JP4309727B2 - 測定用治具およびこれを用いた三次元形状測定方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 56
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 283
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 66
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 41
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 26
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 23
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 22
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 16
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 3
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 8
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 6
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 6
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 240000004050 Pentaglottis sempervirens Species 0.000 description 2
- 235000004522 Pentaglottis sempervirens Nutrition 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000004448 titration Methods 0.000 description 1
- 238000004148 unit process Methods 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
図1Aは、本発明の第一実施形態における測定用治具の縦断面図であり、図1Bはその平面図である。
上に固定する。その際、非球面レンズ120の表面121が、プローブ140と対向
するように測定用治具110を配置する(Step2)。なお、測定用治具110の
基準軸113は、エアースピンドル130の回転軸133と厳密に一致させる必要は
ない。すなわち、後述するプローブ140での被測定面の形状測定時に、被測定面の
高さがZ方向に大きく振れない程度に合わせればよい。
図6Aは、本発明の第二実施形態における測定用治具の縦断面図であり、図6Bはその平面図である。本実施形態の測定用治具は、基本的に第一実施形態の測定用治具に似ている。よって、図6Aと図6Bにおいて、図1Aや図1Bに示した部材と同一の参照符号で指示された部材は、同様の部材を示している。
Claims (7)
- 基準軸に対して少なくとも形状の一部が傾きを持ち、前記基準軸を中心とした軸対称な形状であって、外周部の一方の面に形成された第一の基準面と、
前記基準軸に対して少なくとも形状の一部が傾きを持ち、前記基準軸を中心とした軸対称な形状であって、外周部の他方の面に形成された第二の基準面と、
前記基準軸と略一致して表面と裏面が露出するように被測定物を保持する保持部と、
前記基準軸を回転中心とした回転角度の原点設定用の検出部とを有することを特徴とする測定用治具。 - 前記回転角度の原点設定用の検出部は、外周面に設けられた検出部材であることを特徴とする請求項1に記載の測定用治具。
- 前記回転角度の原点設定用の検出部は、第一基準面および第二基準面に形成されたマーキングであることを特徴とする請求項1に記載の測定用治具。
- 前記第一の基準面および前記第二の基準面の形状は、前記基準軸を中心とした円錐面あるいは二次曲面の一部であることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかひとつに記載の測定用治具。
- 基準軸に対して少なくとも形状の一部が傾きを持ち、前記基準軸を中心とした軸対称な形状であって、外周部の一方の面に形成された第一の基準面と、前記基準軸に対して少なくとも形状の一部が傾きを持ち、前記基準軸を中心とした軸対称な形状であって、外周部の他方の面に形成された第二の基準面と、外周面に設けられた前記基準軸を回転中心とした回転角度の原点設定用の検出部材とを有する測定用治具を用いた三次元形状測定方法であり、
前記測定用治具に、前記基準軸と略一致して表面と裏面が露出するように被測定物を固定する工程と、
プローブと前記測定用治具を相対的に移動しながら座標値を取り込むことにより、前記被測定物の表面の形状測定データと、前記第一の基準面の形状測定データを同一座標系で取得すると共に、前記測定用治具の回転角度の原点設定用の検出部材のデータを取得する第一の測定工程と、
前記プローブと前記測定用治具を相対的に移動しながら座標値を取り込むことにより、前記被測定物の裏面の形状測定データと、前記第二の基準面の形状測定データを同一座標系で取得すると共に、前記測定用治具の回転角度の原点設定用の検出部材のデータを取得する第二の測定工程と、
前記測定用治具の回転角度の原点設定用の検出部材のデータを用いて、前記第一の基準面の形状測定データと前記第二の基準面の形状測定データとの間の前記基準軸を回転中心とした回転角度の相対的な誤差を補正する工程と、
前記第一の基準面の形状測定データと前記第一の基準面の設計形状データから第一の座標変換量を算出する工程と、
前記第二の基準面の形状測定データと前記第二の基準面の設計形状データから第二の座標変換量を算出する工程と、
前記第一の座標変換量および前記第二の座標変換量を用いて、前記被測定物の表面の形状測定データおよび裏面の形状測定データを座標変換する工程とを有することを特徴とする三次元形状測定方法。 - 基準軸に対して少なくとも形状の一部が傾きを持ち、前記基準軸を中心とした軸対称な形状であって、外周部の一方の面に形成された第一の基準面と、前記基準軸に対して少なくとも形状の一部が傾きを持ち、前記基準軸を中心とした軸対称な形状であって、外周部の他方の面に形成された第二の基準面と、前記第一基準面および第二基準面に形成された、前記基準軸を回転中心とした回転角度の原点設定用のマーキングとを有する測定用治具を用いた三次元形状測定方法であり、
前記測定用治具に、前記基準軸と略一致して表面と裏面が露出するように被測定物を固定する工程と、
プローブと前記測定用治具を相対的に移動しながら座標値を取り込むことにより、前記被測定物の表面の形状測定データと、前記第一の基準面の形状測定データと、前記第一の基準面に形成された前記マーキングの形状測定データを同一座標系で取得する第一の測定工程と、
前記プローブと前記測定用治具を相対的に移動しながら座標値を取り込むことにより、前記被測定物の裏面の形状測定データと、前記第二の基準面の形状測定データと、前記第二の基準面に形成された前記マーキングの形状測定データを同一座標系で取得する第二の測定工程と、
前記第一の基準面の形状測定データと、前記第一の基準面に形成された前記マーキングの形状測定データと、前記第一の基準面の設計形状データから第一の座標変換量を算出する工程と、
前記第二の基準面の形状測定データと、前記第二の基準面に形成された前記マーキングの形状測定データと、前記第二の基準面の設計形状データから第二の座標変換量を算出する工程と、
前記第一の座標変換量および前記第二の座標変換量を用いて、前記被測定物の表面の形状測定データおよび裏面の形状測定データを座標変換する工程とを有することを特徴とする三次元形状測定方法。 - 前記第一の測定工程および前記第二の測定工程は、前記測定用治具を回転手段により回転させると共に、この回転手段の回転角(θ)を測定し、前記プローブを前記回転手段により回転する前記被測定物あるいは前記測定用治具の高さ方向(Z軸方向)の変化に追従させながら前記回転手段の回転軸と直交する方向(X軸方向)に移動すると共に、前記プローブのXZ座標を測定し、前記回転手段の回転角(θ)と前記プローブの座標(x,z)を座標値として取り込み、形状測定データを取得する工程であることを特徴とする請求項5または請求項6に記載の三次元形状測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003316779A JP4309727B2 (ja) | 2003-09-09 | 2003-09-09 | 測定用治具およびこれを用いた三次元形状測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003316779A JP4309727B2 (ja) | 2003-09-09 | 2003-09-09 | 測定用治具およびこれを用いた三次元形状測定方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005083914A JP2005083914A (ja) | 2005-03-31 |
JP2005083914A5 JP2005083914A5 (ja) | 2006-09-28 |
JP4309727B2 true JP4309727B2 (ja) | 2009-08-05 |
Family
ID=34416572
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003316779A Expired - Lifetime JP4309727B2 (ja) | 2003-09-09 | 2003-09-09 | 測定用治具およびこれを用いた三次元形状測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4309727B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4705828B2 (ja) * | 2005-09-22 | 2011-06-22 | 株式会社ミツトヨ | 相対関係測定方法、及び相対関係測定装置 |
-
2003
- 2003-09-09 JP JP2003316779A patent/JP4309727B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005083914A (ja) | 2005-03-31 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120515 Year of fee payment: 3 |
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