JP4348455B2 - 撮像装置 - Google Patents
撮像装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4348455B2 JP4348455B2 JP34983498A JP34983498A JP4348455B2 JP 4348455 B2 JP4348455 B2 JP 4348455B2 JP 34983498 A JP34983498 A JP 34983498A JP 34983498 A JP34983498 A JP 34983498A JP 4348455 B2 JP4348455 B2 JP 4348455B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- photodetector
- imaging
- image
- encoder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は撮像装置、特に連続移動する試料を予め定めた撮像期間中に静止画として撮像することができる撮像装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
LSIや液晶表示装置の微細なパターンの欠陥を検出する光学式パターン欠陥検査装置が実用化されている。このようなパターン欠陥検査装置では、欠陥検査を高速で行うことが強く要請されており、従って検査すべき試料の像を高速で撮像できる撮像装置の開発が急務の課題となっている。
【0003】
従来、パターン欠陥検査装置に用いられる撮像装置として、試料を間欠的に移動させ、試料の停止期間中に試料をフラット照明し、試料からの反射光を2次元撮像装置で撮像する方法が用いられていた。
【0004】
別の撮像装置として、連続的に移動する試料に対してストロボ照明を行い、試料像を撮像する方法も用いられている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ストロボ照明を利用する撮像装置では、極めて短い時間パルス中に照明を投射するため、観察すべき試料を連続的に移動させながら撮像でき、従って欠陥検査を高速で行うことができる利点がある。しかしながら、ストロボ照明では、気体の放電を利用しているためワンショット毎の光量のバラツキが大きく、しかも特定の波長光を選択的に使用することができない欠点がある。
【0006】
試料ステージをステップ送りしながら試料を撮像する方式では、試料ステージを間欠的に移動させるため、ステージの移動速度の制御が困難になる不具合がある。さらに、ステージを静止して撮像するため照明光の利用効率は高い利点があるものの、撮像時間が長くなり検査速度が遅くなる不具合が生じている。このように、従来の撮像装置では、検査速度を上げると共に照明光を有効に利用できる撮像装置は存在していなかった。
【0007】
従って、本発明の目的は、照明光を有効に利用できる共に検査速度を上げることができる撮像装置を実現することにある。
【0008】
本発明による撮像装置は、撮像すべき試料を支持する試料ステージと、
試料ステージを一方向に時間的に連続して移動させるステージ移動装置と、
前記試料ステージの位置を検出するエンコーダと、
照明光を発生する照明光源を含み、試料上でフラット照明を行う照明光学系と、
2次元アレイ状に配置した複数の受光素子を有し、試料像を撮像する光検出器と、
試料からの光を前記光検出器上に結像する結像光学系と、
前記試料と光検出器との間に配置され、一方向にそって連続移動する試料からの光を、試料の同一の部位からの光が撮像期間中にわたって前記光検出器に入射するように偏向する光偏向装置と、
前記エンコーダからの出力信号に基づいて、前記光偏向装置を駆動するための駆動信号を発生する駆動信号発生回路と、
前記エンコーダからの出力信号に基づいて、前記光検出器の撮像期間を規定するシャッタ装置とを具え、
一方向に沿って連続的に移動する試料の像を、撮像期間中静止画像として撮像することを特徴とする。
【0009】
本発明では、撮像時間を短くし検査速度を高くするため、試料を連続的に移動させながら試料を撮像する。一方、移動する試料をぼけることなく撮像するには、撮像期間を短くして撮像しなければならず、照明光量が大幅に低下してしまう。そこで、本発明では、試料と2次元撮像装置との間の光路中に振動ミラーやガルバノミラーのような光偏向器を配置し、所定の撮像期間にわたって試料からの光を、試料の移動方向に対応する方向に沿って試料の移動速度に対応する速度で偏向する。このように構成すれば、2次元撮像装置から試料を見た場合、撮像期間中試料は静止した状態に見えるので、光量不足になる不具合を解消することができる。
【0010】
一方、光偏向器によるビーム偏向を試料の移動に対して独立して行ったのでは、撮像期間中にわたって試料の同一の照明領域を2次元撮像装置に入射させることは困難である。そこで、本発明では、試料を支持する試料ステージにステージの位置情報を検出するエンコーダを設け、このエンコーダからの出力信号を用いて光偏向器駆動信号を発生させ、試料ステージと光偏向器とを連動させる。このように連動させることにより、所定の撮像期間にわたって試料の照明領域を2次元撮像装置に対して静止させることができる。特に、試料ステージの移動速度に変化が生じても、光偏向装置は試料ステージの移動に応じて光偏向動作を行うため、撮像期間中にわたって常時鮮明な画像を撮像することができる。
【0011】
さらに、本発明では、撮像期間を規定するためにシャッタ装置を設け、エンコーダの出力信号に基づいてシャッタの動作を制御する。振動ミラーのような機械的な駆動機構を用いる偏向器の場合、駆動開始から駆動終了まで全駆動期間中にわたって一定の移動速度に維持することは極めて困難である。このため、エンコーダからの出力信号を用いて振動ミラーの駆動期間中のなかで最も安定な期間を選択して撮像期間として規定する。この結果、機械的な駆動機構を用いて照明光を偏向させても撮像期間中2次元撮像装置に対して試料を常時正確に静止させることができる。このように構成することにより、試料像の歪みの発生等の不具合を防止することができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
図1は本発明による撮像装置の一例の構成を示す線図である。本例では、LSIのウエファ、フォトマスク、液晶表示装置の基板等の各種のパターンが形成されている基板の欠陥検査に用いられる撮像装置について説明する。例えば、水銀ランプやハロゲンランプのような照明光源1から試料上で面照明を行うための照明光を発生する。この照明光源の出射側には波長選択性フィルタのような種々の光学素子を配置することができる。照明光はハーフミラー2で反射し対物レンズ3を介して試料ステージ4に支持されている試料5に入射する。従って、試料5は一様な照度の照明光によりフラット照明されることになる。本例では、試料ステージ4としてxyステージを用い、x及びy方向駆動機構(図示せず)により試料ステージ4をx及びy方向に連続的に移動可能にする。試料ステージ4には、x及びy方向の座標位置を検出するエンコーダ6を連結する。この位置検出装置として、種々の形態のものを用いることができ、例えばロータリーエンコーダやリニァエンコーダ並びに光学式のエンコーダをも用いることができる。
【0013】
本例では、試料ステージ4は矢印aで示すx方向に一定の速度で移動し、試料5は照明光源1からの照明光により一定の照度で照明されることになる。試料5の表面で反射した照明光は再び対物レンズ3及びハーフミラー2を経てリレーレンズ6に入射し、このリレーレンズ6を経て光偏向装置として機能する振動ミラー7に入射する。振動ミラー7はリレーレンズ7の瞳位置に配置し、画像の歪み等の発生を防止する。試料からの反射光は振動ミラー8で反射し、2次元アレイ状に配置され電荷蓄積能力を有する複数の光検出素子を具える光検出器9に入射し、試料表面の2次元画像を光検出器9により撮像する。この光検出器9として、本例ではシャッタ機能を有する2次元CCDカメラで構成する。
【0014】
振動ミラー8は入射する光を所定の方向に時間的に連続して偏向する光偏向器として機能し、試料ステージ4の移動速度に対応する速度で矢印b方向に回転し、試料5上の同一の撮像領域からの照明光が撮像期間中に常時光検出器9に入射するように、すなわち撮像期間中光検出器9が試料の同一の領域を撮像するように設定する。この状態を図2に示す。図2において、照明光源1により照明される領域を円形の領域10として図示し、試料は矩形の領域5で示し、光検出器9により撮像される領域は破線により符号11で示す。撮像期間の開始時t1 において試料5は実線で示す位置に位置し、撮像期間中矢印a方向に移動し、撮像期間の終了時t2 において破線5’で示す位置までに移動するものとする。光検出器9により撮像される試料上の撮像領域11は撮像期間の開始時t1 において11で示す位置に存在し、撮像期間中振動ミラー8による試料のa方向の移動と対応する回動により矢印で示す方向(試料の移動方向と同一の方向)に移動して撮像期間の終了時t2 において11’で示す位置に存在する。このように構成することにより、撮像期間中試料からの同一の領域からの照明光だけが光検出器8に入射し、光検出器8は試料の同一の領域の像を静止画として撮像することになる。一方、CCDカメラは電荷蓄積能力を有しているから、CCDカメラは撮像期間中にわたって静止物体の像を撮像することになり、試料が移動しても画像のボケ等が発生することなく十分な照明光量を得ることができ、十分に高いS/N比の試料像を撮像することができる。
【0015】
次に、振動ミラー8の駆動回路について説明する。振動ミラー8が試料5の移動と正確に対応していない場合ボケた不鮮明な画像しか撮像できないため、振動ミラー8の回転駆動を試料5の移動に高精度に対応させる必要がある。本発明では、試料ステージ4にエンコーダ6に連結し、エンコーダ6によりステージ4の移動位置を検出する。エンコーダ6は位置情報をパルスとして出力するので、この出力パルスをカウンタ20に供給する。カウンタ20はエンコーダからの出力パルスをインクリメントしながら計数し、その計数値をD/A変換器21に供給してアナログ信号に変換する。そして、増幅器22により増幅した後駆動電流として振動ミラー8に供給する。この駆動電流の一例を図3に示す。本例では、駆動電流の1サイクルが掃引期間と戻り期間から構成される三角波を用いる。尚、この駆動電流は一例であり、正弦波等の種々の波形の駆動電流を用いることができる。このように構成すれば、カウンタ20の計数値が振動ミラーの駆動信号となり、振動ミラーと試料ステージとを正確に連動させることができる。
【0016】
次に、シャッタ機能について説明する。撮像期間の開始時及びと終了時付近では、振動ミラーに作用する加速度が大きいため誤差が生ずる危険性がある。そのため、本発明では、図3に示す駆動電流の掃引期間中のほぼ中央の一部分の時間期間T0 だけを撮像期間として用いる。この動作を図1を参照して説明する。カウンタ20の出力信号を比較器23に供給する。比較器23は、第1及び第2のの基準値n1 及びn2 を有し、カウンタの出力が第1の基準値n1 に到達した時光検出器9に第1のトリガを供給する。CCDカメラで構成される光検出器9は電子式のシャッタ機能を有しているので、第1のトリガが供給されるとシャッタが開放し、振動ミラーからの照明光を受光する。次に、カウンタ20の出力が第2の基準値n2 に到達すると、比較器23から光検出器9に第2のトリガが供給され、光検出器9は受光動作を終了する。このように構成することにより、振動ミラーが安定して動作する時間期間だけを撮像期間として規定することができ、一層鮮明な画像を得ることができる。
【0017】
本発明は上述した実施例だけに限定されず種々の変形や変更が可能である。例えば、上述実施例では、反射型の撮像装置を例にして説明したが、勿論透過型の撮像装置にも適用することができる。また、光偏向器として振動ミラーを用いたが、例えばガルバノミラーのように時間に対して連続して出射方向を変えることができる各種の光偏向器を用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による撮像装置の一例の構成を示す線図である。
【図2】移動する試料上での照明光及び光検出器の撮像領域を示す線図である。
【図3】振動ミラーの駆動信号の一例を示す線図である。
【符号の説明】
1 照明光源
2 ハーフミラー
3 対物レンズ
4 試料ステージ
5 試料
6 エンコーダ
7 リレーレンズ
8 振動ミラー
9 光検出器
20 カウンタ
21 D/A変換器
22 増幅器
23 比較器
Claims (1)
- 撮像すべき試料を支持する試料ステージと、
試料ステージを一方向に時間的に連続して移動させるステージ移動装置と、
前記試料ステージの位置を検出するエンコーダと、
照明光を発生する照明光源を含み、試料上でフラット照明を行う照明光学系と、
2次元アレイ状に配置した複数の受光素子を有し、試料像を撮像する光検出器と、
試料からの光を前記光検出器上に結像する結像光学系と、
前記試料と光検出器との間に配置され、一方向にそって連続移動する試料からの光を、試料の同一の部位からの光が撮像期間中にわたって前記光検出器に入射するように偏向する光偏向装置と、
前記エンコーダからの出力信号に基づいて、前記光偏向装置を駆動するための駆動信号を発生する駆動信号発生回路と、
前記エンコーダからの出力信号に基づいて、前記光検出器の撮像期間を規定するシャッタ装置とを具え、
一方向に沿って連続的に移動する試料の像を、撮像期間中静止画像として撮像することを特徴とする撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34983498A JP4348455B2 (ja) | 1998-12-09 | 1998-12-09 | 撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34983498A JP4348455B2 (ja) | 1998-12-09 | 1998-12-09 | 撮像装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000171719A JP2000171719A (ja) | 2000-06-23 |
JP4348455B2 true JP4348455B2 (ja) | 2009-10-21 |
Family
ID=18406434
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34983498A Expired - Lifetime JP4348455B2 (ja) | 1998-12-09 | 1998-12-09 | 撮像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4348455B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5188724B2 (ja) * | 2007-02-05 | 2013-04-24 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡システム、該制御装置、及び該撮像方法 |
IL211761B (en) * | 2010-03-24 | 2019-06-30 | Camtek Ltd | Scanning during acceleration supports a test system element |
US9628676B2 (en) | 2012-06-07 | 2017-04-18 | Complete Genomics, Inc. | Imaging systems with movable scan mirrors |
JP6289044B2 (ja) * | 2013-11-15 | 2018-03-07 | オリンパス株式会社 | 観察装置 |
JP6667395B2 (ja) * | 2016-07-22 | 2020-03-18 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置 |
CN110582715B (zh) * | 2017-03-03 | 2022-04-29 | 雅普顿生物系统公司 | 具有加速跟踪的高速扫描系统 |
EP3614190A1 (en) * | 2018-08-20 | 2020-02-26 | Till GmbH | Microscope device with virtual objective |
US20220317429A1 (en) * | 2019-09-02 | 2022-10-06 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Microscope and method for imaging an object using a microscope |
JP7473191B2 (ja) | 2020-08-11 | 2024-04-23 | 国立大学法人東海国立大学機構 | 光学顕微鏡システムおよび視野拡張画像の生成方法 |
-
1998
- 1998-12-09 JP JP34983498A patent/JP4348455B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000171719A (ja) | 2000-06-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR910000617B1 (ko) | 영상 픽업 장치 | |
JP2711042B2 (ja) | クリーム半田の印刷状態検査装置 | |
JP4348455B2 (ja) | 撮像装置 | |
US4700225A (en) | Method and apparatus for testing pattern of a printed circuit board | |
JP3105702B2 (ja) | 光学式欠陥検査装置 | |
JPH0333645A (ja) | 表面状態検査装置、露光装置、及び表面状態検査方法 | |
JP4890039B2 (ja) | 共焦点型撮像装置 | |
JP2014062940A (ja) | 検査装置 | |
JP4696607B2 (ja) | 表面検査装置 | |
JP3135063B2 (ja) | 比較検査方法および装置 | |
JP2003237031A (ja) | スクリーン印刷用アライメント装置 | |
JPH0438325B2 (ja) | ||
JPH11326233A (ja) | 材料表面検査装置 | |
JP2009075068A (ja) | パターン検査装置及びパターン検査方法 | |
CN113834818A (zh) | 基于频闪切换照明的掩膜版缺陷检测方法及系统 | |
JP3223483B2 (ja) | 欠陥検査方法とその装置 | |
JP2007133006A (ja) | 露光機の故障検出装置 | |
JP2001227932A (ja) | マスク検査装置 | |
JP2008292221A (ja) | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 | |
JP6906823B1 (ja) | マスク検査方法及びマスク検査装置 | |
JP3316829B2 (ja) | 比較検査方法とその装置 | |
JPH09250912A (ja) | パターン測定装置 | |
JPS60245240A (ja) | 欠陥検査方法および装置 | |
JPH0629178A (ja) | 露光方法及び露光装置 | |
CN118566121A (zh) | 一种检测方法、系统、终端设备以及存储介质 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20030612 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20040114 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051206 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060718 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20080903 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20080905 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20080930 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090120 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090304 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090304 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090414 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090507 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090630 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090701 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120731 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120731 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130731 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |