JP4341821B2

JP4341821B2 - 固体電解コンデンサー用の陽極素子の製造方法及び装置並びに固体電解コンデンサー

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Publication number: JP4341821B2
Application number: JP2003307980A
Authority: JP
Inventors: 四郎儘田; 信宏清水
Original assignee: エイチ・シー・スタルク株式会社
Priority date: 2003-08-29
Filing date: 2003-08-29
Publication date: 2009-10-14
Anticipated expiration: 2023-08-29
Also published as: JP2005079348A

Description

本発明は、例えばタンタルやニオブ等の誘電体金属粉末を使用した固体電解コンデンサー用の陽極素子の製造方法及び装置並びに製造された陽極素子を使用した個体電解コンデンサーに係り、さらに詳細には、金属粉末内へのリード線の先端部の埋設（埋植）が容易な製造方法及び構成がより簡素な製造装置に関する。

従来、タンタルやニオブ等の金属粉末を金型に備えたキャビティ内に充填した後、上記金属粉末内にリード線の先端部を挿入し、前記金属粉末を圧縮成形して金属粉末とリード線とを一体化することが行われている。この場合、リード線の先端部に座屈等の変形を生じ易いという問題がある。そこで、金型におけるキャビティ内にリード線の先端部を予め突出した後に、上記キャビティ内に金属粉末を充填して圧縮成形する技術が開発されている（例えば特許文献１参照）。
特開平８−８８１５２号公報

前記特許文献１に記載の構成は、図６，図７に示すように、拡縮自在の多角形のキャビティＣＡを区画形成するように、複数の移動型１０１が固定型１０３の上面に移動自在に載置してある。上記各移動型１０１は直角三角形状であって、隣接した各移動型１０１の側面は互に摺動自在に接触して拘束し合った状態にある。

そして、前記キャビティＣＡを縮小する方向へ移動するために、前記各移動型１０１の外側面には、前記キャビティＣＡの中心を中心として放射方向へ同期して往復動自在の各加圧ロッド１０５の先端部が当接してあり、また前記各移動型１０１を元の位置に戻すために、前記各移動型１０１と固定型１０３との間にはそれぞれリターンスプリング１０７（図７参照）が弾装してある。

上述のごとき構成において、前記固定型１０３の下方位置に配置したリード線供給手段１０９により、前記固定型１０３の中心に備えた貫通孔１０３Ｈからリード線１１１の先端部（上端部）を、図７（Ａ）に示すように、前記キャビティＣＡ内に所定長さ突出する。その後、前記移動型１０１上を移動自在の金属粉末供給手段１１３における粉末収納部１１３Ａを前記キャビティＣＡ上に位置決めし、キャビティＣＡ内に金属粉末を充填するものである（図７（Ｂ）参照）。

次に、前記金属粉末供給手段１１３における蓋部１１３ＢをキャビティＣＡの上部に位置せしめてキャビティＣＡの上部を閉止した後、前記加圧ロッド１０５の作動により前記各移動型１０１を内方向へ移動して、前記キャビティＣＡ内の金属粉末を圧縮形成し、リード線１１１の先端部と一体化するものである（図７（Ｃ）参照）。

その後、前記固定型１０３の適宜下側に備えたカッター１１５によってリード線１１１を切断すると共に前記加圧ロッド１０５を元の位置へ復帰することにより、縮小した状態のキャビティＣＡを拡大し、かつキャビティＣＡの上側から前記金属粉末供給手段１１３を適宜に退避した後、前記キャビティＣＡ内からリード線を一体的に備えた圧縮成形品１１７を上方向へ取り出すものである（図７（Ｄ）参照）。

したがって、特許文献１に記載の構成によれば、リード線の先端部に座屈等の不都合を与えることなく、金属粉末とリード線とを一体化することができる。しかし、特許文献１に記載の構成においては、固定型に設けた貫通孔からのリード線を上方向に突出する構成であるから、金属粉末が前記貫通孔に詰り易いという問題がある。キャビティからの圧縮成形品の取り出しをリード線供給手段とは別個に設けなければならず、構成がより複雑になるという問題があると共に、生産性の向上を図る上において問題がある。

本発明は前述のごとき問題に鑑みてなされたもので、固体電解コンデンサー用の陽極素子の製造方法であって、固定型上に配置した複数の移動型によって形成されたキャビティ内に金属粉末を充満させる工程と、前記金属粉末内にリード線の先端部を埋設するに先立って前記キャビティを拡大する工程と、前記金属粉末内にリード線の先端部を埋設した後に前記キャビティを縮小して前記金属粉末を圧縮成形すると共に前記リード線と金属粉末とを一体化する工程と、前記キャビティを拡大して圧縮成形体を前記キャビティから取り出す工程とを有する固体電解コンデンサー用の陽極素子の製造方法である。

また、本発明は、固体電解コンデンサー用の陽極素子の製造装置であって、固定型上に拡縮自在のキャビティを画成すべく互に拘束し合って前記固定型上に移動自在に設けられた複数の移動型と、前記キャビティ内に金属粉末を供給するための金属粉末供給手段と、前記キャビティ内の金属粉末内へリード線の先端部を埋設するためにリード線を供給するリード線供給手段と、前記金属粉末内へリード線の先端部を埋設するときに前記キャビティを拡大するためのキャビティ拡大手段とを備えた構成である。

また、本発明は、前記陽極素子製造装置において、前記複数の移動型による前記キャビティの拡縮動作と前記金属粉末供給手段の供給動作と前記リード線供給手段の供給動作の各動作を、共通のアクチュエータの動作に関連付けるための関連動作手段を備えている構成である。

また、本発明は、前記陽極素子製造装置において、前記複数の移動型を作動するための第１のアクチュエータと、前記金属粉末供給手段を作動するための第２のアクチュエータと、前記リード線供給手段を作動するための第３のアクチュエータと、前記第１，第２，第３のアクチュエータを関連付けて制御するための制御装置とを備えている構成である。

また、本発明は、上記陽極素子製造装置において、前記リード線供給手段は、前記キャビティ内において圧縮成形された圧縮成形体を取り出すための取出手段を兼用する構成である。

また、本発明は、前記製造方法によって製造された陽極素子を使用した固体電解コンデンサーであって、前記陽極素子の表面に形成した二酸化マンガン又は導電性高分子からなる導電性被覆層、この導電性被覆層の表面に形成したカーボン層と、このカーボン層の表面に形成した銀ペースト層と、この銀ペースト層に電気的に接続した陰極外部電極と、前記陽極素子に備えたリード線に電気的に接続した陽極外部電極と、前記銀ペースト層を覆いかつ前記陰極外部電極及び陽極外部電極を一体化したモールド樹脂とを備えてなることを特徴とする固体電解コンデンサーに関する。

本発明によれば、複数の移動型によって形成されたキャビティ内の金属粉末内へリード線の先端部の埋設が容易であると共に、上記リード線を供給するためのリード線供給手段が前記キャビティの蓋及び圧縮成形後の圧縮成形体をキャビティから取り出すための取出手段を兼用することができ、構成がより簡単になるものである。

概念的、概略的に示す図１を参照するに、個体電解コンデンサー用の陽極素子を製造するための製造装置１は、装置全体を支持するための機枠（図示省略）を備えており、この機枠には、上面を平面に形成した円柱形状の固定型３（図３参照）が固定的に備えられている。そして、上記固定型３の上面には、例えばタンタルやニオブ等の誘電体金属粉末５（図３参照）を圧縮成形するためのキャビティＣＡを区画形成するための複数の移動型７が移動自在に設けられている。

より詳細には、前記各移動型７は、図２に示すように、正多角形のガイド枠部材９の内面に沿って移動自在かつ隣接した移動型７に対して側面を移動自在に摺接し、各移動型７の頂部付近によって前記キャビティＣＡを囲繞するように区画形成してある。

換言すれば、前記ガイド枠部材９は、本例においては正四角形状の枠体に形成してあり、かつ各移動型７は野球のホームベース状の五角形状に形成してあって、各移動型７の底部７Ａは前記ガイド枠部材９の内面９Ａに沿って直線的に移動自在に摺接してあり、かつ各移動型７の三角形状の頂部７Ｂの両辺７Ｃは隣接した移動型７の頂部７Ｂの両辺７Ｃと互に移動自在に摺接してある。そして、前記各移動型７の頂部７Ｂ側によって多角形状の前記キャビティＣＡが区画形成してある。

前記キャビティＣＡは、前記各移動型７を、ガイド枠部材９の内面９Ａに沿って移動して各移動型７の各頂部７Ｂを互に接近することにより縮小され、逆に前記各頂部７Ｂを互に離反することにより拡大されるものである。

前記キャビティＣＡの拡縮を行うように前記各移動型７を前記ガイド枠部材９の内面９Ａに沿って移動するために、前記各移動型７には、図２に示すように、前記底辺７Ａに対して直交する方向の溝又は長孔等のごときガイド孔７Ｄが形成してある。そして、前記固定型３を中心として水平に回動自在に設けた回動ベース１１（図１参照）の同一円上に等間隔に備えた各係合ピン１３が前記ガイド孔７Ｄに係合してある。

したがって、前記回動ベース１１を、図１において矢印Ａ方向（図２においては反時計回り方向となる）に回動すると、前記各係合ピン１３を介して、各移動型７は、図２において、ガイド枠部材９の内面に沿って全体として反時計回り方向に移動し、前記キャビティＣＡを点線で示すように縮小することになる。逆に、矢印Ｂ方向に回動すると、前記キャビティＣＡを拡大することになるものである。

前記回動ベース１１を前記矢印Ａ，Ｂ方向へ回動するために、モータ１５によって回転される動力軸１７が回転自在に設けられており、ベベルギア１９を介して前記動力軸１７に連動連結したカム軸２１には前記回動ベース１１を前記矢印Ａ，Ｂ方向に回動するための移動型用カム２３が設けてある。そして、このカム２３には、ヒンジピン２５を介して揺動自在に設けたベルクランク２７の一端部に備えたカムフォロア２７Ａがトーションスプリング等によって常に押圧付勢されて接触してあり、このベルクランク２７の他端部に備えたピン２７Ｂは、前記回動ベース１１の先端部に形成したスリット１１Ｓに係合してある。

したがって、前記モータ１５の駆動によって動力軸１７が回転され、ベベルギア１９を介してカム２３が回転されると、当該カム２３の形状に対応してベルクランク２７はヒンジピン２５を中心として揺動されることになる。よって前記回動ベース１１はピン２７Ｂを介して矢印Ａ，Ｂ方向に回動されて、前記各移動型７をガイド枠部材９の内面９Ａに沿って往復動することになり、前述したように、キャビティＣＡの拡縮動作を行うものである。すなわち、前記カム２３、ベルクランク２７、回動ベース１１は、キャビティＣＡを拡縮作動する作動手段をなすものである。

前記キャビティＣＡに対して前記金属粉末５を供給するために、金属粉末供給手段が設けてある。すなわち、本例においては、上記金属粉末供給手段の一例として、前記各移動型７上を前記キャビティＣＡに対して接近離反する方向へ移動自在の板状の粉末移動部材２９が設けてある。この粉末移動部材２９には前記金属粉末５を収容自在の穴状の収容部２９Ａが備えられている。

そして、この粉末移動部材２９は、前記動力軸１７に備えた粉入れカム３１の形状、作用によって前記キャビティＣＡに対して接近離反する方向へ移動するように構成してある。すなわち、上記粉末移動部材２９は、前記粉入れカム３１の回転により前記収容部２９Ａを前記キャビティＣＡ上へ移動されると共に前記キャビティＣＡの位置から退避移動されるものである。

前記キャビティＣＡに充填された金属粉末５に対してリード線３３の先端部を埋設（植設）するためにリード線３３の供給を行うリード線供給手段が設けられている。すなわち、前記固定型３の上方位置には、リール３５に巻かれている前記リード線３３を前記キャビティＣＡへ供給するための供給ヘッド３７が上下動自在に設けられている。

前記供給ヘッド３７は、前記リード線３３を把持開放自在の例えばチャック（図示省略）を備えた構成であって、この供給ヘッド３７の下部には、前記キャビティＣＡの上部を閉止自在の蓋部材３９を備えている。

前記供給ヘッド３７を上下動するために、枢軸４１を介してベルクランク４３が揺動自在に設けられており、このベルクランク４３の一端側には、前記駆動軸１７に備えたヘッドカム４５に常に接触したカムフォロア４３Ａを備えている。そして、前記ベルクランク４３の他端側は、リンク４７を介して前記供給ヘッド３７と連結してある。

したがって、前記動力軸１７の回転によりヘッドカム４５が回転され、枢軸４１を中心としてベルクランク４３の一端側が水平方向に揺動されると、上記ベルクランク４３の他端側が上下方向に揺動され、リンク４７を介して前記供給ヘッド３７が上下動されることになる。すなわち、前記供給ヘッド３７が下降されるときに、リード線３３を保持して下降することにより、前記キャビティＣＡに対してリード線３３の供給を行い、前記リード線３３を保持して上昇するときに、前記キャビティＣＡから圧縮成形体の取り出しを行うものである。

前記リード線３３の切断を行うために、前記供給ヘッド３７の下部側方にはカッター装置４９が設けられている。上記カッター装置４９は前記リード線３３を保持自在の保持溝５１Ｇを備えた保持プレート５１が水平に回動自在に備えており、この保持プレート５１に、前記リード線３３を切断するためのカッターが備えられている。

前記保持プレート５１を水平に回動するために、ピニオン５３が水平に回動自在に設けられており、このピニオン５３と前記保持プレート５１とが一体化してある。そして、上記ピニオン５３には、前記動力軸１７に備えたカッターカム５５の作用によって水平に往復動されるラック５７が噛合してある。

したがって、前記動力軸１７の回転によってカッターカム５５が回転され、このカッターカム５５の回転によってラック５７が往復動されることにより、前記保持プレート５１は水平に往復回動されるものである。

上記構成より理解されるように、共通のアクチュエータとしての前記モータ１５によって動力軸１７を回転すると、前記移動型用カム２３、粉入れカム３１、ヘッドカム４５及びカッターカム５５が同時に回転されるものである。そして、それぞれのカムの形状に対応して前記各移動型７、粉末移動部材２９、供給ヘッド３７及びカッター装置４９がそれぞれ関連して作動されるものである。

この際、前記動力軸１７の１回転によって前記移動型７、粉末移動部材２９、供給ヘッド３７及びカッター装置４９等の１動作が行われるものであるから、それぞれ関連動作を行うことになる。すなわち、前記動力軸１７、各カム２３，３１，４５，５５は共通のアクチュエータとしてのモータ１５の動作に関連動作する関連動作手段を構成するものである。

以上のごとき構成において、前記モータ１５の回転によって前記動力軸１７が回転されると、この動力軸１７の回転に連動して移動型カム２３が回転される。この移動型カム２３の回転とベルクランク２７、回転ベース１１との関連動作によって前記各移動型７が適宜に移動され、各移動型７によって区画形成されたキャビティＣＡが所定（一定）の大きさに開かれた状態にあるとき、粉入れカム３１の作用によって粉末移動部材２９の収容部２９ＡがキャビティＣＡの上部へ移動され、キャビティＣＡに対して金属粉末５の供給が行われる（図３（Ａ）参照）。

その後、前記動力軸１７がさらに回転すると、前記キャビティＣＡに対して金属粉末５を充填し、前記粉末移動部材２９の収容部２９ＡはキャビティＣＡの上部から離れた位置へ退避される（図３（Ｂ）参照）。この際、前記粉末移動部材２９はキャビティＣＡに対して金属粉末５を摺り切ることとなり、キャビティＣＡ内には一定量の金属粉末５が充填されるものである。

その後、前記動力軸１７がさらに同方向へ回転されると、前記移動型用カム２３に形成された凹部等よりなるキャビティ拡大手段等の作用により、前記移動型７が逆方向へ僅かに移動されて、キャビティＣＡが僅かに拡大される。また、ほぼ同時に、ヘッドカム４５、ベルクランク４３等の作用によって供給ヘッド３７が下降され、リード線３３の先端部（下端部）がキャビティＣＡ内の金属粉末５内に埋設（植設）されると共に、キャビティＣＡの上部が供給ヘッド３７の下部に備えた蓋部材３９によって閉じられる（図３（Ｃ）参照）。

上述のように、蓋部材３９によってキャビティＣＡの上部が閉じられた後、前記動力軸１７がさらに回転すると、前記移動型用カム２３、ベルクランク２７、回動ベース１１の作用によって、前記キャビティＣＡを再び縮小するように前記各移動型７が移動され、キャビティＣＡ内の金属粉末５を圧縮成形すると共にリード線３３と圧縮成形体とを一体化する（図３（Ｄ）参照）。

前述のごとく、金属粉末５を圧縮成形した後、前記動力軸１７がさらに回転すると、前記ヘッドカム４５等の作用によって前記供給ヘッド３７が上昇される。この際、供給ヘッド３７に備えたチャックはリード線３３の保持を開放した状態にあるので、圧縮成形された成形品（固体コンデンサー用の陽極素子）５９に対して蓋部材３９が相対的に上昇することになる（図３（Ｅ）参照）。

そして、前記蓋部材３９が所定位置まで上昇すると、前記供給ヘッド３７に備えたチャックによってリード線３３が再び保持されると共に、前記移動型７はキャビティＣＡを拡大するように移動される。したがって、成形品５９は取出手段を兼用する前記供給ヘッド３７によってキャビティＣＡから上方向に取り出されるものである（図３（Ｆ）参照）。

上述のように、キャビティＣＡから成形品５９の取り出しが行われると、キャビティＣＡは初期の一定の大きさに保持され、このキャビティＣＡに対して前述したように金属粉末５の供給が開始される。他方、持上げられた成形品５９に対しては、カッターカム５５、ラック５７の作用によって保持プレート５１が水平に回動し保持溝５１Ｇにリード線３３を保持すると共にリード線３３を切断する（図３（Ｇ）参照）。そして、前記保持プレート５１が元の位置へ復帰して成形品５９を次工程へ供給することにより、１サイクルが終了するものである。なお、上記１サイクルは、前記動力軸１７の１回転によって行われるものである。

上記説明より理解されるように、前記一連の作動は前記動力軸１７の回転に関連して行われるものであり、前述したように、キャビティＣＡが初期の一定の大きさに拡大されてから成形品（固体コンデンサー用の陽極素子）５９の取り出しが行われるものである。したがって、キャビティＣＡの内面と成形品５９との擦れ合を生じることなく成形品５９を取り出すことができるものである。

そして、キャビティＣＡから成形品５９の取り出しが行われると、キャビティＣＡに対して直ちに金属粉末５の充填が行われるので、能率向上を図ることができるものである。さらに、キャビティＣＡ内の金属粉末５に対するリード線３３の先端部の埋設（植設）は、キャビティＣＡ内に金属粉末５を一定量充填した後、前記キャビティＣＡを拡大した状態において行うものであるから、リード線３３の先端部に座屈等を与えることなく容易に行い得るものである。

そして、前記リード線３３をキャビティＣＡに対して供給するための供給ヘッド３７は、前記キャビティＣＡの上部を閉じる蓋機能を兼ねると共に、圧縮成形した成形品５９を取出す機能をも兼ねるものであるから、取出し装置を別個に設ける必要がなく、全体的構成の簡素化を図ることができるものである。すなわち、前述したごとき従来の問題を解消し得るものである。

なお、前記説明においては、共通の動力軸１７にそれぞれカム２３，３１，４５，５５を関連付けて設け、上記動力軸１７を回転することによって各カム２３，３１，４５，５５に関連した各動作を行う場合について説明したが、各動作を関連作動する構成としては、次のごとき構成とすることも可能である。

すなわち、図４に示すように、前記移動型用カム２３、粉入れカム３１、ヘッドカム４５及びカッタカム５５をそれぞれ別個のサーボモータ等のごとき適宜のアクチュエータ６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃ，６１Ｄによって個別に回動する構成や、上記各アクチュエータ６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃ，６１Ｄによって前記回動ベース１１、粉末移動部材２９、供給ヘッド３７、カッター装置４９を直接的に作動する構成などとすることができるものである。そして、前記各アクチュエータ６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃ，６１Ｄの動作を、ＣＮＣ装置などのごとき制御装置６３によって制御することによっても、前述の一連の動作と同様の動作を関連付けて制御することができるものであり、前述したごとき効果を奏し得るものである。

図５は前記製造方法によって製造された陽極素子としての前記成形品５９を使用した固体電解コンデンサー８１を示すものである。

前記成形品５９としては、タンタルやニオブ等の誘電体金属粉末を使用し、かつリード線３３として同材質の金属を使用して、前述したように金属粉末を加圧成形してある。そして、前記成形品（陽極成形体）５９を真空雰囲気中で焼結して多孔質化し、かつその表面に、電気化学的陽極酸化により誘電体膜であるタンタル酸化皮膜（Ｔａ₂Ｏ₅）を形成して多孔質成形体の陽極素子８３としてある。

そして、前記陽極素子８３を硝酸マンガン溶液に浸漬し、この硝酸マンガン溶液が付着した状態の前記陽極素子８３に熱を加えて硝酸マンガン溶液を分解し、表面に二酸化マンガン層８５を形成する。なお、上記二酸化マンガン層８５の形成工程は複数回繰り返されるものである。

上述のごとく二酸化マンガン層８５を形成した後、次に上記二酸化マンガン層８５上にカーボンペーストを塗布し乾燥してカーボン層８７を形成する。さらに、このカーボン層８７の表面に銀ペーストを塗布し乾燥して銀ペースト層８９を形成する。そして、上記銀ペースト層８９を介して陰極外部電極９１を前記タンタル酸化皮膜と電気的に接合すると共に、前記リード線３３に陽極外部電極９３を例えば溶接により一体的に接合する。

その後、前記銀ペースト層８９の外表面、銀ペースト層８９と陰極外部電極９１との接続部、リード線３３と陽極外部電極９３との接続部を覆うように、また前記陰極外部電極９１及び陽極外部電極９３を一体的に固定するように、例えばエポキシ樹脂等の樹脂によりモールディングを行い、モールド外装９５を施すことにより、前記個体電解コンデンサー８１が得られるものである。

上記例では、導電性被膜層として、二酸化マンガンからなる層を用いた。このほかに、導電性高分子を、二酸化マンガン層の代わりに用いることができる。例えば、ポリチオフェン、ポリアルキルアニリン、ポリアルコキシアニリン、アジピン酸存在下でピロールを酸化重合したポリピロール等などを好ましい例としてあげることができる。この中で、独バイエル社のポリチオフェン（商標バイトロン）または、チオフェン環あるいはチオフェン環と酸素を介して結合するアルキレン基を官能基で修飾したポリチオフェン誘導体は、陽極素子に対する密着性がよく、コンデンサー容量の周波数依存性が少ない、誘導損失が低い、漏洩電流が低い等の理由から、最も好ましい導電性被覆層としてあげることができる。

なお、上記説明においては金属粉末としてタンタル金属粉末を使用したタンタルチップ型固体電解コンデンサーの場合について例示したが、ニオブ金属粉末を使用して同様の操作を行うことにより、ニオブチップ型固体電解コンデンサーを得ることができるものである。

本発明の実施形態に係る製造装置の主要な構成を概略的、概念的に示した斜視説明図である。図１に示した移動型部分の詳細説明図である。主要部分の概略的な動作説明図である。第２の実施形態を示す主要部の斜視説明図である。固体電解コンデンサーの構成を示す断面説明図である。従来の移動型の構成を示す説明図である。従来例の動作説明図である。

符号の説明

３…固定型
５…金属粉末
７…移動型
１５…モータ
１７…動力軸
２３…移動型用カム
２９…粉末移動部材
２９Ａ…収容部
３１…粉入れカム
３３…リード線
３７…供給ヘッド
３９…蓋部材
４５…ヘッドカム
４９…カッター装置
５１…保持プレート
５５…カッターカム
５９…成形品
６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃ，６１Ｄ…アクチュエータ
６３…制御装置

Claims

固体電解コンデンサー用の陽極素子の製造方法であって、固定型上に配置した複数の移動型によって形成されたキャビティ内に金属粉末を充満させる工程と、前記金属粉末内にリード線の先端部を埋設するに先立って前記キャビティを拡大する工程と、前記金属粉末内にリード線の先端部を埋設した後に前記キャビティを縮小して前記金属粉末を圧縮成形すると共に前記リード線と金属粉末とを一体化する工程と、前記キャビティを拡大して圧縮成形体を前記キャビティから取り出す工程とを有することを特徴とする固体電解コンデンサー用の陽極素子の製造方法。
固体電解コンデンサー用の陽極素子の製造装置であって、固定型上に拡縮自在のキャビティを画成すべく互に拘束し合って前記固定型上に移動自在に設けられた複数の移動型と、前記キャビティ内に金属粉末を供給するための金属粉末供給手段と、前記キャビティ内の金属粉末内へリード線の先端部を埋設するためにリード線を供給するリード線供給手段と、前記金属粉末内へリード線の先端部を埋設するときに前記キャビティを拡大するためのキャビティ拡大手段とを備えていることを特徴とする固体電解コンデンサー用の陽極素子製造装置。
請求項２に記載の陽極素子製造装置において、前記複数の移動型による前記キャビティの拡縮動作と前記金属粉末供給手段の供給動作と前記リード線供給手段の供給動作の各動作を、共通のアクチュエータの動作に関連付けるための関連動作手段を備えていることを特徴とする固体電解コンデンサー用の陽極素子製造装置。
請求項２に記載の陽極素子製造装置において、前記複数の移動型を作動するための第１のアクチュエータと、前記金属粉末供給手段を作動するための第２のアクチュエータと、前記リード線供給手段を作動するための第３のアクチュエータと、前記第１，第２，第３の各アクチュエータを関連付けて制御するための制御装置とを備えていることを特徴とする固体電解コンデンサー用の陽極素子製造装置。
請求項２，３又は４に記載の陽極素子製造装置において、前記リード線供給手段は、前記キャビティ内において圧縮成形された圧縮成形体を取り出すための取出手段を兼用する構成であることを特徴とする固体電解コンデンサー用の陽極素子製造装置。
請求項１に記載の製造方法によって製造された陽極素子を使用した固体電解コンデンサーであって、前記陽極素子の表面に形成した二酸化マンガン又は導電性高分子からなる導電性被覆層、この導電性被覆層の表面に形成したカーボン層と、このカーボン層の表面に形成した銀ペースト層と、この銀ペースト層に電気的に接続した陰極外部電極と、前記陽極素子に備えたリード線に電気的に接続した陽極外部電極と、前記銀ペースト層を覆いかつ前記陰極外部電極及び陽極外部電極を一体化したモールド樹脂とを備えてなることを特徴とする固体電解コンデンサー。