第１のグリーン体を焼成する工程を含み、
   前記工程(ｅ)は、
   前記第２のプレートに搭載された前記第２のグリーン体の１方の主面に前記第１の焼成体が対面するように、前記第１の焼成体および前記第１のプレートを積層し、前記第２のプレートの前記複数の第２の位置決めピンを、前記第１のプレートの前記複数の第１の位置決めピンを抜き取った後のピン挿入穴に挿入することで位置合わせを行う工程を含み、 前記工程(ｆ)は、
   前記第１のプレートを含むように前記第１の焼成体の前記不要部分を剥離除去する工程を含む、請求項５記載の多層基板の製造方法。
7. 前記工程(ｂ−１)は、
   前記第１のプレートとしてセラミックプレートを選択する工程を含む、請求項６記載の多層基板の製造方法。
   

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