JP4384452B2 - 光硬化性着色樹脂組成物、並びに、カラーフィルターおよびその製造方法 - Google Patents
光硬化性着色樹脂組成物、並びに、カラーフィルターおよびその製造方法 Download PDFInfo
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示素子や固体撮像素子に用いられるカラーフィルターを作製するのに好適な光硬化性着色樹脂組成物並びにカラーフィルターおよびその製造方法に関し、特に現像ラチチュードが広く、塗布厚均一性および省液性が向上した光硬化性着色樹脂組成物並びにカラーフィルターおよびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
カラーフィルターは液晶パネルに不可欠な構成部品である。液晶パネルは、表示装置としてCRTと比較すると、コンパクトであり、且つ、性能面では同等以上であることから、テレビ画面、パソコン画面、その他の表示装置としてCRTに置き換わりつつある。
しかし、液晶表示装置は価格が高く、CRTとの競争に打ち勝つためには、安価にすることが必須である。
【0003】
液晶表示装置の価格低減のためには、カラーフィルター、ガラス基板等各部品の価格ダウンの他、欠陥品を出さない得率向上が求められる。カラーフィルターの場合にはさらに光硬化性着色樹脂組成物の塗布液量削減が必要不可欠である。また、カラーフィルター製造の歩留りを向上させることも価格低減の1つの手段となり得る。その歩留りを向上させるためには、1回の処理でより多くのカラーフィルターを製造する必要がある。具体的には、より大型の基板に光硬化性着色樹脂組成物を塗布して大型のカラーフィルターを製造し、その後所望の大きさに切断することにより行なうことで歩留りを向上させることができる。
【0004】
しかしながら、単に塗布液量を削減したり、大型の基板に塗布したりするだけでは塗布ムラが発生してしまう。塗布ムラの多くは厚みムラである。かかる塗布ムラを克服のためには液の流動性を良くし、少量の液でも塗布ムラが出にくいようにすることが必要である。
塗布液の流動性を良好にする手段はポリマーの分子量を下げたり、溶剤への溶解性を上げたりすることによって、塗布液の粘度を低下させることが一般的である。しかし、この場合も単に粘度を下げるだけでは塗布基板の中心部の厚みと周辺部の厚みとにムラが生じやすいといった問題があった。
【0005】
このように、光硬化性着色樹脂組成物の塗布液量削減や歩留り向上のためには、塗布液量を削減したり、大型基板に塗布する場合であっても、厚みムラがなく均一に基板上に塗布し得ることが要望される。
【0006】
また、光硬化性着色樹脂組成物には、露光後に行われる現像において、適正な現像時間の範囲が広いこと、即ち現像ラチチュードが広くプロセス許容性に優れることが一般的に求められている。しかし、上記のように一度に処理する面積が大きくなったり、表示パネルが大きくなったりするにつれ、基板の先頭部と終端部とで現像液に浸っている時間差が大きいことから、現像時間に差が生じてしまう。現像時間に差が生じると、現像ムラが拡大してパターンの大きさが異なる等の弊害を生じる場合があることから、より広い現像ラチチュードを有する光硬化性着色樹脂組成物が求められている。
【0007】
一方、光硬化性着色樹脂組成物の基板への塗布方法は、1〜3μmの薄膜を均一に高精度に塗布できるという点からスピンコートが優れており、カラーフィルターの作製に広く一般的に用いられてきた。しかし、近年においては、液晶表示装置の大型化および量産化に伴って、製造効率および製造コストをより高めるために、スピンコートよりも広幅で大面積な基板の塗布に適したスリットコートがカラーフィルターの作製に採用されるようになってきた。尚、省液性という観点からもスリットコートはスピンコートよりも優れており、より少ない塗布液量で均一な塗膜を得ることができる。
【0008】
スリットコートは、先端に幅数十ミクロンのスリット(間隙)有し且つ矩形基板の塗布幅に対応する長さの塗布ヘッドを、基板とのクリアランス(間隙)を数10〜数100ミクロンに保持しながら、基板と塗布ヘッドとに一定の相対速度を持たせて、所定の吐出量でスリットから供給される塗布液を基板に塗布する塗布方式である。このスリット塗布は、▲1▼スピンコートに比して液ロスが少ない、▲2▼塗布液の飛びちりがないため洗浄処理が軽減される、▲3▼飛び散った液成分の塗布膜への再混入がない、▲4▼回転の立ち上げ停止時間がないのでタクトタイムが短縮化できる、▲5▼大型の基板への塗布が容易である、等の利点を有する。これらの利点から、スリットコートは大型画面液晶表示装置用のカラーフィルターの作製に好適であり、塗布液量の削減にとっても有利な塗布方式として期待されている。
【0009】
スリットコートは、スピンコートよりも遥かに大面積の塗布膜を形成するため、幅の広いスリット出口から塗布液を吐出する際、コーターと被塗布物との間にある程度の相対速度を保つ必要がある。このため、スリットコート方式に用いる塗布液には良好な流動性が求められる。また、スリットコートには、塗布ヘッドのスリットから基板に供給される塗布液の諸条件を、塗布幅全般に渡って一定に保持することが特に求められる。塗布液の流動性や粘弾性特性等の液物性が不充分であると、塗布ムラが生じやすく、塗布幅方向に塗布厚を一定に保つのが困難になり、均一な塗布膜を得ることができないという問題が生じてしまう。
【0010】
これらのことから、ムラがなく均一な塗布膜を得るために塗布液の流動性や粘弾性特性を改良しようとする試みが多くなされている。しかし、上述したようにポリマーの分子量を低下させたり、溶剤への溶解性に優れたポリマーを選択したり、蒸発速度をコントロールするために溶剤を種々選択したり、界面活性剤を利用するなどの手段が提案されているが、いずれも上記の諸問題を改良するには充分ではなかった。
【0011】
一方、カラーフィルター用感光性樹脂組成物の樹脂成分を改良した例としては、例えば、顔料分散用バインダーとして、(メタ)アクリル酸、エチレンオキサイド分子鎖を有する(メタ)アクリレート、スチレン誘導体をモノマー成分とした共重合体とすることにより、得られるカラーフィルターの均一性と透明度を改良できること等が提案されている(例えば、特許文献3〜6参照。)。
【0012】
しかしながら、以上のバインダーとして使用するポリマーを改良する従来の技術では、上記の塗布液量の削減、歩留まりの向上、得られた塗布液の膜厚均一性を更に向上させるには充分ではなかった。特に、スリット塗布方式に用いるためには流動性や粘弾性特性等の液物性が十分に満足いくものではなかった。
【0013】
【特許文献1】
特開平6−339656号公報
【特許文献2】
特開平11−90295号公報
【特許文献3】
特許第2665696号公報
【特許文献4】
特開2000−194132号公報
【特許文献5】
特開平8−179120号公報
【特許文献6】
特開平7−294726号公報
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、大型基板への塗布が容易なスリット塗布方式における塗布液として好適に用いることができ、塗布厚均一性や省液性等の塗布適性に優れ、且つ、現像ラチチュードが広くプロセス許容性に優れた光硬化性着色樹脂組成物、並びに、カラーフィルターおよびその製造方法を提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】
上記課題は下記の手段によって解決される。
【0016】
<1> 少なくとも、アルカリ可溶性樹脂と、着色剤と、感光性重合成分と、光重合開始剤と、を含有する光硬化性着色樹脂組成物であって、前記アルカリ可溶性樹脂は、共重合体中の含有比率が5〜35モル%である酸成分モノマーと、共重合体中の含有比率が10〜80モル%である下記一般式(1)で表される1種以上の(メタ)アクリレートモノマーと、共重合体中の含有比率が2〜20モル%である下記一般式(2)で表されるポリオキシアルキレン鎖含有(メタ)アクリレートモノマーと、をモノマー成分として含むアクリル系共重合体を含むことを特徴とする光硬化性着色樹脂組成物である。
【0017】
【化4】
〔式中R1は、水素原子またはメチル基を表す。R2は、炭素数3〜8の分岐アルキル基、炭素数3〜12のアルコキシアルキル基、または、シクロヘキシル基を表す。〕
【0018】
【化5】
〔式中R3は、水素原子またはメチル基を表す。(EO)mはポリオキシエチレン鎖を表し、(PO)nはポリオキシプロピレン鎖を表し、(BO)lはポリオキシブチレン鎖を表す。mは、2〜20の整数を表し、nおよびlは、それぞれ0〜10の整数を表す。但し、2≦(m+n+l)≦30である。R4は、水素原子、炭素数1〜12の直鎖若しくは分岐のアルキル基、または、下記一般式(3)で表される基を表す。尚、(EO)mと(PO)nと(BO)lとの結合順序は任意に決定される。〕
【0019】
【化6】
〔式中R5は、水素原子または炭素数1〜13の直鎖若しくは分岐のアルキル基を表す。pは0〜5の整数を表す。〕
【0020】
<2> 前記酸成分モノマーが、無水マレイン酸、アクリル酸、メタクリル酸およびフマル酸から選択される少なくとも1種である上記<1>の光硬化性着色樹脂組成物である。
【0021】
<3> 前記アクリル系共重合体はモノマー成分として、更にベンジルメタクリレートを含むことを特徴とする上記<1>または<2>の光硬化性着色樹脂組成物である。
【0022】
<4> 前記アクリル系共重合体はモノマー成分として、更にヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、および、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピル(メタ)アクリレートから選ばれる少なくとも1種を含むことを特徴とする上記<1>〜<3>の光硬化性着色樹脂組成物である。
【0023】
<5> 上記<1>〜<4>の光硬化性着色樹脂組成物を用いてなることを特徴とするカラーフィルターである。
【0024】
<6> 上記<1>〜<4>の光硬化性着色樹脂組成物を直接若しくは他の層を介して基板上にスリット塗布によって塗布膜を形成した後、前記塗布膜に、乾燥、パターン露光およびアルカリ現像を順次おこなうことを特徴とするカラーフィルターの製造方法である。
【0025】
【発明の実施の形態】
《光硬化性着色樹脂組成物》
本発明の光硬化性着色樹脂組成物(以下、「本発明の組成物」と言う場合がある。)は、少なくとも、アルカリ可溶性樹脂と、着色剤と、感光性重合成分と、光重合開始剤と、を含有する光硬化性着色樹脂組成物であって、前記アルカリ可溶性樹脂が、共重合体中の含有比率が5〜35モル%である酸成分モノマー(以下、「モノマー1」という場合がある。)と、共重合体中の含有比率が10〜80モル%である下記一般式(1)で表される1種以上の(メタ)アクリレートモノマー(以下、「モノマー2」という場合がある。)と、共重合体中の含有比率が2〜20モル%である下記一般式(2)で表されるポリオキシアルキレン鎖含有(メタ)アクリレートモノマー(以下、「モノマー3」という場合がある。)と、をモノマー成分として含むアクリル系共重合体を含むことを特徴とし、必要に応じて、溶剤、フッ素系有機化合物などの界面活性剤等を含んで構成される。
【0026】
【化7】
〔式中R1は、水素原子またはメチル基を表す。R2は、炭素数3〜8の分岐アルキル基、炭素数3〜12のアルコキシアルキル基、または、シクロヘキシル基を表す。〕
【0027】
【化8】
〔式中R3は、水素原子またはメチル基を表す。(EO)mはポリオキシエチレン鎖を表し、(PO)nはポリオキシプロピレン鎖を表し、(BO)lはポリオキシブチレン鎖を表す。mは、2〜20の整数を表し、nおよびlは、それぞれ0〜10の整数を表す。但し、2≦(m+n+l)≦30である。R4は、水素原子、炭素数1〜12の直鎖若しくは分岐のアルキル基、または、下記一般式(3)で表される基を表す。尚、(EO)mと(PO)nと(BO)lとの結合順序は任意に決定される。〕
【0028】
【化9】
〔式中R5は、炭素数1〜13の直鎖若しくは分岐のアルキル基を表す。pは0〜5の整数を表す。〕
【0029】
本発明の組成物は、上記モノマー1〜3を必須のモノマー成分とするアルカリ可溶性樹脂を含有することで、塗布液とした際にチクソトロピー性を低下させることができることから、塗布厚の均一性や省液性等の塗布適性を向上させることができる。また、着色剤として顔料を用いた場合には、顔料の分散安定性を高めることができ、粒子サイズ分布をシャープにすることができる。更に、本発明の組成物は現像ラチチュードが広くプロセス許容性に優れる。
【0030】
更に、本発明の組成物は、省液性、大型基板への塗布という観点から優れているスリット塗布方式に好適であり、塗布ムラや塗布膜厚の均一性で問題が発生しやすかったスリット塗布が良好に実施されて、優れた特性のカラーフィルターを得ることができる。
本発明の組成物は、アルカリ可溶性樹脂と、着色剤と、感光性重合成分と、光重合開始剤と、を構成成分とし、更に必要に応じて溶剤を含んで構成される。以下、本発明の組成物に用いられる配合成分、該組成物の使用方法について説明する。
【0031】
<アルカリ可溶性樹脂>
本発明の組成物に用いられるアルカリ可溶性樹脂は、酸成分モノマー(モノマー1)と、上記一般式(1)で表される1種以上の(メタ)アクリレートモノマー(モノマー2)と、上記一般式(2)で表されるポリオキシアルキレン鎖含有(メタ)アクリレートモノマー(モノマー3)と、をモノマー成分として含むアクリル系共重合体(以下、「本発明におけるアクリル系共重合体」という場合がある。)を含む。ここで、「モノマー成分として含むアクリル系共重合体」とは、上記アクリル系共重合体が、各モノマー1〜3に基づく繰り返し単位を共重合成分として含むことを意味する。また、本発明におけるアクリル系共重合体は、各モノマー成分を通常のラジカル重合、配位重合、カチオン重合、アニオン重合などで共重合することによって合成することができる。
【0032】
本発明におけるアクリル系共重合体のGPCによるポリスチレン換算質量平均分子量(Mw)としては、好ましくは3,000〜100,000、より好ましくは5,000〜30,000である。
【0033】
(酸成分モノマー)
本発明におけるアクリル系共重合体は、そのモノマー成分の一つとして酸成分を含む。上記酸成分モノマーとは、炭素炭素二重結合(−C=C−)とカルボキシル基(−COOH)若しくは酸無水物基(−C(=O)−O−C(=O)−)とを有する化合物を意味し、かかる条件を満たすものであれば特に限定なく用いることができる。上記酸性分モノマーとしては、例えば、無水マレイン酸(MA)、アクリル酸(AA)、メタクリル酸(MAA)、フマル酸(FA)、クロトン酸、イタコン酸やこれらの塩素原子若しくは臭素原子置換体であるハロゲン化合物などが挙げられ、重合が容易なこと、入手が容易なことの観点から、これらの中でも、無水マレイン酸(MA)、アクリル酸(AA)、メタクリル酸(MAA)およびフマル酸(FA)から選択される少なくとも1種であることが好ましく、アクリル酸およびメタクリル酸が特に好ましい。
【0034】
本発明におけるアクリル系共重合体に対する上記酸成分モノマーのモノマー成分としての含有量(モル比)は、5〜35モル%であり、10〜25モル%が好ましい。上記酸成分モノマーの含有量が上記範囲に満たないと、アルカリ可溶性が低下する場合があり、また上記範囲を超えると溶剤への溶解性が低下する場合がある。
【0035】
(一般式(1)で表される(メタ)アクリレートモノマー)
本発明におけるアクリル系共重合体は、そのモノマー成分の一つとして下記一般式(1)で表される(メタ)アクリレートモノマーを含む。
【0036】
【化10】
【0037】
一般式(1)において、R1は、水素原子またはメチル基を表す。
R2は、炭素数3〜8の分岐アルキル基、炭素数3〜12のアルコキシアルキル基、または、シクロヘキシル基を表し、炭素数3〜8の分岐アルキル基が好ましい。上記炭素数3〜8の分岐アルキル基としては、炭素数3〜5の分岐アルキル基が好ましく、具体的には、iso−プロピル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、neo−ペンチル基が挙げられ、iso−プロピル基、sec−ブチル基が好ましい。また、上記炭素数3〜12のアルコキシアルキル基としては、炭素数4〜8のアルコキシアルキル基が好ましく、具体的には、エトキシブチル、エトキシエチル、エトキシメチル、メトキシメチル、ブトキシエチル、ブトキシブチル、iso−プロポキシエチル、メトキシブチルなどが挙げられ、エトキシブチル、エトキシエチル、が好ましい。
【0038】
本発明におけるアクリル系共重合体に対する上記一般式(1)で表される(メタ)アクリレートモノマーのモノマー成分としての含有量(モル比)は、10〜80モル%であり、20〜60モル%が好ましい。また、上記一般式(1)で表される(メタ)アクリレートモノマーの含有量が上記範囲に満たないと、溶液のチキソ性が大きくなる場合があり、また、上記範囲を超えると、得られたカラーフィルター作製工程において、カラーフィルターに傷が付きやすくなる場合がある。
【0039】
上記一般式(1)で表される(メタ)アクリレートモノマーとしては、例えば、イソブチルアクリレート、イソブチルメタクリレート、イソアミルアクリレート、tert−ブチルメタクリレート、neo−ペンチルアクリレート等が挙げられる。上記一般式(1)で表される(メタ)アクリレートモノマーとして好適に用いることのできる市販品としては、ライトアクリレートIAA(共栄社化学(株)製)等が挙げられる。
【0040】
(一般式(2)で表されるポリオキシアルキレン鎖含有(メタ)アクリレートモノマー)
本発明におけるアクリル系共重合体は、そのモノマー成分の一つとして下記一般式(2)で表されるポリオキシアルキレン鎖含有(メタ)アクリレートモノマーを含む。
【0041】
【化11】
【0042】
一般式(2)において、R3は、水素原子またはメチル基を表す。また、一般式(2)において、(EO)mはポリオキシエチレン鎖を表し、(PO)nはポリオキシプロピレン鎖を表し、(BO)lはポリオキシブチレン鎖を表す。
【0043】
一般式(2)において、(EO)mと(PO)nと(BO)lとの結合順序は任意に決定することができる。上記ポリオキシエチレン鎖(EO)mとは、エチレンオキサイドの付加体であり、エチレンオキサイドの付加数はmで示される。
また、上記ポリオキシプロピレン鎖(PO)nとは、プロピレンオキサイドの付加体であり、プロピレンオキサイドの付加数はnで示される。更に、上記ポリオキシブチレン鎖(BO)lとは、ブチレンオキサイドの付加体であり、ブチレンオキサイドの付加数はlで示される。
【0044】
一般式(2)において、mは、2〜20の整数を表し、nおよびlは、それぞれ0〜10の整数を表す。上記mとしては、4〜15の整数が好ましく、上記nとしては、0〜10の整数が好ましく、上記lとしては、0〜10の整数が好ましい。但し、2≦(m+n+l)≦30であり、4≦(m+n+l)≦20であることが好ましい。
【0045】
一般式(2)におけるR4は、水素原子、炭素数1〜12の直鎖若しくは分岐のアルキル基、または、下記一般式(3)で表される基を表し、直鎖若しくは分岐のアルキル基が好ましい。該直鎖若しくは分岐のアルキル基としては、炭素数1〜4のアルキル基が好ましく、具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、イソプロピル基、イソブチル基が挙げられる。
【0046】
【化12】
【0047】
一般式(3)においてR5は、水素原子または炭素数1〜13の直鎖若しくは分岐のアルキル基を表し、水素原子または炭素数1〜3のアルキル基が好ましい。上記アルキル基としては、炭素数1〜3のアルキル基が好ましく、具体的には、メチル、エチル、イソプロピルが好ましい。また、pは0〜5の整数を表し、0〜2の整数が好ましい。
【0048】
本発明におけるアクリル系共重合体に対する上記一般式(2)で表されるポリオキシアルキレン鎖含有(メタ)アクリレートモノマーのモノマー成分としての含有量(モル比)は、2〜20モル%であり、3〜10モル%が好ましい。また、上記一般式(2)で表されるポリオキシアルキレン鎖含有(メタ)アクリレートモノマーの含有量が上記範囲に満たないと光硬化性着色樹脂組成物を含む塗布液の基板上への塗布性が充分でなくなり、本発明を有効に達成することができなくなる場合がある。また上記範囲を超えると、着色剤の分散性若しくは溶解性が低下する場合がある。
【0049】
上記一般式(2)で表されるポリオキシアルキレン鎖含有(メタ)アクリレートモノマーとしては、例えば、エチレンオキサイド変性クレゾールアクリレート(m=4、商品名:アロニックスTO−901)、エチレンオキサイド変性ドデシルアクリレート(m=10、商品名:アロニックスTO−950)、エチレンオキサイド変性トリデシルアクリレート(m=10、商品名:アロニックスTO−951)、2−エチルヘキシルポリエチレングリコールアクリレート(m=4、商品名:アロニックスTO−946)、2−エチルヘキシルポリエチレングリコールアクリレート(m=8、商品名:アロニックスTO−947)、2−エチルヘキシルポリエチレングリコールアクリレート(m=12、商品名:アロニックスTO−948)、2−エチルヘキシルポリエチレングリコールアクリレート(m=20、商品名:アロニックスTO−949)、以上東亞合成(株)製;
【0050】
エトキシ−ジエチレングリコールアクリレート(m=2、商品名:ライトアクリレートEC−A)、メトキシ−トリエチレングリコールアクリレート(m=3、商品名:ライトアクリレートMTG−A)、メトキシ−ポリエチレングリコールアクリレート(m=9、商品名:ライトアクリレート130A)、フェノキシ−ポリエチレングリコールアクリレート(m=2、商品名:ライトアクリレートP−200A)、ノニルフェニル−ポリオキシエチレン鎖付加物アクリレート(m=4、商品名:ライトアクリレートNP−4EA)、ノニルフェニル−ポリオキシエチレン鎖付加物アクリレート(m=8、商品名:ライトアクリレートNP−8EA)、以上共栄社化学(株)製;
【0051】
ポリエチレングリコールアクリレート(m≒6〜8、商品名:ブレンマーAE−350)、ポリエチレングリコールメタクリレート(m≒2、商品名:ブレンマーPE−90)、ポリエチレングリコールメタクリレート(m≒4〜5、商品名:ブレンマーPE−200)、ポリエチレングリコールメタクリレート(m≒7〜9、商品名:ブレンマーPE−350)、メトキシポリエチレングリコールモノアクリレート(m≒2、商品名:ブレンマーAME−400)、メトキシポリエチレングリコールメタクリレート(m≒2、商品名:ブレンマーPME−100)、メトキシポリエチレングリコールメタクリレート(m≒4、商品名:ブレンマーPME−200)、メトキシポリエチレングリコールメタクリレート(m≒9、商品名:ブレンマーPME−400)、ポリプロピレングリコールメタクリレート(n≒9、商品名:ブレンマーPP−500)、ポリプロピレングリコールメタクリレート(n≒12、商品名:ブレンマーPP−800)、ポリエチレングリコールポリプロピレングリコールメタクリレート(m=7、n=3、商品名:ブレンマー70PEP−370B)、ポリエチレングリコールポリテトラメチレングリコールメタクリレート(m=10、n=5、商品名:ブレンマー50PET−800)、オクトキシポリエチレングリコールポリプロピレングリコールモノメタクリレート(m≒8、n≒6、商品名:ブレンマー50POEP−800B)、オクトキシポリエチレングリコールポリオキシプロピレングリコールモノメタクリレート(m≒8、n≒6、商品名:ブレンマー50AOEP−800B)、以上、日本油脂(株)製;
【0052】
メトキシジエチレングリコールメタクリレート(m=2、商品名:NKエステルM−20G)、メトキシジエチレングリコールメタクリレート(m=4、商品名:NKエステル M−40G)、メトキシジエチレングリコールメタクリレート(m=9、商品名:NKエステル M−90G)、フェノキシジエチレングリコールアクリレート(m=2、商品名:NKエステル AMP−20G)、以上新中村化学工業(株)製、等が挙げられる。
【0053】
(他のモノマー成分)
−モノマー4−
本発明におけるアクリル系共重合体は、上記モノマー1〜3と共に、更にモノマー成分の一つとしてベンジルメタクリレート(BzMA)、スチレン(St)、メチルスチレン、ベンジルアクリレートなど(以下、「モノマー4」という場合がある。)を含むのが好ましい。これらのなかでもベンジルメタクリレートが好ましい。本発明におけるアクリル系共重合体のモノマー成分として更にベンジルメタクリレートを用いることで、本発明の組成物により得られる塗膜の強度を向上させることができる。上記ベンジルメタクリレートとしては、下記一般式(4)で表されるものを好適に用いることができる。
【0054】
【化13】
【0055】
一般式(4)において、R6は、水素原子またはメチル基を表す。R7は、水素原子、炭素数1〜6のアルキル基を表し、水素原子、メチル基、エチル基が好ましい。また、一般式(4)中、qは0〜5の整数を表し、0〜2が好ましい。
【0056】
本発明におけるアクリル系共重合体に対する上記ベンジルメタクリレートのモノマー成分としての含有量(モル比)としては、50モル%以下であることが好ましく、具体的には、0〜40モル%が更に好ましい。ベンジルメタクリレートの含有量が50モル%を超えると溶液のチキソ性が大きくなり、塗布膜の膜厚均一性が低下しやすくなる場合がある。
【0057】
−モノマー5−
更に、本発明におけるアクリル系共重合体は、上記モノマー1〜3と共に、モノマー成分の一つとしてヒドロキシエチル(メタ)アクリレート(HEMA,HEA)、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレートおよび2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピル(メタ)アクリレートから選ばれる少なくとも1種(以下、「モノマー5」という場合がある。)を含むのが好ましい。本発明におけるアクリル系共重合体のモノマー成分として更にモノマー5を用いることで、本発明の組成物により得られる塗膜の耐熱性を向上させることができ、更に、基板等との密着性の高い塗膜を形成することが可能であり、塗膜の剥離を防止することができる。
【0058】
上記モノマー5としては、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートが特に好ましい。上記モノマー5としては、例えば、ヒドロキシプロピルメタクリレート(商品名:ブレンマーP、日本油脂(株)製)、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピル(メタ)アクリレート(商品名:アロニックスM−5700、東亜化学(株)製)、2−ヒドロキシプロピルアクリレート(商品名:ライトエステルHOP−A、共栄社化学(株)製)が挙げられる。
【0059】
本発明におけるアクリル系共重合体に対する上記モノマー5のモノマー成分としての含有量(モル比)は、30モル%以下が好ましく、20モル%以下であることが更に好ましく、具体的には、3〜10モル%が更に好ましい。上記モノマー5の含有量が30モル%を超えると塗布液としてのチキソ性が大きくなって、塗布膜の塗膜均一性が低下しやすくなる場合がある。
【0060】
(他のアルカリ可溶性樹脂)
本発明の組成物においては、上記アルカリ可溶性樹脂として本発明におけるアクリル系共重合体の他に、他の構造のアルカリ可溶性樹脂を併用することができる。例えば、(メタ)アクリル酸およびベンジルメタクリレートからなる共重合体、あるいは(メタ)アクリル酸、ベンジルメタクリレートおよびヒドロキシエチル(メタ)アクリレートからなる共重合体などが好ましい。
【0061】
また、上記アルカリ可溶性樹脂として本発明におけるアクリル系共重合体を単独で使用した場合、本発明の組成物におけるアルカリ可溶性樹脂の含有率は全固形分に対して、10〜50質量%が好ましく、10〜40質量%がより好ましい。また、他の構造のアルカリ可溶性樹脂を併用する場合には、本発明の組成物における他のアルカリ可溶性樹脂の総含有率は、10〜50質量%が好ましい。本発明の組成物中、アルカリ可溶性樹脂の含有量が少なすぎるとアルカリ現像が進まなくなる場合がある。一方、多すぎると塗布液としての粘度が高くなって、塗布厚均一性が劣化して塗布ムラが生じやすくなったり、また現像ラチチュードも低下する場合がある。
【0062】
<着色剤>
本発明に用いることができる着色剤としては、従来公知の種々の染料や顔料を一種または二種以上混合して用いることができる。
【0063】
本発明の組成物に用いることができる顔料としては、従来公知の種々の無機顔料または有機顔料を用いることができる。また、無機顔料であれ有機顔料であれ、高透過率であることが好ましいことを考慮すると、なるべく細かいものの使用が好ましく、ハンドリング性をも考慮すると、上記顔料の平均粒子径は、0.01μm〜0.1μmが好ましく、0.01μm〜0.05μmがより好ましい。また、上記無機顔料としては、金属酸化物、金属錯塩等で示される金属化合物を挙げることができ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属酸化物、および前記金属の複合酸化物を挙げることができる。
【0064】
上記有機顔料としては、例えば、
C.I.Pigment Yellow 11, 24, 31, 53, 83, 93, 99, 108, 109, 110, 138, 139, 147, 150, 151, 154, 155, 167, 180, 185, 199, ;
C.I.Pigment Orange 36, 38, 43, 71;
C.I.Pigment Red 81, 105, 122, 149, 150, 155, 171, 175, 176, 177,209, 220, 224, 242, 254, 255, 264, 270;
C.I.Pigment Violet 19, 23, 32, 39;
C.I.Pigment Blue 1, 2, 15, 15:1, 15:3, 15:6, 16, 22, 60, 66;
C.I.Pigment Green 7, 36, 37;
C.I.Pigment Brown 25, 28;
C.I.Pigment Black 1, 7;
カーボンブラック等を挙げることができる。
【0065】
本発明では、特に顔料の構造式中に塩基性のN原子をもつものを好ましく用いることができる。これら塩基性のN原子をもつ顔料は本発明の組成物中で良好な分散性を示す。その原因については十分解明されていないが、感光性重合成分と顔料との親和性の良さが影響しているものと推定される。
【0066】
本願発明において好ましく用いることができる顔料として、以下のものを挙げることができる。但し本発明は、これらに限定されるものではない。
【0067】
C.I.Pigment Yellow 11, 24, 108, 109, 110, 138, 139, 150, 151, 154, 167, 180, 185,
C.I.Pigment Orange 36, 71,
C.I.Pigment Red 122, 150, 171, 175, 177, 209, 224, 242, 254, 255, 264,
C.I.Pigment Violet 19, 23, 32,
C.I.Pigment Blue 15:1, 15:3, 15:6, 16, 22, 60, 66,
C.I.Pigment Black 1
【0068】
これら有機顔料は、単独もしくは色純度を上げるため種々組合せて用いることができる。上記組合せの具体例を以下に示す。例えば、赤の顔料として、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジケトピロロピロール系顔料単独またはそれらの少なくとも一種と、ジスアゾ系黄色顔料、イソインドリン系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料またはペリレン系赤色顔料と、の混合などを用いることができる。例えば、アントラキノン系顔料としては、C.I.ピグメントレッド177が挙げられ、ペリレン系顔料としては、C.I.ピグメントレッド155、C.I.ピグメントレッド224が挙げられ、ジケトピロロピロール系顔料としては、C.I.ピグメントレッド254が挙げられ、色再現性の点でC.I.ピグメントイエロー139との混合が好ましい。また、赤色顔料と黄色顔料との質量比は、100:5〜100:50が好ましい。100:4以下では400nmから500nmの光透過率を抑えることが困難で色純度を上げることが出来ない場合がある。また100:51以上では主波長が短波長よりになり、NTSC目標色相からのずれが大きくなる場合がある。特に、上記質量比としては、100:10〜100:30の範囲が最適である。尚、赤色顔料同士の組み合わせの場合は、色度に併せて調整することができる。
【0069】
また、緑の顔料としては、ハロゲン化フタロシアニン系顔料を単独で、または、これとジスアゾ系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、アゾメチン系黄色顔料若しくはイソインドリン系黄色顔料との混合を用いることができる。例えば、このような例としては、C.I.ピグメントグリーン7、36、37とC.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー180またはC.I.ピグメントイエロー185との混合が好ましい。緑顔料と黄色顔料との質量比は、100:5〜100:150が好ましい。上記質量比が100:5未満では400nm〜450nmの光透過率を抑えることが困難となり色純度を上げることが出来ない場合がある。また100:150を越えると主波長が長波長よりになりNTSC目標色相からのずれが大きくなる場合がある。上記質量比としては100:30〜100:120の範囲が特に好ましい。
【0070】
青の顔料としては、フタロシアニン系顔料を単独で、若しくはこれとジオキサジン系紫色顔料との混合を用いることができる。例えばC.I.ピグメントブルー15:6とC.I.ピグメントバイオレット23との混合が好ましい。青色顔料と紫色顔料との質量比は、100:0〜100:30が好ましく、より好ましくは100:10以下である。
【0071】
また、ブラックマトリックス用の顔料としては、カーボン、チタンカーボン、酸化鉄、酸化チタン単独または混合が用いられ、カーボンとチタンカーボンとの組合せが好ましい。また、カーボンとチタンカーボンとの質量比は、100:0〜100:60の範囲が好ましい。100:61以上では、分散安定性が低下する場合がある。
【0072】
本発明において、着色剤が染料である場合には、組成物中に均一に溶解して光硬化性着色樹脂組成物を得る。
本発明の組成物を構成する着色剤として使用できる染料は、特に制限はなく、従来カラーフィルター用として公知の染料が使用できる。例えば、特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、特登2592207号、米国特許第4,808,501号明細書、米国特許第5,667,920号明細書、米国特許第5,059,500号明細書、特開平5−333207号公報、特開平6−35183号公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報、特開平8−211599号公報、特開平4−249549号公報、特開平10−123316号公報、特開平11−302283号公報、特開平7−286107号公報、特開2001−4823号公報、特開平8−15522号公報、特開平8−29771号公報、特開平8−146215号公報、特開平11−343437号公報、特開平8−62416号公報、特開2002−14220号公報、特開2002−14221号公報、特開2002−14222号公報、特開2002−14223号公報、特開平8−302224号公報、特開平8−73758号公報、特開平8−179120号公報、特開平8−151531号公報等に開示されている色素が使用できる。
【0073】
化学構造としては、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、アンスラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサテン系、フタロシアニン系、ペンゾピラン系、インジゴ系等の染料が使用できる。
【0074】
また、水またはアルカリ現像を行うレジスト系の場合、現像により光未照射部のバインダーおよび/または染料を完全に除去するという観点では、酸性染料および/またはその誘導体が好適に使用できる場合がある。
その他、直接染料、塩基性染料、媒染染料、酸性媒染染料、アゾイック染料、分散染料、油溶染料、食品染料、および/または、これらの誘導体等も有用に使用することができる。
【0075】
上記酸性染料は、スルホン酸やカルボン酸等の酸性基を有するものであれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩基性化合物との塩形成性、吸光度、組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とされる性能の全てを考慮して選択される。
以下に上記酸性染料の具体例を挙げるが、これらに限定されるものではない。例えば、
acid alizarin violet N;acid black 1,2,24,48;acid blue 1,7,9,15,18,23,25,27,29,40,45,62,70,74,80,83,86,87,90,92,103,112,113,120,129,138,147,158,171,182,192,243,324:1;acid chrome violet K;acid Fuchsin;acid green 1,3,5,9,16,25,27,50;acid orange 6,7,8,10,12,50,51,52,56,63,74,95;acid red 1,4,8,14,17,18,26,27,29,31,34,35,37,42,44,50,51,52,57,66,73,80,87,88,91,92,94,97,103,111,114,129,133,134,138,143,145,150,151,158,176,183,198,211,215,216,217,249,252,257,260,266,274;acid violet 6B,7,9,17,19;acid yellow 1,3,7,9,11,17,23,25,29,34,36,42,54,72,73,76,79,98,99,111,112,114,116,184,243;Food Yellow 3;およびこれらの染料の誘導体が挙げられる。
【0076】
この中でも上記酸性染料としては、acid black 24;acid blue 23,25,29,62,80,86,87,92,138,158,182,243,324:1;acid orange 8,51,56,63,74;acid red 1,4,8,34,37,42,52,57,80,97,114,143,145,151,183,217;acid violet 7;acid yellow 17,25,29,34,42,72,76,99,111,112,114,116,184,243;acidgreen 25等の染料およびこれらの染料の誘導体が好ましい。
また、上記以外の、アゾ系、キサンテン系、フタロシアニン系の酸性染料も好ましく、C.I.Solvent Blue 44、38;C.I.Solvent orange 45;Rhodamine B、Rhodamine 110等の酸性染料およびこれらの染料の誘導体も好ましく用いられる。
【0077】
本発明の組成物の全固形分中の着色剤含有率は特に限定されるものではないが、好ましくは30〜60質量%である。着色剤が少なすぎるとカラーフィルターとして適度な色度が得られなくなる傾向がある。一方、多すぎると光硬化が充分に進まず膜としての強度が低下したり、また、アルカリ現像の際の現像ラチチュードが狭くなる傾向がある。
【0078】
本発明において、顔料の分散性を向上させる目的で従来公知の顔料分散剤や界面活性剤を添加することが出来る。これらの分散剤としては、多くの種類の化合物が用いられるが、例えば、フタロシアニン誘導体(市販品EFKA−745(エフカ社製))、ソルスパース5000(ゼネカ(株)製);オルガノシロキサンポリマーKP341(信越化学工業(株)製)、(メタ)アクリル酸系(共)重合体ポリフローNo.75、No.90、No.95(共栄社油脂化学工業(株)製)、W001(裕商製)等のカチオン系界面活性剤;ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤;W004、W005、W017(裕商製)等のアニオン系界面活性剤;EFKA−46、EFKA−47、EFKA−47EA、EFKAポリマー100、EFKAポリマー400、EFKAポリマー401、EFKAポリマー450(以上森下産業(株)製)、ディスパースエイド6、ディスパースエイド8、ディスパースエイド15、ディスパースエイド9100(サンノプコ製)等の高分子分散剤;ソルスパース3000、5000、9000、12000、13240、13940、17000、24000、26000、28000などの各種ソルスパース分散剤(ゼネカ(株)製);アデカプルロニックL31,F38,L42,L44,L61,L64,F68,L72,P95,F77,P84,F87、P94,L101,P103,F108、L121、P−123(旭電化(株)製)およびイソネットS−20(三洋化成(株)製)が挙げられる。
【0079】
<感光性重合成分>
次に、本発明の組成物において用いられる感光性重合成分について説明する。上記感光性重合成分としては、少なくとも1個の付加重合可能なエチレン基を有し、常圧下で100℃以上の沸点を持つエチレン性不飽和基を持つ化合物が好ましく、なかでも、4官能以上のアクリレート化合物がより好ましい。
【0080】
上記少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基をもち、沸点が常圧で100℃以上の化合物としては、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート等の単官能のアクリレートやメタアクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオール(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイロキシエチル)イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後(メタ)アクリレート化したもの、ペンタエリスリトールまたはジペンタエリスリトールのポリ(メタ)アクリレート化したもの、特公昭48−41708号、特公昭50−6034号、特開昭51−37193号各公報に記載されているようなウレタンアクリレート類、特開昭48−64183号、特公昭49−43191号、特公昭52−30490号各公報に記載されているポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレートを挙げることが出来る。更に、日本接着協会誌Vol.20、No.7、300〜308頁に光硬化性モノマーおよびオリゴマーとして紹介されているものも使用できる。
【0081】
また、上記した多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後(メタ)アクリレート化した化合物が、特開平10−62986号公報に一般式(1)および(2)としてその具体例と共に記載されており、これらも感光性重合成分として用いることができる。
【0082】
なかでも、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートおよびこれらのアクリロイル基が、エチレングリコール、プロピレングリコール残基を介している構造が好ましい。これらのオリゴマータイプも使用される。これらの感光性重合成分は1種単独でまたは2種以上を組み合わせて使用することができる。
これらの感光性重合成分の使用量は、光硬化性着色樹脂組成物の全固形分100に対し、好ましくは20〜200質量%、より好ましくは50〜120質量%である。感光性重合成分の使用量が上記範囲より少なすぎても、また、多すぎても硬化が不充分となるので好ましくない。
【0083】
<光重合開始剤>
上記光重合開始剤としては、例えば、特開平57−6096号公報に記載のハロメチルオキサジアゾール;特公昭59−1281号公報、特開昭53−133428号公報等に記載のハロメチル−s−トリアジン等活性ハロゲン化合物;米国特許USP−4318791、欧州特許公開EP−88050A等に記載のケタール、アセタールまたはベンゾインアルキルエーテル類等の芳香族カルボニル化合物;米国特許USP−4199420に記載のベンゾフェノン類等の芳香族ケトン化合物;Fr−2456741に記載の(チオ)キサントン類またはアクリジン類化合物;特開平10−62986号公報に記載のクマリン類またはロフィンダイマー類等の化合物;特開平8−015521号公報等のスルホニウム有機硼素錯体等;等を用いることができる。
【0084】
本発明において、上記光重合開始剤としては、アセトフェノン系、ケタール系、ベンゾフェノン系、ベンゾイン系、ベンゾイル系、キサントン系、トリアジン系、ハロメチルオキサジアゾール系、アクリジン類系、クマリン類系、ロフィンダイマー類系、ビイミダゾール系、等の光重合開始剤を用いることが好ましい。
【0085】
上記アセトフェノン系光重合開始剤としては、例えば、2,2−ジエトキシアセトフェノン、p−ジメチルアミノアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、p−ジメチルアミノアセトフェノン、4’−イソプロピル−2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオフェノンなどを好適に挙げることができる。
【0086】
上記ケタール系光重合開始剤としては、例えば、ベンジルジメチルケタール、ベンジル−β−メトキシエチルアセタールなどを好適に挙げることができる。
【0087】
上記ベンゾフェノン系光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、4,4’−(ビスジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−(ビスジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ジクロロベンゾフェノン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−トリル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパノン−1等を好適に挙げることができる。
【0088】
上記ベンゾイン系またはベンゾイル系光重合開始剤としては、例えば、ベンゾインイソプロピルエーテル、ゼンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインメチルエーテル、メチルo−ベンゾイルベゾエート等を好適に挙げることができる。
【0089】
上記キサントン系光重合開始剤としては、例えば、ジエチルチオキサントン、ジイソプロピルチオキサントン、モノイソプロピルチオキサントン、クロロチオキサントン、等を好適に挙げることができる。
【0090】
上記トリアジン系光重合開始剤としては、例えば、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−p−メトキシフェニル−s−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−p−メトキシスチリル−s−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(1−p−ジメチルアミノフェニル)−1,3−ブタジエニル−s−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−ビフェニル−s−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(p−メチルビフェニル)−s−トリアジン、p−ヒドロキシエトキシスチリル−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、メトキシスチリル−2,6−ジ(トリクロロメチル−s−トリアジン、3,4−ジメトキシスチリル−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−ベンズオキソラン−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−ブロモ−p−N,N−(ジエトキシカルボニルアミノ)−フェニル)−2,6−ジ(クロロメチル)−s−トリアジン、4−(p−N,N−(ジエトキシカルボニルアミノ)−フェニル)−2,6−ジ(クロロメチル)−s−トリアジン等を好適に挙げることができる。
【0091】
上記ハロメチルオキサジアゾール系光重合開始剤としては、例えば、2−トリクロロメチル−5−スチリル−1,3,4−オキソジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(シアノスチリル)−1,3,4−オキソジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(ナフト−1−イル)−1,3,4−オキソジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(4−スチリル)スチリル−1,3,4−オキソジアゾール等を好適に挙げることができる。
【0092】
上記アクリジン類系光重合開始剤としては、例えば、9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9−アクリジニル)ヘプタン等を好適に挙げることができる。
【0093】
上記クマリン類系光重合開始剤としては、例えば、3−メチル−5−アミノ−((s−トリアジン−2−イル)アミノ)−3−フェニルクマリン、3−クロロ−5−ジエチルアミノ−((s−トリアジン−2−イル)アミノ)−3−フェニルクマリン、3−ブチル−5−ジメチルアミノ−((s−トリアジン−2−イル)アミノ)−3−フェニルクマリン等を好適に挙げることができる。
【0094】
上記ロフィンダイマー類系光重合開始剤としては、例えば、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(2,4−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体等を好適に挙げることができる。
【0095】
上記ビイミダゾール系光重合開始剤としては、例えば、2−メルカプトベンズイミダゾール、2,2’−ベンゾチアゾリルジサルファイド等を好適に挙げることができる。
【0096】
その他、上記光重合開始剤としては、1−フェニル−1,2−プロパンジオン−2−(o−エトキシカルボニル)オキシム、O−ベンゾイル−4’−(ベンズメルカプト)ベンゾイル−ヘキシル−ケトキシム、2,4,6−トリメチルフェニルカルボニル−ジフェニルフォスフォニルオキサイド、ヘキサフルオロフォスフォロ−トリアルキルフェニルホスホニウム塩等が挙げられる。
【0097】
本発明では、以上の光重合開始剤に限定されるものではなく、他の公知のものも使用することができる。例えば、米国特許第2,367,660号明細書に開示されているビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第2,367,661号および第2,367,670号明細書に開示されているα−カルボニル化合物、米国特許第2,448,828号明細書に開示されているアシロインエーテル、米国特許第2,722,512号明細書に開示されているα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3,046,127号および第2,951,758号明細書に開示されている多核キノン化合物、米国特許第3,549,367号明細書に開示されているトリアリルイミダゾールダイマー/p−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭51−48516号公報に開示されているベンゾチアゾール系化合物/トリハロメチール−s−トリアジン系化合物等が挙げられる。
また、これらの光重合開始剤を併用することもできる。
【0098】
上記光重合開始剤の使用量は、光硬化性着色樹脂組成物の全固形分の0.1〜10.0質量%、好ましくは0.5〜5.0質量%である。光重合開始剤の使用量が0.1質量%より少ないと重合が進みにくい場合があり、また、10.0質量%を超えると膜強度が弱くなる場合がある。
【0099】
<溶剤>
本発明の組成物を調製する際には溶剤を使用することができる。上記溶剤としては、エステル類、例えば酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチルなどの3−オキシプロピオン酸アルキルエステル類;3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル等;エーテル類、例えばジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート等;ケトン類、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等;芳香族炭化水素類、例えばトルエン、キシレシ等が挙げられる。
【0100】
これら溶剤のうち、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメテルエーテル、酢酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、2−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート等が本発明における溶剤として好ましく用いられる。
これらの溶剤は、単独で用いてもあるいは2種以上組み合わせて用いてもよい。
【0101】
<フッ素系有機化合物>
本発明の組成物中に、フッ素含有率が3〜40質量%であるフッ素系有機化合物を含有させることにより、組成物の塗布液としての特性を更に向上させることができる。
上記フッ素系有機化合物のフッ素含有率は3〜40質量%であり、好ましくは5〜30質量%、より好ましくは7〜25質量%である。
フッ素系有機化合物のフッ素含有率が低いと、塗布厚均一性や省液性において充分な効果が得られず、また逆に含有率が大きすぎると、組成物中への溶解性が不十分となる場合がある。
本発明の組成物にフッ素系有機化合物を含有させることで、塗布液としての液特性を改良することができ、塗布厚の均一性や省液性を改良することができる。特に、基板への塗布性が向上し、少量の液量でも厚みムラのない均一な膜厚の塗膜を得ることができる。
【0102】
上記フッ素系有機化合物としては、例えば、メガファックF171、同F172、同F173、同F177、同F141、同F142、同F143、同F144、同R30、同F437(以上、大日本インキ(株)製)、フロラードFC430、同FC431、同FC171(以上、住友スリーエム(株)製)、サーフロンS−382、同SC−101、同SC−103、同SC−104、同SC−105、同SC1068、同SC−381、同SC−383、同S393、同KH−40(以上、旭硝子(株)製)等が挙げられる。
【0103】
また、上記フッ素系有機化合物を含有させることで塗布液としての流動性を改良し、基板と塗布液との界面張力を低下せしめて、基板への濡れ性を改良し、もって数μm程度の薄膜であっても厚みムラが小さい塗布膜を得ることができる。特に、塗布膜が薄くなると、塗布ムラや厚みムラ、更には塗布面で液切れをおこしやすいスリット塗布に対して、良好な結果をもたらす。
【0104】
上記フッ素系有機化合物の添加量としては、全塗布溶液に対し好ましくは0.001〜2.0質量%であり、より好ましくは0.005〜1.0質量%である。
【0105】
<その他の成分>
本発明の組成物には、必要に応じて各種添加物、例えば充填剤、上記アルカリ可溶性樹脂以外の高分子化合物、上記以外の界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することかできる。
【0106】
これらの添加物の具体例としては、ガラス、アルミナ等の充填剤;イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体、酸性セルロース誘導体、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの、アルコール可溶性ナイロン、ビスフェノールAとエピクロルヒドリンとから形成されたフェノキシ樹脂などのアルカリ可溶の樹脂;ノニオン系、カチン系、アニオン系等の界面活性剤、具体的にはフタロシアニン誘導体(市販品EFKA−745(森下産業製));オルガノシロキサンポリマーKP341(信越化学工業製)、(メタ)アクリル酸系(共)重合体ポリフローNo.75、No.90、No.95(共栄社油脂化学工業製)、W001(裕商製)等のカチオン系界面活性剤;ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル(BASF社製 プルロニックL10、L31、L61、L62、10R5、17R2、25R2、テトロニック304、701、704、901、904、150R1等のノニオン系界面活性剤;W004、W005、W017(裕商製)等のアニオン系界面活性剤;EFKA−46、EFKA−47、EFKA−47EA、EFKAポリマー100、EFKAポリマー400、EFKAポリマー401、EFKAポリマー450(以上森下産業製)、ディスパースエイド6、ディスパースエイド8、ディスパースエイド15、ディスパースエイド9100(サンノプコ製)等の高分子分散剤;ソルスパース3000、5000、9000、12000、13240、13940、17000、24000、26000、28000などの各種ソルスパース分散剤(ゼネカ(株))製);アデカプルロニックL31,F38,L42,L44,L61,L64,F68,L72,P95,F77,P84,F87、P94,L101,P103,F108、L121、P−123(旭電化製)およびイソネットS−20(三洋化成製);
【0107】
2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤;
およびポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤を挙げることができる。
【0108】
また、光未照射部のアルカリ溶解性を促進し、本発明の組成物の現像性の更なる向上を図る場合には、本発明の組成物に有機カルボン酸、好ましくは分子量1000以下の低分子量有機カルボン酸の添加を行うことができる。具体的には、例えばギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸;シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸;トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸;安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸;フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸;フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。
【0109】
本発明の組成物には以上の他に、更に、熱重合防止剤を加えておくことが好ましく、例えば、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4′−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2'−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用である。
【0110】
<本発明の光硬化性着色樹脂組成物の製造方法および使用方法>
本発明の組成物は、着色剤、アルカリ可溶性樹脂、感光性重合成分、光重合開始剤、さらに必要に応じて用いられるその他の添加剤を溶剤と混合し各種の混合機、分散機を使用して混合分散する混合分散工程を経ることによって調製することができる。
尚、混合分散工程は、混練分散とそれに続けて行う微分散処理からなるのが好ましいが、混練分散を省略することも可能である。
【0111】
本発明の組成物の好ましい製造方法としては、着色剤をアルカリ可溶性樹脂で混練分散処理後の粘度が10,000mPa・s以上、望ましくは100,000mPa・s以上の比較的高粘度になるように混練分散処理し、次いで本発明におけるアクリル系共重合体を含むアクリル可溶性樹脂を添加して、微分散処理後の粘度が1,000mPa・s以下、望ましくは100mPa・s以下の比較的低粘度になるように微分散処理することである。
【0112】
混練分散処理で使用する機械は二本ロール、三本ロール、ボールミル、トロンミル、ディスパー、ニーダー、コニーダー、ホモジナイザー、ブレンダー、単軸および2軸の押出機等であり、強い剪断力を与えながら分散する。次いで、溶剤および本発明におけるアクリル系共重合体を含むアルカリ可溶性樹脂を加えて、主として縦型若しくは横型のサンドグラインダー、ピンミル、スリットミル、超音波分散機等を使用し、0.1〜1mmの粒径のガラス、ジルコニア等でできたビーズで微分散処理する。尚、混練分散処理を省くことも可能である。その場合には、顔料と分散剤若しくは表面処理剤と、本発明におけるアクリル系共重合体および溶剤でビーズ分散を行う。
尚、混練、分散についての詳細はT.C. Patton著"Paint Flow and Pigment Dispersion"(1964年 John Wiley and Sons社刊)等にも記載されている。
【0113】
本発明の組成物を、直接または他の層を介して基板に回転塗布、スリット塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布して、光硬化性着色樹脂組成物の塗布膜を形成し、所定のマスクパターンを介して露光し、光照射された塗布膜部分だけを硬化させ、現像液で現像することによって、各色(3色あるいは4色)の画素からなるパターン状皮膜を形成し、カラーフィルターを製造することができる。この際に使用される放射線としては、特にg線、h線、i線等の紫外線が好ましく用いられる。従って、本発明のカラーフィルターは、本発明の組成物を用いて形成されるのが好ましい。また、本発明の製造方法としては、本発明の組成物を直接若しくは他の層を介して基板上にスリット塗布によって塗布膜を形成した後、前記塗布膜に、乾燥、パターン露光およびアルカリ現像を順次おこなう方法が好ましい。これにより、液晶表示素子や固体撮像素子に用いられるカラーフィルターをプロセス上の困難性が少なく、高品質かつ低コストで作製することができる。
【0114】
次いでアルカリ現像処理を行うことにより、上記露光により光未照射部分をアルカリ水溶液に溶出させ、光硬化した部分だけが残る。現像液としては、光未照射部の光硬化性着色樹脂組成物の塗布膜を溶解し、一方光照射部を溶解しないものであればいかなるものも用いることができる。
次いで、余剰の現像液を洗浄除去し、乾燥を施した後に、50℃〜240℃の温度で加熱処理(ポストベーク)を行う。このように各色ごとに前記工程を順次繰り返して硬化皮膜を製造することができる。これによりカラーフィルターが得られる。
【0115】
基板としては、例えば液晶表示素子等に用いられる無アルカリガラス、ソーダガラス、パイレックス(R)ガラス、石英ガラスおよびこれらに透明導電膜を付着させたものや、固体撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等が挙げられる。さらに、プラスチック基板も可能である。これらの基板上には、通常、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている。
【0116】
また、プラスチック基板にはその表面にガスバリヤー層および/または耐溶剤性層を有していることが好ましい。
【0117】
基板上に塗布された本発明の組成物の塗布膜の乾燥(プリベーク)は、ホットプレート、オーブン等で50℃〜140℃の温度で10〜300秒で行うことができる。
【0118】
本発明の組成物の塗布膜の塗布厚み(乾燥後)は、一般的に0.3〜5.0μm、望ましくは0.5〜3.5μm、最も望ましくは1.0〜2.5μmである。
【0119】
現像液としては、本発明の組成物を溶解し、一方光照射部を溶解しない組成物であればいかなるものも用いることができる。具体的には種々の有機溶剤の組合せやアルカリ性の水溶液を用いることができる。
有機溶剤としては、本発明の組成物を調製する際に使用される前述の溶剤が挙げられる。
現像温度としては通常20℃〜30℃であり、現像時間としては20〜90秒である。
【0120】
上記アルカリ性の水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ−[5,4,0]−7−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜1質量%となるように溶解したアルカリ性水溶液が使用される。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に、現像後、水で洗浄(リンス)する。
【0121】
ポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の加熱であり、通常約200℃〜220℃の加熱(ハードベーク)を行う。
このポストベーク処理は、現像後の塗布膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン(熱風循環式乾燥機)、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。
【0122】
本発明の組成物の用途として、主にカラーフィルターへの用途を主体に述べてきたが、カラーフィルターの画素間に設けられるブラックマトリックスにも適用できることは勿論である。ブラックマトリックスは、本発明の組成物にカーボンブラック、チタンブラックなどの黒色の着色剤を添加した組成物を光露光、アルカリ現像し、更にその後、ポストベークして膜の硬化を促進させて形成させることができる。
【0123】
【実施例】
以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明は以下の実施例によっていささかも限定されて解釈されるものではない。
【0124】
《光硬化性着色樹脂組成物の調製》
[実施例1]
まず、表1に記載の各モノマー成分を溶剤としてプロピレングリコールメチルエーテルアセテートを使用し、ベンゾイルパーオキシドを用いてラジカル重合をおこなって実施例1におけるアクリル系共重合体を合成した。このアクリル系共重合体の樹脂溶液をGPC法によって分子量測定を行い、ポリスチレン換算の重量平均分子量を求めた。
【0125】
次いで、下記各成分Aを3本ロールで混練分散処理をした
【0126】
〔成分A〕
【0127】
次いで、上記から得られた分散物に下記の成分Bを加えサンドミルで一昼夜微分散処理をした。
【0128】
〔成分B〕
【0129】
分散処理の後、更に下記成分Cを添加し、攪拌混合して光硬化性着色樹脂組成物(レジスト液)を調製した。
【0130】
〔成分C〕
【0131】
[実施例2〜9]
実施例1におけるアクリル系共重合体を、表1に示されたモノマー成分を含むアクリル系共重合体に各々変更した以外は実施例1と同様にして光硬化性着色樹脂組成物(レジスト液)を調製した。
【0132】
[比較例1〜4]
実施例1におけるアクリル系共重合体を、表1に示されたモノマー成分を含むアクリル系共重合体に各々変更した以外は実施例1と同様にして光硬化性着色樹脂組成物(レジスト液)を調製した。
【0133】
《評価》
上記で得られた各組成物を下記の方法で、TI値、塗布厚均一性、液使用量、塗布ムラ、現像ラチチュード、および、透過率について評価した。結果を下記表1に示す。
【0134】
(1)TI値:
回転式粘度計(E型粘度計、東機産業(株)製)で、回転数6rpmの時の粘度と回転数60rpmの時の粘度とを測定し、下記の式に従ってTI値を算出した。
TI値=(6rpmの時の粘度)/(60rpmの時の粘度)
【0135】
(2)塗布厚均一性:
550mm×650mmのガラス基板上に上記調製した光硬化性着色樹脂組成物30gを中央滴下し、500rpmでスピンコート法によって塗布した。塗布基板の中央部から、対角線方向に縁から300mm内側の部分までの厚みを測定した。塗布厚みムラを下記の式で表し、「%」で表示した。
厚みムラ=(中央部の厚み−縁部30mm内側の厚み)/中央部の厚み
【0136】
(3)塗布ムラ:
スリット間隙が50μmの塗布有効幅が200mmのスリットヘッドを備えたスリット塗布装置を用いて、乾燥後の塗膜厚が2.0μmになるようにスリットと基板間との間隙を調節して、50mm/秒の塗布スピードで各実施例・比較例の光硬化性着色樹脂組成物の塗布液を、幅230mm、長さ300mm、厚み0.7mmの矩形状ガラス基板上に塗布し、長さ260mmの塗布面を得た。
塗布後、ホットプレートで、90℃、60秒間プリベークし、その後、塗布面を目視にて観察しスジ状のムラの本数をカウントした。
塗布面にスジ状のムラが全くないものを「○」、1〜5本のものを「△」、6本以上のものを「×」として評価した。
【0137】
(4)現像ラチチュード:
上記調製した光硬化性着色樹脂組成物の塗布液を、乾燥後の膜厚が2.0μmとなるようにガラス基板(Corning社製、1737)にスピンコートし、オーブンを用いて90℃で60秒間プリベークした。その後、20μmの線幅を持つマスクで200mJ/cm2の露光(照度は20mW/cm2)をし、アルカリ現像液CD(富士フイルムアーチ(株)製)の10%希釈液で、30℃で現像した。現像時間は10〜100秒まで10秒刻みで実施した。線幅が安定して残存する現像秒数を現像ラチチュードとして表した。
【0138】
【表1】
【0139】
表1から、実施例の光硬化性着色樹脂組成物は、比較例の光硬化性着色樹脂組成物よりもチキソ性が小さいことがわかる。更に、チキソ性が大きい比較例の光硬化性着色樹脂組成物は、塗布膜均一性が95%以下であり、実用上の許容範囲外であった。これに対し、実施例の光硬化性着色樹脂組成物の塗布膜均一性は全て97%以上と優れていた。
また、スリットコート塗布方式を用いた場合であっても、実施例の光硬化性着色樹脂組成物は、スリットによるスジの発生が抑制されており、塗布ムラが防止されているのがわかった。
さらに、本発明の光硬化性着色樹脂組成物は、現像ラチチュードを約100sec間得ることができており、現像ムラ等の影響をほぼ低減でき、製造適性のある塗布液を提供することができた。これに対し、比較例の光硬化性着色樹脂組成物は、現像ラチチュードが狭く、実用性に欠けていた。
【0140】
【発明の効果】
本発明によれば、大型基板への塗布が容易なスリット塗布方式における塗布液として好適に用いることができ、塗布厚均一性や省液性等の塗布適性に優れ、且つ、現像ラチチュードが広くプロセス許容性に優れた光硬化性着色樹脂組成物を提供することができる。
従って、本発明の光硬化性着色樹脂組成物から、液晶表示素子や固体撮像素子に用いられるカラーフィルターをプロセス上の困難性が少なく、高品質かつ低コストで作製することができる。
Claims (6)
- 少なくとも、アルカリ可溶性樹脂と、着色剤と、感光性重合成分と、光重合開始剤と、を含有する光硬化性着色樹脂組成物であって、前記アルカリ可溶性樹脂は、共重合体中の含有比率が5〜35モル%である酸成分モノマーと、共重合体中の含有比率が10〜80モル%である下記一般式(1)で表される1種以上の(メタ)アクリレートモノマーと、共重合体中の含有比率が2〜20モル%である下記一般式(2)で表されるポリオキシアルキレン鎖含有(メタ)アクリレートモノマーと、をモノマー成分として含むアクリル系共重合体を含むことを特徴とする光硬化性着色樹脂組成物。
- 前記酸成分モノマーが、無水マレイン酸、アクリル酸、メタクリル酸およびフマル酸から選択される少なくとも1種である請求項1に記載の光硬化性着色樹脂組成物。
- 前記アクリル系共重合体はモノマー成分として、更にベンジルメタクリレートを含むことを特徴とする請求項1または2に記載の光硬化性着色樹脂組成物。
- 前記アクリル系共重合体はモノマー成分として、更にヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、および、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピル(メタ)アクリレートから選ばれる少なくとも1種を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の光硬化性着色樹脂組成物。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の光硬化性着色樹脂組成物を用いてなることを特徴とするカラーフィルター。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の光硬化性着色樹脂組成物を直接若しくは他の層を介して基板上にスリット塗布によって塗布膜を形成した後、前記塗布膜に、乾燥、パターン露光およびアルカリ現像を順次おこなうことを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
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WO2006107056A1 (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Zeon Corporation | パターン形成方法 |
JP4802746B2 (ja) * | 2006-02-08 | 2011-10-26 | 凸版印刷株式会社 | 感光性着色組成物およびカラーフィルタ |
KR20080092421A (ko) * | 2006-02-08 | 2008-10-15 | 니치고 모톤 가부시키가이샤 | 감광성 수지 조성물 및 그것을 이용한 포토레지스트 필름 |
JP4902292B2 (ja) * | 2006-08-11 | 2012-03-21 | 富士フイルム株式会社 | 光硬化性着色組成物及びそれを用いたカラーフィルタ |
JP4959252B2 (ja) * | 2006-08-11 | 2012-06-20 | 富士フイルム株式会社 | カラーフィルタ用積層体及びカラーフィルタ |
JP2008088394A (ja) * | 2006-09-07 | 2008-04-17 | Showa Highpolymer Co Ltd | アルカリ現像可能な感光性樹脂及びそれを含む感光性樹脂組成物 |
JP5036269B2 (ja) * | 2006-10-11 | 2012-09-26 | 富士フイルム株式会社 | 着色パターン形成用組成物、着色パターン形成方法、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、及び液晶表示素子 |
WO2008072582A1 (ja) * | 2006-12-07 | 2008-06-19 | Jsr Corporation | 無機粉体含有樹脂組成物、転写フィルムおよびフラットパネルディスプレ イ部材の製造方法 |
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