JP4275427B2 - 回転軸シール機構および液処理装置 - Google Patents
回転軸シール機構および液処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4275427B2 JP4275427B2 JP2003053590A JP2003053590A JP4275427B2 JP 4275427 B2 JP4275427 B2 JP 4275427B2 JP 2003053590 A JP2003053590 A JP 2003053590A JP 2003053590 A JP2003053590 A JP 2003053590A JP 4275427 B2 JP4275427 B2 JP 4275427B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- cylindrical member
- rotation
- seal
- spindle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、被回転体を回転させる回転軸のシール機構と、この回転軸シール機構を備え、チャンバ内に配置された被回転体に保持された被処理体に所定の液処理を施す液処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば、半導体デバイスの製造工程においては、半導体ウエハ(以下「ウエハ」という)を所定の薬液や純水等の処理液によって処理し、ウエハからパーティクル、有機汚染物、金属不純物等のコンタミネーションや有機物、酸化膜を除去する洗浄処理装置が使用されている。
【0003】
このような洗浄処理装置として、例えば、特開昭61−42919号公報(特許文献1)には、ハウジングの底壁を貫通して回転自在に配置された駆動軸(回転軸)と、ハウジング内においてこの駆動軸にターンテーブル取り付けリングを介して取り付けられたターンテーブルと、このターンテーブルに保持され、複数のウエハを略平行に支持するキャリアと、ウエハに処理液を吹き付ける吹き付けポストと、を有する吹き付け処理機、が開示されている。この吹き付け処理機では、回転軸に処理液が入り込まないように、対向するターンテーブル取り付けリングの下面とハウジングの底壁の上面との間は、同心円状に形成されたリブと溝が組み合わされたラビリンスシール構造となっている。
【0004】
【特許文献1】
特開昭61−42919号公報(第3項〜第5項、第1、3図)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ラビリンスシール構造では、処理液が回転軸へと浸入する際の方向が転換されるために、処理液が回転軸へと浸入し難くなるが、ターンテーブル取り付けリングとハウジングの底壁とが接触しないように、リブと溝が組み合わされる部分においては広い隙間が形成されてしまうために、処理液の回転軸への浸入を完全に防ぐことは困難である。
【0006】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、シール性能の高い回転軸シール機構と、このような回転軸シール機構を備えた液処理装置を提供することを目的とする。
【0007】
すなわち、本発明の第1の観点によれば、被回転体を回転させる回転軸と、
前記回転軸の回転を妨げないように前記回転軸周りに配置された筒状部材と、
前記筒状部材の内周に配置された金属製のシール部材と、
前記シール部材の内周面および前記回転軸の外周面のうち前記筒状部材が配置される部分の少なくとも前記シール部材が位置する部分に設けられ、実質的に前記回転軸と前記シール部材との間をシールする機能を有する樹脂被膜と、
を具備し、
前記シール部材の内周面に設けられた樹脂被膜と前記回転軸に設けられた樹脂被膜にはそれぞれ摩擦摩耗する際の摩耗速度が異なる材料が用いられ、前記筒状部材に前記回転軸を挿通または圧入した後に前記回転軸を所定時間回転させて前記樹脂被膜を摩擦摩耗させることによって、前記樹脂被膜どうしの間のクリアランスが調整されていることを特徴とする回転軸シール機構、が提供される。
このような回転軸シール機構によれば、回転軸周りのクリアランスを極めて狭くすることができるために高いシール性が得られる。
【0010】
本発明の第2の観点によれば、被回転体に保持された被処理体に所定の処理液による液処理を施す液処理装置であって、
前記被回転体を収容するチャンバと、
前記被回転体に保持された被処理体に所定の処理液を供給する処理液供給手段と、
回転モータと、前記回転モータと前記被回転体とを連結する回転軸と、前記回転軸を保持する軸受け部材と、前記回転軸の回転を妨げないように前記回転軸周りに配置された筒状部材と、前記筒状部材の内周に配置された金属製のシール部材と、前記シール部材の内周面および前記回転軸の外周面のうち前記筒状部材が配置される部分の少なくとも前記シール部材が位置する部分に設けられ、実質的に前記回転軸と前記シール部材との間をシールする機能を有する樹脂被膜と、を具備する回転機構と、
を具備し、
前記回転機構において、前記シール部材の内周面に設けられた樹脂被膜と前記回転軸に設けられた樹脂被膜には、それぞれ摩擦摩耗する際の摩耗速度が異なる材料が用いられ、前記樹脂被膜どうしの間のクリアランスは、前記筒状部材に前記回転軸を挿通または圧入した後に前記回転軸を所定時間回転させて前記樹脂被膜どうしを相互に摩擦摩耗させることによって調整されていることを特徴とする液処理装置、が提供される。
【0011】
このような液処理装置によれば、気密性に優れる回転軸シール機構が採用されているために、回転軸周りに形成される間隙部と被回転体が設けられる処理室との間の遮断性が高められ、回転軸周りの間隙部に処理液が浸入し難くなる。また、回転軸周りの間隙部への処理液の浸入を防止するためにこの間隙部にガスを供給する場合には、シール部材が配置されている部分において回転軸周りの間隙が極めて狭いためにこの部分をガスが通り抜け難くなり、これによって供給ガス量を低減し、液処理装置のランニングコストを低減することができる。さらに、回転軸周りの間隙部からチャンバへ流出するガス量が少なくなるために、チャンバへ排出されるパーティクルの量が減少し、これによって処理液の汚染が低減される。さらにこれに伴ってチャンバから排気されるガス量が減少するために、処理液の乾燥が抑制される。これにより処理液のライフタイムを長くすることができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しながら本発明の実施の形態について詳細に説明する。ここでは、本発明を半導体ウエハ(ウエハ)の洗浄処理をバッチ式に行う洗浄処理装置に適用した場合について説明することとする。
【0013】
図1および図2は、ウエハWの洗浄処理を行う洗浄処理装置1の断面図である。洗浄処理装置1は、ウエハWを保持するロータ34と、ロータ34を収容可能なチャンバ30とを有しており、チャンバ30は外側チャンバ71aと、外側チャンバ71aに対して進入退出可能であり、外側チャンバ71a内に進入した状態でその内部にロータ34を収容可能な内側チャンバ71bと、を有している。
【0014】
外側チャンバ71aは、例えば洗浄処理装置1のハウジングフレーム等の図示しない固定部材によって固定されている。図1は内側チャンバ71bを外側チャンバ71aの外側に退避させた状態(以下、図1に示す内側チャンバ71bの位置を「退避位置」という)を示しており、図2は内側チャンバ71bが外側チャンバ71aに収容された状態(以下、図2に示す内側チャンバ71bの位置を「処理位置」という)を示している。内側チャンバ71bの退避位置には、円板92aと、リング部材92bと、筒状体91が設けられている。円板92aには純水吐出ノズル73aと排気管73cが設けられ、筒状体91にはガス供給ノズル93と排気管94が設けられている。
【0015】
ロータ34は、円板35a・35b間に係止部材82と開閉可能なホルダー83が設けられた構造を有している。また、係止部材82とホルダー83にはウエハWを保持するための図示しない溝が一定のピッチで形成されている。ロータ34は、例えば、25枚のウエハWを略垂直姿勢で水平方向(X方向)に1列に保持することができる。
【0016】
ロータ34にはスピンドル(回転軸)50が連結されており、スピンドル50の他端には回転モータ31が取り付けられている。また、スピンドル50の周りには軸受け部材11と、筒状部材12と、外側チャンバ71aの端面を閉塞する蓋体33と、が設けられている。これらロータ34、スピンドル50、回転モータ31、軸受け部材11、筒状部材12と、蓋体33は、スライド機構(図示せず)によって一体的にX方向にスライドできるようになっている。ロータ34は、このスライド機構を動作させることによって、外側チャンバ71aに対して進入/退出することができる。なお、図1および図2においては、軸受け部材11、筒状部材12、蓋体33とスピンドル50の構造は簡略的に示されている。スピンドル50周りの構造については後に詳細に説明する。
【0017】
外側チャンバ71aは、筒状体61aと、筒状体61aの端面に設けられたリング部材62a・62bと、リング部材62aの内周面に設けられたシール機構63aと、リング部材62bの内周面に設けられたシール機構63bと、ロータ34に保持されたウエハWに純水等を供給する洗浄液吐出ノズル53とを有している。洗浄液吐出ノズル53は筒状体61aに取り付けられており、外側チャンバ71aの下側には洗浄液の排出と外側チャンバ71a内のガスの排気を行う排気/排液管65aが設けられている。
【0018】
内側チャンバ71bは、筒状体61bと、筒状体61bの端面に設けられたリング部材66a・66bと、リング部材66a・66bの内周面にそれぞれ2箇所ずつ設けられたシール機構67a・67bと、ロータ34に保持されたウエハWに薬液等を供給する洗浄液吐出ノズル55とを有している。洗浄液吐出ノズル55は筒状体61bに取り付けられており、内側チャンバ71bの下側には、洗浄液の排出と内側チャンバ71b内のガスの排気を行う排気/排液管65bが設けられている。
【0019】
リング部材62aの内孔62cを通して、ロータ34は進入/退出する。ロータ34が外側チャンバ71aに進入した状態では、内孔62cが蓋体33によって閉塞され、蓋体33の外周面と内孔62cとの隙間がシール機構63aによりシールされる。なお、リング部材62aの下部には、ロータ34を外側チャンバ71aから退出させた際に、蓋体33やシール機構63a等に付着していた純水等が床面(図示せず)にこぼれ落ちることを防止するために、液受け62eが設けられている。
【0020】
内側チャンバ71bが退避位置にある図1に示した状態では、リング部材66aとリング部材62bとの間がシール機構63bによってシールされ、リング部材66aと円板92aとの間がシール機構67aによってシールされる。また、ロータ進入退出口62cは蓋体33とシール機構63aによって閉塞されている。こうして、内側チャンバ71bが退避位置にあるときには、処理室51が形成される。
【0021】
筒状体61aは、リング部材62b側の外径がリング部材62a側の外径よりも長く、リング部材62a側の下端よりもリング部材62b側の下端が低く位置するように勾配を設けて配置されている。こうして処理室51が形成された状態において、洗浄液吐出ノズル53からウエハWに向けて吐出された純水等は、自然に筒状体61aの底面をリング部材62a側からリング部材62b側に流れて、排気/排液管65aを通して外部に排出される。
【0022】
内側チャンバ71bが処理位置にある図2に示した状態では、リング部材66aの内周面と蓋体33との間がシール機構67aによってシールされ、リング部材66bとリング部材62bとの間がシール機構63bによってシールされる。さらにリング部材66bと円板92aとの間がシール機構67bによってシールされる。こうして、内側チャンバ71bが処理位置にあるときには、処理室52が形成される。
【0023】
内側チャンバ71bを構成する筒状体61bは円筒状に形成されているが、その下部には洗浄液を外部に排出することを容易ならしめるために、筒状体61bから突出し、所定の勾配を有する溝部69が形成されている。例えば、内側チャンバ71bによって処理室52が形成された状態において、洗浄液吐出ノズル55からウエハWに向かって吐出された薬液等は、溝部69を流れて排気/排液管65bを通して外部に排出される。
【0024】
洗浄液吐出ノズル53には、純水やIPA、窒素(N2)ガス等の乾燥ガスが供給されて、ロータ34に保持されたウエハWに向かってこれら純水等を吐出できるようになっている。同様に、洗浄液吐出ノズル55には、各種薬液や純水、IPA等の洗浄液が供給されて、ロータ34に保持されたウエハWに向かってこれら薬液等を吐出できるようになっている。図1および図2においては、洗浄液吐出ノズル53・55はそれぞれ1本のみ示されているが、これらは複数本設けることも可能である。また、洗浄液吐出ノズル53・55はそれぞれ、必ずしも筒状体61a・61bの真上に設けなければならないものでもない。
【0025】
円板92aに設けられた純水吐出ノズル73aからは、ロータ34を構成する円板35aを洗浄、乾燥するための純水や乾燥ガスが吐出可能となっている。また、蓋体33には純水吐出ノズル73bが設けられており、円板35bを洗浄、乾燥することができるようになっている。なお、処理室51・52を所定のガス雰囲気とするために、純水吐出ノズル73aからは、例えば、酸素(O2)ガスや二酸化炭素(CO2)ガス等を吐出させることも可能である。円板92aに設けられた排気管73cは、処理室51・52の排気を行う。
【0026】
内側チャンバ71bが退避位置にある状態では、リング部材66aと円板92aとの間がシールされ、かつ、リング部材66bとリング部材92bとの間がシール機構67bによってシールされることによって、筒状体91の外周と筒状体61bの内周との間に狭い環状空間72が形成される。この環状空間72に洗浄液吐出ノズル55から純水を吐出して筒状体61bの内面をリンス処理し、その後に筒状体91に複数設けられたガス供給ノズル93と洗浄液吐出ノズル55から窒素ガス(N2)等の乾燥ガスを噴射する。これにより内側チャンバ71bの内周面の洗浄を行うことができる。なお、ガス供給ノズル93から純水を吐出するようにしてもよい。
【0027】
次にスピンドル50周りの構造について詳細に説明する。図3はスピンドル50と筒状部材12のX軸に垂直な面を簡易的に示す断面図であり、図4は図3中のAA断面図であり、図5は図3中のBB断面図であり、図6は図3中のCC断面図である。さらに図7は図4の断面図の一部を拡大して示した断面図である。なお、図4〜図6では円板35b以外のロータ34の構成部材の図示を省略している。
【0028】
ロータ34を構成する円板35bは、スピンドル50の先端部に固定されている。軸受け部材11とスピンドル50との間には、スピンドル50の回転を妨げないようにベアリング49が配置されている。筒状部材12は軸受け部材11にネジ止めして固定されており、筒状部材12に蓋体33が取り付けられている。
【0029】
筒状部材12の内周には、X方向に所定の間隔で3箇所にスピンドル50に表面(外周面)に近接するリング状のシール部材13a・13b・13cが筒状部材12と一体的に形成されている。後述するように、筒状部材12の内周にはシール部材13a〜13cをも覆うように樹脂被膜15が形成されている。この樹脂被膜15を筒状部材12の内周に均一に形成するために、シール部材13a〜13cはエッジの立っていない曲面で構成されている。
【0030】
ベアリング49とシール部材13aとの間に形成される空間は第1排気室14aとなっており、この第1排気室14aは軸受け部材11に設けられた第1孔部29a(図4)と連通し、第1孔部29aは排気装置17と接続されている。また、シール部材13aとシール部材13bとの間に形成される空間は第2排気室14bとなっており、この第2排気室14bは、軸受け部材11と筒状部材12を貫通して設けられた第2孔部29b(図6)と連通し、第2孔部29bは排気装置18と接続されている。さらに、シール部材13bとシール部材13cとの間に形成される空間はガス供給室14cとなっており、このガス供給室14cは軸受け部材11と筒状部材12を貫通して設けられた第3孔部29c(図5)と連通し、第3孔部29cは窒素ガス供給装置19と接続されている。
【0031】
窒素ガス供給装置19は、洗浄処理装置1の動作制御を行う制御部24との間で制御信号の送受信を行い、ガス供給室14cへの窒素供給量を制御する。同様に、排気装置17・18は制御部24との間で制御信号の送受信を行い、第1排気室14aおよび第2排気室14bからの排気量を制御する。なお、排気装置17と排気装置18は1台で兼用することができる。
【0032】
筒状部材12とシール部材13a〜13cはステンレス等の金属材料で構成される。図7に示されるように、筒状部材12の内周面にはシール部材13a〜13cを覆うように樹脂被膜15(図4〜図6には示さず)が形成されている。この樹脂被膜15としては、ウエハWの処理に供される薬液に対する耐薬品性を重視する場合にはPTFE(テトラフルオロエチレン樹脂)が好適に用いられ、耐熱性を重視する場合にはPEEK(ポリエーテルエーテルケトン)が好適に用いられる。これらPTFEやPEEKの単独成分からなる膜を形成することが困難である場合には、これらPTFEやPEEKに他の樹脂を混合させてもよい。また、PTFEに代えてPCTFE(ポリクロロトリフルオロエチレン樹脂)やPP(ポリプロピレン)等を用いることもできる。
【0033】
筒状部材12と一体的に形成されたシール部材13a〜13cの内周とスピンドル50の表面との距離は約280〜320μmとなっている。これに対して、樹脂被膜15の厚さは、シール部材13a〜13cが形成されている部分においては、約270〜300μmであるが、それ以外の部分では約350〜400μmである。樹脂被膜15のうち最もスピンドル50の外周面に近接している部分、つまりシール部材13a〜13cが設けられている部分における樹脂被膜15とスピンドル50と間のクリアランス(間隙幅)は、約10〜50μmとなっている。
【0034】
第1排気室14aはシール部材13aとスピンドル50との間隙を通じて第2排気室14bと連通しており、第2排気室14bはシール部材13bとスピンドル50との間隙を通じてガス供給室14cと連通している。これにより、ガス供給室14cに供給される窒素ガスの一部は、第2排気室14bから第2孔部29bを通して排気される。また、ガス供給室14cから第2排気室14bに導かれた窒素ガスの一部はさらに第1排気室14aに導かれた後に第1孔部29aを通して排気される。
【0035】
ガス供給室14cは、シール部材13cとスピンドル50の間の間隙を通じてチャンバ30の内部と連通している。ここで「チャンバ30の内部」は、ロータ34が外側チャンバ71a内に進入し、内側チャンバ71bが退避位置にある状態では外側チャンバ71aの内部(すなわち、処理室51)を指し、ロータ34が外側チャンバ71a内に進入して内側チャンバ71bが処理位置にある状態では内側チャンバ71bの内部(すなわち、処理室52)を指す。
【0036】
ガス供給室14cには、ガス供給室14cの圧力を測定する圧力センサ23aが取り付けられており、この圧力センサ23aは洗浄処理装置1の動作制御を行う制御部24に接続されている。この圧力センサ23aが一定値を示すように、窒素ガス供給装置19はガス供給室14cへの窒素ガス供給量を制御し、排気装置17・18は第1排気室14aと第2排気室14bからの窒素ガスの排気量を制御する。なお、圧力センサ23aは、第1排気室14aまたは第2排気室14bに設けてもよい。
【0037】
チャンバ30の内部の雰囲気がスピンドル50と筒状部材12との間に形成される間隙部(以下、「スピンドル50周りの間隙部」という)に浸入することを防止するために、スピンドル50周りの間隙部の圧力は、チャンバ30の内部よりも陽圧となるように設定する。具体的には、ガス供給室14cをチャンバ30の内部よりも陽圧に保持して、シール部材13cとスピンドル50の間の間隙を通じてチャンバ30の内部へ窒素ガスを吹き出させる。このためにチャンバ30内にチャンバ圧力センサ23bが設けられており、制御部24は、圧力センサ23aとチャンバ圧力センサ23bのそれぞれの計測値を比較して、窒素ガス供給装置19と排気装置17・18の動作制御を行う。
【0038】
なお、圧力センサ23aの計測値が予め定められた一定値を下回ったときに、警報が発令されるようにしてもよい。また、圧力センサ23aの計測値がチャンバ圧力センサ23bの計測値よりも小さい状態が所定時間継続した場合には、制御部24がチャンバ30における液処理を中止するようにしてもよい。
【0039】
次に上述したシール部材13a〜13cが形成されている部分における樹脂被膜15とスピンドル50との間のクリアランスの調整方法について説明する。まず、筒状部材12を作製するに際しては、スピンドル50を筒状部材12に挿通させることができなくなることを回避するために、筒状部材12の内径が最も短くなるシール部材13a〜13cの部分で、その内径がスピンドル50の外径よりもわずかに長くなるようにする。例えば、シール部材13a〜13cの内周とスピンドル50の外周面との距離を約100μmとする。次に筒状部材12の内周面に全体的に、樹脂被膜15を、例えばその厚さが約105μmとなるように形成する。
【0040】
このような寸法では、洗浄処理装置1の組立に際して筒状部材12をスピンドル50に挿通させたときに、樹脂被膜15のうちシール部材13a〜13cを覆っている部分がスピンドル50の外周面と接触する。しかし、スピンドル50の外径と樹脂被膜15の内径との差はわずかであるために、スピンドル50を筒状部材12に圧入させることができる。
【0041】
なお、スピンドル50を筒状部材12に圧入させてスピンドル50と筒状部材12をそれぞれ所定の位置に固定した場合に、スピンドル50と樹脂被膜15との間に作用する摩擦力は、スピンドル50を回転させることができる程度に小さいことが必要である。換言すれば、スピンドル50の外径と筒状部材12およびシール部材13a〜13cの内径と樹脂被膜15の厚さは、スピンドル50を筒状部材12に圧入させることができ、かつ、筒状部材12を固定した場合にスピンドル50を回転させることができるように、設定されていればよい。
【0042】
スピンドル50を筒状部材12に圧入させた状態で、スピンドル50を所定時間回転させる。スピンドル50の回転数は、最初はスピンドル50と樹脂被膜15との接触部(つまり、シール部材13a〜13cが形成されている部分)の急激な発熱を防止するために低速で回転させる。これにより、樹脂被膜15において、スピンドル50と接触している部分が摩擦摩耗する。また、樹脂被膜15が摩擦摩耗する際には、摩擦熱によって樹脂被膜15が熱膨張するため、樹脂被膜15はさらに摩耗する。
【0043】
次に、スピンドル50の回転数を実際にロータ34に保持されたウエハWの液処理を行う際の回転数と同等に設定し、回転時間を通常の液処理よりも長くする。このようにスピンドル50を回転させることによって、スピンドル50周りの部材温度が上昇する。これによる樹脂被膜15の熱膨張によって樹脂被膜15の摩擦摩耗が進み、やがて樹脂被膜15とスピンドル50とが非接触の状態となる(このように樹脂被膜15を摩擦摩耗させる処理を、以下「エージング処理」という)。
【0044】
なお、このエージング処理においては多量のパーティクルが発生するために、ロータ34にウエハWを保持させて実際にウエハWの洗浄処理が行われるのは、エージング処理の終了後である。
【0045】
エージング処理後の樹脂被膜15は、エージング処理の当初にスピンドル50と接していたシール部材13a〜13cの部分で薄くなり、その他の部分では当初の厚さが保持される。このエージング処理の後に行われるウエハWの通常の液処理においては、スピンドル50周りの温度がエージング処理時よりも高くなることはない。このため、エージング処理でスピンドル50に対して非接触の状態となった樹脂被膜15は、その後のウエハWの液処理時にスピンドル50と接触することがない。
【0046】
こうしたエージング処理によって、前述したように、シール部材13a〜13cが形成されている部分において、樹脂被膜15とスピンドル50との間のクリアランスは10〜50μmとなる。このクリアランスは、筒状部材12の温度が低い状態(例えば、洗浄処理の開始時)では広く、筒状部材12の温度が高い状態(例えば、洗浄処理中)で狭くなる。
【0047】
上述した構造を有する洗浄処理装置1によるウエハWの処理は、概略、以下のようにして行われる。最初に、ロータ34が外側チャンバ71aから退出した状態においてロータ34にウエハWが搬入される。次に、ウエハWを保持したロータ34を外側チャンバ71a内に進入させ、また内側チャンバ71bを外側チャンバ71a内に進入させて、処理室52を形成する。続いてロータ34を回転させながら、ロータ34に保持されたウエハWに洗浄液吐出ノズル55から薬液(例えば、パーティクル除去のための薬液)を吐出する。
【0048】
この薬液処理の際に、ガス供給室14cを処理室52よりも陽圧に保持して((つまり、スピンドル50周りの間隙部を処理室52よりも陽圧に保持して)、スピンドル50周りの間隙部への薬液の浸入を防止する。前述したように、シール部材13a〜13cが形成されている部分における樹脂被膜15とスピンドル50と間のクリアランスは、従来の金属製のシールリングを用いた場合のクリアランスの約100μmの半分以下である10μm〜50μmとなっているために、従来のシール方法と比較して少ない窒素ガス供給量でガス供給室14cの内部圧力を一定に保持することができる。こうして洗浄処理のランニングコストが低減される。
【0049】
また、ガス供給室14cから処理室52に吹き出す窒素ガスには、スピンドル50の回転によって生ずるパーティクルが含まれているために、ガス供給室14cに供給される窒素ガス量が低減されることによって、処理室52に吹き出される窒素ガスの量を低減することができる。これによって薬液のパーティクルによる汚染が抑制される。このようなパーティクルによる薬液の汚染が抑制されて薬液のライフタイムが延長されることによっても、洗浄処理のランニングコストが低減される。さらに処理室52に吹き出される窒素ガスの量が低減されることによって、処理室52からの排気量を低減することができる。この処理室52からの排気には薬液の蒸気や薬液に含まれる水分等が含まれているために、処理室52からの排気量が低減されることによって薬液の乾燥が防止される。こうして薬液の性能が長く維持され、洗浄品質も高く維持されるという効果も得られる。
【0050】
なお、定期的に洗浄処理装置1を分解清掃する際には、筒状部材12をスピンドル50から抜いて洗浄するが、筒状部材12とシール部材13a〜13cと樹脂被膜15とが一体的に形成された構造を有しているので、この洗浄処理は容易である。また、筒状部材12そのものを洗浄のために分解する必要もなければ組み立てる必要もないために、再び洗浄処理装置1を組み立てる際の筒状部材12の取り付けに際しては、位置調節等も容易に行うことができる。
【0051】
薬液処理が終了したら、内側チャンバ71bを退避位置へ移動させて処理室51を形成し、ロータ34を回転させながらロータ34に保持されたウエハWに洗浄液吐出ノズル53や純水吐出ノズル73a・73bから純水を吐出して、薬液を洗い流す。この水洗処理が終了したら、ロータ34を回転させてウエハWに付着した水滴を振り切る。このときにウエハWに洗浄液吐出ノズル53から窒素ガスを吹き付けることも好ましい。このような処理室51における処理が行われている間も、ガス供給室14cの内部を処理室51よりも陽圧に保持して、スピンドル50周りの間隙部への純水の浸入を防止する。なお、内側チャンバ71bは退避位置においてリンス処理される。こうした一連の洗浄処理が終了したら、ロータ34を外側チャンバ71aの外部へ退出させて、ロータ34に保持されたウエハWを、次の処理を行う装置へと搬送する。
【0052】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこのような形態に限定されるものではない。例えば、上記説明においては、エージング処理の例として、エージング処理前の状態において樹脂被膜15がスピンドル50に接する場合について取り上げたが、樹脂被膜15は、エージング処理前の状態においてはスピンドル50と接触しないが、エージング処理中にスピンドル50周りの温度上昇によって熱膨張し、スピンドル50と接触して摩擦摩耗するような厚さに設定されていてもよい。この場合にもシール部材13a〜13cが形成されている部分におけるスピンドル50と樹脂被膜15との間のクリアランスを、従来の金属製のシールリングを用いた場合よりも狭めることができる。
【0053】
また、上記説明においては、筒状部材12に樹脂被膜15を形成した場合について説明したが、図7と同様に表した図8の断面図に示すように、筒状部材12に樹脂被膜15を形成することなく、スピンドル50において筒状部材12が取り付けられる部分の外周面に樹脂被膜15aを設けることもできる。この場合にも、エージング処理によってシール部材13a〜13cが形成されている部分で樹脂被膜15aが摩擦摩耗することにより、シール部材13a〜13cと樹脂被膜15aとの間のクリアランスを狭く調整することができる。
【0054】
さらに、図7と同様に表した図9の断面図に示すように、筒状部材12に樹脂被膜15を形成し、かつ、スピンドル50において筒状部材12が取り付けられる部分の外周面に樹脂被膜15aを設けてもよい。この場合にも、エージング処理によって、シール部材13a〜13cが形成されている部分で樹脂被膜15・15aどうしが摩擦摩耗することにより、樹脂被膜15・15a間のクリアランスを狭く調整することができる。このように筒状部材12とスピンドル50の両方に樹脂被膜15・15aを設ける場合には、樹脂被膜15・15aの摩耗速度がそれぞれ異なるようにすることが好ましい。樹脂被膜15・15aの摩耗速度を変える方法としては、硬度の異なる樹脂材料を用いる方法や、樹脂組成が同等であってもその一方に研磨剤を添加する方法等が挙げられる。
【0055】
上記説明においては、樹脂被膜15を筒状部材12の内周全面に形成した場合について説明したが、図7と同様に表した図10の断面図に示すように、樹脂被膜15は少なくともシール部材13a〜13cを覆うように形成されていればよい。同様に、樹脂被膜15aをスピンドル50に形成する場合にも、樹脂被膜15aはシール部材13a〜13cに近接する部分にのみ形成されていてもよい。
【0056】
シール部材は必ずしも筒状部材12と一体とする必要はない。例えば、図7と同様に表した図11の断面図に示すように、内周面に樹脂被膜16が形成されたシール部材13a´〜13c´を、筒状部材12´に組み込むことによって、スピンドル50に対するシールを行うようにしてもよい。この場合には、筒状部材12´を複数のパーツ(図11ではパーツに分割した状態を図示せず)から構成し、これらのパーツを組み立てる際にシール部材13a´〜13c´を所定位置に固定する。
【0057】
筒状部材12に設けるシール部材は3箇所に限られない。例えば、チャンバ30の内部への窒素ガスの吹き出し量を低減する観点からは、少なくともシール部材13cが設けられていればよい。また、窒素ガスの使用量を低減する観点からは、少なくともシール部材13bとシール部材13cが設けられていればよい。これとは反対に、4箇所以上のシール部材を設けてもよい。
【0058】
上記説明においては複数のウエハWを一度に処理する洗浄処理装置について説明したが、本発明は基板等の被処理体を保持して回転させる処理を行う装置に広く適用することができる。例えば、1枚の基板を水平に保持して基板の表面の洗浄処理を行う枚葉式洗浄処理装置や、フォトリソグラフィー工程において用いられる液処理装置、例えば、露光処理後の基板の現像処理を行う現像処理装置にも、本発明を適用することができる。また、基板は半導体ウエハに限定されるものではない。被処理体が基板の場合には、その他の基板として、LCD基板等のガラス基板やセラミックス基板、金属基板を挙げることができる。
【0059】
被処理体が処理される処理室は密閉空間である必要はなく、チャンバは二重構造である必要もない。例えば、処理室は、1個のチャンバや1つの側面が開口している箱形容器によって形成されてもよく、3重構造のチャンバを用いてもよい。本発明の回転軸シール機構は、液体を取り扱う処理装置に限定して適用されるものではなく、被処理体が所定のガス雰囲気で処理されるものにも適用することができる。
【0060】
【発明の効果】
上述の通り、本発明によれば、回転軸周りの間隙部の幅、つまりクリアランスを極めて狭くすることができる。これにより回転軸周りの間隙部と被回転体が設けられる処理室との遮断性が高められる。このため、このような回転軸シール機構を備えた液処理装置では、回転軸周りへの処理液や雰囲気ガスの浸入が抑制される。また、回転軸周りの間隙部を所定の圧力に保持するためにこの間隙部にガスを供給する場合には、回転軸周りの間隙部の幅が狭いためにガスの使用量を低減することができる。これによって、液処理装置のランニングコストを低減することができる。さらに、被回転体が収容される処理室へ流出するガス量が減少するために、処理室からの排気量を低減することができ、これによって処理液の乾燥を抑制することができる。さらにまた、使用されるガス量が低減されることによって処理室内へ排出されるパーティクルの量を減少するために、処理室内で使用される処理液が汚染され難くなり、処理液のライフタイムが長くなるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】洗浄処理装置にロータを進入させた状態を示す断面図。
【図2】洗浄処理装置にロータを進入させた状態を示す別の断面図。
【図3】スピンドルと筒状部材の簡易的な断面図。
【図4】図3中のAA断面図。
【図5】図3中のBB断面図。
【図6】図3中のCC断面図。
【図7】図4、図5、図6に示すシール機構の詳細な構造を示す断面図。
【図8】シール機構の別の構造を示す断面図。
【図9】シール機構のさらに別の構造を示す断面図。
【図10】シール機構のさらに別の構造を示す断面図。
【図11】シール機構のさらに別の構造を示す断面図。
【符号の説明】
1;洗浄処理装置
11;軸受け部材
12;筒状部材
13a〜13c;シール部材
14a;第1排気室
14b;第2排気室
14c;ガス供給室
15・15a;樹脂被膜
17・18;排気装置
19;窒素ガス供給装置
23a;圧力センサ
23b;チャンバ圧力センサ
29a〜29c;第1孔部〜第3孔部
34;ロータ
50;スピンドル
71a;外側チャンバ
71b;内側チャンバ
W;半導体ウエハ
Claims (6)
- 被回転体を回転させる回転軸と、
前記回転軸の回転を妨げないように前記回転軸周りに配置された筒状部材と、
前記筒状部材の内周に配置された金属製のシール部材と、
前記シール部材の内周面および前記回転軸の外周面のうち前記筒状部材が配置される部分の少なくとも前記シール部材が位置する部分に設けられ、実質的に前記回転軸と前記シール部材との間をシールする機能を有する樹脂被膜と、
を具備し、
前記シール部材の内周面に設けられた樹脂被膜と前記回転軸に設けられた樹脂被膜にはそれぞれ摩擦摩耗する際の摩耗速度が異なる材料が用いられ、前記筒状部材に前記回転軸を挿通または圧入した後に前記回転軸を所定時間回転させて前記樹脂被膜を摩擦摩耗させることによって、前記樹脂被膜どうしの間のクリアランスが調整されていることを特徴とする回転軸シール機構。 - 前記樹脂被膜はPTFEまたはPEEKを含むことを特徴とする請求項1に記載の回転軸シール機構。
- 前記筒状部材と前記シール部材は一体であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の回転軸シール機構。
- 被回転体に保持された被処理体に所定の処理液による液処理を施す液処理装置であって、
前記被回転体を収容するチャンバと、
前記被回転体に保持された被処理体に所定の処理液を供給する処理液供給手段と、
回転モータと、前記回転モータと前記被回転体とを連結する回転軸と、前記回転軸を保持する軸受け部材と、前記回転軸の回転を妨げないように前記回転軸周りに配置された筒状部材と、前記筒状部材の内周に配置された金属製のシール部材と、前記シール部材の内周面および前記回転軸の外周面のうち前記筒状部材が配置される部分の少なくとも前記シール部材が位置する部分に設けられ、実質的に前記回転軸と前記シール部材との間をシールする機能を有する樹脂被膜と、を具備する回転機構と、
を具備し、
前記回転機構において、前記シール部材の内周面に設けられた樹脂被膜と前記回転軸に設けられた樹脂被膜には、それぞれ摩擦摩耗する際の摩耗速度が異なる材料が用いられ、前記樹脂被膜どうしの間のクリアランスは、前記筒状部材に前記回転軸を挿通または圧入した後に前記回転軸を所定時間回転させて前記樹脂被膜どうしを相互に摩擦摩耗させることによって調整されていることを特徴とする液処理装置。 - 前記樹脂被膜は、PTFEまたはPEEKを含むことを特徴とする請求項4に記載の液処理装置。
- 前記筒状部材と前記シール部材とは一体であることを特徴とする請求項4または請求項5に記載の液処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003053590A JP4275427B2 (ja) | 2003-02-28 | 2003-02-28 | 回転軸シール機構および液処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003053590A JP4275427B2 (ja) | 2003-02-28 | 2003-02-28 | 回転軸シール機構および液処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004266031A JP2004266031A (ja) | 2004-09-24 |
JP4275427B2 true JP4275427B2 (ja) | 2009-06-10 |
Family
ID=33118149
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003053590A Expired - Fee Related JP4275427B2 (ja) | 2003-02-28 | 2003-02-28 | 回転軸シール機構および液処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4275427B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6863784B2 (ja) * | 2017-03-16 | 2021-04-21 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
-
2003
- 2003-02-28 JP JP2003053590A patent/JP4275427B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004266031A (ja) | 2004-09-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4504884B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2007088398A (ja) | 洗浄装置、この洗浄装置を用いた洗浄システム、及び被洗浄基板の洗浄方法 | |
KR100241291B1 (ko) | 반도체 웨이퍼의 이면 세정장치 | |
JP3171807B2 (ja) | 洗浄装置及び洗浄方法 | |
JP5694118B2 (ja) | 液処理装置および液処理方法 | |
JP4255706B2 (ja) | 液処理装置 | |
JP2017112364A (ja) | その場洗浄能力を備えたスピンチャック | |
JP2007311446A (ja) | 洗浄装置 | |
JP7117392B2 (ja) | 基板処理装置及び基板処理装置の洗浄方法 | |
JP2004134431A (ja) | 基板処理装置およびその製造方法 | |
JP4275427B2 (ja) | 回転軸シール機構および液処理装置 | |
JP2004235559A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
WO2013054838A1 (ja) | 液処理装置および液処理方法 | |
JP5420596B2 (ja) | 液処理装置および液処理方法 | |
JP2010239013A (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
JP2002110612A (ja) | 洗浄処理方法および洗浄処理装置 | |
JP2606726B2 (ja) | 回転処理装置及び回転処理方法 | |
US20070138600A1 (en) | Device for cleaning and drying of wafers | |
JPH11207250A (ja) | 膜形成方法 | |
JP4777322B2 (ja) | 洗浄処理方法および洗浄処理装置 | |
JP2006073753A (ja) | 基板洗浄装置 | |
JP5420597B2 (ja) | 液処理装置および液処理方法 | |
JP3617712B2 (ja) | 基板回転処理装置 | |
JP3401428B2 (ja) | 処理装置 | |
JP2004111735A (ja) | 基板処理装置,処理システム及び基板処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060202 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081024 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081118 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090116 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090303 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090304 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120313 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120313 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150313 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |