JP2017026345A - ガス成分検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ガス成分検出装置100、200、300は、光源3と、検出部5と、信号出力部95と、を備える。光源3は、検出対象成分と相互作用する波長範囲を少なくとも含む測定光Lmをダクト50内に照射する。検出部5は、測定光Lmのうち、光散乱粒子P及び/又はダクト50の内壁51’により散乱及び/又は反射されてきた検出光Ldを検出する。信号出力部95は、検出部5により検出された検出光Ldの強度に基づいて、ダクト50内を流れるガスSGに検出対象成分が含まれるか否かの判定に用いられる判定信号を出力する。
【選択図】図1
Description
上記のシステムにおいて排ガス中の水銀を検知するために、例えば特許文献1に開示されたような、排ガス中の水銀の吸光量から水銀の濃度を測定する水銀分析装置が用いられる。
本発明の一見地に係るガス成分検出装置は、ダクト内を流れるガスに含まれる検出対象成分の有無を検出するための装置である。ガス成分検出装置は、光源と、検出部と、信号出力部と、を備える。
光源は、検出対象成分と相互作用する波長範囲を少なくとも含む測定光をダクト内に照射する。検出部は、測定光のうち、ダクトの内壁及び/又はダクト内に存在する光散乱粒子により散乱及び/又は反射されてきた検出光を検出する。信号出力部は、検出部により検出された検出光の強度に基づいて、ダクト内を流れるガスに検出対象成分が含まれるか否かの判定に用いられる判定信号を出力する。
これにより、ダクトを流れるガスをサンプリングすることなく、当該ガス中の検出対象成分を短時間に検出できる。その結果、ガス中の検出対象成分の有無を判定するための信号を短時間に出力できる。
これにより、ダクトを流れるガス中に検出対象成分が含まれるか否かを判定するために必要な信号を、判定信号として出力できる。
これにより、1種類の信号のみから短時間に検出対象成分の有無を判定できる。
これにより、検出対象成分以外による影響と検出対象成分の存在による影響とを同時に測定し、これらの情報を判定信号に含めることができる。
これにより、検出対象成分の存在による影響のみを含む信号から、検出対象成分を精度良く検出できる。
これにより、ダクトを流れるガスに光散乱粒子がほとんど含まれない場合でも、検出光を検出できる。また、測定光のダクト内における光路長を一義的に決定できる。その結果、検出対象成分の有無のみでなく、その濃度も測定できる。
(1−1)ガス成分検出装置の構成
本実施形態のガス成分検出装置100の構成を、図1を用いて説明する。図1は、第1実施形態に係るガス成分検出装置の構成を示す図である。本実施形態に係るガス成分検出装置100は、焼却炉や化学プラントなどの煙道50(ダクトの一例)を流れる排ガスSG中の水銀(検出対象成分の一例)を検出するための装置である。
ガス成分検出装置100は、筐体1を備える。筐体1は、ガス成分検出装置100の本体を形成する。また、筐体1の開口部O1にはフランジ部1aが形成されている。フランジ部1aは、煙道50の側壁51の開口部O2に形成されたフランジ部51aと接続されている。これにより、筐体1は、筐体1の内部空間Sと煙道50とが接続された状態にて、側壁51に固定される。
その他、光源3としては、水銀ランプ、紫外線領域の光を発生できるLED又はレーザダイオード(LD)などを用いることもできる。
これにより、第1検出部5aは、例えば、水銀に吸光される波長を中心とした±5nm(例えば、254nm±5nm)の波長範囲の光を相互作用成分光Ld1として検出できる。
これにより、第2検出部5bは、例えば、水銀と相互作用しない波長を中心とした±5nm(例えば、470nm±5nm)の波長範囲の光をバックグラウンド光Ld2として検出できる。
なお、図1に示すように、本実施形態において、筐体1は、煙道50中の排ガスSGの流れに対して垂直になるよう側壁51に固定されている。しかし、これに限られず、筐体1を排ガスSGの流れに対して斜めになるように固定してもよい。
ガス成分検出装置100は、パージガスGPを煙道50内の光学窓OWの近辺に供給するパージガス導入部10を備えていてもよい。これにより、光学窓OWの光散乱粒子Pなどによる汚染を抑制できる。
次に、制御部9の構成について図3を用いて説明する。図3は、制御部の構成を示す図である。制御部9は、CPUと、記憶装置(RAM、ROMなど)と、A/D、D/Aコンバータなどの各種インターフェースとを備えたコンピュータシステムである。以下に説明する制御部9の各機能の一部又は全部は当該コンピュータシステムにより動作可能なプログラムにより実現されていてもよい。当該プログラムは記憶装置に記憶されてもよい。制御部9の各機能の一部又は全部は、カスタムICにより実現されていてもよい。
制御部9は、集光制御部93を有する。集光制御部93は、外部からの集光制御指令に基づいて、集光部7のレンズ及び/又は凹面鏡を光路軸A上にて移動させる。
なお、制御部9は、判定部97を有していてもよい。判定部97は、信号出力部95からの判定信号に基づいて、排ガスSG中に水銀が含まれているか否かを判定し、判定結果を検出信号として外部へ出力する。水銀の有無の具体的な判定方法については、後ほど詳しく説明する。
なお、この実施形態では判定部97は制御部9内に配置されているが、判定部97は制御部9の外部のシステムに設けられ、制御部9が判定信号を当該外部のシステムに出力するようにしてもよい。
次に、本実施形態に係るガス成分検出装置100の動作を説明する。水銀の検出の開始前に、まず、集光制御部93によって集光部7を制御し、煙道50内の所望の位置に焦点Fを結ぶ。焦点Fの位置は、例えば、排ガスSG中の光散乱粒子Pの濃度が高いときには煙道50の手前側(筐体1が取り付けられた側)に設定され、光散乱粒子Pの濃度が低いときには煙道50の奥側に設定される。
その他、排ガスSG中に光散乱粒子Pがほとんど存在しない場合には、図4に示すように、焦点Fを側壁51の煙道50側の表面(内壁51’と呼ぶ)に結ぶ。図4は、焦点を内壁に結んだ状態を示す図である。これにより、測定光Lmを散乱させる光散乱粒子Pがほとんど存在しない場合であっても、内壁51’にて反射して煙道50を通過した測定光Lmを検出光Ldとして検出できる。
内壁51’にて反射した測定光Lmの光路長は、パージガスGPを光学窓OWの近辺に導入しない場合には、フランジ部1aとフランジ部51aとの接続部分から、フランジ部1a、51aの接続部分とは反対側の内壁51’までの距離W1(図4)の2倍(2W1)となる。
一方、パージガスGPが光学窓OWの近辺に導入される場合、内壁51’にて反射した測定光Lmの光路長は、煙道50の幅W2(図4)の2倍(2W2)となる。なぜなら、パージガスGPが導入される場合、フランジ部51aの空間部分には、排ガスSGがほとんど存在しないからである。
第2強度Id2と第1強度Id1との差に基づいて水銀の有無を判定することにより、水銀の有無の影響のみを含んだ情報から、水銀の有無を精度よく判定できる。
上記の第1実施形態においては、検出部5は第1検出部5aと第2検出部5bとを備えていた。しかし、これに限られず、第2実施形態に係るガス成分検出装置200では、図6に示すように、検出部5は第1検出部5aのみを有する。図6は、第2実施形態に係るガス分析装置の構成を示す図である。
この場合、信号出力部95は、相互作用成分光Ld1の第1強度Id1に関する情報のみを含む判定信号を生成し出力する。
例えば、図7に示すように、第1強度Id1の時間的な変化量SD(ΔId1/ΔT)が、第1の値Th1以上となったときに、排ガスSG中に水銀が含まれていると判定する。図7は、第1強度のみから水銀の有無を判定する方法を示す図である。この場合、第1の値Th1は、バックグラウンド光Ld2の第2強度Id2の時間的な変化量SB(ΔId2/ΔT)の最大値よりも大きな値とすることが好ましい。
その他、時間的な変化量SDが第1の値Th1以上である状態が所定の時間以上連続した場合に、排ガスSG中に水銀が含まれていると判定してもよい。
このように、第1強度Id1に関する情報のみからでも、排ガスSG中の水銀の有無を短時間に判定できる。
上記の第1実施形態及び第2実施形態においては、測定光Lmは排ガスSGの流れに対して垂直に導入され、検出部5は、排ガスSGの流れに対して垂直な方向に戻ってきた測定光Lmを検出光Ldとして検出していた。
しかし、これに限られず、第3実施形態に係るガス成分検出装置300においては、図8に示すように、測定光Lmが、排ガスSGの流れに垂直な方向に対して第1角度θ1の角度を有して導入されている。検出部5は、排ガスSGの流れに垂直な方向に対して第2角度θ2の角度を有して戻ってきた測定光Lmを検出光Ldとして検出している。図8は、第3実施形態に係るガス成分検出装置300の構成を示す図である。
上記の場合、検出部5にてより強度の強い検出光Ldを検出するために、第1角度θ1と第2角度θ2とを等しくするのが好ましい。第1角度θ1と第2角度θ2は、それぞれ、調整可能となっていてもよい。
また、測定光Lmの導入角度と検出光Ldの検出角度とを、排ガスSGの流れに対して垂直な角度からずらした場合には、光源3と検出部5(及び集光部7)とを、個別の筐体に収納して、それぞれを側壁51に個別に取り付けることもできる。
以上、本発明の複数の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態及び変形例は必要に応じて任意に組み合せ可能である。
(A)検出対象成分の他の実施形態
上記の第1〜第3実施形態においては、水銀を検出対象成分としていたが、検出部5にて検出する相互作用成分光Ld1及び/又はバックグラウンド光Ld2の波長範囲を適宜変更することにより、窒素酸化物(NOx)、硫黄酸化物(SOx)、水、一酸化炭素(CO)など他の成分を検出対象成分とできる。
上記の第1〜第3実施形態において、光源3は、時間的に変化しない波長範囲の測定光Lmを発生していた。しかし、これに限られず、特に光源3をLDなどのレーザにより構成した場合には、光源3であるLDに入力する電流/電圧を時間的に変化させることにより、測定光Lmの波長範囲を時間的に変化できる。この場合には、第1バンドパスフィルタBP1及び/又は第2バンドパスフィルタBP2は不要となる。
LDなどにより測定光Lmの波長範囲を時間的に変化する場合には、相互作用成分光Ld1及びバックグラウンド光Ld2を、それぞれ、例えば、測定対象成分と相互作用する波長を中心とした±0.5nmの波長範囲の光、及び、測定対象成分と相互作用しない波長を中心とした±0.5nmの波長範囲の光とできる。
1 筐体
1a フランジ部
3 光源
31 光路変更部材
5 検出部
5a 第1検出部
5b 第2検出部
7 集光部
9 制御部
91 光源制御部
93 集光制御部
95 信号出力部
97 判定部
10 パージガス導入部
50 煙道
51 側壁
51’ 内壁
O1、O2 開口部
51a フランジ部
BP1 第1バンドパスフィルタ
BP2 第2バンドパスフィルタ
BS ビームスプリッタ
OW 光学窓
A 光路軸
F 焦点
P 光散乱粒子
SG 排ガス
GP パージガス
Lm 測定光
Ld 検出光
Ld1 相互作用成分光
Id1 第1強度
Ld2 バックグラウンド光
Id2 第2強度
SB、SD 時間的な変化量
Th1 第1の値
Th2 第2の値
θ1 第1角度
θ2 第2角度
W1 距離
W2 煙道の幅
Claims (8)
- ダクト内を流れるガスに含まれる検出対象成分の有無を検出するための装置であって、
前記検出対象成分と相互作用する波長範囲を少なくとも含む測定光を前記ダクト内に照射する光源と、
前記測定光のうち、前記ダクトの内壁及び/又は前記ダクト内に存在する光散乱粒子により散乱及び/又は反射されてきた検出光を検出する検出部と、
前記検出部により検出された検出光の強度に基づいて、前記ダクト内を流れるガスに前記検出対象成分が含まれるか否かの判定に用いられる判定信号を出力する信号出力部と、
を備えたガス成分検出装置。 - 前記検出部は、前記検出光のうち、前記検出対象成分と相互作用する波長範囲の光である相互作用成分光を検出する第1検出部を有し、
前記信号出力部は、前記相互作用成分光の強度に関する情報を含む信号を前記判定信号として出力する、
請求項1に記載のガス成分検出装置。 - 前記ダクト内を流れるガスに前記検出対象成分が含まれると判定されるのは、前記相互作用成分光の強度の時間的な変化量が第1の値以上となった場合である、請求項2に記載のガス成分検出装置。
- 前記検出部は、前記検出光のうち、前記検出対象成分の存在により影響を受けない波長範囲の光であるバックグラウンド光を検出する第2検出部をさらに有し、
前記信号出力部は、前記バックグラウンド光の強度に関する情報をさらに含む信号を、前記判定信号として出力する、
請求項2に記載のガス成分検出装置。 - 前記ダクト内を流れるガスに前記検出対象成分が含まれると判定されるのは、前記相互作用成分光の強度と前記バックグラウンド光の強度との差が第2の値以上となった場合である、請求項4に記載のガス成分検出装置。
- 前記測定光の焦点を前記ダクトの内壁に結ぶ集光部をさらに備え、
前記信号出力部は、前記検出光のうち、前記ダクトの内壁から反射及び/又は散乱された成分の強度に基づいて、前記検出対象成分の濃度を算出可能な信号を出力する、
請求項1〜5のいずれかに記載のガス成分検出装置。 - 前記検出対象成分は水銀である、請求項1〜6のいずれかに記載のガス成分検出装置。
- 前記光源は、キセノンランプ、LED、又はレーザダイオードから選択される、請求項1〜7のいずれかに記載のガス成分検出装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019052994A (ja) * | 2017-09-19 | 2019-04-04 | 横河電機株式会社 | フーリエ分光分析装置 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108562540A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-09-21 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 光学测试装置 |
CN109596541A (zh) * | 2018-11-07 | 2019-04-09 | 北京东方安杰科技有限公司 | 一种光源状态检测系统及其检测方法 |
JPWO2022220145A1 (ja) * | 2021-04-13 | 2022-10-20 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS509482A (ja) * | 1973-05-22 | 1975-01-30 | ||
JPS63259438A (ja) * | 1987-04-15 | 1988-10-26 | Osaka Gas Co Ltd | 管内の水または水蒸気の測定装置 |
JPH0628720U (ja) * | 1992-09-17 | 1994-04-15 | 関西電力株式会社 | ガス総量測定装置 |
US5679957A (en) * | 1996-01-04 | 1997-10-21 | Ada Technologies, Inc. | Method and apparatus for monitoring mercury emissions |
CN101290283A (zh) * | 2008-06-04 | 2008-10-22 | 太原中绿环保技术有限公司 | 激光后向散射测尘设备的探头装置 |
JP2009036714A (ja) * | 2007-08-03 | 2009-02-19 | Canon Inc | 光学濃度センサー及び光学濃度センサーを搭載した画像形成装置 |
CN101694460A (zh) * | 2009-10-16 | 2010-04-14 | 东南大学 | 烟气污染物浓度的自适应差分吸收光谱测量方法及装置 |
CN102313720A (zh) * | 2010-07-05 | 2012-01-11 | 西克麦哈克有限公司 | 用于气体分析的光电装置和方法 |
US20120161022A1 (en) * | 2009-03-11 | 2012-06-28 | Thomson Murray J | Apparatus for continuous in situ monitoring of elemental mercury vapour, and method of using same |
JP2013019894A (ja) * | 2011-07-12 | 2013-01-31 | Sharp Corp | 流体浄化・流体浄化度測定システム、および方法 |
JP2013092524A (ja) * | 2011-10-24 | 2013-05-16 | Alstom Technology Ltd | データ取得方法 |
JP2014182106A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-09-29 | Horiba Ltd | 温度計 |
JP2015072278A (ja) * | 2008-06-10 | 2015-04-16 | エックストラリス・テクノロジーズ・リミテッド | 粒子の検出 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4227991B2 (ja) * | 2005-12-28 | 2009-02-18 | トヨタ自動車株式会社 | 排ガス分析装置および排ガス分析方法 |
JP2008175611A (ja) * | 2007-01-17 | 2008-07-31 | Fuji Electric Systems Co Ltd | ガス濃度測定装置およびガス濃度測定方法 |
JP5190700B2 (ja) * | 2008-11-14 | 2013-04-24 | 株式会社Ihi | 気体成分濃度測定装置 |
US8638439B2 (en) * | 2009-05-11 | 2014-01-28 | Gasporox Ab | Apparatus and method for non-intrusive assessment of gas in packages |
CN102639983A (zh) * | 2009-12-04 | 2012-08-15 | 西门子公司 | 用于在管道气体监控系统中确定光学测量路径长度的方法 |
EP2525210B1 (de) * | 2011-05-16 | 2014-06-04 | Sick Ag | Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung einer Konzentration einer Messkomponente in einem Gas |
EP2711688B1 (en) * | 2011-05-20 | 2020-09-02 | HORIBA, Ltd. | Measuring unit and gas analyzing apparatus |
JP6416453B2 (ja) * | 2011-08-12 | 2018-10-31 | 株式会社堀場製作所 | ガス分析装置 |
JP2013127385A (ja) * | 2011-12-19 | 2013-06-27 | Fuji Electric Co Ltd | レーザ式ガス分析計 |
CN203324177U (zh) * | 2013-02-01 | 2013-12-04 | 深圳市理邦精密仪器股份有限公司 | 一种测量气体浓度的装置 |
CN103543124A (zh) * | 2013-06-26 | 2014-01-29 | 天津大学 | 一种基于软件锁相的可调激光吸收光谱气体检测方法 |
CN103528983B (zh) * | 2013-10-23 | 2016-01-20 | 山东省科学院海洋仪器仪表研究所 | 一种气体检测装置及气体检测方法 |
CN203616250U (zh) * | 2013-12-18 | 2014-05-28 | 天津科技大学 | 一种用于监测农产品运输车车厢中氨气含量的装置 |
CN203772736U (zh) * | 2014-04-18 | 2014-08-13 | 廊坊开元高技术开发公司 | 一种抗干扰汞蒸气测量装置 |
-
2015
- 2015-07-16 JP JP2015142206A patent/JP6523840B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2016
- 2016-07-13 CN CN201610550431.4A patent/CN106353263A/zh active Pending
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS509482A (ja) * | 1973-05-22 | 1975-01-30 | ||
JPS63259438A (ja) * | 1987-04-15 | 1988-10-26 | Osaka Gas Co Ltd | 管内の水または水蒸気の測定装置 |
JPH0628720U (ja) * | 1992-09-17 | 1994-04-15 | 関西電力株式会社 | ガス総量測定装置 |
US5679957A (en) * | 1996-01-04 | 1997-10-21 | Ada Technologies, Inc. | Method and apparatus for monitoring mercury emissions |
JP2009036714A (ja) * | 2007-08-03 | 2009-02-19 | Canon Inc | 光学濃度センサー及び光学濃度センサーを搭載した画像形成装置 |
CN101290283A (zh) * | 2008-06-04 | 2008-10-22 | 太原中绿环保技术有限公司 | 激光后向散射测尘设备的探头装置 |
JP2015072278A (ja) * | 2008-06-10 | 2015-04-16 | エックストラリス・テクノロジーズ・リミテッド | 粒子の検出 |
US20120161022A1 (en) * | 2009-03-11 | 2012-06-28 | Thomson Murray J | Apparatus for continuous in situ monitoring of elemental mercury vapour, and method of using same |
CN101694460A (zh) * | 2009-10-16 | 2010-04-14 | 东南大学 | 烟气污染物浓度的自适应差分吸收光谱测量方法及装置 |
CN102313720A (zh) * | 2010-07-05 | 2012-01-11 | 西克麦哈克有限公司 | 用于气体分析的光电装置和方法 |
JP2013019894A (ja) * | 2011-07-12 | 2013-01-31 | Sharp Corp | 流体浄化・流体浄化度測定システム、および方法 |
JP2013092524A (ja) * | 2011-10-24 | 2013-05-16 | Alstom Technology Ltd | データ取得方法 |
JP2014182106A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-09-29 | Horiba Ltd | 温度計 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019052994A (ja) * | 2017-09-19 | 2019-04-04 | 横河電機株式会社 | フーリエ分光分析装置 |
US11073424B2 (en) | 2017-09-19 | 2021-07-27 | Yokogawa Electric Corporation | Fourier spectroscopic analyzer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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