JP4343882B2 - ガス検出装置 - Google Patents
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Description
前記測定光を前記受光部の受光面上に集光させるとともに前記測定光の中心波長を含む測定波長範囲以下の波長の光だけを通過させ、前記測定波長範囲以上の波長の光を減衰させるハイパスフィルタとして機能する集光レンズ3と、該集光レンズと前記受光部との間の光路上に配置され、前記測定波長範囲以上の波長の光だけを通過させ、前記測定波長範囲以下の波長の光を減衰させるローパスフィルタとして機能する半導体基板7との組み合わせからなる帯域制限フィルタ4を前記受光部の前段の光路上に備えたことを特徴とする。
前記測定光を前記受光部の受光面上に集光させる集光レンズ3と、
前記集光レンズと前記受光部との間の光路上に配置され、前記測定光の中心波長を含む測定波長範囲以下の波長の光だけを通過させ、前記測定波長範囲以上の波長の光を減衰させるハイパスフィルタとして機能するガラス部材8と、該ガラス部材と並んで配置され、前記測定波長範囲以上の波長の光だけを通過させ、前記測定波長範囲以下の波長の光を減衰させるローパスフィルタとして機能する半導体基板7との組み合わせからなる帯域制限フィルタ4を前記受光部の前段の光路上に備えたことを特徴とする。
前記受光部5は、前記測定波長範囲の長波長側の透過率を制限するべく、前記測定波長範囲内の波長の光を所定の透過率で受光し、その他の波長の光を減衰して受光することを特徴とする。
2 ケース(装置本体)
2a 開口部
3 集光レンズ
4 帯域制限フィルタ
5 受光部
6 信号変換部
7 半導体基板
8 ガラス部材
Claims (3)
- 測定ガス雰囲気中を通過してきた測定光を受光する受光部(5)を有し、該受光部が受光した測定光に基づいてガスの有無を検出する半導体レーザ吸収分光方式のガス検出装置(1)において、
前記測定光を前記受光部の受光面上に集光させるとともに前記測定光の中心波長を含む測定波長範囲以下の波長の光だけを通過させ、前記測定波長範囲以上の波長の光を減衰させるハイパスフィルタとして機能する集光レンズ(3)と、該集光レンズと前記受光部との間の光路上に配置され、前記測定波長範囲以上の波長の光だけを通過させ、前記測定波長範囲以下の波長の光を減衰させるローパスフィルタとして機能する半導体基板(7)との組み合わせからなる帯域制限フィルタ(4)を前記受光部の前段の光路上に備えたことを特徴とするガス検出装置。 - 測定ガス雰囲気中を通過してきた測定光を受光する受光部(5)を有し、該受光部が受光した測定光に基づいてガスの有無を検出する半導体レーザ吸収分光方式のガス検出装置(1)において、
前記測定光を前記受光部の受光面上に集光させる集光レンズ(3)と、
前記集光レンズと前記受光部との間の光路上に配置され、前記測定光の中心波長を含む測定波長範囲以下の波長の光だけを通過させ、前記測定波長範囲以上の波長の光を減衰させるハイパスフィルタとして機能するガラス部材(8)と、該ガラス部材と並んで配置され、前記測定波長範囲以上の波長の光だけを通過させ、前記測定波長範囲以下の波長の光を減衰させるローパスフィルタとして機能する半導体基板(7)との組み合わせからなる帯域制限フィルタ(4)を前記受光部の前段の光路上に備えたことを特徴とするガス検出装置。 - 前記受光部(5)は、前記測定波長範囲の長波長側の透過率を制限するべく、前記測定波長範囲内の波長の光を所定の透過率で受光し、その他の波長の光を減衰して受光することを特徴とする請求項1又は2記載のガス検出装置。
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