JP4288578B2 - 電子部品供給トレイの引き出し方法、電子部品供給トレイの回収方法、電子部品供給トレイの引き出し装置、および電子部品供給トレイの回収装置 - Google Patents

電子部品供給トレイの引き出し方法、電子部品供給トレイの回収方法、電子部品供給トレイの引き出し装置、および電子部品供給トレイの回収装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4288578B2
JP4288578B2 JP2003178774A JP2003178774A JP4288578B2 JP 4288578 B2 JP4288578 B2 JP 4288578B2 JP 2003178774 A JP2003178774 A JP 2003178774A JP 2003178774 A JP2003178774 A JP 2003178774A JP 4288578 B2 JP4288578 B2 JP 4288578B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pallet
support table
component supply
magazine
supply tray
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2003178774A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2004349661A (ja
Inventor
公夫 磯村
広己 鈴木
雅幸 田代
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuji Corp
Original Assignee
Fuji Machine Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Machine Manufacturing Co Ltd filed Critical Fuji Machine Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2003178774A priority Critical patent/JP4288578B2/ja
Publication of JP2004349661A publication Critical patent/JP2004349661A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4288578B2 publication Critical patent/JP4288578B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品実装装置に電子部品を供給する電子部品供給トレイの引き出し方法、電子部品供給トレイの回収方法、電子部品供給トレイの引き出し装置、および電子部品供給トレイの回収に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
電子部品装着装置に対する電子部品の供給方式として多用されている部品供給トレイは、一般にパレットに担持され、マガジンに段積して収納されている。電子部品の装着を行う際は、電子部品供給ステージのパレット支持テーブルに対して相対的にマガジンを昇降させ、装着する電子部品が収納された部品供給トレイが担持されたパレットを電子部品供給ステージに引き出した後、所望の電子部品が吸着される。この種の装置は、例えば、特開平11−121985号公報、特開平11−289191号公報などに記載されている。マガジンのラックからパレットを電子部品供給ステージのパレット支持テーブルに引き出す時やその逆に回収動作を行うとき、パレットはマガジンのラックと電子部品供給ステージのパレット支持テーブル間で乗り移りを行うが、この時、乗り移り先が乗り移り元より高い場合にパレットが乗り移り先のエッジにぶつかり、パレットに振動が発生し、パレットに担持されている部品供給トレイ内の電子部品が部品供給トレイキャビティから飛び出してしまう可能性がある。
【0003】
この問題を解決する一つの手段として、マガジンからパレットをパレット支持テーブル上に引き出す時は、このパレットを支持するラックがパレット支持テーブルよりも高くなるように制御し、また、パレットをパレット支持テーブルからマガジンに回収する際には、ラックがパレット支持テーブルよりも低くなるように昇降手段を制御する技術が、特開平10−107487号公報において開示されている。
【0004】
【特許文献1】
特開平11−121985号公報
【特許文献2】
特開平11−289191号公報
【特許文献3】
特開平10−107487号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記技術ではラックとパレット支持テーブル間の段差が依然として存在するため、パレットが段差を乗り越える際にパレットの振動が発生し、部品供給トレイキャビティからの部品の飛び出し防止は未だ不完全であった。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明は以下のように構成する。本発明における電子部品供給トレイの引き出し方法は、マガジンのラックの各々に支持された複数のパレットのうちの一つを、前記マガジンに隣接して設けられたパレット支持テーブル上まで引き出し、引き出されたパレットに担持された部品供給トレイから部品を供給するようにした電子部品供給トレイの引き出し方法であって、前記マガジンの前記ラックに支持された、所望の部品供給トレイが担持されるパレットを、前記パレット支持テーブルよりも高い引き出し開始高さ位置に位置づける第1工程と、前記引き出し開始高さ位置に位置づけられた前記パレットを前記パレット支持テーブルに向けて引き出すとともに前記マガジンを前記パレット支持テーブルに対して相対的に降下させ、前記パレットの全体が前記パレット支持テーブル上に引き出される前に前記パレットを支持していたラックを前記パレット支持テーブルよりも低い位置まで相対的に降下させる第2工程と、を含むことを特徴とする。
【0007】
また、本発明における電子部品供給トレイの回収方法は、マガジンのラックの各々に支持された複数のパレットのうちの一つを、前記マガジンに隣接して設けられたパレット支持テーブル上まで引き出し、引き出されたパレットに担持された部品供給トレイから部品を供給するようにした電子部品供給トレイの回収方法であって、前記パレット支持テーブルに支持された、部品供給トレイが担持されるパレットを、前記マガジンの所望のラックよりも高い回収開始高さ位置に位置づける第1工程と、前記回収開始高さ位置に位置付けられた前記パレットを前記ラックに向けて回収するとともに前記マガジンを前記パレット支持テーブルに対して相対的に上昇させ、前記パレットの全体が前記ラック上に回収される前に前記パレットを支持していたパレット支持テーブルを前記ラックよりも低い位置まで相対的に降下させる第2工程と、を含むことを特徴とする。
【0008】
また、本発明における電子部品供給トレイの引き出し装置は、パレットを支持するラックを複数有し前記パレットが複数枚収納可能とされたマガジンと、前記マガジンに隣接して設けられたパレット支持テーブルと、前記マガジンを前記パレット支持テーブルに対して相対的に昇降させる昇降手段と、前記マガジンからパレットを引き出して前記パレット支持テーブル上に移送する引き出し手段と、前記パレット支持テーブル上に移送した前記パレットを前記ラックに回収する回収手段と、少なくとも前記昇降手段、前記引き出し手段、および前記回収手段を制御する制御手段と、を備え、前記パレット支持テーブル上に引き出されたパレットに担持される部品供給トレイから部品を供給する部品供給装置であって、前記制御手段は、前記昇降手段を駆動させることで所望の部品供給パレットが担持されるパレットを一旦前記パレット支持テーブルよりも高い引き出し開始高さ位置に位置づけた後に、前記引き出し手段を駆動させて前記パレットを前記パレット支持テーブルに向けて引き出すとともに前記昇降手段を駆動させて前記マガジンを前記パレット支持テーブルに対して相対的に降下させ、前記引き出し手段による前記パレットの引き出し動作が完了するまでに、前記パレットを支持していたラックを前記パレット支持テーブルよりも低い位置まで相対的に降下させることを特徴とする。
【0009】
また、本発明における電子部品供給トレイの回収装置は、パレットを支持するラックを複数有し前記パレットが複数枚収納可能とされたマガジンと、前記マガジンに隣接して設けられたパレット支持テーブルと、前記マガジンを前記パレット支持テーブルに対して相対的に昇降させる昇降手段と、前記マガジンからパレットを引き出して前記パレット支持テーブル上に移送する引き出し手段と、前記パレット支持テーブル上に移送した前記パレットを前記ラックに回収する回収手段と、少なくとも前記昇降手段、前記引き出し手段、および前記回収手段を制御する制御手段と、を備え、前記パレット支持テーブル上に引き出されたパレットに担持される部品供給トレイから部品を供給する部品供給装置であって、前記制御手段は、前記昇降手段を駆動させることで所望の部品供給パレットが担持されるパレットを一旦前記ラックよりも高い回収開始高さ位置に位置づけた後に、前記回収手段を駆動させて前記パレットを前記ラックに向けて回収するとともに前記昇降手段を駆動させて前記マガジンを前記パレット支持テーブルに対して相対的に上昇させ、前記回収手段による前記パレットの回収動作が完了するまでに、前記パレットを支持していた前記パレット支持テーブルを前記ラックよりも低い位置まで相対的に降下させることを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態である、電子部品供給トレイの引き出し方法、電子部品供給トレイの回収方法、電子部品供給トレイの引き出し装置、および電子部品供給トレイの回収装置について、図を参照しながら以下に説明する。なお、各図において同じ構成部分については同じ符号を付している。
【0011】
図1は本発明の実施形態の電子部品供給トレイの引き出し方法、図2は同電子部品供給トレイの回収方法、図3は同電子部品供給トレイの引き出しおよび回収装置の側断面図、図4は同電子部品供給トレイの引き出しおよび回収装置の部分斜視図である。
【0012】
まず図3、図4を参照して電子部品供給トレイの引き出しおよび回収装置の構造を説明する。図3において、箱体5の内部にはマガジンが収納されている。マガジン6は送りネジ7および送りネジ7を回転させるモータ8によって箱体5内部で昇降する。従って送りネジ7とモータ8はマガジン6の昇降手段となっている。
【0013】
マガジン6には、複数段のラック3が設けられており、各段のラック3にはパレット2が支持されている。パレット2には部品供給トレイ1が担持されている。部品供給トレイ1は電子部品10(図4)を供給する。またパレット2の前縁にはパレット2を引き出すための係合部9が設けられている。
【0014】
次に図3および図4を参照してパレット支持テーブル4について説明する。パレット支持テーブル4はマガジン6に隣接して設けられた一対のレールから成り、マガジン6のラック3から、後述する引き出しおよび回収手段20によって引き出されるパレット2を支持する構成となっている。
【0015】
次に図4を参照してパレット2を引き出しおよび回収する引き出しおよび回収手段20について説明する。図4において、引き出しおよび回収手段20にはプーリ21,22が配設されており、プーリ21,22にはベルト23が調帯されている。ベルト23にはブラケット24が固着されており、ブラケット24には門型の連結部材25が結合されている。連結部材25の両側部にはローラ26が装着されている。また連結部材25の下端部にはスライダ27が結合され、スライダ27はガイドレール28に水平方向に摺動自在に嵌合している。従って図示しないモータを駆動してベルト23を前後動することにより、ローラ26は水平方向に前後移動する。
【0016】
パレット2の切欠部11の両端にはパレット2の係合部9が設けられており、係合部9には、ローラ26が係合する切欠き9aが設けられている。引き出しおよび回収手段20を駆動してローラ26を切り欠き部12を介して箱体5内に位置させた状態で、マガジン6を昇降させてマガジン6内に収納されたパレット2を昇降することにより、パレット2の係合部9はローラ26に係合する。所定のパレット2の係合部9がローラ26に係合した状態で引き出しおよび回収手段20を駆動して連結部材25を図4に示す矢印a方向へ水平移動させると、パレット2はパレット支持テーブル4に引き出される。また、引き出しおよび回収手段20を矢印aと反対方向に駆動することにより、パレット支持テーブル4上のパレット2はマガジン6内へ回収される。
【0017】
この電子部品供給装置は上記のような構成を成し、図1を参照してパレット2に担持された部品供給トレイ1の引き出し方法について説明する。図1(a)において、ラック3に支持されたパレット2をパレット支持テーブル4よりも相対的に高い引き出し開始位置に合わせる。すなわち、図1(a)は、請求項1記載の第1工程を表している。
【0018】
次に図1(b)において、パレット2の係合部9にローラ26が係合した状態で引き出しおよび回収手段20を矢印a方向に駆動するとともにマガジン6を矢印b方向に降下させる。マガジン6の降下速度および加速度を微小にすることにより、パレット2がパレット支持テーブル4の上面に当接する際の衝撃を限りなく0Gに近づけることが可能となり、パレット2をパレット支持テーブル4に引き出す際に、部品供給トレイ1内の電子部品10が部品供給トレイキャビティから飛び出す不具合を防止することができる。
【0019】
図1(c)において、パレット2を支持するマガジン6のラック3上面はパレット支持テーブル4上面と同一平面となり、パレット2はラック3とパレット支持テーブル4の両方に支持されている状態となる。従って、パレット2がラック3からパレット支持テーブル4へ乗り移る際の、ラック3とパレット支持テーブル4の段差を無くすことが簡単に実現でき、パレット引き出し時における、ラック3とパレット支持テーブル4を同一平面に静的に位置決めするための調整コストなどが削減でき、安価な装置が提供可能となる。
【0020】
継続して、引き出しおよび回収手段20を矢印a方向に駆動するとともにマガジン6を矢印b方向に降下させ、パレット2の全体がパレット支持テーブル4上に引き出される前にパレット2を支持していたラック3をパレット支持テーブル4よりも低い位置まで相対的に降下させる。
【0021】
図1(d)において、パレット2の全体がパレット支持テーブル4上に引き出され、マガジン6の降下動作が終了する。すなわち、図1(b)から図1(d)において、パレット2の全体がパレット支持テーブル4上に引き出される前にパレット2を支持していたラック3をパレット支持テーブル4よりも低い位置まで相対的に降下させるまでが請求項1記載の第2工程を表している。この後、電子部品実装装置の移載ヘッド30により、部品供給トレイ1内の電子部品10をピックアップし、電子部品実装装置内の基板(図外)上に装着する。
【0022】
次に、図2を参照してパレット2に担持された部品供給トレイ1の回収方法について説明する。図2(a)において、パレット支持テーブル4に支持されたパレット2をラック3よりも相対的に高い回収開始位置に合わせる。すなわち、図2(a)は、請求項2記載の第1工程を表している。また、望ましい形態においては、図1(d)における状態から、部品供給トレイ1の回収動作を行うと良い。前記形態を取ることにより、移載ヘッド30による部品供給トレイ1内の電子部品10の装着後、速やかに部品供給トレイ1のマガジン6への回収動作を行うことができるからである。
【0023】
次に図2(b)において、引き出しおよび回収手段20を矢印c方向に駆動するとともにマガジン6を矢印d方向に上昇させる。マガジン6の上昇速度および加速度を微小にすることにより、パレット2がラック3の上面に当接する際の衝撃を限りなく0Gに近づけることが可能となり、パレット2をラック3に回収する際に、部品供給トレイ1内の電子部品10が部品供給トレイキャビティから飛び出す不具合を防止することができる。
【0024】
図2(c)において、パレット2を支持するパレット支持テーブル4上面とマガジン6のラック3上面は同一平面となり、パレット2はパレット支持テーブル4とラック3の両方に支持されている状態となる。従って、パレット2がパレット支持テーブル4からラック3へ乗り移る際の、パレット支持テーブル4とラック3の段差を無くすことが簡単に実現でき、パレット回収時における、パレット支持テーブル4とラック3を同一平面に静的に位置決めするための調整コストなどが削減でき、安価な装置が提供可能となる。
【0025】
継続して、引き出しおよび回収手段20を矢印c方向に駆動するとともにマガジン6を矢印d方向に上昇させ、パレット2の全体がマガジン6のラック3上に回収される前にパレット2を支持していたパレット支持テーブル4をラック3よりも低い位置まで相対的に降下させる。
【0026】
図2(d)において、パレット2の全体がラック3上に回収され、マガジン6の上昇動作が終了する。すなわち、図2(b)から図2(d)において、パレット2の全体がラック3上に回収される前にパレット2を支持していたパレット支持テーブル4をラック3よりも低い位置まで相対的に降下させるまでが請求項2記載の第2工程を表している。
【0027】
なお、本発明の装置の一例として本実施形態では引き出しおよび回収手段が共通であり、かつ、マガジンが昇降する形態を例にして説明を行ったが、これに限定されるものではなく、たとえば、引き出し手段、回収手段をそれぞれ個別に設ける態様、昇降手段をパレット支持テーブル側に設ける態様、もしくは昇降手段をパレット支持テーブル側とマガジン側の両方に設ける態様、などに適用可能であることは勿論である。
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、マガジン内に収納された部品供給トレイのパレット支持テーブルへの引き出し、および前記パレット支持テーブル上の部品供給トレイのマガジン内への回収において、部品供給トレイキャビティからの電子部品の飛び出しを防止することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態における電子部品供給トレイの引き出し方法を説明するための模式図である。
【図2】本発明の実施形態における同電子部品供給トレイの回収方法を説明するための模式図である。
【図3】本発明の実施形態における同電子部品供給トレイの引き出しおよび回収装置の側断面図である。
【図4】本発明の実施形態における同電子部品供給トレイの引き出しおよび回収装置の部分斜視図である。
【符号の説明】
1…部品供給トレイ、2…パレット、3…ラック、4…パレット支持テーブル、5…箱体、6…マガジン、7…送りネジ、8…モータ、9…係合部、10…電子部品、20…引き出しおよび回収手段。

Claims (4)

  1. マガジンのラックの各々に支持された複数のパレットのうちの一つを、前記マガジンに隣接して設けられたパレット支持テーブル上まで引き出し、引き出されたパレットに担持された部品供給トレイから部品を供給するようにした電子部品供給トレイの引き出し方法であって、
    前記ラックに支持された、所望の部品供給トレイが担持されるパレットを、前記パレット支持テーブルよりも高い引き出し開始高さ位置に位置づける第1工程と、
    前記引き出し開始高さ位置に位置づけられた前記パレットを前記パレット支持テーブルに向けて引き出すとともに前記マガジンを前記パレット支持テーブルに対して相対的に降下させ、前記パレットの全体が前記パレット支持テーブル上に引き出される前に前記パレットを支持していたラックを前記パレット支持テーブルよりも低い位置まで相対的に降下させる第2工程と、
    を含むことを特徴とする電子部品供給トレイの引き出し方法。
  2. マガジンのラックの各々に支持された複数のパレットのうちの一つを、前記マガジンに隣接して設けられたパレット支持テーブル上まで引き出し、引き出されたパレットに担持された部品供給トレイから部品を供給するようにした電子部品供給トレイの回収方法であって、
    前記パレット支持テーブルに支持された、部品供給トレイが担持されるパレットを、所望のラックよりも高い回収開始高さ位置に位置づける第1工程と、
    前記回収開始高さ位置に位置付けられた前記パレットを前記ラックに向けて回収するとともに前記マガジンを前記パレット支持テーブルに対して相対的に上昇させ、前記パレットの全体が前記ラック上に回収される前に前記パレットを支持していたパレット支持テーブルを前記ラックよりも低い位置まで相対的に降下させる第2工程と、
    を含むことを特徴とする電子部品供給トレイの回収方法。
  3. パレットを支持するラックを複数有し前記パレットが複数枚収納可能とされたマガジンと、前記マガジンに隣接して設けられたパレット支持テーブルと、前記マガジンを前記パレット支持テーブルに対して相対的に昇降させる昇降手段と、前記マガジンからパレットを引き出して前記パレット支持テーブル上に移送する引き出し手段と、前記パレット支持テーブル上に移送した前記パレットを前記ラックに回収する回収手段と、少なくとも前記昇降手段、前記引き出し手段、および前記回収手段を制御する制御手段と、を備え、
    前記パレット支持テーブル上に引き出されたパレットに担持される部品供給トレイから部品を供給する部品供給装置であって、
    前記制御手段は、前記昇降手段を駆動させることで所望の部品供給パレットが担持されるパレットを一旦前記パレット支持テーブルよりも高い引き出し開始高さ位置に位置づけた後に、前記引き出し手段を駆動させて前記パレットを前記パレット支持テーブルに向けて引き出すとともに前記昇降手段を駆動させて前記マガジンを前記パレット支持テーブルに対して相対的に降下させ、前記引き出し手段による前記パレットの引き出し動作が完了するまでに、前記パレットを支持していたラックを前記パレット支持テーブルよりも低い位置まで相対的に降下させることを特徴とする電子部品供給トレイの引き出し装置。
  4. パレットを支持するラックを複数有し前記パレットが複数枚収納可能とされたマガジンと、前記マガジンに隣接して設けられたパレット支持テーブルと、前記マガジンを前記パレット支持テーブルに対して相対的に昇降させる昇降手段と、前記マガジンからパレットを引き出して前記パレット支持テーブル上に移送する引き出し手段と、前記パレット支持テーブル上に移送した前記パレットを前記ラックに回収する回収手段と、少なくとも前記昇降手段、前記引き出し手段、および前記回収手段を制御する制御手段と、を備え、
    前記パレット支持テーブル上に引き出されたパレットに担持される部品供給トレイから部品を供給する部品供給装置であって、
    前記制御手段は、前記昇降手段を駆動させることで所望の部品供給パレットが担持されるパレットを一旦前記ラックよりも高い回収開始高さ位置に位置づけた後に、前記回収手段を駆動させて前記パレットを前記ラックに向けて回収するとともに前記昇降手段を駆動させて前記マガジンを前記パレット支持テーブルに対して相対的に上昇させ、前記回収手段による前記パレットの回収動作が完了するまでに、前記パレットを支持していた前記パレット支持テーブルを前記ラックよりも低い位置まで相対的に降下させることを特徴とする電子部品供給トレイの回収装置。
JP2003178774A 2003-05-21 2003-05-21 電子部品供給トレイの引き出し方法、電子部品供給トレイの回収方法、電子部品供給トレイの引き出し装置、および電子部品供給トレイの回収装置 Expired - Lifetime JP4288578B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003178774A JP4288578B2 (ja) 2003-05-21 2003-05-21 電子部品供給トレイの引き出し方法、電子部品供給トレイの回収方法、電子部品供給トレイの引き出し装置、および電子部品供給トレイの回収装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003178774A JP4288578B2 (ja) 2003-05-21 2003-05-21 電子部品供給トレイの引き出し方法、電子部品供給トレイの回収方法、電子部品供給トレイの引き出し装置、および電子部品供給トレイの回収装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004349661A JP2004349661A (ja) 2004-12-09
JP4288578B2 true JP4288578B2 (ja) 2009-07-01

Family

ID=33535016

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003178774A Expired - Lifetime JP4288578B2 (ja) 2003-05-21 2003-05-21 電子部品供給トレイの引き出し方法、電子部品供給トレイの回収方法、電子部品供給トレイの引き出し装置、および電子部品供給トレイの回収装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4288578B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6096541B2 (ja) * 2013-03-15 2017-03-15 ヤマハ発動機株式会社 部品供給装置および実装システム

Also Published As

Publication number Publication date
JP2004349661A (ja) 2004-12-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3749186B2 (ja) トレイフィーダー用トランスファ
JP5278122B2 (ja) トレイ供給装置
US6776097B2 (en) Plate supplying apparatus
JP5941750B2 (ja) 部品供給装置
JP4835573B2 (ja) 基板搬送装置および基板搬送方法
JP2004026502A (ja) ブランクのスタックを拾い上げるための方法及び装置
JP4288578B2 (ja) 電子部品供給トレイの引き出し方法、電子部品供給トレイの回収方法、電子部品供給トレイの引き出し装置、および電子部品供給トレイの回収装置
JP4425357B2 (ja) 部品実装装置
JP3777760B2 (ja) 電子部品供給装置
KR20070006520A (ko) 칩 트레이 공급장치 및 방법
JP3711689B2 (ja) 電子部品実装装置および電子部品実装方法
JP3317280B2 (ja) 基板の整列移載システム及び整列移載方法
JP4602359B2 (ja) 液晶基板の搬送装置
JP3336679B2 (ja) 電子部品供給装置および電子部品供給方法
JP3115973B2 (ja) 実装機の部品供給部交換システム
JP3555429B2 (ja) 電子部品供給装置および電子部品供給方法
JP5005322B2 (ja) 合板供給装置及び合板加工機
JP2007134734A5 (ja)
JP3619231B2 (ja) 部品供給装置
JP2000315892A (ja) 部品供給装置
JP2000315893A (ja) トレイフィーダによる電子部品の供給方法
JPH09301539A (ja) パレット搬出入装置
JP2005145713A (ja) 基板の搬送装置
KR200390614Y1 (ko) 철판 적재장치
JP2001024386A (ja) トレイフィーダのレベル出し方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060403

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20081112

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20081118

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090310

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090318

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 4288578

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120410

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120410

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130410

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130410

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140410

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term