JP4293251B2 - 光偏向デバイスの偏向角度測定装置及び偏向角度測定方法 - Google Patents
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Description
図1は本発明の光偏向デバイスの偏向角度測定装置の実施形態を示す斜視図であり、図2はその構成を示すブロック図である。
図1において、1は測定対象となる光偏向デバイス、2はその側方に設置され光偏向デバイス1のミラー部に線状のレーザ光線を発射するレーザ光源である。レーザ光源2は第1ベース板3上に設置されており、測定対象となる光偏向デバイス1は第1ベース板3上にセットされる。図2に示されるように、光偏向デバイス1は電力増幅器4とファンクションジェネレータ5とからなる駆動信号発生部に接続されており、ファンクションジェネレータ5により生成される信号によって、光偏向デバイス1のミラー部が水平面内で駆動されるようになっている。
先ず本発明における測定原理を図3を用いて説明する。
本発明では、光偏向デバイス1をファンクションジェネレータ5によって正弦波駆動させながら、そのミラー部によってレーザ光線を反射させ、反射光が光センサ7を横切る時間をレーザ往復時間計測部13により測定する。図3中の正弦波のグラフは反射光の動きを示し、横軸が時間、縦軸がミラー部の振れ角である。ここでは仮に光センサ7が図示の線で示される位置にあるとする。
本発明の具体的手順は次の通りである。
最初に図1に示すように測定対象となる光偏向デバイス1をセッティングし、レーザ光源2からレーザ光線をミラー部に発射する。前記したように、ミラー部は駆動信号が入力されない初期状態ではレーザ光線に対して45°の角度でセットされるので、反射光は直角方向に向かう。しかしこの状態では、光センサ7の位置を正確にセットする必要はない。この状態では反射光は静止しているので、波形図は図4の通りである。
次に図5に示すように、駆動信号発生部から光偏向デバイス1に駆動信号を入力し,ミラー部を正弦波駆動させる。このとき適宜の振れ角が得られる周波数に駆動信号を調整する。この状態で往復する反射光の検出時間間隔であるT1とT2を測定し、ステッピングモータ9により光センサ7の位置を僅かずつ動かし、図6に示すようにT1=T2となる位置、すなわち往復する反射光の検出時間間隔T1とT2が周期fの1/2となる位置を探し出し、その位置を光センサ7の原点とする。なおここでは光センサ7の原点復帰を目的としているため、光偏向デバイス1の振れ角は小さくても差し支えない。
次に、図8に示すように光偏向デバイス1の駆動信号の電圧を高めて振れ角を大きくするとともに、光センサ7をステッピングモータ9により原点から動かす。駆動信号の電圧を高めるのは、光偏向デバイス1が実際に使用される状態での特性を測定するためであり、原点復帰用の低電圧よりも高い電圧が印加される。これによりミラー部の振れ角が拡大するので、光センサ7をステッピングモータ9により原点から適当な位置まで仮に移動させて、t1、T1、T2を測定し、前記したA=B/sin(2πft1)、t1=(1/4f)−(T1/2)の関係式からその電圧における最大振れ角Aを算出する。
T1=〔2Arcsin(0.7)−π〕/2πf
T2=〔3π−2Arcsin(0.7)〕/2πf
上記の第2ステップにより光センサ7の設置位置を決定したのち、振れ角が最大となるように駆動周波数を制御する。光偏向デバイス1のミラー部の振れ角と駆動周波数fとの間には図12に示す関係があり、共振点付近では駆動周波数fを僅かに変えるだけで振れ角が大きく変化する。本発明では駆動周波数fを変更しながらT1、T2を測定し、振れ角が最大となる駆動周波数fを見極め、最大振れ角を測定する。振れ角が最大となるポイントは、T1とT2の差が最大となる点である。このように、なお最大振れ角もレーザ往復時間計測部13からの時間信号を用いて演算する。
上記のようにして振れ角が最大となる駆動周波数fを決定したが、この段階では光センサ7は第2ステップにより定められた位置にある。そこで、その最大振れ角の70%以上となる位置まで再び光センサ7を移動させる。このように本発明では、最大振れ角の変化に応じて光センサ7を最適位置まで動かしながら測定を行う。
以上の各ステップを実行することによって、光偏向デバイス1の最大振れ角とそのときの駆動周波数fが決定され、しかも光センサ7は最大振れ角の70%以上の位置にセットされた。そこで再度振れ角の測定を行えば、最大振れ角と、駆動周波数に対する振れ角(すなわち周波数応答特性)を0.5%以下の測定誤差で測定することが可能となる。この第5ステップの測定によって、光偏向デバイス1の性能を正確に評価することが可能となる。
2 レーザ光源
3 第1ベース板
4 電力増幅器
5 ファンクションジェネレータ
6 第2ベース板
7 光センサ
8 レール
9 ステッピングモータ
10 リニアエンコーダ
11 送りねじ
12 台車
13 レーザ往復時間計測部
14 演算制御部
Claims (7)
- 光偏向デバイスの偏向角度を光センサにより測定する偏向角度測定装置であって、光偏向デバイスのミラー部にレーザ光線を発射するレーザ光源と、光偏向デバイスを駆動する駆動信号発生部と、光偏向デバイスのミラー部により反射されたレーザ光線を受光する光センサと、この光センサを反射光の振幅方向に移動できる光センサ位置制御部と、光センサのレーザ往復時間計測部と、演算制御部とからなり、光センサ位置制御部が最大振れ角の70%以上の位置に光センサを自動的に移動させる機能を備えたものであることを特徴とする光偏向デバイスの偏向角度測定装置。
- 演算制御部が、光センサのレーザ往復時間計測部からの信号を利用して光センサ位置を原点に復帰させる機能を備えたものであることを特徴とする請求項1記載の光偏向デバイスの偏向角度測定装置。
- 光センサ位置制御部が、反射光の振幅方向に延びるレールと、このレール上で光センサを移動させるステッピングモータと、光センサの位置を出力するリニアエンコーダとを備えたものであることを特徴とする請求項1記載の光偏向デバイスの偏向角度測定装置。
- 請求項1記載の偏向角度測定装置を用いた光偏向デバイスの偏向角度測定方法であって、光偏向デバイスを駆動しながら光センサ位置を変更し、往復する反射光が光センサにより検出される時間間隔が周期の1/2となる原点位置を探し出す第1ステップと、駆動信号の電圧を高めて振れ角を大きくするとともに、最大振れ角の70%以上の位置まで光センサを移動させる第2ステップと、振れ角が最大となるように周波数を制御する第3ステップと、得られた最大振れ角の70%以上の位置まで光センサ位置を移動させる第4ステップと、その位置で再度振れ角の測定を行う第5ステップとからなることを特徴とする光偏向デバイスの偏向角度測定方法。
- 第2ステップ及び第4ステップにおいて、光センサを最大振れ角の70%〜90%の位置に移動させることを特徴とする請求項4記載の光偏向デバイスの偏向角度測定方法。
- 駆動信号発生部に加える電圧を変更し、第3ステップ〜第5ステップを繰り返すことを特徴とする請求項4記載の光偏向デバイスの偏向角度測定方法。
- 最大振れ角を、レーザ往復時間計測部からの時間信号を用いて演算することを特徴とする請求項4記載の光偏向デバイスの偏向角度測定方法。
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