JP4295822B2 - 薄膜形成方法およびその装置 - Google Patents
薄膜形成方法およびその装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4295822B2 JP4295822B2 JP2002129104A JP2002129104A JP4295822B2 JP 4295822 B2 JP4295822 B2 JP 4295822B2 JP 2002129104 A JP2002129104 A JP 2002129104A JP 2002129104 A JP2002129104 A JP 2002129104A JP 4295822 B2 JP4295822 B2 JP 4295822B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- gas supply
- thin film
- substrate
- mask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、スパッタ製膜による薄膜形成方法およびその装置に関し、詳しくは長時間にわたり安定した放電を維持でき、膜質の安定した薄膜形成が可能な薄膜形成方法およびその装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
真空中で行う薄膜形成方法として、制御性、再現性、均一性などが良好であるという観点より、スパッタリング法が広く用いられている。
このスパッタリング法は、減圧下で、出発材料であるターゲットを陰極として電圧を印加し、このターゲット近傍に配置したガス供給ノズルより、不活性ガス(またはこれと反応性ガス)を導入してグロー放電を生成し、ターゲットに衝突するイオン化した不活性ガス分子のエネルギーによって、ターゲット構成物質をたたき出し、この物質をそのまま(またはこれと反応性ガスとの化合物として)基板上に堆積させて、薄膜形成する技術である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このようなスパッタリング法による製膜過程において、放電空間に供給されたガス分子は一部のみが上述のようにイオン化し、スパッタリングに寄与するが、大半は電離することなく放電空間外へ飛散し、真空槽外へ排気される。このため、安定した放電を維持するために必要かつ十分なガス量よりも、はるかに多量の不活性ガスを真空槽内に導入する必要があり、これは、大型の真空槽を有する生産設備ではきわめて不経済となる。
【0004】
不活性ガスの供給量を少量に抑えても放電空間の圧力を高く維持する方法として、放電空間以外の場所から別系統で不活性ガスを導入する方法や、放電空間の真空ポンプが接続される真空槽の排気口に流量調整弁などを装着して、コンダクタンスを調整し、真空槽内の圧力を調整する方法がある。
【0005】
しかし、前者の方法では、根本的に供給ガス量の総量を削減することにはならない。また、後者の方法は、別途コンダクタンス調整用の機器を装備する必要があるため、装置の製作費が高くなるという問題点がある。また、これらの方法では、直接的に放電空間の圧力分布を調整できないため、大面積の薄膜形成を行う場合、薄膜の分布調整ができないという問題もある。
【0006】
本発明は、このような事情に照らし、必要かつ十分なガス供給量でも安定したスパッタリングを維持でき、大面積でも均一な製膜を行える薄膜形成方法およびその装置を提供することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記の目的を達成するため、鋭意検討した結果、スパッタリング法においては、真空槽内にターゲットと基板とを対向配置するとともに、基板近傍に薄膜形成位置を規制する防着板として機能するマスクを通常配置し、ターゲット近傍には不活性ガス(またはこれと反応性ガス)導入用のガス供給ノズルを配置しているが、上記マスクと上記ガス供給ノズルの外形形状により、両者間の空隙の形状を設定すると、ターゲットと基板との間の放電空間内部から放電空間外部へ流れるガスのコンダクタンスを調整でき、これにより必要かつ十分なガス供給量でも安定した放電を維持でき、また放電空間内部のガス分布も上記空隙の形状により任意に調整できるため、広い面積の基板に対しても均一なスパッタ製膜を行えることを知り、本発明を完成するに至った。
【0008】
本発明は、ターゲットと基板とを対向配置した真空槽内に、不活性ガスまたはこれと反応性ガスを導入しながら、基板上にターゲット構成物質またはこれと反応性ガスとの化合物からなる薄膜をスパッタ製膜するにあたり、基板近傍に配置したマスクと、ターゲット近傍に配置した不活性ガスまたはこれと反応性ガス導入用のガス供給ノズルとの間の空隙を、上記のマスクと上記のガス供給ノズルとの外部形状により設定して、放電空間のコンダクタンスを調整することを特徴とする薄膜形成方法に係るものである。
また、本発明は、真空槽内にターゲットと基板とを対向配置し、ターゲット近傍に不活性ガスまたはこれと反応性ガス導入用のガス供給ノズルを配置し、このノズルから不活性ガスまたはこれと反応性ガスを導入しながら、基板上にターゲット構成物質またはこれと反応性ガスとの化合物からなる薄膜をスパッタ製膜する薄膜形成装置において、基板近傍に配置したマスクと上記のガス供給ノズルとの外部形状に基づいた上記のマスクと上記のガス供給ノズルとの間の空隙の設定により、放電空間のコンダクタンスを調整可能な構造にしたことを特徴とする薄膜形成装置に係るものである。
【0009】
さらに、本発明は、ガス供給ノズルが、少なくとも一端を塞いだ管形状で、その管の側面に穿孔した多数の孔からなるガス噴出口を有するガス導入管と、このガス導入管を収納し、かつ少なくとも一方向に開口部を有するノズルケースとから構成されてなり、このケースと基板近傍に配置したマスクの外部形状とにより、上記マスクとガス供給ノズルとの間の空隙を設定して、放電空間のコンダクタンスを調整可能な構造にした上記構成の薄膜形成装置に係るものである。
【0010】
なお、本発明において、「放電空間」とは、ターゲットとこれに対向する基板との間の空間であり、ターゲットを装着したカソードに電圧を印加した際にプラズマが発生する領域を指している。また、「放電空間のコンダクタンス」とは、放電空間内部から放電空間外部へのガスの通り抜けやすさを指している。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を、図面を参考にして、詳しく説明する。
図1は、本発明の薄膜形成装置の一例を示したものである。
真空ポンプ(図示せず)に接続された少なくとも一箇所の排気口8を有する真空槽3の内部に、ターゲット4を装着したカソード5が設けられているとともに、このターゲット4およびカソード5を取り囲むカソード隔壁9の上方側でターゲット4の近傍にガス供給ノズル2が配置されている。
【0012】
また、真空槽3内のターゲット4と対向する位置には、基板ホルダー6が配置されているとともに、この基板ホルダー6には基板7が装着されており、さらにこの基板7の近傍には薄膜形成位置を規制するマスク1が配置されている。このマスク1は、上記のガス供給ノズル2に対向する位置に設けられ、このマスク1とガス供給ノズル2との間に、空隙Dが形成されている。
【0013】
この装置において、真空槽3内にガス供給ノズル2よりアルゴンガスなどの不活性ガス(またはこれと酸素ガスなどの反応性ガス)を導入して、カソード5に電力を供給すると、ターゲット4と基板7の間に形成される放電空間Pにプラズマが発生し、スパッタリング現象により、つまりターゲット4に衝突するイオン化した不活性ガス分子のエネルギーにより、ターゲット構成物質(またはこれと反応性ガスとの化合物)が基板7上へ堆積して、薄膜が形成される。
【0014】
プラズマ放電領域の圧力は、ガス供給ノズル2から放電空間Pに供給するガス供給量と、排気速度とに加えて、マスク1とガス供給ノズル2との間の空隙Dに基づく放電空間Pのコンダクタンスにより、決められる。
本発明では、マスク1とガス供給ノズル2との外形形状により、上記空隙Dの形状を設定することにより、放電空間Pのコンダクタンスを任意に調整でき、これによりプラズマ放電領域の圧力を安定に維持できる。その結果、必要かつ十分なガス供給量でも安定したスパッタリングを維持できる。
【0015】
図2は、本発明の薄膜形成装置の別の例として、基板に長尺フィルムを用い、これに連続的に薄膜形成する例を示したものである。
すなわち、真空槽3内の基板隔壁31の上方側で、プラスチックフィルムからなる長尺フィルム12が、巻取、繰出軸10に装着されて、メインローラ11に沿って走行する構成となっており、この長尺フィルム12上に、基板隔壁31の内周側開口部において、連続的にスパッタ製膜する構成となっている。
【0016】
この構成において、基板隔壁31の内周側開口部における長尺フィルム12の近傍には薄膜形成位置を規制するマスク1が配置され、これとガス供給ノズル2との間に空隙Dが形成されている。その他の構成は、図1と同じであるため、図1と同一番号を付して、その説明を省略する。
この例でも、マスク1とガス供給ノズル2の外形形状により、空隙Dの形状を設定することにより、放電空間のコンダクタンスを任意に調整することができ、これによりプラズマ放電領域の圧力を安定に維持でき、必要かつ十分なガス供給量でも安定したスパッタリングを維持できる。
【0017】
図3は、上記の図2に示す薄膜形成装置の変形例として、ガス供給ノズルの構成を変更した態様を示したものである。
ガス供給ノズル2は、ガス噴出口22を有するガス導入管20と、ノズルケース21とから構成されている。上記のガス導入管20は、図4に示すように、管の一端を塞ぎ、管の他端より導入したガスを、側面に穿孔した多数の孔からなるガス噴出口22より噴出する構造を有している。また、上記のノズルケース21は、上記のガス導入管20を収納する、つまりガス導入管20を取り囲むように構成され、かつ少なくとも一方向に開口部を有するように構成されており、この開口部より放電空間にガスを供給するようになっている。
【0018】
ガス導入管20は、図4に示すものに代えて、図5に示すように、管の両端を塞ぎ、管の側面に少なくとも1個所設けた導入口から導入したガスを、上記と同様に、側面に穿孔した多数の孔からなるガス噴出口22より噴出する構造を有するものを用いてもよい。なお、図3において、上記以外の構成については、図2と同じであるため、図2と同一番号を付して、その説明を省略する。
【0019】
この例では、ガス供給ノズル2のノズルケース21の外部形状と、基板(長尺フィルム12)近傍に配置したマスク1の外部形状とにより、このマスク1とガス供給ノズル2との間の空隙Dを設定でき、これにより放電空間のコンダクタンスを調整できるので、プラズマ放電領域の圧力を安定に維持でき、必要かつ十分なガス供給量でも安定したスパッタリングを維持できる。
【0020】
図6は、上記図3に示す薄膜形成装置の変形例として、マスク1の外部形状とガス供給ノズル2のノズルケース21の外部形状をともに変更して、マスク1とガス供給ノズル2との間の空隙Dの形状を変えた例を示している。この図6において、上記以外の構成については、図3と同じであるため、図3と同一番号を付して、その説明を省略する。空隙Dの形状をこのように適宜変えることにより、放電空間のコンダクタンスを任意に調整できる。
【0021】
また、図7は、上記図3に示す薄膜形成装置において、マスク1の外部形状とガス供給ノズル2のノズルケース21の外部形状をともに部分的に変更して、マスク1とガス供給ノズル2との間の空隙Dの形状を局所的に変えた例を示している。空隙Dの形状をこのように局所的に変えることにより、放電空間内部のガス分布も上記空隙Dの形状により任意に調整可能となり、広い面積の基板に対しても均一なスパッタ製膜を行うことができる。
【0022】
このように、本発明では、マスク1の外部形状または/およびガス供給ノズル2の外部形状を適宜変更して、マスク1とガス供給ノズル2との間の空隙を設定し、これにより放電空間のコンダクタンスを調整することを大きな特徴としたものであるが、上記マスク1およびガス供給ノズル2の外部形状について、今一度詳しく説明すると、以下のとおりである。
【0023】
マスク1には、中央部に開口を有するいわゆる額縁状の形状が用いられるが、必ずしも矩形状の開口形状である必要はなく、中央部と周辺部とで開口幅の異なる形状を有していてもよい。また、断面形状としては薄い板状を用いることができるが、比較的厚みの厚いブロック状でもよく、さらには四角形以外の形状でもよい。すなわち、本発明にいうマスク1は、従来の防着板の機能に加えて、ガス供給ノズル2との間で放電空間のコンダクタンスを調整するための空隙を形成するオリフィスの一辺を担うという機能も有するため、所望のコンダクタンスが得られるように、その断面形状を任意に選択できるものである。
【0024】
ガス供給ノズル2は、ノズル2全体を管形状(図1,2)としたり、ノズルケース21に収納するガス導入管20を管形状とすることができる(図3〜7)。管の断面形状は、丸、四角、六角などの任意の形状を選択できる。ノズルケース21の断面形状には、一方向に開口部を有するコ字形やその変形(図3〜7)などの形状があり、着脱を容易にする分割構造としてもよい。これらノズル2は、放電空間に対しその全周を取り囲むように配置してもよいし、部分的に配置して放電空間内部のガス分圧分布をより容易に調整できるようにしてもよい。
【0025】
【実施例】
つぎに、本発明の薄膜形成装置を用いて、実際に、放電空間の圧力を測定し、また基板上にスパッタ製膜したときの幅方向の膜厚分布を測定した。これらの測定により、本発明の薄膜形成装置の性能を評価した。
【0026】
実施例1
図3に示す薄膜形成装置において、マスク1とガス供給ノズル2の形状を変更して、マスク1とガス供給ノズル2との間の空隙を変えることにより、放電空間のコンダクタンスが、2m3/s(以下、C=2という)および7m3/s(以下、C=7という)になるように調整した。この装置を用い、排気口に直結した真空ポンプにより12時間連続して真空排気したのち、ガス供給量に対する排気口付近の圧力(P1)と放電空間の圧力(P2)を調べた。
【0027】
結果は、図8に示されるとおりであった。この結果から、上記の薄膜形成装置において、マスク1とガス供給ノズル2との間の空隙を変えて、放電空間のコンダクタンスを調整することにより、必要かつ十分なガス量でも放電空間の圧力を所望の値に維持できるものであることがわかる。
【0028】
実施例2,3
図3に示す薄膜形成装置において、マスク1とガス供給ノズル2として、図6に示すもの(実施例2:マスク1の外部形状とガス供給ノズル2のノズルケース21の外部形状をともに部分的に変更したもの)および図5に示すもの(実施例3:マスク1の外部形状とガス供給ノズル2のノズルケース21の外部形状を部分的に変更しないもの)を使用し、基板としてのプラスチックフィルムからなる長尺フィルム12上に銅をスパッタ製膜し、膜厚分布を調べた。
【0029】
結果は、図9に示されるとおり、実施例2と実施例3とでは、幅方向両端部の膜厚が明らかに異なっていた。これは、マスク1とガス供給ノズル2との間の空隙Dの形状を局所的に変えて、放電空間のコンダクタンスに分布を生じさせることにより、放電空間内でアルゴンガスの圧力分布が発生し、基板の幅方向両端部の膜厚に影響を与えたものと思われる。すなわち、本発明では、マスク1とガス供給ノズル2との間の空隙を自在に変化させることにより、大面積への薄膜形成に際しても均一性を与えるべく調整することができる。
【0030】
【発明の効果】
以上のように、本発明においては、基板近傍に配置したマスクと、ターゲット近傍に配置したガス供給ノズルとの間の空隙を設定して、放電空間のコンダクタンスを調整するようにしたことにより、必要かつ十分なガス供給量でも安定したスパッタリングを維持させることができ、大面積でも均一なスパッタ製膜を行える薄膜形成方法およびその装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の薄膜形成装置の一例を示す概略正面断面図である。
【図2】本発明の薄膜形成装置の別の例を示す概略正面断面図である。
【図3】図2に示す薄膜形成装置において、ガス供給ノズルの構成を変更した例を示す要部断面図である。
【図4】図3の装置に使用したガス供給ノズルを示す要部斜視図である。
【図5】ガス供給ノズルの別の例を示す要部斜視図である。
【図6】図3に示す薄膜形成装置において、マスクとガス供給ノズルとの間の空隙の形状を変更した例を示す要部断面図である。
【図7】上記空隙の形状をさらに変更した例を示す要部斜視図である。
【図8】実施例1にしたがい、マスクとガス供給ノズルとの間の空隙の設定により調整した放電空間のコンダクタンスをパラメータとして、ガス供給量と放電空間の圧力との関係を示す特性図である。
【図9】実施例2,3にしたがい、基板(長尺フィルム)上にスパッタ薄膜したときの幅方向の膜厚分布を示す特性図である。
【符号の説明】
1 マスク
2 ガス供給ノズル
3 真空槽
4 ターゲット
5 カソード
6 基板ホルダー
7 基板
8 排気口
9 カソード隔壁
10 巻取、繰出軸
11 メインローラ
12 長尺フィルム(基板)
20 ガス導入管
21 ノズルケース
22 ガス噴出口
31 基板隔壁
D 空隙
P 放電空間
Claims (3)
- ターゲットと基板とを対向配置した真空槽内に、不活性ガスまたはこれと反応性ガスを導入しながら、基板上にターゲット構成物質またはこれと反応性ガスとの化合物からなる薄膜をスパッタ製膜するにあたり、基板近傍に配置したマスクと、ターゲット近傍に配置した不活性ガスまたはこれと反応性ガス導入用のガス供給ノズルとの間の空隙を、上記のマスクと上記のガス供給ノズルとの外部形状により設定して、放電空間のコンダクタンスを調整することを特徴とする薄膜形成方法。
- 真空槽内にターゲットと基板とを対向配置し、ターゲット近傍に不活性ガスまたはこれと反応性ガス導入用のガス供給ノズルを配置し、このノズルから不活性ガスまたはこれと反応性ガスを導入しながら、基板上にターゲット構成物質またはこれと反応性ガスとの化合物からなる薄膜をスパッタ製膜する薄膜形成装置において、基板近傍に配置したマスクと上記のガス供給ノズルとの外部形状に基づいた上記のマスクと上記のガス供給ノズルとの間の空隙の設定により、放電空間のコンダクタンスを調整可能な構造にしたことを特徴とする薄膜形成装置。
- ガス供給ノズルは、少なくとも一端を塞いだ管形状で、その管の側面に穿孔した多数の孔からなるガス噴出口を有するガス導入管と、このガス導入管を収納し、かつ少なくとも一方向に開口部を有するノズルケースとから構成されてなり、このケースと基板近傍に配置したマスクの外部形状とにより、上記マスクとガス供給ノズルとの間の空隙を設定して、放電空間のコンダクタンスを調整可能な構造にした請求項2に記載の薄膜形成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002129104A JP4295822B2 (ja) | 2002-04-30 | 2002-04-30 | 薄膜形成方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002129104A JP4295822B2 (ja) | 2002-04-30 | 2002-04-30 | 薄膜形成方法およびその装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003321772A JP2003321772A (ja) | 2003-11-14 |
JP4295822B2 true JP4295822B2 (ja) | 2009-07-15 |
Family
ID=29542644
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002129104A Expired - Fee Related JP4295822B2 (ja) | 2002-04-30 | 2002-04-30 | 薄膜形成方法およびその装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4295822B2 (ja) |
-
2002
- 2002-04-30 JP JP2002129104A patent/JP4295822B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003321772A (ja) | 2003-11-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5622606A (en) | Gas inlet arrangement | |
JP2006511715A (ja) | アノードガス供給装置を備えたマグネトロンスパッタリング装置 | |
JPH09170080A (ja) | 基板を被覆する装置 | |
JP2005048260A (ja) | 反応性スパッタリング方法 | |
JPH0863746A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び装置 | |
JP4295822B2 (ja) | 薄膜形成方法およびその装置 | |
JP2004190082A (ja) | Pvd・cvd両用成膜装置及び当該装置を用いた成膜方法 | |
JPH04224680A (ja) | シートプラズマcvd装置 | |
CN111593311A (zh) | 用于半导体工艺设备中的靶材和半导体工艺设备 | |
JPH05320891A (ja) | スパッタリング装置 | |
JP6008320B2 (ja) | コンビナトリアル成膜装置 | |
JPH02205674A (ja) | マグネトロンスパッタリング装置 | |
JP2009144252A (ja) | 反応性スパッタリング装置及び反応性スパッタリング方法 | |
JP4015879B2 (ja) | スパッタリング方法とその装置 | |
JP3728925B2 (ja) | スパッタリング装置 | |
JP7445071B1 (ja) | マグネトロンスパッタ法による成膜装置および成膜方法 | |
JP2001220668A (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法、並びにそれを用いて製作された薄膜デバイス | |
JPH0310072A (ja) | マグネトロンスパッタリング装置 | |
TWI381429B (zh) | Pecvd製程期間包圍式遮蔽的系統與方法 | |
JPH11350118A (ja) | 成膜装置 | |
JP2984746B2 (ja) | イオンビームスパッタ装置 | |
JPS5943988B2 (ja) | 超微粒子膜の製造方法および製造装置 | |
JPH09111446A (ja) | スパッタリング装置 | |
JPH04211115A (ja) | Rfプラズマcvd装置ならびに該装置による薄膜形成方法 | |
JP2009120868A (ja) | スパッタリング装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040708 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070104 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070814 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071009 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080930 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081117 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090324 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090411 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120417 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4295822 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120417 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150417 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |