JP4311873B2 - 加熱加圧装置及び加圧力均一化部材 - Google Patents
加熱加圧装置及び加圧力均一化部材 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4311873B2 JP4311873B2 JP2000354032A JP2000354032A JP4311873B2 JP 4311873 B2 JP4311873 B2 JP 4311873B2 JP 2000354032 A JP2000354032 A JP 2000354032A JP 2000354032 A JP2000354032 A JP 2000354032A JP 4311873 B2 JP4311873 B2 JP 4311873B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- pressed
- heating
- pressurizing
- pressing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Press Drives And Press Lines (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、加熱加圧装置及び加圧力均一化部材に関し、更に詳しくは、加熱しながら、被加圧物に均一な圧力を付加することのできる加熱加圧装置及びそれに使用されることのできる加圧力均一化部材に関する。
【0002】
【従来の技術】
電子回路の製造におけるプリント基板上への電子部品の装着に接着剤が用いられている。ホットメルト型感圧接着剤が塗布されたプリント基板上にそれぞれ電子部品を配置し、接着剤の溶融温度に加熱しつつ、プレスすることでプリント基板と前記電子部品との接着が行われる。通常の場合、装着される電子部品の高さが、それぞれ異なるので、プリント基板毎に一括してプレスしようとすると、電子部品の高さの違いによって加圧力が不均一となり、プリント基板に対する接着力が充分に得られない電子部品が生じる。このため、従来は、プレスはプリント基板毎ではなく、それぞれの電子部品毎に行われていた。
【0003】
しかし、電子部品毎にプレスするのであるから、基板に搭載される電子部品の数に等しい回数のプレス作業をしなければならず、したがって、製造に時間がかかるという問題があった。また、小さな電子部品をそれぞれプレスする小さなプレス面を持つ特別なプレス装置が必要であった。さらに、前記プレス面の移動位置をプログラムされた自動制御により行う場合には、プリント基板の種類ごとに回路構造が異なるので、プリント基板の種類が変更される毎にプレス面の移動位置を設定するプログラムを入力し直す必要があった。
【0004】
また、被加圧物が凸凹を有していても均一な圧力が付加されるプレス装置として、特開平10−85996に柔軟弾性部材を利用した加圧成形装置がある。しかし、前記加圧成形装置で用いられる柔軟弾性部材は、ゴム等で形成されているので、高温では使用できず、ホットメルト型感圧接着剤の溶解温度である約200℃以上で使用することができなかった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明の目的は、高温で利用することができ、被加圧物に均一な圧力を与えることのできる加熱加圧装置を提供することにある。本発明の他の目的は、被加圧物に均一に加圧力を印加することのできる加圧力均一化部材を提供することにある。
【0006】
また、この発明の他の目的は、高さの異なる被加圧物を一括してプレスすることができ、プレス時間を短縮することのできる加熱加圧装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するための本発明の手段は、少なくとも一方が他方に向かって移動可能に形成され、相互の挟圧力で被加圧物を加圧成形することのできる第1の加圧部材および第2の加圧部材と、前記第1の加圧部材と前記第2の加圧部材との間に介装され、内部に低くとも200℃で溶融可能な金属類が充填され、かつ、被加圧物に向かう面に薄膜が形成されてなる加圧力均一化部材と、前記被加圧物、加圧部材及び加圧力均一化部材を加熱する加熱装置とを有して成り、前記加圧均一化部材は、前記被加圧物に向かう前記面を除いた面が加圧時に変形しない硬質な材料で形成され、かつ、内壁の端部に設けられた内向きのフランジからなり前記被加圧物に臨んで開口される開口部を有する容器における前記フランジに、加圧時に前記被加圧物の形状に沿って変形する前記薄膜が張り渡されて成ることを特徴とする加熱加圧装置であり、
また、前記加熱加圧装置の好適な態様では、前記薄膜が金属箔であり、
前記加熱加圧装置の好適な態様では、前記金属類は、融点が200℃〜350℃の合金であり、
前記加熱加圧装置の好適な態様では、前記第1の加圧部材は、前記第2の加圧部材に向かう面が被加圧物を配置可能に、かつ加圧時に移動不可能に形成されてなる固定部材であり、前記第2の加圧部材は、前記第1の加圧部材に向かって昇降可能に形成されてなる押圧部材であり、前記加圧力均一化部材が前記第2の加圧部材の前記第1の加圧部材に向かう面に設けられてなる。
前記加熱加圧装置の好適な他の態様では、前記第1の加圧部材は、前記第2の加圧部材に向かう面が被加圧物を配置可能に形成され、かつ前記第2の加圧部材に向かって昇降可能に形成されてなる押圧部材であり、前記第2の加圧部材が加圧時に移動不可能に形成されてなる固定部材であり、前記加圧力均一化部材は、前記固定部材の前記押圧部材に向かう面に設けられてなる。
本発明の他の手段は、前記加熱加圧装置に装填される加圧均一化部材であって、被加圧物に向かう面を除いた面が加圧時に変形しない硬質な材料で形成され、かつ、内壁の端部に設けられた内向きのフランジからなり被加圧物に臨んで開口される開口部を有する容器と、前記フランジに張り渡されて被加圧物に向かう前記面を形成し、加圧時に前記被加圧物の形状に沿って変形する薄膜と、前記容器内に収容されたところの、低くとも200℃で溶融可能な金属類とを有することを特徴とする加圧力均一化部材である。
【0008】
この発明の加熱加圧装置は、第1の加圧部材および第2の加圧部材と、加圧力均一化部材と、加熱装置とを有する。
【0009】
この発明における第1の加圧部材および第2の加圧部材は、少なくとも一方が他方に向かって移動可能に形成され、相互の挟圧力で被加圧物を加圧成形することのできる部材である。第1の加圧部材および第2の加圧部材は、被加圧物に相互の挟圧力を与えることのできる部材であれば、特に制限がなく、一方の加圧部材が他方の加圧部材に向かって移動するように形成されても良く、第1の加圧部材及び第2の加圧部材が相互に向かって移動するように形成されていても良い。
【0010】
前記第1の加圧部材、及び第2の加圧部材の形状は、装置の形状あるいは被加圧物の形状等により適宜選択され、例えば上記具体的説明中における第1の加圧部材の形状は、円柱形でも角柱形でもよく、特に限定がない。また被加圧物の形状により、受圧面積をなるべく小さくするように、前記第1の加圧部材および第2の加圧部材の形状を適宜選択することは、生産効率、装置の小型化等の点から好ましい。
【0011】
前記第1の加圧部材、及び第2の加圧部材の少なくともいずれかには、加圧部材を押圧する押圧部材が備えられる。この押圧部材は、前記第1又は第2の加圧部材と一体化されていてもよいし、独立した部材であってもよい。この押圧部材は、被加圧物に圧力を作用させることができるように形成されていれば特に制限がなく、流体の圧入による圧力で移動して被加圧物を加圧するように形成されていても良く、機械動力または機械的駆動力により移動して被加圧物を加圧するように形成されていても良い。この押圧部材としては、例えばピストンと油圧シリンダーとからなるシリンダー装置、及びギヤモータとギヤシステムとからなるギヤ式装置等が挙げられる。
【0012】
この発明における加圧力均一化部材は、前記第1の加圧部材と前記第2の加圧部材との間に介装され、内部に低くとも200℃で溶融可能な金属類が充填され、かつ、被加圧物に向かう面に薄膜が形成されてなり、この加圧力均一化部材は、第1の加圧部材と第2の加圧部材とで被加圧物を加熱しつつ挟圧するときに、被加圧物における被加圧表面に、均一な圧力を与えることができる。
【0013】
前記加圧力均一化部材は、例えば、図4に示すように、被加圧物に向かう面を除いた面が加圧時に変形しない硬質な材料で構成されたところの、加熱時に溶融する低融点の金属類を収容可能とする容器(以下、これを流動体収容容器33と称する。)と、被加圧物に向かう面が加圧時に被加圧物の形状に沿って変形する薄膜32とで形成される。前記流動体収容容器33には、低融点の金属類(以下、これを低融点金属類と称する。)が充填されている。
【0014】
前記低融点金属類としては、例えば、ガリウム、水銀、インジウム、リチウム、鉛、パラジウム、セレン、及び錫等の金属単体、並びに、ホムベルグ合金、メロッテ合金、ニュートンメタル、ダルスメタル、リヒテンベルグ合金、ローズメタル、ウッドメタル、リボウィッチメタル、アマルガム、はんだ、及びアルミはんだ等の低融点の合金が挙げられる。これらの金属単体及び合金類のうちどのような金属類を採用するかは、被加圧物の成形時の温度に応じて決定され、通常の場合、成形時温度よりも20℃〜30℃低い温度で融解する金属類が採用される。金属類の融点が成形時温度に近接する温度であると、金属が完全に溶融しない恐れがあり、また、成形時温度よりもはるかに低い温度であると、金属が気化してしまい、本発明の目的を達成できなくなるからである。本発明における低融点の金属類としては、約200℃〜350℃で溶融状態となる低融点の合金が好ましい。上記低融点の合金は、前記公知の合金を採用することができるほかに、金属の種類及びその含有量を変化させて合金の組成を変化させることによっても得ることができる。また、金属類は、薄膜32によって流動体収容容器33内に保持されるので、比重ができるだけ小さい合金が好ましい。また、加熱時における金属類の体積膨張、及び常温時における金属類の体積収縮は、薄膜32の収縮、伸張を与えることになるので、なるべく、加熱時の体積膨張率が小さいものが好ましい。中でも鉛がこの点から好ましい。
【0015】
前記薄膜は、例えば金属箔が挙げられる。金属箔は、前記溶融金属よりも融点の高い金属が選ばれる。材料としては、銅、鉄、金、銀、アルミニウム等の金属単体の他、ステンレス等の合金が挙げられる。中でも、アルミニウムが好ましい。金属箔の厚みbは、使用する金属箔によっても異なるが、溶融金属を保持できる強度の面を考慮すると100μm以上であることが好ましい。一方金属箔の厚みbは、被加圧物と接触したときの変形のしやすさを考慮すると、1mm以下であることが好ましい。
【0016】
前記流動体収容容器33は、被加圧物に向かう面が開口し、内部に金属類を収容することができる容器である。換言すると、被加圧物に臨む開口部を備えて成り、内部に金属類を収容することのできる容器である。その容器の形状は、円柱体でも角柱体でもよく、特に限定がない。薄膜が形成される面には、内向きのフランジ38が設けられている。内向きのフランジ38を設けることにより、流動体収容容器33と薄膜32との接触面積が確保され、両者の密着力が高められる。流動体収容容器33は、金属、セラミックス等の耐熱性を有する材料を用いることができる。加熱温度における耐熱性を有し、プレス時の圧力によって変形しない強度を有していれば、いずれの材料をも使用することができる。また、溶融金属の比重が大きいことを考慮すると、流動体の収容容積が少ない方がよい。このため、流動体収容容器33の内壁の高さaは、なるべく低い方がよく、5〜20mmが好ましく、約10mmであることが特に好ましい。
【0017】
前記加圧力均一部材は、例えば図5に示すように作ることができる。流動体収容容器33を開口部を上にして設置し、溶融金属34を流しこむ(s1)。溶融金属34を流動体収容容器33の開口部の端部まで、満たした後、金属箔32で蓋をし、溶接等により、流動体収容容器33に金属箔32を液密に固着させる(s2)。このとき、溶融金属内に空気が入らないようにする(s3)。空気は圧縮により体積が減少するので、空気が溶融金属内に存在すると、所定の加圧力を印加するのが困難に成ることがあるからである。一旦冷却した後、上下を反転させて、加熱加圧装置に装着する(s4)。また、流動体収容容器33は、図6に示すように、流動体の注入口47と封止部49を備えたものでもよい。この場合は、注入口47から流動体を注入し、封止部49により密閉する。なお、これらの図には示していないが、この容器には、溶融金属が固化するときの体積膨張を吸収するための膨張体積吸収室が、この容器の内部に連通する状態で、この容器に設けられている。
【0018】
この発明においては、被加圧物を第1の加圧部材と第2の加圧部材とで挟持しつつこれらで加圧する際、つまり、第1の加圧部材と第2の加圧部材とで挟圧する際に、被加圧物が第1の加圧部材または第2加圧部材のいずれかに接する面に均一な挟圧力が付加されるように、第1の加圧部材と第2の加圧部材との間に加圧力均一化部材が介装される。この加圧力均一化部材は、挟圧時に、被加圧物に均一な圧力を付加することができる機能、及び被加圧物の被加圧面に密着可能で被加圧物を損傷しない機能を少なくとも有する。
【0019】
この機能を実現するには、加圧力均一化部材は、被加圧物に向かう面が少なくとも薄膜で形成されていることを要する。被加圧物に向かう面が少なくとも薄膜で形成される限り、この加圧力均一化部材は様々の形態を取り得る。
【0020】
したがって、被加圧物に向かう面を除いた面が加圧時に変形する軟質な面で構成された流動体収容容器を用いることもでき、また、加圧力均一化部材全体を薄膜で形成することもできる。これらの場合は、変形した加圧力均一部材が加圧部材同士の隙間や加圧部材とサイド型との隙間からはみ出すのを防止する目的で、加圧力均一化部材にバックアップ部材が備えられる。サイド型は、加圧部材と共に外部から遮断される成形室を形成する。
【0021】
前記バックアップ部材は、金属等の剛体で形成され、例えば図7に示す環状体の形状を有し、加圧力均一化部材6の縁の近傍に配置され、縁に沿ってサイド型に接する。また、図8に示すように加圧力均一化部材6の縁の部分を窪ませて肩部50を形成し、この肩部50を埋めるように環状のバックアップ部材48を配置させることもできる。この場合、圧力が加えられた加圧力均一化部材6自体が、バックアップ部材48の背後から、これをサイド型の方向へ押しつける力を加えるようになる。これにより、加圧部材とサイド型との隙間をより強固にシールすることができる。また、バックアップ部材は、図8に示すように板状体80とすることもできる。さらに、図8、図9に示すように、環状のバックアップ部材48と板状のバックアップ部材80と組み合わせて使用することもできる。板状と環状とのバックアップ部材を組み合わせることで、加圧部材とサイド部材との隙間が大きい場合や加圧力が大きい場合であっても加圧力均一部材のはみ出しを防止することができる。また、加圧力均化一部材のはみ出しが発生する部位に合わせてバックアップ部材の形状を変形することも可能である。すなわち、加圧力均一化部材のはみ出しが、環状の隙間全体でなく、特定部分に限定されるような場合には、その部位にのみバックアップ片を設けることも可能である。
【0022】
前記環状のバックアップ部材48は、図10に示すように、周上の一箇所を切断した形状とすることもできる。この切断部86の切り口は、環状のバックアップ部材48の軸線88に対し、交差する面となっている。バックアップ部材48に切断部を設けることにより、弾性が生じ、サイド部材への密着性が確保される。また切り口を斜めやクランク状にすることで、所定の範囲内の周長変化に対して、切り口の一部が常に接触するように維持される。よって、切断部86からの加圧力均化一部材のはみ出しが防止される。
【0023】
また前記加圧力均一化部材は、第1の加圧部材あるいは第2の加圧部材のいずれかに装着されていてもよく、第1の加圧部材および第2の加圧部材の両部材それぞれに装着されていてもよく、第1の加圧部材あるいは第2の加圧部材に装着されずに他の保持手段によって第1の加圧部材と第2の加圧部材との間に介装されるように保持されていてもよい。さらに前記加圧力均一化部材は、被加圧物の被加圧表面上に配置されていてもよく、被加圧物を挟み込むように配置されていても良い。
【0024】
この発明における被加圧物としては、金属類の融点以上の温度に加熱されつつ加圧される必要のあるもの、例えば粉末、シート、多積層体の成形前駆体、仮圧着物等を挙げることができる。
【0025】
この発明に用いる加熱装置は、前記被加圧物を所定の温度にまで加熱でき、流動体収容容器33中の金属を溶融できるものであれば、いずれのものでもよい。尚、一つの加熱装置によって、被加圧物及び溶融金属を加熱してもよいが、それぞれ独立した加熱装置によって、被加圧物及び溶融金属のそれぞれを加熱してもよい。
【0026】
図1に、この発明の一具体例である加熱加圧装置を示す。また、図2には理解の助けとするために、図1に示す装置を3つの部分に分けて、それらを中心軸方向に離して示した図である。尚これらの図において、中心線の左右は、異なる平面で切断した断面を示している。
【0027】
本装置は、上型10、下型12及びサイド型14によって、被加圧物が収められる収容室であるキャビティ16を形成し、上型10を下型12に向けて移動させることによって、キャビティ16内の被加圧物に圧力を付与する装置である。すなわち、被加圧物が側方にはみ出すことをサイド型14によって阻止し、上型10と下型12とで被加圧物を挟持、加圧する装置である。
【0028】
上型10は、図示しない流体圧ピストンに結合される上型本体26、加熱板28、及び加圧力均一化部材6とで構成される。加圧力均一化部材6は、間に加熱板28を挟んだ形で上型本体26に固定されている。加熱板28は、穴付きボルト43によって上型本体26に固定されている。また、加熱板28の内部には、加熱ヒータ40が設けられている。加熱ヒータ40の加熱により、加圧力均一化部材6及び被加圧物が加熱される。なお、加熱ヒータに代えて、加熱板28内に高温の流体を流す流路を形成し、これにより加熱を行うこともできる。
【0029】
加圧力均一化部材6は、下部が開口した流動体収容容器33と、流動体収容容器33の開口部を塞ぐ薄膜32とからなる。流動体収容容器33内には、低融点金属類からなる溶融金属34が充填されている。流動体収容容器33には、吊り下げピン42がねじ結合しており、吊り下げピン42は、上型本体26に形成された穴44に挿入され、側方からのボルト46により固定されている。これにより流動体収容容器33は、上型本体26に吊り下げ支持される。ボルト46を緩めれば、吊り下げピン42は、解放され、加圧力均一化部材6を取り外すことができる。この作業は、上型の側面からの作業のみで済むため、加圧力均一化部材6の交換作業を容易にしている。本実施形態において、この吊り下げピン42は、2個備えられている。
【0030】
サイド型14は、4個の流体圧シリンダ52を介して上型10に吊り下げ支持されている。サイド型14は、加圧力均一化部材6及びキャビティ16の側方を取り囲むように環形状を有している。流体圧シリンダ52は、加圧時において、サイド型14を下型12に向けて押し、これらを密着させることによりキャビティ16を密閉する。このとき、流体圧シリンダ52は、反作用として上型10を押し上げようとするが、図示しない流体圧シリンダによる上型10を下方に押すプレス力は、流体圧シリンダ52の力に対して十分大きく、プレス力が実質的に減少することはない。サイド型14の内部には、被加圧物22から発生したガス等をキャビティ16外に排出するための排気路54が形成されている。サイド型14の外周に沿って、環形状のシール枠56が固定されている。シール枠56は、後述する当接片59と共に、キャビティ16を外部からシールするシール構造を形成する。
【0031】
下型12は、被加圧物22を載置する下型本体58を有し、下型本体58はテーブル60上に固定された加熱板62上に載置される。加熱板62の内部には、加熱ヒータ64が設けられており、加熱ヒータ64の発生する熱が、加熱板62と下型本体58を介して被加圧物22に伝導される。下型本体58の側方には、シール枠56の内壁面に当接する環状の当接片59が固定されている。このようなシール構造を採ることによって、シールが達成される時点におけるサイド型14と下型12の距離が経時的に変化することを防止している。言い換えれば、サイド型14の移動方向と、当接片59の当接方向がほぼ直交しているので、繰り返しの使用により、当接片59のへたりが生じても、シールが達成されるサイド型14と下型12との距離はほとんど変化しない。
【0032】
下型本体58の四隅には下方に向けて脚部66が形成されている。下型本体58と脚部66全体として、テーブル60上の加熱板62をまたぐ形状となっている。下型本体58は、テーブル60に形成されたレール上を移動させることができる。脚部66には、テーブル60上に形成されたレール68の上面に当接し、下型12の図1等における上下位置を規定する上下ローラ70が回動可能に支持されている。さらに、脚部66には、レール68の側面に当接し、下型12の図1における左右位置を規定する左右ローラ72が回動可能に支持されている。
【0033】
図3は、テーブル60、レール68、下型12等を、図1の側方から見た状態図である。図3における下型12の位置が被加圧物22を加圧するときの位置である。このとき、下型本体58の下に加熱板62が位置することになり、下型12が押圧されていない状態では、加熱板62の上面と下型本体58の下面とは接触していない。また、上下ローラ70は、レール68の沈み込み部74上に位置する。沈み込み部74は、可動片76とこれを上方に付勢するばね78等の付勢部材とを含む。可動片76の可動範囲の上限は、その上面がレール68の他の部分と面一となる状態までである。下型12が図3の位置にあるとき、上型10が下方に移動すると下型12が押され、さらに可動片76も押される。この力によりばね78が縮み、可動片76及び下型12が、押下され、下型本体58の下面が加熱板62の上面に当接する。
【0034】
以上の装置により、被加圧物22を加圧する動作について以下説明する。初期状態において、上型10及びサイド型14は、下型12に対して上方に退避した位置にある。下型本体58の上面に前記被加圧物22を載置した下型12は、レール68上を移動して、上型10及びサイド型14の下方の所定の位置に搬送される。続いて、図示しない流体圧シリンダ及び流体圧シリンダ52により、上型10及びサイド型14を下降させる。この下降過程において、サイド型14が下型12に当接する以前に、シール枠56と当接片59が接触し、キャビティ16を含む空間がシールされる。この閉鎖された空間には、水蒸気、被加圧物22に含まれる揮発成分およびその他の加熱反応により生成するガスが存在する場合があるが、排気路54に連通された図示しない減圧ポンプ等の流体排出手段によって、これらは吸い出され、キャビティ16内は減圧、脱気される。
【0035】
上型10とサイド型14とがさらに下降すると、サイド型14が下型12に当接する。下型12が、押下され、下型本体58の下面が加熱板62に当接する。この状態で、流体圧シリンダ52がサイド型14を下向きに押し、サイド型14と下型12のシールがより強固に達成される。
【0036】
更に上型10が下降し、被加圧物22の上面が、薄膜32に当接する。流体圧シリンダは、被加圧物22を、所定の圧力で押圧する。
【0037】
このとき、流動体収容容器33内に溶融金属34が封入されており、しかもこの流動体収容容器33及び薄膜32が溶融金属34を気密に保持することができ、かつ薄膜32が、柔軟で弾性力を有するので、流体圧シリンダによる加圧力によって薄膜32に押圧される被加圧物22は、その全ての表面において均一な力で、加圧される。又、たとえ薄膜32の表面と被加圧物22の上面とで段差を生じていたとしても、前記薄膜32が、被加圧物22の上面に密着する。これによって、被加圧物22が均一に加圧される。このとき、加熱ヒータ40、64により被加圧物22が所定の温度に加熱される。
【0038】
この一連の動作によって、被加圧物22の被加圧表面の全面に、均一な圧力が負荷される。そして、被加圧物22の被加圧表面が、加圧方向に垂直な平面に対して、平行である面はもちろんのこと、平行でない面であっても、あるいは、凹凸のある面であっても、加圧力が不均一に負荷されることがないので、圧着不良を起こすことがない。被加圧物22が複数の高さの異なる電子部品を接着材で圧着する基板であるときには、圧接不足が生じることがない。
【0039】
所定時間の加圧の後、上型10及びサイド型14が上方に退避し、バネ78によって、下型12がテーブル60の加熱板62から離れる。下型12がレール68上を移動して、搬送される。
【0040】
この一連の動作は、加圧処理時間として、6〜10秒のサイクルが可能である。よって、従来からのプレス板で個々の電子部品を圧着する方法よりも生産効率を高めることができる。また、従来のような前記平行度に関しての厳密な調整、管理を行わなくても、被加圧物に均一な圧力を負荷することができ、圧着不良を起こすことがない。
【0041】
この発明の加熱加圧装置の他の例を図11に示す。この加熱加圧装置は、ピストン1と、搬送台に載置された下板2と、上部基板3に固定された上板4と、中板5と、加圧力均一化部材6とを有する。
【0042】
ピストン1は油圧シリンダーに装着される。油圧シリンダー7は、その上端開口部から突出する前記ピストン1が、水平に配置された下部基板8に設けられた開口部9を通じて前記下部基板8の上面に突出することができるように、前記下部基板8の下面に装着される。油圧シリンダー7には、図示しない流体導排出手段から供給される流体15を油圧シリンダー7内に圧入し、また油圧シリンダー7から流体15を排出することのできる第1流体導排出路11と、図示しない圧縮空気導排出手段から前記油圧シリンダー7内に圧縮空気を圧入し、また前記圧縮空気導排出手段により排出することのできる第1気体導排出路41とが設けられている。
【0043】
図12に示すように、前記下板2は、被加圧物22を搭載することができるように、形成される。被加圧物が円形の場合は、円盤状に、被加圧物が矩形の場合は、矩形に形成される。更に言うと、被加圧物22は、下板2上に設けられた搬送用板19に形成された装填穴21内に装填される。なおここで、前記搬送用板19は、下板2と同じ大きさを有する。更にこの下板2の下面には、前記ピストン1の先端部を嵌入させることのできるように、前記ピストン1の先端面と同じ形状の開口を有し、かつ所定の深さを有する凹状装着穴23が形成される。
【0044】
下板2が載置される搬送台20は、下板2を載置するのに十分な上部面積を有し、しかも前記ピストン1を挿通させるに十分な直径の貫通穴17を開設している。図1に示すように搬送台20には搬送用アーム18が結合されており、搬送用アーム18は、支柱13に水平回転可能に装着される。支柱13は、前記下部基板8の上面に、垂直方向に向かって延在する一対の支柱であり、かつ互いに平行に配置される。
【0045】
図14に示すように支柱13を中心にして十文字状に配置された4本の搬送用アーム18が水平回転可能に装着され、それぞれの搬送用アーム18の先端には、搬送台20が結合されている。搬送用アーム18は、図14及び図15に示すように駆動手段例えば回転モータ39により、支柱13を中心に、90度ずつの回転角をもって時計方向に回転可能に形成される。そして、前記下部基板8における開口部9の上方に前記搬送台20が位置しているとき、その搬送台20の位置を加圧位置と称し、その搬送台20が加圧位置から90度回転した位置を試料搬出位置と称し、更にその搬送台20が試料搬出位置から90度回転した位置を試料セット位置と称し、更にその搬送台20が試料セット位置から90度回転した位置を予熱位置と称する。この予熱位置には、この予熱位置にある搬送台20に所定の加熱を行う予熱手段37が設けられている。
【0046】
搬送台20には、下板2が、搬送用アーム18の回転移動時に位置ずれを起こさないように、また加圧成形時にピストン1の先端部により搬送台20から持ち上げられるように、着脱自在に載置されている。
【0047】
前記一対の支柱13は、上部基板3を支持する。前記上部基板3の下面には、上板4が装着固定されている。この上板4の下面には、中板5が装着固定される。この中板5は、装着貫通穴25を有する環状板である。この装着貫通穴25は、前記下板2を嵌挿可能とする直径を有する小径部27と、この小径部27の上方であって前記上板4よりに形成されたところの、テーパ状に拡開する上部テーパ部30と、前記小径部27の下方であって、この中板5の下面に開口するところの、テーパー状に拡開する下部テーパ部29とを有する。前記上板4の下面と前記上部テーパ部30とで太径部が形成されている。
【0048】
この太径部には、加圧力均一化部材6が装着される。この加圧力均一化部材6は、下部が開口した流動体収容容器33と、流動体収容容器33の開口部を塞ぐ薄膜32とからなる。流動体収容容器33内には、低融点金属類である溶融金属34が充填されている。
【0049】
なお、この中板5には、前記小径部27の内周面に開口する気体導排出路35が設けられ、又、中板5の外周面に加熱ヒータ36が装着される。
【0050】
次に、この加圧成形装置の動作について説明する。
【0051】
図11に示すように、初期状態では、ピストン1の先端部が下部基板8の開口部9内にあって前記搬送台20の水平回転移動に支障を来さないようになっている。又、試料セット位置において、搬送台20の上面に載置されている下板2の上面に、載置された搬送用板19における装填穴21に被加圧物22を装填する。
【0052】
試料セット位置にある搬送台20を、搬送用アーム18を90度回転させることにより、予熱位置に移動させる。
【0053】
予熱位置において、予熱手段により、搬送台20上に固定されている搬送用板19上の被加圧物22を所定の温度に加熱する。
【0054】
次いで、予熱位置にある搬送台20を、搬送用アーム18をさらに90度回転させることにより、加圧位置に移動させる。
【0055】
図11に示すように、第1流体導排出路11を介して油圧シリンダー7の底面とピストン1の後端部との間の内部空間に、流体15を圧入する。
【0056】
流体15の圧入により、ピストン1が上昇する。上昇するピストン1の先端部は、下部基板8の開口部9及び搬送台20の貫通穴17を通過して、凹状装着穴23内に、挿入される。なおもピストン1が上昇すると、ピストン1の先端部1は、搬送台20上から下板2を持ち上げ、遂には、下板2が、装着貫通穴25内に嵌挿される。
【0057】
なお、中板5に下部テーパ部29が設けられているので、上昇してくる下板2の中心線が小径部27の中心線と多少ずれていたとしても、円滑に小径部27内に確実に案内される。
【0058】
ピストン1が更に上昇すると、図13に示すように被加圧物22の上面が、薄膜32に当接する。又、装着貫通穴25内の気体は第2気体導排出路35を通じて排気される。
【0059】
依然として流体15が、第1流体導排出路11を通じて、油圧シリンダー7内の底面とピストン1の後端部との間の内部空間に圧入されるので、ピストン1は、被加圧物22を、所定の圧力で押圧する。
【0060】
このとき、流動体収容容器33内に溶融金属34が封入されており、しかもこの流動体収容容器33及び薄膜32が溶融金属34を気密に保持することができ、かつ薄膜32が、柔軟で弾性力を有するので、ピストン1による加圧力によって薄膜32に押圧される被加圧物22は、その全ての表面において均一な力で、加圧成形される。又、たとえ薄膜32の表面と被加圧物22の上面とで段差を生じていたとしても、前記薄膜32が、被加圧物22の上面に、密着する。これによって、被加圧物22が均一に加圧成形される。
【0061】
加熱ヒータ36により被加圧物22が所定の温度に加熱される。この被加圧物22の組成に応じて、この加熱により、被加圧物22からガスたとえば水蒸気、残留溶剤の揮発分、及びその他加熱反応により生成する反応生成ガスなどが発生するが、これらのガスは、第2気体導排出路35を通じて、真空ポンプ(図示せず。)の減圧脱気作用により除去される。
【0062】
これらの加圧作用、加熱作用及び減圧脱気作用によって、より一層密度の高い加圧成形体が形成される。
【0063】
この一連の動作によって、被加圧物22の被加圧表面の全面に、均一な圧力が負荷される。そして、被加圧物22の被加圧表面が、加圧方向に垂直な平面に対して、平行である面はもちろんのこと、平行でない面であっても、あるいは、凹凸のある面であっても、加圧力が不均一に負荷されることがないので、圧着不良を起こすことがない。被加圧物22が複数の高さの異なる電子部品を接着材で圧着する基板であるときには、圧接不足が生じることがない。
【0064】
所定時間の加圧の後に、第2気体導排出路35に備えられた気体リーク用バルブ(図示せず。)を開放して、装着貫通穴25内を常圧に戻す。ついで、油圧シリンダー7内の底面とピストン1の後端部との間の内部空間とに圧入されていた流体15を、第1流体導排出路11とを通じて、流体導排出手段(図示せず。)によって排出する。
【0065】
さらに油圧シリンダー7内の側壁面とピストン1の胴体部との間の内部空間に、第1気体導排出路41を通じて、圧縮空気を圧入すると、ピストン1が降下する。そして、ピストン1の先端部が前記搬送台20の水平回転移動に支障を来さない位置となったところで、ピストン1の降下が停止する。
【0066】
加圧成形された被加圧物22を安置したは下板2は、搬送台20の上に再び固定され、搬送用アーム18を90度回転させることにより、加圧位置から試料搬出位置に移動される。
【0067】
この一連の動作は、成形処理時間として、6〜10秒のサイクルが可能である。よって、従来からのプレス板で個々の電子部品を圧着する方法よりも生産効率を高めることができる。また、従来のような前記平行度に関しての厳密な調整、管理を行わなくても、被加圧物に均一な圧力を負荷することができ、圧着不良を起こすことがない。
【0068】
この発明によると、前記加熱加圧装置に好適に装填される加圧力均一化部材を提供することができる。
【発明の効果】
この発明によると、高温で利用することができ、被加圧物に均一な圧力を与えることのできる加熱加圧装置を提供することができる。
また、この発明によると、高さの異なる被加圧物を一括してプレスすることができ、プレス時間を短縮することのできる加熱加圧装置を提供することができる。
この発明によると、前記加熱加圧装置に好適に装填される加圧力均一化部材を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1はこの発明の一例を示す加熱加圧装置の断面図である。
【図2】 図2は図1の加熱加圧装置を分解して示した図である。
【図3】 図3は下型12の動作を説明するための図である。
【図4】 図4は、この発明の一例を示す加熱加圧装置に用いられる加圧力均一化部材の断面図である。
【図5】 図5は、この発明の一例を示す加熱加圧装置に用いられる加圧力均一化部材の製造工程を示す図である。
【図6】 図6は、加圧力均一化部材の他の例の断面図である。
【図7】 図7は、バックアップ部材を用いた加圧力均一化部材を分解して示した図である。
【図8】 図8は、バックアップ部材を用いた加圧力均一化部材の他の例を分解して示した図である。
【図9】 図9は、図8の加圧力均一化部材の断面図である。
【図10】 図10は、切断部を有するバックアップ部材を示す図である。
【図11】 図11は、この発明の他の例を示す加熱加圧装置の正面断面図の拡大図である。
【図12】 図12は、この発明の他の例を示す加熱加圧装置の正面断面図の拡大図である。
【図13】 図13は、この発明の他の例を示す加熱加圧装置の正面断面図の拡大図である。
【図14】 図14は、この発明の他の例を示す加熱加圧装置の正面図である。
【図15】 図15は、図14におけるA−Aの断面図である。
【符号の説明】
1・・・ピストン、2・・・下板、3・・・上部基板、4・・・上板、5・・・中板、6・・・加圧力均一化部材、7・・・油圧シリンダー、8・・・下部基板、9・・・開口部、10・・・上型、11・・・第1流体導排出路、12・・・下型、13・・・支柱、14・・・サイド型、15・・・流体、16・・・キャビティ、17・・・貫通穴、18・・・搬送用アーム、19・・・搬送用板、20・・・搬送台、21・・・装填穴、22・・・被加圧物、23・・・凹状装着穴、25・・・装着貫通穴、26・・・上型本体、27・・・小径部、28・・・加熱板、29・・・下部テーパ部、30・・・上部テーパ部、32・・・薄膜(金属箔)、33・・・流動体収容容器、34・・・溶融金属、35・・・第2気体導排出路、36・・・加熱ヒーター、37・・・予熱手段、38・・・フランジ、39・・・回転モータ、40・・・加熱ヒータ、41・・・第1気体導排出路、42・・・吊り下げピン、43・・・穴付きボルト、44・・・穴、46・・・ボルト、47・・・注入口、48・・・バックアップ部材、49・・・封止部、50・・・肩部、52・・・流体圧シリンダ、54・・・排気路、56・・・シール枠、58・・・下型本体、59・・・当接片、60・・・テーブル、62・・・加熱板、64・・・加熱ヒータ、66・・・脚部、68・・・レール、70・・・上下ローラ、72・・・左右ローラ、74・・・沈み込み部、76・・・可動片、78・・・ばね、80・・・バックアップ部材、86・・・切断部
Claims (6)
- 少なくとも一方が他方に向かって移動可能に形成され、相互の挟圧力で被加圧物を加圧成形することのできる第1の加圧部材および第2の加圧部材と、
前記第1の加圧部材と前記第2の加圧部材との間に介装され、内部に低くとも200℃で溶融可能な金属類が充填され、かつ、被加圧物に向かう面に薄膜が形成されてなる加圧力均一化部材と、
前記被加圧物、加圧部材及び加圧力均一化部材を加熱する加熱装置とを有して成り、
前記加圧均一化部材は、前記被加圧物に向かう前記面を除いた面が加圧時に変形しない硬質な材料で形成され、かつ、内壁の端部に設けられた内向きのフランジからなり前記被加圧物に臨んで開口される開口部を有する容器における前記フランジに、加圧時に前記被加圧物の形状に沿って変形する前記薄膜が張り渡されて成る
ことを特徴とする加熱加圧装置。 - 前記薄膜が金属箔である前記請求項1に記載の加熱加圧装置。
- 前記金属類は、融点が200℃〜350℃の合金であることを特徴とする請求項1又は2に記載の加熱加圧装置。
- 前記第1の加圧部材は、前記第2の加圧部材に向かう面が被加圧物を配置可能に形成され、かつ前記第2の加圧部材に向かって昇降可能に形成されてなる押圧部材であり、前記第2の加圧部材が加圧時に移動不可能に形成されてなる固定部材であり、前記加圧力均一化部材は、前記固定部材の前記押圧部材に向かう面に設けられてなる前記請求項1〜3のいずれか1項に記載の加熱加圧装置。
- 前記第1の加圧部材は、前記第2の加圧部材に向かう面が被加圧物を配置可能に、かつ成形時に移動不可能に形成されてなる固定部材であり、前記第2の加圧部材は、前記第1の加圧部材に向かって昇降可能に形成されてなる押圧部材であり、前記加圧力均一化部材が前記第2の加圧部材の前記第1の加圧部材に向かう面に設けられてなる前記請求項1〜3のいずれか1項に記載の加熱加圧装置。
- 前記請求項1〜5のいずれか1項に記載の加熱加圧装置に装填される加圧均一化部材であって、
被加圧物に向かう面を除いた面が加圧時に変形しない硬質な材料で形成され、かつ、内壁の端部に設けられた内向きのフランジからなり被加圧物に臨んで開口される開口部を有する容器と、
前記フランジに張り渡されて被加圧物に向かう前記面を形成し、加圧時に前記被加圧物の形状に沿って変形する薄膜と、
前記容器内に収容されたところの、低くとも200℃で溶融可能な金属類と
を有することを特徴とする加圧力均一化部材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000354032A JP4311873B2 (ja) | 2000-11-21 | 2000-11-21 | 加熱加圧装置及び加圧力均一化部材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000354032A JP4311873B2 (ja) | 2000-11-21 | 2000-11-21 | 加熱加圧装置及び加圧力均一化部材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002154000A JP2002154000A (ja) | 2002-05-28 |
JP4311873B2 true JP4311873B2 (ja) | 2009-08-12 |
Family
ID=18826693
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000354032A Expired - Lifetime JP4311873B2 (ja) | 2000-11-21 | 2000-11-21 | 加熱加圧装置及び加圧力均一化部材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4311873B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5155108B2 (ja) * | 2008-11-14 | 2013-02-27 | 株式会社神戸製鋼所 | 加圧成形装置 |
JP5679682B2 (ja) * | 2009-03-25 | 2015-03-04 | 株式会社神戸製鋼所 | 加圧成形装置 |
-
2000
- 2000-11-21 JP JP2000354032A patent/JP4311873B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002154000A (ja) | 2002-05-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5435953A (en) | Method of molding resin for sealing an electronic device | |
JP5817044B2 (ja) | 樹脂封止装置および樹脂封止方法 | |
KR20120109963A (ko) | 접합장치 및 접합방법 | |
JP2004179284A (ja) | 樹脂封止方法、半導体装置の製造方法、及び樹脂材料 | |
JP2006027098A (ja) | 樹脂モールド方法および樹脂モールド装置 | |
KR20180081792A (ko) | 수지 밀봉 장치 및 수지 밀봉 방법 | |
JP4311873B2 (ja) | 加熱加圧装置及び加圧力均一化部材 | |
JP5826928B2 (ja) | 加圧ユニットを備えるウエハービアはんだ注入装置およびこれを用いたウエハービアはんだ注入方法 | |
JP6259263B2 (ja) | 樹脂モールド金型および樹脂モールド成形方法 | |
JP3896274B2 (ja) | 半導体樹脂封止装置 | |
KR101382032B1 (ko) | 전자 부품의 수지 밀봉 성형 방법 및 장치 | |
JP2005260026A (ja) | 樹脂封止装置及び樹脂封止方法 | |
EP0165869B1 (fr) | Dispositif pour le formage et le soudage de flans en une matière superplastique | |
JP2003174052A (ja) | 半導体装置製造用金型 | |
JP2004146556A (ja) | 樹脂封止方法、樹脂封止装置、及び樹脂シート | |
JP4253393B2 (ja) | 半導体ウェーハの樹脂被覆方法及び金型 | |
JP3580986B2 (ja) | 加圧成形装置 | |
JP2005324341A (ja) | 樹脂モールド方法および樹脂モールド装置 | |
JPH08192438A (ja) | 半導体集積回路装置の製造方法およびそれに用いるモールド装置 | |
JP4164506B2 (ja) | 樹脂モールド装置および樹脂モールド方法 | |
JP3999909B2 (ja) | 樹脂封止装置及び封止方法 | |
JP2004130730A (ja) | 半硬化の平板樹脂の成形装置及びその成形方法 | |
TWI570852B (zh) | Packaging equipment and packaging methods | |
JP2008260234A (ja) | 圧縮成形金型への樹脂投入装置、当該樹脂投入装置を備えた樹脂封止装置及び樹脂投入方法 | |
JP6404734B2 (ja) | 樹脂成形方法、樹脂成形金型、および成形品の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060831 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090130 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090325 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090424 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090512 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120522 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4311873 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120522 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150522 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |