JP4388163B2 - 異なる吸着タイプを有するアダプター及びこれを用いた異物検査装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、検査や測定のために吸着載置テーブルに被測定対象物（たとえばウエハ）を吸引吸着させる際に使用するテーブル用アダプタや被測定対象物用アダプタ、並びにこれらのアダプターを用いる異物検査装置に関するものである。とくに、本発明は、異なるサイズの被測定対象物を吸引吸着させたり、被測定対象物を異なる形式の吸引吸着方式で吸引吸着させて測定・計測を行うことを可能とするアダプター（テーブル用アダプタや被測定対象物用アダプタ）並びにこれらのアダプターを用いる異物検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の載置テーブルは、一つのサイズのウエハを一つの吸着タイプのみで載置吸着するものであった。
【０００３】
小さいサイズ、例えば４インチや６インチなどのウエハを測定する場合には、略等間隔で一様な吸着孔を設けて、ウエハの略全面を吸着していた。
【０００４】
最近、描画サイズも微細化の一途をたどると共に、ウエハサイズが拡大され、８インチ用ウエハや１２インチ用ウエハに関しては、従来あまり問題とされなかったウエハ裏面のゴミが問題にされるようになってきている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
裏面のゴミ付着の問題を解決するために別に周辺吸着のタイプが必要になってきた。その場合、従来の測定データとの比較のためには、従来と同じ条件で検査することが望ましい。即ち、異なるウエハサイズのウエハを測定することや、吸着タイプを変更することが望ましい。
【０００６】
本発明は、異なるサイズのウエハを測定することや、吸着タイプを変更することを可能にするアダプターとそのアダプターを用いた異物検査装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の好適な解決手段は、請求項１から５に記載のアダプターである。
【０００８】
本発明の別の好適な解決手段は、請求項６に記載の異物検査装置である。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明は、検査や測定のために吸着載置テーブルに被測定対象物（たとえばウエハ）を吸引吸着させるアダプタやそれを用いた異物検査装置に関するものである。とくに、異なるサイズの被測定対象物を吸引吸着させたり、被測定対象物を異なる形式の吸引吸着方式で吸着させて測定、計測を行うことを可能とするアダプター並びにこれを用いる異物検査装置に関するものである。
【００１０】
本発明の好ましい実施例においては、アダプターが第１接触面と第２接触面を有する。第１接触面は第１サイズを有し、第２接触面は第２サイズを有する。第１接触面と第２接触面は、全面吸着タイプ又は周辺吸着タイプである。第１接触面と第２接触面は互いに異なる吸着タイプになっている。これらのサイズやタイプの組合せの一例が表１に示されている。表１に示されている第１〜第６実施例は、あとで詳細に説明する。
【００１１】
【表１】

この表１に示されている実施例のうち、本発明にとって特に好ましい典型的な例の概略を説明する。
【００１２】
典型的な例の１つは、第１サイズ用吸着載置テーブルに取り付く第１吸着タイプの第１接触面と、第２サイズ用で第１吸着タイプとは異なる第２吸着タイプの第２接触面を有するアダプターである。好ましくは、アダプターは、吸着載置テーブル用アダプター又はウエハ用アダプターとして用いる。第２接触面は、ウエハに接触することが好ましい。とくに好ましくは、上記第１吸着タイプは、周辺吸着タイプとし、第２吸着タイプは全面吸着タイプとする。また、上記第１吸着タイプは、全面吸着タイプとし、第２吸着タイプは周辺吸着タイプとすることも好ましい。さらに好ましくは、上記第１サイズは、上記第２サイズと同じにす る。
【００１３】
別の典型例は、上記第１サイズを、上記第２サイズより小さくするか又は大きくする。
【００１４】
本発明のさらに別の典型例は、吸着載置テーブルと、照射光学系と、受光光学系と、高さ検出部と、位置調整部とから構成される異物検査装置である。吸着載置テーブルは、被測定対象物を上述のアダプターを介して載置又は取り付ける。照射光学系、つまり、発光系は、光源を有し、光源からの光を被測定対象物に照射する。受光光学系は、その反射光を受光する。
【００１５】
高さ検出部は、被測定対象物の高さを測定する。その高さ検出部からの出力に基づいて、位置調整部は、照射光学系からの光束が被測定対象物上で所定の条件で照射するように照射光学系と被測定対象物との位置関係を調整する。
【００１６】
【実施例】
以下、本発明の好適な実施例を図面により説明する。表１に示す第１〜第６実施例を順に説明する。
【００１７】
第１〜第６実施例において、ウエハ用アダプターは、ウエハと共に交換され、載置テーブルに載せられるものである。
【００１８】
第１実施例
図１〜６を参照して、第１実施例を詳細に説明する。
【００１９】
ウエハ用アダプタ７は、第１サイズ用吸着載置テーブル１１に着脱自在に載置する第１接触面７ａ（図５）と、第１サイズより小さい第２サイズ用第２接触面７ｂ（図４）を有する。第１サイズ用第１接触面７ａは、周辺吸着タイプであ る。第２サイズ用第２接触面７ｂは、全面吸着タイプである。
【００２０】
図１〜２を参照して、装置の概略を説明する。図１（ａ）は、第１実施例を示す異物検査装置の概念図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）に示す異物検査測定装置の測定部を示す概略説明図である。
【００２１】
異物検査装置は、吸着載置テーブル１と、搬送装置２と、検査光学系３（たとえばオートフォーカス機構を含む検査光学系）を備えている。
【００２２】
搬送装置２は、カセット４と、ロボット５と、アライメント皿６を備えてい る。カセット４は、ウエハアダプター７に保持されたウエハ１８をカセット４の内部に収納するものである。
【００２３】
アライメント皿６は、異物検査装置のフレーム（図示せず）に固定されてい る。アライメント皿６は、一部に半円形状に段差が形成された２つの部材６Ａ、６Ｂを組み合わせたものであり、一定の隙間９を空けて構成されている。
【００２４】
ロボット５は、その一部が示してあるように、アーム部１０と、吸着部１２を備えている。吸着部１２は、公知の吸着機構を採用できる。アーム部１０を曲げ又は延ばすことによって、吸着部１２を前後方向に移動させる。アーム部１０をＺ方向に移動させることによって、吸着部１２をＺ方向に移動させる。Ａ点を中心としてＳ方向にアーム部１０を回転させることにより、吸着部１２をＳ方向に旋回させる。吸着部１２は、ウエハアダプター７を吸着して保持する。そして、吸着部１２でウエハアダプター７を吸着して保持し、ウエハ１８を保持したウエハアダプター７をアライメント皿６に載置する。
【００２５】
ロボット５によってウエハアダプター７をアライメント皿６に載置する際に は、吸着部１２は、アライメント皿６の上方から、上述のアライメント皿６に形成された隙間９を通ってアライメント皿６の下方に移動する。
【００２６】
吸着載置テーブル１１は、ネジ棒１３を利用した駆動機構によってＸ方向に移動可能にする。吸着載置テーブル１１が移動するとき、吸着載置テーブルの細長部１１ａ（図４）が上述のアライメント皿６に形成された隙間９を通る。そし て、吸着載置テーブル１１は、アライメント皿６から測定部３へ移動する。これとは逆の方向に、吸着載置テーブルの細長部１ａが上述のアライメント皿６に形成された隙間９を通って、吸着載置テーブル１は、測定部３からアライメント皿６へ移動することもできる。
【００２７】
吸着載置テーブル１１は、テーブル面１１ｂ、つまり吸引チャック面でウエハアダプタ７を吸着する。吸着載置テーブル１１のテーブル面１１ｂは回転する。
【００２８】
測定部３の検査光学系は、図１（ｂ）に示すように、発光系（照射光学系）１４と受光系（受光光学系）１５とを備えている。受光系１５は、図２に示すように、散乱光受光系１６と、鏡面反射受光系１９を備えている。発光系１４は光源（図示せず）を有し、光源からレーザービームをウエハ１８の表面に照射し、ウエハ１８表面の異常によって生じる散乱反射光を受光系１５によって受光する。図２に示すように、受光系１５の受光信号を電気信号として取り出して制御演算部２５に送り、そこで所定のデータ処理を行い、ウエハ表面の傷、ゴミ、汚れ等の有無とその欠陥位置を検出する。
【００２９】
測定部３は、従来の検査装置の測定部と同様に構成できる。測定部３は、前述の検査光学系の外にオートフォーカス機構つまり自動合焦系２０（図２）を備えている。
【００３０】
図２は、図１の異物検査装置の概略を示すブロック図である。
【００３１】
異物検査装置は、高さ検出部４３と位置調整部４４を備えている。位置調整部４４は、テーブルＸ方向移動部２２と、テーブルＺ方向移動部２３と、テーブル回転部２４を備えている。高さ検出部４３は、所定レベルからのウエハ１８の高さを測定する。その高さ検出部４３からの出力に基づき、位置調整部４４は、発光系１４からの光束がウエハ１８上で所定の条件で照射するように、発光系１４とウエハ１８との位置関係を調整する。
【００３２】
制御演算部２５は、ロボットアーム駆動部２６を制御して、ロボットアーム１０（図１）を旋回させる。制御演算部２５は、ロボットアーム駆動部２６を制御して、ロボットアーム１０（図１）を上下と前後方向に移動させる。制御演算部２５は、テーブルＸ方向移動部２２と、テーブルＺ方向移動部２３と、テーブル回転部２４を制御する。制御演算部２５は、吸着載置テーブル１１（図１）をＸ方向とＺ方向に移動させ、テーブル１１（図１）を回転させる。制御演算部２５でテーブルＺ方向移動部２３を制御することにより、測定部３（図１）における焦点合わせをすることができる。制御演算部２５でテーブルＺ方向移動部２３を制御することにより、ウエハアダプター７の吸着載置テーブル１１への載置を行う。
【００３３】
また、制御演算部２５は、自動合焦系（オートフォーカス機構）２０と、発光系１４と、散乱光受光系１６と、鏡面反射受光系１９と、駆動部２９を制御す る。
【００３４】
制御演算部２５は、検査結果を必要に応じて表示器３０で表示させる。表示器３０は、異物の位置や数、散乱光レベル等を表示する。
【００３５】
図３は、図１の異物検査装置による検査の概略フローチャートを示す図であ る。
【００３６】
検査が開始されると、ステップＳ１において、被検査物１８（図１）の種類を判別し、表面散乱の少ないもの（例えばベアウエハ、ＳｉＯ₂ 膜付きのウエハ）か、表面散乱の多いもの（例えば、金属膜付きのウエハ）かを判別する。
【００３７】
被検査物１８（図１）が、表面散乱の少ない被検査物のときには、ステップＳ２に進み、感度を表面散乱の少ない被検査物１８（図１）に適した設定（第１条件）とし、ステップＳ３に進む。ステップＳ３で、走査が行われ、ステップＳ４に進む。
【００３８】
ステップＳ４では、制御演算部２５が受光系１５からの受光信号を受け取り、信号処理を行う受光信号を選択し、ステップＳ５に進む。
【００３９】
ステップＳ５では、制御演算部２５が、選択された受光信号に所定の信号処理を施し、検査対象の種類（たとえば凸状の異物や、凹状の結晶欠陥等。ここでは図示されていない。）を抽出し、その開始座標、終了座標、ピーク座標などのデータを求め、ステップＳ６に進む。
【００４０】
ステップＳ６では、抽出されたデータに基づき、検査対象の種類（たとえば凸状の異物や、凹状の結晶欠陥）を判別し、ステップＳ７に進む。
【００４１】
ステップＳ７では、走査を終了するか否かが判断される。終了でなければ、ステップＳ４に戻り、処理が走査終了まで繰り返される。走査終了であれば、ステップＳ８に進む。
【００４２】
ステップＳ８では、検査対象（図示せず）の検査データを記憶し、ステップＳ９に進む。
【００４３】
ステップＳ９では、検査対象の検査データを所定の形式で表示器３０で表示 し、ステップＳ１０に進む。
【００４４】
ステップＳ１０では、測定終了かどうかが判断される。測定終了でなければ、ステップＳ１に戻り、新たな測定が行われる。そうでなければ、そのまま終了する。
【００４５】
ステップＳ１において、被検査物が、表面散乱の多いもの（例えば、金属膜付きのウエハ）と判断されたときには、ステップＳ１１に進み、感度を表面散乱の多い被検査物１８（図１）に適した設定（第２条件）とする。この場合、ステップＳ３に進み、検査が、上述したものと同様に行われる。
【００４６】
次に、図４と図５を参照して、異物検査装置におけるウエハアダプターの使用態様を説明する。
【００４７】
図４は、ウエハアダプターの使用様態を示す図である。図５は、ウエハアダプターの縦断面図である。
【００４８】
第１実施例においては、第１サイズ用吸着載置テーブル１１のテーブル面１１ｂには、テーブル面外周付近に吸着溝１１ｃが形成されている。つまり、第１サイズ用吸着載置テーブル１１は、周辺吸着タイプの吸引チャック面を有してい る。
【００４９】
吸着溝１１ｃは、配管系（図示せず）を介して吸引装置（図示せず）に接続されている。したがって、吸着載置テーブル１１は、ウエハ１８とウエハアダプター７をテーブル面１１ｂに吸着する。
【００５０】
ウエハアダプター７は、第１サイズ用第１接触面７ａと、第２サイズ用第２接触面７ｂと、保持部材３２を備えている。第１接触面７ａは、第１サイズ用吸着載置テーブル１１と接触する。第２接触面７ｂは、第２サイズのウエハ１８と接触する。第２接触面の外側には、複数の保持部材３２が取り付けられている。複数の保持部材３２は、第２サイズのウエハ１８の外周側面と接触し、ウエハ１８を保持する。
【００５１】
第２サイズは、第１サイズより小さい。つまり、ウエハアダプター７を介することにより、第１サイズより小さい、第２サイズのウエハ１８を第１サイズ用吸着載置テーブル１１に吸着載置する。ウエハアダプター７の第１サイズ用第１接触面７ａの外周付近には、円形に吸着溝７ｃが形成されている。
【００５２】
ウエハアダプターの第２サイズ用第２接触面７ｂには、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで吸引孔７ｄが形成されている。
【００５３】
吸着溝７ｃと吸引孔７ｄは、互いに通じている。したがって、ウエハ１８は、ウエハアダプター７を介して、略全面吸着で、周辺吸着タイプの吸着載置テーブルにより載置吸着される。つまり、吸着載置テーブル１１の吸着タイプとウエハ１８が吸着されるタイプは、周辺吸着から全面吸着に変換される。
【００５４】
なお、第１実施例においては、ウエハアダプターの第２接触面７ｂにおける吸引孔７ｄの存在範囲は、ウエハアダプターの第１接触面７ａにおける吸着溝７ｃの包囲範囲より小さい。しかしながら、ウエハアダプターの第２接触面７ｂにおける吸引孔７ｄの存在範囲は、ウエハアダプターの第１接触面７ａにおける吸着溝７ｃの包囲範囲より大きくしてもよいし、等しくしてもよい。
【００５５】
以上のような構成の、ウエハアダプターを用いた異物検査装置の使用態様の概要は、図１を参照して説明すると、次のとおりである。
【００５６】
▲１▼ロボット５で、ウエハアダプター７に保持されたウェーハ１８をカセット４から取出し、アライメント皿６に受け渡す。
【００５７】
▲２▼アライメント皿６の下部に、吸着載置テーブル１が移動してくる。
【００５８】
▲３▼吸着載置テーブル１が吸着しながら上昇してきて、ウエハアダプター７とウェーハ１８を吸着する。
【００５９】
▲４▼吸着載置テーブル１が測定部３まで移動し、測定を開始する。
【００６０】
次に、本発明のウエハアダプターの他の実施例について説明する。
【００６１】
第２実施例
図６と図７を参照して、本発明の第２実施例を説明する。
【００６２】
図６は、ウエハアダプターの使用様態を示す図である。図７は、ウエハアダプターの縦断面図である。
【００６３】
ウエハ用アダプター１７は、第１サイズ用吸着載置テーブル１に取り付く第１接触面１７ａと、第１サイズより小さい第２サイズ用第２接触面１７ｂを有す る。第１サイズ用第１接触面１７ａは、全面吸着タイプである。第２サイズ用第２接触面１７ｂは、周辺吸着タイプである。
【００６４】
第１サイズ用吸着載置テーブル１のテーブル面１ｂには、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで多数の吸引孔１ｃが形成されている。つまり、第１サイズ用吸着載置テーブル１は、全面吸着タイプの吸引チャック面を有している。吸引孔１ｃは、配管系（図示せず）を介して吸引装置（図示せず）に接続されてい る。したがって、吸着載置テーブル１は、ウエハ１８とウエハアダプター１７をテーブル面１ｂに吸着する。
【００６５】
ウエハアダプター１７は、第１サイズ用第１接触面１７ａと、第２サイズ用第２接触面１７ｂと、保持部材３２を備えている。第１接触面１７ａは、第１サイズ用吸着載置テーブル１と接触する。第２接触面１７ｂは、第２サイズのウエハ１８と接触する。第２接触面の外側には、複数の保持部材３２が取り付けられている。複数の保持部材３２は、第２サイズのウエハ１８の外周側面と接触し、ウエハ１８を保持する。
【００６６】
第２サイズは、第１サイズより小さい。つまり、ウエハアダプター１７を介することにより、第１サイズより小さい、第２サイズのウエハ１８を第１サイズ用吸着載置テーブル１に吸着載置する。
【００６７】
ウエハアダプター１７の第１サイズ用第１接触面１７ａには、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで多数の吸引孔１７ｃが形成されている。
【００６８】
ウエハアダプターの第２サイズ用第２接触面１７ｂの外周付近には、円形に吸着溝１７ｄが形成されている。吸引孔１７ｃと吸着溝１７ｄは、互いに通じている。したがって、ウエハ１８は、第２実施例のウエハアダプター１７を介して、周辺吸着で、全面吸着タイプの吸着載置テーブルにより載置吸着される。つま り、吸着載置テーブル１の吸着タイプとウエハ８が吸着されるタイプが、全面吸着から周辺吸着に変換される。
【００６９】
なお、第２実施例においては、ウエハアダプターの第２接触面１７ｂにおける吸着溝１７ｄの包囲範囲は、ウエハアダプターの第１接触面１７ａにおける吸引孔１７ｃの存在範囲より小さい。しかしながら、ウエハアダプターの第２接触面１７ｂにおける吸着溝１７ｄの包囲範囲は、ウエハアダプターの第１接触面１７ａにおける吸引孔１７ｃの存在範囲より大きくしてもよいし、等しくしてもよ い。
【００７０】
第３実施例
次に、図８と図９を参照して、第３実施例を説明する。
【００７１】
ウエハ用アダプター２７は、第１サイズ用吸着載置テーブル１に取り付く第１接触面２７ａと、第１サイズより大きい第２サイズ用第２接触面２７ｂを有す る。第１サイズ用第１接触面２７ａは、全面吸着タイプである。第２サイズ用第２接触面２７ｂは、周辺吸着タイプである。
【００７２】
図８は、ウエハアダプターの使用様態を示す図である。図９は、ウエハアダプターの縦断面図である。
【００７３】
第３実施例においては、第１サイズ用吸着載置テーブル１のテーブル面１ｂには、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで多数の吸引孔１ｃが形成されている。つまり、第１サイズ用吸着載置テーブル１は、全面吸着タイプの吸引チャック面を有している。吸引孔１ｃは、配管系（図示せず）を介して吸引装置（図示せず）に接続されている。したがって、吸着載置テーブル１は、ウエハ８とウエハアダプター２７をテーブル面１ｂに吸着する。
【００７４】
ウエハアダプター２７は、第１サイズ用第１接触面２７ａと、第２サイズ用第２接触面２７ｂと、保持部材３２を備えている。第１接触面２７ａは、第１サイズ用吸着載置テーブル１と接触する。第２接触面２７ｂは、第２サイズのウエハ８と接触する。第２接触面の外側には、複数の保持部材３２が取り付けられている。複数の保持部材３２は、第２サイズのウエハ８の外周側面と接触し、ウエハ８を保持する。
【００７５】
第２サイズは、第１サイズより大きい。つまり、第３実施例のウエハアダプター２７を介することにより、第１サイズより大きい、第２サイズのウエハ８を第１サイズ用吸着載置テーブル１に吸着載置する。ウエハアダプター２７の第１サイズ用第１接触面２７ａには、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで多数の吸引孔２７ｃが形成されている。
【００７６】
ウエハアダプターの第２サイズ用第２接触面２７ｂの外周付近には、円形に吸着溝２７ｄが形成されている。吸引孔２７ｃと吸引孔２７ｄは、互いに通じている。したがって、ウエハ８は、ウエハアダプター２７を介して、周辺吸着で、全面吸着タイプの吸着載置テーブルにより載置吸着される。つまり、吸着載置テーブル１の吸着タイプとウエハ８が吸着されるタイプが、全面吸着から周辺吸着に変換される。
【００７７】
なお、第３実施例においては、ウエハアダプターの第２接触面２７ｂにおける吸着溝２７ｄの包囲範囲は、ウエハアダプターの第１接触面２７ａにおける吸引孔２７ｃの存在範囲より大きい。しかしながら、ウエハアダプターの第２接触面２７ｂにおける吸着溝２７ｄの包囲範囲は、ウエハアダプターの第１接触面２７ａにおける吸引孔２７ｃの存在範囲より小さくしてもよいし、等しくしてもよ い。
【００７８】
第４実施例
次に、図１０と図１１を参照して、第４実施例を説明する。
【００７９】
ウエハ用アダプター３７は、第１サイズ用吸着載置テーブル１１に取り付く第１接触面３７ａと、第１サイズより大きい第２サイズ用第２接触面３７ｂを有する。第１サイズ用第１接触面３７ａは、周辺吸着タイプである。第２サイズ用第２接触面３７ｂは、全面吸着タイプである。
【００８０】
図１０は、ウエハアダプターの使用様態を示す図である。図１１は、ウエハアダプターの縦断面図である。
【００８１】
第４実施例においては、第１サイズ用吸着載置テーブル１１のテーブル面１１ｂには、テーブル面外周付近に吸着溝１１ｃが形成されている。つまり、第１サイズ用吸着載置テーブル１１は、周辺吸着タイプの吸引チャック面を有してい る。吸着溝１１ｃは、配管系（図示せず）を介して吸引装置（図示せず）に接続されている。したがって、吸着載置テーブル１１は、ウエハ８とウエハアダプター３７をテーブル面１１ｂに吸着する。
【００８２】
ウエハアダプター３７は、第１サイズ用第１接触面３７ａと、第２サイズ用第２接触面３７ｂと、保持部材３２を備えている。第１接触面３７ａは、第１サイズ用吸着載置テーブル１１と接触する。第２接触面３７ｂは、第２サイズのウエハ８と接触する。第２接触面の外側には、複数の保持部材３２が取り付けられている。複数の保持部材３２は、第２サイズのウエハ８の外周側面と接触し、ウエハ８を保持する。
【００８３】
第２サイズは、第１サイズより大きい。つまり、第４実施例のウエハアダプター３７を介することにより、第１サイズより大きい、第２サイズのウエハ８を第１サイズ用吸着載置テーブル１１に吸着載置する。ウエハアダプター３７の第１サイズ用第１接触面３７ａの外周付近には、円形に吸着溝３７ｃが形成されている。ウエハアダプターの第２サイズ用第２接触面３７ｂには、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで、多数の吸引孔３７ｄが形成されている。吸引溝３７ｃと吸引孔３７ｄは、互いに通じている。したがって、ウエハ８は、第４実施例のウエハアダプター３７を介して、略全面吸着で、周辺吸着タイプの吸着載置テーブルにより載置吸着される。
【００８４】
つまり、吸着載置テーブル１１の吸着タイプとウエハ８が吸着されるタイプ が、周辺吸着から全面吸着に変換される。
【００８５】
なお、第４実施例においては、ウエハアダプターの第２接触面３７ｂにおける吸引孔３７ｄの存在範囲は、ウエハアダプターの第１接触面３７ａにおける吸着溝３７ｃの包囲範囲より小さい。しかしながら、ウエハアダプターの第２接触面３７ｂにおける吸引孔３７ｄの存在範囲は、ウエハアダプターの第１接触面３７ａにおける吸着溝３７ｃの包囲範囲より大きくしてもよいし、等しくしてもよ い。
【００８６】
第５実施例
つぎに、図１２と図１３を参照して、第５実施例を説明する。
【００８７】
ウエハ用アダプター４７は、第１サイズ用吸着載置テーブル１１に取り付く第１接触面４７ａと、第１サイズと同じサイズの第２サイズ用第２接触面４７ｂを有する。第１サイズ用第１接触面４７ａは、周辺吸着タイプである。第２サイズ用第２接触面４７ｂは、全面吸着タイプである。
【００８８】
図１２は、ウエハアダプターの使用様態を示す図である。図１３は、ウエハアダプターの縦断面図である。
【００８９】
第５実施例においては、第１サイズ用吸着載置テーブル１１のテーブル面１１ｂには、テーブル面外周付近に吸着溝１１ｃが形成されている。つまり、第１サイズ用吸着載置テーブル１１は、周辺吸着タイプの吸引チャック面を有してい る。吸着溝１１ｃは、配管系（図示せず）を介して吸引装置（図示せず）に接続されている。したがって、吸着載置テーブル１１は、ウエハ８とウエハアダプター４７をテーブル面１１ｂに吸着する。
【００９０】
ウエハアダプター４７は、第１サイズ用第１接触面４７ａと、第２サイズ用第２接触面４７ｂと、保持部材３２を備えている。第１接触面４７ａは、第１サイズ用吸着載置テーブル１１と接触する。第２接触面４７ｂは、第２サイズのウエハ８と接触する。第２接触面の外側には、複数の保持部材３２が取り付けられている。複数の保持部材３２は、第２サイズのウエハ８の外周側面と接触し、ウエハ８を保持する。第２サイズは、第１サイズと同じ大きさである。つまり、ウエハアダプター４７を介することにより、第１サイズと同じ大きさの、第２サイズのウエハ８を第１サイズ用吸着載置テーブル１１に吸着載置する。
【００９１】
ウエハアダプター４７の第１サイズ用第１接触面４７ａの外周付近には、円形に吸着溝４７ｃが形成されている。ウエハアダプターの第２サイズ用第２接触面４７ｂには、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで、多数の吸引孔４７ｄが形成されている。吸引溝４７ｃと吸引孔４７ｄは、互いに通じている。したがって、ウエハ８は、第４実施例のウエハアダプター４７を介して、略全面吸着で、周辺吸着タイプの吸着載置テーブルにより載置吸着される。つまり、吸着載置テーブル１１の吸着タイプとウエハ８が吸着されるタイプが、周辺吸着から全面吸着に変換される。
【００９２】
なお、第５実施例においては、ウエハアダプターの第２接触面４７ｂにおける吸引孔４７ｄの存在範囲は、ウエハアダプターの第１接触面４７ａにおける吸着溝４７ｃの包囲範囲より小さい。しかしながら、ウエハアダプターの第２接触面４７ｂにおける吸引孔４７ｄの存在範囲は、ウエハアダプターの第１接触面４７ａにおける吸着溝４７ｃの包囲範囲より大きくしてもよいし、等しくしてもよ い。
【００９３】
第６実施例
次に、図１４と図１５を参照して、第６実施例を説明する。
【００９４】
ウエハ用アダプター５７は、第１サイズ用吸着載置テーブル１に取り付く第１接触面５７ａと、第１サイズと同じサイズの第２サイズ用第２接触面５７ｂを有する。第１サイズ用第１接触面５７ａは、全面吸着タイプである。第２サイズ用第２接触面５７ｂは、周辺吸着タイプである。
【００９５】
図１４は、ウエハアダプターの使用様態を示す図である。図１５は、ウエハアダプターの縦断面図である。
【００９６】
第６実施例においては、第１サイズ用吸着載置テーブル１のテーブル面１ｂには、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで多数の吸引孔１ｃが形成されている。つまり、第１サイズ用吸着載置テーブル１は、全面吸着タイプの吸引チャック面を有している。吸引孔１ｃは、配管系（図示せず）を介して吸引装置（図示せず）に接続されている。したがって、吸着載置テーブル１は、ウエハ８とウエハアダプター５７をテーブル面１ｂに吸着する。
【００９７】
ウエハアダプター５７は、第１サイズ用第１接触面５７ａと、第２サイズ用第２接触面５７ｂと、保持部材３２を備えている。第１接触面５７ａは、第１サイズ用吸着載置テーブル１と接触する。第２接触面５７ｂは、第２サイズのウエハ８と接触する。第２接触面の外側には、複数の保持部材３２が取り付けられている。複数の保持部材３２は、第２サイズのウエハ８の外周側面と接触し、ウエハ８を保持する。
【００９８】
第２サイズは、第１サイズと同じ大きさである。つまり、ウエハアダプター５７を介することにより、第１サイズより大きい、第２サイズのウエハ８を第１サイズ用吸着載置テーブル１に吸着載置する。ウエハアダプター５７の第１サイズ用第１接触面５７ａには、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで多数の吸引孔５７ｃが形成されている。ウエハアダプターの第２サイズ用第２接触面５７ｂの外周付近には、円形に吸着溝５７ｄが形成されている。吸引孔５７ｃと吸引孔５７ｄは、互いに通じている。したがって、ウエハ８は、第６実施例のウエハアダプター５７を介して、周辺吸着で、全面吸着タイプの吸着載置テーブルにより載置吸着される。つまり、吸着載置テーブル１の吸着タイプとウエハ８が吸着されるタイプが、全面吸着から周辺吸着に変換される。
【００９９】
なお、第６実施例においては、ウエハアダプターの第２接触面５７ｂにおける吸着溝５７ｄの包囲範囲は、ウエハアダプターの第１接触面５７ａにおける吸引孔５７ｃの存在範囲より大きい。しかしながら、ウエハアダプターの第２接触面５７ｂにおける吸着溝５７ｄの包囲範囲は、ウエハアダプターの第１接触面５７ａにおける吸引孔５７ｃの存在範囲より小さくしてもよいし、等しくしてもよ い。
【０１００】
次は、本発明のテーブルアダプターを用いた実施例について説明する。
【０１０１】
第７実施例
図１６〜２０を参照して、第７実施例を説明する。
【０１０２】
吸着載置テーブル用アダプター１０７は、テーブル１１に取り付けて、ウエハのみが交換されるタイプである。第１サイズ用第１接触面１０７ａは、周辺吸着タイプである。第２サイズ用第２接触面１０７ｂは、全面吸着タイプである。ウエハ用アダプター６７は、第１サイズ用吸着載置テーブル１１に着脱自在に載置する第１接触面６７ａと、第１サイズより大きい第２サイズ用の第２接触面６７ｂを有する。
【０１０３】
図１６を参照して装置の概略を説明する。図１６（ａ）は、第７実施例を示す異物検査装置の概念図である。図１６（ｂ）は、図１６（ａ）に示す異物検査測定装置の測定部を示す概略説明図である。
【０１０４】
異物検査装置は、吸着載置テーブル１１と、搬送装置２と、検査光学系３（たとえばオートフォーカス機構を含む検査光学系）を備えている。
【０１０５】
搬送装置２は、カセット４と、ロボット５と、アライメント皿６を備えてい る。カセット４は、ウエハアダプター６７に保持されたウエハ８をカセット４の内部に収納するものである。アライメント皿６は、異物検査装置のフレーム（図示せず）に固定されている。アライメント皿６は、一部に半円形状に段差が形成された２つの部材６Ａ、６Ｂを組み合わせたものであり、一定の隙間９を空けて構成されている。
【０１０６】
ロボット５は、その一部が示してあるように、アーム部１０と、吸着部１２を備えている。吸着部１２は公知の吸着機構を採用できる。アーム部１０を曲げ又は延ばすことによって、吸着部１２を前後方向に移動させる。アーム部１０をＺ方向に移動させることによって、吸着部１２をＺ方向に移動させる。Ａ点を中心としてＳ方向にアーム部１０を回転させることにより、吸着部１２をＳ方向に旋回させる。吸着部１２は、ウエハアダプター６７を吸着して保持する。そして、吸着部１２でウエハアダプター７を吸着して保持し、ウエハ８を保持したウエハアダプター６７をアライメント皿６に載置する。ロボット５がウエハアダプター６７をアライメント皿６に載置する際には、吸着部１２は、アライメント皿６の上方から、上述のアライメント皿６に形成された隙間９を通ってアライメント皿６の下方に移動する。
【０１０７】
吸着載置テーブル１１は、ネジ棒１３を利用した駆動機構によってＸ方向に移動可能にする。吸着載置テーブル１１が移動するとき、吸着載置テーブル１１の細長部１１ａ（図１９）が上述のアライメント皿６に形成された隙間９を通る。そして、吸着載置テーブル１１は、アライメント皿６から測定部３へ移動する。これとは逆方向に、吸着載置テーブル１１の細長部１１ａが上述のアライメント皿６に形成された隙間９を通って、吸着載置テーブル１１は、測定部３からアライメント皿６へ移動することもできる。吸着載置テーブル１１のテーブル面１１ｂ（図１９）には、テーブルアダプター１０７が取付部材４０（図１９）によって取り付けられている。
【０１０８】
吸着載置テーブル１１は、テーブル面１１ｂ（つまり吸引チャック面）でテーブルアダプター１０７を介してウエハアダプタ６７を吸着する。吸着載置テーブル１１は、テーブル面１１ｂ（つまり吸引チャック面）でテーブルアダプター１０７を介してウエハ８を吸着することもできる。吸着載置テーブル１１のテーブル面１１ｂは回転し、テーブルアダプター１０７を回転させる。
【０１０９】
測定部３の検査光学系は、図２１（ｂ）に示すように、発光系（照射光学系）１４と受光系（受光光学系）１５とを備えている。受光系１５は、図１７に示すように、散乱光受光系１６と、鏡面反射受光系１９を備えている。発光系１４は光源（図示せず）を有し、光源からレーザービームをウエハ８の表面に照射し、ウエハ８表面の異常によって生じる散乱反射光を受光系１５によって受光する。図１７に示すように、受光系１５の受光信号を電気信号として取り出して制御演算部２５に送り、そこで所定のデータ処理を行い、ウエーハ表面の傷、ゴミ、汚れ等の有無とその欠陥位置を検出する。
【０１１０】
測定部３は、従来の検査装置の測定部と同様に構成できる。測定部３は、前述の検査光学系の外にオートフォーカス機構つまり自動合焦系２０（図１７）を備えている。
【０１１１】
図１７は、図１６の異物検査装置の概略を示すブロック図である。
【０１１２】
図１７に示すように、異物検査装置は、高さ検出部４３と位置調整部４４を備えている。位置調整部４４は、テーブルＸ方向移動部２２と、テーブルＺ方向移動部２３と、テーブル回転部２４を備えている。高さ検出部４３は、所定レベルからのウエハ８の高さを測定する。その高さ検出部４３からの出力に基づき、位置調整部４４は、発光系１４からの光束がウエハ８上で所定の条件で照射するように、発光系１４とウエハ８との位置関係を調整する。
【０１１３】
制御演算部２５は、ロボットアーム駆動部２６を制御して、ロボットアーム１０（図１６）を旋回させる。制御演算部２５は、ロボットアーム駆動部２６を制御して、ロボットアーム１０を上下と前後方向に移動させる。
【０１１４】
また、制御演算部２５は、テーブルＸ方向移動部２２と、テーブルＺ方向移動部２３と、テーブル回転部２４を制御する。制御演算部２５は、吸着載置テーブル１１（図１６）をＸ方向とＺ方向に移動させ、テーブル１１を回転させる。制御演算部２５でテーブルＺ方向移動部２３を制御することにより、測定部３（図１６）における焦点合わせをすることができる。制御演算部２５でテーブルＺ方向移動部２３を制御することにより、ウエハアダプター６７（図１６）をテーブルアダプター１０７を介して吸着載置テーブル１１に載置することができる。
【０１１５】
制御演算部２５は、自動合焦系（オートフォーカス機構）２０と、発光系１４と、散乱光受光系１６と、鏡面反射受光系１９と、駆動部２９を制御する。
【０１１６】
制御演算部２５は、検査結果を必要に応じて表示器３０で表示させる。表示器３０は、異物の位置や数、散乱光レベル等を表示する。
【０１１７】
図１８は、図１６の異物検査装置による検査の概略フローチャートを示す図である。
【０１１８】
検査が開始されると、ステップＳ１において、被検査物８（図１６）の種類を判別し、表面散乱の少ないもの（例えばベアウエハ、ＳｉＯ₂ 膜付きのウエハ）か、表面散乱の多いもの（例えば、金属膜付きのウエハ）かを判別する。
【０１１９】
被検査物８（図１６）が、表面散乱の少ない被検査物８（図１６）のときに は、ステップＳ２に進み、感度を表面散乱の少ない被検査物に適した設定（第１条件）とし、ステップＳ３に進む。ステップＳ３で、走査が行われ、ステップＳ４に進む。
【０１２０】
ステップＳ４では、制御演算部２５が受光系１５からの受光信号を受け取り、信号処理を行う受光信号を選択し、ステップＳ５に進む。
【０１２１】
ステップＳ５では、制御演算部２５が、選択された受光信号に所定の信号処理を施し、検査対象の種類（たとえば凸状の異物や、凹状の結晶欠陥等。ここで は、図示せず。）を抽出し、その開始座標、終了座標、ピーク座標などのデータを求め、ステップＳ６に進む。
【０１２２】
ステップＳ６では、抽出されたデータに基づき、検査対象の種類（たとえば凸状の異物や、凹状の結晶欠陥）を判別し、ステップＳ７に進む。
【０１２３】
ステップＳ７では、走査を終了するか否かが判断される。終了でなければ、ステップＳ４に戻り、処理が走査終了まで繰り返される。走査終了であれば、ステップＳ８に進む。
【０１２４】
ステップＳ８では、検査対象の検査データを記憶し、ステップＳ９に進む。
【０１２５】
ステップＳ９では、検査対象（図示せず）の検査データを所定の形式で表示器３０で表示し、ステップＳ１０に進む。
【０１２６】
ステップＳ１０では、測定終了かどうかが判断される。測定終了でなければ、ステップＳ１に戻り、新たな測定が行われる。そうでなければ、そのまま終了する。
【０１２７】
ステップＳ１において、被検査物が、表面散乱の多いもの（例えば、金属膜付きのウエハ）と判断されたときには、ステップＳ１１に進み、感度を表面散乱の多い被検査物に適した設定（第２条件）とする。この場合、ステップＳ３に進 み、検査が、上述したものと同様に行われる。
【０１２８】
次に、図１９と図２０を参照して、異物検査装置におけるテーブルアダプターの使用態様を説明する。図１９は、テーブルアダプターの使用様態を示す縦断面図である。図２０は、ウエハアダプターの縦断面図である。
【０１２９】
第７実施例においては、第１サイズ用吸着載置テーブル１１のテーブル面１１ｂには、テーブル面外周付近に吸着溝１１ｃが形成されている。さらに、テーブル面１１ｂには、テーブルアダプター１０７が取り付けられている。テーブルアダプター１０７は、第１サイズ用第１接触面１０７ａと、第２サイズ用第２接触面１０７ｂを備えている。第１接触面１０７ａは、第１サイズ用吸着載置テーブル１１と接触する。第２接触面１０７ｂは、第２サイズ（ウエハアダプター６７における第１サイズ）のウエハアダプター６７と接触する。
【０１３０】
テーブルアダプターの第１サイズ用第１接触面１０７ａの外周付近には、円形に吸着溝１０７ｃが形成されている。テーブルアダプター１０７の第２サイズ用第２接触面１０７ｂの中心付近には、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターン で、多数の吸引孔１０７ｄが形成されている。つまり、第１サイズ用吸着載置テーブル１１が有する周辺吸着タイプの吸引チャック面が、全面吸着タイプに変換される。
【０１３１】
吸引孔１０７ｄは、吸着溝１０７ｃと通じている。吸着溝１０７ｃは、吸着載置テーブルの吸着溝１１ｃと通じている。吸着溝１１ｃは、配管系４２を介して吸引装置（図示せず）に接続されている。したがって、吸着載置テーブル１１ は、ウエハ８（図１６）とウエハアダプター６７を、テーブルアダプター１０７を介してテーブル面１１ｂに吸着する。
【０１３２】
また、テーブルアダプター１０７は、吸着載置テーブルを、第１サイズ用か ら、第２サイズ（ウエハアダプター６７における第１サイズ）用に変換してい る。テーブルアダプター１０７における第２サイズは、テーブルアダプターにおける第１サイズより小さい。
【０１３３】
ウエハアダプター６７は、第１サイズ（テーブルアダプター１０７における第２サイズ）用第１接触面６７ａと、第２サイズ用第２接触面６７ｂと、保持部材３２を備えている。ウエハアダプター６７の第１サイズ（テーブルアダプター１０７における第２サイズ）用第１接触面６７ａは、テーブルアダプターの第２接触面１０７ｂ（図１９）と接触する。なお、ウエハアダプター６７における第１サイズは、テーブルアダプター１０７における第２サイズに対応する。
【０１３４】
ウエハアダプター６７の第２接触面６７ｂは、第２サイズのウエハ８（図１ ６）と接触する。ウエハアダプター６７の第２接触面６７ｂの外側には、複数の保持部材３２が取り付けられている。複数の保持部材３２は、第２サイズのウエハ８の外周側面と接触し、ウエハ８を保持する。
【０１３５】
ウエハアダプターにおける第２サイズは、ウエハアダプターにおける第１サイズより大きい。つまり、ウエハアダプター６７を介することにより、第１サイズ（テーブルアダプター１０７における第２サイズ）より大きい、第２サイズのウエハ８を吸着載置テーブル１１に吸着載置する。
【０１３６】
ウエハアダプター６７の用第１接触面６７ａには、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで、多数の吸引孔６７ｃが形成されている。ウエハアダプターの第２接触面６７ｂには、ほぼ等間隔でしかも一様な配置パターンで、多数の吸引孔６７ｄが形成されている。
【０１３７】
吸引孔６７ｃと吸引孔６７ｄは、互いに通じている。したがって、ウエハ８ は、ウエハアダプター６７を介して、略全面吸着で、全面吸着タイプに変換された吸着載置テーブル１１により載置吸着される。
【０１３８】
以上のような構成の、ウエハアダプターを用いた異物検査装置の使用態様の概要は、図１６を参照して説明すると、次のとおりである。
【０１３９】
▲１▼ロボット５で、ウエハアダプター６７に保持されたウェーハ８をカセット４から取出し、アライメント皿６に受け渡す。
【０１４０】
▲２▼アライメント皿６の下部に、テーブルアダプター１０７が取り付けられた吸着載置テーブル１１が移動してくる。
【０１４１】
▲３▼テーブルアダプター１０７が取り付けられた吸着載置テーブル１１が吸着しながら上昇してきて、ウエハアダプター６７とウェーハ８を吸着する。
【０１４２】
▲４▼テーブルアダプター１０７が取り付けられた吸着載置テーブル１１が測定部３まで移動し、測定を開始する。
【０１４３】
本発明は、以上の実施例に限定されない。
【０１４４】
第７実施例においては、ウエハを保持したウエハアダプターを、テーブルアダプターを取り付けた吸着載置テーブルで吸着載置している。しかしながら、ウエハアダプターを用いないで、ウエハを、テーブルアダプターを取り付けた吸着載置テーブルで吸着載置してもよい。また、テーブルアダプターの構成は、第７実施例で用いるテーブルアダプターの構成以外にも、例えば、第１〜６実施例のウエハアダプターと同様の構成にすることもできる。
【０１４５】
さらに、必要なら、本発明のアダプターの第２接触面を凹状に形成して、ウエハと、アダプターの第２接触面との接触面積を小さくすることもできる。
【０１４６】
【発明の効果】
本発明のアダプターを用いることにより、吸着載置テーブルが有する吸着タイプを、異なる吸着タイプに変換してウエハを吸着することができる。
【０１４７】
本発明のアダプターを用いることにより、吸着載置テーブルが有する吸着タイプを、周辺吸着タイプから全面吸着タイプに変換してウエハを吸着することができる。
【０１４８】
本発明のアダプターを用いることにより、吸着載置テーブルが有する吸着タイプを、全面吸着タイプから周辺吸着タイプに変換してウエハを吸着することができる。さらに、本発明の異物検査装置によれば、１つの異物検査装置で、異なるタイプの吸着方式によりウエハを吸着して、ウエハを検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は、本発明の好ましい第１実施例を示す異物検査装置の概念図。（ｂ）は、図１（ａ）の異物検査測定装置の測定部の概略説明図。
【図２】図１の異物検査装置の概略を示すブロック図。
【図３】図１の異物検査装置による検査の概略フローチャートを示す図。
【図４】第１実施例に用いられるウエハアダプターの使用様態を示す図。
【図５】第１実施例のウエハアダプターの縦断面図。
【図６】第２実施例に用いられるウエハアダプターの使用様態を示す図。
【図７】第２実施例のウエハアダプターの縦断面図。
【図８】第３実施例に用いられるウエハアダプターの使用様態を示す図。
【図９】第３実施例のウエハアダプターの縦断面図。
【図１０】第４実施例に用いられるウエハアダプターの使用様態を示す図。
【図１１】第４実施例のウエハアダプターの縦断面図。
【図１２】第５実施例に用いられるウエハアダプターの使用様態を示す図。
【図１３】第５実施例のウエハアダプターの縦断面図。
【図１４】第６実施例に用いられるウエハアダプターの使用様態を示す図。
【図１５】第６実施例のウエハアダプターの縦断面図。
【図１６】（ａ）は、本発明の好ましい第７実施例を示す異物検査装置の概念図。（ｂ）は、（ａ）の異物検査測定装置の測定部の概略説明図。
【図１７】図１６の異物検査装置の概略を示すブロック図。
【図１８】図１６の異物検査装置による検査の概略フローチャートを示す図。
【図１９】第７実施例に用いられるテーブルアダプターの使用様態を示す縦断面図。
【図２０】第７実施例で用いるウエハアダプターの縦断面図。
【符号の説明】
１、１１ テーブル
１ａ、１１ａ 細長部
１ｂ、１１ｂ テーブル面
１ｃ 吸引孔
１１ｃ 吸引溝
２ 搬送装置
３ 測定部
４ カセット
５ ロボット
６ アライメント皿
７、１７、２７、３７、４７、５７、６７ ウエハアダプター
７ａ、１７ａ、２７ａ、３７ａ、４７ａ、５７ａ、６７ａ ウエハアダプターの第１接触面
７ｂ、１７ｂ、２７ｂ、３７ｂ、４７ｂ、５７ｂ、６７ｂ ウエハアダプターの第２接触面
７ｃ、７ｄ、１７ｃ、２７ｃ、３７ｄ、５７ｃ、５７ｄ 吸引孔
１７ｄ、２７ｄ、３７ｃ、４７ｃ、４７ｄ、６７ｃ、６７ｄ 吸着溝
８、１８ ウエハ
９ すき間
１０ アーム
１２ 吸着部
１３ ネジ棒
１４ 発光系
１５ 受光系
１６ 散乱光受光系
１９ 鏡面反射受光系
２０ 自動合焦系
２２ テーブルＸ方向移動部
２３ テーブルＹ方向移動部
２４ テーブル回転部
２５ 制御演算部
２６ ロボットアーム駆動部
２９ 駆動部
３０ 表示器
３２ 保持部材
４０ 取付部材
４２ 配管系
１０７ テーブルアダプター
１０７ａ テーブルアダプターの第１接触面
１０７ｂ テーブルアダプターの第２接触面
１０７ｃ 吸着溝
１０７ｄ 吸着孔

Claims (5)

1. 吸引方式の吸着載置テーブルに取り付く第１サイズ用の周辺吸着タイプの第１接触面と、第２サイズ用の全面吸着タイプの第２接触面とを有するアダプター。
2. 吸引方式の吸着載置テーブルに取り付く第１サイズ用の全面吸着タイプの第１接触面と、第２サイズ用の周辺吸着タイプの第２接触面とを有するアダプター。
3. 上記第１サイズは、上記第２サイズと同じサイズであることを特徴とする請求項１又は２に記載のアダプター。
4. テーブルに接触する上記第１サイズ用の第１接触面、及び被測定対象物に接触する上記第２サイズ用の第２接触面の一方のみに、ほぼ等問隔でしかも一様な配置パターンで多数の吸引孔が形成されていることを特徴とする請求項３に記載のアダプター。
5. 被測定対象物を請求１乃至４のいずれか１項に記載のアダプターを介して取り付けた吸着載置テーブルと、光を被測定対象物に照射する照射光学系と、被測定対象物からの反射光を受光する受光光学系と、被測定対象物の高さを測定する高さ検出部と、その高さ検出部の出力に基づき、照射光学系からの光が、被測定対象物上で所定の条件で照射するように、照射光学系と被測定対象物との位置関係を調整する位置調整部とから構成されることを特徴とする異物検査装置。

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