JP4287549B2 - 粒子線装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は請求項1の前提部に記載された粒子線装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
本発明は特に、低電圧を使用する走査型電子顕微鏡に関する。低電圧型電子顕微鏡は高感度の非導電性試験片の画像化において特に重要である。低電圧(典型的には5keV以下)を使用すると、エネルギの散逸量が少ないため、高感度の試験片が損傷されない。絶縁性試験片の場合には歪み及び妨害無しに画像化がなされる。それは、絶縁体は低エネルギ領域においては約1の2次電子生成を行うため、粒子線による露光の間、チャージング効果を回避し又は最小化することができるからである。従って、低電圧型電子顕微鏡は、半導体製造工程における寸法測定及びデバイス構造の検査等にとって極めて重要である。
【0003】
現在、高解像度の低電圧型電子顕微鏡が上述の分野にて使用されている。欧州特許EP−B−0333018号に記載されている如き高性能電子顕微鏡は最終の対物レンズとして電界浸レンズと磁界浸レンズの組合せ使用する。界浸原理を使用することによって、1次ビーム路は高エネルギとなる。最終の低ビームエネルギは試験片の直前にある対物レンズによる減速によって生成される(欧州特許EP−B−0180723号)。このような中間ビーム加速の概念を使用することによって、ビームを拡げその結果解像度を減少させるコラム内の電子同士の相互作用が著しく減少する。
【0004】
1次粒子によって試験片より放出される後方散乱電子及び/又は2次電子は対物レンズの前に配置された検出器によって検出される。インレンズ型又はプレレンズ型の検出器を配置することによって、試験片をレンズの近傍に配置することができる利点がある。そのため、対物レンズの作動距離が短くなり、それに対応して対物レンズの焦点距離が短くなる。短焦点距離によって対物レンズの色収差及び球面収差係数が低下する。これは低電圧の場合に光学的に高性能が得られることを意味する。
【0005】
従来の高性能且つ低電圧型装置は良好な光学特性を示すが、米国特許第5780859号に記載されているように、電界減速レンズと磁気単極レンズの組合せを使用する対物レンズを利用することによって光学特性は更に改善される。しかしながら、これらの装置では2次電子の検出効率に欠点がある。2次電子は1次粒子のための減速場によって加速されるため、そのエネルギは高く1次電子のエネルギと同様である。その結果、その挙動は1次電子線の挙動と同様になる。従って、2次電子の検出は困難であり、効率的でない。従って、従来の解決法は、1次ビームが通るための小さな穴を有する共軸検出器(欧州特許EP−B−0333018号)又は1次電子線と2次電子線を分離する装置(米国特許第5422486号)を使用する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、請求項1の前提部に記載された粒子線装置において後方散乱電子及び2次電子の検出効率を改善することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明の目的は、特許請求の範囲の請求項1の特徴部によって達成される。1次粒子線を検出装置の領域にて加速し減速するための第1及び第2の付加装置を利用することによって、様々な効率的な検出システムが使用される。なぜなら、後方散乱電子及び/又は2次電子は、検出器の領域にて、試験片の電位に近い電位が印加されることによって元のエネルギ分布まで減速されるからである。
【0008】
好ましくは、検出器は1次ビーム路のクロスオーバに配置される。この場合、1次ビームの特性に対する第1及び第2の付加装置の光学的効果は重要でなく無視することができる。なぜなら、クロスオーバ内の又はその付近のレンズ又は光学要素はビームの特性に対して重要な効果を有さないからである。
【0009】
更に、本発明の利点及び例は、実施の形態の説明及び図面を参照して以下に詳細に説明されよう。
【0010】
【発明の実施の形態】
本発明の粒子線装置の第1の例が図1に示されている。粒子線装置は基本的には1次粒子線2を発生するソース1と、1次粒子線2を試験片4上に集光させるための集光装置3と、ソース1と集光装置3の間に配置され試験片4より放出された後方散乱電子及び/又は2次電子6を検出するための検出装置5と、1次粒子線2を第1のエネルギからそれより高い第2のエネルギに加速するための加速装置7と、1次粒子線2を最終ビームエネルギに減速するための減速装置8と、を有する。
【0011】
検出装置5はソース1と集光装置3の間に配置されている。本発明によると、更に、1次粒子線2を減速するための第1の付加装置9が検出装置5の直前に設けられ、1次粒子線2を加速するための第2の付加装置10が検出装置5の直後に設けられている。
【0012】
この粒子線装置は特に低電圧を使用する走査型電子顕微鏡に使用して好適である。
【0013】
ソース1は例えば、電子銃1a、抽出器1b及び陽極1cを含む。電子銃は好ましくは熱電界効果型エミッタ、冷陰極エミッタ又は光電陰極であってよい。陽極1cは又、加速装置7を構成している。
【0014】
減速装置8は集光装置3内の界浸レンズによって構成されている。界浸レンズは少なくとも2つの電極3a、3bを含み、1次粒子の方向に第1の電極3aは第2の電極3bより高い電位を有する。界浸レンズは1次粒子線のための減速場を生成する。
【0015】
しかしながら、試験片4にて放出された後方散乱電子及び/又は2次電子6は、界浸レンズによって加速される。その結果、この2次電子は、界浸レンズを通過した後、1次粒子と略同一の高エネルギを有する。そのため、この2次電子を検出するのは困難である。しかしながら、本発明によると、検出装置5の領域にて1次粒子線を減速し加速する第1及び第2の付加装置が設けられている。従って、検出装置5は低エネルギ領域に配置されている。もし、検出器の領域に印加された電位が試験片にて印加された電位に対応するなら、後方散乱電子及び/又は2次電子は検出装置にて元のエネルギ分布、例えば、0から50eVまで減速されるであろう。1次粒子も又検出器の領域にて減速されるが、それでも未だ2次粒子のエネルギの数倍のエネルギを有する。その結果、2次粒子の検出のために2次粒子を1次粒子より分離するのは極めて容易である。
【0016】
1次粒子線を減速し加速するための第1及び第2の付加装置は、どのような減速レンズ及び加速レンズによって生成されてもよい。最も簡単な場合は、同心穴よりなる又はグリッド電極によって形成された2つの電極レンズである。穴電極とグリッド電極を組みあわせても良い。更に、減速及び加速の効果を有する全ての要素、例えば、アインゼルレンズが信号検出の概念に使用され組み込まれてよい。
【0017】
図1の例では、1次粒子線を減速するための付加装置9は穴電極9aとライナ管9bの下端を含む。ライナ管9bは例えば、8kVの電位を有してよく、穴電極9aは接地電位を有する。1次粒子線を加速し2次粒子線を減速する第2の付加装置10はグリッド電極10aとライナ管10bの上端を含む。グリッド電極10aは、例えば、接地電位であるが、ライナ管10bはライナ管9bと同一電位を有する。
【0018】
図2に本発明の粒子線装置の第2の例を示す。この例は第1の例と比較して、検出装置5の領域にて、クロスオーバ(ビーム断面積の極小)を生成する付加レンズ11、例えば、コンデンサレンズが設けられている点が異なる。これによって次のような利点が得られる。クロスオーバにおける又はクロスオーバ近くのレンズ等の光学的要素はビーム特性にどのような重要な影響も与えないために、1次粒子線の特性に対する付加装置9、10の光学的影響は重要でなく無視することができる。
【0019】
図3に示されている粒子線装置は集光装置3内に減速場を有さないが、集光装置3と試験片の間にて1次粒子線を最終ビームエネルギまで減速させることができる。集光装置3は高電位、例えば、8kVの電極を有するが、試験片は接地電位である。しかしながら、試験片にバイアスをかけることによって減速を実行することも可能である。
【0020】
図4に示す粒子線装置は、1次粒子線を最終ビームエネルギに減速するための界浸レンズ8を有し、これは2又はそれ以上の電極よりなる。集光装置3の磁気レンズは単極レンズとして試験片の背後に配置されている。
【0021】
勿論、上述の例は更に他の構成要素、例えば、ビームの整合、スチグマチック結像、走査及び開口制限のための要素を有するが、それについては詳細に説明しない。
【0022】
第2の付加装置10は1次粒子線を再度第3のエネルギに加速するように構成されており、この第3のエネルギは第2のエネルギに対応してよい。第2の及び/又は第3のエネルギは最終エネルギより少なくとも3倍、好ましくは5倍高い。最終エネルギは好ましくは5keVより低い。
【0023】
基本的には、多くの種類の効率的な検出システムが使用される。図5には、中央に1次粒子線が通るための穴5aを有する環状検出器5の底面図が示されている。図6には、セグメント型検出器5が開示されている。
【0024】
しかしながら、1方向の軸外れ検出器(図7)、2方向の軸外れ検出器(図8)又はより高次方向の軸外れ検出器を備えることも可能である。軸外れ検出器はウィーンフィルタを使用することによって支持されることができる。ウィーンフィルタは図7に示すように交差する電界偏向場と磁界偏向場よりなり、1次粒子線を妨害しないが後方散乱電子及び2次電子を軸外れ検出器に偏向させる。もし2次ビーム粒子を2つの軸外れ検出器に分割すべきであるなら、4極のウィーンフィルタを使用することができる。
【0025】
この検出器の領域の付加的な利点は、フィルタ電極12がこの領域に配置されることができることである。図7は検出器5の前方にフィルタ電極12が設けられた例を示し、図8は軸上フィルタ電極12を示す。これらのフィルタ電極は信号電子(後方散乱電子及び/又は2次電子)をエネルギ選択的に検出するために使用されることができる。勿論、軸上(オンアキシャル)検出器、軸外れ検出器及び/又は付加的なフィルタ電極を組み合わせることもできる。これらは価値ある信号を供給するが、この信号は単独で又は組み合わせて、画像分析のために使用される。
【0026】
1次粒子線を減速し加速する第1及び第2の付加装置の間の距離は、1次粒子線の方向に測って、30mmより小さい。
【0027】
殆どの1次ビーム路は高エネルギレベルにあるため、1次粒子線に対して高い光学特性が期待される。更に、プリレンズ検出器を配置することによって短焦点距離及び低収差係数を提供することができる。検出装置の領域を低エネルギレベルにすることによって、後方散乱電子及び/又は2次電子に対する高検出効率がを期待される。本発明の装置は試験片の穴(例えば、半導体技術における接触穴)の底から信号を捕らえるために特に有用である。
【0028】
【発明の効果】
本発明によると、粒子線装置において、検出装置の領域を低エネルギレベルにすることによって、後方散乱電子及び/又は2次電子の検出効率を高くすることができる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による粒子線装置の第1の例の概略図である。
【図2】本発明による粒子線装置の第2の例の概略図である。
【図3】本発明による粒子線装置の第3の例の概略図である。
【図4】本発明による粒子線装置の第4の例の概略図である。
【図5】本発明による粒子線装置の第1の例の検出装置の底面図である。
【図6】本発明による粒子線装置の第2の例の検出装置の底面図である。
【図7】本発明による粒子線装置の第3の例の検出装置の概略図である。
【図8】本発明による粒子線装置の第4の例の検出装置の概略図である。
【符号の説明】
1…ソース、 1a…電子銃、 1b…抽出器、 1c…陽極、 2…1次粒子線、 3…集光装置、 3a,3b…電極、 4…試験片、 5…検出装置、 5a…穴、 6…後方散乱電子及び/又は2次電子、 7…加速装置、 8…減速装置、 9…付加装置、 9a…穴電極、 9b…ライナ管、 10…付加装置、 10a…グリッド電極、 10b…ライナ管、 12…フィルタ電極
Claims (13)
- 1次粒子線(2) を発生するソース(1)と、上記1次粒子線(2) を試験片(4) 上に集光させるための集光装置(3) と、上記ソース(1) と上記集光装置(3) の間に配置され上記試験片(4) より放出された後方散乱電子及び/又は2次電子(6) を検出するための検出装置(5) と、上記1次粒子線(2) を第1のエネルギからそれより高い第2のエネルギに加速するための加速装置(7) と、上記1次粒子線(2) を最終ビームエネルギに減速するための減速装置(8) と、を有する粒子線装置において、
上記検出装置(5) の直前に設けられ上記1次粒子線(2)を減速するための第1の付加装置(9) と、上記検出装置(5) の直後に設けられ上記1次粒子線(2) を加速するための第2の付加装置(10)と、を有することを特徴とする粒子線装置。 - 上記検出装置(5) は上記1次粒子線のクロスオーバの領域に配置されていることを特徴とする請求項1記載の粒子線装置。
- 上記第1の付加装置(9) は上記1次粒子線を上記第2のエネルギから上記最終ビームエネルギの領域のエネルギまで減速するように構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の粒子線装置。
- 上記第2の付加装置(10)は再度上記1次粒子線を第3のエネルギまで加速するように構成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の粒子線装置。
- 上記第1の付加装置と上記第2の付加装置の間の距離は、上記1次粒子線の方向に測って、30mmより小さいことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の粒子線装置。
- 上記集光装置(3) は電界減速場対物レンズと磁気減速場対物レンズの組合せを含むことを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の粒子線装置。
- 上記検出装置(5) は環状検出器であることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の粒子線装置。
- 上記検出装置(5) はセグメント形検出器であることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の粒子線装置。
- 上記検出装置(5) は1又はそれ以上の方向の軸外れ検出器であることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の粒子線装置。
- 上記第2のエネルギ及び/又は第3のエネルギは上記最終ビームエネルギより少なくとも3倍、高いことを特徴とする請求項4に記載の粒子線装置。
- 上記第2のエネルギ及び/又は第3のエネルギは上記最終ビームエネルギより少なくとも5倍、高いことを特徴とする請求項10に記載の粒子線装置。
- 上記第2のエネルギ及び/又は第3のエネルギは少なくとも5keVであることを特徴とする請求項4に記載の粒子線装置。
- 上記最終ビームエネルギは5keVより低いことを特徴とする請求項1から12のいずれかに記載の粒子線装置。
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