KR101071343B1 - 폐액 처리장치 및 그 방법 - Google Patents

Abstract

폐액의 전도도 값을 측정하여 재생가능한 폐액과 폐기할 폐액으로 분리하여 재사용 효율을 향상시키고 비용을 절감할 수 있는 폐액 처리장치 및 그 방법이 제공된다. 그 폐액 처리장치는, 회수라인에 의해 공정챔버에 연결되는 폐액 회수탱크; 그 회수탱크내의 폐액의 전도도값을 측정하기 위한 전도도 측정장치; 그 회수탱크내의 폐액을 분리하여 배출시키기 위해, 재생가능한 폐액을 배출시키기 위한 제1배출관과, 폐기할 폐액을 배출시키기 위한 제2배출관을 구비하는 드레인라인; 그 드레인라인의 각각의 배출관의 분기부에 설치되며 폐액의 배출방향을 자동으로 분리하여 제1배출관 또는 제2배출관으로 안내하기 위한 분리장치; 및 전도도 측정장치로부터 측정된 전도도값을 수신하고, 그 측정 전도도값을 폐액의 재생가능을 판단할 수 있는 기준값과 비교하며, 폐액의 재생 또는 폐기를 판단하여 분리장치를 제어하기 위한 콘트롤러를 포함한다.

폐액, 공정 챔버, 폐액처리, 전도도, 재생

Description

폐액 처리장치 및 그 방법{An Apparatus for Processing Waste Requid and Method Thereof}

본 발명은 폐액 처리장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 공정챔버에서 사용된후 회수되는 폐액의 전도도값을 측정하여 재생가능한 폐액과 폐기할 폐액으로 분리하여 재사용 효율을 향상시키고 비용을 절감할 수 있는 폐액 처리장치 및 그 방법에 관한 것이다.

최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 지금까지는 디스플레이 장치로 브라운관(cathode ray tube) 모니터가 주로 사용되었으나, 최근에는 반도체 기술의 급속한 발전에 따라 가볍고 공간을 작게 차지하는 평판 디스플레이 장치의 사용이 급격히 증대하고 있다. 평판 디스플레이로는 다양한 종류가 있으며, 이들 중 전력 소모와 부피가 작고 저전압 구동형인 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display)가 널리 사용되고 있다.

한편, 평판 디스플레이(FPD), 반도체 웨이퍼, LCD, 포토마스크용 글라스 등 에 사용되는 기판은 일련의 공정라인을 거치면서 처리된다. 즉, 감광제 도포(Photo resist coating: P/R), 노광(Expose), 현상(Develop), 에칭(Etching), 박리(Stripping), 세정(Cleaning), 건조(Dry) 등의 과정을 거치게 된다. 이와 같은 공정들 에칭, 세정 등과 같은 습식공정에는 다양한 종류의 약액이 사용된다. 또한, 이와 같은 공정을 행하는 기판 처리장치에는 그 기판 처리장치에서 사용된 약액을 처리하기 위한 폐액 처리장치가 구비되어 있다. 이와 같은 폐액 처리장치는 공정 장치로부터 폐액을 회수하여 재생시키거나 폐수처리하도록 구성되어 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 기판 처리장치의 공정챔버(1)에는 약액을 공급하기 위한 약액 공급탱크(2)가 연결되어 있다. 또한, 그 공정챔버(1)에는 그 공정챔버(1)에 공급된 기판(3)을 처리하는데 사용된 폐액을 회수하기 위한 회수탱크(4)가 연결된다. 또한, 그 회수탱크(4)에는 회수된 폐액을 재사용하기 위해 재생처리장치에 연결되는 재생라인(5)과, 폐액을 폐기하기 위한 폐기라인(6)이 연결되어 있다.

이 같은 구성에 따라, 기판 처리장치의 공정챔버(1)에서 사용된 약액 또는 폐액은 회수탱크(4)에 회수된 후 작업자의 판단에 따라 또는 자동 제어에 따라 재사용하기 위해 재생라인(5)을 통해 배출시키거나 폐수를 위해 폐기라인(6)을 따라 배출시킨다.

그러나, 이와 같은 종래의 폐액 처리장치에 의한 폐액 처리방법은 다소의 문제점이 초래되는 것으로 나타났다. 즉, 회수탱크로 회수되는 폐액을 기준없이 또는 시간에 따라 재사용 폐액 및 폐수용으로 구분하여 처리함으로써, 폐액의 사용효율이 저하됨은 물론 폐액의 처리비용이 증가되는 문제점이 있다.

이에 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 기판 처리장치의 공정챔버에서 사용된 폐액을 회수하고 그 폐액의 상태를 실시간으로 파악하여 재사용 가능성 및 폐기처분여부를 결정하여 이를 자동으로 처리할 수 있는 폐액 처리장치 및 그 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 하나의 과제는, 공정챔버로부터 회수된 폐액의 전도도 값을 실시간으로 측정하여 그 측정값에 따라 폐액을 재사용가능한 폐액 또는 폐기처분할 폐액으로 자동으로 분리하여 처리할 수 있는 폐액 처리장치 및 그 방법을 제공하는 것이다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 폐액 처리장치는, 기판 제조장치의 공정챔버에 연결되어 사용된 약액을 처리하기 위한 폐액 처리장치에 있어서, 회수라인에 의해 공정챔버에 연결되는 폐액 회수탱크; 그 회수탱크내의 폐액의 전도도값을 측정하기 위한 전도도 측정장치; 회수탱크내의 폐액을 분리하여 배출시키기 위해, 재생가능한 폐액을 배출시키기 위한 제1배출관과, 폐기할 폐액을 배출시키기 위한 제2배출관을 구비하는 드레인라인; 그 드레인라인의 각 각의 배출관의 분기부에는 폐액의 배출방향을 자동으로 분리하여 제1배출관 또는 제2배출관으로 안내하기 위한 분리장치; 및 전도도 측정장치로부터 측정된 전도도값을 수신하고, 그 측정 전도도값을 폐액의 재생가능을 판단할 수 있는 기준값과 비교하며, 폐액의 재생 또는 폐기를 판단하여 분리장치를 제어하기 위한 콘트롤러를 포함한다.

또한, 본 발명에 따른 폐액처리방법은, 기판 제조장치의 공정챔버에서 사용된 약액 또는 폐액을 회수라인을 통해 회수탱크로 회수하는 단계; 회수탱크에 폐액이 회수되면 전도도 측정장치로 하여금 폐액의 전도도값을 측정하여 콘트롤러로 송부하는 단계; 측정 전도도값이 콘트롤러에 입력되면, 콘트롤러로 하여금 측정 전도도값과 기준 전도도값을 비교하는 단계; 그 비교단계에서의 비교결과, 측정 전도도값이 기준 전도도값보다 작으면 분리장치를 작동시켜 제1배출관을 개방시켜 폐액을 배출시키는 단계; 제1배출관을 통해 배출된 폐액을 재생용 폐액탱크를 통해 회수하여 재생처리하는 단계; 비교단계에서의 비교결과, 측정 전도도값이 기준 전도도값보다 크면 분리장치를 작동시켜 제2배출관을 개방시켜 폐액을 배출시키는 단계; 및 제2배출관을 통해 배출된 폐액을 폐기용 폐액탱크를 통해 회수하여 폐기처리하는 단계를 포함한다.

본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

본 발명에 따른 폐액 처리장치 및 그 방법에 의하면, 기판 처리장치의 공정챔버에서 회수되는 폐액의 전도도값을 실시간으로 측정하여 그 전도도값에 따라 폐 액을 사용가능한 폐액과 폐기할 폐액으로 자동으로 분리하여 배출함으로써, 폐액의 재사용 효율이 향상되고 또한 폐액의 처리비용이 감소되는 효과가 있는 것이다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 수단 또는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 또한, "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 폐액처리장치 및 그방법을 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명에 따른 폐액 처리장치를 보여주는 구성도이며, 도 3은 본 발명에 따른 폐액 처리장치를 이용한 폐액 처리방법을 보여주는 플로우챠트이다.

먼저 도 2를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 폐액 처리장치가 적용되는 기판 처리장치를 개략적으로 설명하면, 약액이 공급되어 그 내부에 배치된 기판(S)을 처리하기 위한 공정챔버(10)를 구비한다. 그 공정챔버(10)는 기판을 처리할 수 있는 공간을 형성하는 다양한 형상으로 형성될 수 있다.

그 공정챔버(10)의 내측 상부에는 기판(S)에 실제적으로 약액을 제공하거나 분사하기 위한 약액 분사유닛(12)이 설치된다.

또한, 챔버(10)에는 분사유닛(12)에 공급되는 약액을 저장하고 또한 회수하기 위한 약액탱크(14)에 연결된 공급라인(16)이 연결된다.

본 발명의 바람직한 실시에에 따르면, 공정챔버(10)에는 그 공정챔버(10)에 사용된 약액 또는 폐액을 회수하기 위한 회수탱크(20)가 설치된다. 물론, 그 회수탱크(20)는 회수라인(22)에 의해 공정챔버(10)에 연통 연결되며, 그 회수라인(22)에는 폐액의 배출을 제어하기 위한 개폐밸브(24)가 설치될 수 있다.

특히, 회수탱크(20)에는 그 회수탱크(20)로 회수되는 폐액의 전도도값을 측정하기 위한 전도도 측정장치(30)가 설치된다. 그 전도도 측정장치(30)는 회수탱크(20)의 적정위치에서 폐액에 접하도록 설치되어 전도도값을 측정할 수 있는 전도 도 측정센서로 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 그 회수탱크(20)에는 그 회수탱크(20)에 회수된 폐액을 배출시키기 위한 드레인라인(40)이 설치된다. 그 드레인라인(40)은 재생가능한 폐액을 배출시키기 위한 제1배출관(42)과, 폐기할 폐액을 배출시키기 위한 제2배출관(44)을 구비한다.

특히, 그 드레인라인(40)의 각각의 배출관(42;44)의 분기부에는 폐액의 배출방향을 자동으로 분리하여 제1배출관(42) 또는 제2배출관(44)으로 안내하기 위한 분리장치(50)가 설치된다. 그 분리장치(50)는 삼방밸브로 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 전도도 측정장치(30)와 분리장치(50)에는 그 전도도 측정장치(30)로부터 측정된 전도도값을 수신하여 그 측정 전도도값을 기준값과 비교하고 폐액의 재생 또는 폐기를 판단하여 분리장치(40)를 제어하기 위한 콘트롤러(60)가 연결된다. 물론, 그 콘트롤러(60)에는 폐액의 재생가능성을 비교하여 판단할 수 있는 기준 전도도값이 입력되어 있으며, 분리장치(40)를 제어하기 위한 프로그램이 입력되어 있다.

물론, 드레인라인(40)의 제1배출관(42)는 재생용 폐액탱크(70) 또는 재생장치에 연결되며, 제2배출관(44)은 폐기용 폐액탱크(80) 또는 폐기장치에 연결될 수 있다.

이하, 본 발명에 따른 폐액 처리장치를 이용한 폐액 처리방법을 도 3 및 도 2를 참조로하여 상세히 설명한다.

먼저, 기판 제조장치의 공정챔버(10)에 배치된 기판(S)을 처리한 후의 약액, 즉 페액을 회수라인(22)을 통해 회수탱크(20)로 회수한다(S100).

그 회수탱크(20)에 폐액이 회수되면 전도도 측정장치(30)로 하여금 폐액의 전도도값을 측정하여 콘트롤러(60)로 송부한다(S110).

측정된 전도도값이 콘트롤러(60)에 입력되면, 콘트롤러(60)는 측정 전도도값(ov)과 기준 전도도값(bv)을 비교한다(S120).

비교단계(S120)에서의 비교결과, 측정 전도도값(ov)이 기준 전도도값(bv)보다 작으면 분리장치(50)를 작동시켜 제1배출관(42)을 개방시켜 폐액을 배출시킨다(S200).

물론, 이후에는 제1배출관(42)을 통해 배출된 폐액을 재생용 폐액탱크(70)를 통해 회수하여 재생처리한다(S210).

한편, 비교단계(S120)에서의 비교결과, 측정 전도도값(ov)이 기준 전도도값(bv)보다 크면 분리장치(50)를 작동시켜 제2배출관(44)을 개방시켜 폐액을 배출시킨다(S300).

이후에는 물론 제2배출관(44)을 통해 배출된 폐액을 폐기용 폐액탱크(80)를 통해 회수하여 폐기처리한다(S310).

물론, 위와 같은 공정은 연속반복적으로 또한 실시간으로 행해질 수 있어 회수된 폐액을 재생처리하거나 폐기처분 할 수 있는 것이다.

따라서, 공정챔버에서 처리된 후 회수된 폐액이 전도도값에 따라 재생가능한 폐액과 폐기할 폐액으로 분리되어 자동배출됨으로써, 신속하고 정확하게 폐액을 처 리할 수 있으므로 재사용 효율성을 높일 수 있고 또한 비용을 절감할 수 있는 것이다

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

도 1은 종래의 폐액 처리장치를 보여주는 구성도.

도 2는 본 발명에 따른 폐액 처리장치를 보여주는 구성도.

도 3은 도 2의 폐액 처리장치에서의 폐액 처리방법을 보여주는 플로우챠트.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10: 공정챔버 20: 회수탱크

30: 드레인라인 40: 드레인라인

50: 분리장치 60: 콘트롤러

70: 재생용 폐액 탱크 80: 폐기용 폐액 탱크

Claims (4)

1. 기판 제조장치의 공정챔버에 연결되어 사용된 약액을 처리하기 위한 폐액 처리장치에 있어서,

   회수라인에 의해 상기 공정챔버에 연결되는 폐액 회수탱크;

   상기 회수탱크내의 폐액의 전도도값을 측정하기 위한 전도도 측정장치;

   상기 회수탱크내의 폐액을 분리하여 배출시키기 위해, 재생가능한 폐액을 배출시키기 위한 제1배출관과, 폐기할 폐액을 배출시키기 위한 제2배출관을 구비하는 드레인라인;

   상기 드레인라인의 각각의 배출관의 분기부에는 폐액의 배출방향을 자동으로 분리하여 제1배출관 또는 제2배출관으로 안내하기 위한 분리장치; 및

   상기 전도도 측정장치로부터 측정된 전도도값을 폐액의 재생가능을 판단할 수 있는 기준값과 비교하며, 상기 비교 결과에 따라 상기 폐액이 상기 제1 배출관 또는 상기 제2 배출관으로 안내되도록 상기 분리장치를 제어하기 위한 콘트롤러를 포함하는 폐액 처리장치
2. 제1항에 있어서, 상기 전도도 측정장치는 상기 회수탱크에 회수된 폐액에 접하도록 설치되는 전도도 측정센서로 형성되는 폐액 처리장치
3. 제1항에 있어서, 상기 분리장치는 삼방밸브로 형성되는 폐액 처리장치.
4. 제1항 내지 3항중 어느 한 항에 따른 폐액 처리장치를 이용한 폐액 처리방법에 있어서,

   기판 제조장치의 공정챔버에서 사용된 약액 또는 폐액을 회수라인을 통해 회수탱크로 회수하는 단계;

   상기 회수탱크에 폐액이 회수되면 전도도 측정장치로 하여금 폐액의 전도도값을 측정하여 콘트롤러로 송부하는 단계;

   상기 측정 전도도값이 콘트롤러에 입력되면, 콘트롤러로 하여금 측정 전도도값과 기준 전도도값을 비교하는 단계;

   상기 비교단계에서의 비교결과, 측정 전도도값이 기준 전도도값보다 작으면 분리장치를 작동시켜 제1배출관을 개방시켜 폐액을 배출시키는 단계;

   상기 제1배출관을 통해 배출된 폐액을 재생용 폐액탱크를 통해 회수하여 재생처리하는 단계;

   상기 비교단계에서의 비교결과, 측정 전도도값이 기준 전도도값보다 크면 분리장치를 작동시켜 제2배출관을 개방시켜 폐액을 배출시키는 단계; 및

   상기 제2배출관을 통해 배출된 폐액을 폐기용 폐액탱크를 통해 회수하여 폐기처리하는 단계를 포함하는 폐액 처리방법.

Images