JP4321190B2 - 材料厚さ測定方法及び装置 - Google Patents
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Description
D=VL・t2L/2 …(1)
として算出する。あるいは、パルス2Lと4Lの到達時間間隔t2L´を縦波伝搬時間計測手段130によって測定することにより、
D=VL・t2L´/2 …(2)
として材料の厚さDを算出することもできる。
t2L=F{D,T,L} …(7)
と表わすことができる。又、(4)、(5)、(6)式より、モード変換波伝搬時間tSLも、材料厚さD、材料温度T、超音波送受信位置間距離Lの関数として表わされる。即ち、
tSL=G{D,T,L} …(8)
と表わすことができる。超音波送受信位置間距離Lは既知であるから、縦波及びモード変換波の伝搬時間t2L、tSLを計測すれば、(7)、(8)式を連立させて解くことにより、材料の厚さDと材料の温度Tが同時に求められる。
110…超音波探触子
120…超音波送受信器
130…縦波伝搬時間計測手段
140…演算手段
210…レーザー照射手段
212…レーザービーム
214…レーザービーム照射位置
220…超音波検出手段
224…超音波検出位置
230…伝搬時間計測手段
240…演算手段
300…鋼板
310…パルスYAGレーザー
311…シリンドリカルレンズ
321…連続発振YAGレーザー
322…適応型干渉計
330…高速A/D変換器
340…コンピュータ
Claims (6)
- 材料表面にレーザービームを照射することにより、該材料内部に超音波を発生させるレーザー照射手段と、
異なる経路を伝搬して該材料底面で反射した超音波縦波及び超音波モード変換波を、該材料表面上の前記レーザービームの照射位置から間隔を離した位置で検出する超音波検出手段と、
該超音波検出信号から超音波縦波及びモード変換波の該材料中の伝搬時間を計測する伝搬時間計測手段と、
予め求めておいた該材料中の縦波音速及び横波音速と温度との相関関係、及び前記照射と検出の位置間隔、材料の厚さ、該材料底面におけるモード変換波の入射角と反射角、前記材料中の音速及び前記伝搬時間との間の関係式とに基づいて、前記計測した伝搬時間から材料の厚さを算出する演算手段と、
を備えたことを特徴とする材料厚さ測定装置。 - 前記超音波検出手段が検出するモード変換波は、レーザービームの照射により発生した縦波が前記材料底面においてモード変換した横波およびレーザービームの照射により発生した横波が前記材料底面においてモード変換した縦波が重畳されたものであることを特徴とする、請求項1に記載の材料厚さ測定装置。
- 前記超音波検出手段が、レーザー発振装置及び光干渉計によって構成されることを特徴とする、請求項1または2に記載の材料厚さ測定装置。
- 上記材料表面上におけるレーザー照射位置と超音波検出位置の距離が材料厚さより小さくなるようにすることを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の材料厚さ測定装置。
- 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の材料厚さ測定装置を組み込んでいることを特徴とする金属材料製造設備列。
- 材料表面にレーザービームを照射して材料内部に超音波を発生させ、
異なる経路を伝播して材料底面で反射した超音波縦波及び超音波モード変換波を、該材料表面上の前記レーザービームの照射位置から間隔を離した位置で検出し、
検出した超音波縦波及びモード変換波の該材料中の伝搬時間を計測し、
予め求めておいた該材料中の縦波音速及び横波音速と温度との相関関係、及び前記照射と検出の位置間隔、材料の厚さ、該材料底面におけるモード変換波の入射角と反射角、前記材料中の音速及び前記伝搬時間との間の関係式とに基づいて、前記計測した伝搬時間から材料の厚さを検出することを特徴とする材料厚さ測定方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/287,607 US6837109B2 (en) | 2002-11-05 | 2002-11-05 | Material thickness measurement method and apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004157114A JP2004157114A (ja) | 2004-06-03 |
JP4321190B2 true JP4321190B2 (ja) | 2009-08-26 |
Family
ID=32175728
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003324535A Expired - Fee Related JP4321190B2 (ja) | 2002-11-05 | 2003-09-17 | 材料厚さ測定方法及び装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6837109B2 (ja) |
JP (1) | JP4321190B2 (ja) |
Families Citing this family (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20060004956A (ko) * | 2003-04-24 | 2006-01-16 | 토소우 에스엠디, 인크 | 초음파를 이용한 스퍼터링 타겟 두께를 비접촉식으로측정하기 위한 시스템 및 방법 |
KR20050014051A (ko) * | 2003-07-29 | 2005-02-07 | 안희태 | 초음파 신호에서 주파수 분리를 이용한 거리측정 방법 및장치 |
US7470056B2 (en) * | 2004-02-12 | 2008-12-30 | Industrial Measurement Systems, Inc. | Methods and apparatus for monitoring a condition of a material |
US7708461B2 (en) * | 2004-09-17 | 2010-05-04 | Siemens Aktiengesellschaft | Temperature determination of an away-facing surface of an object |
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JP5314280B2 (ja) * | 2007-12-26 | 2013-10-16 | 学校法人金沢工業大学 | 計測方法および装置 |
JP5157610B2 (ja) * | 2008-04-17 | 2013-03-06 | Jfeスチール株式会社 | 薄肉鋼管の肉厚測定方法 |
JP5061055B2 (ja) * | 2008-07-18 | 2012-10-31 | 株式会社神戸製鋼所 | 温度測定装置,温度測定方法 |
US8256953B2 (en) * | 2008-10-31 | 2012-09-04 | Yuhas Donald E | Methods and apparatus for measuring temperature and heat flux in a material using ultrasound |
US8600702B2 (en) | 2008-12-30 | 2013-12-03 | United States Pipe And Foundry Company, Llc | Non-destructive thickness measurement systems and methods |
WO2011088393A2 (en) * | 2010-01-15 | 2011-07-21 | University Of Utah Research Foundation | Ultrasonic temperature measurement device |
JP5570451B2 (ja) * | 2010-02-16 | 2014-08-13 | パナソニック株式会社 | レーザ溶接装置およびレーザ溶接方法 |
JP5465588B2 (ja) * | 2010-04-16 | 2014-04-09 | 新日鐵住金株式会社 | 炭素質材の超音波検査方法及びその装置 |
JP5552447B2 (ja) * | 2011-01-25 | 2014-07-16 | トヨタ自動車株式会社 | 超音波計測方法、及び超音波計測装置 |
EP2676143B1 (en) | 2011-02-15 | 2023-11-01 | Hemosonics, Llc | Characterization of blood hemostasis and oxygen transport parameters |
CN103064115B (zh) * | 2012-12-27 | 2014-03-26 | 中国石油大学(北京) | 一种射线参数域纵波与转换波匹配方法 |
KR101430694B1 (ko) | 2012-12-28 | 2014-09-23 | 한국원자력연구원 | 초음파 신호 처리를 이용한 두께 측정 장치 및 방법 |
NO2755812T3 (ja) | 2013-03-12 | 2018-06-30 | ||
AT513852B1 (de) * | 2013-04-04 | 2014-08-15 | Constantia Teich Gmbh | Verfahren zur Ermittlung der Schichtdicke einer Verbindungsschicht zwischen zwei Verpackungsschichten |
US9632016B2 (en) | 2013-05-20 | 2017-04-25 | The Boeing Company | Material strain measurement method by means of laser ablation |
US9791419B2 (en) | 2014-02-18 | 2017-10-17 | Novelis Inc. | Photo-acoustic device and method for non-contact measurement of thin layers |
JP6440371B2 (ja) * | 2014-03-12 | 2018-12-19 | 三菱電機株式会社 | 超音波測定装置及び方法 |
US10444202B2 (en) | 2014-04-16 | 2019-10-15 | Triad National Security, Llc | Nondestructive inspection using continuous ultrasonic wave generation |
US9726647B2 (en) | 2015-03-17 | 2017-08-08 | Hemosonics, Llc | Determining mechanical properties via ultrasound-induced resonance |
CN109844518B (zh) * | 2016-08-16 | 2022-09-20 | 加拿大国家研究委员会 | 超声波岩石锚杆状态监测的方法和系统 |
US10794836B1 (en) | 2016-12-27 | 2020-10-06 | Triad National Security, Llc | System and method for in-process inspection within advanced manufacturing processes |
US10627370B2 (en) * | 2018-04-25 | 2020-04-21 | Southwest Research Institute | Additive manufacture of metal objects; inspection and part validation |
CN109387568A (zh) * | 2018-12-21 | 2019-02-26 | 西安增材制造国家研究院有限公司 | 一种激光超声检测装置及增材制造、检测一体设备 |
CN114674257A (zh) * | 2022-03-31 | 2022-06-28 | 中国空气动力研究与发展中心计算空气动力研究所 | 一种基于超声横波探测的高精度测厚方法及装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6027361B2 (ja) | 1978-01-18 | 1985-06-28 | 新日本製鐵株式会社 | 導電性材料の厚さ測定方法 |
US5604592A (en) * | 1994-09-19 | 1997-02-18 | Textron Defense Systems, Division Of Avco Corporation | Laser ultrasonics-based material analysis system and method using matched filter processing |
US6057927A (en) * | 1998-02-25 | 2000-05-02 | American Iron And Steel Institute | Laser-ultrasound spectroscopy apparatus and method with detection of shear resonances for measuring anisotropy, thickness, and other properties |
US6078397A (en) * | 1999-04-20 | 2000-06-20 | National Research Council | Method and apparatus for mapping the wall thickness of tubes during production |
-
2002
- 2002-11-05 US US10/287,607 patent/US6837109B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-09-17 JP JP2003324535A patent/JP4321190B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20040085550A1 (en) | 2004-05-06 |
US6837109B2 (en) | 2005-01-04 |
JP2004157114A (ja) | 2004-06-03 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060714 |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090217 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090415 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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