JP4324303B2

JP4324303B2 - 透明材料または透明材料で包まれた物体の検査装置及び検査方法

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Publication number: JP4324303B2
Application number: JP2000036664A
Authority: JP
Inventors: 利治武居; 育雄岡本
Original assignee: Sumitomo Osaka Cement Co Ltd
Current assignee: Sumitomo Osaka Cement Co Ltd
Priority date: 2000-02-15
Filing date: 2000-02-15
Publication date: 2009-09-02
Anticipated expiration: 2020-02-15
Also published as: JP2001228100A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、透明な材料または透明な材料で包まれたパッケージの検査装置及び検査方法に関し、特に透明なフィルムまたはフィルムパッケージの表面やパッケージの内部の状態に拘わらずフィルム等を検査できる検査装置及び検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、透明なフィルムまたはフィルムパッケージの検査は、図８に示すようにフィルムパッケージ等１を、検査対象面への入射角が９０°付近になるような方向から光源４で照明し、照明によってできる折り目の影等を肉眼５で目視したり、カメラを使って観察することにより行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、以上のような従来の方法によれば、フィルムやフィルムパッケージ１の検査対象面にしわやよれなどがあると、その部分が光る所謂てかり現象２が起こるため、見たい折れ目のみを観察することが難しく、またフィルムの製造むら、傷、ピンホール等の欠陥が判別しにくかった。また、フィルムパッケージではフィルムが透明であるために、下地の文字や絵３などが透けて見えるため、パッケージの状態を分離して観察することができなかった。
【０００４】
そこで本発明は、フィルムのような透明な材料または透明な材料により包まれたパッケージの表面や透明な材料で包まれたパッケージの内部の状態に拘わらずそのような透明な材料等を検査することができる検査装置及び検査方法を提供することを目的にしている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の第１の態様に係る検査装置は、例えば図１に示すように、透明な材料または透明な材料により包まれたパッケージ１を検査対象とする検査装置において；検査対象１に異なる方向から光束を照射する少なくとも１つの照射装置１１と；少なくとも１つの照射装置１１で照射された検査対象に生じる影の像を結像する結像光学系２１ａと；結像光学系２１ａで結像された、前記異なる方向から照射されたことにより生じる少なくとも２つの画像に基づいて検査対象１の良否を判定する判定装置４１とを備える。
【０００７】
透明な材料とは典型的には透明なフィルムである。透明とは半透明を含む概念とする。半透明とは、そのような材料の一方の側から他方の側に置かれた物を見たとき、その物の形状あるいは模様を識別できる程度の透明度を有する場合をいう。検査対象に生じる影とは、例えば透明な材料にあるピンホール等により作られる影や、パッケージをするときに形成される透明な材料の折り目により光が遮られて生じる影である。
【０００８】
結像は例えば撮像素子上にされる。撮像素子は例えばＣＣＤ撮像素子である。撮像素子からの信号は判定装置に送られる。判定装置は、典型的には、２つの異なる方向から照明されることによって生じる検査対象物の少なくとも２つの異なる画像に基づいて判定するように構成されている。２つの画像を処理することにより判定しやすい画像を得て判定する。検査対象の良否とは、例えば、透明材料にピンホール等の欠陥がないか、物体を包んだ透明材料の包み方に不良（パッケージ不良）がないかである。
【０００９】
異なる方向から光束を照射する照射装置は、典型的には２つの照射装置を備える１組の照射装置である（２組以上であってもよい）。その照射装置を１つずつ作動させて、それぞれの作動により得られた画像を典型的には１対の画像とする。作動は、照射装置の光源を１つずつ点灯して行ってもよいし、例えばシャッターを開閉して行ってもよい。または、１つの照射装置を検査対象に対して相対的に移動または回転させて異なる方向から検査対象を照射するようにしてもよい。
【００１０】
また本発明の第２の態様に係る検査装置のように、第１の態様に係る検査装置では、判定装置４１は、前記少なくとも２つの画像の差画像を作る画像処理部を有することを特徴としてもよい。このように構成すると、少なくとも２つの画像同士で差算して差画像を得るので、典型的には、差画像では検査対象の状態が強調される。したがって、良否の判定が容易になる。
【００１１】
さらに本発明の第３の態様に係る検査装置のように、第１の態様または第２の態様に係る検査装置では、前記光束は偏光された光とするのが好ましい。偏光された光は、典型的には直線偏光された光とする。また、前記偏光された光束を照射された検査対象の結像される像は特定の偏光方位の偏光のみに基づく像であるように構成するとよい。例えば結像光学系に検光子を挿入配置する。あるいは撮像素子を備える場合は、その撮像素子が特定の偏光方位の偏光のみを検出するように構成されていてもよい。
【００１２】
また、以上の検査装置では、典型的には、前記光束が略平行光束であることを特徴とするのが好ましい。このように構成すると、光源からの距離に拘わらず照度が変化しないし、透明な材料に例えば折り目があって、光束が照射された折り目の影ができるとき、その影がシャープに見えるので好ましい。
【００１３】
さらに本発明の第４の態様に係る検査装置のように、第１の態様乃至第３の態様のいずれかに係る検査装置では、前記異なる方向から照射された検査対象の表面１ａにおける照度が、各方向同士でほぼ等しくなるように構成するのが好ましい。
【００１４】
典型的には、同じ明るさの光源を検査対象の表面から等距離、等入射角度方向に置けばよい。また平行光束として、検査対象表面への入射角度を等しくしてもよい。
【００１５】
また本発明の第５の態様に係る検査装置のように、第１の態様乃至第４の態様のいずれかに係る検査装置では、前記異なる方向が、検査対象の表面１ａの法線回りに互いに９０°の方向であるようにしてもよい。
【００１６】
前記目的を達成するために、本発明の第６の態様に係る検査方法は、透明な材料または透明な材料により包まれたパッケージを検査対象とする検査方法において；前記検査対象に、少なくとも２つの異なる方向から光束を照射する工程と；前記照射された検査対象に生じる影の像を結像する工程と；前記結像された、前記異なる方向から照射されたことにより生じる少なくとも２つの画像に基づいて前記検査対象の良否を判定する工程とを備える。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、各図において互いに同一あるいは相当する部材には同一符号または類似符号を付し、重複した説明は省略する。
【００１８】
図１の斜視図を参照して本発明の実施の形態を説明する。図中フィルムパッケージ１は、透明な材料である透明なフィルムで包装されている。このフィルムは透明であるので、下地の模様や文字、即ち包装された内側のたばこやキャラメルの箱の模様等が透けて見える。このフィルムパッケージ１の表面１ａに対して、平面であるフィルムパッケージ１の表面１ａの、図中斜め上方に照射光束Ｌ１を発する光源１１が配置されている。
【００１９】
フィルムパッケージ１の表面１ａは平面であり、光源１１は、それから発せられる光束Ｌ１が表面１ａに斜めに入射するように、即ち表面１ａのほぼ中央部に立てた法線に対して例えば４５°の入射角をもって入射するように配置されている。
【００２０】
ここで透明とは、フィルムの一方の側から他方の側を見たとき、他方の側に置かれた物を目視で識別することができる程度に半透明な場合も含むものとする。包装用の透明フィルムは、一般にポリプロピレン、ポリエチレン等の高分子材料を実質的に一定の方向に延伸することによってシート状に形成して製造される。
【００２１】
フィルムパッケージ１に対向して、平面である表面１ａの法線方向には、本発明の撮像素子としてのＣＣＤ素子を結像面に２次元に配列したＣＣＤカメラ２１ａが配置されている。ＣＣＤカメラ２１ａには画像処理装置４１が電気的に接続されている。
【００２２】
図２の斜視図を参照して本発明の第１の実施の形態を説明する。図中、フィルムパッケージ１の検査対象である表面１ａのほぼ中心に立てた法線に対して、光源１１と対称に照射光束Ｌ１’を発する別の光源１２が配置されている。光源１２は、表面１ａを照射する方向が異なる点（好ましくは１８０°）を除けば、表面１ａに対する関係については、光源１１と同様である。光源１２は、表面１ａのほぼ中心に立てた法線に対して、光源１１と対称に配置されているということは、光源１１と光源１２とは、表面１ａのほぼ中心に立てた法線を含む平面内にあると言ってもよい。
【００２３】
光源１１による表面１ａにおける照度と光源１２による表面１ａにおける照度とがほぼ等しくなるように構成するのがよい。例えば、各光源の明るさを同一、表面１ａからの各光源の高さを同一、且つ各光源から表面１ａへの入射角を同一にする。あるいは、高さは異なっても、各光源から表面１ａまでの距離を調整するか、光源の明るさを適切に設定すれば、表面１ａの照度を等しくすることができる。
【００２４】
図３を参照して、第１の実施の形態の作用を説明する。ここで、フィルムパッケージ１の検査対象の表面１ａに平行にＸＹ直角座標をとり（Ｘ軸を図３（ａ）（ｂ）の紙面に垂直、Ｙ軸を紙面に平行にとる）、表面１ａの法線方向にＺ軸（図３（ａ）（ｂ）の紙面に平行）をとる。図の（ａ）は、図中左上方約４５°の方向から光束Ｌ１を表面１ａに照射した状態を示す。これはＹ軸とＺ軸に約４５°、Ｘ軸に直交する方向である。このように照射すると、Ｘ軸にほぼ平行に存在する透明フィルムの折り目５６の図中右側、折り目から極く僅かにずれた位置に影６１ができる。これをＡ画像と呼ぶ。同様に図の（ｂ）は、図中右上方約４５°の方向から光束Ｌ１’を表面１ａに照射した状態を示す。このように照射すると、（ａ）の場合とは反対側、即ち透明フィルムの折り目５６の図中左側に極く僅かにずれた位置に影６１’ができる。これをＢ画像と呼ぶ。
【００２５】
なお図３では、影６１、６１’は、折り目５６の直下の透明フィルム上に生じる場合で示してあるが、下地１ｂ上に生じてもよい。通常は下地１ｂと透明フィルムとはほとんど接触しているので、下地１ｂに生じる影も、折り目５６から僅かにずれた位置にできることに変わりはない。これは、後で説明する図７の場合も同様である。
【００２６】
このようなＡ画像とＢ画像とでは、影６１と影６１’とは、位置は移動する（即ちＡ画像とＢ画像とで変化がある）が、パッケージの検査対象である表面１ａの下地の紙１ｂに描かれた絵や文字は移動しない（即ちＡ画像とＢ画像とで変化がない）。そこでＡ画像とＢ画像との間で差算（Ａ画像−Ｂ画像）をすると、画像に変化のない下地１ｂの文字や絵が消えて、折り目５６の影が残る。
【００２７】
図３の例で差画像についてさらに説明する。Ａ画像の影６１は暗い。影６１以外の部分は明るい。Ｂ画像も同様に影６１’は暗く、影６１’以外の部分は明るい。したがって、Ａ画像からＢ画像を減ずると、影６１の部分は、Ｂ画像の明るい部分をマイナスするので、暗いままである。また、Ａ画像の影６１以外の明るい部分のうち、Ｂ画像の影６１’以外の明るい部分をマイナスする部分は、ほぼ同じ明るさ同士の差になるので、暗くなる。ところで、Ａ画像の影６１以外の明るい部分のうち、Ｂ画像の影６１’をマイナスする部分は、明るい部分から暗い部分をマイナスするので、明るく残る。すなわち、Ａ画像とＢ画像の差画像を作ると、Ｂ画像の線状の影６１’が、暗い背景の中に残った線状の明るい像となる。
なお、差をとる代わりに一方の画像の反転画像を作って和を作ってもよい。また影を明るい像としてではなく暗い影で判定をした方が判定し易い場合は、差画像の反転画像を作ってもよい。そのようにすると、明るい背景の中に暗い影が残った画像となる。
【００２８】
図４を参照して、第１の実施の形態で得られる画像を説明する。図の（ａ）（ｂ）（ｃ）は、いずれも表面１ａをその法線方向、即ち図２、図３に示すＣＣＤカメラ２１ａの方向から見た平面図である。（ａ）は、図２に示す光源１１からの光束Ｌ１と、光源１２からの光束Ｌ１’とで、長方形の表面１ａの長手方向からフィルムパッケージ１を別々に照射し、それぞれによる画像、Ａ画像とＢ画像とを得て、差画像を作ったものである。下地の絵や文字は消えている。
【００２９】
太線で図示する折り目５１、５３は、光束Ｌ１あるいは光束Ｌ１’の進行方向に直角ないしは角度を持った方向であるので、明瞭に見える。しかしながら、細線で図示する折り目５２、５４は、光束Ｌ１あるいは光束Ｌ１’の進行方向に平行ないしはほぼ平行であるので、影はできにくく、たとえ影が形成されたとしても、Ａ画像とＢ画像とでほとんど同じ位置に形成されるので、差画像を作った結果、下地の絵や文字と同様に消去されてしまう。したがってほとんど見えないか、極薄く見えるだけである。
【００３０】
一方（ｂ）は、図１または図２には不図示であるが、検査対象の表面１ａの法線回りに、光束Ｌ１と光束Ｌ１’に対して９０°をなす方向から照射される光束Ｌ２と光束Ｌ２’で照射して、光束Ｌ１と光束Ｌ１’の場合と同様に作った差画像である。光束Ｌ２と光束Ｌ２’は、長方形の表面１ａの幅方向からフィルムパッケージ１を照射した場合ということになる。（ａ）に示す画像と（ｂ）に示す画像とは、別々に作る。光束Ｌ２、Ｌ２’の進行方向に直角ないしは角度を持った方向の折り目５２、５４が明瞭に見えて、光束Ｌ２、Ｌ２’の進行方向に平行ないしはほぼ平行な折り目５１、５３が、ほとんど見えないのは、（ａ）の場合と同様である。しかしながら、照射する方向が異なるので、（ａ）の場合に明瞭に見えなかった折り目が（ｂ）では明瞭に見え、逆に（ａ）で明瞭だった折り目が、（ｂ）では明瞭ではない。
【００３１】
（ｃ）は、（ａ）と（ｂ）の場合のそれぞれの画像を、画像処理装置４１で合成して和をとった場合の合成画像を示す。図示のように、全ての折り目が明瞭に見えるようになる。なお、パッケージの種類によって、折り目に不良の出やすい方向のみを観察すればよい場合があり、そのようなときは（ａ）と（ｂ）の画像の和画像を作る必要はない。たとえば矩形の表面１ａの幅方向に走る折り目を特に検査したいときは（ａ）の画像を作るだけでよいし、逆に表面１ａの長手方向に走る折り目を検査したいときは、（ｂ）の画像だけを作ればよい。
【００３２】
光束Ｌ１と光束Ｌ１’とを別々に照射するためには、光源１１と光源１２とを、一方を点灯しているとき他方を消灯するように点滅させてもよいし、１つの光源１１に対して検査対象を相対的に表面１ａの法線回りに回転させて、所定の回転位置での光を検出するようにしてもよい。但し検査対象をＣＣＤカメラ２１ａに対して回転させたときは、画像処理の際に多少手を加える必要がある。即ち、回転前後で、検査対象の形状は変わらないが、検査対象上の各点を結像するＣＣＤ素子は変わるので、その点を補正して評価しなければならないからである。
【００３３】
ＣＣＤカメラ２１ａが表面１ａの法線方向に配置されるときは、フィルムの表面で正反射される光をあまり検出しないので、所謂てかりの影響をある程度排除することができる。
【００３４】
図４を参照して、本発明の第２の実施の形態を説明する。第１の実施の形態では、２つの異なる方向が、表面１ａのほぼ中心に立てた法線に対して線対称な方向の場合である。即ち光束Ｌ１とＬ１’とで照射されることによって生じる２つの画像の差画像を作る。あるいは、光束Ｌ２とＬ２’とで照射されることによって生じる２つの画像の差画像を作る。
【００３５】
これに対して第２の実施の形態では、２つの異なる方向が表面１ａのほぼ中心に立てた法線回りに互いに９０°の方向である。即ち図４を参照して説明すれば、光束Ｌ１と光束Ｌ２とで照射されることによって生じる２つの画像の差画像を作る。このとき光束Ｌ１’と光束Ｌ２’は照射しない。ここで、光束Ｌ１によって生じる画像をＡ画像、光束Ｌ２によって生じる画像をＢ画像とし、Ａ画像からＢ画像をマイナスする差画像を作ると、その差画像はＢ画像の影の部分が明るく残った像、即ち影５２、５４部分が明るく残った像となる。その他の部分は、Ａ画像の影からＢ画像の明るい部分をマイナスするか、Ａ画像とＢ画像のほぼ同じ明るさ同士の差となり、暗くなるからである。
【００３６】
一方、Ｂ画像からＡ画像をマイナスする差画像を作ると、その差画像はＡ画像の影の部分が明るく残った像、即ち影５１、５３部分が明るく残った像となる。その他の部分が、暗くなるのはＡ画像からＢ画像をマイナスした場合と同様である。
【００３７】
このようにして作られた、影５２と影５４の強調された画像と影５１と影５３の強調された画像との和画像を作ると、図４の（ｃ）に示すように、全ての折り目（の影）が強調された画像が得られる。即ち、全ての折り目を強調するのに必要な差画像を作る処理回数は、第１の実施の形態と同様に２回であるが、光束を照射する方向は、第１の実施の形態では４方向であったのに対して、２方向で済む。
【００３８】
図５を参照して、画像処理装置４１に形成された画像を用いて、パッケージの良否を判定する方法について説明する。図中（ａ）は、従来の方法でフィルムパッケージ１を観察した場合の画像を示す。フィルムパッケージ１を、図４を参照して説明したように画像処理すると、（ｂ）に示すような全ての折り目が強調された画像となる。したがって、例えば（ｃ）に示すような異常な折り目５５が出来ている場合、そのような折り目も強調されて明瞭に観察することができる。
【００３９】
さらに、あらかじめ（ｂ）に対応するような、良品の画像を撮像して画像処理装置４１に参照画像として保存しておけば、実際の検査対象から得られた画像を、その参照画像と比較して、その一致度により、検査対象の良否を判定することができる。例えば９５％以上の一致度であれば良品と判定する。（ｃ）に示すように、折り目５５が斜めになっているときは、一致度が例えば７０％になり、不良品と判定される。
【００４０】
図６を参照して、本発明の第３の実施の形態を説明する。第１の実施の形態では、光束Ｌ１、Ｌ１’、Ｌ２、Ｌ２’は、光源から発散する光束であるものとしたが、第３の実施の形態では、平行な光束を用いる。平行光束を得るために、光源１１と検査対象の表面１ａとの間にコリメータレンズ７１が配置されている。さらにコリメータレンズ７１と表面１ａとの間には偏光子３１が配置されている。コリメータレンズ７１で平行にされた平行光束Ｌ３は、表面１ａに入射角θ（表面１ａの法線に対してθ）で入射する。
【００４１】
表面１ａに対向して、表面１ａの法線方向には、結像面にＣＣＤ素子のような撮像素子２１（不図示）を２次元に（平面状に）配列して構成されるカメラ２１ａが配置されている。即ちカメラ２１ａは、表面１ａを真上から観察できるように配置されている。またカメラ２１ａと表面１ａとの間には、検光子３２が配置されている。検光子３２は、偏光子３１に対して、偏光方位が直交ニコルの関係になるように配置する。偏光子３１と検光子３２とが直交ニコルの関係にあるとは、偏光子３１と検光子３２とを透過する直線偏光の電気ベクトルの振動面が互いに垂直になるようにこれら偏光子３１と検光子３２とを光路中に配置した状態をいう。即ち、偏光子３１を透過した光が、透明フィルムによって偏光状態の特別な変化を受けることなく正反射された光の振動面と、検光子３２を透過する光の振動面が直交する関係にあることをいう。
【００４２】
第３の実施の形態では、光束が拡散しないので、表面１ａ全体に渡って一様な照度を得ることができる。光束Ｌ３で照射して得られる表面１ａの画像をＡ画像とする。
【００４３】
同様に、表面１ａの法線に対して対称に、光源１１を備える照射系と全く同様な照射系が備えられている。すなわち表面１ａに入射角θで入射する平行光線を発生するように、光源１２’、コリメータレンズ７１’、偏光子３１’が配置され、平行光束Ｌ３’を表面１ａに照射するように構成されている。光束Ｌ３’で照射して得られる表面１ａの画像をＢ画像とする。
【００４４】
図７を参照して、本発明の前記第３の実施の形態の作用を説明する。（ａ）（ｂ）共に、フィルムパッケージ１の検査対象の表面１ａ部分を拡大してＸ軸方向に見た部分断面図である。
【００４５】
検査対象の表面１ａに照射された平行光束Ｌ３は、この光束に直交するか又は角度をもって存在するフィルムの折り目５６に当たると、折り目５６の極く近傍に影６１を生じさせる。この影は、カメラ２１ａにより明瞭な折り目像として検出される。しかしながら、（ａ）に示すようにフィルムに皺やよれ５７があると、平行光束Ｌ３はここで正反射して、正反射光Ｌ５はカメラ２１ａに向かう。このようにして、検光子３２が無い場合は、正反射光Ｌ５が、直接カメラ２１ａで受光されるので、折り目ではないところも光ってしまう。即ち観察したいのは折り目による散乱光あるいは影のみであるにもかかわらず、その他の部分からの正反射光も受光してしまい、所謂てかりが発生してしまう。
【００４６】
第３の実施の形態では、先に構成を説明したように、平行光束Ｌ３が検査対象の表面１ａに入射する前に偏光されるように、平行光束Ｌ３の光路中に偏光子３１を挿入してあり、また、表面１ａとカメラ２１ａとの間には、検光子３２が配置されている。検光子３２は、偏光子３１に対して、偏光方位が直交ニコルの関係になるように配置されているので、偏光子３１を透過し、表面１ａの皺やよれ５７で正反射した光が、検光子３２でカットされる。したがって、表面１ａのてかりをカメラ２１ａが検出するのを防止することができる。
【００４７】
なお偏光子３１は、検査対象の表面１ａの直前に配置しなくてもよい。例えば、図６の光源１１から表面１ａまでのいずれかの位置に挿入配置すればよい。また、ここでは偏光子３１を用いるものとして説明したが、光源そのものを偏光を発生する光源例えばＬＤ（レーザーダイオード）とすれば、偏光子３１は設けなくてもよい。要は、検査対象を偏光した光、特に直線偏光した光で照射すればよい。
【００４８】
（ｂ）には、表面１ａが平行光束Ｌ３’で照射される様子を示してある。折り目５６の影６１’は、折り目５６の極く近傍に生じる。影６１’は、（ａ）の影６１とは折り目５６に対して反対側に生じる。したがってＡ画像とＢ画像の差画像を作ると図４（ａ）で説明したような画像となる。第３の実施の形態では、てかりの検出を効果的に防止できるので、偏光子３１、３１’と検光子３２を設けない場合よりもさらに明瞭な画像が得られる。もっとも、皺やよれのあまりない検査対象を検査する検査装置としては、平行光束Ｌ３、Ｌ３’を用いるが、偏光子３１、３１’と検光子３２を用いない装置としてもよい。
【００４９】
また図２に示すような発散光束Ｌ１、Ｌ１’に、クロスニコルの関係にある偏光子３１、３１’と検光子３２とを用いる装置としてもよい。
【００５０】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、結像光学系で結像された、異なる方向から照射されたことにより生じる少なくとも２つの画像に基づいて検査対象の良否を判定する判定装置を備えるので、透明な材料または透明な材料により包まれたパッケージの良否を効率的に検査することのできる検査装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態である検査装置の概略を説明する斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態である検査装置の概念的斜視図である。
【図３】第１の実施の形態の検査装置の作用を説明する部分断面図である。
【図４】本発明の実施の形態である検査装置を用いて、フィルムパッケージの表面をＣＣＤカメラで撮像し、画像処理した画像の例を示し、又第２の実施の形態を説明する平面図である。
【図５】本発明の実施の形態である検査装置を用いて、観察したフィルムパッケージの表面を示す平面図である。
【図６】本発明の第３の実施の形態である検査装置の概念的正面図である。
【図７】第３の実施の形態の検査装置の作用を説明する部分断面図である。
【図８】従来の検査方法を説明する概念的斜視図である。
【符号の説明】
１フィルムパッケージ
１１、１２光源
３１、３１’ 偏光子
３２検光子
２１ａＣＣＤカメラ
４１画像処理装置
５６折り目
６１、６１’ 影
６２てかり
７１コリメータレンズ

Claims

パッケージを包んでいる透明な材料を検査対象とする検査装置において；
前記検査対象に異なる方向から光束を照射する少なくとも１つの照射装置と；
前記少なくとも１つの照射装置で照射された前記透明な材料の折り目により生じる影の像を結像する結像光学系と；
前記結像光学系で結像された、前記異なる方向から照射されたことにより生じる少なくとも２つの前記影の像の差画像を作る画像処理部と；
前記差画像に基づいて前記検査対象の良否を判定する判定装置とを備える；
検査装置。
前記光束は偏光された光であることを特徴とする、請求項１に記載の検査装置。
前記異なる方向から照射された検査対象の表面における照度が、各方向同士でほぼ等しくなるように構成されたことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の検査装置。
前記異なる方向が、前記検査対象の表面の法線回りに互いに９０°の方向であることを特徴とする、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の検査装置。
パッケージを包んでいる透明な材料を検査対象とする検査方法において；
前記検査対象に、少なくとも２つの異なる方向から光束を照射する工程と；
前記照射された前記透明な材料の折り目により生じる影の像を結像する工程と；
前記結像された、前記異なる方向から照射されたことにより生じる少なくとも２つの前記影の像の差画像を作る工程と；
前記差画像に基づいて前記検査対象の良否を判定する工程とを備える；
検査方法。