JP4291684B2 - ウェハ取扱装置及びウェハ取扱方法 - Google Patents

Description

本発明は、キャリアケースに収納された複数のウェハを分割して別のキャリアケースに移し替えたり、逆に、別々のキャリアケースに収納されていたウェハを１つのキャリアケースに収納したり、複数のウェハの位置決めを行ったりするなどの、ウェハの取り扱いを行う、ウェハ取扱装置及びウェハ取扱方法に関する。

従来、ウェハ移し替え装置は種々の構造のものが知られている。

例えば、図２１に示すように、多数のウェハ１０１を収納したキャリアケース１０２をウェハ回転位置１２０に位置させて、キャリアケース１０２の底部開口１０２ａ内にウェハ回転駆動機構１２１を挿入して、キャリアケース１０２の溝で隣接するウェハ同士が接触しないように保持した状態ですべてのウェハ１０１をキャリアケース１０２内で回転させて、各ウェハ１０１のＶ字状の係合溝に係合突起を係合させて位置決めさせたのち、キャリアケース１０２を、上記ウェハ回転位置１２０からウェハ取り出し位置１３０まで横方向に移動させる。そして、ウェハ取り出し位置１３０で、キャリアケース１０２の底部開口内にコーム１３０を挿入してキャリアケース１０２内のウェハ１０１を支持し、キャリアケース１０２内からウェハ１０１を上方に取り出して、別のキャリアケース内に移し換えるように構成したものがある。

しかしながら、上記構造のものでは、キャリアケース１０２をウェハ回転位置１２０に位置させてウェハ１０１の回転位置決めを行ったのち、キャリアケース１０２をウェハ取り出し位置１３０まで横方向に移動させる必要があり、ウェハ取り出し位置１３０に隣接してウェハ回転位置１２０を配置する必要があり、横方向に大きなスペースが必要となるといった問題があった。

また、ウェハ１０１をキャリアケース１０２内で回転させるため、キャリアケース１０２に付着していたゴミがウェハ１０１に付着したり、ウェハ１０１がキャリアケース１０２に接触することによりゴミが発生し、発生したゴミがウェハ１０１に付着するといった問題もあった。

従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、横方向に大きなスペースを必要とせず、かつ、キャリアケースによるウェハに対するゴミの発生や付着が防止できるウェハ取扱装置及びウェハ取扱方法を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。

本発明の第１態様によれば、複数枚のウェハを保持可能でかつキャリアケース収納位置でキャリアケースの底部の穴を貫通して昇降可能なウェハ保持部を有して、上記キャリアケース内の上記ウェハを上記ウェハ保持部に保持させて、ウェハ保持位置とウェハ回転位置と上記キャリアケース収納位置との間で搬送可能なウェハ搬送装置と、
上記ウェハ保持位置に配置され、上記ウェハ搬送装置の上記ウェハ保持部により上記キャリアケースから取り出された上記ウェハを上記ウェハ保持位置で一枚置きに保持するウェハ保持部材と、
上記ウェハ回転位置に配置され、上記ウェハ搬送装置の上記ウェハ保持部により保持されて取り出された上記ウェハが通過可能な間隔に一対配置されるとともに、当該間隔内で上記ウェハを、隣接するウェハとは接触しないように位置保持可能でかつ上記間隔内に位置するウェハを回転させるウェハ回転駆動部材と、
上記ウェハ回転位置に配置され、上記ウェハ回転駆動部材で回転させられる上記ウェハの位置決め用溝に係合可能な係合部材とを備えるようにしたことを特徴とするウェハ取扱装置を提供する。

本発明の第２態様によれば、上記ウェハ回転位置と上記キャリアケース収納位置との間で上記ウェハ保持部に保持された上記ウェハを上下方向周りに１８０度回転させて反転させる反転装置をさらに備えるようにした第１の態様に記載のウェハ取扱装置を提供する。

本発明の第３態様によれば、上記ウェハ搬送装置の上記ウェハ保持部に保持された上記ウェハを上記ウェハ保持位置で上記ウェハ保持部材により一枚置きに保持したのち、上記ウェハ保持部材に保持した上記ウェハを上記ウェハ搬送装置により搬送し、上記ウェハ回転位置で、上記ウェハ保持部に残ったウェハを上記ウェハ回転駆動部材により回転させつつ上記係合部材を上記ウェハの位置決め用溝に係合させて、上記ウェハ保持部に残ったすべてのウェハの位置決めを行ったのち、上記ウェハ搬送装置により搬送されて、上記キャリアケース収納位置で上記ウェハ保持部によりキャリアケース内に収納されるようにした第１又は２の態様に記載のウェハ取扱装置を提供する。

本発明の第４態様によれば、上記キャリアケース収納位置で上記キャリアケースから上記ウェハ搬送装置の上記ウェハ保持部に保持された上記ウェハを上記ウェハ保持位置で上記ウェハ保持部材により保持したのち、上記キャリアケース収納位置で上記キャリアケースとは別のキャリアケースから上記ウェハ搬送装置の上記ウェハ保持部によりウェハを保持し、上記ウェハ保持部により保持された上記ウェハを上記ウェハ保持位置まで移動させたのち、上記ウェハ保持部材により保持されていた上記ウェハを上記ウェハ保持部により保持して、上記ウェハ搬送装置により上記キャリアケース収納位置まで搬送して、上記ウェハ保持部に保持された上記ウェハを上記キャリアケース収納位置でキャリアケース内に収納するようにした第１又は２の態様に記載のウェハ取扱装置を提供する。

本発明の第５態様によれば、上記ウェハ回転駆動部材は、上記ウェハ搬送装置の上記ウェハ保持部により保持されて取り出された上記ウェハが通過可能な間隔に一対配置されるとともに、当該間隔内で上記ウェハを、隣接するウェハとは接触しないように位置保持可能で上記ウェハ保持部に保持された上記ウェハの搬送を案内する一対のウェハ案内部材と、上記一対のウェハ案内部材間で案内されている上記ウェハを支持しかつ上記ウェハを一斉に同期して回転させるウェハ回転駆動部材とを備える第１〜４のいずれか１つの態様に記載のウェハ取扱装置を提供する。

本発明の第６態様によれば、上記ウェハ保持位置から順に下向きに上記ウェハ回転位置と上記キャリアケース収納位置とが配置されている第１〜５のいずれか１つの態様に記載のウェハ取扱装置を提供する。

本発明の第７態様によれば、複数枚のウェハを保持可能でかつキャリアケース収納位置でキャリアケースの底部の穴を貫通して昇降可能なウェハ保持部を有するウェハ搬送装置により前記複数枚のウエハを上昇させ、
ウェハ保持位置で、上記ウェハ保持部に保持された上記ウェハを一枚置きにウェハ保持部材で保持させ、
残りのウェハを上記ウェハ保持部で保持しつつ上記ウェハ搬送装置によりウェハ回転位置まで移動させて、隣接するウェハとは接触しないように位置保持しつつ支持して上記ウェハをウェハ回転駆動部材ですべて回転させ、
上記ウェハ回転駆動部材で回転させられる上記ウェハの位置決め用溝に係合部材を係合させて上記ウェハの位置決めを行い、
位置決めされた上記ウェハを上記ウェハ保持部でキャリアケース内に収納するようにしたことを特徴とするウェハ取扱方法を提供する。

本発明の第８態様によれば、上記ウェハ搬送装置の上記ウェハ保持部に保持された上記ウェハを上記ウェハ保持位置で上記ウェハ保持部材により一枚置きに保持したのち、
上記ウェハ保持部材に保持した上記ウェハを上記ウェハ搬送装置により搬送し、
上記ウェハ回転位置で、上記ウェハ保持部に残ったウェハを上記ウェハ回転駆動部材により回転させつつ上記係合部材を上記ウェハの位置決め用溝に係合させて、上記ウェハ保持部に残ったすべてのウェハの位置決めを行ったのち、
上記ウェハ搬送装置により搬送されて、上記キャリアケース収納位置で上記ウェハ保持部によりキャリアケース内に収納されるようにした第７の態様に記載のウェハ取扱方法を提供する。

本発明の第９態様によれば、上記キャリアケース収納位置で上記キャリアケースから上記ウェハ搬送装置の上記ウェハ保持部に保持された上記ウェハを上記ウェハ保持位置で上記ウェハ保持部材により保持したのち、
上記キャリアケース収納位置で上記キャリアケースとは別のキャリアケースから上記ウェハ搬送装置の上記ウェハ保持部によりウェハを保持し、
上記ウェハ保持部により保持された上記ウェハを上記ウェハ保持位置まで移動させたのち、
上記ウェハ保持部材により保持されていた上記ウェハを上記ウェハ保持部により保持して、上記ウェハ搬送装置により上記キャリアケース収納位置まで搬送して、
上記ウェハ保持部に保持された上記ウェハを上記キャリアケース収納位置でキャリアケース内に収納するようにした第７の態様に記載のウェハ取扱方法を提供する。

本発明によれば、キャリアケースをキャリアケース収納位置に位置させたのち、ウェハ搬送装置によりキャリアケース内のウェハを上昇させ、上昇したウェハ、又は、上昇したウェハのうちのウェハ保持部材で保持されなかった一部のウェハをウェハ回転駆動部材により回転させるとともに、係合部材を上記ウェハの位置決め用溝に係合させて位置決めし、その後、ウェハ搬送装置によりキャリアケース内に収納するようにしている。この結果、ウェハの回転と取り出しを同じ位置で行うことができて、横方向に大きなスペースを設ける必要がなく、かつ、キャリアケース内でウェハを回転させるものではないため、キャリアケースに付着していたゴミがウェハに付着したり、ウェハがキャリアケースに接触することによりゴミが発生し、発生したゴミがウェハに付着するといった問題も防止することができる。

以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。

本発明の一実施形態にかかるウェハ取扱装置は、ウェハ取扱方法を実施するための装置であって、図１〜図９に示すように、多数のウェハ１、たとえば、２５枚のウェハ１を収納可能なキャリアケース２に収納されたすべてのウェハ１を上下方向沿いのコーム移動経路沿いにキャリアケース２から取り出し可能なウェハ搬送装置(以下、「コーム」と称する。)３と、コーム移動経路沿いに配置されかつ上記コーム３により取り出されたウェハ１を一枚置きに保持する一対のウェハ保持体４と、上記コーム３のウェハ保持部３ｂにより保持されて取り出された上記ウェハ１が通過可能な間隔に一対配置されるとともに、当該間隔内で上記ウェハ１を、隣接するウェハ１とは接触しないように位置保持可能でかつ上記間隔内に位置するウェハ１を回転させるウェハ回転駆動部材５，７，８と、上記ウェハ１の位置決め用溝としてのＶノッチ１ａに係合可能な係合部材９とを備えている。

上記ウェハ搬送装置３は、図１〜図５に示されるように、所定間隔を保持して隣接ウェハ間での接触を防止した状態で上記多数のウェハ１を保持可能な溝３ａを有するウェハ保持部３ｂと、ウェハ保持部３ｂをコーム移動経路沿いに昇降させるコーム駆動装置とより構成されている。コーム駆動装置は、一例として、ステッピングモータなどのコーム昇降用モータ３ｃと、コーム昇降用モータ３ｃの回転軸に連結されたボールネジ３ｄと、ボールネジ３ｄに螺合したナット部材３ｅと、ナット部材３ｅに連結されたスライド部材３ｆと、スライド部材３ｆの直線的な昇降を案内するＬＭガイド３ｇと、スライド部材３ｆに回転可能に支持されて上端にウェハ保持部３ｂを固定した支持軸３ｈと、スライド部材３ｆに固定されて支持軸３ｈの反転回転を案内する案内筒部材３ｉと、スライド部材３ｆに固定されて支持軸３ｈをウェハ保持部３ｂとともに１８０度回転させるステッピングモータなどの反転用モータ３ｊとより大略構成している。よって、コーム昇降用モータ３ｃの正逆回転により、ボールネジ３ｄが正逆回転し、ナット部材３ｅがスライド部材３ｆとともにＬＭガイド３ｇの案内により直線的に昇降し、スライド部材３ｆに固定された支持軸３ｈにより支持されたウェハ保持部３ｂが昇降して、ウェハ保持部３ｂに保持されたウェハ１が、コーム上端位置（ウェハ保持準備位置として機能する位置）Ａとウェハ保持位置Ｂとウェハ回転位置Ｃとウェハ反転位置Ｄと上記キャリアケース収納位置Ｅとにそれぞれ位置可能として、これらの位置の間でウェハ１の搬送が可能となっている。また、ウェハ回転位置Ｃにおいて反転用モータ３ｊを駆動することにより、案内筒部材３ｉの案内で支持軸３ｈが１８０度回転してウェハ保持部３ｂに保持されたウェハ１の表裏を反転させることができる。

なお、キャリアケース収納位置Ｅでは、ウェハ保持部３ｂがキャリアケース２の底部２ａの穴（図２１のキャリアケース１０２の底部開口１０２ａと同様な穴）を貫通して上昇することにより、ウェハ保持部３ｂにキャリアケース２のウェハ１を保持可能としているとともに、逆に、ウェハ保持部３ｂがキャリアケース２の底部２ａの穴を貫通して下降することにより、ウェハ保持部３ｂに支持されたウェハ１をキャリアケース２内に保持可能としている。

上記一対のウェハ保持体４は、図６〜図９に示されるように、それぞれ、横方向、言い換えれば、ウェハ厚み方向に延在した回転軸４ｃの中間部に、ウェハ１の下部を挿入して支持可能なウェハ保持溝４ａを有する櫛歯付の板状のウェハ保持部４ｂを備えている。一対の回転軸４ｃはそれぞれ回転自在に一対のウェハ取扱装置支持枠２０に支持されている。一対の回転軸４ｃの各一端にはブラケット４ｈの基端が固定され、そのブラケット４ｈの先端には駆動力伝達軸４ｉが回転可能に連結されている。一対の駆動力伝達軸４ｉは、一方のウェハ取扱装置支持枠２０の上部中間部で、図７の実線と二点鎖線とで示されるように、昇降可能に配置された大略横Ｈ字状の駆動体４ｇの両側の溝４ｊ内にそれぞれ移動可能に係合されている。駆動体４ｇは、その中央部においてウェハ保持体駆動装置の一例として機能しかつ一方のウェハ取扱装置支持枠２０に固定されたウェハ保持体駆動用モータ４ｆの駆動軸に歯車機構を介して連結されて昇降可能としている。よって、ウェハ保持体駆動用モータ４ｆの正逆回転駆動により、歯車機構を介して駆動体４ｇが昇降する。すると、一対の駆動力伝達軸４ｉが回転軸４ｃの軸芯周りに回動して駆動体４ｇの両側の溝４ｊ内にそれぞれ移動可能に係合された一対の駆動力伝達軸４ｉが溝４ｊ内で移動しつつ同期して昇降され、一対の駆動力伝達軸４ｉにそれぞれ連結された一対のブラケット４ｈが互いに反対方向に一対の回転軸４ｃの軸心回りに所定角度正逆回動して、一対の回転軸４ｃを同期して正逆回転させる。この結果、一対の回転軸４ｃに固定されたウェハ保持部４ｂが、それぞれ、横方向沿いのウェハ支持可能位置（図９の実線位置）と、上下方向沿いの退避位置（図９の二点鎖線位置）とに位置する。ウェハ支持可能位置では、それぞれのウェハ保持部４ｂのそれぞれのウェハ保持溝４ａ内にウェハ１を保持可能とする一方、退避位置では、コーム３がコーム移動経路沿いに移動されてもウェハ１にウェハ保持部４ｂが接触しないようになっている。なお、４ｅは回転軸４ｃに固定されたウェハ保持部位置検出板、４ｄはウェハ保持部位置検出板４ｅの切欠などを検出して、ウェハ保持部４ｂがウェハ支持可能位置と退避位置のいずれかに位置しているかを検出する光センサなどのウェハ保持部位置検出装置である。

上記ウェハ回転駆動部材５，７，８は、一対のウェハ案内部材５と、１つのウェハ回転駆動部材７と、１つのアイドラ８とより構成されている。

一対のウェハ案内部材５は、図６〜図９に示されるように、コーム移動経路沿いのウェハ回転位置Ｃにウェハ１が位置したときにウェハ１の中間部の大略両側に位置するように一対のウェハ取扱装置支持枠２０に回転自在に配置され、かつ、コーム３に支持されたウェハ１を通過可能に案内しかつ隣接するウェハ１間での接触を防止するウェハ案内用溝５ａ付きのガイドローラ５ｂより構成されている。詳しくは、円柱状ガイドローラ５ｂの外周面に、ウェハ１を挿入可能なウェハ案内用溝５ａを有し、円柱状ガイドローラ５ｂが固定された回転軸５ｃが一対のウェハ取扱装置支持枠２０に対して回転自在に支持されている。

アイドラ８は、図６〜図９に示されるように、一対のウェハ取扱装置支持枠２０に対して回転自在に支持された駆動軸６に上端が固定されて駆動軸６と一体的に回動可能な一対の回転駆動用ブラケット１３のそれぞれの下端に回転自在に支持されているとともに、ウェハ回転駆動部材７は、一対の回転駆動用ブラケット１３のそれぞれの中間部に回転自在に支持されている。

アイドラ８は、円柱状ガイドローラ８ｂの外周面にウェハ案内用溝８ａを有し、円柱状ガイドローラ８ｂが固定された回転軸８ｃが一対の回転駆動用ブラケット１３に対して回転自在に支持されている。

ウェハ回転駆動部材７は、図６〜図９に示されるように、円柱状駆動ローラ７ｂが固定された回転軸７ｃが一対の回転駆動用ブラケット１３に対して回転自在に支持されているとともに、回転軸７ｃの一方端側が延在して、一方のウェハ取扱装置支持枠２０の湾曲した案内溝２０ａに対して回転自在かつ移動可能に挿入されているとともに、回転軸７ｃのその一端がウェハ回転駆動部材回転用駆動装置の一例として機能し、かつ検出板用ブラケット６ｇとモータプレート７ｈとを接合する取付けバー６ｈによって固定されたウェハ回転駆動部材回転用駆動モータ７ｆに連結されている。よって、ウェハ回転駆動部材回転用駆動モータ７ｆの正逆回転により、回転軸７ｃがその軸芯回りに正逆回動されて、円柱状駆動ローラ７ｂが正逆回転して、円柱状駆動ローラ７ｂに接触する多数のウェハ１が一斉に同期して正逆回転駆動されるようになっている。

一対の回転駆動用ブラケット１３のそれぞれの上端である基端が固定された駆動軸６は、上記したように、一対のウェハ取扱装置支持枠２０に対して回転自在に支持され、一方のウェハ取扱装置支持枠２０に固定され、かつ、回転駆動用ブラケット回動駆動装置の一例として機能する回転駆動用ブラケット回動駆動モータ６ｆに連結されて、回転駆動用ブラケット回動駆動モータ６ｆの正逆回転により、駆動軸６がその軸芯回りに正逆回動されて、一対の回転駆動用ブラケット１３を介して、ウェハ回転駆動部材７とアイドラ８とをウェハ１に接触可能なウェハ接触可能位置と退避位置との間で回動可能としている。このとき、回転軸７ｃが一対のウェハ取扱装置支持枠２０の湾曲した案内溝２０ａ内を摺動するようになっている。ウェハ接触可能位置では、ウェハ回転駆動部材７とアイドラ８とがウェハ１に接触可能とする一方、退避位置では、コーム３がコーム移動経路沿いに移動されてもウェハ１にウェハ回転駆動部材７とアイドラ８とが接触しないようになっている。

なお、６ｇは駆動軸６に基端が固定されかつ中間部に回転軸７ｃが回転自在に嵌合された検出板用ブラケット、７ｅは検出板用ブラケット６ｇの先端に固定された検出板、７ｄは検出板７ｅの切欠などを検出して、ウェハ回転駆動部材７とアイドラ８とがウェハ接触可能位置と退避位置のいずれかに位置しているかを検出する光センサなどの位置検出装置である。

ウェハ回転角度調整駆動部材１１は、円柱状回転駆動ローラ１１ｂが固定された回転軸１１ｃが一対の角度調整用ブラケット１１ｈに対して回転自在に支持されているとともに、回転軸１１ｃの一方端側が延在して、一方のウェハ取扱装置支持枠２０の湾曲した案内溝２０ｂに対して回転自在に移動可能に支持されているとともに、回転軸１１ｃのその一端がウェハ回転角度調整駆動部材用駆動装置の一例として機能しかつ一方のウェハ取扱装置支持枠２０に固定されたステッピングモータなどのウェハ回転角度調整駆動部材用駆動モータ１１ｆに連結されている。よって、ウェハ回転角度調整駆動部材用駆動モータ１１ｆの正逆回転により、回転軸１１ｃがその軸芯回りに正逆回動されて、円柱状駆動ローラ１１ｂが正逆回転して、円柱状駆動ローラ１１ｂに接触する多数のウェハ１が一斉に同期して正逆回転駆動されるようになっている。

一対の角度調整用ブラケット１１ｈのそれぞれの上端である基端が固定された駆動軸１０は、上記したように、一対のウェハ取扱装置支持枠２０に対して回転自在に支持され、一方のウェハ取扱装置支持枠２０に固定され、かつ、角度調整用ブラケット回動駆動装置の一例として機能する角度調整用ブラケット回動駆動モータ１０ｆに連結されて、角度調整用ブラケット回動駆動モータ１０ｆの正逆回転により、駆動軸１０がその軸芯回りに正逆回動されて、一対の角度調整用ブラケット１１ｈを介して、ウェハ回転角度調整駆動部材１１をウェハ１に接触可能なウェハ接触可能位置と退避位置との間で回動可能としている。このとき、回転軸１１ｃが一対のウェハ取扱装置支持枠２０の湾曲した案内溝２０ｂ内を摺動するようになっている。ウェハ接触可能位置では、ウェハ回転角度調整駆動部材１１がウェハ１に接触可能とする一方、退避位置では、コーム３がコーム移動経路沿いに移動されてもウェハ１にウェハ回転角度調整駆動部材１１が接触しないようになっている。

なお、１４は駆動軸１０に基端が固定されかつ中間部に回転軸１１ｃが回転自在に嵌合された検出板用ブラケット、１１ｅは検出板用ブラケット１４の先端に固定された検出板、１１ｄは検出板１１ｅの切欠などを検出して、ウェハ回転角度調整駆動部材１１がウェハ接触可能位置と退避位置のいずれかに位置しているかを検出する光センサなどの位置検出装置である。

係合部材９は、細い円柱状係合軸９ｃが一対の係合用ブラケット９ｈに対して回転自在に支持されているとともに、一対の係合用ブラケット９ｈの基端が固定された回転軸１２が一対のウェハ取扱装置支持枠２０に対して回転自在に支持され、回転軸１２の一方端側が延在して、係合部材用駆動装置の一例として機能しかつ一方のウェハ取扱装置支持枠２０に固定された係合部材用駆動モータ１２ｆに連結されて、構成されている。よって、係合部材用駆動モータ１２ｆの正逆回転により、回転軸１２がその軸芯回りに正逆回動されて、一対の係合用ブラケット９ｈがウェハ接触可能位置と退避位置との間で回動するようになっている。ウェハ接触可能位置では、係合軸９ｃがウェハ１に接触可能としてウェハ１の位置決め用溝としてのＶノッチ１ａに係合可能とする一方、退避位置では、コーム３がコーム移動経路沿いに移動されてもウェハ１に係合軸９ｃが接触しないようになっている。

なお、コーム３が、コーム上端位置Ａとウェハ保持位置Ｂとウェハ回転位置Ｃとウェハ反転位置Ｄと上記キャリアケース収納位置Ｅにそれぞれ位置するとき、図示しないセンサにより、それぞれの位置を検出するようにして、図示しないセンサからの検出信号が制御装置に入力されるようにしている。この制御装置は、上記したすべてのモータなどの駆動装置を駆動制御するものである。

上記構成によれば、以下の様々な動作（１）〜（４）を行うことができる。

（１）一方向に表面が並んだ状態（通常状態）のウェハ１を、隣接するウェハ１の表面同士が互いに対向するフェイス・ツー・フェイス状態のウェハ１としてキャリアケース２内に収納する動作について説明する。

まず、ステップＳ１では、ウェハ１が収納保持されたキャリアケース２をキャリアケース収納位置Ｅにセットする。

次いで、ステップＳ２では、コーム昇降用モータ３ｃの駆動により、コーム３のウェハ保持部３ｂで、キャリアケース２内からウェハ１のみを支持して、一対のウェハ保持体４の一対のウェハ保持部４ｂ間を通過して一対のウェハ保持部４ｂよりも上方のコーム上端位置Ａまで上昇させる（図１０及び図１１参照）。このとき、図１０及び図１１に示されるように、一対のウェハ保持部４ｂと、ウェハ回転駆動部材７とアイドラ８と、ウェハ回転角度調整駆動部材１１と、係合部材９とが、上昇するウェハ１に接触しないように退避位置にそれぞれ位置している。キャリアケース２はキャリアケース収納位置Ｅに残される。

次いで、ステップＳ３では、ウェハ保持体駆動用モータ４ｆを駆動して一対のウェハ保持部４ｂをウェハ接触可能位置にそれぞれ位置させたのち、コーム３のウェハ保持部３ｂをコーム昇降用モータ３ｃの駆動により、ウェハ保持位置Ｂ及びウェハ回転位置Ｃを通過して、さらに下方のウェハ反転位置Ｄまで下降させる。このとき、１つ置きのウェハ（例えば、端から奇数枚目のウェハ。以下、奇数枚目のウェハ」と称する。）、すなわち、１，３，５，…枚目のウェハ１が一対のウェハ保持部４ｂにより支持され、残りの１つ置きのウェハ（例えば、端から偶数枚目のウェハ。以下、「偶数枚目のウェハ」と称する。）、すなわち、２，４，６，…枚目のウェハ１はコーム３のウェハ保持部３ｂとともに、さらに下方のウェハ反転位置Ｄまで下降する。このとき、一対のウェハ保持部４ｂにより支持されているウェハ１のうち隣接するウェハ１同士は、一対のウェハ案内部材５により、互いに接触しないように一定間隔で案内保持されている。

次いで、ステップＳ４では、反転用モータ３ｊの駆動により、ウェハ反転位置Ｄで偶数枚目のウェハ１を支持したコーム３のウェハ保持部３ｂを１８０度回転させる。

次いで、ステップＳ５では、コーム昇降用モータ３ｃの駆動により、コーム３のウェハ保持部３ｂをウェハ反転位置Ｄからウェハ保持位置Ｂまで上昇させて、１８０度回転させられて反転した、偶数枚目のウェハ１をウェハ保持位置Ｂ近傍まで持ち上げたとき、ウェハ保持体駆動用モータ４ｆの駆動により一対のウェハ保持部４ｂをウェハ接触可能位置から退避位置までそれぞれ回動させて、一対のウェハ保持部４ｂに支持されていた奇数枚目のウェハ１を、コーム３でのウェハ保持部３ｂに支持させる。この結果、コーム３のウェハ保持部３ｂに支持されていた偶数枚目のウェハ１の隙間に、一対のウェハ保持部４ｂに支持されていた奇数枚目のウェハ１がそれぞれ入り込み、かつ、偶数枚目のウェハ１の表面と奇数枚目のウェハ１の表面とが互いに対向するようになる。これで、いわゆる、フェイス・ツー・フェイス状態となる。

次いで、ステップＳ６では、フェイス・ツー・フェイス状態のウェハ１を支持するコーム３のウェハ保持部３ｂをキャリアケース収納位置Ｅまで、コーム昇降用モータ３ｃの駆動により下降させて、フェイス・ツー・フェイス状態のウェハ１をキャリアケース２内に収納する。この後は、フェイス・ツー・フェイス状態のウェハ１が収納されたキャリアケース２を所定の工程まで搬送して所定の処理が行われる。

なお、フェイス・ツー・フェイス状態のウェハ１により上記動作を行えば、フェイス・ツー・フェイス状態のウェハ１を元の通常状態のウェハ１に戻すことができる。

（２）次に、２５枚のウェハ１が、１３枚のウェハ１と１２枚のウェハ１とに分割されてそれぞれ別々のキャリアケース２内に収納する動作について説明する。

まず、ステップＳ１１では、２５枚のウェハ１が収納保持されたキャリアケース２をキャリアケース収納位置Ｅにセットする。

次いで、ステップＳ１２では、コーム３のウェハ保持部３ｂで、キャリアケース２内から２５枚のウェハ１のすべてを支持して、コーム昇降用モータ３ｃの駆動により、キャリアケース収納位置Ｅから一対のウェハ保持部４ｂ間を通過して一対のウェハ保持部４ｂよりも上方のコーム上端位置Ａまで上昇させる（図１０及び図１１参照）。このとき、図１０及び図１１に示されるように、一対のウェハ保持部４ｂと、ウェハ回転駆動部材７とアイドラ８と、ウェハ回転角度調整駆動部材１１と、係合部材９とが、上昇するウェハ１に接触しないように退避位置にそれぞれ位置している。また、一対のウェハ保持部４ｂにより支持されているウェハ１のうち隣接するウェハ１同士は、一対のウェハ案内部材５により、互いに接触しないように一定間隔で案内保持されている。キャリアケース２はキャリアケース収納位置Ｅに残される。

次いで、ステップＳ１３では、ウェハ保持体駆動用モータ４ｆを駆動して一対のウェハ保持部４ｂをウェハ接触可能位置にそれぞれ位置させたのち、コーム３のウェハ保持部３ｂをコーム昇降用モータ３ｃの駆動により、キャリアケース収納位置Ｅまで下降させる。このとき、１つ置きのウェハ（例えば、端から奇数枚目のウェハ。以下、奇数枚目のウェハ」と称する。）、すなわち、１，３，５，…，２３，２５枚目のウェハ（合計１３枚のウェハ）１が一対のウェハ保持部４ｂにより支持され、残りの１つ置きのウェハ（例えば、端から偶数枚目のウェハ。以下、「偶数枚目のウェハ」と称する。）、すなわち、２，４，６，…，２２，２４枚目のウェハ（合計１２枚のウェハ）１３のウェハ保持部３ｂとともにキャリアケース収納位置Ｅまで下降して、キャリアケース２内に再び収納される。

次いで、ステップＳ１４では、偶数枚目のウェハ１が収納されたキャリアケース２をキャリアケース収納位置Ｅから搬出して、新たな空のキャリアケース２をキャリアケース収納位置Ｅにセットする。

次いで、ステップＳ１５では、コーム昇降用モータ３ｃの駆動により、コーム３のウェハ保持部３ｂをキャリアケース収納位置Ｅから上昇させて一対のウェハ保持部４ｂ近傍まで持ち上げるとともに、ウェハ保持位置Ｂ近傍まで持ち上げたとき、ウェハ保持体駆動用モータ４ｆの駆動により一対のウェハ保持部４ｂをウェハ接触可能位置から退避位置までそれぞれ回動させて、一対のウェハ保持部４ｂに支持されていた奇数枚目のウェハ１を、コーム３でのウェハ保持部３ｂに支持させる。

次いで、ステップＳ１６では、コーム昇降用モータ３ｃの駆動により、奇数枚目のウェハ１をコーム３のウェハ保持部３ｂでキャリアケース収納位置Ｅまで下降させて、当該ウェハ１をキャリアケース２内に収納する。

この結果、２５枚のウェハ１が、１３枚のウェハ１と１２枚のウェハ１とに分割されてそれぞれ別々のキャリアケース２内に収納することができる。

（３）次に、１３枚のウェハ１と１２枚のウェハ１とに分割されてそれぞれ別々のキャリアケース２内に収納されていたウェハ１を合わせて１つのキャリアケース２内に収納する動作について説明する。

まず、ステップＳ２１では、１３枚のウェハ１が収納保持されたキャリアケース２をキャリアケース収納位置Ｅにセットする。

次いで、ステップＳ２２では、コーム３のウェハ保持部３ｂで、キャリアケース２内から１３枚のウェハ１を支持して、コーム昇降用モータ３ｃの駆動により、キャリアケース収納位置Ｅから一対のウェハ保持部４ｂ間を通過して一対のウェハ保持部４ｂよりも上方のコーム上端位置Ａまで上昇させる（図１０及び図１１参照）。このとき、図１０及び図１１に示されるように、一対のウェハ保持部４ｂと、ウェハ回転駆動部材７とアイドラ８と、ウェハ回転角度調整駆動部材１１と、係合部材９とが、上昇するウェハ１に接触しないように退避位置にそれぞれ位置している。キャリアケース２はキャリアケース収納位置Ｅに残される。

次いで、ステップＳ２３では、ウェハ保持体駆動用モータ４ｆを駆動して一対のウェハ保持部４ｂをウェハ接触可能位置にそれぞれ位置させたのち、コーム３のウェハ保持部３ｂをコーム昇降用モータ３ｃの駆動により、コーム３のウェハ保持部３ｂをキャリアケース収納位置Ｅまで下降させる。このとき、一対のウェハ保持部４ｂにより、１３枚のウェハ、言い換えれば、奇数枚目のウェハ１がすべて支持され、空のコーム３のウェハ保持部３ｂがキャリアケース収納位置Ｅまで下降する。このとき、一対のウェハ保持部４ｂにより支持されているウェハ１のうち隣接するウェハ１同士は、一対のウェハ案内部材５により、互いに接触しないように一定間隔で案内保持されている。

次いで、ステップＳ２４では、空のキャリアケース２をキャリアケース収納位置Ｅから搬出して、１２枚のウェハ１が収納された新たなキャリアケース２をキャリアケース収納位置Ｅにセットする。

次いで、ステップＳ２５では、コーム３のウェハ保持部３ｂで、キャリアケース２内から１２枚のウェハ１のすべてを支持して、コーム昇降用モータ３ｃの駆動により、キャリアケース収納位置Ｅから上昇させて一対のウェハ保持部４ｂ近傍まで持ち上げるとともに、ウェハ保持位置Ｂ近傍まで持ち上げたとき、ウェハ保持体駆動用モータ４ｆの駆動により一対のウェハ保持部４ｂをウェハ接触可能位置から退避位置までそれぞれ回動させて、一対のウェハ保持部４ｂに支持されていた１３枚のウェハ、言い換えれば、奇数枚目のウェハ１を、コーム３のウェハ保持部３ｂに支持させる。すなわち、一対のウェハ保持部４ｂに支持されていた、奇数枚目のウェハ１を、コーム３のウェハ保持部３ｂに支持されていた１２枚のウェハ、言い換えれば、偶数枚目のウェハ１の隙間にそれぞれ入り込ませて、コーム３のウェハ保持部３ｂで支持する。この結果、コーム３のウェハ保持部３ｂには２５枚のウェハ１が支持されることになる。

次いで、ステップＳ２６では、コーム昇降用モータ３ｃの駆動により、２５枚のウェハ１をコーム３のウェハ保持部３ｂでキャリアケース収納位置Ｅまで下降させて、当該ウェハ１をキャリアケース２内に収納する。

この結果、１３枚のウェハ１と１２枚のウェハ１とに分割されてそれぞれ別々のキャリアケース２内に収納されていたウェハ１を合わせて１つのキャリアケース２内に収納することができる。

（４）すべてのウェハ１のＶノッチ１ａを合わせる動作について説明する。

まず、ステップＳ３１では、所定枚数のウェハ１が収納保持されたキャリアケース２をキャリアケース収納位置Ｅにセットする。

次いで、ステップＳ３２では、コーム３のウェハ保持部３ｂで、キャリアケース２内から２５枚のウェハ１のすべてを支持して、コーム昇降用モータ３ｃの駆動により、キャリアケース収納位置Ｅから一対のウェハ保持部４ｂ間を通過して一対のウェハ保持部４ｂよりも上方のコーム上端位置Ａまで上昇させる（図１０及び図１１参照）。このとき、図１０及び図１１に示されるように、一対のウェハ保持部４ｂと、ウェハ回転駆動部材７とアイドラ８と、ウェハ回転角度調整駆動部材１１と、係合部材９とが、上昇するウェハ１に接触しないように退避位置にそれぞれ位置している。キャリアケース２はキャリアケース収納位置Ｅに残される。

次いで、ステップＳ３３では、図１２及び図１３に示されるように、一対のウェハ保持部４ｂは退避位置に位置したままで、回転駆動用ブラケット回動駆動モータ６ｆを駆動して一対の回転駆動用ブラケット１３を介してウェハ回転駆動部材７の円柱状駆動ローラ７ｂとアイドラ８の円柱状ガイドローラ８ｂとをウェハ１に接触可能なウェハ接触可能位置に位置させ、角度調整用ブラケット回動駆動モータ１０ｆを駆動して一対の角度調整用ブラケット１１ｈを介してウェハ回転角度調整駆動部材１１の円柱状回転駆動ローラ１１ｂをウェハ１に接触可能なウェハ接触可能位置に位置させるとともに、係合部材用駆動モータ１２ｆを駆動して一対の係合用ブラケット９ｈを介して係合部材９の係合軸９ｃをウェハ１に接触可能なウェハ接触可能位置に位置させる。

次いで、ステップＳ３４では、コーム昇降用モータ３ｃの駆動により、コーム３のウェハ保持部３ｂをウェハ保持位置Ｂを通過してウェハ回転位置Ｃまで下降させて、ウェハ保持部３ｂに支持されたウェハ１を、ウェハ回転駆動部材７の円柱状駆動ローラ７ｂとアイドラ８の円柱状ガイドローラ８ｂとウェハ回転角度調整駆動部材１１の円柱状回転駆動ローラ１１ｂとで支持させたのち、コーム昇降用モータ３ｃの駆動によりコーム３のウェハ保持部３ｂをさらに下方まで下降させて、ウェハ１をウェハ保持部３ｂから取り出す。このとき、一対のウェハ保持部４ｂにより支持されているウェハ１のうち隣接するウェハ１同士は、一対のウェハ案内部材５により、互いに接触しないように一定間隔で案内保持されている。コーム３のウェハ保持部３ｂは、ウェハ回転位置Ｃの下方の任意の位置で待機すればよく、ウェハ反転位置Ｄやキャリアケース収納位置Ｅまで下降してもよい。

次いで、ステップＳ３５では、ウェハ回転駆動部材７の円柱状駆動ローラ７ｂがウェハ回転駆動部材回転用駆動モータ７ｆにより回転駆動されて、ウェハ回転駆動部材７の円柱状駆動ローラ７ｂとアイドラ８の円柱状ガイドローラ８ｂとウェハ回転角度調整駆動部材１１の円柱状回転駆動ローラ１１ｂとで支持されたすべてのウェハ１が一斉に同一方向に回転を開始し、それぞれのウェハ１のＶノッチ１ａが係合軸９ｃに係合すると、当該係合したウェハ１は回転が停止される。このようにして、すべてのウェハ１のＶノッチ１ａが係合軸９ｃに係合して回転を停止するまで、円柱状駆動ローラ７ｂがウェハ回転駆動部材回転用駆動モータ７ｆにより回転駆動され、係合していないウェハ１は係合するまで回転し続ける。

次いで、ステップＳ３６では、角度調整用ブラケット回動駆動モータ１０ｆをさらに駆動して一対の角度調整用ブラケット１１ｈを介してウェハ回転角度調整駆動部材１１の円柱状回転駆動ローラ１１ｂをさらにウェハ１に押し付けることにより、それぞれのウェハ１のノッチ１ａに係合した係合軸９ｃをノッチ１ａから抜け出させるように、図１２及び図１３の左上向きにすべてのウェハ１を移動させる。

次いで、ステップＳ３７では、ウェハ回転角度調整駆動部材１１の円柱状回転駆動ローラ１１ｂをウェハ回転角度調整駆動部材用駆動モータ１１ｆにより回転させて、ノッチ１ａの位置が揃ったウェハ１を所定角度だけ一斉に回転させて、Ｖノッチ１ａが揃ったすべてのウェハ１を所定角度まで回転させたのち、円柱状回転駆動ローラ１１ｂの回転を停止させる。

次いで、ステップＳ３８では、コーム３のウェハ保持部３ｂを待機していた位置から上昇させてウェハ回転位置Ｃに位置させたのち、回転駆動用ブラケット回動駆動モータ６ｆを駆動して一対の回転駆動用ブラケット１３を介してウェハ回転駆動部材７の円柱状駆動ローラ７ｂとアイドラ８の円柱状ガイドローラ８ｂとをウェハ１から離れる退避位置に位置させ、角度調整用ブラケット回動駆動モータ１０ｆを駆動して一対の角度調整用ブラケット１１ｈを介してウェハ回転角度調整駆動部材１１の円柱状回転駆動ローラ１１ｂをウェハ１から離れる退避位置に位置させるとともに、係合部材用駆動モータ１２ｆを駆動して一対の係合用ブラケット９ｈを介して係合部材９の係合軸９ｃをウェハ１から離れる退避位置に位置させる。この結果、ノッチ１ａの位置が揃ったウェハ１がコーム３のウェハ保持部３ｂに支持される。

次いで、ステップＳ３９では、コーム昇降用モータ３ｃの駆動により、すべてのウェハ１を支持したコーム３のウェハ保持部３ｂをキャリアケース収納位置Ｅまで下降させて、Ｖノッチ１ａが揃いかつ所定の角度まで回転させられたすべてのウェハ１をキャリアケース２内に収納する。

この結果、すべてのウェハ１が、Ｖノッチ１ａが揃いかつ所定の角度まで回転させられた状態でキャリアケース２内に収納されることになる。

このＶノッチ１ａを合わせる動作及び所定角度回転動作は、先に述べた（１）〜（３）の動作中、コーム３のウェハ保持部３ｂで支持されたウェハ１がウェハ回転位置Ｃを通過するとき、ステップＳ３２以降の動作を行うことにより、（１）〜（３）の動作と適宜組み合わせて行うことができる。例えば、（１）の動作では、フェイス・ツー・フェイス状態のウェハ１についてＶノッチ１ａを合わせる動作及び所定角度回転動作を行うことができる。また、（２）の動作では、２５枚のウェハ１、又は、１３枚のウェハ１と１２枚のウェハ１のそれぞれ若しくはいずれか一方についてＶノッチ１ａを合わせる動作及び所定角度回転動作を行うことができる。また、（３）の動作では、１３枚のウェハ１、１２枚のウェハ１、又は２５枚のウェハ１のそれぞれ又はいずれか一方についてＶノッチ１ａを合わせる動作及び所定角度回転動作を行うことができる。

また、上記ウェハ保持部３ｂによりウェハ１を保持していないとき、上記ウェハ保持部３ｂを上記キャリアケース収納位置Ｅまで戻すことにより、キャリアケースを別のキャリアケースに置き換えることも可能である。

さらに、上記ウェハ保持部３ｂの下端位置も上記キャリアケース収納位置Ｅに限らず、さらに、上記キャリアケース収納位置Ｅの下方の位置であって、上記キャリアケース内にウェハ保持部３ｂが入り込んでいない位置まで下降可能としてもよい。

上記実施形態によれば、キャリアケース２をキャリアケース収納位置Ｅに位置させたのち、ウェハ搬送装置であるコーム３のウェハ保持部３ｂによりキャリアケース２内のウェハ１を上昇させ、上昇したウェハ１、又は、上昇したウェハ１のうちのウェハ保持部材４で保持されなかった一部のウェハ１をウェハ回転駆動部材５，７，８により回転させるとともに、係合部材９を上記ウェハ１の位置決め用溝１ａに係合させて位置決めし、その後、ウェハ搬送装置であるコーム３のウェハ保持部３ｂによりキャリアケース２内に収納するようにしている。この結果、ウェハの回転と取り出しを同じ位置で行うことができて、横方向に大きなスペースを設ける必要がなく、かつ、キャリアケース２内でウェハ１を回転させるものではないため、キャリアケースに付着していたゴミがウェハに付着したり、ウェハがキャリアケースに接触することによりゴミが発生し、発生したゴミがウェハに付着するといった問題も防止することができる。

特に、従来は、ウェハを回転させるとき、隣接するウェハ同士が接触しないようにするため、キャリアケースの溝内にウェハを挿入した状態でウェハを回転させて、各ウェハのＶノッチに係合突起を係合させて位置決めさせていたため、ウェハがキャリアケースに接触することによりゴミが発生し、発生したゴミがウェハに付着するといった問題が生じていた。これに対して、上記実施形態では、キャリアケース外で、かつ、ウェハ回転駆動部材５，７，８、具体的には、一対のウェハ案内部材５により、ウェハ１の最大径の部分に相当するウェハ１の中間部の大略両側でウェハ１を支持しながらウェハ１を回転させるため、回転中のウェハ１がキャリアケース２に接触することが全く無く、接触によりゴミが発生し、発生したゴミがウェハに付着することも確実に防止できる。

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。

例えば、一対のウェハ保持部４ｂで奇数枚目のウェハ１を保持する代わりに、偶数枚目のウェハ１を保持するようにしてもよい。

また、図１４〜図１７に示されるように、一対のウェハ保持部４ｂは、ウェハ回転駆動部材５，７，８の上方ではなく、ウェハ回転駆動部材５，７，８の下方に配置するようにしてもよい。すなわち、ウェハ回転位置Ｃの下方にウェハ保持位置Ｂを配置し、ウェハ保持位置Ｂに上記と同様に一対のウェハ保持部４ｂをウェハ接触可能位置と退避位置との間で回動可能としている。このようにすれば、例えば、２５枚のウェハ１をウェハ回転位置Ｃでノッチ１ａの合わせ動作及び所定角度回転動作を行わせたのち、１３枚のウェハ１を一対のウェハ保持部４ｂで保持させたのち（図１６及び図１７参照）、１２枚のウェハ１をコーム３のウェハ保持部３ｂでコーム昇降用モータ３ｃの駆動により下降させてキャリアケース２内に収納させ、その後、別のキャリアケース２に対して、一対のウェハ保持部４ｂで保持された１３枚のウェハ１を収納するといった動作や、１３枚のウェハ１を一対のウェハ保持部４ｂで保持させたのち（図１６及び図１７参照）、別のキャリアケース２の１２枚のウェハ１をコーム３のウェハ保持部３ｂでコーム昇降用モータ３ｃの駆動により上昇させて合体させて、合計２５枚のウェハ１をウェハ回転位置Ｃでノッチ１ａの合わせ動作及び所定角度回転動作を行わせたのち、コーム昇降用モータ３ｃの駆動により下降させてキャリアケース２内に収納させるといった動作を行わせることができる。

また、図１８〜図２０に示されるように、一対のウェハ案内部材５のうちの一方のウェハ案内部材５とウェハ回転駆動部材７とを兼用させるようにしてもよい。すなわち、一方のウェハ案内部材５をウェハ回転駆動部材５Ｄとして、図１８〜図１９に示されるように、コーム移動経路沿いのウェハ回転位置Ｃにウェハ１が位置したときにウェハ１の中間部の大略側部に位置するように他方のウェハ案内部材５と対向させて、ウェハ１に接触可能にかつ一対のウェハ取扱装置支持枠２０に回転自在に配置されている。具体的には、ウェハ回転駆動部材５Ｄは、コーム３に支持されたウェハ１を通過可能に案内しかつ隣接するウェハ１間での接触を防止するためにウェハ１を挿入可能なウェハ案内用溝５ａを円柱状駆動ローラ５ｂの外周面に有し、円柱状駆動ローラ５ｂが固定された回転軸５ｃが一対のウェハ取扱装置支持枠２０に対して回転自在に支持されている。さらに、回転軸５ｃの一方端側が延在して、回転軸５ｃのその一端がウェハ回転駆動部材回転用駆動装置の一例として機能しかつ一方のウェハ取扱装置支持枠２０に固定されたウェハ回転駆動部材回転用駆動モータ５ｆに連結されている。よって、ウェハ回転駆動部材回転用駆動モータ５ｆの正逆回転により、回転軸５ｃがその軸芯回りに正逆回動されて、円柱状駆動ローラ５ｂが正逆回転して、円柱状駆動ローラ５ｂに接触する多数のウェハ１が一斉に同期して正逆回転駆動されるようになっている。

また、Ｂ軸は、回転自在なアイドラに限定されず、回転せずにウェハを案内するようにしてもよい。

なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。

本発明の一実施形態にかかるウェハ取扱装置の全体の外観正面図である。 上記実施形態にかかるウェハ取扱装置の全体の外観側面図である。 上記実施形態にかかるウェハ取扱装置の全体の外観背面図である。 上記実施形態にかかるウェハ取扱装置の全体の外観上面図である。 上記実施形態にかかるウェハ取扱装置の横断面図である。 上記実施形態にかかるウェハ取扱装置のウェハ回転及び保持動作を行う装置での概略正面図である。 上記実施形態にかかるウェハ取扱装置のウェハ回転及び保持動作を行う装置での詳細な背面図である。 上記実施形態にかかるウェハ取扱装置のウェハ回転及び保持動作を行う装置での一部断面側面図である。 上記実施形態にかかるウェハ取扱装置のウェハ回転及び保持動作を行う装置での一部断面側面図である。 本発明の上記実施形態にかかるウェハ取扱装置のウェハ回転及び保持動作を行う装置でのウェハ回転位置とその他の位置との間でウェハを搬送するときの状態を示す正面図である。 図１０の状態での一部断面図である。 本発明の上記実施形態にかかるウェハ取扱装置のウェハ回転及び保持動作を行う装置でのウェハ保持位置でウェハを保持するときの状態（二点鎖線の状態）及びウェハ回転位置でウェハを回転するときの状態（実線の状態）を示す正面図である。 図１２の状態での一部断面図である。 本発明の上記実施形態の変形例にかかるウェハ取扱装置のウェハ回転及び保持動作を行う装置でのウェハ回転位置とその他の位置との間でウェハを搬送するときの状態を示す正面図である。 図１４の状態での一部断面図である。 本発明の上記実施形態の変形例にかかるウェハ取扱装置のウェハ回転及び保持動作を行う装置でのウェハ保持位置でウェハを保持するときの状態（二点鎖線の状態）及びウェハ回転位置でウェハを回転するときの状態（実線の状態）を示す正面図である。 図１６の状態での一部断面図である。 本発明の上記実施形態の別の変形例にかかるウェハ取扱装置のウェハ回転及び保持動作を行う装置でのウェハ回転位置とその他の位置との間でウェハを搬送するときの状態を示す正面図である。 本発明の上記実施形態の上記別の変形例にかかるウェハ取扱装置のウェハ回転及び保持動作を行う装置でのウェハ保持位置でウェハを保持するときの状態及びウェハ回転位置でウェハを回転するときの状態を示す一部断面図である。 本発明の上記実施形態の上記別の変形例にかかるウェハ取扱装置のウェハ回転及び保持動作を行う装置の側面図である。 従来のウェハ移し替え装置の概略説明図である。

符号の説明

１…ウェハ、１ａ…Ｖノッチ、２…キャリアケース、２ａ…底部、３…コーム、３ａ…溝、３ｂ…ウェハ保持部、３ｃ…コーム昇降用モータ、３ｄ…ボールネジ、３ｅ…ナット部材、３ｆ…スライド部材、３ｇ…ＬＭガイド、３ｈ…支持軸、３ｉ…案内筒部材、３ｊ…反転用モータ、４…ウェハ保持体、４ａ…ウェハ保持溝、４ｂ…ウェハ保持部、４ｃ…回転軸、４ｄ…回動位置検出装置、４ｅ…回動位置検出板、４ｆ…ウェハ保持体駆動用モータ、４ｇ…駆動体、４ｈ…ブラケット、４ｉ…駆動力伝達軸、４ｊ…溝、５…ウェハ案内部材、５ｂ…ガイドローラ、５ｃ…回転軸、６…駆動軸、６ｆ…回転駆動用ブラケット回動駆動モータ、６ｇ…検出板用ブラケット、７…ウェハ回転駆動部材、７ｂ…円柱状駆動ローラ、７ｃ…回転軸、７ｄ…位置検出装置、７ｅ…検出板、７ｆ…ウェハ回転駆動部材回転用駆動モータ、８…アイドラ、８ａ…ウェハ案内用溝、８ｂ…ガイドローラ、８ｃ…回転軸、９…係合部材、９ｃ…円柱状係合軸、９ｈ…係合用ブラケット、１０…駆動軸、１０ｆ…角度調整用ブラケット回動駆動モータ、１１…ウェハ回転角度調整駆動部材、１１ｂ…円柱状回転駆動ローラ、１１ｃ…回転軸、１１ｄ…位置検出装置、１１ｅ…検出板、１１ｆ…ウェハ回転角度調整駆動部材用駆動モータ、１１ｈ…角度調整用ブラケット、１２…回転軸、１２ｆ…係合部材用駆動モータ、１３…回転駆動用ブラケット、１４…検出板用ブラケット、１５…、１６…、１７…、１８…、１９…、２０…ウェハ取扱装置支持枠、２０ａ…案内溝、２０ｂ…案内溝、Ａ…コーム上端位置、Ｂ…ウェハ保持位置、Ｃ…ウェハ回転位置、Ｄ…ウェハ反転位置、Ｅ…キャリアケース収納位置Ｅ。

Claims (9)

1. 複数枚のウェハ（１）を保持可能でかつキャリアケース収納位置（Ｅ）でキャリアケース（２）の底部の穴を貫通して昇降可能なウェハ保持部（３ｂ）を有して、上記キャリアケース内の上記ウェハを上記ウェハ保持部に保持させて、ウェハ保持位置（Ｂ）とウェハ回転位置（Ｃ）と上記キャリアケース収納位置との間で搬送可能なウェハ搬送装置(３)と、
   上記ウェハ保持位置に配置され、上記ウェハ搬送装置の上記ウェハ保持部により上記キャリアケースから取り出された上記ウェハを上記ウェハ保持位置で一枚置きに保持するウェハ保持部材(４)と、
   上記ウェハ回転位置に配置され、上記ウェハ搬送装置の上記ウェハ保持部により保持されて取り出された上記ウェハが通過可能な間隔に一対配置されるとともに、当該間隔内で上記ウェハを、隣接するウェハとは接触しないように位置保持可能でかつ上記間隔内に位置するウェハを回転させるウェハ回転駆動部材（５，７，８，５Ｄ）と、
   上記ウェハ回転位置に配置され、上記ウェハ回転駆動部材で回転させられる上記ウェハの位置決め用溝（１ａ）に係合可能な係合部材（９）とを備えるようにしたことを特徴とするウェハ取扱装置。
2. 上記ウェハ回転位置（Ｃ）と上記キャリアケース収納位置との間で上記ウェハ保持部に保持された上記ウェハを上下方向周りに１８０度回転させて反転させる反転装置（３ｊ）をさらに備えるようにした請求項１に記載のウェハ取扱装置。
3. 上記ウェハ搬送装置の上記ウェハ保持部に保持された上記ウェハを上記ウェハ保持位置で上記ウェハ保持部材により一枚置きに保持したのち、上記ウェハ保持部材に保持した上記ウェハを上記ウェハ搬送装置により搬送し、上記ウェハ回転位置で、上記ウェハ保持部に残ったウェハを上記ウェハ回転駆動部材により回転させつつ上記係合部材を上記ウェハの位置決め用溝に係合させて、上記ウェハ保持部に残ったすべてのウェハの位置決めを行ったのち、上記ウェハ搬送装置により搬送されて、上記キャリアケース収納位置で上記ウェハ保持部によりキャリアケース内に収納されるようにした請求項１又は２に記載のウェハ取扱装置。
4. 上記キャリアケース収納位置で上記キャリアケースから上記ウェハ搬送装置の上記ウェハ保持部に保持された上記ウェハを上記ウェハ保持位置で上記ウェハ保持部材により保持したのち、上記キャリアケース収納位置で上記キャリアケースとは別のキャリアケースから上記ウェハ搬送装置の上記ウェハ保持部によりウェハを保持し、上記ウェハ保持部により保持された上記ウェハを上記ウェハ保持位置まで移動させたのち、上記ウェハ保持部材により保持されていた上記ウェハを上記ウェハ保持部により保持して、上記ウェハ搬送装置により上記キャリアケース収納位置まで搬送して、上記ウェハ保持部に保持された上記ウェハを上記キャリアケース収納位置でキャリアケース内に収納するようにした請求項１又は２に記載のウェハ取扱装置。
5. 上記ウェハ回転駆動部材（５，７，８，５Ｄ）は、上記ウェハ搬送装置の上記ウェハ保持部により保持されて取り出された上記ウェハが通過可能な間隔に一対配置されるとともに、当該間隔内で上記ウェハを、隣接するウェハとは接触しないように位置保持可能で上記ウェハ保持部に保持された上記ウェハの搬送を案内する一対のウェハ案内部材（５）と、上記一対のウェハ案内部材間で案内されている上記ウェハを支持しかつ上記ウェハを一斉に同期して回転させるウェハ回転駆動部材（７）とを備える請求項１〜４のいずれか１つに記載のウェハ取扱装置。
6. 上記ウェハ保持位置（Ｂ）から順に下向きに上記ウェハ回転位置（Ｃ）と上記キャリアケース収納位置とが配置されている請求項１〜５のいずれか１つに記載のウェハ取扱装置。
7. 複数枚のウェハ（１）を保持可能でかつキャリアケース収納位置（Ｅ）でキャリアケース（２）の底部の穴を貫通して昇降可能なウェハ保持部（３ｂ）を有するウェハ搬送装置（３）により前記複数枚のウェハ（１）を上昇させ、
   ウェハ保持位置（Ｂ）で、上記ウェハ保持部に保持された上記ウェハを一枚置きにウェハ保持部材(４)で保持させ、
   残りのウェハを上記ウェハ保持部で保持しつつ上記ウェハ搬送装置によりウェハ回転位置まで移動させて、隣接するウェハとは接触しないように位置保持しつつ支持して上記ウェハをウェハ回転駆動部材（５，７，８，５Ｄ）ですべて回転させ、
   上記ウェハ回転駆動部材で回転させられる上記ウェハの位置決め用溝（１ａ）に係合部材（９）を係合させて上記ウェハの位置決めを行い、
   位置決めされた上記ウェハを上記ウェハ保持部でキャリアケース内に収納するようにしたことを特徴とするウェハ取扱方法。
8. 上記ウェハ搬送装置の上記ウェハ保持部に保持された上記ウェハを上記ウェハ保持位置で上記ウェハ保持部材により一枚置きに保持したのち、
   上記ウェハ保持部材に保持した上記ウェハを上記ウェハ搬送装置により搬送し、
   上記ウェハ回転位置で、上記ウェハ保持部に残ったウェハを上記ウェハ回転駆動部材により回転させつつ上記係合部材を上記ウェハの位置決め用溝に係合させて、上記ウェハ保持部に残ったすべてのウェハの位置決めを行ったのち、
   上記ウェハ搬送装置により搬送されて、上記キャリアケース収納位置で上記ウェハ保持部によりキャリアケース内に収納されるようにした請求項７に記載のウェハ取扱方法。
9. 上記キャリアケース収納位置で上記キャリアケースから上記ウェハ搬送装置の上記ウェハ保持部に保持された上記ウェハを上記ウェハ保持位置で上記ウェハ保持部材により保持したのち、
   上記キャリアケース収納位置で上記キャリアケースとは別のキャリアケースから上記ウェハ搬送装置の上記ウェハ保持部によりウェハを保持し、
   上記ウェハ保持部により保持された上記ウェハを上記ウェハ保持位置まで移動させたのち、
   上記ウェハ保持部材により保持されていた上記ウェハを上記ウェハ保持部により保持して、上記ウェハ搬送装置により上記キャリアケース収納位置まで搬送して、
   上記ウェハ保持部に保持された上記ウェハを上記キャリアケース収納位置でキャリアケース内に収納するようにした請求項７に記載のウェハ取扱方法。

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