JP4332313B2 - 電圧防護型半導体ブリッジ点火要素 - Google Patents
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Description
(本発明の背景)
関連出願に対する相互参照
本出願は「電圧防護型半導体ブリッジ点火要素」と題する1997年12月5日付けの米国特許願08/985,926号の一部継続出願であり、該米国特許願は「半導体ブリッジは(SCB)要素に対する高電圧の保護」と題する1997年1月6日付けの暫定米国特許願60/034,015号の優先権を主張する。
【0002】
本発明の分野
本発明は電圧防護型半導体ブリッジ点火要素、例えば一体となった高電圧防護装置を有し、随時導通試験機能をもった点火要素に関する。
【0003】
関連する技術
半導体ブリッジ(”SCB”)要素は電気的に作動させる目的で電気的な連結を行なう装置であり、このような装置を点火器として使用し爆薬を起爆させることは公知である。現在1987年11月24日付けのBickers,Jr.等に対する米国特許4,708,060号記載のSCB、および1990年12月11日付けのBenson等に対する米国特許4,976,200号記載のタングステン・ブリッジSCBは、ブリッジの起動区域に電気的に接触させるための大きな金属化されたパッドもつものが製造されている。米国特許4,708,060号および米国特許4,976,200号は参考のために添付されている。SCBチップは一般に電気起爆装置(”EED”)のヘッダーまたは他の要素の取り付け表面に機械的に接合されている。雷管の中でSCBが適切に機能するには、爆薬または発火性材料のようなエネルギー物質と緊密に接触することが必要であり、従ってチップを直立した位置に置くことが要求される。即ちチップは取り付け表面に向かって位置した起動区域と一緒に組み込むことはできず、起動区域はエネルギー物質の方に向いてそれと接触し、起動区域は自由にエネルギー物質と相互作用して、即ちそれに対してエネルギーを賦与し、エネルギー物質を起爆させなければならない。
【0004】
SCBに対する電圧の防護機能は、漂遊電圧の存在下において起爆装置が偶発的に作動するのを防ぐために使用される極めて望ましい安全上の特性である。例えば電磁波のエネルギー、特にその高周波数のスペクトルはSCB要素の中で漂遊電圧を誘起することができる。従って船舶上また石油作掘場、および種々の高出力の高周波数が使用されている他の場所で使用する場合には、例えばSCBの意図しない始動を避けるために電圧に対する防護が必要である。一般に高電圧に対する防護は或る閾値電圧(”Vth”)より低い電圧がSCBの中に流れる電流を誘起することを防ぐことである。しかしVthよりも高い電圧ではSCBを作動させるのに十分な振幅の電流をSCBの中に流し、SCBと緊密に接触させて配置された装填薬を起爆させるか或いは他の所望の機能を遂行させるプラズマを発生させるであろう。従ってVthはSCBが作動する前に越えなければならない電圧として定義される。このような閾値電圧は一般に約10〜約1000ボルトである。種々の方法、例えば火花放電間隙、近真性半導体フィルムまたは基質に対し、また半導体ダイオードを用いるSCBに対する高電圧の防護法が知られている。
【0005】
火花放電間隙はガスまたは真空の環境中において特定の距離即ち「間隙」によって隔てられた一対のカプセル化された電極から成っている。一般にこの間隙は装置の破壊電圧即ち閾値電圧を決定する。閾値電圧の変動範囲を減少させるために、組み立て工程の間においてこの「間隙」は正確且つ確実に制御されなければならない。電極をこのように高度にカプセル化して間隔を保つ工程には極めてコストがかかる。火花放電間隙の他の欠点は、火花放電間隙の破壊電圧よりも高い電極を極めて短時間かけない限り、SCBの導通を容易には監視できない点である。勿論このような状況はSCBに高電流が流れる危険な状態の原因になる。
【0006】
近真性半導体フィルムまたは基質も電圧の防護に使用することができる。近真性半導体は、Vthより高い電圧がかかった場合、十分な熱が発生して余分なキャリヤーが生じ、それによって装置の抵抗値が電流が流れるような特定の容積および特定の抵抗値をもつように選ばれる。このような電流は真性の半導体が典型的に示す負の微分抵抗のために生じる。近真性半導体は非常に低いドーピングレベルを必要とし、これは主として次の過程のためにコントロールすることが困難である:(i)例えばイオン注入後の熱核酸および/または熱焼鈍のような熱的効果、および(ii)半導体フィルムを生長させるその場における不純物レベルの高度な制御可能性。低いドーピングレベルをコントロールすることの難しさのの他に、得られるエネルギーを迅速に熱に変え、フィルムを蒸発させて起爆装填薬を起爆することができるように、近真性要素のインピーダンスおよび大きさを適切に設計しなければならない。
【0007】
半導体ダイオードは、逆向きのモードでバイヤスがかけられている場合、ダイオードの接合部において起こる特有の破壊電圧または閾値電圧よりも低い電圧がかかった場合、電流の流れを阻止するのに用いられて来た。しかし、この防護法はダイオードが正のモードでバイヤスがかけられた場合には失われ、従ってダイオードによる防護型のSCBは極性をもった装置である。この極性の問題を克服するために、ダイオードを互いに逆向きにしてSCBに直列にし使用し、両方の極性においてSCBを防護することができる。しかしこの方法の主要な欠点は、一つのダイオードに対し高い破壊電圧を得るには低いドーピング・レベルが必要であり、異なった破壊電圧には異なったウエハ(基質)が要求されることである。例えば500Vの破壊電圧をもつダイオードの基質のドーピング濃度は1015/cmよりも低く、このような低濃度のドーピング剤をコントロールすることは困難ためにこの方法は実用的ではない。低いドーピングレベルの必要性を避ける一つの解決法は、SCBと直列に互いに逆向きの形で相互に連結した多数の低電圧ダイオードを使う方法である。勿論これによって面倒な設計と大きなチップ面積を使用する困難が生じる。このような逆向きに接続する方法の他の欠点は、ダイオードの破壊電圧よりも高い電圧を極めて短時間かけない限り、SCBの導通を容易には監視できない点である。もちろんこのような状況はSCBの中に高電流が流れる危険な状態の原因になる。従ってSCB等の高電圧防護性を得るために改善された構造が必要であることの他に、製造工程中およびその使用直前の種々の時点においてSCB装置の導通を監視できる改善された構造が必要とされている。
【0008】
(本発明の概要)
一般に本発明においては、一体となった高電圧に対する防護装置、および随時DC(直流)電流導通監視機能を有する半導体ブリッジ(SCB)点火要素が提供される。このような一体となった高電圧防護装置は、半導体ブリッジ点火要素の内部にコントロール可能なアンチヒューズ(anti−fuse)として誘電体材料を挿入することによって達成される。アンチヒューズとは、十分に高い電圧、即ち閾値電圧(Vth)をかけた場合絶縁破壊を起こして誘電体材料を通した連結をつくる誘電体材料によって達成される。IEEE Electron Device Letters誌、13巻、9号(1992年9月号)、488頁のSimon.S.Cohen等の「電圧プログラム可能連結剤の新規二重金属構造物」と題する論文の中に述べられているように、誘電体材料の絶縁破壊過程は3段階で進行する。第1に、かけられた電場によって絶縁体が応力を受ける。次に、十分な電流が得られると絶縁体の中にフィラメントが生じ、最後にこのフィラメントはジュール熱と化学反応の組み合わせによって生長するが、これにはさらに多量の電流が必要である。誘電体層の断裂とフィラメントの生成の最終的な状態は、高電圧電源と誘電体の他の端にある要素、この場合にはSCB点火要素との間に低インピーダンスの連結が起こる状態である。熔融連結材または抵抗器は随時誘電体のアンチヒューズSCB点火要素とに並列で連結され、回路の導通監視用の部分回路(脚部、leg)になる。
【0009】
本発明によれば特定的には、或る予め定められた閾値電圧より低い電圧では作動しないような保護装置をもった半導体ブリッジ点火装置が提供される。この点火装置は一つの電気回路を規定し、下記の構成成分から成っている。基質は非伝導性の材料からつくられ、基質の上に配置された第1の半導体ブリッジをもっている。第1の半導体ブリッジは基質の上に配置された多結晶の珪素の層を含み、これは第1および第2のパッドをもち、該第1および第2のパッドの間にはそれらを連結する起爆ブリッジによって架橋された間隙があるような寸法および形をもっている。該ブリッジは選ばれた特性の電流が流れると該ブリッジの所でエネルギーを放出するような寸法と形をもっている。該第1および第2のパッドにそれぞれ電気的に接触して第1および第2の金属化された(metallized)ランド(land)が配置され、該第1および第2の金属化されたランド、第1および第2のパッドおよび該ブリッジから構成される電気回路の第1の着火用部分回路を規定している。絶縁破壊電圧が該閾値電圧と等しい誘電体材料が該電気回路の該第1の着火用部分回路の中に直列に挿入され、この場合該回路は大きさが該閾値電圧と少なくとも等しい電圧がかかった場合にだけ回路を閉じることができる。該第1の半導体ブリッジに並列に第2の半導体ブリッジが連結され、該基質の上に配置されている。該第2の半導体ブリッジは該基質の上に配置された多結晶珪素の層から成り、該層は、第1および第2のパッドを有し、該第1および第2のパッドの間にはそれらを連結する起爆ブリッジによって架橋された間隙があるような寸法および形でつくられている。該ブリッジは選ばれた特性の電流が流れると該ブリッジの所でエネルギーを放出するような寸法と形をもつっている。該第1および第2のパッドにそれぞれ電気的に接触し第1および第2の金属化されたランドが配置され、該第1および第2の金属化されたランド、第1および第2のパッドおよび該ブリッジから構成される電気回路の第2の着火用部分回路を規定している。絶縁破壊電圧が該閾値電圧と等しい誘電体材料が該電気回路の該第2の着火用部分回路の中に直列に挿入され、該回路は大きさが該閾値電圧と少なくとも等しい電圧がかかった場合にだけ回路を閉じることができる。該第1の半導体ブリッジおよび第2の半導体ブリッジは該電気回路の中で他の電圧とは極性が反対の電圧を受けるように互いに連結されている。
【0010】
本発明の他の態様においては、第1の半導体ブリッジの誘電体材料は第1の半導体ブリッジの多結晶珪素の層と第1の半導体ブリッジの第1の金属化されたランドの間に配置されている。
【0011】
本発明のさらに他の態様においては、第1の半導体ブリッジの誘電体材料は第2の半導体ブリッジの多結晶珪素の層と第2の半導体ブリッジの第2の金属化されたランドの間に配置されている。
【0012】
本発明のさらに他の態様においては、第1の半導体ブリッジの第1の金属化されたランドと第2の半導体ブリッジの第1の金属化されたランドとは一緒になって一つの第1の伝導層をつくっている。また、第1の半導体ブリッジの第2の金属化されたランドと第2の半導体ブリッジの第2の金属化されたランドとは一緒になって一つの第2の伝導層をつくっている。
【0013】
本発明のさらに他の態様においては、多結晶珪素の層はドーピングされている。
【0014】
本発明のさらに他の態様においては、電気回路はさらに第1および第2の着火用部分回路に並列に連結された蓄電器を備えている。
【0015】
本発明によればさらに他の態様において、該電気回路はさらに、第1および第2の着火用部分回路に並列に連結された熔融連結材から成る導通監視用の部分回路を備えている。該熔融連結材は薄いフィルムの熔融連結材であることができ、或る選ばれた監視用の電流より大きな電流値において断裂すし、これによって監視用の電流値を越えた場合、熔融連結材が断裂して回路が開くような寸法と形をもっている。
【0016】
本発明のさらに他の態様においては、電気回路はさらに、第1および第2の着火用部分回路に並列に連結された抵抗器から成る導通監視用の部分回路を備えている。該抵抗器は第1の半導体ブリッジの多結晶珪素の層のドーピングされた区画または基質のドーピングされた区画であることができる。いずれの場合でも、該抵抗器は該予め定められた閾値電圧より低い電圧においては、該電気回路の第1および第2の着火用部分回路を通る電流を減少させ(従ってチップ内部に発生する熱を減少させ)、該第1および第2の半導体ブリッジ装置の温度を或る予め定められた温度よりも低く維持するのに十分な大きな値をもている。本発明の関連する態様においては、電気起爆装置を備え、エネルギー材料、例えば起爆薬と接触して配置され、該予め定められた温度は該エネルギー材料の自動点火温度である点火装置が提供される。。
【0017】
また本発明のさらに他の態様においては、該抵抗器は第1の半導体ブリッジの多結晶珪素の層のドーピングされた区画または基質のドーピングされた区画であることができる。本発明のさらに他の態様においては、基質は第1および第2の基質に分離され、第1の半導体ブリッジは第1の基質の上に配置され、第2の半導体ブリッジは第2の基質の上に配置されている。
【0018】
本発明によれば他の態様において、下記の構成機素から成る電気回路を規定する点火装置が提供される。基質は非伝導性材料からつくられ、該基質の上に配置された第1の半導体ブリッジをもっている。該第1の半導体ブリッジは多結晶珪素の層であって、該層は第1および第2のパッドを有し、該第1および第2のパッドの間にはそれらを連結する起爆ブリッジによって架橋された間隙があるような寸法および形をもっている、該ブリッジは選ばれた特性の電流が流れると該ブリッジの所でエネルギーを放出するような寸法と形をもつっている。該第1および第2のパッドにそれぞれ電気的に接触して第1および第2の金属化されたランドが配置され、該第1および第2の金属化されたランド、第1および第2のパッドおよび該ブリッジから構成される電気回路の第1の着火用部分回路を規定している。絶縁破壊電圧が該閾値電圧と等しい誘電体材料が該電気回路の該第1の着火用部分回路の中に直列に挿入され、大きさが該閾値電圧と少なくとも等しい電圧電位がかかった場合にだけ該回路は閉じることができる。該電気回路はさらに該第1の着火用部分回路に並列に連結された蓄電器を備えている。
【0019】
(本発明およびその好適具体化例の詳細な説明)
電圧保護SCB装置
本発明において半導体ブリッジ点火装置は、低融点の金属(例えばAl、Cu、Au等)、難熔性の金属(例えばW、Mo、Co等)および/またはこれら2種の金属の組み合わせから成る2種の高伝導性をもった電極、例えばn−型ドーピングをされた多結晶珪素の間に挟まれた高誘電体層(例えば二酸化珪素)を含むアンチフューズによって電圧に対して保護されている(本明細書においてはしばしば「電圧防護」という言葉が使われる)。誘電体層は、その厚さおよびボルト(V)/cm単位で表された誘電電界強度の値により所望の高電圧閾値(Vth)において該誘電体層が突然絶縁破壊を起こすように選ばれる。例えば誘電強度が107V/cmでフィルムの厚さが約0.5μの二酸化珪素は、約500Vの電圧をかけると絶縁破壊を起こす。絶縁破壊が起こる時間は極めて短い。即ちスパークの生成に伴う期間と同等であり、μ秒かナノ秒の場合もある。薄いフィルムほどこの閾値(Vth)は低く、逆もまた真である。従って高い電圧がかかり回路の短絡に似た応答をする誘電体層におけるフィラメントの突然の生成によって、半導体ブリッジ点火要素の必要な着火レベル以上の電流が生じ、点火要素は加熱され蒸発し、点火要素の近傍において起爆電荷を誘発するプラズマが生じる。一般に、金属−絶縁体−金属のアンチヒューズという概念は、閾値電圧(Vth)として選ばれた誘電体層の断裂電圧または絶縁破壊電圧よりも低い電圧に対し、誘電体層により電圧の防護がなされると云うことである。Vthは主として誘電体層がつくられている材料およびその厚さによって決定される。少なくともVthの大きさの電圧が誘電体層の誘電破壊を起こさせ、二つの電極を融合させ、かけられた高電圧に半導体ブリッジ点火要素が露出し、その結果半導体ブリッジ点火要素を加熱し蒸発させてその一部である電気起爆装置(”EED”)を作動させる。
【0020】
図1〜9および図13〜17は模式図であって、正しい尺度で描かれてはいない。明確に例示を行なうために或る要素の大きさが強調されている。図1〜6の同一の要素は同じ要素番号で示されており、類似した要素は同じ要素番号にプライムを付けて、例えば16a’のように示されている。図7〜9および図13〜17は別々の番号付け方式を採用している。
【0021】
さて図1および2を参照すれば、電気的に非伝導性の基質12を有する半導体ブリッジ装置10が示されている。基質12は任意の非電気伝導性材料から成っていることができる。一般に当業界に公知のように、非伝導性の基質は単一成分または多成分の材料であることができる。例えば多結晶性珪素の半導体材料に対する適当な非伝導性基質は単結晶の珪素の基質の上に配置された絶縁体層(例えば二酸化珪素、窒化珪素等)から成っている。これは良く知られた基質12に対する適切な組み合わせである。単結晶の珪素の半導体材料に対する適当な非伝導性基質はサファイヤであり、これも基質12に対する適切な材料であることが知られている。基質12の上には当業界に公知の任意の方法、例えばエピタキシャル生長法または低圧化学蒸着法によって、例示の具体化例において強くドーピングされた多結晶珪素の半導体14を含む電気伝導性材料が取り付けられている。図2から最も良く分かるように、半導体14は一対のパッド14a、14bを含み、この二つのパッドは平面図では向き合った側辺14a’および14b’以外では実質的に矩形の形をしており、該向き合った側辺は起爆ブリッジ14cの方にテーパーが付けられている。ブリッジ14cはパッド14aと14bとを連結し、14aおよび14bのいずれよりも表面積および大きさが遥かに小さいことが分かる。ブリッジ14cは半導体ブリッジ装置10の起動区域である。図2から分かるように、このようして得られる半導体14の形は幾分蝶ネクタイの形に似ており、大きな実質的に矩形のパッド14a、14bが小さい起爆ブリッジ14cによって互いに隔てられ且つ連結されている。誘電体層15は半導体14の矩形のパッド14aの上に取り付けられている。図2ではパッド14aを示すために誘電体層は一部取り除かれて示されているが、例示の具体化例ではパッド14aの上面を完全に覆っている。図2において誘電体層15の一部を示すために部分的に取り除いて描かれている金属化されたランド16aおよび16bはそれぞれ誘電体層15およびパッド14bの上にあり、図示の具体化例においてはそれらの上面を完全に覆っている。金属化されたランド16aおよび16bは実質的に同一である。一般に従来法ではこれらのランド16aおよび16bに対してはアルミニウムまたはタングステンが使用されたが、任意の適当な金属または金属の組み合わせを用いることができる。ランド16aおよび16bにはそれぞれ電気接点18aおよび18bが取り付けられ、任意の適当な外部電圧源をSCBに対し電気的に連結することができる。別法としてランド16aおよび16bを直接プリント回路板または同様物に連結し、任意の適当な外部電圧源をSCBに対し電気的に連結することができる。
【0022】
操作時においては、電圧を与える外部電源に本発明の半導体ブリッジ装置を電気的に連結する。誘電体層15は絶縁体として働き、起爆ブリッジ14を横切って電圧がかかるのを防ぐ。上述のように、Vthよりも過剰な電圧(起動電圧)が或る十分な時間の間起爆ブリッジ14cを横切ってかけられると誘電体層15は誘電破壊を起こす。誘電体層15が破れると、即ちランド16aとパッド14aとの間に延びた伝導性のフィラメントがつくられると、接点18aと18bとを横切ってかけられた電圧により起爆ブリッジ14cを通って電流が流れる。十分な強さの電流が十分な時間の間流れると、起爆ブリッジ14cは突然プラズマを生成し、このプラズマは例えば起爆ブリッジ14cと接触して充填されたエネルギー材料を起爆させる熱源として使用される。
【0023】
次に図3および4を参照すれば、非電気伝導性の基質12’を有する本発明の他の具体化例における半導体ブリッジ装置10’が示されている。電気伝導性の半導体14は図1および2の具体化例の半導体と同じであり、従ってこれ以上の説明はしないが、この半導体は基質12’の一部が露出されたまま残るような方法で基質12’の上に取り付けられている。金属化された伝導性の層20が矩形のパッド14aの上面および側面に取り付けられ、基質12’の露出した部分に沿って延びている。誘電体層15’は区域20aの内部で伝導性の層20の上面に取り付けられている。区域20aは基質20’に直接取り付けられた伝導性の層20の部分である。誘電体層15’は区域20aの上面全体を覆うように延びていることができる。一対の金属化されたランド16a’および16b(ランド16bは図4では矩形のパッド14bを部分的に示すために取り除かれている)が誘電体層15’およびパッド14の上方に配置され、この具体化例ではそれらを完全に覆っている。
【0024】
操作時において、図3および4の半導体ブリッジ装置は図1および2の装置と同様な一体となった電圧防護を与える。誘電体層15’は絶縁体として作用し、起爆ブリッジ14を横切って電圧がかかるのを防ぐ。上述のように、Vthよりも過剰な電圧(賦活電圧)が或る十分な時間の間起爆ブリッジ14cを横切ってかけられると誘電対層15は絶縁破壊を起こす。誘電体層15が破れると、即ちランド16aとパッド14aとの間に延びた伝導性のフィラメントがつくられると、接点18a’と18bとを横切ってかけられた電圧により起爆ブリッジ14cを通って電流が流れる。特定的には電流はランド16a’、誘電体層15’の中に生じた伝導性のフィラメント、伝導層20、パッド14aを通り、起爆ブリッジ14cを通ってパッド14bおよびランド16bへと流れる。十分な強さの電流が十分な時間の間流れると。起爆ブリッジ14cは突然プラズマを生成させ、このプラズマは例えば起爆ブリッジ14cと接触して充填されたエネルギー材料を起爆させる熱源として使用される。
【0025】
次に図5および6を参照すれば、非電気伝導性の基質12’を有する本発明の他の具体化例における半導体ブリッジ装置10”が示されている。電気伝導性の半導体14は図3および4の具体化例の半導体のものと同じであり、従ってこれ以上の説明はしないが、この半導体は基質12’の一部が露出されたまま残るような方法で基質12’の上に取り付けられている。金属化された伝導性の層20’が矩形のパッド14aの上面および側面に取り付けられ、基質12’の露出した短い区画へ延びている。基質12’の上面にある基質12’の局所的なn−型ドーピングされた珪素区域22が基質12’の露出した部分に沿って延び、区域20a’の中の伝導性の区域20’に電気的に連結している。誘電体層15’は区域20a’の上面全体を覆うように延びていることができる。伝導性の層20’およびパッド14aの両方の一部はn−型ドーピングされた珪素区域22を部分的に示すために図6においては部分的に取り除かれている。一対の金属化されたランド16a’および16b(ランド16bは図6では矩形のパッド14bを部分的に示すために取り除かれている)が誘電体層15’およびパッド14の上方に配置され、この具体化例ではそれらの上面を完全に覆っている。
【0026】
図5および6の半導体ブリッジ装置は総合的な電圧防護を与え、図3および4の半導体ブリッジ装置と同様な方法で動作する。誘電体層15が破れると、即ちランド16aとパッド14aとの間に延びた伝導性のフィラメントがつくられると、接点18aと18bとを横切ってかけられた電圧によって起爆ブリッジ14cを通って電流が流れる。特定的に述べれば、電流はランド16a’、誘電体層15’の中に生じた伝導性のフィラメント、n−型ドーピングされた珪素の区域22、伝導層20、パッド14aを通り、起爆ブリッジ14cを通ってパッド14bおよびランド16bへと流れる。十分な強さの電流が十分な時間の間流れると、起爆ブリッジ14cは突然プラズマを生成させ、このプラズマは例えば起爆ブリッジ14cと接触して充填されたエネルギーの大きい材料を起爆させる熱源として使用される。
【0027】
多結晶の珪素、金属化された層または珪素の基質の一つにアンチヒューズを配置する上記の具体化例は、まさにアンチヒューズの電気的特性を最適化する目的に使用できる幾つかの可能な電圧防護型半導体ブリッジ点火用構造物である。アンチヒューズを配置する構造の選択は例えば多結晶珪素表面の微細な粗さに関連した幾つかの潜在的な信頼性に影響を与えることができる。
【0028】
導通試験装置付きの電圧防護型SCB
上記のように、製造過程並びに使用直前の種々の時点においてSCB装置の導通を試験できることが望ましい。例えば電気起爆装置(”EED”)の一部としてSCBを野外で配備した後に、即ちEEDを着火用部分回路に連結する前に、導通を試験することが望ましい。導通監視構造をもたない上記のアンチヒューズ構造物は高周波信号を用いてだけ導通を試験することができるが、高周波はその性質上EEDシステムに通常典型的に使用される標準的な2本の導線装置(two−wire lead−ins)を使用した場合、特に導線の長さが数フィートを越えた場合、あまり遠くへ伝播しない。従って大部分の用途に対して高周波による導通試験は実用的ではなく、直流(DC)電気信号を使用する導通試験が好適であり、大部分の場合それが取り得る唯一の手段である。
【0029】
本発明によれば、本発明の高電圧防護型SCB装置に対し安全で効果的な二つのDC導通試験方法が提供される。その一つは熔融連結材法であり、他の一つは高抵抗値抵抗器法であるが、いずれもSCB装置の着火用部分回路に対し並列に配置される。
【0030】
熔融連結材導通試験構造物
SCB装置のDC導通試験を容易に行なえる一つの形態はSCB装置の着火用部分回路に対し並列に配置した熔融連結材である。熔融連結材は典型的には装置の上に沈積させた低電力、低抵抗値の金属化層、例えば薄いアルミニウムのトレース片(trace)である。熔融連結材を用いることによりSCB装置の着火用部分回路に電流を通さないで着火用部分回路の導通を試験することができる。アルミニウムのトレース片は低い振幅のDC試験エネルギーレベルによって断裂して回路が開くように設計されている。従ってDC試験電流の振幅は熔融連結材が断裂するレベルよりも低く保たれ、電圧は賦活電圧、即ちSCB装置が起動する電圧よりも低く保たれていなければならない。熔融連結材はSCB装置(チップ)の裏側か、或いはもっと容易にはSCB装置の上側に配置することができる。必要に応じ、例えばSCB装置をEEDの一部として使用し、起爆薬、例えばアジ化鉛、スチフニン酸鉛のようなエネルギー材料と接触させる場合には、SiO2の不動態化した層で熔融連結材を覆うことができる。この不動態化した層は熔融連結と接触した高エネルギー材料が低振幅の試験電流または高振幅の電流、即ち連結材起動電流により起爆して熔融連結を熔融させるのを防ぐ。
【0031】
電気回路の模式図を図7に示す。ここで電圧防護型半導体ブリッジ装置24は誘電体のアンチヒューズ28と直列に連結された半導体ブリッジ装置26から成っている。電圧防護型半導体ブリッジ装置24は図1〜6の任意の具体化例、または装置の電気回路の着火脚部の内部でアンチヒューズ装置28を直列に配置した他の任意の具体化例から成っていることができるものと了解されたい。図7においては着火用部分回路はABEFによって規定され、これは電源が連結される電気端子20、32を含んでいる。導通試験用部分回路ACDFは着火用部分回路と並列に連結され、熔融連結材34を含んでいる。熔融連結材34は半導体ブリッジ装置26の基質の上に配置された金属、好ましくはアルミニウムの薄いトレース片である。
【0032】
熔融連結材34の重要な特性は該要素を熔融させて回路を開くのに必要な最低電流量として定義される熔融電流レベルIfuである。Ifuよりも低い電流レベルを導通試験に使用することができ、この場合要素の内部に最低量の熱が発生する。Ifuに等しいかそれよりも高い電流レベルは熔融電流と考えられる。
【0033】
熔融連結材に対するIfuは若干の設計パラメータによって決定される。その幾つかは次の通りである。熔融連結材がつくられる金属、これは要素の抵抗値Rf(ρfLf/Acf)を制御するための電気抵抗(ρf)を決定する。融点(Tm)、これは該要素を熔融させるのに必要な熱量を決定する。熔融時の金属の熱伝導率(Km)。典型的な金属はアルミニウム(Al)、金(Au)、銅(Cu)、クロム(Cr)である。
【0034】
熔融連結材を沈積させる基質により熔融連結材から運び去られる熱の速度が制御される。典型的な材料は珪素(Si)、石英(SiO2)、ガラスおよびサファイヤ(Al2O3)である。
【0035】
熔融連結材の物理的な寸法、即ち長さ(Lf)、幅(Wf)、厚さ(Thf)は、電流が流れる要素の断面積Acf(Wf×Thf)、伝導によって基質に熱が導入する表面積Asf(Lf×Wf)、および全必要エネルギーのための容積Vf(Lf×Wf)を決定する。
【0036】
熔融連結材は小さい電流の振幅、例えば0.1〜0.5アンペアで熔融して回路が開くようにに設計することができる。試験電圧をかけた場合、電流で限定される試験電流が熔融連結材の中を流れる。何故ならば回路の他の部分回路はアンチフューズ層の容量効果によって効果的に遮断され、従って所望の電圧、典型的には数百ボルトの電圧から防護されているからである。従って簡単なDC導通試験を用いてSCBチップノ電気的な連結の導通を試験することができる。
【0037】
操作中電圧が着火電圧にまで上昇すると、電流が起動電流を越えた際に熔融連結材は断裂し、回路の導通試験用部分回路が除去される。アンチヒューズがその起動電圧に達するとSCB着火脚部は着火する。
【0038】
熔融連結材即ちヒューズは独立した(スタンドアロンの)導線(直線的なまたはコイルになった)、或いは箔として、また例えば図1〜6に例示した具体化例の基質12または12’のような基質上のフィルムとしてつくることができる。独立した導線または箔は厚さが必要であり、従って嵩張った材料になり、その長さは典型的には数cm程度、断面積は約100平方ミル程度になる。フィルムに比べて大きさが大きいにも拘わらず、破損し易く、ガラスまたはプラスティックスの容器に入れて保存しなければ成らない。
【0039】
他方、薄いフィルムの熔融連結材は大きさがμm程度の要素であり、例えば半導体加工に使用されるような写真平版技術によって平らな基質の上に沈積させられる。薄いフィルムの熔融連結材に適合した種類の基質としては、標準的な珪素のウエハ、ガラスまたはプラスティックスの円板、サファイヤの基質、セラミックスまたは電気絶縁性をもった他の平らな表面が含まれる。しかし前以て選択的に酸化された標準的な珪素の基質の上に熔融連結材をつくると、同じチップの上に回路を一体化できる利点が得られる。同じチップの上に熔融連結材と半導体回路とを一体化できることは、製造コストを低下させ製造の信頼性と再現性とを増加させ、機械的な損傷から保護する点においてそれ自身大きな利点になる。写真平版法では寸法上の融通性が得られるから、同じ熔融電流を維持しながら抵抗値を調節するために要素の寸法を増減させることができる。
【0040】
また、薄いフィルム熔融連結材は、半導体工業から容易に入手できる技術に基づいて殆ど任意の金属から加工することができる。例えば標準的な写真平版法を使用し、熔融連結材の幾何学的な形を規定し、金属を沈積される間に熔融連結材の厚さをコントロールすることができる。また、薄いフィルムの熔融連結材は蒸発、スパッタリング、噴霧、電気メッキ、化学蒸着等を含む他の種々の公知の方法によって沈積させることができる。
【0041】
抵抗導通試験
熔融連結材に代わるものとして、大きな値をもった抵抗を回路のSCBアンチヒューズ着火用部分回路と並列に使用して回路の導通を試験する抵抗要素の役割を行なわせることができる。この抵抗器はSCB基質の中に一体化されていることが好ましいが、別の分離した抵抗器機素を使用することもできる。抵抗値は意図する用途に適切なように選ばれる。例えば一体化された抵抗器がEEDの用途に有効であるようにするためには、その抵抗値は電流を維持するほど十分に大きく(100kΩ程度)、従って電力の消費量はすべての時点において起爆装置と接触している高エネルギー材料(例えば起爆薬)の自己燃焼温度よりも低い値にSCB装置の温度を保つのに十分な低い値でなければならない。かける導通試験電圧は勿論起動電圧、即ちSCBが起動する電圧よりも低くなければならない。この起動電圧は電圧防護型SCB装置の設計および意図された用途に依存して(SCB装置はアンチヒューズ誘電体と直列に配置される)1/10〜1/100ボルトの範囲で変化することができる。また電力消費量が低いとアンチヒューズのの電圧防護特性に対する熱の影響が減少する。何故なら経験によって熱はこのようなアンチヒューズの電圧閾値を低下させる傾向があるからである。
【0042】
図8には抵抗導通試験用部分回路ACDEを含む電圧防護型半導体ブリッジ装置を示す。図8は抵抗器36が図7の具体化例の熔融連結材34の代わりに用いられていること以外図7と同じである。図7のものと同し図8の要素は同じ番号が付けられており、図7の回路と同様に図8の回路は着火用部分回路ABEFおよび導通試験用部分回路ACDFを含んでいるということを注意する他はこれ以上説明する必要はないであろう。
【0043】
抵抗器はウエハの嵩張った珪素の中またはSCBを含む多結晶珪素の層の中のいずれかに配置される。それぞれの利点の幾つかを下記に説明する。しかし好適な形態はウエハの嵩張った珪素の中に抵抗器を配置する形である。嵩張った珪素または多結晶の珪素のドーピングは、単位面積当たり高い電気抵抗が得られ、SCBと同じチップの上で高い値の抵抗器が製作できるようにコントロールされる。一具体化例では高い抵抗値を得るために屈曲した設計を用いる。抵抗器は大きな区域のn+型拡散接触パッドによって電圧防護型SCBに連結される。これによってShottkyダイオードの非線形の成分の生成を緩和する。
【0044】
導通試験として高い値の抵抗器をもつ電圧防護型SCBの典型的な設計配置を図9に示すが、ここで半導体ブリッジ装置38は高電圧に対して防護され、またそれと一体となってつくられた導通試験器をもっている。半導体ブリッジ装置38は非電気伝導性の基質40を含み、これは例えば二酸化珪素、窒化珪素等の適当な材料からつくることができる。例えば図1および図2に例示したのと同様なまたは同一な構造では、半導体ブリッジ装置38は平面図において多結晶の珪素の半導体のパッド44a、44bの上に配置された一対の金属化されたランド42a、42bを含み、パッド44aおよび44bは起爆ブリッジ44cによって連結されているように示されている。パッド44a、44bおよび起爆ブリッジ44cは多結晶珪素の半導体から成る一体となった単一の部材からつくられている。図1および2に示された誘電体層15に相当するような誘電体層から成るアンチヒューズは図9においては見ることはできないが、金属化されたランド42aとパッド44aの間に配置されている。抵抗器の接触パッド46aおよび46bはそれぞれ金属化されたランド42aおよび42bに電気的に連結されている。抵抗器の接触パッド46aおよび46bは例えばアルミニウムの連結材のような金属の連結層によって連結されており、この連結材は、基質40を通って図9では見えないその下側へ延びた通路(図9では見えない)を介し金属の薄片またはトレース片として基質40を通って下方へ延びている。該通路は適当な誘電体材料でライニングされ、連結器のパッドおよび装置の他の機素から延びた金属の痕跡の間の電気的な接触を防いでいる。金属の連結材の層は接触パッド46a、46bを基質40の下側につくられた屈曲した抵抗器の反対側の端に連結している。高抵抗値は近真性の珪素ウエハを用いて得ることができ、特定の値はドーピング・イオンを光で濃縮して必要な単位面積当たりの高い抵抗値を得ることができる。これはまた反対イオン(p−型のウエハに対しては正のイオン、逆もまた同じ)を用いて所望の高抵抗値が得られるまでカウンター・ドーピングを行なうことによって達成することもできる。例示した構造物の代替品として、基質40の中または上にではなくSCBを含む同じ多結晶珪素の層の中に抵抗器を配置することができる。
【0045】
多結晶の珪素の中に抵抗器を入れる潜在的な利点は、多結晶珪素の下方にあるSiO2絶縁層のために、抵抗器を支持用の珪素基質から完全に絶縁できることである。多結晶の珪素の中に抵抗器を入れる他の潜在的な利点は、多結晶珪素をドーピングしないで生長させ、標準的なドーピングされたウエハの塊状の珪素に比べ、鉄を低濃度で容易にドーピングすることができることである。低濃度ドーピングを行なうと単位面積当たりの抵抗値が高くなる。しかしウエハの塊状の珪素の中に抵抗器を入れる主要なな利点は、装置からヘッダーまたはSCB装置を取り付ける他の構造物への熱の移動が良好になり(例えば図10とそれについての下記の説明参照)、熱の蓄積が最低限度に抑制されることである。従って熱的な考慮が重要な場合には塊状の珪素の基質に抵抗器を取り付けることは好適な態様である。
【0046】
本発明の半導体ブリッジ点火装置はEEDの構成機素として有利に使用される。典型的なEEDは図10に例示されており、これは典型的なアジ化鉛またはスチフィン酸鉛のような起爆薬から成る起爆装填薬56を含むコップ状の凹みを規定したヘッダー52を具備している。凹み54の底には本発明によりつくられた半導体ブリッジ装置58が配置され、この装置は金属化されたランド60a、60bを含み、その間に点火用のブリッジが備えられ、起爆装填薬56と接触している。この半導体ブリッジ装置は適当な手段、例えばエポキシ接着剤65によってコップ状の凹み54の底に固定され、金属のランド60a、60bはそれぞれ電気導線66a、66bによって電気端子64に連結されている。各電気導線66a、66bは一端が金属のランド60a、60bに導線で結合され、他の端は電気端子64の一つに導線で結合されている。
【0047】
実施例1
A.図9に示した形で製造された電圧防護型SCB点火装置を試験の目的で例示したような方法で図10の起爆装置50に連結されたTO−46ヘッダーに取り付けたが、但しエネルギー材料(図10の起爆装填薬56に対応するもの)は取り去っておいた。各試験ユニット150(図11および12)は下記の構成機素を具備したSCB点火装置38を含んでいた。
【0048】
(a)アンチヒューズ要素としての厚さ0.5μmの二酸化珪素フィルム(図9には示されていないが図1の誘電体層15と同等)。
【0049】
(b)アルミニウム金属のランド(図9の42a、42b)。
【0050】
(c)多結晶珪素の層(起爆ブリッジ44c以外図9には示されていないが、図1の多結晶珪素半導体14と同等。図9の44cは図1の14cの同等品)。
【0051】
(d)電圧防護型着火用部分回路に並列に連結された15,000Ωの抵抗器。着火用部分回路には金属化されたランド(図9の42a、42b)、誘導体層(図1の15と同等)および多結晶珪素の半導体層(図1の14と同等)が備えられている。
【0052】
それぞれ、容量放電試験(10μF)、DC電圧漸増試験、DC電圧の階段状の増加に対する抵抗電流の試験、およびAC電圧(120ボルト、60サイクル/秒)試験によって試験ユニットの試験を行なった。
【0053】
B.容量放電試験は、600ボルト、10μFの蓄電器70、トグルスイッチ72、オシロスコープ74、および0〜400ボルトの間で変動させ得る直流(DC)電流電源76を備えた図11に模式的に例示されている第1の試験回路68を用いて行なった。試験すべきユニット150を図10の電気端子64に対応する電気端子を介してこの回路に連結した。この試験の間、アンチヒューズ要素(図1の誘導体層15と同等)に対し200±20ボルトの絶縁破壊電圧を得た。150〜250ボルトの範囲で蓄電器の所の電圧を10ボルト毎に階段状に増加させた。このような方式では並列に連結した導通監視用部分回路は重要な役割を演じない。何故ならアンチヒューズにかかる電圧は瞬間的であり、抵抗器は殆どエネルギーを消費しないからである。
【0054】
C.DC電圧漸増試験は図11の高圧DC電源76を試験すべきユニット150の電気端子(図10の電気端子64に対応)に直接連結し、オシロスコープ74で結果を監視することにより行なった。試験の結果、30ボルト/秒の割合で手動で入力電圧を増加させた場合、電圧防護型のSCBは常に200±20ボルトで着火することが示された。このことは、上記Bの容量放電試験の結果と矛盾しない。しかし約15ボルト/秒またはそれ以下の電圧上昇速度に対しては、約160ボルトの所で電圧防護型SCBは若干の電気的な不安定性を示し、そのため160〜180ボルトの範囲では僅かに低い電圧で装置が早期に作動する結果が得られた。これは、並列の抵抗器によって熱が発生する結果であると考えられる。熱によってSiO2誘導体フィルムの中のアルミニウムの拡散が促進され、そのため本来0.5μmの厚さの誘導体フィルムがその有効厚さを減少した結果である。
【0055】
D.DC電圧の段階的の増加に対する抵抗電流の試験は、図12に示すようにオシロスコープ74を含む第2の試験回路80においてDC高電圧電源76および電流計78を試験すべきユニット150に直列に連結することにより行なった。電圧防護型SCB装置について連続的な電圧監視試験を行なった。この試験では段階的な電圧増加モードにおいて、60〜160ボルトの範囲で各段階において電圧を1分間持続させ電圧の上昇を10ボルトにして電圧をかけた。電圧をそれぞれ段階的に上昇させた時段階的に電圧を上昇させる間に1分間の間隔をとる目的は、各電圧において試験されるユニット150の半導体点火装置38の温度を安定させるためである。このようにして半導体点火装置38の並列の抵抗器(図8の抵抗器36に対応)の抵抗値のデータをかけた電圧の関数として得た。この試験の結果全体から、試験されたユニットは、その物理的なおよび/または電気的な劣化を起こさずに、12時間よりも長い期間連続モードにおいて140ボルトのDC電圧を保持できることが示された。
【0056】
この試験の間電気的なパラメータ、即ち電圧防護型SCBの電圧および電流を監視した。従って抵抗器(図8の抵抗器38に対応)の抵抗および電力を、かけた電圧の関数として計算した。観測された主要な電気特性は、並列の抵抗器(図8の抵抗器38に対応)がその値を0.5ボルトにおける15,000Ωから100ボルトにおける150,000Ωのピーク値へ変化した後、140ボルトにおける約100,000Ωへ低下するような特性であった。電力損失は140ボルトにおいて0.2ワットよりも少なかった。
【0057】
抵抗器のこのような動的電気特性は、電圧防護型SCB点火装置38(図9)に高インピーダンスの並列抵抗器(図8の抵抗器38に対応)を付加したことによって優れた導通試験能力および電圧防護が与えられたためである。換言すれば、連続的に増加する漂遊電圧に対して並列抵抗器が応答し、SCBチップの内部に生成する少量の熱により抵抗器に与えられる抵抗値を増加させる。勿論、当業界の専門家には明らかなように、SCBチップの大きさが大きいほど熱消費能力は良好になる。
【0058】
E.AC電圧試験においては、図10の電気接点64の同等品に連結された120ボルト、60サイクル/秒のAC出力に対し、試験されるユニット150を繰返し接続し、またそれから抜き取る。試験されたユニット150には物理的なまたは電気的な損傷は見られなかった。また試験されたユニットを一晩AC出力に接続したままにしたが、劣化は検出されなかった。
【0059】
多重ブリッジ構造
単一の電圧防護型半導体ブリッジ装置(例えば図7および8)を具備した上記の電圧防護型半導体ブリッジ装置は電圧の極性に対して敏感であることが見出だされている。特に点火装置にかけられた電圧の極性に依存して着火レベルが変動することが観測された。このような敏感性を緩和する一つの方法は、電気回路の中に第2の電圧防護型半導体ブリッジ装置を組み込み、第1の電圧防護型半導体ブリッジ装置とは反対の極性をもった電圧を受けるようにする方法である。
【0060】
多重ブリッジ構造および抵抗導通監視用部分回路ADEHを使用した電圧防護型半導体ブリッジ点火装置の模式的電気回路を一般に図13の200として示す。図13の回路は一対の着火脚部ABGHおよびACFH、および導通監視用部分回路ADEHを含み、これらはそれぞれ並列に連結されている。導通監視用部分回路ADEHは上記のものと同様であり、図示にように高い値をもった抵抗器202を含んでいるが、この具体化例において抵抗器の代わりに熔融連結材を用いることができることを了解されたい。回路の導通は抵抗器202を通してチェックでき、抵抗器をSCB基質と一体とすることが好ましいが、分離した別の抵抗器構成要素を使用することもできる。抵抗値は意図した用途に適合するように選ぶことができ、導通監視用部分回路にかける電圧は上記のように起動電圧よりも低い値でなければならない。図8の具体化例におけるように、抵抗器の位置はウエハの中の塊状の珪素の中、或いはSCBを含む多結晶珪素層の中のいずれかであることができる。
【0061】
着火用部分回路ABGHは電圧防護型半導体ブリッジ204を含み、着火用部分回路ACFHは電圧防護型半導体ブリッジ204’を含んでいる。これらの電圧防護型ブリッジ204、204’は誘電体のアンチヒューズ208、208’に直列に連結された半導体ブリッジ装置206、206’を含んでいる。半導体ブリッジ装置206およびアンチヒューズ208は半導体ブリッジ装置206’およびアンチヒューズ208’とは反対の極性をもった電圧を受け取るために連結されていることが分かる。電圧防護型半導体ブリッジ装置204、204’は図1〜9に例示された任意の具体化例、または装置の電気回路の着火用部分回路内部でアンチヒューズを直列に配置する任意の他の具体化例のものから成っていることもできる。
【0062】
電圧防護型半導体ブリッジ点火装置の一具体化例を図14および15において一般的に201で示す。この電圧防護型半導体ブリッジ点火装置201は、高い値をもった屈曲した抵抗器202、および一対の電圧防護型半導体ブリッジ装置204、204’を具備している。抵抗器202は例えば二酸化珪素、窒化珪素等のような適当な材料からつくられた電気的に非伝導性の物質210で支えられている。抵抗器202は抵抗器の接触パッド212aおよび212bの間に連結された屈曲したパターンを備え、これらのパッドはさらにそれぞれ金属化されたランド214aおよび214bに電気的に連結されている。例えば酸化物の化合物から構成された絶縁パッド216aおよび216bの上に随時抵抗器の接触パッド212aおよび212bが配置されていることができる。抵抗器202の屈曲したパターンはドーピングされた半導体材料の層によってつくられ、この層は基質210の上部表面219に沿って沈積され、エッチングによって材料の細片またはトレース片の形にされていることができる。抵抗器202は随時基質210の下側、或いは図9の具体化例に関しては上記のように多結晶の珪素の層の中に位置していることができる。抵抗器202の抵抗値は図9の具体化例に関して上記に説明したようにドーピングの量によって思い通りに変化させることができる。
【0063】
金属化したランド214aおよび214bは抵抗器202を各電圧防護型半導体ブリッジ点火装置204および204’と並列に連結される。電圧防護型半導体ブリッジ点火装置204および204’は単一の基質210の上に配置されているが、各電圧防護型半導体ブリッジ点火装置204および204’は別の基質の上に取り付けることもできることが分かるであろう。例示されているように、電圧防護型半導体ブリッジ点火装置204および204’は例えば酸化物化合物から成る随時使用される絶縁層220の上に取り付けられている。
【0064】
電圧防護型半導体ブリッジ装置204は起爆ブリッジ222cによって連結されたパッド222aおよび222bを備えており、その各々は一体となった多結晶珪素半導体の単一部材からつくられている。図1および2に示された誘電体層15と同等な誘電体層224から成るアンチヒューズが、金属化したランド214aおよび214bの間に配置されている。同様に電圧防護型半導体ブリッジ装置204’は起爆ブリッジ222cによって連結されたパッド222a’および222b’を備えており、その各々は一体となった多結晶珪素半導体の単一部材からつくられている。電圧防護型半導体ブリッジ装置204と反対の極性をもつ電圧を受け取るように電圧防護型半導体ブリッジ装置204’を連結するためには、やはり図1および2に示された誘電体層15と同等な誘電体層224’から成るアンチヒューズが金属化したランド214bおよび222b’の間に配置されている。従って誘電体層224と誘電体224’との場所の相違のために、各誘電体層には反対の極性の電圧がかけられる。
【0065】
ピンホールの生成の低減
本明細書に記載されたような電圧防護型ブリッジ点火装置は、静電放電(ESD)試験のような或る種の環境下において敏感であり、アンチヒューズ構造物中にピンホールを生成する。このようなピンホールの生成を防ぐためには、図16の模式的配線図に示されているように電圧防護型半導体ブリッジ点火装置と並列に蓄電器を配備することができることが見出だされた。
【0066】
電圧防護型半導体ブリッジ点火装置のための電気回路は図16において一般的に300で示されており、これは連結点CおよびJを介して第1の着火用部分回路ADILに並列に連結された蓄電器用の部分回路ABKLを備えている。第2の着火用部分回路AEHLおよび導通監視用部分回路AFGLも部分回路ABKLおよびADILに並列に連結されている。監視用の部分回路AFGLは上記と同様であり、例示されているように高い値の抵抗器を含んでいることができるが、この具体化例においては抵抗器の代わりに熔融可能な連結材も使用できることを了解されたい。また、第1および第2の着火用部分回路ADILおよびAAEHLは例えば図8に関連して上記に説明したような単一の着火用部分回路で置き換えることができることを了解されたい。蓄電器用部分回路ABKLはキャパシタンスが約0.15μFまたはそれ以上の蓄電器302を含んでいる。典型的には蓄電器302は約0.47μFのキャパシタンスをもっている。
【0067】
図17に例示されているように、電気起爆装置の他の具体化例が示されているが、これは上記の半導体ブリッジ点火装置201と同様な半導体ブリッジ点火装置301と蓄電器302を具備している。この電気起爆装置はまた、ヘッダー306、取り付け用の基質308、および蓄電器の監視用構造物310を具備した起爆用点火装置304を含んでいる。ヘッダー306は上記のヘッダー52と同様であり、起爆装填薬314を含むコップ状の凹み312を規定している。凹み312の底には半導体ブリッジ点火装置301があり、これは図10に関して上に説明したのと同様な方法で組み立ててヘッダー306にすることができる。
【0068】
取り付け用の基質308は基台316および一対の電気伝導性の電極318から成っている。基台316はプラスティックスのような成形可能な絶縁性の材料から成っており、電極318を励起する装置(図示せず)に連結することができる。後者の装置は必要に応じ導通監視能力をもっていることができる。
【0069】
蓄電器の取り付け構造物310は蓄電器302を支持し、ハウジング320、一対の筒状のスリーブ322および連結材324を備えている。ハウジングは基台と同じ材料から成ることができ、蓄電器302、筒状のスリーブ322および連結材324の周りに成形することができる。筒状のスリーブ322および連結材324は金属製の材料のような伝導性材料から成り、蓄電器302を電極318に電気的に連結する機能をする。蓄電器302は誘電体物質から成ることができる材料328の周りに配置された板326から成っている。
【0070】
実施例2
図17に示すような半導体ブリッジ点火装置301、蓄電器302および起爆薬点火装置304から成る電気起爆装置を、MIL−STD−1576、方法2207の探査試験(probing test)の部分に従って高周波数(RF)に対する感度に関して試験した。この方法では、1.5MHz〜33GHzの範囲の異なった10種の周波数におけるRF感度を決定するために約230の電気起爆装置の試験を行なう。電気起爆装置はかける周波数に依存して連続波(CW)およびパルス波の変調入力信号で試験し、またピン−ピン(P−P)モードおよびピン−ケース(P−C)モードで試験した。各装置に対する試験中の露出時間は5分であった。
【0071】
RF探査試験の間雷管はRF感度が極めて低いことを示した。電気起爆装置は僅かに2個だけが着火した(1個は900MHz、10ワット、今一つは8.9GHz、13ワットで)。一つの試験系列では7個の電気起爆装置を1.5MHz、27ワットにおいてピン−ケース・モードで試験したが、どの起爆装置も偶発することはなかった。他の周波数において7個の装置を250MHz、18ワットにおいてピン−ピン・モードで試験したが、どれも偶然着火することはなかった。下記の表にRF探査試験の結果をまとめる。
【0072】
【表1】
【0073】
【表2】
【0074】
以上本発明をその特定の具体化例に関し詳細に説明したが、当業界の専門家は上記の説明を読めば上記の具体化例に関し多くの変更を行ない得ること、およびそのような変更は添付特許請求の範囲内に入ることが分かるであろう。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一具体化例による電圧防護型半導体ブリッジ点火装置の模式的立面図。
【図2】図1の点火装置の上面平面図。
【図3】本発明の他の具体化例による電圧防護型半導体ブリッジ点火装置の立面図。
【図4】図3の点火装置の上部平面図。
【図5】本発明のさらに他の具体化例による電圧防護型半導体ブリッジ点火装置の立面図。
【図6】図5の点火装置の上部平面図。
【図7】装置の電気回路の着火用部分回路と並列に配置された熔融連結材を備えた本発明の一具体化例による電圧防護型半導体ブリッジ点火装置の回路図。
【図8】装置の電気回路の着火用部分回路と並列に配置された高抵抗値をもつ抵抗器を備えた本発明の他の具体化例による電圧防護型半導体ブリッジ点火装置の回路図。
【図9】装置の電気回路の着火用部分回路と並列に配置された高抵抗値をもつ屈曲した抵抗器を含む、図8に示した本発明の具体化例による電圧防護型半導体ブリッジ点火装置の模式的平面図。
【図10】本発明の一具体化例による電圧防護型半導体ブリッジ点火装置を使用した電気起爆装置の立面図の模式的断面図。
【図11】実施例1項目Bに使用した試験装置の模式的回路図。
【図12】実施例1項目Cに使用した試験装置の模式的回路図。
【図13】本発明のさらに他の具体化例による電圧防護型半導体ブリッジ点火装置の模式図。
【図14】図13電圧防護型半導体ブリッジ点火装置の模式図。
【図15】図14の線XIV−XIVに沿った断面図。
【図16】本発明のさらに他の具体化例による電圧防護型半導体ブリッジ点火装置の模式図。
【図17】図16の電圧防護型半導体ブリッジ点火装置を使用した電気起爆装置の一部断面図を含む拡大分解図。
Claims (21)
- 或る予め定められた閾値電圧よりも低い電圧においては作動しないようにされている半導体ブリッジ点火装置において、該点火装置は一つの回路を規定し、且つ
非伝導性材料からつくられた基質、および
(a)該基質の上に配置され、第1および第2のパッドを有し、該第1および第2のパッドの間にはそれらを連結する起爆ブリッジによって架橋された間隙をもつような寸法と形を有する多結晶珪素の層であって、該ブリッジは選ばれた特性の電流が流れると該ブリッジの所でエネルギーを放出するような寸法と形をもつようにつくられた多結晶珪素の層、
(b)該第1および第2のパッドにそれぞれ電気的に接触して配置されている第1および第2の金属化されたランドであって、該第1および第2の金属化されたランド、第1および第2のパッドおよび該ブリッジから構成される電気回路の第1の着火用部分回路を規定している第1および第2の金属化されたランド、および
(c)絶縁破壊電圧が該閾値電圧と等しく該電気回路の該第1の着火用部分回路の中に直列に挿入され、大きさが該閾値電圧と少なくとも等しい電圧がかかった場合だけ回路を閉じることができる誘電体材料を具備した第1の半導体ブリッジ、並びに
該第1の半導体ブリッジに並列に連結され、該基質の上に配置されている第2の半導体ブリッジであって、該第2の半導体ブリッジは
(a)該基質の上に配置され、第1および第2のパッドを有し、該第1および第2のパッドの間にはそれらを連結する起爆ブリッジによって架橋された間隙をもつような寸法と形を有する多結晶珪素の層であって、該ブリッジは選ばれた特性の電流が流れると該ブリッジの所でエネルギーを放出するような寸法と形をもつようにつくられた多結晶珪素の層、
(b)該第1および第2のパッドにそれぞれ電気的に接触して配置されている第1および第2の金属化されたランドであって、該第1および第2の金属化されたランド、第1および第2のパッドおよび該ブリッジから構成される電気回路の第2の着火用部分回路を規定している第1および第2の金属化されたランド、および
(c)絶縁破壊電圧が該閾値電圧と等しく該電気回路の該第2の着火用部分回路の中に直列に挿入され、大きさが該閾値電圧と少なくとも等しい電圧がかかった場合だけ回路を閉じることができる誘電体材料を具備した第2の半導体ブリッジを具備し、
該第1の半導体ブリッジおよび第2の半導体ブリッジが、該電気回路の中で、他の電圧とは極性が反対の電圧を受けるように各々が連結されるような形状をしていることを特徴とする半導体ブリッジ点火装置。 - 第1の半導体ブリッジの誘電体材料は第1の半導体ブリッジの多結晶珪素の層と第1の半導体ブリッジの第1の金属化されたランドの間に配置されていることを特徴とする請求項1記載の点火装置。
- 第2の半導体ブリッジの誘電体材料は第2の半導体ブリッジの多結晶珪素の層と第2の半導体ブリッジの第2の金属化されたランドの間に配置されていることを特徴とする請求項2記載の点火装置。
- 第1の半導体ブリッジの第1の金属化されたランドと第2の半導体ブリッジの第1の金属化されたランドとは一緒になって一つの第1の伝導層をつくり、第1の半導体ブリッジの第2の金属化されたランドと第2の半導体ブリッジの第2の金属化されたランドとは一緒になって一つの第2の伝導層をつくっていることを特徴とする請求項3記載の点火装置。
- 多結晶珪素の層はドーピングされていることを特徴とする請求項1〜4記載の点火装置。
- 電気回路はさらに第1および第2の着火用部分回路に並列に連結された蓄電器を備えていることを特徴とする請求項1〜4記載の点火装置。
- 電気回路はさらに、基質の上に配置され且つ第1および第2の着火用部分回路に並列に連結された蓄電器を備えていることを特徴とする請求項1〜4記載の点火装置。
- 電気回路はさらに、第1および第2の着火用部分回路に並列に連結された熔融連結材から成る導通監視用の部分回路を備え、該熔融連結材は或る選ばれた監視用の電流より大きな電流値において断裂するような形をしており、これによって監視用の電流値を越えた場合、熔融連結材が断裂して回路が開くことを特徴とする請求項1〜4記載の点火装置。
- 該熔融連結材は薄いフィルムの熔融連結材であることを特徴とする請求項8記載の点火装置。
- 電気回路はさらに、第1および第2の着火用部分回路に並列に連結された抵抗器から成る導通監視用の部分回路を備え、該抵抗器は該予め定められた閾値電圧より低い電圧においては、該電気回路の第1および第2の着火用部分回路を通る電流を減少させ、該第1および第2の半導体ブリッジ装置の温度を或る予め定められた温度よりも低く維持するのに十分に大きな抵抗値をもていることを特徴とする請求項1〜4記載の点火装置。
- 電気起爆装置を備え、エネルギー材料と接触して配置され、該予め定められた温度は該エネルギー材料の自動点火温度であることを特徴とする請求項10記載の点火装置。
- 該抵抗器は第1の半導体ブリッジの多結晶珪素の層のドーピングされた区画であることを特徴とする請求項10記載の点火装置。
- 該抵抗器は基質のドーピングされた区画であることを特徴とする請求項10記載の点火装置。
- 基質は第1および第2の基質に分離され、第1の半導体ブリッジは第1の基質の上に配置され、第2の半導体ブリッジは第2の基質の上に配置されていることを特徴とする請求項1〜3記載の点火装置。
- 或る予め定められた閾値電圧よりも低い電圧においては作動しないように防護されている半導体ブリッジ点火装置において、該点火装置は一つの回路を規定し、且つ
非伝導性材料からつくられた基質、および
(a)該基質の上に配置され、第1および第2のパッドを有し、該第1および第2のパッドの間にはそれらを連結する起爆ブリッジによって架橋された間隙をもつような寸法と形を有する多結晶珪素の層であって、該ブリッジは選ばれた特性の電流が流れると該ブリッジの所でエネルギーを放出するような寸法と形をもつようにつくられた多結晶珪素の層、
(b)該第1および第2のパッドにそれぞれ電気的に接触して配置されている第1および第2の金属化されたランドであって、該第1および第2の金属化されたランド、第1および第2のパッドおよび該ブリッジから構成される電気回路の第1の着火用部分回路を規定している第1および第2の金属化されたランド、および
(c)絶縁破壊電圧が該閾値電圧と等しく該電気回路の該第1の着火用部分回路の中で多結晶珪素の層と第1の金属化されたランドとの間に直列に挿入され、大きさが該閾値電圧と少なくとも等しい電圧電位がかかった場合にだけ回路を閉じることができる誘電体材料を具備した第1の半導体ブリッジを具備し、
該電気回路はさらに該第1の着火用部分回路に並列に連結された蓄電器を備えていることを特徴とする点火装置。 - 電気回路はさらに、第1および第2の着火用部分回路に並列に連結された熔融可能な連結材から成る導通監視用の部分回路を備え、該熔融連結材は或る選ばれた監視用の電流より大きな電流値において断裂するような寸法と形をもち、これによって監視用の電流値を越えた場合、熔融連結材が断裂して回路が開くことを特徴とする請求項15記載の点火装置。
- 該熔融連結材は薄いフィルムの熔融連結材であることを特徴とする請求項16記載の点火装置。
- 電気回路はさらに、第1および第2の着火用部分回路に並列に連結された抵抗器から成る導通監視用の部分回路を備え、該抵抗器は該予め定められた閾値電圧より低い電圧においては、該電気回路の第1および第2の着火用部分回路を通る電流を減少させ、該第1および第2の半導体ブリッジ装置の温度を或る予め定められた温度よりも低く維持するのに十分に大きい抵抗値をもていることを特徴とする請求項15記載の点火装置。
- 電気起爆装置を備え、エネルギー材料と接触して配置され、該予め定められた温度は該エネルギー材料の自動点火温度であることを特徴とする請求項18記載の点火装置。
- 該抵抗器は第1の半導体ブリッジの多結晶珪素の層のドーピングされた区画であることを特徴とする請求項18記載の点火装置。
- 該抵抗器は基質のドーピングされた区画であることを特徴とする請求項18記載の点火装置。
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