JP4367740B2 - 電子部品圧着装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は電子部品圧着装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
ペレット等の電子部品をリードフレーム等の基板にボンディングするフリップチップボンディング装置等のボンディング装置では、圧着装置としてのボンディングヘッドを用いて、基板に接続部材を介して電子部品を圧着している。そして、このときの圧着荷重は、接続部材の材質に応じて決定される。接続部材がペースト状の接着剤の場合、圧着荷重は数十グラムから数百グラムの比較的低い圧着荷重(低荷重)である。接続部材が異方性導電シートやはんだバンプ等の場合、数キログラムから数十キログラムと比較的高い圧着荷重(高荷重)である。このように、圧着の際の荷重としては、広い範囲(数十グラムから数十キログラム)のものが求められる。単一のボンディングヘッド(押圧力付与手段)でこのような広範囲の荷重に対応しようとした場合、特に低荷重付与時における荷重制御を充分な精度で行なうことが困難であることから、低荷重用のボンディングヘッド、高荷重用のボンディングヘッドを用意しておき、接続部材に応じてボンディングヘッドを交換していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
電子部品や基板の品種変更に伴い接続部材の材質が変更され、圧着に必要な荷重が低荷重から高荷重、或いは高荷重から低荷重に切換わる度に、ボンディングヘッドを交換する必要が生じ、品種切換えに多大な手間と時間を要する。
【0004】
本発明の課題は、電子部品圧着装置において、圧着荷重を簡易な構成により切換え可能とすることにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明は、電子部品を圧着する圧着ツールと、圧着ツールを昇降自在に支持する圧着ブロックと、圧着ブロックに押圧力を付与する第1押圧力付与手段と、圧着ブロックと圧着ツールの間に介在され、圧着ツールに押圧力を付与する第2押圧力付与手段と、圧着ブロックに対して圧着ツールを相対的に固定する固定手段とを有し、前記圧着ツールに第1の圧着荷重を付与するときには、固定手段により圧着ブロックに対して圧着ツールを相対的に固定した状態で、第1押圧力付与手段の押圧力を圧着ブロック及び圧着ツールに付与し、前記圧着ツールに第2の圧着荷重を付与するときには、圧着ブロックと圧着ツールを固定しない状態で、第2押圧力付与手段の押圧力を圧着ツールに付与する電子部品圧着装置であって、前記固定手段が、圧着ブロックにガイドされる固定ピンを、駆動部により圧着ツールに係脱するものであるようにしたものである。
【0008】
【作用】
(a)第1押圧力付与手段と、第2押圧力付与手段を併せ備え、これらを切換え使用することにより、圧着荷重を容易に切換えできる。
【0009】
(b)固定手段を駆動部により係脱される固定ピンにて構成することにより、圧着ブロックに対して圧着ツールを電気的操作により固定でき、簡便である。
【0011】
【発明の実施の形態】
図1は本発明実施形態の電子部品圧着装置を示す側面図、図2は図1の要部拡大図、図3は参考形態の要部拡大図である。
【0012】
(本発明実施形態)(図1、図2)
電子部品圧着装置としてのボンディングヘッド10は、図1に示す如く、XYテーブル11に載置された支持フレーム12に固定のホルダ13にモータ14が固定され、モータ14の出力軸にカップリング15を介して結合されたねじ軸16を該ホルダ13に回転自在に備える。
【0013】
ねじ軸16には昇降ブロック17に形成された不図示の雌ねじ部が噛合っていて、更に、昇降ブロック17にはスライドガイド18を介して圧着ブロック19が昇降自在に配置される。圧着ブロック19の上部にはロードセル20が固定され、昇降ブロック17と圧着ブロック19の間に掛け渡されたばね21の付勢力により、このロードセル20を昇降ブロック17の当接面に当接させている。ここで、モータ14、ねじ軸16及び不図示の雌ねじ部によって第1押圧力付与手段が構成される。
【0014】
圧着ブロック19の下部にはスライドガイド22を介して圧着ツール23が昇降自在に支持される。圧着ブロック19に対する圧着ツール23の下降限位置は圧着ブロック19の下部に設けた不図示の下限ストッパにて設定される。圧着ツール23は、不図示の供給部からペレット等の電子部品1を吸着して取り出し可能とされるとともに、位置決めテーブル24に供給された基板2にこの電子部品1を各種接続部材により圧着可能とされる。
【0015】
圧着ブロック19と圧着ツール23の間には、第2押圧力付与手段としてのリニアモータ25が介在される。リニアモータ25は、ボイスコイルモータ(VCM)等を採用でき、所定の電圧を印加された状態で所定の推力(圧着荷重)を圧着ツール23に付与できる。
【0016】
圧着ブロック19には変位センサ26が固定され、変位センサ26は圧着ツール23に設けたターゲット27までの距離を測定し、この変位センサ26の出力値により、圧着ブロック19に対する圧着ツール23の相対移動を検出する。そして、圧着ブロック19と圧着ツール23との間に相対移動が生じたことに基づいて、圧着ツール23が位置決めテーブル24上に当接(電子部品1を介して)したタイミングを知ることができる。
【0017】
ボンディングヘッド10は、圧着ブロック19に対して圧着ツール23を相対的に固定する固定装置28を有する。固定装置28は、圧着ツール23の圧着ブロック19に対する下降限位置で、圧着ブロック19に設けたガイド孔29Aと圧着ツール23の係入孔29Bとを合致させ、このガイド孔29Aにガイドされる固定ピン30を、エアシリンダからなる駆動部31により、圧着ツール23の係入孔29Bに係脱可能とすることにて構成される。
【0018】
ボンディングヘッド10は、電子部品1や基板2の品種変更に伴い、接続部材の材質が変更される結果、圧着荷重を高荷重にするときには、固定装置28により圧着ブロック19に対して圧着ツール23を相対的に固定した状態で、第1押圧力付与手段としてのモータ14による押圧力を圧着ブロック19、ひいては圧着ツール23に付与する。他方、圧着荷重を低荷重にするときには、固定装置28による圧着ブロック19と圧着ツール23の固定を解除した状態で、第2押圧力付与手段としてのリニアモータ25の押圧力を圧着ツール23に付与する。
【0019】
即ち、ボンディングヘッド10は以下の如く動作する。
(1)圧着ツール23に数キログラムから数十キログラムの比較的高い圧着荷重(高荷重)を印加するとき。
【0020】
圧着ツール23を自重、或いはリニアモータ25の推力にて不図示のストッパに当接させた状態で、固定装置28の駆動部31を作動させて固定ピン30を圧着ツール23の係入孔29Bに係入する。これにより、圧着ブロック19に対して圧着ツール23を相対的に固定する。
【0021】
モータ14を回転させて昇降ブロック17、並びにこの昇降ブロック17にロードセル20を介して一体化されている圧着ブロック19及び圧着ツール23を基板2上に下降させる。このとき、圧着ツール23の押圧面には、不図示の供給部から供給された電子部品1が、押圧面に設けられた吸着孔に作用する吸引力により吸着保持されている。
【0022】
圧着ツール23に保持された電子部品1が接続部材を介して基板2に当接すると、ロードセル20の出力値が変化する。この後は、このロードセル20の出力値に基づいてモータ14の回転を制御する。即ち、ロードセル20の出力値に基づいて検出される荷重が圧着に必要な荷重となるようにモータ14の回転を制御する。
【0023】
所定の押圧時間が経過した後、圧着ツール23の吸着孔に作用させていた吸引力を解除するとともに、モータ14を逆転させて圧着ツール23(昇降ブロック17)を待機位置まで上昇させる。
【0024】
(2)圧着ツール23に数十グラムから数百グラム程度の比較的低い圧着荷重(低荷重)を印加するとき。
【0025】
圧着ツール23を自重、或いはリニアモータ25の推力にて不図示のストッパに当接させた状態で、固定装置28の駆動部31を作動させ、固定ピン30を圧着ツール23の係入孔29Bから離脱させる。
【0026】
リニアモータ25に所定の電圧を印加することで今回の圧着に必要な荷重を予め作用させた状態で、モータ14を回転させて昇降ブロック17、並びにこの昇降ブロック17にロードセル20を介して一体化されている圧着ブロック19及び圧着ツール23を基板2上に下降させる。このとき、圧着ツール23の押圧面には、不図示の供給部から供給された電子部品1が、押圧面に設けられた吸着孔に作用する吸引力により吸着保持されている。
【0027】
圧着ツール23に保持された電子部品1が接続部材を介して基板2に当接すると、圧着ツール23と圧着ブロック19との間に相対移動が生じるので、この相対移動を変位センサ26の出力値に基づいて検出する。この電子部品1と基板2の当接を検出した位置から所定量下降させたところでモータ14を停止させる。
【0028】
所定の押圧時間が経過した後、圧着ツール23の吸着孔に作用させていた吸引力を解除するとともに、モータ14を逆転させて圧着ツール23(昇降ブロック17)を待機位置まで上昇させる。
【0029】
従って、本実施形態によれば、以下の作用がある。
▲1▼高荷重用の第1押圧力付与手段としてのモータ14、ねじ軸16及び不図示の雌ねじ部と、低荷重用の第2押圧力付与手段としてのリニアモータ25を併せ備え、これらを切換え使用することにより、圧着荷重を簡易な構成により切換えできる。
【0030】
▲2▼固定装置28を駆動部31により係脱される固定ピン30にて構成することにより、圧着ブロック19に対して圧着ツール23を電気的操作により固定でき、簡便である。
【0031】
▲3▼第1押圧力付与手段を高荷重用として、第2押圧力付与手段を低荷重用として用いることから、それぞれの荷重をそれぞれの荷重に適した押圧力付与手段にて付与することができることから、単一の押圧力付与手段を用いて低荷重から高荷重までの広範囲の荷重を付与する場合に、低荷重付与時に生じる荷重制御精度の低下が防止でき、低荷重、高荷重いずれにおいても精度良く荷重制御を行なうことができ、適切な荷重を付与することができる。
【0032】
(参考形態)(図3)
参考形態が本発明実施形態と異なる点は、固定装置28を新たな固定装置40に代えたことだけにある。固定装置40は、圧着ブロック19の下端に設けたストッパ41に、圧着ツール23に設けた当接部42を当接させることにより、圧着ブロック19に対して圧着ツール23を相対的に固定するものである。
【0033】
従って、圧着ツール23に高荷重を印加するとき、リニアモータ25には電圧を印加しない。基板2に電子部品を圧着する際に、モータ14を回転させて昇降ブロック17、並びに圧着ブロック19及び圧着ツール23を基板2上に下降させ、圧着ツール23に保持された電子部品1が接続部材を介して基板2に当接すると、圧着ツール23と圧着ブロック19の間に相対移動が生じる。やがて圧着ツール23の当接部42が圧着ブロック19のストッパ41に当接し、相対移動が阻止される。更にモータ14により圧着ブロック19を下降させると、圧着ブロック19のストッパ41が圧着ツール23の当接部42を押し下げることにより、電子部品1と基板2との当接部に荷重が付与される。これによってロードセル20の出力値が変化し、この後は本発明実施形態と同様に、このロードセル20の出力値に基づいてモータ14の回転を制御する。つまり、ロードセル20の出力値に基づいて検出される荷重が圧着に必要な荷重となるようにモータ14の回転を制御する。
【0034】
所定の押圧時間が経過した後、圧着ツール23の吸着孔に作用させていた吸引力を解除するとともに、モータ14を逆転させて圧着ツール23(昇降ブロック17)を待機位置まで上昇させる。
【0035】
圧着ツール23に低荷重を印加するときの動作は、本発明実施形態と同様である。
【0036】
本参考形態によれば、固定装置40を圧着ブロック19に設けたストッパ41と圧着ツール23に設けた当接部42にて構成することにより、圧着ブロック19に対して圧着ツール23を手動操作によることなく機械的に固定でき、簡便である。
【0037】
尚、本発明実施形態と参考形態のボンディングヘッド10において、ロードセル20の代わりに昇降ブロック17と圧着ブロック19の間にばねを設け、ばねの撓み量に応じた圧着荷重が圧着ツール23に作用するように構成しても良い。この場合、圧着に必要な荷重相当分の撓みがばねに得られる位置となるまで昇降ブロック17を待機位置から下降させるようにモータ14を回転制御すれば良い。
【0038】
また、リニアモータ25をばねに置き換えることも可能であるが下記を考慮する必要がある。
即ち、ばねで荷重を印加しようとする場合、待機位置からの昇降ブロック17の下降量を制御することでばねに所定量の撓みを生じさせ、必要な荷重を得ることとなる。ところが、電子部品1が当接する基板2には反り等により高さ方向のばらつきが生じることがあるので、待機位置からの昇降ブロック17の下降量を正確に制御したとしても、圧着ツール23に印加される荷重には基板2の高さのばらつき分の変動が生じてしまう。圧着ツール23に印加される荷重が数キログラムから数十キログラムの高荷重の場合、基板高さのばらつきに起因して生じる荷重変動は、圧着ツール23に印加される荷重の大きさに対して無視できる程度の大きさであると考えられる。ところが、圧着ツール23に印加される荷重が数十グラムから数百グラムの低荷重の場合、この荷重変動は、電子部品1と基板2との接合性に影響を及ぼす可能性を有する無視できないものとなることがある。このようなことから、リニアモータ25をばねに置き換える場合には、生じ得る荷重のばらつきと、電子部品1と基板2との接合に必要な圧着荷重の許容値とを考慮する必要がある。
【0039】
一方、リニアモータ25は印加電圧が一定であれば、圧着ツール23と圧着ブロック19との相対移動にかかわらず印加荷重を一定に保つことができるので、基板2の高さのばらつきにより印加される荷重が変動することが防止できる。
【0040】
また、不図示の供給部の電子部品1を圧着ツール23で吸着保持して取出すときと、吸着保持した電子部品1を基板2に圧着するときとで荷重を切換えるようにしても良い。具体的には、電子部品1を取出すときには低荷重で取出し、電子部品1を基板2に圧着するときには高荷重とする。本発明実施形態の機構を用いた場合、ボンディングヘッド10が取出位置と圧着位置との間を移動する間に、固定装置28を構成する圧着ツール23の固定ピン係入孔29Bに対する固定ピン30の係脱動作を行なう。
【0041】
以上、本発明の実施の形態を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。
【0042】
例えば、上記実施形態において、第1押圧力付与手段を高荷重用として、第2押圧力付与手段を低荷重用として用いた例を説明したが、第1押圧力付与手段を低荷重用として、第2押圧力付与手段を高荷重用として用い、低荷重を付与するときには、圧着ブロック19と圧着ツール23とを相対的に固定した状態で第1押圧力付与手段を用いて荷重を付与するようにし、高荷重を付与するときには、圧着ブロック19と圧着ツール23とを相対移動可能とした状態にて第2押圧力付与手段を用いて荷重を付与するようにしても良い。
【0043】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、電子部品圧着装置において、圧着荷重を容易に切換えできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1は本発明実施形態の電子部品圧着装置を示す側面図である。
【図2】 図2は図1の要部拡大図である。
【図3】 図3は参考形態の要部拡大図である。
【符号の説明】
10 ボンディングヘッド(電子部品圧着装置)
14 モータ(第1押圧力付与手段)
19 圧着ブロック
23 圧着ツール
25 リニアモータ(第2押圧力付与手段)
28 固定装置(固定手段)
30 固定ピン
31 駆動部
Claims (1)
- 電子部品を圧着する圧着ツールと、
圧着ツールを昇降自在に支持する圧着ブロックと、
圧着ブロックに押圧力を付与する第1押圧力付与手段と、
圧着ブロックと圧着ツールの間に介在され、圧着ツールに押圧力を付与する第2押圧力付与手段と、
圧着ブロックに対して圧着ツールを相対的に固定する固定手段とを有し、
前記圧着ツールに第1の圧着荷重を付与するときには、固定手段により圧着ブロックに対して圧着ツールを相対的に固定した状態で、第1押圧力付与手段の押圧力を圧着ブロック及び圧着ツールに付与し、前記圧着ツールに第2の圧着荷重を付与するときには、圧着ブロックと圧着ツールを固定しない状態で、第2押圧力付与手段の押圧力を圧着ツールに付与する電子部品圧着装置であって、
前記固定手段が、圧着ブロックにガイドされる固定ピンを、駆動部により圧着ツールに係脱するものである電子部品圧着装置。
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