JP4320724B2 - 処理廃液回収装置及びその回収制御方法並びに処理廃液回収装置を適用した現像装置 - Google Patents
処理廃液回収装置及びその回収制御方法並びに処理廃液回収装置を適用した現像装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4320724B2 JP4320724B2 JP2003433192A JP2003433192A JP4320724B2 JP 4320724 B2 JP4320724 B2 JP 4320724B2 JP 2003433192 A JP2003433192 A JP 2003433192A JP 2003433192 A JP2003433192 A JP 2003433192A JP 4320724 B2 JP4320724 B2 JP 4320724B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing
- liquid
- waste liquid
- waste
- transfer path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
すなわち、このような基板処理装置の処理廃液回収機構においては、各処理液の廃液の回収経路を切り換えるための大掛かりかつ複雑な処理液回収構成を備え、当該機構を各処理工程に合わせて適宜駆動制御することにより、各処理液の廃液を分離して回収することを可能としているものであるが、このために処理廃液回収機構の構造及びその制御が大掛かりかつ複雑なものとなっており、そのため装置のコストが上昇するという問題を有していた。
そのため、例えば、手動運転(マニュアル制御)により現像装置を動作させた場合、処理廃液の種類に応じて適切に回収、排出することができないというトラブルが生じる可能性があり、廃棄処分される廃液量の増大に伴う環境面への悪影響や、現像液等の処理液の購入費用や廃液の廃棄処分費用の増加を招くという問題を有していた。
請求項3記載の発明は、請求項1記載の処理廃液回収装置において、前記廃液移送経路設定手段は、前記処理液の廃液の回収経路を設定するタイミングを、前記処理液判別手段により前記処理液の種類が判別されたタイミングに対して所定の遅延時間を経たタイミングとする遅延時間設定手段を備えていることを特徴とする。
請求項5記載の発明は、請求項1乃至4記載の処理廃液回収装置において、前記処理液は、少なくとも、前記化学的処理に供した後の廃液が、再生利用が可能な第1の処理液と、再生利用が不可能な第2の処理液と、を含み、前記廃液移送経路設定手段は、前記処理液判別手段により、前記第1の処理液のみが前記対象物に付与されていると判別された場合には、所定のタイミングで、前記移送経路を前記廃液回収手段に回収する経路に設定することを特徴とする。
請求項7記載の発明は、請求項5又は6記載の処理廃液回収装置において、前記廃液移送経路設定手段は、前記処理液判別手段により、前記対象物にいずれの前記処理液も付与されていないと判断された場合には、前記移送経路を、前記処理液の廃液を前記廃液廃棄手段に排出する経路に設定することを特徴とする。
請求項9記載の発明は、請求項8記載の処理廃液回収装置の回収制御方法において、前記処理液の廃液を移送する経路を切り換え設定するステップは、前記処理液の種類を判別するステップにおいて該処理液の種類が判別されたタイミングから、所定の遅延時間が経過した後に、前記処理液の廃液の移送経路を切り換え設定するステップを含むことを特徴とする。
請求項11記載の発明は、請求項8乃至10記載の処理廃液回収装置の回収制御方法において、前記処理液の廃液の経路を切り換え設定するステップは、前記処理液の種類を判別するステップにおいて前記対象物にいずれの前記処理液も付与されていないと判別された場合には、前記移送経路を前記廃液廃棄手段に排出する経路に設定することを特徴とする。
請求項14記載の発明は、請求項12又は13記載の現像装置において、前記廃液移送経路設定手段は、前記基板に供給された前記処理液の廃液を排出する唯一の廃液配管と前記廃液回収手段又は前記廃液廃棄手段のいずれか一方との接続状態を選択的に切り換える手段を備えることを特徴とする。
請求項16記載の発明は、請求項12乃至14記載の現像装置において、前記廃液移送経路設定手段は、前記処理液判別手段により前記処理液が少なくとも前記純水を含むと判別された場合には、所定のタイミングで、前記移送経路を前記廃液廃棄手段に排出する経路に設定することを特徴とする。
請求項17記載の発明は、請求項12乃至14記載の現像装置において、前記廃液移送経路設定手段は、前記処理液判別手段により、前記基板にいずれの前記処理液も供給されていないと判断された場合には、前記移送経路を前記廃液廃棄手段に排出する経路に設定することを特徴とする。
<現像装置>
図1は、本発明に係る処理廃液回収装置を適用した現像装置の全体構成の一実施形態を示す概略図であり、図2は、本実施形態に係る現像装置の要部構成例を示す概略図である。
リレースイッチ43a、43bは、上記流量センサ42a、42bから制御信号が出力される(信号電圧が印加される)ことにより通電動作し、一方のリレー接点に印加された動作電圧(例えば、+24V)が他方のリレー接点を介して各処理液ごとに設定されたコントローラ44の入力接点に検出信号として入力されるように構成されている。
電源ユニット47は、例えば、商用交流電源(AC100V等)を直流変換するAC―DCコンバータであって、正負電圧からなる動作電圧を生成して、少なくともリレースイッチ43、コントローラ44、電磁弁45、圧力センサ46に供給する。
図3は、本実施形態に係る現像装置における現像処理の制御方法を示すフローチャートであり、図4は、本実施形態に係る現像装置における水洗処理の制御方法を示すフローチャートであり、図5は、本実施形態に係る現像装置における乾燥処理の制御方法を示すフローチャートである。ここで、各処理において同等の制御手順を実行する場合については、その説明を簡略化して説明する。
現像処理は、まず、図3に示すように、コントローラ44により、又は、図示を省略したシーケンサにより、現像処理を開始する操作を行うと(S101)、現像液を処理室10(基板SUB)に供給する指令が出力され、現像液が処理液供給配管22aを介して吐出ノズル21aから処理室10内に噴射される(S102)。
水洗処理は、まず、図4に示すように、コントローラ44(又は、図示を省略したシーケンサ)により、水洗処理を開始する操作を行うと(S201)、純水が処理液供給配管22bを介して吐出ノズル21bから処理室10内に噴射される(S202)。このとき、処理液供給配管22bに設けられたフローメータ41b及び流量センサ42bにより純水の供給状態(供給の有無)が検出されて、リレースイッチ43bから検出信号がコントローラ44の入力接点に入力される(S203)。
乾燥処理は、まず、図5に示すように、コントローラ44(又は、図示を省略したシーケンサ)により、乾燥処理を開始する操作を行うと(S301)、処理液(現像液、純水)の供給が遮断されることにより、各処理液供給配管22a、22bに設けられたフローメータ41a、41b及び流量センサ42a、42bにより処理液の供給状態は検出されないので、リレースイッチ43a、43bからコントローラ44の入力接点へ検出信号は入力されない(S302)。
図6は、本実施形態に係る現像装置を手動運転により動作させた場合の制御方法を示すフローチャートである。ここでは、上述した現像処理、水洗処理、乾燥処理に示した制御方法を適宜参照しながら説明し、同等の手順についてはその説明を簡略化する。
以下、上述した一連の処理手順を、図6に示すように、繰り返し実行することにより、手動運転により操作される各処理状態に応じて、廃液回収部における処理廃液の移送経路が適宜設定されることになる。
10 処理室
20 処理液供給部
22a、22b 処理液供給配管
30 廃液回収部
32 経路選択バルブ
40 装置制御部
41a、41b フローメータ
42a、42b 流量センサ
Claims (17)
- 所定の対象物の化学的処理に供した複数種類の処理液の廃液を回収する処理廃液回収装置において、
少なくとも、
前記処理液を前記対象物に個別に付与する処理液供給手段と、
前記処理液供給手段における前記処理液の供給状態を個別に検出する供給状態検出手段と、
前記供給状態検出手段における前記供給状態の検出結果に基づいて、前記対象物に付与されている前記処理液の種類を判別する処理液判別手段と、
前記処理液判別手段における前記処理液の種類の判別結果に基づいて、前記処理液の廃液の移送経路を設定する廃液移送経路設定手段と、
を備えていることを特徴とする処理廃液回収装置。 - 前記供給状態検出手段は、前記処理液供給手段から送出される前記処理液の流量に基づいて、前記供給状態を検出することを特徴とする請求項1記載の処理廃液回収装置。
- 前記廃液移送経路設定手段は、前記処理液の廃液の回収経路を設定するタイミングを、前記処理液判別手段により前記処理液の種類が判別されたタイミングに対して所定の遅延時間を経たタイミングとする遅延時間設定手段を備えていることを特徴とする請求項1記載の処理廃液回収装置。
- 前記廃液移送経路設定手段は、前記対象物に付与された前記処理液の廃液を排出する唯一の廃液配管と廃液回収手段又は廃液廃棄手段のいずれか一方との接続状態を選択的に切り換える手段を備えることを特徴とする請求項1記載の処理廃液回収装置。
- 前記処理液は、少なくとも、前記化学的処理に供した後の廃液が、再生利用が可能な第1の処理液と、再生利用が不可能な第2の処理液と、を含み、
前記廃液移送経路設定手段は、前記処理液判別手段により、前記第1の処理液のみが前記対象物に付与されていると判別された場合には、所定のタイミングで、前記移送経路を前記廃液回収手段に回収する経路に設定することを特徴とする請求項1乃至4記載の処理廃液回収装置。 - 前記廃液移送経路設定手段は、前記処理液判別手段により、少なくとも前記第2の処理液が前記対象物に付与されていると判別された場合には、所定のタイミングで、前記移送経路を前記廃液廃棄手段に排出する経路に設定することを特徴とする請求項5記載の処理廃液回収装置。
- 前記廃液移送経路設定手段は、前記処理液判別手段により、前記対象物にいずれの前記処理液も付与されていないと判断された場合には、前記移送経路を、前記処理液の廃液を前記廃液廃棄手段に排出する経路に設定することを特徴とする請求項5又は6記載の処理廃液回収装置。
- 所定の対象物の化学的処理に供した複数種類の処理液の廃液を回収する処理廃液回収装置の回収制御方法において、
前記対象物に付与される前記処理液の供給状態を個別に検出するステップと、
前記検出された前記処理液の供給状態に基づいて、前記対象物に付与されている前記処理液の種類を判別するステップと、
前記処理液の判別結果に基づく所定のタイミングで、前記処理液の廃液を移送する移送経路を廃液回収手段に回収する経路と廃液廃棄手段に排出する経路のいずれか一方に切り換え設定するステップと、
を含むことを特徴とする処理廃液回収装置の回収制御方法。 - 前記処理液の廃液を移送する経路を切り換え設定するステップは、前記処理液の種類を判別するステップにおいて該処理液の種類が判別されたタイミングから、所定の遅延時間が経過した後に、前記処理液の廃液の移送経路を切り換え設定するステップを含むことを特徴とする請求項8記載の処理廃液回収装置の回収制御方法。
- 前記処理液は、少なくとも、前記化学的処理に供した後の廃液が、再生利用が可能な第1の処理液と、再生利用が不可能な第2の処理液と、を含み、
前記処理液の廃液を移送する移送経路を切り換え設定するステップは、前記処理液の種類を判別するステップにおいて前記処理液が前記第1の処理液であると判別された場合には、所定のタイミングで、前記移送経路を前記廃液回収手段に回収する経路に設定し、
前記処理液が少なくとも前記第2の処理液を含むと判別された場合には、所定のタイミングで、前記移送経路を前記廃液廃棄手段に排出する経路に設定することを特徴とする請求項8又は9記載の処理廃液回収装置の回収制御方法。 - 前記処理液の廃液の経路を切り換え設定するステップは、前記処理液の種類を判別するステップにおいて前記対象物にいずれの前記処理液も付与されていないと判別された場合には、前記移送経路を前記廃液廃棄手段に排出する経路に設定することを特徴とする請求項8乃至10記載の処理廃液回収装置の回収制御方法。
- 単一の処理室内で基板に対して、複数種類の処理液を付与して、一連の現像処理を施す現像装置において、
少なくとも、
現像液を前記処理液として前記基板に供給する現像液供給手段と、
純水を前記処理液として前記基板に供給する純水供給手段と、
前記現像液供給手段における前記現像液の供給状態、及び、前記純水供給手段における前記純水の供給状態を検出する供給状態検出手段と、
前記供給状態検出手段における前記供給状態の検出結果に基づいて、前記基板に供給されている前記処理液の種類を判別する処理液判別手段と、
前記処理液判別手段における前記処理液の判別結果に基づいて、前記処理液の廃液の移送経路を廃液回収手段に回収する経路と廃液廃棄手段に排出する経路のいずれか一方に設定する廃液移送経路設定手段と、
を備えていることを特徴とする現像装置。 - 前記廃液移送経路設定手段は、前記処理液の廃液の回収経路を設定するタイミングを、前記処理液判別手段により前記処理液の種類が判別されたタイミングに対して所定の遅延時間を経たタイミングとする遅延時間設定手段を備えていることを特徴とする請求項12記載の現像装置。
- 前記廃液移送経路設定手段は、前記基板に供給された前記処理液の廃液を排出する唯一の廃液配管と前記廃液回収手段又は前記廃液廃棄手段のいずれか一方との接続状態を選択的に切り換える手段を備えることを特徴とする請求項12又は13記載の現像装置。
- 前記廃液移送経路設定手段は、前記処理液判別手段により前記処理液が前記現像液のみであると判別された場合には、所定のタイミングで、前記移送経路を前記廃液回収手段に回収する経路に設定することを特徴とする請求項12乃至14記載の現像装置。
- 前記廃液移送経路設定手段は、前記処理液判別手段により前記処理液が少なくとも前記純水を含むと判別された場合には、所定のタイミングで、前記移送経路を前記廃液廃棄手段に排出する経路に設定することを特徴とする請求項12乃至14記載の現像装置。
- 前記廃液移送経路設定手段は、前記処理液判別手段により、前記基板にいずれの前記処理液も供給されていないと判断された場合には、前記移送経路を前記廃液廃棄手段に排出する経路に設定することを特徴とする請求項12乃至14記載の現像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003433192A JP4320724B2 (ja) | 2003-12-26 | 2003-12-26 | 処理廃液回収装置及びその回収制御方法並びに処理廃液回収装置を適用した現像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003433192A JP4320724B2 (ja) | 2003-12-26 | 2003-12-26 | 処理廃液回収装置及びその回収制御方法並びに処理廃液回収装置を適用した現像装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005191415A JP2005191415A (ja) | 2005-07-14 |
JP4320724B2 true JP4320724B2 (ja) | 2009-08-26 |
Family
ID=34790653
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003433192A Expired - Fee Related JP4320724B2 (ja) | 2003-12-26 | 2003-12-26 | 処理廃液回収装置及びその回収制御方法並びに処理廃液回収装置を適用した現像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4320724B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5000246B2 (ja) * | 2005-09-28 | 2012-08-15 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 排液処理方法及び処理装置 |
JP5885989B2 (ja) * | 2011-10-13 | 2016-03-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置、液処理方法および記憶媒体 |
JP6929630B2 (ja) * | 2016-10-24 | 2021-09-01 | 株式会社クレオ | 洗浄機 |
-
2003
- 2003-12-26 JP JP2003433192A patent/JP4320724B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005191415A (ja) | 2005-07-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101750647B1 (ko) | 액 공급 장치 및 기판 처리 장치 | |
JP4985191B2 (ja) | バッファタンク、中間貯留装置、液処理装置及び処理液の供給方法 | |
KR100493644B1 (ko) | 진공처리장치의운전방법 | |
US8016001B2 (en) | Painting material charging device | |
CN101246311A (zh) | 光刻胶气泡排除系统及排除方法 | |
JP4320724B2 (ja) | 処理廃液回収装置及びその回収制御方法並びに処理廃液回収装置を適用した現像装置 | |
JPH1167869A (ja) | 真空処理装置の運転方法及び真空処理装置 | |
KR101071343B1 (ko) | 폐액 처리장치 및 그 방법 | |
JP4291899B2 (ja) | 半導体装置製造設備のケミカル噴射装置 | |
JP2007235032A (ja) | 基板処理装置 | |
JPH1167715A (ja) | 半導体装置製造用気泡分離機及びこれを用いた半導体装置製造用処理液供給装置並びにその駆動方法 | |
JP3850710B2 (ja) | 真空処理装置の運転方法 | |
KR19990041379U (ko) | 포토레지스트 공급장치 | |
JP2009164646A (ja) | 真空処理装置及び真空処理方法 | |
CN105692795A (zh) | 超滤净水系统和超滤净水系统的控制方法 | |
JP2001007004A (ja) | 薬液供給装置および薬液供給方法 | |
JP2003017380A (ja) | フォトレジスト吐出し監視装置 | |
KR100699118B1 (ko) | 반도체 제조용 트랙장비의 감광제 공급장치 및 제어방법 | |
KR100492261B1 (ko) | 진공 처리장치 및 진공처리방법 | |
JP4245200B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JPH10143255A (ja) | 液管理装置 | |
JP2013131522A (ja) | 1チャンバーの剥離装置および剥離装置の制御方法 | |
KR100492267B1 (ko) | 진공 처리장치 및 진공처리방법 | |
KR20220099091A (ko) | 액 공급 장치, 액 공급 방법 및 컴퓨터 기억 매체 | |
JP2947509B2 (ja) | トランスオイル交換器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061222 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090508 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090521 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120612 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120612 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130612 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |