JP4358403B2 - 光検出装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ホトダイオードを用いて微弱な光を検出する光検出装置に関し、詳しくは、大気中の水滴や塵の測定などの環境測定、各種工業分野におけるガスや微量物質の分析、および医療診断などに応用可能な光検出装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
この種の光検出装置として、出願人は、図2に示す光検出装置41を既に開発している。この光検出装置41は、アバランシェホトダイオード4を光検出素子として用いて微弱な近赤外域光を検出可能に構成されている。具体的には、光検出装置41は、断熱壁で囲われた断熱室2を備えている。また、断熱室2内には台座3が配設され、その台座3には、入射光を検出するアバランシェホトダイオード4と、台座3の温度を検出する温度センサ5とが取り付けられている。また、光検出装置41は、台座3を冷却する冷却機11と、冷却機11用の駆動電源を生成する駆動電源12と、温度センサ5のセンサ信号に基づいてアバランシェホトダイオード4の冷却温度を近似的に検出して駆動電源12の出力電力を調整する温度調節器13と、断熱室2内の内気を排出して真空に維持する排気装置14と、アバランシェホトダイオード4のバイアス電圧を生成する直流電圧源15と、アバランシェホトダイオード4の検出信号に基づいてアバランシェホトダイオード4に入射される信号光の入射量を検出する検出部42とを備えている。
【0003】
また、断熱室2には、ケーブル導入用の導入用端子18,18・・および挿通孔19が設けられており、アバランシェホトダイオード4に信号光を入射する光ファイバーケーブル31が挿通孔19を挿通させられた状態で、一端部および他端部が外部の集光光学系およびアバランシェホトダイオード4にそれぞれ接続されている。また、アバランシェホトダイオード4にバイアス電圧を供給するバイアス電圧供給用のケーブル32、アバランシェホトダイオード4の検出信号を検出部42に出力する信号出力用のケーブル33、および温度センサ5のセンサ信号を温度調節器13に出力するセンサ信号出力用のケーブル34の各々の一端部および他端部は、導入用端子18,18・・を介して各部間にそれぞれ接続されている。
【0004】
この光検出装置41では、冷却機11が台座3を設定温度(例えば−150℃)に冷却してアバランシェホトダイオード4をその設定温度に冷却すると共に直流電圧源15がアバランシェホトダイオード4のバイアス電圧を所定電圧に維持する。また、温度調節器13が、温度センサ5のセンサ信号に基づいて、台座3の冷却温度が設定温度となるように駆動電源12を制御して冷却機11を駆動する。この状態において、アバランシェホトダイオード4に信号光を入射することにより、検出部42が、アバランシェホトダイオード4の検出信号に基づいて信号光の入射量を検出する。
【0005】
この場合、アバランシェホトダイオード4は、温度変化に非常に敏感な特性を有している。一方、アバランシェホトダイオード4の冷却温度と断熱室2の外気温度との間には、百数十℃の温度差が生じる。したがって、ケーブル31〜34を介して、断熱室2の外部から台座3に熱が流入し、その熱流入に起因して、アバランシェホトダイオード4の内部温度が変動するおそれがある。このため、この光検出装置41では、いわゆる熱アンカー方式が採用されている。つまり、各ケーブル31〜34の中間部を接着剤などで台座3に接着させて熱的に接触させることによって設定温度に維持している。この結果、冷却機11によって台座3を設定温度に冷却することにより、ケーブル31〜34を介してアバランシェホトダイオード4に流入する熱量が最小かつほぼ一定となるため、アバランシェホトダイオード4の冷却温度を一定に維持することが可能となっている。
【0006】
また、この光検出装置41では、断熱室2の外部から台座3に流入する熱量を低減するために、以下の方式が採用されている。まず、接続ケーブル31〜34として、径が極力細い導体を必要最小限の本数だけ用いることにより、熱が流入する導体の断面積を最小化し、かつ、その長さをある程度長くする。さらに、接続ケーブル32〜34として、その全部または中間の一部に例えばステンレスなどの低熱伝導率の素材を用いる。これにより、接続ケーブル31〜34の熱抵抗が増大する結果、アバランシェホトダイオード4の温度変化が最小となるように工夫されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、この光検出装置41には、以下の改善すべき点がある。すなわち、アバランシェホトダイオード4は、冷却温度の1/100℃単位での変化に対して、その検出特性が非常に敏感に変化する。このため、たとえ、熱アンカー方式などを採用したとしても、断熱室2の外気温度が変動する場合には、接続ケーブル31〜34を介して台座3に流入する熱量も変動する。したがって、台座3を冷却機11で一定温度に冷却しようとしても、冷却機11が台座3への熱流入量の変動に迅速に追従して冷却するのが困難のため、台座3の冷却温度は、熱流入量の変動に起因して微妙に変動する。このため、台座3の冷却温度の変動に起因して、アバランシェホトダイオード4の検出特性が変化する結果、光検出装置41には、光検出精度が低下するおそれがあり、この点を改善すべきとの要請がある。
【0008】
一方、高い冷却能力を有する冷却機で断熱室2全体を一定温度に冷却することにより、アバランシェホトダイオード4の冷却温度を一定温度に維持するのは可能である。しかし、かかる場合には、冷却機自体のコストが大幅に上昇し、かつ大型化する結果、それに応じて、光検出装置が、高価になると共に小型化の要請に反して大型化するという問題が生じる。
【0009】
本発明は、かかる改善すべき点に鑑みてなされたものであり、装置の大幅なコストアップを招くことなく、熱流入に起因して生じる光検出精度の低下を防止可能な光検出装置を提供することを主目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく請求項1記載の光検出装置は、断熱室内に設置され冷却機によって所定温度に冷却される台座と、台座に載置されて入射光を検出するホトダイオードと、一端部が外部装置に接続されると共に他端部がホトダイオードに接続され、かつ一端部および他端部の間の中間部位が台座に接触させられる接続用導体とを備え、恒温手段は、一面が断熱室内に位置する電子冷却素子と、断熱室の外部に配設されると共に電子冷却素子の他面に熱伝導可能に連結された放熱器と、電子冷却素子の一面の表面温度を検出する温度センサと、温度センサの検出温度に応じて電子冷却素子を駆動することにより一面を所定の一定温度に恒温化制御する制御部とを備えて構成されていることを特徴とする。なお、ホトダイオードには、アバランシェホトダイオードやPINホトダイオードなどの光検出用ダイオードが含まれる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る光検出装置の好適な実施の形態について説明する。なお、出願人が既に開発している光検出装置41と同一の構成要素については、同一の符号を付して重複した説明を省略する。
【0013】
光検出装置1は、波長0.9μm〜1.55μmの近赤外域光を光パワー0.0001pW〜10pWの範囲で高検出効率で検出可能に構成されている。具体的には、光検出装置1は、図1に示すように、台座3が内部に配設されて真空状態に維持される断熱室2、本発明におけるホトダイオードに相当するアバランシェホトダイオード4、温度センサ5、冷却機11、駆動電源12、温度調節器13、排気装置14および直流電圧源15を備えると共に、アバランシェホトダイオード4を流れる電流信号を増幅してパルス電圧に変換する増幅器16と、CPUまたはDSPで構成され、増幅器16から出力されるパルス電圧を内蔵のカウンタによってカウントして光子数を計測する計測部17とを備えている。この場合、アバランシェホトダイオード4は、雪崩増幅作用を生じ易い動作領域で作動するように直流電圧源15によってバイアス電圧が設定されており、微弱な信号光が入射した際には雪崩増幅作用によって入射光を光電変換し、検出信号としての電流信号を増幅器16に出力する。また、冷却機11は、例えばスターリングクーラー、電子冷却素子、または液体窒素を利用した冷却装置などで構成され、温度調節器13によって設定された温度に台座3を冷却する。
【0014】
一方、光ファイバーケーブル31は、挿通孔19を挿通させられた状態で、その一端部が断熱室2の外部に配置された集光光学系に接続されている。また、各ケーブル32〜34の各々の一端部が、ケーブル導入用の導入用端子18,18・・に接続され、各導入用端子18,18・・は、直流電圧源15、増幅器16および温度調節器13にそれぞれ接続されている。さらに、各ケーブル31〜33(本発明における接続用導体に相当する)の他端部は、アバランシェホトダイオード4に接続されると共に、その中間部は、台座3に接触させられて所定温度に冷却されている。また、ケーブル34の他端部は、温度センサ5に接続され、その中間部が、台座3に接触させられて所定温度に冷却されている。
【0015】
さらに、光検出装置1は、本発明における恒温手段として、電子冷却素子であるペルチェモジュール21、放熱器22、温度センサ23、ペルチェモジュール21を駆動するための駆動電源24、および本発明における制御部に相当し、導入用端子18を介してセンサ信号出力用のケーブル35で温度センサ23に接続された温度調節器25とを備えている。この場合、ペルチェモジュール21は、その一面が断熱室2内に位置するように断熱壁に取り付けられおり、温度調節器25の制御に従って駆動電源24から供給される電流の向きに応じて放熱器22を加熱または冷却する。つまり、ペルチェモジュール21は、電流が一方の向きに流れるときには、その一面から放熱器22に熱を移動することにより、その一面を冷却する。逆に、電流が他方の向きに流れるときには、ペルチェモジュール21は、放熱器22側の他面から一面に熱を移動することにより、その一面を加熱する。一方、放熱器22は、外気によって冷却されたり、外気から熱を奪ったりすることにより、外気温度に近い温度に維持される。この結果、ペルチェモジュール21の一面は、温度調節器25の制御下で、設定温度に冷却または加熱されると共に、その設定温度を維持するよう制御される。
【0016】
また、放熱器22は、フィンが外部に突出するように断熱室2に取り付けられて、例えば接着剤によってその基部面にペルチェモジュール21の他面が接着されることにより、その基部面がペルチェモジュール21の他面に熱伝導可能に連結されている。温度センサ23は、サーミスタ、白金抵抗体または温度検出用集積回路などで構成され、ペルチェモジュール21の一面に取り付けられると共に、その一面の表面温度に応じたセンサ信号を温度調節器25に出力する。駆動電源24は、温度調節器25の制御に従い、ペルチェモジュール21に供給する電流の向きを可変する。温度調節器25は、温度設定が可能に構成され、温度センサ23によって検出されたペルチェモジュール21の一面の温度が設定温度と等しくなるように、駆動電源24から出力される電流の向きを制御する。
【0017】
次に、光検出装置1の全体的な動作について説明する。
【0018】
最初に、台座3の冷却温度(例えば−150℃)を温度調節器13に設定する。これにより、温度調節器13が、駆動電源12を制御して冷却機11に駆動用電源を供給させ、温度センサ5のセンサ信号に基づいてフィードバック制御することにより台座3の冷却温度を設定温度に維持する。この結果、アバランシェホトダイオード4がその設定温度に冷却される。
【0019】
また、ペルチェモジュール21の一面側の温度(例えば10℃)を温度調節器25に設定する。これにより、温度調節器25は、温度センサ23のセンサ信号に基づいて駆動電源24の出力電流の向きを制御する。これにより、ペルチェモジュール21は、放熱器22に熱を放出し、その一面を設定温度まで冷却する。この際に、放熱器22は、外気によって冷却されることにより外気温度に近い温度に維持される。この後、温度調節器25は、ペルチェモジュール21の一面側の表面温度が設定温度と等しくなるように、駆動電源24に対して、出力電流をペルチェモジュール21に供給させ続ける。一方、例えば、ペルチェモジュール21の表面温度が設定温度よりも低下した場合、温度調節器25は、温度センサ23のセンサ信号に基づいて駆動電源24の出力電流の向きを逆向きに制御する。これにより、ペルチェモジュール21の一面側の表面温度が、上昇して設定温度に維持される。
【0020】
この結果、ペルチェモジュール21の一面側の表面温度が能動的に設定温度に保たれる。したがって、たとえ外気温度が変動したとしても、各ケーブル31〜34におけるペルチェモジュール21への接触部位(本発明における所定部位に相当する)が強制的にペルチェモジュール21の表面温度に維持されるため、各ケーブル31〜34を介して台座3に流入する熱量が一定となる。このため、台座3は、外部からの熱流入に影響されることなく、冷却機11によって一定温度に冷却される。同時に、アバランシェホトダイオード4は、台座3によって安定的に一定温度に冷却されるため、その検出精度が極めて向上する。この場合、ペルチェモジュール21を用いた温度制御は、液体窒素やガスなどの冷媒を用いる方式と比較して、設定温度への追従性が速く、かつ温度安定性が非常に優れ、しかも、小型化できると共にそのコストを安くすることができる。したがって、光検出装置1全体としても、それ程のコストアップを招くことなく、小型化することができる。また、ペルチェモジュール21の表面温度を極めて安定な一定温度に維持できるため、各ケーブル31〜34の良否を判別することもできる。つまり、冷却機11に供給される駆動電源12の供給電力を監視し、基準となる供給電力と大きく異なるときには、各ケーブル31〜34に異常が生じていることを判別できる。また、駆動電源12の供給電力を監視することで、各ケーブル31〜34におけるペルチェモジュール21との接触部位から台座3に流入する熱量を最小化するための改善評価作業を行うことができる。
【0021】
入射光の検出時には、図外の集光光学系における絞りを閉じることによって、アバランシェホトダイオード4に対する信号光の入射を遮断する。続いて、この状態において、増幅器16が、アバランシェホトダイオード4を流れる暗電流に応じた検出信号をパルス信号に変換し、計測部17が、所定のしきい値を超えるパルス信号の数をカウントする。次いで、集光光学系における絞りを開くことによって信号光をアバランシェホトダイオード4に入射させる。この状態において、計測部17が、所定のしきい値を超えるパルス信号の数をカウントし、信号光が入射状態のときのカウント値から、信号光が遮断されている状態のときのカウント値を減算することによって、信号光のみに対応するカウント値を算出する。この場合、信号光の入射が遮断状態のときの雑音量に相当するカウント値が正確に相殺されるため、信号光の入射量を高精度で検出することができる。
【0022】
このように、この光検出装置1によれば、各ケーブル31〜34における導入用端子18側の所定部位をペルチェモジュール21で恒温化することにより、台座3の冷却温度を極めて安定的に一定温度に維持することができ、これにより、アバランシェホトダイオード4の検出精度を向上させることができる。また、ペルチェモジュール21を用いることにより、恒温化用の空気、水および油などの熱媒体を用いないため、熱媒体を循環させるためのパイプやポンプなどを不要にすることができる。このため、光検出装置1の小型化、軽量化、低消費電力化および低価格化を図ることができる。さらに、電気的に恒温化するため、熱時定数が大きい熱媒体を加熱・冷却する場合と比較して、極めて短時間で各ケーブル31〜34を設定温度に維持することができると共に、設定温度に達した後には、各ケーブル31〜34の表面温度のオーバーシュートを回避でき、しかも、外気温度の変動に対して応答性よく各ケーブル31〜34の表面温度を設定温度に維持することができる。
【0023】
なお、本発明は、上記した発明の実施の形態に示した構成に限定されない。例えば、本発明における電子冷却素子については、ペルチェ素子を用いたペルチェモジュール21に限らず、電子的に熱を移動させる各種素子を用いることが可能である。また、恒温手段によって維持される温度は、本発明の実施の形態に示した温度に限定されず、外気温度と無関係の任意の温度に規定することができる。
【0024】
さらに、ケーブル32〜34を導入用端子18に接続することなく、その一端部を外部装置に直接的に接続する構成を採用できるのは勿論である。また、計測部17による光検出方式も本発明の実施の形態に示した方式に限らず、例えば、計測部17がアバランシェホトダイオード4を流れる電流値を検出することによって入射光量を検出してもよい。
【0025】
【発明の効果】
以上のように、請求項1記載の光検出装置によれば、恒温手段が接続用導体の所定部位を所定の一定温度に維持することにより、台座の冷却温度を極めて安定的に一定温度に維持することができ、これにより、ホトダイオードの動作条件を高精度で一定条件に維持することができる結果、微弱な入射光を高精度で検出することができる。
【0026】
また、この光検出装置によれば、電子冷却素子、放熱器、温度センサおよび制御部によって恒温手段を構成したことにより、簡易に構成できると共に、恒温化用の熱媒体を用いないため、パイプやポンプなどを不要にすることができる。これにより、光検出装置の小型化、軽量化、低消費電力化および低価格化を図ることができる。さらに、電気的に恒温化するため、熱時定数が大きい熱媒体を加熱・冷却する場合と比較して、極めて短時間で各接続用導体を一定温度に維持することができると共に、その温度に達した後には、各接続用導体の表面温度のオーバーシュートを回避でき、しかも、外気温度の変動に対して応答性よく、その表面温度を一定温度に維持することができる。加えて、保守が不要で取り扱い易く、さらに、無振動・無騒音化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る光検出装置1の構成を示す透視図である。
【図2】出願人が既に開発している光検出装置41の構成を示す透視図である。
【符号の説明】
1 光検出装置
2 断熱室
3 台座
4 アバランシェホトダイオード
11 冷却機
17 計測部
21 ペルチェモジュール
22 放熱器
23 温度センサ
24 駆動電源
25 温度調節器
31 光ファイバーケーブル
32〜35 ケーブル
Claims (1)
- 断熱室内に設置され冷却機によって所定温度に冷却される台座と、当該台座に載置されて入射光を検出するホトダイオードと、一端部が外部装置に接続されると共に他端部が前記ホトダイオードに接続され、かつ一端部および他端部の間の中間部位が前記台座に接触させられる接続用導体とを備え、前記ホトダイオードの検出信号に基づいて前記入射光の入射量を検出する光検出装置において、
前記接続用導体における前記中間部位よりも前記一端部側の所定部位を前記断熱室内において所定の一定温度に維持する恒温手段を備え、
前記恒温手段は、一面が前記断熱室内に位置する電子冷却素子と、前記断熱室の外部に配設されると共に前記電子冷却素子の他面に熱伝導可能に連結された放熱器と、前記電子冷却素子の前記一面の表面温度を検出する温度センサと、当該温度センサの検出温度に応じて前記電子冷却素子を駆動することにより前記一面を前記所定の一定温度に恒温化制御する制御部とを備えて構成されていることを特徴とする光検出装置。
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