JP4380260B2 - 制御装置および温度調節器 - Google Patents
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Description
須田信英他「PID制御」朝倉書店(システム制御情報学会編) 2000年3月10日、p62
q=−λ(dT/dx)
となる。
I=2.38・L
D=0.42・L
従来の非干渉化制御の場合には、シミュレーション上で非干渉化した制御対象にステップ入力を加え、計測すると、以下の通りとなった。
L=1
したがって、下記の通りになる。
I=2.38・L=2.38
D=0.42・L=0.42
しかし、この値だとハンチングするため、比例ゲインを弱め、下記の値を、PIDパラメータとして採用した。
I=2.38
D=0.42
この実施の形態の非干渉化制御の場合には、シミュレーション上で非干渉化した制御対象にステップ入力を加え、計測すると以下の通りとなった。
L=1
したがって、下記の値を、PIDパラメータとして採用した。
I=2.38・L=2.38
D=0.42・L=0.42
従来の非干渉化制御では、図12に示されるように過渡的な非干渉化は実現できていない。PID制御した場合にも目標値応答の干渉がch間で非常に大きく発生している。
2次 1次
これをパラメータに換算するとして、1次を表現するのに定常ゲインと時定数の2パラメータ、2次を表現するには、3パラメータが必要となるため、合計10パラメータ(=2+3+3+2)が必要になる。
無し 1次+1パラメータ
同様にパラメータに換算すると、合計5パラメータ(=2+2+1)である。
2次 1次 2次
3次 2次 1次
熱処理における品質の向上を図ることができ、不良品の発生率を低減することができる。
上述の実施の形態では、PID制御に適用して説明したけれども、本発明はPID制御に限らず、オンオフ制御、比例制御、積分制御などの他の制御方式に適用できるものである。
5,13,35,46 温度調節器
6,30,47 制御対象
71,72 PID制御手段
8,17 非干渉化器
37,37’ ウェハモデル
14,16 第1,第2のモード変換器
Pf フィードバック要素
Claims (5)
- 制御対象からの複数の制御量と当該複数の制御量のそれぞれに対応して設定された複数の目標値との各偏差に基づいて、前記制御対象に対する複数の操作量をそれぞれ出力する複数の制御手段と、
前記複数の制御手段からの前記複数の操作量を、各制御手段による制御が、他の制御手段による制御に与える影響をなくす又は低減するように、処理して前記制御対象に対して出力する非干渉化手段とを備え、
前記非干渉化手段は、制御対象モデルを用いて非干渉化するものであり、
前記制御対象モデルは、前記複数の制御量の二つの制御量毎に、一方の制御量から他方の制御量を減算した制御量の差を、フィードバック要素を介して前記一方の制御量に対応する操作量から減算するとともに、前記他方の制御量に対応する操作量に加算するように操作量側にフィードバックするものであり、
前記非干渉化手段は、前記制御量の差を、前記フィードバック要素に対応する補償要素を介して前記一方の制御量に対応する前記制御手段から入力される操作量に加算するとともに、前記他方の制御量に対応する前記制御手段から入力される操作量から減算するように操作量側にフィードバックすることを特徴とする制御装置。 - 前記制御対象モデルが、前記複数の制御量と同数の複数のモデル要素を含み、前記複数の制御手段からの操作量が各モデル要素にそれぞれ与えられ、前記複数のモデル要素の二つのモデル要素毎に、一方のモデル要素の出力から他方のモデル要素の出力を減算した出力の差である前記制御量の差を、前記操作量側にフィードバックするモデル構造である請求項1記載の制御装置。
- 制御対象からの複数の検出温度と当該複数の検出温度のそれぞれに対応して設定された複数の目標値との各偏差に基づいて、前記制御対象に対する前記複数の操作量をそれぞれ出力する複数の温度制御手段と、
前記複数の温度制御手段からの前記複数の操作量を、各温度制御手段による制御が、他の温度制御手段による制御に与える影響をなくす又は低減するように、処理して前記制御対象に対して出力する非干渉化手段とを備え、
前記非干渉化手段は、制御対象モデルを用いて非干渉化するものであり、
前記制御対象モデルは、前記複数の検出温度の二つの検出温度毎に、一方の検出温度から他方の検出温度を減算した検出温度の差を、フィードバック要素を介して前記一方の検出温度に対応する操作量から減算するとともに、前記他方の検出温度に対応する操作量に加算するように操作量側にフィードバックするものであり、
前記非干渉化手段は、前記検出温度の差を、前記フィードバック要素に対応する補償要素を介して前記一方の検出温度に対応する前記温度制御手段から入力される操作量に加算するとともに、前記他方の検出温度に対応する前記温度制御手段から入力される操作量から減算するように操作量側にフィードバックすることを特徴とする温度調節器。 - 制御対象からの複数の検出温度を、複数の検出温度に基づく温度差である傾斜温度および代表的な代表温度に変換するための変換行列に従って変換を行う第1の変換手段と、
前記第1の変換手段からの前記傾斜温度を制御量として操作量を出力する温度制御手段および前記代表温度を制御量として操作量を出力する温度制御手段を含む複数の温度制御手段と、
前記複数の温度制御手段からの前記複数の操作量を、各温度制御手段による制御が、他の温度制御手段による制御に与える影響をなくす又は低減するように、前記制御対象に対して配分する配分手段とを備える温度調節器であって、
前記配分手段は、前記変換行列の逆行列に従って前記各温度制御手段からの操作量を変換して出力する第2の変換手段と、該第2の変換手段から出力される操作量を、制御対象モデルを用いて処理して前記制御対象に対して出力する非干渉化手段とを備え、
前記制御対象モデルは、前記複数の検出温度の二つの検出温度毎に、一方の検出温度から他方の検出温度を減算した検出温度の差を、フィードバック要素を介して前記一方の検出温度に対応する操作量から減算するとともに、前記他方の検出温度に対応する操作量に加算するように操作量側にフィードバックするものであり、
前記非干渉化手段は、前記検出温度の差を、前記フィードバック要素に対応する補償要素を介して前記一方の検出温度に対応する前記温度制御手段から入力される操作量に加算するとともに、前記他方の検出温度に対応する前記温度制御手段から入力される操作量から減算するように操作量側にフィードバックすることを特徴とする温度調節器。 - 前記制御対象モデルが、前記複数の検出温度と同数の複数のモデル要素を含み、前記複数の温度制御手段からの操作量が、各モデル要素にそれぞれ与えられ、前記複数のモデル要素の二つのモデル要素毎に、一方のモデル要素の出力から他方のモデル要素の出力を減算した出力の差である前記検出温度の差を、前記操作量側にフィードバックするモデル構造である請求項3または4記載の温度調節器。
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