JP4366928B2 - 片面鏡面ウェーハの製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は片面鏡面ウェーハの製造方法、詳しくはナノトポグラフィが小さく、高平坦度で、梨地面であるウェーハ裏面の粗さも小さい片面鏡面ウェーハを製造する技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の片面鏡面ウェーハの製造では、インゴットをスライスしてシリコンウェーハを作製した後、シリコンウェーハに対して面取り、ラッピング、エッチング、鏡面研磨の各工程が順次施される。
このうち、ラッピング工程では、シリコンウェーハを、互いに平行なラップ定盤の間に配置し、アルミナ砥粒と分散剤と水の混合物であるラップ液を、ラップ定盤とシリコンウェーハとの間に流し込む。そして、加圧下で回転・すり合わせを行なうことにより、ウェーハの表裏両面をラップする。ラップ量は、ウェーハの表面またはウェーハの裏面(以下、ウェーハ片面)で35μm以上である。このとき、加工ダメージ層の厚さはウェーハ片面で6〜8μmである。
【0003】
続くエッチング工程では、ラップ後のウェーハ(ラップドウェーハ)を混酸などの酸性エッチング液に浸漬し、ラップ加工時の歪み、面取り工程での歪みなどを除去する。酸性エッチング液はシリコンに対しての反応性が高く、エッチング速度が比較的速いという利点を有する一方、エッチング中に多量の気泡が生じ、その影響でウェーハの表裏両面に、周期0.2〜20mm程度、高さ数十〜数百nm程度のうねり(以下、ナノトポグラフィ)が発生する。その結果、ウェーハ表面の平坦性が悪化する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
このような、従来の片面鏡面ウェーハの製造方法では、以下の欠点が発生した。
すなわち、(1) ラップ工程での加工ダメージ層の厚さがウェーハ片面で6〜8μmと大きかった。このため、続くエッチング工程では、大きなエッチング量が必要となり、それによりウェーハ表面のうねり(=ナノトポグラフィ)が大きくなっていた。さらに表面粗さに関しては、ラップ工程により作られたダメージ深さおよび粗さを起因として、エッチング後の粗さも大きなものになっていた。その結果、酸エッチングによるウェーハの表裏両面のうねりが増大し、ナノトポグラフィが悪化するとともに、酸エッチング後のウェーハの表面の粗さも大きくなっていた。
また、(2) 梨地面であるウェーハの裏面の粗さは、ウェーハ表面との識別およびウェーハ加工装置でのスライディング対策などのためには、ある程度の大きさが求められる。一方、粗さが大きすぎる場合には、パーティクルが付着しやすく、ステッパでのチャッキング時に、ウェーハ平坦度(以下、チャックドフラットネス)を悪化させたりするなどの不具合が生じる。
【0005】
【発明の目的】
この発明は、ナノトポグラフィが小さく、高平坦度で、ウェーハの裏面の粗さを小さくすることができる片面鏡面ウェーハの製造方法を提供することを、その目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明は、スライスされた半導体ウェーハの表裏両面に加工を施すことにより、その表裏両面のダメージ層の深さが各々2μm以下となるダメージ層厚さ低減工程と、この加工ダメージ層を有する半導体ウェーハの裏面を梨地加工する梨地工程と、梨地加工された半導体ウェーハをエッチングするエッチング工程と、エッチングの後、半導体ウェーハの表面を鏡面研磨する鏡面研磨工程とを備えた片面鏡面ウェーハの製造方法であって、前記梨地工程では、半導体ウェーハの裏面に向かって、アルミナの微小砥粒を噴射する片面鏡面ウェーハの製造方法である。
【0007】
半導体ウェーハには、シリコンウェーハ、ガリウムヒ素ウェーハなどを含む。
ダメージ層厚さ低減工程で処理される半導体ウェーハとしては、例えばスライス直後のスライスドウェーハ、または、ラップ直後のラップドウェーハなどを採用することができる。スライス時、半導体ウェーハの表裏両面には、ウェーハの切断に伴う加工ダメージ層が現出される。
加工ダメージ層の厚さを2μm以下まで低減する方法としては、研削、切削、研磨などを採用することができる。例えば、研削の場合には表面研削装置を利用し、ウェーハの裏面を研削後、ウェーハを表裏反転してウェーハの表面を研削してもよい。
また、スライスドウェーハの表裏両面の研削、切削または研磨などに先駆け、必要によりウェーハをラップ加工してもよい。
【0008】
ダメージ層厚さ低減処理後の加工ダメージ層の好ましい厚さは、2μm以下である。2μmを超えると、このダメージ層を除去するためのエッチングなどの取り代が大きくなってしまう。
梨地加工とは、ウェーハの被加工面に微細な凹凸を均一に形成させ、つや消し面とする表面処理の一種である。
梨地加工が施されるのは、半導体ウェーハの裏面である。必要に応じて、半導体ウェーハの表面を梨地加工してもよい。
梨地加工を施す方法は、例えば、(株)ラスコのパウダーエッチング装置を使用し、#2000程度の粒子径を持つアルミナの微小砥粒を高速でウェーハ裏面に吹き付ける。このとき、加工されたウェーハ裏面には高周波の粗さ成分が形成され、梨地化される。このように、高周波成分の粗さが効率的に形成されるので、ウェーハ平坦度やうねりを大きく悪化させることなく、ウェーハ裏面の梨地化が達成される。
【0009】
前記エッチング工程は、酸エッチング、アルカリエッチングもしくは酸とアルカリの複合エッチングの何れでもよい。エッチング液としては、例えば酸エッチングの場合、HF/HNO3系の混酸などの酸性エッチング液を採用することができる。また、アルカリエッチングの場合には、KOH,NaOHなどのアルカリ性エッチング液を採用することができる。
エッチング量は、ウェーハ片面で1〜10μmである。1μm未満では前工程のダメージを除去しきれない。また、10μmを超えると、ウェーハ表面のうねりが大きくなるとともに表面粗さが大きくなってしまう場合がある。
鏡面研磨工程で用いられる研磨布の種類は限定されない。例えば硬質研磨布でもよい。また、軟質研磨布でもよい。硬質研磨布の場合、例えば硬質発泡ウレタンフォームパッド、不織布に高濃度のウレタン樹脂を含浸・硬化させたパッドなどを採用することができる。硬質研磨布としては、例えばSUBA1200(ローデルニッタ株式会社製)などが採用される。
【0010】
鏡面研磨装置としては、半導体ウェーハを1枚ずつ研磨する枚葉式研磨装置を採用することができる。その他、複数枚の半導体ウェーハを同時に研磨するバッチ式研磨装置を採用することができる。何れの場合でも、上面に研磨布が展張された研磨定盤と、この研磨定盤の上方に配置され、下面に半導体ウェーハがワックス貼着された研磨ヘッドとを有している。
鏡面研磨時(例えば枚葉式)には、研磨定盤を20rpm以上で高速回転させる。一方、研磨ヘッドを所定の回転速度で回転する。この状態を保ちながら、研磨液を所定の流量で研磨布上に供給し、半導体ウェーハの表面を研磨布に押し付け、研磨する。
アルミナの微小砥粒の平均粒径は、例えば2〜10μm、好ましくは4〜6μmである。アルミナの微小砥粒の吹き付け圧力は0.05〜0.1MPaである。処理時間は15〜60秒間である。
【0011】
また、請求項2に記載の発明は、前記ダメージ層厚さ低減工程では、半導体ウェーハの表裏両面を研削する請求項1に記載の片面鏡面ウェーハの製造方法である。
この研削工程では、研削精度が異なる複数の段階別の表面研削を行ってもよい。例えば、比較的粗い1次研削と、仕上げ研削との組み合わせである。さらに、1次研削と仕上げ研削との間に2次研削を行なったり、3次研削以上の研削を行なってもよい。少なくとも仕上げ時に低ダメージの研削を行った方が好ましい。もちろん、仕上げ研削だけでもよい。このように、段階別の表面研削を行うことで、加工ダメージ層の厚さをより小さくすることができる。
研削砥石としては、例えばレジノイド研削砥石を採用することができる。ただし、仕上げ表面研削工程では、ウェーハ表面があれにくく、非ダメージ面であっても研削可能な高番手の研削砥石(例えば#2000のレジノイド研削砥石)を採用した方が好ましい。
研削砥石の回転速度は、例えば5500〜6000rpmである。研削量は例えば7〜8μm、加工ダメージ層の厚さは2μm以下となる。
【0013】
【作用】
この発明によれば、半導体ウェーハの加工ダメージ層の厚さを、ウェーハ片面で2μm以下まで低減した後、ウェーハの裏面を梨地加工してからエッチングする。次いで、ウェーハの表面を鏡面研磨する。
このように、エッチング前の半導体ウェーハの加工ダメージ層の厚さを、ウェーハ片面で2μm以下まで低減するので、エッチング工程における取り代(エッチング量)を少なくすることができる。その結果、ナノトポグラフィが小さく、高平坦度な片面鏡面ウェーハを得ることができる。したがって、ウェーハ外周部にわたり、ウェーハ表面の高い平坦性を得ることができる。
また、梨地加工後、半導体ウェーハを少ないエッチング量でエッチングするので、ウェーハ裏面(梨地面)の粗さを小さくすることができる。これにより、半導体ウェーハの表面と裏面との識別力を有しながら、良好なチャックドフラットネスを得ることができ、さらに粗さが大きくなることに伴う諸問題を回避することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施例を図面を参照して説明する。
図1に示すように、この実施例にあっては、スライス、面取り、必要によりラップ、両面研削、裏面梨地、アルカリエッチング、表面研削、PCR、鏡面研磨、仕上げ洗浄の各工程を経て、片面鏡面ウェーハが作製される。以下、各工程を詳細に説明する。
CZ法により引き上げられた単結晶シリコンインゴットは、スライス工程(図1(a))で、口径8インチ、厚さ860μm程度の多数枚のシリコンウェーハWにスライスされる。シリコンウェーハWの表裏両面には、加工ダメージ層Waが現出される。
次に、シリコンウェーハWの外周部が面取り(図1(b))される。すなわち、ウェーハの外周部が#600〜#1500のメタル面取り用砥石により、所定の形状にあらく面取りされる。これにより、ウェーハの外周部は、所定の丸みを帯びた形状(例えばMOS型の面取り形状)に成形される。
【0015】
次に、面取りされたシリコンウェーハWは、必要に応じてラッピングされる(図1(c))。ラップ工程では、シリコンウェーハWを、互いに平行なラップ定盤の間に配置し、ラップ定盤とシリコンウェーハWとの間に、アルミナ砥粒、分散剤、水の混合物であるラップ液を流し込む。そして、加圧下で回転・すり合わせを行ない、ウェーハ表裏両面をラップする。ラップ量は、ウェーハ片面で20〜40μmである。ラップ後の加工ダメージ層の厚さはウェーハ片面で6μm程度である。ラップ工程は省略してもよい。しかし、片面ずつの研削を行う場合には、スライス時に現出したウェーハ表裏両面のうねりを除去するため、ラップを行う必要がある。
【0016】
次に、シリコンウェーハWの表裏両面を、図2に示す表面研削装置10により研削する(図1(d))。研削は、片面ずつの表面研削もしくは両面同時の両頭研削でもよい。
図2に示すように、表面研削装置10は、主に下定盤11と、その上方に配置される研削ヘッド12とを備えている。シリコンウェーハWは、真空吸着によって下定盤11の上面に固定される。研削ヘッド12の下面の外周部には、環状の研削砥石13が固定されている。
研削砥石13は、多数個のレジノイド研削砥石製の研削チップ13aを、環状に配設・組み合わせたものである。レジノイド研削砥石の砥粒の番手は、#4000である。
研削ヘッド12を6000rpmで回転させながら、これを0.3μm/秒で徐々に下降させ、下定盤11上のシリコンウェーハWの表面を研削する。このとき、下定盤11の回転速度は40rpmである。
【0017】
両面研削時には、まず下定盤11の上面にシリコンウェーハWの表面を真空吸着し、下定盤11を所定速度で回転しながら、回転中の研削ヘッド12を徐々に下降し、ウェーハの裏面を8μmだけ研削する。次に、ウェーハの表面の真空吸着を解除し、ウェーハの表裏を反転し、下定盤11にウェーハの裏面を真空吸着する。次いで、同様の操作によりウェーハの表面を10μm研削する。このとき、研削ダメージ層(研削痕)の厚さは、ウェーハ片面で2μm程度である。
【0018】
続いて、シリコンウェーハWの裏面を、梨地加工装置により梨地加工する(図1(e))。これにより、研削によって半鏡面となったウェーハ裏面が梨地化される。梨地加工装置としては、(株)ラスコのパウダーエッチング装置(PBW−A001S)を使用する。この装置は、加工室内に配置されたシリコンウェーハWの裏面に、ノズルからWA#2000の微小砥粒(アルミナ99.7%)を3.5m3/minで噴射する。加工時間は50秒である。梨地加工は、数回繰り返してもよい。これにより、ウェーハの裏面が梨地面Wbとなる。加工ダメージ層の厚さはウェーハ片面で3μm程度である。
【0019】
次に、裏面梨地加工されたシリコンウェーハWをアルカリエッチングする(図1(f))。アルカリエッチング液には、NaOH(60℃)を採用している。アルカリエッチング前の両面研削工程で、シリコンウェーハWの表裏両面の加工ダメージ層が低減されているので、エッチング量はウェーハ片面で5μm、エッチング時間は、250秒である。
必要に応じて、アルカリエッチングされたシリコンウェーハWに、鏡面研磨前に再度、平坦性を上げるため表面研削を行っても良い(図1(g))。
それから、エッチングされたシリコンウェーハWの外周部に、PCR(Polishing Corner Rounding)加工が施される。これにより、シリコンウェーハWの面取り面が鏡面仕上げされる(図1(h))。
ここでは研磨布付きの周知のPCR加工装置が用いられる。すなわち、研磨砥粒を含まない研磨液を1800ml/分で供給しながら、回転モータにより研磨布を軸線回りに5rpmで回転する。回転中の研磨布の外周面に、500rpmで回転しているシリコンウェーハWの面取り面を、1.5kg/cm2の研磨圧力で押し付ける。こうして、面取り面を鏡面研磨する。
PCR加工されたシリコンウェーハWには、必要に応じてドナーキラー熱処理(図示せず)を行ってもよい。このドナーキラー熱処理により、酸素ドナーの発生が防止される。
【0020】
次に、枚葉式の鏡面研磨装置を用いて、シリコンウェーハWの表面を鏡面研磨する(図1(i))。
鏡面研磨装置としては、上面に研磨布が展張された研磨定盤と、この研磨定盤の上方に配置され、下面にシリコンウェーハWがワックス貼着された研磨ヘッドとを有している。研磨布には、SUBA1200(ローデルニッタ株式会社製)が採用される。
鏡面研磨時には、研磨定盤を40rpmで高速回転させる。一方、研磨ヘッドを所定の回転速度で回転する。この状態を保ちながら、研磨剤(スラリー)を所定の流量で研磨布上に供給して、シリコンウェーハWの表面を研磨布に押し付けて研磨する。その後、シリコンウェーハWを仕上げ洗浄する(図1(j))。具体的には、RCA系の洗浄液により洗浄する。
【0021】
このように、アルカリエッチング前にシリコンウェーハWの表裏両面の加工ダメージ層の厚さを、ウェーハ片面で2μm以下まで低減するので、アルカリエッチング時のエッチング量が、従来はウェーハ片面で12μmだったのものが5μmまで少なくなる。これにより、片面鏡面ウェーハのナノトポグラフィが小さくなり、ウェーハ平坦度を高めることができる。ナノトポグラフィは、従来、10mm角の範囲で100nm以上であったものが50nm以下まで小さくなる。また、ウェーハ平坦度については、従来、SFQRで0.20μmだったものが、0.13μmまで高められる。ナノトポグラフィの測定には、ウェーハ検査装置(ADE社製 WIS−CR83 SQM)を採用した。
また、加工ダメージ層が低減されたウェーハの裏面に梨地加工を施し、その後、少ないエッチング量でエッチングするように構成したので、この梨地加工後のウェーハの裏面の粗さは、それまでRms5000オングストロームだったものが、2000オングストロームまで小さくなる。これにより、チャックドフラットネスが改善され、さらに粗さが大きくなることに伴う諸問題を回避することができる。
【0022】
【発明の効果】
この発明によれば、エッチング前の半導体ウェーハの加工ダメージ層の厚さが、ウェーハ片面で2μm以下まで低減されるので、エッチング工程におけるエッチング量を少なくすることができる。これにより、ナノトポグラフィが小さくなり、ウェーハ平坦度を高めることができる。また、加工ダメージ層が低減された梨地面を少ないエッチング量でエッチングするので、ウェーハの裏面の粗さを小さくすることができる。これにより、チャックドフラットネスが改善され、さらに粗さが大きくなることに伴う諸問題を回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例に係る片面鏡面ウェーハの製造方法を示すフローシートである。
【図2】この発明の一実施例に係る片面鏡面ウェーハの製造方法に用いられる表面研削装置の使用状態の斜視図である。
【符号の説明】
10 表面研削装置、
W シリコンウェーハ(半導体ウェーハ)。
Wa 加工ダメージ層。
Claims (2)
- スライスされた半導体ウェーハの表裏両面に加工を施すことにより、その表裏両面のダメージ層の深さが各々2μm以下となるダメージ層厚さ低減工程と、
この加工ダメージ層を有する半導体ウェーハの裏面を梨地加工する梨地工程と、
梨地加工された半導体ウェーハをエッチングするエッチング工程と、
エッチングの後、半導体ウェーハの表面を鏡面研磨する鏡面研磨工程とを備えた片面鏡面ウェーハの製造方法であって、
前記梨地工程では、半導体ウェーハの裏面に向かって、アルミナの微小砥粒を噴射する片面鏡面ウェーハの製造方法。 - 前記ダメージ層厚さ低減工程では、半導体ウェーハの表裏両面を研削する請求項1に記載の片面鏡面ウェーハの製造方法。
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