JP4298188B2

JP4298188B2 - Substrate transport apparatus and substrate transport method

Info

Publication number: JP4298188B2
Application number: JP2001236722A
Authority: JP
Inventors: 雄一郎太田
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 2001-08-03
Filing date: 2001-08-03
Publication date: 2009-07-15
Anticipated expiration: 2021-08-03
Also published as: JP2003051525A

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus and a method for carrying a substrate capable of handling the substrate bent in a carrying-cassette with a narrow pitch with the size of the apparatus kept small. SOLUTION: Position and angle of three hand arms, 8a, 8b, and 8c, are varied depending on the kinds of a substrate (material, size, and thickness), and the substrate 7 bent in a carrying cassette is taken out as it is bent. After that, the hand arms, 8a, 8b, and 8c are moved and the substrate 7 is carried to other apparatus with its shape evenly returned.

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示パネルや半導体装置の製造に用いられる大型又は薄型の基板を搬送する基板搬送装置及び基板搬送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示パネルや半導体装置の製造工程では、複数枚の基板を搬送カセットに収納した状態で装置間を搬送している。例えば、液晶表示装置の場合、ＴＦＴ（Thin Film Transistor：薄膜トランジスタ）及び配線等が形成された基板（ガラス基板）は、搬送カセット内に収納され、ＡＧＶ（Automatic Guided Vehicle：無人搬送車）により検査装置の近傍のカセットステーションまで搬送される。そして、搬送装置（搬送ロボット）により搬送カセットから基板が１枚づつ取り出されて、検査装置に供給される。検査終了後の基板は、搬送装置で搬送されて再び搬送カセット内に収納される。
【０００３】
図１２は、液晶パネル用基板を収納する搬送カセットを示す斜視図である。この図１２に示すように、カセット３１の側板の内面には複数の突起（リブ）３２が設けられており、基板３０はこれらの突起３２に両端部を支持された状態でカセット３１の高さ方向に一定のピッチで並べて収納される。
基板３０は、搬送装置（搬送ロボット）の平板状又はフォーク状のハンドアームによってカセット３１から１枚ずつ取り出された後、検査装置に搬送され、検査装置で基板の検査がなされる。検査終了後の基板は、搬送装置により再び逆方向に搬送され、搬送カセット３１内に収納される。
【０００４】
搬送装置のハンドアームの上面には複数のパッド（基板受けパッド）が設けられており、搬送装置は、これらのパッドで基板と接触するようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
液晶表示パネルの製造工程では、一般的に１枚の大型基板を用いて複数の液晶表示パネルを途中の工程まで同時に製造し、最終工程近くで基板を切断し各液晶表示パネルに分割している。近年、液晶表示パネルの大型化が促進されており、それに伴って基板のサイズも大きくなっている。
【０００６】
このような大型基板を従来構造の搬送カセットに収納すると、図１３に示すように、基板３０に大きな撓みが生じる。例えば、サイズが７３０×９２０×０．６ｍｍの基板では、撓み量は約３４ｍｍにもなる。カセット３１の基板収納ピッチＰは、基板３０の撓み量に搬送装置のハンドアームの厚さを加えた値以上であることが必要であるので、搬送カセット３１内に２０〜２５枚の基板３０を収納する場合、搬送カセット３１の高さは、おおよそ８００ｍｍ〜１, ０００ｍｍにもなる。
【０００７】
このように、搬送カセット３１が大型になると、搬送装置、ＡＧＶ及びクリーンストッカ等の設備も大型化する必要があり、設備コストが著しく上昇する。
また、大型基板を平坦に保ったまま搬送するためには、搬送装置のハンドアーム上のパッドの数を多くする必要がある。しかし、パッドの数を多くすると、基板の裏面に汚れやパーティクルが付着する可能性が高くなり、好ましくない。
【０００８】
基板の撓みによる搬送カセットの大型化を回避するために、基板を縦にして搬送する垂直ハンドリングも考えられる。しかし、垂直ハンドリングでは、基板が極めて薄いため、搬送カセットに基板を収納したり取り出す際にチッピング（欠け）が発生する虞がある。また、搬送カセットと搬送装置との間の基板受け渡しが複雑になるため、搬送装置のコストが増加するという難点もある。
【０００９】
本発明の目的は、搬送カセット内に撓みある状態で狭ピッチに収納された基板を扱うことができて、装置の大型化が回避される搬送装置及び搬送方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の基板搬送装置は、基板の両端部をそれぞれ支持する第１及び第２のハンドアームと、前記第１のハンドアームをその長手方向に平行な回転軸に対し回転させる第１の回転機構と、前記第２のハンドアームをその長手方向に平行な回転軸に対し回転させる第２の回転機構と、前記第１及び第２のハンドアームを水平且つ相互に離接する方向に移動させる第１及び第２の水平スライド機構と、前記第１及び第２のハンドアームの間に配置されて前記基板の中央部を支持する第３のハンドアームと、前記第３のハンドアームを垂直方向に移動させる垂直スライド機構と、前記基板の種類毎に、前記第１及び第２のハンドアームの角度と前記第１、第２及び第３のハンドアームの位置とを記憶した記憶部と、前記記憶部に記憶されたデータに基づいて前記第１及び第２の回転機構、前記第１及び第２の水平スライド機構並びに前記垂直スライド機構を駆動制御する駆動制御部とを有することを特徴とする。
【００１１】
本発明の基板搬送装置は、基板の両端部を支持する第１及び第２のハンドアームと、これらの第１及び第２のハンドアームを回転させる第１及び第２の回転機構を有している。例えば、搬送カセット内に収納された基板の撓みの状態に応じて第１及び第２のハンドアームの角度を調整することにより、搬送カセットから基板を撓んだ状態のまま取り出すことができる。従って、従来の搬送装置では、搬送カセット内の基板の配列ピッチが基板の撓み量にハンドアームの厚さを加えた値以上必要であるのに対し、本発明では、搬送カセット内の基板の配列ピッチをハンドアームの厚さ分よりも若干大きくする程度でよい。これにより、搬送カセットの高さを抑えることができ、基板搬送装置だけでなく、ＡＧＶやクリーンストッカ等の設備の大型化を抑制できる。
【００１２】
第１及び第２のハンドアームに加えて、基板の中央部を支持する第３のハンドアームを設けることにより、基板をより安全に支持することができる。この場合、第３のハンドアームには回転機構を設ける必要はないが、垂直方向に移動できるように、垂直スライド機構を設ける必要がある。
基板の撓み量は、基板の種類（材質、大きさ及び厚さ）により決まる。従って、第１及び第２のハンドアームを水平方向に移動させる第１及び第２の水平スライド機構を設け、基板の種類に応じて第１及び第２の回転機構、第１及び第２の水平スライド機構並びに垂直スライド機構を駆動制御することにより、各種基板に対応できるようになる。
【００１３】
本発明の基板搬送方法は、基板の両端部をそれぞれ支持する第１及び第２のハンドアームと、前記第１及び第２のハンドアームをそれぞれ長手方向に平行な回転軸に対し回転させる回転機構と、前記第１及び第２のハンドアームを水平且つ相互に離接する方向に移動させる水平スライド機構と、前記第１及び第２のハンドアームの間に配置されて前記基板の中央部を支持する第３のハンドアームと、前記第３のハンドアームを垂直方向に移動させる垂直スライド機構とを有し、搬送カセット内に撓んだ状態で収納された基板を取り出して搬送する搬送装置の基板搬送方法であって、前記基板の撓み状態に応じて前記第１及び第２のハンドアームの水平方向の位置及び回転角度、並びに前記第３のハンドアームの垂直方向の位置を変化させ、前記第１、第２及び第３のハンドアームを前記搬送カセット内に挿入し、前記搬送カセットから前記基板を撓んだ状態のまま取り出すことを特徴とする。
【００１４】
本発明によれば、複数本のハンドアームの位置及び角度を基板の状態に合わせて変化させるので、搬送カセットから基板を撓んだ状態のまま取り出すことができる。この場合、従来の基板搬送方法では、搬送カセット内の基板の配列ピッチが基板の撓み量にハンドアームの厚さを加えた値以上必要であるのに対し、本発明では、搬送カセット内の基板の配列ピッチをハンドアームの厚さ分よりも若干大きくする程度でよい。これにより、搬送カセットの高さを抑えることができ、基板搬送装置だけでなく、ＡＧＶやクリーンストッカ等の設備の大型化を抑制できる。
【００１５】
基板検査装置やその他の装置に基板を渡す際には、前記ハンドアームを駆動して基板を平坦な状態してからに渡すことが好ましい。これにより、検査装置等の設備は従来のものをそのまま使用することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
図１は本発明の実施の形態の搬送装置（搬送ロボット）を含む搬送システムの構成図、図２は同じくその平面図である。本実施の形態では、搬送カセットから基板を取り出して検査装置に供給し、検査終了後の基板を再び搬送カセットに収納する搬送装置について説明する。
【００１７】
本実施の形態の搬送装置５は、カセットステーション１と基板検査装置２との間に設置される。カセットステーション１の上には、ＡＧＶにより搬送された２個の搬送カセット４が載置される。これらの搬送カセット４には、ＴＦＴ及び配線等が形成された複数の基板（ガラス基板）が収納されている。
搬送装置５は、搬送カセット４から１枚の基板を取り出して検査装置２の基板検査ステージ６上に載置する。この検査ステージ６は水平方向（Ｘ−Ｙ方向）に移動し、欠陥の有無を検査する。搬送装置５は、検査装置２による検査が終了した後、基板を検査ステージ６から取り出して搬送カセット４内に収納する。そして、次の基板を搬送カセット４から取り出して、検査装置２の検査ステージ６上に載置する。このようにして、搬送カセット４内の基板が搬送装置５により１枚づつ順番に検査装置２に送られて、検査される。
【００１８】
図３は搬送装置５の外観を示す斜視図、図４は同じくその搬送装置５の上面図、図５は同じくその搬送装置５の正面図である。但し、図３は、図４，図５に示す位置からハンドアーム駆動機構部９が移動した状態を示している。
台１２上には軸１１が垂直に配置されている。この軸１１は、台１２内に設けられた駆動装置により、回転及び上下方向への移動が可能になっている。軸１１の上部には水平駆動アーム１０ａが固定されている。この水平駆動アーム１０ａは連結部１０ｃを介して水平駆動アーム１０ｂに連結され、水平駆動アーム１０ｂは連結部１０ｄを介してハンドアーム駆動機構部９に連結されている。連結部１０ｃ内に設けられた駆動装置により水平駆動アーム１０ｂが水平方向に回転し、連結部１０ｄ内に設けられた駆動装置によりハンドアーム駆動機構部９が水平方向に回転する。
【００１９】
ハンドアーム８ａ，８ｂは基板７の両端部を支持するアームである。これらのハンドアーム８ａ，８ｂは、細長い板状の部材であり、ハンドアーム駆動機構部９内の水平スライド機構（リニアアクチュエータ）１４ａ，１４ｂによって水平方向に移動可能であり、且つ回転機構１３ａ，１３ｂによって長手方向に平行な軸を中心にして回転可能である。
【００２０】
ハンドアーム８ｃは、基板７の中央部を支持するアームである。このハンドアーム８ｃも細長い板状の部材であり、ハンドアーム駆動機構部９内の垂直スライド機構（リニアアクチュエータ）１４ｃによって、垂直方向に移動する。なお、ハンドアーム８ｃには、ハンドアーム８ａ，８ｂと異なり回転機構は設けられていない。
【００２１】
ハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃの上面には、それぞれ複数（図では３個）のパッド１５が設けられており、ハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃは、これらのパッド１５の先端で搬送対象である基板７の下面と接触するようになっている。なお、本実施の形態ではパッド１５として突起物を用いているが、減圧装置に接続された吸着パッドを使用し、基板７をパッドに吸着するようにしてもよい。
【００２２】
図６はハンドアーム駆動機構部９の構成をより詳細に示す上面図、図７は同じくその正面図である。ハンドアーム８ａの水平スライド機構１４ａは、水平に配置されて軸受けで支持されたリードスクリュー１６ａと、このリードスクリュー１６ａに連結されたモータ１７ａと、リードスクリュー１６ａの回転によって水平方向に移動する移動ステージ１８ａとにより構成されている。また、ハンドアーム８ａの回転機構１３ａは、回転モータ（ギアモータ）１９ａと、このモータ１９ａとハンドアーム８ａとを連結する動力伝達ブッシュ２０ａとにより構成され、スライド機構１４ａの移動ステージ１８ａの上に取り付けられている。
【００２３】
これと同様に、ハンドアーム８ｂの水平スライド機構１４ｂは、水平に配置されて軸受けで支持されたリードスクリュー１６ｂと、このリードスクリュー１６ｂに連結されたモータ１７ｂと、リードスクリュー１６ｂの回転によって水平方向に移動する移動ステージ１８ｂとにより構成されている。また、ハンドアーム８ｂの回転機構１３ｂは、回転モータ（ギアモータ）１９ｂと、このモータ１９ｂとハンドアーム８ｂとを連結する動力伝達ブッシュ２０ｂとにより構成され、スライド機構１４ｂの移動ステージ１８ｂの上に取り付けられている。
【００２４】
ハンドアーム８ｃの垂直スライド機構１４ｃは、垂直に配置されて軸受けで支持されたリードスクリュー１６ｃと、このリードスクリュー１６ｃに連結されたモータ１７ｃと、リードスクリュー１６ｃの回転によって垂直方向に移動する移動ステージ１８ｃとにより構成されている。
基板の撓み量は基板の種類により決まるので、基板の種類に応じてこれらの回転機構１３ａ，１３ｂ及びスライド機構１４ａ，１４ｂ，１４ｃを適切に制御することにより、撓んだ状態の基板の面に沿って各ハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃを配置することができる。
【００２５】
図８は、ハンドアーム駆動機構部９内のモータ１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１９ａ，１９ｂを駆動制御するハンドアーム駆動制御部を示すブロック図である。
このハンドアーム駆動制御部は、水平スライド機構１４ａのモータ１７ａを駆動する駆動ユニット２１と、水平スライド機構１４ｂのモータ１７ｂを駆動する駆動ユニット２２と、垂直スライド機構１４ｃのモータ１７ｃを駆動する駆動ユニット２３と、回転機構１３ａのモータ１９ａを駆動する駆動ユニット２４と、回転機構１３ｂのモータ１９ｂを駆動する駆動ユニット２５と、これらの駆動ユニット２１〜２５を制御するコントローラ２６と、コントローラ２６にデータを設定するデータ設定部２７と、基板の種類（材質、サイズ及び厚さ）に応じたハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃの適切な位置を示すデータを記憶する記憶部２８とにより構成されている。
【００２６】
以下、上述した構成の本実施の形態の基板搬送装置を用いた基板搬送方法について説明する。
本実施の形態では、図９に示すように搬送カセット４内に収納された基板７を取り出して、検査装置２に搬送する。この場合、搬送カセット４には複数の基板７が撓んだ状態で高さ方向に並べて収納されている。搬送カセット４の基板支持用突起（リブ）３１のピッチＰは搬送装置５のハンドアーム８ａ〜８ｃの厚さよりも若干大きい程度でよく、基板７の撓み量よりも小さくてもよい。従って、大型の基板を収納するにもかかわらず、搬送カセット４の高さを比較的低くすることができる。また、予め、記憶部２８には、ハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃの最適な位置を示すデータを、基板７の種類（材質、大きさ及び厚さ）毎に記憶しておく。
【００２７】
まず、搬送すべき基板７の種類（材質、サイズ及び厚さ等）を示すデータを、データ設定部２７を介してコントローラ２６に入力する。データ入力はオペレータにより手動で行ってもよいし、他の装置（システムコントローラ等）から基板の種類を示すデータがデータ設定部２７に信号線を介して自動的に送られてくるようにしてもよい。データ設定部２７を介して基板７の種類を示すデータが送られてくると、コントローラ２６は、記憶部２８に記憶されているデータを参照し、ハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃが基板の種類に応じた位置となるように、駆動ユニット２１〜２５を介してモータ１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１９ａ，１９ｂを駆動する。
【００２８】
これにより、搬送装置５のハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃは、基板７の撓み量に応じた位置に移動する。すなわち、図３〜図５に示すように、ハンドアーム８ａ，８ｂは基板７の種類に応じて水平方向に移動し、且つ、支持する位置の基板７の傾きに応じた角度に回転する。また、ハンドアーム８ｃは、基板７の撓み量に応じて垂直方向に移動する。そして、これらのハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃは、それぞれ搬送カセット４内に収納された基板７の面に沿った位置に配置される。
【００２９】
その後、軸１１が上下方向に移動し、水平駆動アーム１０ａ，１０ｂが駆動されて、ハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃが、搬送カセット４内の所定の基板７の下に挿入される。このとき、ハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃが基板７に接触しないように、各駆動部は同期がとられた状態で駆動される。
次に、軸１１が若干上昇する。これにより、ハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃのパッド１５が基板７の下面に接触し、ハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃにより基板７が支持される。その後、ハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃが後退し、搬送カセット４から１枚の基板７が取り出される。このときも、ハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃ及びハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃ上の基板が他の基板に接触しないように、各駆動部は同期がとられた状態で駆動される。
【００３０】
次に、図１０（ａ），（ｂ）に示す状態から図１１（ａ），（ｂ）に示す状態になるまで、コントローラ２６により回転機構１３ａ，１３ｂ及び垂直スライド機構１４ｃのモータ１９ａ，１９ｂ，１７ｃが駆動され、基板７が平坦な状態に矯正される。このときも、基板７に大きな応力がかからないように、回転機構１３ａ，１３ｂ及び垂直スライド機構１４ｃは同期した状態で駆動される。
【００３１】
次いで、軸１１が上下方向に移動し、水平駆動アーム１０ａ，１０ｂが駆動されて、基板７が検査装置２の検査ステージ６の上方に移動する。そして、検査ステージ６上に基板７が載置される。
検査装置２により基板７の検査が終了した後は、逆方向に動作して検査済みの基板７を搬送カセット４内に収納する。その後、同様にして次の基板７を搬送カセット４から取り出し、検査装置２に搬送する。
【００３２】
このようにして、本実施の形態の搬送装置５は、搬送カセット４内から基板７を１枚ずつ取り出して検査装置２に搬送し、検査済みの基板７を搬送カセット４内に収納する。
上述した実施の形態の搬送装置５は、コントローラ２６により、３本のハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃが基板の撓みに応じた位置に配置され、搬送カセット４内に撓んだ状態で収納された基板７を、撓んだ状態のまま取り出すことができる。従って、搬送カセット４内に収納する基板７のピッチを従来に比べて小さくすることができる。これにより、大型基板を収納する搬送カセット４であっても、高さを低くできる。その結果、搬送装置５だけでなく、クリーンストッカやＡＧＶ等の装置も小型のものを使用することが可能になり、設備コストを低く抑えることができる。
【００３３】
また、本実施の形態の基板搬送装置５においては、記憶部２８に、ハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃの適切な位置を示すデータが基板の種類毎に記憶されているので、各種基板に対応することができる。また、搬送カセット４から基板７を取り出した後、ハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃを同期した状態で駆動させ、基板７の撓みを修正して平坦にするので、検査装置２は従来のものをそのまま使用することができる。
【００３４】
なお、上記実施の形態においては、本発明を液晶表示パネルの検査装置に基板を搬送する搬送装置及び搬送方法に適用した場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、本発明は、液晶表示パネルの他の製造工程や、半導体装置の製造工程における半導体基板の搬送装置及び搬送方法に適用することもできる。
【００３５】
また、上記実施の形態においては３本のハンドアーム８ａ，８ｂ，８ｃにより基板７を支持するものとしたが、本発明はこれに限定されるものでなく、２本又は４本以上のハンドアームで基板を支持するようにしてもよい。
（付記１）基板を搬送カセットに出し入れする搬送装置において、前記基板の両端部をそれぞれ支持する第１及び第２のハンドアームと、前記第１のハンドアームをその長手方向に平行な回転軸に対し回転させる第１の回転機構と、前記第２のハンドアームをその長手方向に平行な回転軸に対し回転させる第２の回転機構とを有することを特徴とする基板搬送装置。
【００３６】
（付記２）前記第１及び第２のハンドアームをそれぞれ水平方向に移動させる第１及び第２の水平スライド機構を有することを特徴とする付記１に記載の基板搬送装置。
（付記３）前記基板の種類毎に前記第１及び第２のハンドアームの位置及び角度を示すデータを記憶した記憶部と、前記記憶部に記憶されたデータに基づいて前記第１及び第２の回転機構並びに前記第１及び前記第２の水平スライド機構を駆動制御する駆動制御部とを有することを特徴とする付記２に記載の基板搬送装置。
【００３７】
（付記４）前記第１及び第２のハンドアームの間に配置された第３のハンドアームと、前記第３のハンドアームを垂直方向に移動させる垂直スライド機構と、前記基板の種類毎に、前記第１及び第２のハンドアームの角度と前記第１、第２及び第３のハンドアームの位置とを記憶した記憶部と、前記記憶部に記憶されたデータに基づいて前記第１及び第２の回転機構、前記第１及び第２の水平スライド機構並びに前記垂直スライド機構を駆動制御する駆動制御部とを有することを特徴とする付記２に記載の基板搬送装置。
【００３８】
（付記５）前記第１及び第２のハンドアームの間に配置された第３のハンドアームと、前記第３のハンドアームを垂直方向に移動させる垂直スライド機構とを有することを特徴とする付記１に記載の基板搬送装置。
（付記６）搬送カセット内に撓んだ状態で収納された基板を取り出して搬送する基板搬送装置であって、前記基板の撓み状態に応じて複数本のハンドアームの位置及び角度を変化させ、前記ハンドアームを前記搬送カセット内に挿入し、前記搬送カセットから前記基板を撓んだ状態のまま取り出すことを特徴とする基板搬送方法。
【００３９】
（付記７）前記基板を前記搬送カセットから取り出した後、前記複数のハンドアームを駆動して前記基板を平坦な状態にすることを特徴とする付記６に記載の基板搬送方法。
（付記８）３本のハンドアームを使用し、これらのハンドアームの位置及び角度を、前記基板のサイズに応じて変化させることを特徴とする付記６に記載の基板搬送方法。
【００４０】
（付記９）前記基板の種類に応じて前記ハンドアームの位置及び角度を変化させることを特徴とする付記６に記載の基板搬送方法。
【００４１】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の基板搬送装置によれば、基板の両端部を支持する第１及び第２のハンドアームと、これらのハンドアームを回転させる第１及び第２の回転機構を有しているので、搬送カセット内に撓んだ状態で収納された基板の面に対向するように第１及び第２のハンドアームを回転させて、基板を撓んだ状態のまま搬送カセットから取り出すことができる。これにより、搬送カセットの高さを抑えることができ、基板搬送装置だけでなく、ＡＧＶやクリーンストッカ等の設備の大型化を抑制できる。
【００４２】
また、本発明の基板搬送方法によれば、複数本のハンドアームの位置及び角度を基板の状態に合わせてそれぞれ変化させるので、搬送カセットから基板を撓んだ状態のまま取り出すことができる。これにより、搬送カセットの高さを抑えることができ、基板搬送装置だけでなく、ＡＧＶやクリーンストッカ等の設備の大型化を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明の実施の形態の基板搬送装置（搬送ロボット）を含む搬送システムの構成図である。
【図２】図２は同じくその搬送システムの平面図である。
【図３】図３は実施の形態の基板搬送装置の外観を示す斜視図である。
【図４】図４は同じくその基板搬送装置の上面図である。
【図５】図５は同じくその基板搬送装置の正面図である。
【図６】図６はハンドアーム駆動機構部の構成を示す上面図である。
【図７】図７は同じくそのハンドアーム駆動機構部の正面図である。
【図８】図８はハンドアーム駆動機構部内のモータを駆動制御するハンドアーム駆動制御部の構成を示すブロック図である。
【図９】図９は実施の形態で使用する搬送カセットを示す斜視図ある。
【図１０】図１０（ａ），（ｂ）は撓んだままの基板が実施の形態の基板搬送装置のハンドアームに支持された状態を示す正面図及び側面図である。
【図１１】図１１（ａ），（ｂ）はハンドアームの移動により平坦に矯正された基板を示す正面図及び側面図である。
【図１２】図１２は液晶パネル用基板を収納する搬送カセットを示す斜視図である。
【図１３】図１３は大型基板を収納した搬送カセットの例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１…カセットステーション、
２…基板検査装置、
４，３１…搬送カセット、
５…搬送装置（搬送ロボット）、
６…検査ステージ、
７…基板、
８ａ，８ｂ，８ｃ…ハンドアーム、
９…ハンドアーム駆動機構部、
１３ａ，１３ｂ…回転機構、
１４ａ，１４ｂ…水平スライド機構、
１４ｃ…垂直スライド機構、
１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１９ａ，１９ｂ…モータ、
１８ａ，１８ｂ，１８ｃ…移動ステージ
２１，２２…水平スライド機構駆動ユニット、
２３…垂直スライド機構駆動ユニット、
２４，２５…回転機構駆動ユニット、
２６…コントローラ、
２７…データ設定部、
２８…記憶部。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a substrate transfer apparatus and a substrate transfer method for transferring a large or thin substrate used for manufacturing a liquid crystal display panel or a semiconductor device.
[0002]
[Prior art]
In a manufacturing process of a liquid crystal display panel or a semiconductor device, a plurality of substrates are transported between the devices in a state of being stored in a transport cassette. For example, in the case of a liquid crystal display device, a substrate (glass substrate) on which TFTs (Thin Film Transistors) and wirings are formed is housed in a transport cassette and is inspected by an AGV (Automatic Guided Vehicle). To the cassette station near the station. Then, the substrates are taken out one by one from the transport cassette by the transport device (transport robot) and supplied to the inspection device. The substrate after the inspection is transported by the transport device and stored again in the transport cassette.
[0003]
FIG. 12 is a perspective view showing a transport cassette for storing a liquid crystal panel substrate. As shown in FIG. 12, a plurality of protrusions (ribs) 32 are provided on the inner surface of the side plate of the cassette 31, and the substrate 30 has a height of the cassette 31 with both ends supported by these protrusions 32. They are stored side by side at a fixed pitch in the direction.
The substrates 30 are taken out from the cassette 31 one by one by a flat plate or fork-like hand arm of a transfer device (transfer robot), then transferred to the inspection device, and the substrate is inspected by the inspection device. The substrate after the inspection is transported in the reverse direction again by the transport device and is stored in the transport cassette 31.
[0004]
A plurality of pads (substrate receiving pads) are provided on the upper surface of the hand arm of the transfer device, and the transfer device comes into contact with the substrate with these pads.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
In the manufacturing process of a liquid crystal display panel, generally, a plurality of liquid crystal display panels are manufactured simultaneously up to an intermediate process using a single large substrate, and the substrate is cut and divided into liquid crystal display panels near the final process. . In recent years, an increase in the size of a liquid crystal display panel has been promoted, and the size of the substrate has increased accordingly.
[0006]
When such a large substrate is stored in a transport cassette having a conventional structure, the substrate 30 is greatly bent as shown in FIG. For example, in a substrate having a size of 730 × 920 × 0.6 mm, the amount of bending is about 34 mm. The substrate storage pitch P of the cassette 31 needs to be equal to or greater than the value obtained by adding the thickness of the hand arm of the transfer device to the amount of bending of the substrate 30, so 20 to 25 substrates 30 are placed in the transfer cassette 31. In the case of storing, the height of the transport cassette 31 is approximately 800 mm to 1,000 mm.
[0007]
Thus, when the conveyance cassette 31 becomes large, facilities such as the conveyance device, AGV, and clean stocker need to be increased in size, and the facility cost is remarkably increased.
Further, in order to transport a large substrate while keeping it flat, it is necessary to increase the number of pads on the hand arm of the transport device. However, increasing the number of pads increases the possibility of dirt and particles adhering to the back surface of the substrate, which is not preferable.
[0008]
In order to avoid an increase in the size of the transport cassette due to the bending of the substrate, vertical handling in which the substrate is transported vertically can be considered. However, in the vertical handling, since the substrate is extremely thin, there is a possibility that chipping (chip) may occur when the substrate is stored in or taken out from the transport cassette. In addition, since the substrate delivery between the transport cassette and the transport apparatus is complicated, there is a problem that the cost of the transport apparatus increases.
[0009]
An object of the present invention is to provide a transport apparatus and a transport method that can handle substrates stored in a narrow pitch in a state of being bent in the transport cassette, and avoid an increase in size of the apparatus.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
A substrate transfer apparatus according to the present invention includes a first and second hand arms that respectively support both ends of a substrate, and a first rotation mechanism that rotates the first hand arm about a rotation axis parallel to the longitudinal direction thereof. A second rotation mechanism that rotates the second hand arm with respect to a rotation axis parallel to the longitudinal direction thereof, and a first rotation mechanism that moves the first and second hand arms horizontally and away from each other. And a second horizontal slide mechanism, a third hand arm disposed between the first and second hand arms and supporting the central portion of the substrate, and the third hand arm moving in the vertical direction A vertical slide mechanism to be stored; a storage unit that stores an angle of the first and second hand arms and a position of the first, second, and third hand arms for each type of the substrate; and the storage unit To the data stored in It said Zui first and second rotation mechanism, and having a first and second horizontal slide mechanism and a drive control unit for driving and controlling the vertical slide mechanism.
[0011]
The substrate transfer apparatus of the present invention includes first and second hand arms that support both ends of the substrate, and first and second rotation mechanisms that rotate the first and second hand arms. Yes. For example, by adjusting the angles of the first and second hand arms according to the bending state of the substrate stored in the transfer cassette, the substrate can be taken out from the transfer cassette while being bent. Therefore, in the conventional transfer apparatus, the arrangement pitch of the substrates in the transfer cassette needs to be equal to or greater than the value obtained by adding the thickness of the hand arm to the amount of deflection of the substrates. In the present invention, the arrangement of the substrates in the transfer cassette is required. The pitch may be slightly larger than the thickness of the hand arm. Thereby, the height of the transfer cassette can be suppressed, and not only the substrate transfer apparatus but also the size of facilities such as AGV and clean stocker can be suppressed.
[0012]
In addition to the first and second hand arms, the substrate can be supported more safely by providing a third hand arm that supports the central portion of the substrate. In this case, the third hand arm does not need to be provided with a rotation mechanism, but a vertical slide mechanism needs to be provided so that the third hand arm can move in the vertical direction.
The amount of bending of the substrate is determined by the type (material, size and thickness) of the substrate. Accordingly, the first and second horizontal slide mechanisms for moving the first and second hand arms in the horizontal direction are provided, and the first and second rotating mechanisms, the first and second horizontal mechanisms are provided according to the type of the substrate. By controlling the sliding mechanism and the vertical sliding mechanism, it is possible to cope with various substrates.
[0013]
The substrate transfer method of the present invention includes a first hand arm and a second hand arm that respectively support both end portions of the substrate, and a rotation mechanism that rotates the first and second hand arms with respect to a rotation axis parallel to the longitudinal direction. A horizontal slide mechanism for moving the first and second hand arms horizontally and in a direction to be separated from each other, and a center portion of the substrate disposed between the first and second hand arms. Substrate transport of a transport device that has a third hand arm and a vertical slide mechanism that moves the third hand arm in the vertical direction, and picks up and transports the substrate stored in a bent state in the transport cassette a method, horizontal position and the rotation angle of the first and second hand arm in accordance with the deflection state of the substrate, as well as to change the vertical position of the third hand arm, before First, second and third hand arm was inserted into the transport cassette, and wherein the retrieving remains from the transport cassette of a flexed state of the substrate.
[0014]
According to the present invention, since the positions and angles of the plurality of hand arms are changed in accordance with the state of the substrate, the substrate can be taken out from the transport cassette while being bent. In this case, in the conventional substrate transfer method, the arrangement pitch of the substrates in the transfer cassette needs to be equal to or greater than the value obtained by adding the thickness of the hand arm to the amount of bending of the substrate. The arrangement pitch may be slightly larger than the thickness of the hand arm. Thereby, the height of the transfer cassette can be suppressed, and not only the substrate transfer apparatus but also the size of facilities such as AGV and clean stocker can be suppressed.
[0015]
When the substrate is transferred to the substrate inspection apparatus or other devices, it is preferable that the substrate is transferred after the hand arm is driven to make the substrate flat. Thereby, the conventional equipment such as the inspection apparatus can be used as it is.
[0016]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a configuration diagram of a transfer system including a transfer device (transfer robot) according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view of the same. In the present embodiment, a description will be given of a transport apparatus that takes out a substrate from a transport cassette, supplies the substrate to an inspection apparatus, and stores the substrate after the inspection in the transport cassette again.
[0017]
The transfer device 5 according to the present embodiment is installed between the cassette station 1 and the substrate inspection device 2. On the cassette station 1, two transport cassettes 4 transported by AGV are placed. These transport cassettes 4 store a plurality of substrates (glass substrates) on which TFTs, wirings, and the like are formed.
The transport device 5 takes out one substrate from the transport cassette 4 and places it on the substrate inspection stage 6 of the inspection device 2. The inspection stage 6 moves in the horizontal direction (XY direction) and inspects for the presence of defects. After the inspection by the inspection device 2 is completed, the transport device 5 takes out the substrate from the inspection stage 6 and stores it in the transport cassette 4. Then, the next substrate is taken out from the transport cassette 4 and placed on the inspection stage 6 of the inspection apparatus 2. In this manner, the substrates in the transport cassette 4 are sent one by one to the inspection device 2 by the transport device 5 and inspected.
[0018]
FIG. 3 is a perspective view showing the appearance of the transfer device 5, FIG. 4 is a top view of the transfer device 5 and FIG. 5 is a front view of the transfer device 5. However, FIG. 3 shows a state where the hand arm drive mechanism unit 9 has moved from the position shown in FIGS.
A shaft 11 is vertically arranged on the table 12. The shaft 11 can be rotated and moved up and down by a driving device provided in the base 12. A horizontal drive arm 10 a is fixed to the upper portion of the shaft 11. The horizontal drive arm 10a is connected to the horizontal drive arm 10b via a connecting portion 10c, and the horizontal drive arm 10b is connected to the hand arm drive mechanism portion 9 via a connecting portion 10d. The horizontal driving arm 10b is rotated in the horizontal direction by the driving device provided in the connecting portion 10c, and the hand arm driving mechanism portion 9 is rotated in the horizontal direction by the driving device provided in the connecting portion 10d.
[0019]
The hand arms 8 a and 8 b are arms that support both ends of the substrate 7. These hand arms 8a and 8b are elongated plate-like members, and can be moved in the horizontal direction by horizontal slide mechanisms (linear actuators) 14a and 14b in the hand arm drive mechanism 9, and the rotation mechanisms 13a and 13b. Can rotate around an axis parallel to the longitudinal direction.
[0020]
The hand arm 8 c is an arm that supports the central portion of the substrate 7. The hand arm 8c is also an elongated plate-like member, and is moved in the vertical direction by a vertical slide mechanism (linear actuator) 14c in the hand arm drive mechanism unit 9. Unlike the hand arms 8a and 8b, the hand arm 8c is not provided with a rotation mechanism.
[0021]
A plurality (three in the figure) of pads 15 are provided on the upper surfaces of the hand arms 8 a, 8 b, and 8 c, and the hand arms 8 a, 8 b, and 8 c are substrates to be transferred at the tips of these pads 15. 7 is in contact with the lower surface. In the present embodiment, a protrusion is used as the pad 15, but a suction pad connected to a decompression device may be used to suck the substrate 7 to the pad.
[0022]
6 is a top view showing the configuration of the hand arm drive mechanism 9 in more detail, and FIG. 7 is a front view of the same. The horizontal slide mechanism 14a of the hand arm 8a includes a lead screw 16a that is horizontally arranged and supported by a bearing, a motor 17a that is coupled to the lead screw 16a, and a moving stage that moves in the horizontal direction by the rotation of the lead screw 16a. 18a. The rotation mechanism 13a of the hand arm 8a includes a rotation motor (gear motor) 19a and a power transmission bush 20a that connects the motor 19a and the hand arm 8a. The rotation mechanism 13a is mounted on the moving stage 18a of the slide mechanism 14a. It has been.
[0023]
Similarly, the horizontal slide mechanism 14b of the hand arm 8b includes a lead screw 16b that is horizontally disposed and supported by a bearing, a motor 17b that is coupled to the lead screw 16b, and a rotation of the lead screw 16b in the horizontal direction. And a moving stage 18b. The rotation mechanism 13b of the hand arm 8b includes a rotation motor (gear motor) 19b and a power transmission bush 20b that connects the motor 19b and the hand arm 8b. The rotation mechanism 13b is mounted on the moving stage 18b of the slide mechanism 14b. It has been.
[0024]
The vertical sliding mechanism 14c of the hand arm 8c includes a lead screw 16c arranged vertically and supported by a bearing, a motor 17c connected to the lead screw 16c, and a moving stage that moves in the vertical direction by the rotation of the lead screw 16c. 18c.
Since the amount of bending of the substrate is determined by the type of substrate, the rotation mechanism 13a, 13b and the sliding mechanisms 14a, 14b, 14c are appropriately controlled according to the type of substrate, so that the surface of the substrate in the bent state can be obtained. Each hand arm 8a, 8b, 8c can be arranged along.
[0025]
FIG. 8 is a block diagram showing a hand arm drive control unit that drives and controls the motors 17a, 17b, 17c, 19a, and 19b in the hand arm drive mechanism unit 9.
The hand arm drive control unit includes a drive unit 21 that drives the motor 17a of the horizontal slide mechanism 14a, a drive unit 22 that drives the motor 17b of the horizontal slide mechanism 14b, and a drive unit that drives the motor 17c of the vertical slide mechanism 14c. 23, a drive unit 24 that drives the motor 19a of the rotation mechanism 13a, a drive unit 25 that drives the motor 19b of the rotation mechanism 13b, a controller 26 that controls these drive units 21 to 25, and data to the controller 26. A data setting unit 27 to be set and a storage unit 28 that stores data indicating appropriate positions of the hand arms 8a, 8b, and 8c according to the type (material, size, and thickness) of the substrate.
[0026]
Hereinafter, a substrate transfer method using the substrate transfer apparatus of the present embodiment having the above-described configuration will be described.
In the present embodiment, as shown in FIG. 9, the substrate 7 stored in the transport cassette 4 is taken out and transported to the inspection apparatus 2. In this case, the plurality of substrates 7 are stored side by side in the height direction in the transport cassette 4 in a bent state. The pitch P of the substrate support protrusions (ribs) 31 of the transport cassette 4 may be slightly larger than the thickness of the hand arms 8 a to 8 c of the transport device 5, and may be smaller than the bending amount of the substrate 7. Therefore, the height of the transport cassette 4 can be made relatively low despite storing a large substrate. In addition, data indicating the optimal positions of the hand arms 8a, 8b, and 8c is stored in the storage unit 28 in advance for each type (material, size, and thickness) of the substrate 7.
[0027]
First, data indicating the type (material, size, thickness, etc.) of the substrate 7 to be transferred is input to the controller 26 via the data setting unit 27. Data input may be performed manually by an operator, or data indicating the type of substrate may be automatically sent to the data setting unit 27 via a signal line from another apparatus (system controller or the like). Good. When data indicating the type of the substrate 7 is sent via the data setting unit 27, the controller 26 refers to the data stored in the storage unit 28, and the hand arms 8a, 8b, 8c are set to the type of the substrate. The motors 17a, 17b, 17c, 19a, and 19b are driven through the drive units 21 to 25 so that the corresponding positions are obtained.
[0028]
As a result, the hand arms 8 a, 8 b, 8 c of the transport device 5 move to positions corresponding to the amount of bending of the substrate 7. That is, as shown in FIGS. 3 to 5, the hand arms 8 a and 8 b move in the horizontal direction according to the type of the substrate 7, and rotate at an angle according to the inclination of the substrate 7 at the position to be supported. Further, the hand arm 8 c moves in the vertical direction according to the amount of bending of the substrate 7. These hand arms 8 a, 8 b, 8 c are arranged at positions along the surface of the substrate 7 accommodated in the transport cassette 4.
[0029]
Thereafter, the shaft 11 moves up and down, the horizontal drive arms 10 a and 10 b are driven, and the hand arms 8 a, 8 b and 8 c are inserted under a predetermined substrate 7 in the transport cassette 4. At this time, each drive unit is driven in a synchronized state so that the hand arms 8a, 8b, 8c do not contact the substrate 7.
Next, the shaft 11 is slightly raised. Thereby, the pad 15 of the hand arms 8a, 8b, 8c comes into contact with the lower surface of the substrate 7, and the substrate 7 is supported by the hand arms 8a, 8b, 8c. Thereafter, the hand arms 8 a, 8 b, 8 c are retracted, and one substrate 7 is taken out from the transport cassette 4. Also at this time, each drive unit is driven in a synchronized state so that the substrates on the hand arms 8a, 8b, 8c and the hand arms 8a, 8b, 8c do not come into contact with other substrates.
[0030]
Next, from the state shown in FIGS. 10A and 10B to the state shown in FIGS. 11A and 11B, the motors 19a and 19b of the rotating mechanisms 13a and 13b and the vertical slide mechanism 14c are controlled by the controller 26. 17c are driven to correct the substrate 7 to a flat state. Also at this time, the rotation mechanisms 13a and 13b and the vertical slide mechanism 14c are driven in a synchronized state so that a large stress is not applied to the substrate 7.
[0031]
Next, the shaft 11 moves up and down, the horizontal drive arms 10 a and 10 b are driven, and the substrate 7 moves above the inspection stage 6 of the inspection apparatus 2. Then, the substrate 7 is placed on the inspection stage 6.
After the inspection of the substrate 7 by the inspection apparatus 2 is completed, the substrate 7 that has been inspected is stored in the transport cassette 4 by operating in the reverse direction. Thereafter, similarly, the next substrate 7 is taken out from the transport cassette 4 and transported to the inspection apparatus 2.
[0032]
In this way, the transport device 5 of the present embodiment takes out the substrates 7 one by one from the transport cassette 4 and transports them to the inspection device 2, and stores the inspected substrates 7 in the transport cassette 4.
In the transfer device 5 of the above-described embodiment, the three hand arms 8a, 8b, and 8c are arranged at positions corresponding to the bending of the substrate by the controller 26, and are stored in the transfer cassette 4 in a bent state. The substrate 7 can be taken out in a bent state. Accordingly, the pitch of the substrates 7 accommodated in the transport cassette 4 can be reduced as compared with the conventional case. Thereby, even if it is the conveyance cassette 4 which accommodates a large sized board | substrate, height can be made low. As a result, not only the transfer device 5 but also devices such as a clean stocker and AGV can be used in a small size, and the equipment cost can be kept low.
[0033]
Further, in the substrate transfer device 5 of the present embodiment, the data indicating the appropriate positions of the hand arms 8a, 8b, 8c is stored in the storage unit 28 for each type of substrate, so that it corresponds to various substrates. be able to. Further, after the substrate 7 is taken out from the transfer cassette 4, the hand arms 8a, 8b, 8c are driven in a synchronized state, and the bending of the substrate 7 is corrected and flattened. Can be used.
[0034]
In the above embodiment, the case where the present invention is applied to a transport apparatus and a transport method for transporting a substrate to an inspection apparatus for a liquid crystal display panel has been described. However, the present invention is not limited to this. For example, the present invention can also be applied to another manufacturing process of a liquid crystal display panel and a semiconductor substrate transfer apparatus and transfer method in a semiconductor device manufacturing process.
[0035]
In the above embodiment, the substrate 7 is supported by the three hand arms 8a, 8b, and 8c. However, the present invention is not limited to this, and two or four or more hand arms. You may make it support a board | substrate.
(Supplementary Note 1) In a transport apparatus for taking a substrate into and out of a transport cassette, the first and second hand arms that respectively support both ends of the substrate, and the first hand arm on a rotation axis parallel to the longitudinal direction thereof 1. A substrate transfer apparatus comprising: a first rotation mechanism that rotates the second hand arm; and a second rotation mechanism that rotates the second hand arm with respect to a rotation axis parallel to the longitudinal direction.
[0036]
(Additional remark 2) The board | substrate conveyance apparatus of Additional remark 1 characterized by having the 1st and 2nd horizontal slide mechanism which moves the said 1st and 2nd hand arm, respectively.
(Additional remark 3) The memory | storage part which memorize | stored the data which showed the position and angle of the said 1st and 2nd hand arm for every kind of said board | substrate, and said 1st and 2nd based on the data memorize | stored in the said memory | storage part The substrate transfer apparatus according to claim 2, further comprising: a rotation control mechanism and a drive control unit that drives and controls the first and second horizontal slide mechanisms.
[0037]
(Supplementary Note 4) For each type of substrate, a third hand arm disposed between the first and second hand arms, a vertical slide mechanism for moving the third hand arm in the vertical direction, and A storage unit that stores the angles of the first and second hand arms and the positions of the first, second, and third hand arms, and the first and second hand arms based on data stored in the storage unit. The substrate transfer apparatus according to appendix 2, further comprising: a second rotation mechanism, the first and second horizontal slide mechanisms, and a drive control unit that drives and controls the vertical slide mechanism.
[0038]
(Additional remark 5) It has the 3rd hand arm arrange | positioned between the said 1st and 2nd hand arm, and the vertical slide mechanism which moves the said 3rd hand arm to the orthogonal | vertical direction. 2. The substrate transfer apparatus according to 1.
(Appendix 6) A substrate transport apparatus that takes out and transports a substrate stored in a state of being bent in a transfer cassette, and changes the positions and angles of a plurality of hand arms according to the bent state of the substrate, A substrate transfer method, wherein the hand arm is inserted into the transfer cassette, and the substrate is taken out from the transfer cassette while being bent.
[0039]
(Supplementary note 7) The substrate transport method according to supplementary note 6, wherein after the substrate is taken out from the transport cassette, the plurality of hand arms are driven to bring the substrate into a flat state.
(Additional remark 8) The board | substrate conveyance method of Additional remark 6 characterized by using three hand arms and changing the position and angle of these hand arms according to the size of the said board | substrate.
[0040]
(Additional remark 9) The board | substrate conveyance method of Additional remark 6 characterized by changing the position and angle of the said hand arm according to the kind of said board | substrate.
[0041]
【The invention's effect】
As described above, according to the substrate transfer apparatus of the present invention, the first and second hand arms that support both ends of the substrate and the first and second rotation mechanisms that rotate these hand arms are provided. Therefore, the first and second hand arms are rotated so as to face the surface of the substrate stored in a bent state in the transfer cassette, and the substrate is taken out from the transfer cassette while being bent. be able to. Thereby, the height of the transfer cassette can be suppressed, and not only the substrate transfer apparatus but also the size of facilities such as AGV and clean stocker can be suppressed.
[0042]
Further, according to the substrate transfer method of the present invention, the positions and angles of the plurality of hand arms are changed in accordance with the state of the substrate, so that the substrate can be taken out from the transfer cassette while being bent. Thereby, the height of the transfer cassette can be suppressed, and not only the substrate transfer apparatus but also the size of facilities such as AGV and clean stocker can be suppressed.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram of a transfer system including a substrate transfer apparatus (transfer robot) according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view of the transfer system.
FIG. 3 is a perspective view showing an appearance of the substrate transfer apparatus according to the embodiment.
FIG. 4 is a top view of the substrate transfer apparatus.
FIG. 5 is a front view of the substrate transfer apparatus.
FIG. 6 is a top view showing a configuration of a hand arm drive mechanism.
FIG. 7 is a front view of the hand arm drive mechanism.
FIG. 8 is a block diagram showing a configuration of a hand arm drive control unit that drives and controls a motor in the hand arm drive mechanism unit.
FIG. 9 is a perspective view showing a transport cassette used in the embodiment.
FIGS. 10A and 10B are a front view and a side view showing a state where the substrate as bent is supported by the hand arm of the substrate transfer apparatus according to the embodiment.
FIGS. 11A and 11B are a front view and a side view showing a substrate that has been flattened by the movement of a hand arm.
FIG. 12 is a perspective view showing a transport cassette for storing a liquid crystal panel substrate.
FIG. 13 is a perspective view showing an example of a transport cassette storing a large substrate.
[Explanation of symbols]
1 ... cassette station,
2 ... Board inspection device,
4, 31 ... transport cassette,
5 ... Conveying device (conveying robot),
6 ... Inspection stage,
7 ... substrate,
8a, 8b, 8c ... hand arm,
9: Hand arm drive mechanism,
13a, 13b ... rotation mechanism,
14a, 14b ... horizontal slide mechanism,
14c ... vertical slide mechanism,
17a, 17b, 17c, 19a, 19b ... motor,
18a, 18b, 18c ... moving stages 21, 22 ... horizontal slide mechanism drive unit,
23 ... Vertical slide mechanism drive unit,
24, 25 ... Rotation mechanism drive unit,
26 ... Controller,
27: Data setting section,
28: Storage unit.

Claims

In the transfer device that puts the substrate in and out of the transfer cassette,
First and second hand arms that respectively support both ends of the substrate;
A first rotation mechanism for rotating the first hand arm with respect to a rotation axis parallel to the longitudinal direction;
A second rotation mechanism for rotating the second hand arm with respect to a rotation axis parallel to the longitudinal direction ;
First and second horizontal slide mechanisms for moving the first and second hand arms horizontally and in a direction to move away from each other;
A third hand arm disposed between the first and second hand arms and supporting a central portion of the substrate;
A vertical slide mechanism for moving the third hand arm in a vertical direction;
A storage unit that stores the angles of the first and second hand arms and the positions of the first, second, and third hand arms for each type of the substrate;
And a drive control unit that drives and controls the first and second rotation mechanisms, the first and second horizontal slide mechanisms, and the vertical slide mechanism based on data stored in the storage unit. Substrate transport device.

First and second hand arms that respectively support both ends of the substrate, a rotation mechanism that rotates the first and second hand arms with respect to a rotation axis parallel to the longitudinal direction, and the first and second A horizontal slide mechanism for moving the hand arm horizontally and away from each other, a third hand arm disposed between the first and second hand arms and supporting a central portion of the substrate, A substrate transfer method for a transfer device having a vertical slide mechanism for moving the third hand arm in a vertical direction, and taking out and transferring the substrate stored in a bent state in the transfer cassette,
The horizontal position and rotation angle of the first and second hand arms and the vertical position of the third hand arm are changed according to the bending state of the substrate ,
A substrate transfer method , wherein the first, second and third hand arms are inserted into the transfer cassette, and the substrate is taken out from the transfer cassette while being bent.

3. The substrate transfer method according to claim 2 , wherein after the substrate is taken out from the transfer cassette, the first, second and third hand arms are driven to bring the substrate into a flat state.