JP4366366B2

JP4366366B2 - 記録媒体駆動装置並びにヘッドスライダおよびその制御方法

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Publication number: JP4366366B2
Application number: JP2006038895A
Authority: JP
Inventors: 憲郎山本
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 2006-02-16
Filing date: 2006-02-16
Publication date: 2009-11-18
Anticipated expiration: 2026-02-16
Also published as: US20070188913A1; JP2007220189A; KR20070082498A; EP1821290A3; CN101022012A; US7564646B2; EP1821290A2

Description

本発明は、例えばハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）といった記録媒体駆動装置に関し、特に、記録媒体に向き合わせられるヘッドスライダ上でヘッド素子を支持する記録媒体駆動装置に関する。

例えば特許文献１に開示されるように、ハードディスク駆動装置では、磁気ディスクと浮上ヘッドスライダとの間に静電容量型のアクチュエータを形成することが模索される。このハードディスク駆動装置では、浮上ヘッドスライダを支持するキャリッジから積極的に浮上ヘッドスライダに向かって電力が供給される。供給される電力に応じて浮上ヘッドスライダの浮上量が決定される。
米国特許６８７６５０９号明細書

こういったハードディスク駆動装置では浮上ヘッドスライダの浮上量の低下に伴い浮上ヘッドスライダと磁気ディスクとの間で電気火花が発生する。一般に、浮上ヘッドスライダは空気流出端で最も磁気ディスクに接近することから、空気流出端および磁気ディスクの間で電気火花は発生する。その結果、空気流出端に近接して配置されるヘッド素子は電気火花で焦がされてしまう。ヘッド素子の破壊が引き起こされる。こうして浮上ヘッドスライダは期待されるとおりに磁気ディスクに接近することができない。

本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、確実にこれまで以上に記録媒体に向かってヘッドスライダを接近させることができる記録媒体駆動装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、第１発明によれば、媒体対向面で記録媒体に向き合わせられるスライダ本体と、スライダ本体に搭載されるヘッド素子と、スライダ本体の媒体対向面で局所的に電荷を保持し、ヘッド素子から離れた位置に配置される電荷領域とを備えることを特徴とするヘッドスライダが提供される。

こういったヘッドスライダと記録媒体との間で静電容量が蓄積されると、静電容量の働きでヘッドスライダと記録媒体との距離は設定されることができる。このとき、電位は電荷領域に集中することから、たとえヘッドスライダおよび記録媒体の間で電気火花が発生しても電気火花は電荷領域に集中する。ヘッド素子は電気火花から遠ざけられることができる。こうしてヘッド素子の破壊は防止されることができる。一般に、ヘッドスライダと記録媒体との距離が縮小されると、両者の間で電気火花の発生は促進される。

こういったヘッドスライダでは、電荷領域は、例えば媒体対向面に注入される原子イオンに基づき確立されればよい。原子イオンは正極に帯電してもよく負極に帯電してもよい。原子イオンの注入によれば、比較的に簡単にヘッドスライダ上で電荷領域は確立されることができる。

電荷領域は、例えば媒体対向面に区画される空気軸受け面に確立されればよい。一般に、ヘッドスライダは空気軸受け面で最も記録媒体に接近する。したがって、電荷領域および記録媒体の間に蓄積される静電容量でヘッドスライダの浮上量は確実に制御されることができる。

第２発明によれば、記録媒体と、媒体対向面で記録媒体に向き合わせられるヘッドスライダと、ヘッドスライダに搭載されるヘッド素子と、ヘッドスライダの媒体対向面で局所的に電荷を保持し、ヘッド素子から離れた位置に配置される電荷領域と、記録媒体に電圧を印加する電圧源とを備えることを特徴とする記録媒体駆動装置が提供される。

こういった記録媒体駆動装置では、電圧源から記録媒体に電圧が印加されると、電荷領域および記録媒体の間で静電容量が蓄積される。静電容量の働きで引力や斥力が生成される。その結果、電圧の大きさに応じて記録媒体に対してヘッドスライダの離隔や接近が制御されることができる。しかも、ヘッドスライダが極限まで記録媒体に接近してもヘッドスライダおよび記録媒体の間では電気火花の発生は回避されることができる。ヘッドスライダの浮上量は極限まで縮小されることができる。ヘッドスライダはこれまで以上に確実に記録媒体に接近することができる。こういった浮上量の縮小は記録密度の高密度化に大いに貢献する。

こういった記録媒体駆動装置では、前述と同様に、電荷領域は、媒体対向面に注入される原子イオンに基づき確立されればよい。同様に、電荷領域は、媒体対向面に区画される空気軸受け面に確立されればよい。

第３発明によれば、記録媒体に電圧を印加し、記録媒体に向き合わせられるヘッドスライダおよび記録媒体の間に静電容量を蓄積させることを特徴とするヘッドスライダの制御方法が提供される。

こういった制御方法によれば、電圧の印加に応じてヘッドスライダおよび記録媒体の間で引力や斥力は生成される。電圧の大きさに応じて記録媒体に対してヘッドスライダの離隔や接近が制御されることができる。しかも、ヘッドスライダが極限まで記録媒体に接近してもヘッドスライダおよび記録媒体の間では電気火花の発生は回避されることができる。

以上のように本発明によれば、確実にこれまで以上に記録媒体に向かってヘッドスライダを接近させることができる記録媒体駆動装置は提供される。

以下、添付図面を参照しつつ本発明の一実施形態を説明する。

図１は本発明に係る記録媒体駆動装置の一具体例すなわちハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）１１の内部構造を概略的に示す。このＨＤＤ１１は、例えば平たい直方体の内部空間を区画する箱形の筐体本体１２を備える。筐体本体１２は例えばアルミニウムといった金属材料から鋳造に基づき成形されればよい。筐体本体１２には蓋体すなわちカバー（図示されず）が結合される。カバーと筐体本体１２との間で収容空間は密閉される。カバーは例えばプレス加工に基づき１枚の板材から成形されればよい。

収容空間には記録媒体としての１枚以上の磁気ディスク１３が収容される。磁気ディスク１３はスピンドルモータ１４の回転軸に装着される。スピンドルモータ１４は例えば５４００ｒｐｍや７２００ｒｐｍ、１００００ｒｐｍといった高速度で磁気ディスク１３を回転させることができる。

磁気ディスク１３の表面には最内周記録トラック１５と最外周記録トラック１６との間にデータゾーン１７が区画される。データゾーン１７には同心円状に記録トラックが描かれる。記録トラックには情報すなわちデータが保持される。最内周記録トラック１５の内側には非データゾーン１８が区画される。最外周記録トラック１６の外側には非データゾーン１９が区画される。非データゾーン１８、１９にはデータは記録されない。

収容空間にはヘッドアクチュエータ部材すなわちキャリッジ２１がさらに収容される。このキャリッジ２１はキャリッジブロック２２を備える。キャリッジブロック２２は、垂直方向に延びる支軸２３に回転自在に連結される。キャリッジブロック２２には、支軸２３から水平方向に延びる複数のキャリッジアーム２４が区画される。こういったキャリッジブロック２２は例えば鋳造に基づきアルミニウムから成型されればよい。

個々のキャリッジアーム２４の先端には、キャリッジアーム２４から前方に延びるヘッドサスペンション２５が取り付けられる。ヘッドサスペンション２５の先端にはいわゆるジンバルばね（図示されず）が接続される。ジンバルばねの表面に浮上ヘッドスライダ２６は固定される。こうしたジンバルばねの働きで浮上ヘッドスライダ２６はヘッドサスペンション２５に対してその姿勢を変化させることができる。

浮上ヘッドスライダ２６にはいわゆる磁気ヘッドすなわち電磁変換素子（図示されず）が搭載される。この電磁変換素子は書き込み素子および読み出し素子で構成される。書き込み素子には、例えば、薄膜コイルパターンで生成される磁界を利用して磁気ディスク１３に情報を書き込む薄膜磁気ヘッドが利用されればよい。読み出し素子には、スピンバルブ膜やトンネル接合膜の抵抗変化を利用して磁気ディスク１３から情報を読み出す巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ）素子やトンネル接合磁気抵抗効果（ＴＭＲ）素子が利用されればよい。

磁気ディスク１３の回転に基づき磁気ディスク１３の表面で気流が生成されると、気流の働きで浮上ヘッドスライダ２６には正圧すなわち浮力および負圧が作用する。浮力および負圧とヘッドサスペンション２５の押し付け力とが釣り合うことで磁気ディスク１３の回転中に比較的に高い剛性で浮上ヘッドスライダ２６は浮上し続けることができる。

キャリッジブロック２２には動力源すなわちボイスコイルモータ（ＶＣＭ）２７が接続される。このＶＣＭ２７の働きでキャリッジブロック２２は支軸２３回りで回転することができる。こうしたキャリッジブロック２２の回転に基づきキャリッジアーム２４およびヘッドサスペンション２５の揺動は実現される。支軸２３回りでキャリッジアーム２４が揺動すると、浮上ヘッドスライダ２６は半径方向に磁気ディスク１３の表面を横切ることができる。こうした浮上ヘッドスライダ２６の半径方向移動に基づき電磁変換素子は目標の記録トラックに位置決めされる。

ヘッドサスペンション２５の先端には、ヘッドサスペンション２５の先端から前方に延びるロードタブ２８が固定される。ロードタブ２８はキャリッジアーム２４の揺動に基づき磁気ディスク１３の半径方向に移動することができる。ロードタブ２８の移動経路上には磁気ディスク１３の外側でランプ部材２９が配置される。ランプ部材２９の先端は最外周記録トラック１６の外側で非データゾーン１９に向き合わせられる。ランプ部材２９およびロードタブ２８は協働でいわゆるロードアンロード機構を構成する。ランプ部材２９は例えば硬質プラスチック材料から成型されればよい。

いま、磁気ディスク１３の回転が停止する場面を想定する。情報の書き込みや読み出しが完了すると、ＶＣＭ２７は支軸２３回りで順方向にキャリッジ２１を回転させる。キャリッジアーム２４およびヘッドサスペンション２５は磁気ディスク１３の外側に向かって駆動される。図２に示されるように、浮上ヘッドスライダ２６が最外周記録トラック１６を越えてランディングゾーンすなわち非データゾーン１９に向き合うと、ロードタブ２８はランプ部材２９の傾斜面３１に接触する。さらにキャリッジアーム２４が揺動すると、ロードタブ２８は傾斜面３１を登っていく。ロードタブ２８が傾斜面３１を登るにつれて、ヘッドサスペンション２５の先端は磁気ディスク１３の表面から徐々に遠ざかっていく。こうして浮上ヘッドスライダ２６は磁気ディスク１３の表面から引き上げられる。

その後、キャリッジアーム２４がさらに揺動すると、ロードタブ２８は第１平坦面３２から第２平坦面３３まで移動する。ロードタブ２８が最大限に磁気ディスク１３から遠ざかると、浮上ヘッドスライダ２６は待避位置に到達する。こうしてロードタブ２８はランプ部材２９に受け止められる。磁気ディスク１３の回転は停止する。ロードタブ２８はランプ部材２９上に保持されることから、無風状態にも拘わらず浮上ヘッドスライダ２６と磁気ディスク１３との間で接触は回避されることができる。磁気ディスク１３の表面に広がる潤滑剤と浮上ヘッドスライダ２６との吸着は効果的に阻止されることができる。

ＨＤＤ１１が情報の書き込みや読み出しといった指令を受け取ると、まず、磁気ディスク１３の回転が始まる。磁気ディスク１３の回転が定常状態に達すると、ＶＣＭ２７は前述の順方向とは反対の逆方向に支軸２３回りにキャリッジ２１を回転させる。キャリッジアーム２４およびヘッドサスペンション２５は磁気ディスク１３の回転軸に向かって駆動される。ロードタブ２８は第２平坦面３３上、第１平坦面３２上および傾斜面３１上を順番に移動していく。キャリッジアーム２４の揺動に基づきロードタブ２８は傾斜面３１を下っていく。こうしてロードタブ２８が傾斜面３１を下っていく間に浮上ヘッドスライダ２６は磁気ディスク１３の表面に向き合う。浮上ヘッドスライダ２６には回転中の磁気ディスク１３から気流が作用する。こうして浮上ヘッドスライダ２６では浮力が生成される。浮上ヘッドスライダ２６はランプ部材２９から離脱する。浮力の働きで浮上ヘッドスライダ２６は磁気ディスク１３の表面から浮上し続けることができる。

次に浮上ヘッドスライダ２６の構造を詳述する。この浮上ヘッドスライダ２６は、例えば図３に示されるように、平たい直方体に形成されるスライダ本体４１を備える。スライダ本体４１は媒体対向面すなわち浮上面４２で磁気ディスク１３に向き合う。浮上面４２には平坦なベース面４３が規定される。磁気ディスク１３が回転すると、スライダ本体４１の前端から後端に向かって浮上面４２には気流４４が作用する。スライダ本体４１は、例えばＡｌ_２Ｏ_３−ＴｉＣ（アルチック）製の母材４５と、この母材４５の空気流出側端面に積層されるＡｌ_２Ｏ_３（アルミナ）膜４６とで構成されればよい。

スライダ本体４１の浮上面４２では気流４４の上流側すなわち空気流入側でベース面４３から１筋のフロントレール４７が立ち上がる。フロントレール４７はベース面４３の空気流入端に沿って気流４４を横切る左右方向に延びる。同様に、気流４４の下流側すなわち空気流出側ではベース面４３から１対のリアサイドレール４８、４８が立ち上がる。リアサイドレール４８はベース面４３の縁に沿って配置される。リアサイドレール４８同士の間ではベース面４３からリアセンターレール４９が立ち上がる。リアセンターレール４９はベース面４３の空気流出端から空気流入側に向かって前後方向に延びる。

フロントレール４７には、ベース面４３から立ち上がる２筋のサイドレール５１、５１が接続される。サイドレール４８、４８はベース面４３の縁に沿ってフロントレール４７からリアサイドレール５１、５１に向かってそれぞれ前後方向に延びる。サイドレール５１、５１は対応するリアサイドレール４８、４８の手前で途切れる。こうしてサイドレール５１と対応のリアサイドレール４８との間には気流の逃げ道が確保される。同様に、フロントレール４７には、ベース面４３から立ち上がる１筋のセンターレール５２が接続される。センターレール５２はサイドレール５１、５１同士の間でフロントレール４７からリアセンターレール４９に向かって前後方向に延びる。センターレール５２はリアセンターレール４９の手前で途切れる。サイドレール５１、５１およびセンターレール５２は相互に平行に延びればよい。

フロントレール４７、リアサイドレール４８およびリアセンターレール４９の頂上面にはいわゆるＡＢＳ（空気軸受け面）５３、５４、５５が規定される。ＡＢＳ５３、５４、５５はベース面４３から一定の距離でベース面４３に平行に広がる１仮想平面内で広がる。ＡＢＳ５３、５４、５５の空気流入端は段差５６、５７、５８でレール４７、４８、４９の頂上面に接続される。ここでは、段差５６、５７、５８の高さは等しく規定されればよい。

スライダ本体４１には前述の電磁変換素子すなわち読み出し書き込みヘッド素子５９が搭載される。この読み出し書き込みヘッド素子５９はスライダ本体４１のアルミナ膜４６内に埋め込まれる。読み出し書き込みヘッド素子５９の読み出しギャップや書き込みギャップはリアセンターレール４９のＡＢＳ５５で露出する。ただし、ＡＢＳ５５の表面には、読み出し書き込みヘッド素子５９の前端に覆い被さるＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）保護膜が形成されてもよい。

磁気ディスク１３が回転すると、磁気ディスク１３の表面に沿って気流４４が生成される。気流４４はスライダ本体４１の浮上面４２に沿って流れる。このとき、段差５６、５７、５８の働きでＡＢＳ５３、５４、５５には比較的に大きな正圧すなわち浮力が生成される。しかも、フロントレール４７の後方すなわち背後には大きな負圧が生成される。これら浮力および負圧のバランスに基づき浮上ヘッドスライダ２６の浮上姿勢すなわちピッチ角は確立される。スライダ本体４１は空気流出端で最も磁気ディスク１３に接近する。

ＡＢＳ５３、５４、５５から外れた位置でフロントレール４７の頂上面やサイドレール５１、５１およびセンターレール５２の頂上面にはパッド６１、６２、６３が形成される。パッド６１、６２、６３の先端は、ベース面４３からＡＢＳ５３、５４、５５よりも遠い位置でベース面４３に平行に広がる１仮想平面内で規定される。その結果、浮上ヘッドスライダ２６が磁気ディスク１３の表面に受け止められると、スライダ本体４１はパッド６１、６２、６３で支えられる。ＡＢＳ５３、５４、５５と磁気ディスク１３の表面との接触は回避されることができる。スライダ本体４１と磁気ディスク１３との間で接触面積は著しく縮小される。スライダ本体４１と磁気ディスク１３との間で潤滑剤に基づく吸着は防止されることができる。なお、浮上ヘッドスライダ２６の形態はこういった形態に限られるものではない。

この浮上ヘッドスライダ２６では、読み出し書き込みヘッド素子５９から離れた位置で浮上面４２に電荷領域６４が確立される。この電荷領域６４では局所的に電荷が保持される。こういった電荷の保持は例えば浮上面４２に注入される原子イオンに基づき実現されることができる。ここでは、母材４５上のＡＢＳ５５でＢ^＋やＡｓ^＋の電荷領域６４が形成される。

こういった電荷領域６４の形成にあたって例えばイオン注入が用いられればよい。イオン注入は浮上面４２の形成時に実施されればよい。イオン注入に先立って、周知の通りに、１列の浮上ヘッドスライダ２６群を含むウェハーバーがウェハーから切り出されればよい。イオン注入にあたって例えばウェハーバーの表面すなわち浮上面４２にはレジスト膜が形成される。レジスト膜には、電荷領域６４の輪郭を象った空隙が区画される。この空隙は例えば１μｍ程度の距離で読み出し書き込みヘッド素子５９から引き離される。空隙内でウェハーバーの表面には原子イオンが打ち込まれる。浮上面４２では、イオン注入後にＡＢＳ５３、５４、５５が削り出されてもよく、イオン注入に先立って予めＡＢＳ５３、５４、５５が削り出されてもよい。

次にスピンドルモータ１４の構造を詳述する。図４に示されるように、スピンドルモータ１４は例えば筐体本体１２の底板に固定されるブラケット６５を備える。ブラケット６５にはいわゆる流体軸受け６６が組み込まれる。流体軸受け６６ではスリーブ６７の円筒空間に回転軸６８が受け入れられる。スリーブ６７および回転軸６８の間は例えば潤滑油といった流体で満たされる。こういった流体の働きで回転軸６８はスリーブ６７内で軸心回りに高速に回転することができる。回転軸６８の下端には回転軸６８の軸心から遠心方向に広がるスラストフランジ６９が取り付けられる。スラストフランジ６９はスラストプレート７１に受け止められる。スラストフランジ６９およびスラストプレート７１の間は同様に流体で満たされる。

回転軸６８にはスピンドルハブ７２が装着される。スピンドルハブ７２には例えば複数枚の磁気ディスク１３が搭載される。磁気ディスク１３同士の間にはスペーサ７３が挟み込まれる。磁気ディスク１３およびスペーサ７３はクランプ７４およびフランジ７５の間に挟み込まれる。クランプ７４は例えばねじでスピンドルハブ７２に固定されればよい。

ブラケット６５には回転軸６８周りで複数個のコイル７６が固定される。スピンドルハブ７２には複数個の永久磁石７７が固定される。永久磁石７７は、スピンドルハブ７２でコイル７６に向かい合う壁面に配置される。コイル７６に電流が供給されると、コイル７６で磁界が生じる。コイル７６の磁界に応じて永久磁石７７は駆動される。こうして回転軸６８の軸心回りでスピンドルハブ７２の回転は引き起こされる。磁気ディスク１３は回転する。

流体軸受け６６には電圧源７８が接続される。電圧源７８は流体軸受け６６に電圧を印加する。ここでは、スリーブ６７やスラストプレート７１、回転軸６８、スピンドルハブ７２は例えば金属材といった導電性材料から形成される。しかも、流体には所定の導電性が付与される。その結果、電圧源７８の電圧は個々の磁気ディスク１３まで伝達される。電圧源７８はスリーブ６７およびアースの間に接続されてもよくスラストプレート７１およびアースの間に接続されてもよい。磁気ディスク１３に対して電圧の印加が確立される限り、電圧源７８が必ずしも流体軸受け６６に接続される必要はなく、同時に、スリーブ６７やスラストプレート７１、回転軸６８、スピンドルハブ７２の全てに導電性が付与される必要はない。

いま、例えば浮上ヘッドスライダ２６の浮上中に電圧源７８から磁気ディスク１３に電位が印加されると、磁気ディスク１３の表面と浮上ヘッドスライダ２６上の電荷領域６４との間に静電容量が蓄積される。負極の電位が印加されると、引力が生じる。正極の電位が印加されると、斥力が生じる。電位の大きさ（絶対値）が大きければ大きいほど引力や斥力は強まる。こういった引力や斥力と、気流４４に基づく浮力および負圧とのバランスに基づき浮上ヘッドスライダ２６の浮上量は決定される。その結果、浮上ヘッドスライダ２６の浮上量は極限まで縮小されることができる。浮上ヘッドスライダ２６はこれまで以上に確実に磁気ディスク１３の表面に接近することができる。こういった浮上量の縮小は記録密度の高密度化に大いに貢献する。

前述の流体軸受け６６は、例えば図５に示されるように、上下１対の玉軸受け７９、７９に置き換えられてもよい。この場合には、電圧源７８は回転軸６８に接続される。接続にあたってスライドパッド８１が用いられる。このスライドパッド８１は所定の弾性力で回転軸６８の外周面に押し付けられる。回転軸６８の回転中にスライドパッド８１は回転軸６８の表面に接触し続ける。電圧源７８の電圧はスライドパッド８１から回転軸６８およびスピンドルハブ７２を経て磁気ディスク１３に印加される。こういったスライドパッド８１は既存のハードディスク駆動装置に組み込まれる周知のアースパッドから転用されることができる。

本発明者は電荷領域６４の効果を検証した。検証にあたって前述のハードディスク駆動装置１１が用意された。電荷領域６４の形成にあたってＢ^＋のイオン注入が実施された。イオン注入の出力は５［ＭｅＶ］に設定された。濃度は５ｘ１０^３［個／ｃｍ^３］に設定された。ハードディスク駆動装置１１では浮上ヘッドスライダ２６の浮上量が測定された。浮上量の測定にあたって読み出し信号の出力が実測された。出力値は浮上量に換算された。実測にあたって磁気ディスク１３および浮上ヘッドスライダ２６の相対速度は２１．４［ｍ／ｓｅｃ］に設定された。

図６に示されるように、磁気ディスク１３に印加される電位の極性や大きさに応じて浮上ヘッドスライダ２６の浮上量は決定されることが確認された。しかも、磁気ディスク１３に４［Ｖ］の電圧が印加されても、浮上ヘッドスライダ２６と磁気ディスク１３との間で電気火花の発生は観察されなかった。その一方で、検証にあたって本発明者は比較例を用意した。この比較例では浮上ヘッドスライダ２６で電荷領域６４の形成は省略された。しかも、この比較例では、磁気ディスクおよび浮上ヘッドスライダの間で電圧が印加された。本発明者は４［Ｖ］の電圧の印加後に電子顕微鏡で比較例に係る浮上ヘッドスライダの読み出し書き込みヘッド素子を観察した。その結果、比較例に係る浮上ヘッドスライダでは読み出し書き込みヘッド素子の破壊（焼け跡）が観察された。電気火花の発生が確認された。

前述の浮上ヘッドスライダ２６では、例えば図７に示されるように、リアサイドレール４８のいずれか一方や両方でＡＢＳ５４に電荷領域８２が確立されてもよい。こういった電荷領域８２の働きによれば、浮上ヘッドスライダ２６のロールは低減されることができる。ここで、「ロール」は、スライダ本体４１の空気流入端から空気流出端に向かって延びる前後方向中心線回りの回転として定義される。

その他、前述のハードディスク駆動装置１１では、例えば図８に示されるように、いわゆるロードアンロード機構すなわちロードタブ２８やランプ部材２９は省略されてもよい。この場合には、磁気ディスク１３の静止中に磁気ディスク１３に正極の電位が印加され続ければよい。そういった電位によれば、磁気ディスク１３および浮上ヘッドスライダ２６の電荷領域６４の間には斥力が生成される。その結果、無風状態にも拘わらず磁気ディスク１３に対して浮上ヘッドスライダ２６の接触は確実に回避されることができる。

（付記１）媒体対向面で記録媒体に向き合わせられるスライダ本体と、スライダ本体に搭載されるヘッド素子と、スライダ本体の媒体対向面で局所的に電荷を保持し、ヘッド素子から離れた位置に配置される電荷領域とを備えることを特徴とするヘッドスライダ。

（付記２）付記１に記載のヘッドスライダにおいて、前記電荷領域は、前記媒体対向面に注入される原子イオンに基づき確立されることを特徴とするヘッドスライダ。

（付記３）付記１に記載のヘッドスライダにおいて、前記電荷領域は、前記媒体対向面に区画される空気軸受け面に確立されることを特徴とするヘッドスライダ。

（付記４）記録媒体と、媒体対向面で記録媒体に向き合わせられるヘッドスライダと、ヘッドスライダに搭載されるヘッド素子と、ヘッドスライダの媒体対向面で局所的に電荷を保持し、ヘッド素子から離れた位置に配置される電荷領域と、記録媒体に電圧を印加する電圧源とを備えることを特徴とする記録媒体駆動装置。

（付記５）付記４に記載の記録媒体駆動装置において、前記電荷領域は、前記媒体対向面に注入される原子イオンに基づき確立されることを特徴とする記録媒体駆動装置。

（付記６）付記４に記載の記録媒体駆動装置において、前記電荷領域は、前記媒体対向面に区画される空気軸受け面に確立されることを特徴とする記録媒体駆動装置。

（付記７）記録媒体に電圧を印加し、記録媒体に向き合わせられるヘッドスライダおよび記録媒体の間に静電容量を蓄積させることを特徴とするヘッドスライダの制御方法。

本発明の一具体例に係る記録媒体駆動装置すなわちハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）の内部構造を概略的に示す平面図である。ランプ部材の側面図である。本発明の一具体例に係る浮上ヘッドスライダの拡大斜視図である。スピンドルモータ内で流体軸受けの構造を概略的に示すハードディスク駆動装置の拡大部分断面図およびキャリッジの概念図である。スピンドルモータ内で玉軸受けの構造を概略的に示すハードディスク駆動装置の拡大部分断面図およびキャリッジの概念図である。磁気ディスクに印加される電圧と浮上ヘッドスライダの浮上量との関係を示すグラフである。本発明の一変形例に係る浮上ヘッドスライダの拡大斜視図である。本発明の一変形例に係る記録媒体駆動装置すなわちハードディスク駆動装置の内部構造を概略的に示す平面図である。

符号の説明

１１記録媒体駆動装置（ハードディスク駆動装置）、１３記録媒体（磁気ディスク）、２６ヘッドスライダ、４２媒体対向面（浮上面）、５５（５４）空気軸受け面（ＡＢＳ）、５９ヘッド素子、６４電荷領域、７８電圧源。

Claims

媒体対向面で記録媒体に向き合わせられるスライダ本体と、スライダ本体に搭載されるヘッド素子と、前記媒体対向面に注入される原子イオンに基づきスライダ本体の媒体対向面で局所的に電荷を保持し、ヘッド素子から離れた位置に配置される電荷領域とを備え、前記電荷領域および前記記録媒体の間に静電容量を蓄積させることを特徴とするヘッドスライダ。
請求項１に記載のヘッドスライダにおいて、前記電荷領域は、前記媒体対向面に区画される空気軸受け面に確立されることを特徴とするヘッドスライダ。
記録媒体と、媒体対向面で記録媒体に向き合わせられるヘッドスライダと、ヘッドスライダに搭載されるヘッド素子と、前記媒体対向面に注入される原子イオンに基づきヘッドスライダの媒体対向面で局所的に電荷を保持し、ヘッド素子から離れた位置に配置される電荷領域と、記録媒体に電圧を供給する電圧源とを備えることを特徴とする記録媒体駆動装置。
記録媒体に電圧を印加し、記録媒体に向き合わせられるヘッドスライダおよび記録媒体対向面に注入される原子イオンに基づき局所的に電荷を保持する電荷領域の間に静電容量を蓄積させることを特徴とするヘッドスライダの制御方法。