JP4302716B2 - 光ビームの軸間ピッチ変換装置および基板露光装置 - Google Patents
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Description
第1の辺と第2の辺とのなす内角がθ(ただし、θ<90度)の平行四辺形を断面とし、前記断面と垂直な高さが、y方向に最も離れた2つの前記光源間の距離に前記平行ビームのy方向の外形寸法を加えた長さよりも長い四角柱である1個の第1の透明部材と、
第1の辺の長さが(Px−Px')であり、該辺と第2の辺とのなす内角が前記第1の透明部材の内角と等しいθの平行四辺形を断面とし、前記断面と垂直な高さが、y方向に最も離れた2つの前記光源間の距離に前記平行ビームのy方向の外形寸法を加えた長さよりも長い四角柱である少なくとも1個の第2の透明部材とを設け、
前記第2の透明部材をそれぞれの第1の辺が一直線になるようにして他の前記第2の透明部材に密着させて重ねると共に、重ねた前記第2の透明部材の端部の前記第2の辺の対辺に、前記第1の透明部材を、当該第1の辺が前記第2の透明部材の第1の辺と一直線になるようにして密着させて重ね、一体とした前記第1の透明部材と前記第2の透明部材の前記第1の辺をx方向として前記光源に対向させたとき、
前記第2の透明部材の前記第1の辺または前記第1の透明部材の前記第1の辺から入射した前記平行ビームが前記第2の辺に入射する位置において当該前記第2の辺に密着する前記第2の透明部材の前記第2の辺に対向する辺の前記高さ方向の外面に、y方向が前記平行ビームのy方向の外形寸法長さよりも広く、深さが一様な溝を形成したことを特徴とする。
マルチ平行ビーム発生ユニット11は、銅材で形成されたホルダ110、半導体レーザ(以下「LD」という。)12および非球面レンズ13から構成されている。ホルダ110には、外径が5〜6mmのキャンに実装されたLD12が13mmのピッチでx方向に16個(左右各8個)、y方向に8個、合計128個配置されている。なお、図2(A)に点線で示すように、LD12は隣接する列のLD12と13/8mmずつずらせて配置されている。また、出射光のLD12の光軸上にはそれぞれ非球面レンズ13が配置されている。LD12はx方向発散角の半値全幅が約22度、y方向の半値全幅が約8度のレーザ光を出力する。
図2(B)に示すように、平行ガラス一体ユニット14は、断面が平行四辺形である平行ガラス1401〜1408(以下、このグループを「平行ガラス一体ユニット14R」という。)と、平行ガラス1411〜1418(以下、このグループを「平行ガラス一体ユニット14L」という。)から構成されている。
図4に示すように、図の下方から平行ガラス1411に入射した左端のレーザ光10Aであるレーザ光10A1は、空気との境目であるAL1で全反射して図の右方に進み、以下、平行ガラス1412〜1418の内部を通り、空気との境目であるBL1で全反射して図の上方に進み、平行ガラス1418の上方から出射する。また、図の下方から平行ガラス1412に入射した左から2番目の平行ビーム10A2は、平行ガラス1411に設けられた溝に対応するAL2で全反射して図の右方に進み、以下、平行ガラス1413〜1418の内部を通り、空気との境目であるBL2で全反射して図の上方に進み、平行ガラス1418の上方から出射する。他の平行ビーム10Aも同様に、平行ガラスを透過しようとする際に次の平行ガラスに溝Gが設けられているので、その地点で全反射する。すなわち、ピッチPx13mmで入射する平行ビーム10AはピッチPx′(ここでは、1mm)の平行ビーム10として平行ガラス1418から出射する。平行ガラス一体ユニット14R側も同様に、ピッチPx13mmで入射する平行ビーム10AはピッチPx′(1mm)の平行ビーム10として平行ガラス1408から出射する。そして、図2(A)に示すように、平行ガラス1408と平行ガラス1418が重なる部分は入れ子(それぞれを櫛歯状にして組み合わせた形状)にしてあるので、平行ビーム10Aの光路が乱さなれることはない。
図4に示すように、間隔dpは、入射する平行ビーム10AのピッチPxと出射する平行ビーム10のピッチPx′とから下記の式
dp=(Px―Px′)/√2
によって求められる。
dx=Dxfcfθc/(fofθ)
dy=Dyfθ/fo
によって与えられる。
PEx=Pxfθ/fo
PEy=Pyfθcfc/(fofθ)
で表される。
dy=4fθλ/(πDy)
で定まるスポット径dyで基板にそれぞれ集光する。
dx=Dxfcfθc/(fofθ)
7で定まるビーム径dxで基板にそれぞれ集光する。ここで、dx、dyはほぼ同じ大きさである。
10A 入射ビーム
14L 平行ガラス一体ユニット
1418 平行ガラス
1411〜1417 平行ガラス
G 溝
Px 入射ビームのピッチ
Px′ 出射ビームのピッチ
Claims (6)
- x方向に等間隔かつy方向に互いにずらせてxy平面上に配列された光源から出射される出射光それぞれを平行ビームとし、この前記光源と同数の前記平行ビームのx方向のピッチPxを所望のピッチPx'に縮小する光ビームの軸間ピッチ変換装置において、
第1の辺と第2の辺とのなす内角がθ(ただし、θ<90度)の平行四辺形を断面とし、前記断面と垂直な高さが、y方向に最も離れた2つの前記光源間の距離に前記平行ビームのy方向の外形寸法を加えた長さよりも長い四角柱である1個の第1の透明部材と、
第1の辺の長さが(Px−Px')であり、該辺と第2の辺とのなす内角が前記第1の透明部材の内角と等しいθの平行四辺形を断面とし、前記断面と垂直な高さが、y方向に最も離れた2つの前記光源間の距離に前記平行ビームのy方向の外形寸法を加えた長さよりも長い四角柱である少なくとも1個の第2の透明部材とを設け、
前記第2の透明部材をそれぞれの第1の辺が一直線になるようにして他の前記第2の透明部材に密着させて重ねると共に、重ねた前記第2の透明部材の端部の前記第2の辺の対辺に、前記第1の透明部材を、当該第1の辺が前記第2の透明部材の第1の辺と一直線になるようにして密着させて重ね、一体とした前記第1の透明部材と前記第2の透明部材の前記第1の辺をx方向として前記光源に対向させたとき、
前記第2の透明部材の前記第1の辺または前記第1の透明部材の前記第1の辺から入射した前記平行ビームが前記第2の辺に入射する位置において当該前記第2の辺に密着する前記第2の透明部材の前記第2の辺に対向する辺の前記高さ方向の外面に、y方向が前記平行ビームのy方向の外形寸法長さよりも広く、深さが一様な溝を形成した
ことを特徴とする光ビームの軸間ピッチ変換装置。 - 前記平行四辺形の内角の一方が45度であることを特徴とする請求項1に記載の光ビームの軸間ピッチ変換装置。
- 前記第1の透明部材と第2の透明部材がガラスからなることを特徴とする請求項1に記載の光ビームの軸間ピッチ変換装置。
- 前記第1および第2の透明部材はオプティカルコンタクトにより密着していることを特徴とする請求項3に記載の光ビームの軸間ピッチ変換装置。
- 前記ガラスが石英を主成分とすることを特徴とする請求項3に記載の光ビームの軸間ピッチ変換装置。
- 行列状に配置された複数の光源から出力され、光軸の間隔が等間隔である平行ビームの一方の側の光軸の間隔を光ビームの軸間ピッチ変換装置により変え、前記光源から出力された光を被露光基板に照射させるようにした基板露光装置において、
請求項1ないし5のいずれか1項に記載の光ビームの光ビームの軸間ピッチ変換装置を備えていることを特徴とする基板露光装置。
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