JP4359926B2 - 磁気センサ装置 - Google Patents

Description

本発明は、磁界の変化を検知する電子部品を磁界を発生させる永久磁石とともに収納するための電子部品収納用パッケージに、電子部品と永久磁石とを収納して成る磁気センサ装置に関するものである。

切符等の自動販売機や、ＡＴＭ（Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｔｅｌｌｅｒ Ｍａｃｈｉｎｅ：現金自動支払預入機）等の、磁気記録媒体、例えば磁性粉末を印刷用インク中に混合した紙幣を自動的に検知し、識別する機能を要求される機器においては、磁気記録媒体を自動的に検知，識別するための装置として磁気センサ装置が使用されている。

磁気センサ装置は、一般に、磁界の変化を検知する電子部品を、磁界を発生させる永久磁石（鉄系、フェライト系等）とともに、電子部品収納用パッケージに収納することにより形成されている。

この場合の電子部品収納用パッケージとして、従来一般的に使用されていたものは、有機樹脂等の電気絶縁材料から成り、一方主面に磁石を搭載するための磁石搭載部が形成され、他方主面に電子部品の搭載部が形成された基板と、基板の搭載部から一方主面等にかけて導出された配線導体と、表面に耐磨耗加工を施した金属材料から成り、基板の他方主面の外周部に接合され搭載部を覆う蓋体とを具備する構造である。

電子部品収納用パッケージの搭載部に、Ｉｎ−Ｓｂ，Ｉｎ−Ａｓ，Ｇｅ−Ｓｉ等の、磁界の変化を検知する電子部品を搭載するとともに、その電極を配線導体の露出部分にボンディングワイヤ等を介して電気的に接続し、基体の他方主面に磁石を有機性樹脂接着材等を介して搭載固定した後、蓋体で電子部品を覆って気密封止することにより磁気センサ装置が完成する。

この磁気センサ装置の蓋体の上面に沿って磁気記録媒体を移動させると、磁気記録媒体が永久磁石の発生する磁界中を移動することになり、移動にともなって磁界に変化が生じ、この磁界の変化を電子部品で検知することにより、磁気記録媒体の検知、識別、例えば紙幣の種別の確認等が行われる。

磁気記録媒体は、移送用のベルト（無端ベルト）等に乗った状態で移送され、移送用ベルトの移送面と同じ高さに配置された磁気センサ装置の蓋体の上面に順次送り込まれる。

なお、蓋体を、耐磨耗加工を施した金属材料等で形成するのは、蓋体の表面を極力平滑な面として、磁気記録媒体がスムーズに移動できるようにすることや、蓋体を導電性として、磁界の変化にともなう誘導ノイズが生じることを防ぎ、識別間違いを防ぐこと等のためである。
特開１９９６−２３３８４３号公報 特開１９９５−２４４１４１号公報

しかしながら、上記従来の電子部品収納用パッケージおよび磁気センサ装置においては、蓋体が金属材料で形成されているため、使用する間に磁気記録媒体との接触により蓋体の上面が磨耗しやすく、長期にわたって安定して使用することが難しいという問題があった。

また、金属材料から成る蓋体と、エポキシ樹脂等から成る基板とを互いに取着する手段が、有機樹脂接着剤を用いた接着等であるため、この接着部位における気密封止の信頼性をあまり高くすることができないという問題もあった。

本発明は上記従来の問題に鑑みて案出されたものであり、その目的は、電子部品を確実に気密封止することができるとともに、長期にわたって安定して磁気記録媒体の検知、識別を行うことが可能な、長期信頼性に優れた電子部品収納用パッケージおよび磁気センサ装置を提供することにある。

本発明の磁気センサ装置は、一方主面に外部磁気と磁気的に結合する永久磁石を収容するための凹部が形成され、他方主面に前記永久磁石と前記外部磁気との間に生じる磁界の変化を検出するための電子部品の搭載部が形成された基体と、前記搭載部に形成された電極パッドと、前記搭載部から前記基体の一方主面に導出された配線導体と、前記基体の一方主面に形成され、前記配線導体に電気的に接続された接続パッドと、上面の粗さが算術平均粗さ（Ｒａ）で０．５μｍ以下のセラミックスから成り、前記搭載部を覆って前記電子部品を気密に封止する蓋体とを具備している電子部品収納用パッケージと、前記凹部内に収容された前記永久磁石と、前記搭載部に搭載されるとともに電極が前記電極パッドに電気的に接続された前記電子部品とを具備しており、前記蓋体の上面に沿って移動する磁気記録媒体の磁気情報による前記永久磁石と前記磁気情報との間に生じる磁界の変化を前記電子部品によって検出することを特徴とするものである。

また、本発明の磁気センサ装置は、好ましくは、前記基体は焼結体から成り、前記配線導体は非磁性金属のメタライズ層から成ることを特徴とするものである。

また、本発明の磁気センサ装置は、好ましくは、前記凹部の内側面に磁性の金属層が形成されていることを特徴とするものである。

また、本発明の磁気センサ装置は、好ましくは、前記電極パッドは、リンの含有率が３乃至１０質量％のニッケルめっき層が被着されていることを特徴とするものである。

また、本発明の磁気センサ装置は好ましくは、前記蓋体は、上面と側面との間の角部のうち少なくとも前記磁気記録媒体が通過する部位に、断面形状を曲率半径が０．０５乃至１ｍｍの円弧状とされた面取り部が形成されていることを特徴とするものである。

また、本発明の磁気センサ装置は好ましくは、前記蓋体は、上面と側面との間の角部のうち少なくとも前記磁気記録媒体が通過する部位に、幅が０．０５乃至１ｍｍの面取り部が形成されていることを特徴とするものである。

本発明における電子部品封止用パッケージによれば、一方主面に外部磁気と磁気的に結合する永久磁石を収容するための凹部が形成され、他方主面に永久磁石と外部磁気との間に生じる磁界の変化を検出するための電子部品の搭載部が形成された基体と、搭載部に形成された電極パッドと、搭載部から基体の一方主面に導出された配線導体と、基体の一方主面に形成され、配線導体に電気的に接続された接続パッドと、上面の粗さが算術平均粗さ（Ｒａ）で０．５μｍ以下のセラミックスから成り、搭載部を覆って前記電子部品を気密に封止する蓋体とを具備していることから、永久磁石により磁界を発生させ、その磁界の変化を電子部品により検知することができ、蓋体の上面（露出している主面）に沿って紙幣等の磁気記録媒体を移動させたときに、電子部品により磁気記録媒体の検知、識別を行うことができる。

この場合、蓋体がセラミックスから成り、金属材料に比べて耐摩耗性を高くすることができるため、長期にわたって、磨耗することなく、磁気記録媒体を安定して移動させることができる。

また、蓋体の上面の粗さが算術平均粗さ（Ｒａ）で０．５μｍ以下と平滑であることから、蓋体の上面に沿って磁気記録媒体がスムーズに移動することができ、磁気記録媒体の検知、識別を精度よく行うことができる。

また、蓋体が電気絶縁性のセラミックスから成り、電気絶縁性の基体も同じセラミックスで形成することができるため、セラミックス同士の間で、ろう材やガラス等を介して互いに強固に接合することができるため、電子部品の気密封止の信頼性を極めて優れたものとすることができる。

その結果、電子部品を確実に気密封止することができるとともに、長期にわたって安定して磁気記録媒体の検知、識別を行うことが可能な、長期信頼性に優れた磁気センサ装置を提供することができる。

また、本発明の磁気センサ装置は、好ましくは、基体は焼結体から成り、配線導体は非磁性金属のメタライズ層から成ることから、基体の機械的強度を高くすることができ、クラック等の発生を防いで気密封止の信頼性をより高くすることができる。

また、配線導体が非磁性であるため、磁気検知電気信号が伝送される配線導体が磁界中に存在することに起因して、磁界に変化が生じることをより効果的に防止し、磁気記録媒体の検知、識別をより高精度で行うことができる。

また、焼結体から成る基体と、メタライズ層から成る配線導体とは、例えば、未焼成の基体にメタライズ層となる金属ペーストを塗布しておくことにより、同時焼成で形成することができるため、基体と配線導体との接合を強固なものとすることができ、長期信頼性をより一層優れたものとすることができる。

また、本発明の磁気センサ装置は、好ましくは、凹部の内側面に磁性の金属層が形成されていることから、外部からの電波による誘導ノイズ等のノイズが生じることをより効果的に防止することができ、より精度よく磁気記録媒体の検知、識別を行わせることができる。

また、本発明の磁気センサ装置は、好ましくは、電極パッドは、リンの含有率が３乃至１０質量％のニッケルめっき層が被着されていることから、ニッケルめっき層により、電極パッドに対するボンディング性等を向上させることができ、電子部品の電極を電極パッドにより確実に電気的に接続することができる。また、ニッケルめっき層のリンの含有率が３乃至１０質量％であり、リン成分の作用によりニッケルめっき層の結晶性を低下させて非磁性とすることができる。その結果、電極パッドを、より一層ボンディング性が良好であるとともに磁性が小さいものとすることができ、磁界の変化に応じて電子部品で発生した電気信号を、ノイズ等を生じさせることなく、より確実に外部の電気回路に伝送することができる。

本発明の磁気センサ装置は、上記いずれかの構成の電子部品収納用パッケージと、凹部内に収容された永久磁石と、搭載部に搭載されるとともに電極が電極パッドに電気的に接続された電子部品とを具備しており、蓋体の上面に沿って移動する磁気記録媒体の磁気情報を永久磁石と磁気情報との間に生じる磁界の変化を電子部品によって検出することから、電子部品が確実に気密封止されているとともに、長期にわたって安定して磁気記録媒体の検知、識別を行うことが可能な、長期信頼性に優れた磁気センサ装置を提供することができる。

また、本発明の磁気センサ装置は好ましくは、蓋体は、上面と側面との間の角部のうち少なくとも磁気記録媒体が通過する部位に、断面形状を曲率半径が０．０５乃至１ｍｍの円弧状とされた面取り部が形成されていることから、移送用ベルト等に乗って移送されてきた磁気記録媒体が蓋体の角部に引っかかるようなことがなく、面取り部の表面に沿ってスムーズに蓋体の上面に沿って移動させることができる。

また、本発明の磁気センサ装置は好ましくは、蓋体は、上面と側面との間の角部のうち少なくとも磁気記録媒体が通過する部位に、幅が０．０５乃至１ｍｍの面取り部が形成されていることから、移送用ベルト等に乗って移送されてきた磁気記録媒体が蓋体の角部に引っかかるようなことがなく、面取り部の表面に沿ってスムーズに蓋体の上面に沿って移動させることができる。

次に、本発明における電子部品収納用パッケージおよび本発明の磁気センサ装置を添付の図面に基づき詳細に説明する。

図１は本発明における電子部品収納用パッケージおよび本発明の磁気センサ装置の実施の形態の一例を示す断面図である。

図１において、１は基体、２は電極パッド、３は配線導体、４は接続パッド、５は蓋体である。これら基体１，電極パッド２，配線導体３，接続パッド４および蓋体５により主に電子部品収納用パッケージ９が構成される。

基体１は、酸化アルミニウム質焼結体，ガラスセラミック焼結体，窒化アルミニウム質焼結体，ムライト質焼結体等のセラミック材料や、セラミック粉末を有機樹脂で結合して成るセラミック複合材料等により形成される。

基体１は、一方主面に永久磁石６を収容するための凹部１ａが形成され、他方主面に電子部品７の搭載部１ｂが形成されている。

このような基体１は、例えば酸化アルミニウム質焼結体から成る場合であれば、酸化アルミニウム，酸化ケイ素等の原料粉末を有機溶剤，バインダとともにシート状に成形し複数枚のグリーンシートを得て、これに適当な孔あけ加工を施すとともに上下に積層し、約１６００℃で焼成することにより製作される。

凹部１ａ内に収容される永久磁石６は、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系，Ｓｍ−Ｃｏ系等の希土類の永久磁石であり、凹部１ａの底面に有機樹脂接着剤等の手段により接合固定される。

永久磁石６は、外部磁気と磁気的に結合する磁界を生じさせるためのものであり、凹部１ａ底面への接着固定を容易かつ強固に行えるとともに、外部磁気との結合が大きい、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系，Ｓｍ−Ｃｏ系等の希土類の永久磁石が好適に用いられる。

基体１の他方主面には、電子部品７の搭載部１ｂが形成されている。

電子部品７は、永久磁石が発生する磁界の外部磁気による変化を検知し、その変化に応じて電気信号を発信する機能を有している。この電気信号は、後述するように、電極パッド２や配線導体３、接続パッド４を介して外部の電気回路（図示せず）に伝送される。

電子部品７としては、Ｉｎ−Ｓｂ，Ｉｎ−Ａｓ，Ｇｅ−Ｓｉ等の、電子移動度の大きい半導体材料が用いられる。

基体１の搭載部１ｂから一方主面に、配線導体３が導出されている。

また、基体１の搭載部１ｂには電極パッド２が形成され、基体１の一方主面には配線導体３と電気的に接続された接続パッド４が形成されている。

これらの、配線導体３、電極パッド２および接続パッド４は、電子部品７の電極を基体の外部に導出し、外部の電気回路に電気的に接続する導電路として機能する。

搭載部１ｂに搭載された電子部品７の電極を、ボンディングワイヤ８等の導電性材料を介して電極パッド２に電気的に接続し、接続パッドを外部の電気回路の所定部位に半田等を介して電気的に接続することにより、電子部品７の電極が、電極パッド２、配線導体３および接続パッド４を介して外部の電気回路と電気的に接続され、電子部品７から外部の電気回路に電気信号が伝送される。

これらの、配線導体３、電極パッド２および接続パッド４は、タングステンやモリブデン，銅，銀，パラジウム等の金属材料により形成される。

配線導体３、電極パッド２および接続パッド４は、例えば生産性を考慮して同じ金属材料により形成され、タングステンから成る場合であれば、タングステンの粉末を有機溶剤，バインダとともに混練して作製した金属ペーストを、基体１となるグリーンシートにスクリーン印刷法で印刷しておくことにより形成される。

なお、配線導体３や電極パッド２，接続パッド４は、露出している表面に、ニッケル，金等のめっき層を被着させておくことが好ましい。これにより、酸化腐食をより効果的に防止することができるとともに、ボンディングワイヤのボンディング性や、半田の濡れ性等を向上させることができる。

電子部品７が搭載される搭載部１ｂは、蓋体５により気密封止される。

蓋体５は、上面の粗さが算術平均粗さ（Ｒａ）で０．５μｍ以下のセラミックスから成る。セラミックスとしては、酸化アルミニウム質焼結体，ガラスセラミック焼結体，窒化アルミニウム質焼結体，ムライト質焼結体等を用いることができる。

蓋体５は、例えば酸化アルミニウム質焼結体から成る場合であれば、酸化アルミニウム
，酸化ケイ素等の原料粉末を有機溶剤，バインダとともにシート状に成形してグリーンシートを形成し、このグリーンシートを所定の寸法に切断した後、約１６００℃で焼成することにより製作される。

この蓋体５の上面（露出している主面）に沿って紙幣等の磁気記録媒体を移動させたときに、磁界が変化し、その磁界の変化を電子部品７で検知することにより磁気記録媒体の検知、識別を行うことができる。

この場合、蓋体５がセラミックスから成り、金属材料に比べて耐摩耗性を高くすることができるため、長期にわたって、磨耗することなく、磁気記録媒体を安定して移動させることができる。

また、蓋体５の上面の粗さが算術平均粗さ（Ｒａ）で０．５μｍ以下と平滑であることから、蓋体５の上面に沿って磁気記録媒体がスムーズに移動することができ、磁気記録媒体の検知、識別を精度よく行うことができる。

また、蓋体５が電気絶縁性のセラミックスから成り、電気絶縁性の基体１も同じセラミックスで形成することができるため、セラミックス同士の間で、ろう材やガラス等を介して互いに強固に接合することができるため、電子部品７の気密封止の信頼性を極めて優れたものとすることができる。

その結果、電子部品７を確実に気密封止することができるとともに、長期にわたって安定して磁気記録媒体の検知、識別を行うことが可能な、長期信頼性に優れた電子部品収納用パッケージ９を提供することができる。

蓋体５を形成するセラミックスとしては、耐摩耗性に優れている必要があることから、酸化アルミニウム質焼結体を用いることが好ましい。

また、基体１と蓋体５とは、両者間の熱膨張係数の差に起因する熱応力の発生等を防止し、両者の接合をより強固で長期信頼性に優れたものとするために、同じ材料で形成することが好ましい。

蓋体５の表面の粗さを算術平均粗さ（Ｒａ）で０．５μｍ以下とするには、例えば、機械的な研磨加工を蓋体５の上面に対して施すこと等の方法を用いることができる。

蓋体５は、表面の粗さが、０．５μｍを超えると、検知しようとする磁気記録媒体を傷つけてしまうという不具合を生じる。

従って、蓋体５は、表面の粗さを、算術平均粗さ（Ｒａ）で０．５μｍ以下とする必要がある。

なお、蓋体５の上面の粗さは、磁気記録媒体をスムーズに移動させる上では、算術平均粗さ（Ｒａ）で０．５μｍ以下で、小さいほど良好であるが、０．００５μｍよりも小さい場合、それよりも粗さを小さくしたとしてもあまり有効ではなく、かえって研磨等の加工に要する時間が長く、また加工の精度も高くする必要があるため、電子部品収納用パッケージ９の生産性を低下させてしまう。またコストも高くなる。従って、蓋体５の表面の粗さは、算術平均粗さ（Ｒａ）で０．００５μｍ〜０．５μｍの範囲とすることが好ましい。

また、蓋体５は、下面のうち基体１に接合される部位の表面粗さを、算術平均粗さ（Ｒａ）で１μｍ以上としておくことが好ましい。これにより、蓋体５を基体１に接合するろう材やガラス等との間でアンカー効果を生じ、蓋体５と基体１との接合をより一層強固なものとすることができる。蓋体５の下面のうち基体１に接合される部位の表面粗さを、算術平均粗さ（Ｒａ）で１μｍ以上とするには、例えば、蓋体５の下面にサンドブラスト等の粗化処理を施す等の方法を用いることができる。

また、本発明の磁気センサ装置は、基体１は焼結体から成り、配線導体３は非磁性金属のメタライズ層から成ることが好ましい。

この構成により、基体１の機械的強度を高くすることができ、クラック等の発生を防いで気密封止の信頼性をより高くすることができる。

また、配線導体３が非磁性であるため、比較的弱い電気信号が伝送される配線導体３が磁界中に存在することに起因して、磁界に変化が生じることをより効果的に防止し、磁気記録媒体の検知、識別をより高精度で行うことができる。

また、焼結体から成る基体１と、メタライズ層から成る配線導体３とは、例えば、未焼成の基体（グリーンシート）にメタライズ層となる金属ペーストを塗布しておくことにより、同時焼成で形成することができるため、基体１と配線導体３との接合を強固なものとすることができ、長期信頼性をより一層優れたものとすることができる。

焼結体は、酸化アルミニウム質焼結体，ガラスセラミック焼結体，窒化アルミニウム質焼結体，ムライト質焼結体等のセラミック焼結体である。

また、非磁性金属のメタライズ層としては、タングステンやモリブデン等の金属材料のメタライズ層を用いることができる。

また、本発明の磁気センサ装置は、凹部１ａの内側面に磁性の金属層（図示せず）が形成されていることが好ましい。

この構成により、凹部１ａ内に入り込もうとする電波等を磁性の金属層で吸収、遮断することができるため、外部からの電波による誘導ノイズ等のノイズが生じることをより効果的に防止することができ、より精度良く磁気記録媒体の検知、識別を行わせることができる。

なお、磁性の金属層は、ニッケル、コバルト等の金属材料から成り、めっき法や蒸着法等により形成することができる。

また、本発明の磁気センサ装置は、電極パッド２は、搭載部１ｂに露出している部位にリンの含有率が３乃至１０質量％のニッケルめっき層（図示せず）が被着されていることが好ましい。ニッケルめっき層により、電極パッド２に対するボンディング性等を向上させることができ、電子部品７の電極を電極パッド２により確実に電気的に接続することができる。

また、ニッケルめっき層のリンの含有率が３乃至１０質量％であり、リン成分の作用によりニッケルめっき層の結晶性を低下させて非磁性とすることができる。その結果、電極パッド２を、より一層ボンディング性が良好であるとともに磁性が小さいものとすることができ、磁界の変化に応じて電子部品７で発生した電気信号を、ノイズ等を生じさせることなく、より確実に外部の電気回路に伝送することができる。

この場合、リンの含有率が３質量％未満ではニッケルめっき層が磁性を有し、電気信号を伝送する際にノイズが生じ易くなり、１０質量％を超えるとニッケルめっき層の内部応力が大きくなって電極パッド２に対するめっき層の接合強度が劣化する傾向がある。

なお、配線導体３および接続パッド４も、電極パッド２と同様のニッケルめっき層で被覆しておくと、より確実にノイズ等の発生を防止することができ、磁気記録媒体の検知、識別の精度をより一層高くすることができるので、より一層好ましい。

そして、搭載部１ｂに電子部品７を搭載するとともに、ろう材やガラス、有機樹脂系の接着剤等を介して搭載部１ｂに接合し、電子部品７の電極を電極パッド２にボンディングワイヤ８を介して電気的に接続し、永久磁石６を凹部１ａの底面に有機樹脂接着剤等を介して接合した後、蓋体５で搭載部１ｂを覆うことにより、本発明の磁気センサ装置が形成される。

磁気センサ装置は、蓋体５の上面に沿って移動する磁気記録媒体の磁気情報を永久磁石６と磁気情報との間に生じる磁界の変化を電子部品７によって検出する。

なお、磁気記録媒体を蓋体５の上面に送り込むには、例えば、蓋体５の上面と移送面が同じ高さになるようにして移送用ベルト（無端ベルト等）（図示せず）を配置しておき、この移送用ベルトから順次磁気記録媒体を移送して送り込むこと等の方法を用いることができる。

検出された磁界の変化は、電子部品７により電気信号に変換され、配線導体３を介して外部の電気回路に伝送される。伝送された電気信号により、外部の電気回路が組み込まれた機器（自動販売機等）において、切符の販売等の操作が行われる。

本発明の磁気センサ装置によれば、上記構成の電子部品収納用パッケージ９に、電子部品７と永久磁石６とが搭載、収容されていることから、電子部品７が確実に気密封止されているとともに、長期にわたって安定して磁気記録媒体の検知、識別を行うことが可能な、長期信頼性に優れた磁気センサ装置を提供することができる。

また、本発明の磁気センサ装置において、図２に示すように、蓋体５は、上面と側面との間の角部のうち少なくとも磁気記録媒体が通過する部位に、断面形状を曲率半径が０．０５乃至１ｍｍの円弧状とされた面取り部５ａが形成されていることが好ましい。

また、蓋体５は、上面と側面との間の角部のうち少なくとも磁気記録媒体が通過する部位に、幅が０．０５乃至１ｍｍの面取り部５ｂが形成されていることが好ましい。

なお、図２において図１と同じ部位には同じ符号を付している。

上記面取り部５ａ，５ｂのいずれかを形成した構成により、移送用ベルト等に乗って移送されてきた磁気記録媒体が蓋体５の角部に引っかかるようなことがなく、面取り部５ａ，５ｂの表面に沿ってスムーズに基体１の他方主面に沿って磁気記録媒体を移動させることができる。

面取り部５ａ，５ｂは、研磨加工や切削加工等の加工手段で、蓋体５の上面と側面との間の角部に面取り加工を施すことにより形成される。なお、このような加工は、セラミックスから成る蓋体５をセラミックグリーンシートを積層して製作する際に、そのセラミックグリーンシートの対応する角部に面取り加工を施すことにより形成してもよい。

この場合、面取り部５ａの曲率半径を０．０５乃至１ｍｍとするか、または面取り部５ｂの幅を０．０５乃至１ｍｍの範囲とすることにより、面取り部５ａ，５ｂを十分な大きさとして磁気記録媒体のスムーズな移動をより確実にすることができ、また、面取り部５ａ，５ｂの加工、形成が容易で磁気センサ装置の生産性を良好にすることができる。

また、本発明において、蓋体５の上面が凸状の円弧状等の曲面とされていてもよい。この場合、磁気記録媒体が蓋体５の上面や角部で引っかかるようなことをさらに防止することができる。

基体１および蓋体５を酸化アルミニウム質焼結体で形成し、蓋体５の表面の粗さを表１に示すように変化させて、磁気記録媒体を蓋体５の上面に沿って移動させ、磁気記録媒体に生じる傷等の不具合の発生の有無を確認した。

蓋体５の上面の粗さは、表面研磨の研磨板の粗さにより調節し、粗さの測定は、一般的な、機械的接触により粗さを測定する、表面粗さ計を用いて行なった。

磁気記録媒体としては紙幣を用いた。

蓋体５の上面に沿って紙幣を１０００回移動させた後、紙幣の表面に、磁気の読み取りに支障を生じるような傷が発生しているか否かを目視で確認した。

表１の結果からわかるように、蓋体５の上面の粗さが、算術平均粗さ（Ｒａ）で０．５μｍを超えると、検知しようとする磁気記録媒体を傷つけてしまうという不具合を生じた。

それに対し、蓋体５の上面の粗さが算術平均粗さ（Ｒａ）で０．５μｍ以下の、本発明の範囲内のものでは、紙幣に傷を生じることはなかった。また、紙幣を、蓋体５の上面に沿って確実にスムーズに移動させることができた。また研磨費用、すなわち電子部品収納用パッケージ９のコストも安い。

従って、蓋体５は、表面の粗さを、算術平均粗さ（Ｒａ）で以下とする必要があり、０．００５μｍ〜０．５μｍの範囲とすることが好ましい。

また、蓋体５の上面のＲａが０．３μｍのものについて、蓋体５の上面と側面との間の角部に円弧状の面取り部５ａを形成したものと、一定の幅を有する平面状の面取り部５ｂを形成したものとを作製し、移送ベルトを介して蓋体５の上面に磁気記録媒体を移送し、磁気記録媒体が蓋体５の角部分でひっかかることなくスムーズに移送されるか否かを確認した。試験回数は各条件について１０００回である。

表２および表３より、面取り部５ａの曲率半径が０．０５乃至１ｍｍの範囲または面取り部５ｂの幅が０．０５乃至１ｍｍの範囲では、全く支障なく磁気記録媒体が蓋体５の上面を移動させることができた。また、面取り部５ａの曲率半径が０．０５ｍｍ未満の場合、または面取り部５ｂの幅が０．０５ｍｍ未満の場合、完全に磁気記録媒体が蓋体５の角部で引っかかって止まってしまうような不具合は生じなかったものの、１〜２回程度、磁気録媒体の移動が角部で滞る現象が見られた。また、面取り部５ａの曲率半径が１ｍｍを超える場合、または面取り部５ｂの幅が１ｍｍを超える場合、面取り部５ａ，５ｂの加工に要する時間が長くなり、生産性が低下する傾向が見られた。

従って、蓋体５は、上面と側面との間の角部に断面形状を曲率半径が０．０５乃至１ｍｍの円弧状である面取り部５ａを形成するか、または幅が０．０５乃至１ｍｍの面取り部５ｂを形成することが好ましいことが判った。

なお、本発明は、上述の実施の形態および実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内であれば種々の変更は可能である。例えば、蓋体５の下面および絶縁基体１の上面の互いに接合される面に沿ってろう付け用のメタライズ層（図示せず）を配線導体２と同様の金属材料で形成しておき、ろう材の濡れ性を向上させて、ろう材を介して絶縁基体１と蓋体５との接合強度を向上させるようにしてもよい。

本発明における電子部品収納用パッケージおよび本発明の磁気センサ装置の実施の形態の一例を示す断面図である。 本発明における電子部品収納用パッケージおよび本発明の磁気センサ装置の実施の形態の他の例を示す断面図である。

符号の説明

１・・・基体
１ａ・・・凹部
１ｂ・・・搭載部
２・・・電極パッド
３・・・配線導体
４・・・接続パッド
５・・・蓋体
５ａ，５ｂ・・・面取り部
６・・・永久磁石
７・・・電子部品
９・・・電子部品収納用パッケージ

Claims (6)

1. 一方主面に外部磁気と磁気的に結合する永久磁石を収容するための凹部が形成され、他方主面に前記永久磁石と前記外部磁気との間に生じる磁界の変化を検出するための電子部品の搭載部が形成された基体と、前記搭載部に形成された電極パッドと、前記搭載部から前記基体の一方主面に導出された配線導体と、前記基体の一方主面に形成され、前記配線導体に電気的に接続された接続パッドと、上面の粗さが算術平均粗さ（Ｒａ）で０．５μｍ以下のセラミックスから成り、前記搭載部を覆って前記電子部品を気密に封止する蓋体とを具備している電子部品収納用パッケージと、前記凹部内に収容された前記永久磁石と、前記搭載部に搭載されるとともに電極が前記電極パッドに電気的に接続された前記電子部品とを具備しており、前記蓋体の上面に沿って移動する磁気記録媒体の磁気情報による前記永久磁石と前記磁気情報との間に生じる磁界の変化を前記電子部品によって検出することを特徴とする磁気センサ装置。
2. 前記基体は焼結体から成り、前記配線導体は非磁性金属のメタライズ層から成ることを特徴とする請求項１記載の磁気センサ装置。
3. 前記凹部の内側面に磁性の金属層が形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の磁気センサ装置。
4. 前記電極パッドは、リンの含有率が３乃至１０質量％のニッケルめっき層が被着されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の磁気センサ装置。
5. 前記蓋体は、上面と側面との間の角部のうち少なくとも前記磁気記録媒体が通過する部位に、断面形状を曲率半径が０．０５乃至１ｍｍの円弧状とされた面取り部が形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の磁気センサ装置。
6. 前記蓋体は、上面と側面との間の角部のうち少なくとも前記磁気記録媒体が通過する部位に、幅が０．０５乃至１ｍｍの面取り部が形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の磁気センサ装置。

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