JP4253306B2 - Photosensitive paste and fired product pattern formed using the same - Google Patents

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    • A47L9/0693Specially shaped nozzles, e.g. for cleaning radiators, tubes, fans or the like; Dusters

Description

本発明は、プラズマディスプレイパネル(以下、PDPと略称する)の精細な隔壁パターン、誘電体パターン、電極パターン、及びブラックマトリックスパターンを形成するのに有用で、かつ保存安定性に優れる感光性ペースト、及びそれを用いて形成した焼成物パターンに関するものである。   The present invention is a photosensitive paste that is useful for forming fine barrier rib patterns, dielectric patterns, electrode patterns, and black matrix patterns of a plasma display panel (hereinafter abbreviated as PDP) and has excellent storage stability, And a fired product pattern formed using the same.

PDPは、プラズマ放電による発光を利用して映像や情報の表示を行なう平面ディスプレイであり、パネル構造、駆動方法によってDC型とAC型に分類される。このPDPによるカラー表示の原理は、リブ(隔壁)によって離間された前面ガラス基板と背面ガラス基板に形成された対向する両電極間のセル空間(放電空間)内でプラズマ放電を生じさせ、各セル空間内に封入されているHe、Xe等のガスの放電により発生する紫外線で背面ガラス基板内面に形成された蛍光体を励起し、3原色の可視光を発生させるものである。
以下、添付図面を参照しながら簡単に説明する。
The PDP is a flat display that displays images and information using light emission by plasma discharge, and is classified into a DC type and an AC type according to a panel structure and a driving method. The principle of color display by this PDP is that plasma discharge is generated in a cell space (discharge space) between opposing electrodes formed on the front glass substrate and the back glass substrate separated by ribs (partition walls), and each cell The phosphor formed on the inner surface of the rear glass substrate is excited by ultraviolet rays generated by the discharge of a gas such as He or Xe enclosed in the space to generate visible light of the three primary colors.
Hereinafter, it will be briefly described with reference to the accompanying drawings.

図1は、フルカラー表示、3電極構造の面放電方式PDPの構造例を部分的に示している。前面ガラス基板1の下面には、放電のための透明電極3a又は3bと該透明電極のライン抵抗を下げるためのバス電極4a又は4bとからなる一対の表示電極2a、2bが所定のピッチで多数列設されている。これらの表示電極2a、2bの上には、電荷を蓄積するための透明誘電体層5(低融点ガラス)が印刷、焼成によって形成され、その上に保護層(MgO)6が蒸着されている。保護層6は、表示電極の保護、放電状態の維持等の役割を有している。一方、背面ガラス基板11の上には、放電空間を区画するストライプ状のリブ(隔壁)12と各放電空間内に配されたアドレス電極(データ電極)13が所定のピッチで多数列設されている。また、各放電空間の内面には、赤(14a)、青(14b)、緑(14c)の3色の蛍光体膜が規則的に配され、フルカラー表示においては、前記のように赤、青、緑の3原色の蛍光体膜14a、14b、14cで1つの画素が構成される。
なお、上記構造のPDPでは、一対の表示電極2aと2bの間に交流のパルス電圧を印加し、同一基板上の電極間で放電させるので、「面放電方式」と呼ばれている。
また、上記構造のPDPでは、放電により発生した紫外線が背面基板11の蛍光体膜14a、14b、14cを励起し、発生した可視光を前面基板1の透明電極3a、3bを透して見る構造となっている。
FIG. 1 partially shows an example of the structure of a surface discharge PDP having a full color display and a three-electrode structure. On the lower surface of the front glass substrate 1, a large number of a pair of display electrodes 2a and 2b, each consisting of a transparent electrode 3a or 3b for discharging and a bus electrode 4a or 4b for lowering the line resistance of the transparent electrode, at a predetermined pitch. It is lined up. On these display electrodes 2a and 2b, a transparent dielectric layer 5 (low melting point glass) for accumulating charges is formed by printing and baking, and a protective layer (MgO) 6 is deposited thereon. . The protective layer 6 has a role of protecting the display electrode, maintaining a discharge state, and the like. On the other hand, on the rear glass substrate 11, striped ribs (partitions) 12 partitioning the discharge space and a plurality of address electrodes (data electrodes) 13 arranged in each discharge space are arranged in a predetermined pitch. Yes. In addition, on the inner surface of each discharge space, phosphor films of three colors of red (14a), blue (14b), and green (14c) are regularly arranged, and in full color display, as described above, red, blue The three primary color phosphor films 14a, 14b, and 14c constitute one pixel.
In the PDP having the above structure, an alternating pulse voltage is applied between the pair of display electrodes 2a and 2b to cause discharge between the electrodes on the same substrate.
In the PDP having the above structure, ultraviolet light generated by discharge excites the phosphor films 14a, 14b, and 14c of the back substrate 11, and the generated visible light is viewed through the transparent electrodes 3a and 3b of the front substrate 1. It has become.

近年、このような構造のPDPにおいて画質向上のためパターン加工において高密度化、高精細化が要求されている。そこでフォトリソグラフィー法によるパターニングが行なわれてきた。フォトリソグラフィー法によるパターニングにおいては、一般にアルカリ現像が用いられており、そのため感光性ペーストにおいてはカルボキシル基を含有した有機高分子化合物が用いられている。
しかし、感光性ペーストを調製するため、上述のようなカルボキシル基を含有した有機高分子化合物にガラス粉末やセラミック粉末等の多価金属もしくはその酸化物を含有する粉末を加えると、このような粉末から溶出した多価イオンと有機高分子化合物のカルボキシル基がイオン架橋し、3次元的なネットワークを形成することによって増粘やゲル化が発生する。さらに樹脂の酸価や分子量が大きい場合、ゲル化するスピードは早くなる傾向にある。
In recent years, in a PDP having such a structure, higher density and higher definition are required in pattern processing in order to improve image quality. Therefore, patterning by photolithography has been performed. In patterning by a photolithography method, alkali development is generally used. Therefore, an organic polymer compound containing a carboxyl group is used in a photosensitive paste.
However, when a powder containing a polyvalent metal such as glass powder or ceramic powder or an oxide thereof is added to the organic polymer compound containing a carboxyl group as described above in order to prepare a photosensitive paste, such a powder The polyvalent ions eluted from the carboxylic acid groups of the organic polymer compound are ionically cross-linked to form a three-dimensional network, thereby causing thickening and gelation. Further, when the acid value or molecular weight of the resin is large, the gelation speed tends to increase.

そこでゲル化を防止する方法として、例えばカルボキシル基を有する化合物をゲル化抑制剤として感光性ペーストに含有させることが提案されている(特許文献1参照)。
しかしながら、この方法は、感光性ペーストがゲル化するまでの時間を若干長くするにすぎず、増粘が大きいため、感光性ペーストの実用上の困難さは実質的に解消されていないのが現状である。
Therefore, as a method for preventing gelation, for example, it has been proposed to contain a compound having a carboxyl group in a photosensitive paste as a gelation inhibitor (see Patent Document 1).
However, this method only slightly increases the time until the photosensitive paste is gelled, and since the thickening is large, the practical difficulty of the photosensitive paste has not been substantially eliminated. It is.

また、ステアリン酸アミドなどのアミド構造をもつ化合物を含有させることにより、ゲル化を抑制する方法も提案されている(特許文献2参照)。しかしながら、ステアリン酸アミドを用いた場合も、感光性ペーストの粘度の増加が大きく実用には適さないのが現状である。
特開平9−222723号公報(特許請求の範囲) 特開2001−155543号公報(特許請求の範囲)
In addition, a method of suppressing gelation by including a compound having an amide structure such as stearamide has been proposed (see Patent Document 2). However, even when stearamide is used, the increase in viscosity of the photosensitive paste is so large that it is not suitable for practical use.
JP-A-9-222723 (Claims) JP 2001-155543 A (Claims)

本発明は、このような従来技術が抱える課題を解決するためになされたものであり、その主たる目的は、プラズマディスプレイパネルの精細な隔壁パターン、誘電体パターン、電極パターン、及びブラックマトリックスパターンを形成するのに有用で、かつ増粘やゲル化を抑制して保存安定性に優れた感光性ペースト、及びそれを用いて形成した焼成物パターンを提供することにある。   The present invention has been made in order to solve such problems of the prior art, and its main purpose is to form fine barrier rib patterns, dielectric patterns, electrode patterns, and black matrix patterns of plasma display panels. Another object of the present invention is to provide a photosensitive paste that is useful for the purpose of suppressing the increase in viscosity and gelation and has excellent storage stability, and a fired product pattern formed using the same.

前記目的を達成するために、本発明の感光性ペーストの基本的な態様としては、(A)ほう酸を除く無機微粒子、(B)カルボキシル基含有樹脂、(C)光重合性モノマー、(D)光重合開始剤、(E)平均粒経(D50)20μm以下のほう酸、及び(F)疎水性溶媒を含有することを特徴としている。より好適な態様としては、上記感光性ペーストに、さらに(G)多価アルコールを含有することを特徴としている。
さらに本発明によれば、このような感光性ペーストを用いて得られる隔壁パターン、誘電体パターン、電極パターン、及びブラックマトリックスパターンなどの焼成物パターンが提供される。
In order to achieve the above object, basic aspects of the photosensitive paste of the present invention include (A) inorganic fine particles excluding boric acid, (B) a carboxyl group-containing resin, (C) a photopolymerizable monomer, (D) It contains a photopolymerization initiator, (E) boric acid having an average particle size (D 50 ) of 20 μm or less, and (F) a hydrophobic solvent. As a more preferred aspect, the photosensitive paste further comprises (G) a polyhydric alcohol.
Furthermore, according to the present invention, a fired product pattern such as a partition pattern, a dielectric pattern, an electrode pattern, and a black matrix pattern obtained by using such a photosensitive paste is provided.

本発明の感光性ペーストは、平均粒経(D50)20μm以下の微粉ほう酸を安定剤として用い、さらに水分の影響を防止する疎水性溶媒を用いることで保存安定性に優れた感光性ペーストを提供することができる。
さらに、多価アルコールを用いることで、ほう酸の酸性度が向上し、酸価や分子量の大きいカルボキシル基含有樹脂を用いた場合でも、安定性に優れた感光性ペーストを提供することができる。
このように、保存安定性に優れた感光性ペーストにすることにより、輸送・保管中のゲル化が減少し、またこの感光性ペーストにより製造されるPDPの品質向上に貢献でき、さらにPDPのコストダウンにも貢献できる。
The photosensitive paste of the present invention uses a fine powder boric acid having an average particle size (D 50 ) of 20 μm or less as a stabilizer, and further uses a hydrophobic solvent that prevents the influence of moisture, thereby providing a photosensitive paste having excellent storage stability. Can be provided.
Furthermore, by using a polyhydric alcohol, the acidity of boric acid is improved, and even when a carboxyl group-containing resin having a large acid value or molecular weight is used, a photosensitive paste having excellent stability can be provided.
Thus, by using a photosensitive paste with excellent storage stability, gelation during transportation and storage is reduced, and it is possible to contribute to improving the quality of the PDP produced by this photosensitive paste. Can contribute to down.

本発明の感光性ペーストは、(A)ほう酸を除く無機微粒子、(B)カルボキシル基含有樹脂、(C)光重合性モノマー、(D)光重合開始剤、(E)平均粒経(D50)20μm以下のほう酸、及び(F)疎水性溶媒を含有しており、安定剤として、平均粒経(D50)20μm以下のほう酸(E)を用い、さらに水分の影響を防止するために疎水性溶媒(F)を用いている点に特徴がある。
なお、平均粒経(D50)とは、粒度分布において、粒子数の積算値が粒子総数の50%となる時の粒子径を、示す値である。
The photosensitive paste of the present invention comprises (A) inorganic fine particles excluding boric acid, (B) carboxyl group-containing resin, (C) photopolymerizable monomer, (D) photopolymerization initiator, (E) average particle size (D 50 ) Containing boric acid of 20 μm or less, and (F) a hydrophobic solvent, using boric acid (E) with an average particle size (D 50 ) of 20 μm or less as a stabilizer, and further hydrophobic to prevent the influence of moisture It is characterized in that an organic solvent (F) is used.
The average particle size (D 50 ) is a value indicating the particle diameter when the integrated value of the number of particles is 50% of the total number of particles in the particle size distribution.

以下、本発明の感光性ペーストの各成分について説明する。
前記ほう酸を除く無機微粒子(A)としては、公知慣用の無機微粒子を用いることができ、特にガラス微粒子、黒色顔料、及び導電性粉末からなる群から選ばれた少なくとも1種が好適に用いることができる。
上記ガラス微粒子としては、ガラス転移点(Tg)が300〜500℃で、ガラス軟化点(Ts)が400〜600℃であるガラス、例えば酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛または酸化リチウムを主成分とするガラスが好適に使用できる。また、解像度の点からは、平均粒径10μm以下、好ましくは5μm以下のガラス粉末を用いることが好ましい。
Hereinafter, each component of the photosensitive paste of the present invention will be described.
As the inorganic fine particles (A) excluding boric acid, known and commonly used inorganic fine particles can be used, and in particular, at least one selected from the group consisting of glass fine particles, black pigments, and conductive powders is preferably used. it can.
The glass fine particles include, as a main component, glass having a glass transition point (Tg) of 300 to 500 ° C. and a glass softening point (Ts) of 400 to 600 ° C., for example, lead oxide, bismuth oxide, zinc oxide, or lithium oxide. Glass to be used can be suitably used. From the viewpoint of resolution, it is preferable to use glass powder having an average particle size of 10 μm or less, preferably 5 μm or less.

また、前記黒色顔料としては、焼成パターンに黒色が求められる場合に使用され、Co、Ni、Cu、Fe、Mn、Al、Ru、La、Sr等の1種または2種以上の金属酸化物からなる黒色顔料を添加することができる。かかる黒色顔料の平均粒径は2μm以下、好ましくは0.1〜1μmの微粒子を用いることが望ましい。この理由は、平均粒径が2μmより小さいと、少量の添加でも、密着性等を損なうことなく緻密な焼成皮膜を形成でき、充分な黒色度を得ることができるからである。一方、黒色顔料の平均粒径が2μmよりも大きくなると、焼成皮膜の緻密性が悪くなり、黒色度が低下し易い。また、0.1μmより小さくなると隠ぺい力が低下し透明感が現れることがあり、適当でない。   In addition, the black pigment is used when black is required for the firing pattern, and is made of one or more metal oxides such as Co, Ni, Cu, Fe, Mn, Al, Ru, La, and Sr. A black pigment can be added. It is desirable to use fine particles having an average particle diameter of 2 μm or less, preferably 0.1 to 1 μm. This is because if the average particle diameter is smaller than 2 μm, a dense fired film can be formed without impairing adhesion and the like even with a small amount of addition, and sufficient blackness can be obtained. On the other hand, when the average particle diameter of the black pigment is larger than 2 μm, the denseness of the fired film is deteriorated, and the blackness is easily lowered. On the other hand, if the thickness is smaller than 0.1 μm, the hiding power is lowered and a transparent feeling may appear.

このような黒色顔料は、予めスラリー化したものを用いることができる。この場合、ソルベントショックを防ぐためにペースト中に用いられる溶剤と種類を同一にしたほうが望ましい。また、スラリー中の顔料濃度は任意に選択できるが、作業性などを考慮すると50〜80%が好ましい。   As such a black pigment, a slurry previously prepared can be used. In this case, it is desirable to use the same type of solvent as that used in the paste in order to prevent solvent shock. The pigment concentration in the slurry can be arbitrarily selected, but is preferably 50 to 80% in consideration of workability and the like.

前記導電性粉末としては、銀(Ag)、金(Au)、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、スズ(Sn)、白金(Pt)、ルテニウム(Ru)などの金属粉単体とその合金の他、酸化スズ(SnO)、酸化インジウム(In)、ITO(Indium Tin Oxide)、酸化ルテニウム(RuO)などを用いることができる。これらは単独でまたは2種以上の混合粉として用いることができる。 Examples of the conductive powder include metal powders such as silver (Ag), gold (Au), nickel (Ni), copper (Cu), aluminum (Al), tin (Sn), platinum (Pt), and ruthenium (Ru). In addition to simple substances and alloys thereof, tin oxide (SnO 2 ), indium oxide (In 2 O 3 ), ITO (Indium Tin Oxide), ruthenium oxide (RuO 2 ), and the like can be used. These can be used alone or as a mixed powder of two or more.

上記導電性粉末の形状は、球状、フレーク状、デントライト状など種々のものを用いることができるが、光特性、分散性を考慮すると、球状のものを用いることが好ましい。また、平均粒径としては、ライン形状の点から10μm以下のもの、好ましくは5μm以下のものを用いることが望ましい。   Various shapes such as a spherical shape, a flake shape, and a dentlite shape can be used as the conductive powder, but it is preferable to use a spherical shape in consideration of optical characteristics and dispersibility. The average particle diameter is preferably 10 μm or less, more preferably 5 μm or less from the viewpoint of the line shape.

これら導電性粉末の配合量は、導電性粉末以外のペースト成分の合計量を100質量部とした時に、50〜2000質量部となる割合が適当である。導電性粉末の配合量が50質量部未満の場合、導体回路の線幅収縮や断線が生じやすくなり、一方、2000質量部を超えて多量に配合すると、光の透過を損ない、組成物の十分な光硬化性が得られ難くなる。さらに焼成後の皮膜の強度、基板への密着性向上のために、前記したようなガラス微粒子を金属粉100質量部当り、1〜30質量部の割合で添加することができる。   An appropriate proportion of the conductive powder is 50 to 2000 parts by mass when the total amount of paste components other than the conductive powder is 100 parts by mass. When the blending amount of the conductive powder is less than 50 parts by mass, the conductor circuit line width shrinkage or disconnection tends to occur. On the other hand, when the blending amount exceeds 2000 parts by mass, the light transmission is impaired, and the composition is sufficient. It is difficult to obtain a good photocurability. Furthermore, in order to improve the strength of the film after firing and the adhesion to the substrate, the glass fine particles as described above can be added at a ratio of 1 to 30 parts by mass per 100 parts by mass of the metal powder.

その他の無機微粒子としては、焼成物パターンに悪影響を及ぼさない範囲で、シリカ粉末、特に合成アモルファスシリカ微粉末を使用することができる。
上記合成アモルファスシリカ微粉末の具体例としては、日本アエロジル(株)製のAEROSIL(登録商標)50、130、200、200V、200CF、200FAD、300、300CF、380、OX50、TT600、MOX80、MOX170、COK84、日本シリカ工業(株)製のNipsil(登録商標)AQ、AQ−S、VN3、LP、L300、N−300A、ER−R、ER、RS−150、ES、NS、NS−T、NS−P、NS−KR、NS−K、NA、KQ、KM、DS等が挙げられ、これらを単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中でも、一次粒子径が5〜50nm、比表面積が50〜500m2/gのものが好ましい。
As other inorganic fine particles, silica powder, particularly synthetic amorphous silica fine powder, can be used as long as it does not adversely affect the fired product pattern.
Specific examples of the synthetic amorphous silica fine powder include AEROSIL (registered trademark) 50, 130, 200, 200V, 200CF, 200FAD, 300, 300CF, 380, OX50, TT600, MOX80, MOX170, manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd. NIPsil (registered trademark) AQ, AQ-S, VN3, LP, L300, N-300A, ER-R, ER, RS-150, ES, NS, NS-T, NS -P, NS-KR, NS-K, NA, KQ, KM, DS and the like can be mentioned, and these can be used alone or in combination of two or more. Among these, those having a primary particle diameter of 5 to 50 nm and a specific surface area of 50 to 500 m 2 / g are preferable.

次に、前記カルボキシル基含有樹脂(B)は、分子中に遊離カルボキシル基を有している公知慣用の樹脂が使用でき、さらに上記カルボキシル基含有樹脂(B)に、1分子中に2個以上のエチレン性不飽和結合を有するカルボキシル基含有感光性樹脂(B’)も使用可能であり、特定のものに限定されるものではないが、特に以下に列挙するような樹脂(オリゴマー及びポリマーのいずれでもよい)を好適に使用できる。   Next, as the carboxyl group-containing resin (B), a known and commonly used resin having a free carboxyl group in the molecule can be used, and two or more in one molecule in the carboxyl group-containing resin (B). A carboxyl group-containing photosensitive resin (B ′) having an ethylenically unsaturated bond can also be used, and is not limited to a specific one, but in particular, any of the resins listed below (oligomers and polymers) May be used suitably.

上記カルボキシル基含有樹脂(B)としては、
(1)不飽和カルボン酸と不飽和二重結合を有する化合物を共重合させることによって得られるカルボキシル基含有樹脂、
(2)エポキシ基と不飽和二重結合を有する化合物と不飽和二重結合を有する化合物の共重合体のエポキシ基に、1分子中に1つのカルボキシル基を有し、エチレン性不飽和結合を持たない有機酸を反応させ、生成した2級の水酸基に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂、及び
(3)水酸基含有ポリマーに多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂などが挙げられる。
As the carboxyl group-containing resin (B),
(1) a carboxyl group-containing resin obtained by copolymerizing an unsaturated carboxylic acid and a compound having an unsaturated double bond,
(2) An epoxy group of a copolymer of a compound having an epoxy group and an unsaturated double bond and a compound having an unsaturated double bond has one carboxyl group in one molecule, and has an ethylenically unsaturated bond. It is obtained by reacting a polybasic acid anhydride with a secondary hydroxyl group produced by reacting an organic acid that does not have, and (3) reacting the polybasic acid anhydride with a hydroxyl group-containing polymer. Examples include carboxyl group-containing resins.

また、カルボキシル基含有感光性樹脂(B’)としては、
(1)不飽和カルボン酸と不飽和二重結合を有する化合物の共重合体のカルボキシル基に、エチレン性不飽和基をペンダントとして部分的に付加させることによって得られるカルボキシル基含有感光性樹脂、
(2)エポキシ基と不飽和二重結合を有する化合物と不飽和二重結合を有する化合物の共重合体のエポキシ基に、不飽和カルボン酸を反応させ、生成した2級の水酸基に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂、
(3)不飽和二重結合を有する酸無水物と不飽和二重結合を有する化合物の共重合体に、水酸基と不飽和二重結合を有する化合物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂、
(4)多官能エポキシ化合物と不飽和モノカルボン酸を反応させ、生成した2級の水酸基に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂、及び
(5)水酸基含有ポリマーに多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂に、エポキシ基と不飽和二重結合を有する化合物をさらに反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂などが挙げられる。
In addition, as the carboxyl group-containing photosensitive resin (B ′),
(1) A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by partially adding an ethylenically unsaturated group as a pendant to a carboxyl group of a copolymer of a compound having an unsaturated carboxylic acid and an unsaturated double bond,
(2) An epoxy group of a copolymer of an epoxy group and a compound having an unsaturated double bond and a compound having an unsaturated double bond is reacted with an unsaturated carboxylic acid, and the resulting secondary hydroxyl group is converted to a polybasic acid. A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting an anhydride,
(3) A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting a copolymer of an acid anhydride having an unsaturated double bond and a compound having an unsaturated double bond with a compound having a hydroxyl group and an unsaturated double bond. ,
(4) a carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting a polyfunctional epoxy compound with an unsaturated monocarboxylic acid and reacting the resulting secondary hydroxyl group with a polybasic acid anhydride, and (5) a hydroxyl group-containing polymer. Examples thereof include a carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by further reacting a compound having an epoxy group and an unsaturated double bond with a carboxyl group-containing resin obtained by reacting a polybasic acid anhydride.

上記カルボキシル基含有樹脂(B)及びカルボキシル基含有感光性樹脂(B’)の重量平均分子量は、1,000〜100,000、好ましくは5,000〜70,000であり、酸価は、20〜250mgKOH/g、好ましくは50〜150mgKOH/gである。また、カルボキシル基含有感光性樹脂(B’)の場合、その二重結合当量が350〜2,000、好ましくは400〜1,500のものを好適に用いることができる。上記樹脂の分子量が1,000より低い場合、現像時の皮膜の密着性に悪影響を与え、一方、100,000よりも高い場合、現像不良を生じ易いので好ましくない。また、酸価が20mgKOH/gより低い場合、アルカリ水溶液に対する溶解性が不充分で現像不良を生じ易く、一方、250mgKOH/gより高い場合、現像時に皮膜の密着性の劣化や光硬化部(露光部)の溶解が生じるので好ましくない。さらに、カルボキシル基含有感光性樹脂の場合、感光性樹脂の二重結合当量が350よりも小さいと、焼成時に残渣が残り易くなり、一方、2,000よりも大きいと、現像時の作業余裕度が狭く、また光硬化時に高露光量を必要とするので好ましくない。   The carboxyl group-containing resin (B) and the carboxyl group-containing photosensitive resin (B ′) have a weight average molecular weight of 1,000 to 100,000, preferably 5,000 to 70,000, and an acid value of 20 It is -250 mgKOH / g, Preferably it is 50-150 mgKOH / g. In the case of the carboxyl group-containing photosensitive resin (B ′), those having a double bond equivalent of 350 to 2,000, preferably 400 to 1,500 can be suitably used. When the molecular weight of the resin is lower than 1,000, the adhesion of the film during development is adversely affected. On the other hand, when the molecular weight is higher than 100,000, development defects are liable to occur. On the other hand, when the acid value is lower than 20 mgKOH / g, the solubility in an alkaline aqueous solution is insufficient, and development failure tends to occur. On the other hand, when the acid value is higher than 250 mgKOH / g, the adhesion of the film is deteriorated during development and the photocured part (exposure) Part) is not preferable. Further, in the case of a carboxyl group-containing photosensitive resin, if the double bond equivalent of the photosensitive resin is less than 350, a residue is likely to remain at the time of baking, whereas if it is greater than 2,000, a work margin at the time of development. Is narrow, and a high exposure amount is required at the time of photocuring.

このようなカルボキシル基含有樹脂(B)及びカルボキシル基含有感光性樹脂(B’)は、単独で又は混合して用いてもよいが、いずれの場合でもこれらは合計で組成物全量の10〜80質量%の割合で配合することが好ましい。これらの樹脂の配合量が上記範囲よりも少な過ぎる場合、形成する皮膜中の上記樹脂の分布が不均一になり易く、特にカルボキシル基含有感光性樹脂の場合、充分な光硬化性及び光硬化深度が得られ難く、選択的露光、現像によるパターニングが困難となる。一方、上記範囲よりも多過ぎると、焼成時のパターンのよれや線幅収縮を生じ易くなるので好ましくない。   Such a carboxyl group-containing resin (B) and a carboxyl group-containing photosensitive resin (B ′) may be used alone or in combination, but in any case, they are 10 to 80 of the total amount of the composition. It is preferable to mix | blend in the ratio of the mass%. When the blending amount of these resins is less than the above range, the distribution of the resin in the film to be formed tends to be non-uniform, especially in the case of a carboxyl group-containing photosensitive resin, sufficient photocurability and photocuring depth. Is difficult to obtain, and patterning by selective exposure and development becomes difficult. On the other hand, if it is more than the above range, it is not preferable because the pattern during baking and the shrinkage of the line width are likely to occur.

前記光重合性モノマー(C)としては、例えば、2−ヒドロキシエチルアクリレート,2−ヒドロキシプロピルアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ポリウレタンジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキサイド変性トリアクリレート、トリメチロールプロパンプロピレンオキサイド変性トリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート及び上記アクリレートに対応する各メタクリレート類;フタル酸、アジピン酸、マレイン酸、イタコン酸、こはく酸、トリメリット酸、テレフタル酸等の多塩基酸とヒドロキシアルキルアクリレート又はヒドロキシアルキルメタクリレートとのモノ−、ジ−、トリ−又はそれ以上のポリエステルなどが挙げられるが、特定のものに限定されるものではなく、またこれらを単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの光重合性モノマー(C)の中でも、1分子中に2個以上のアクリロイル基又はメタクリロイル基を有する多官能モノマーが好ましい。   Examples of the photopolymerizable monomer (C) include 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, polyurethane diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, Pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, trimethylolpropane ethylene oxide modified triacrylate, trimethylolpropane propylene oxide modified triacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, and each methacrylate corresponding to the above acrylate; phthalate Acid, adipic acid, maleic acid, Mono-, di-, tri- or higher polyesters of polybasic acids such as conic acid, succinic acid, trimellitic acid and terephthalic acid and hydroxyalkyl acrylate or hydroxyalkyl methacrylate, etc. It is not limited and these can be used alone or in combination of two or more. Among these photopolymerizable monomers (C), polyfunctional monomers having two or more acryloyl groups or methacryloyl groups in one molecule are preferable.

このような光重合性モノマー(C)の配合量は、前記カルボキシル基含有樹脂(B)及び/又はカルボキシル基含有感光性樹脂(B’)100質量部当り、20〜100質量部が適当である。光重合性モノマー(C)の配合量が上記範囲よりも少ない場合、組成物の充分な光硬化性が得られ難くなり、一方、上記範囲を超えて多量になると、皮膜の深部に比べて表面部の光硬化が早くなるため硬化むらを生じ易くなる。   The amount of such photopolymerizable monomer (C) is suitably 20 to 100 parts by mass per 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin (B) and / or carboxyl group-containing photosensitive resin (B ′). . When the blending amount of the photopolymerizable monomer (C) is less than the above range, it is difficult to obtain sufficient photocurability of the composition. On the other hand, when the amount exceeds the above range, the surface is larger than the deep part of the film. Uneven curing is likely to occur because the photocuring of the part is accelerated.

前記光重合開始剤(D)の具体例としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のベンゾインとベンゾインアルキルエーテル類;アセトフェノン、2,2−ジメトキシー2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシー2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン等のアセトフェノン類;2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1等のアミノアセトフェノン類;2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン等のアントラキノン類;2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類;アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類;ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;又はキサントン類;(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−ペンチルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、エチル−2,4,6−トリメチルベンゾイルフェニルフォスフィネイト等のフォスフィンオキサイド類;各種パーオキサイド類などが挙げられ、これら公知慣用の光重合開始剤を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   Specific examples of the photopolymerization initiator (D) include benzoin and benzoin alkyl ethers such as benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, and benzoin isopropyl ether; acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2, Acetophenones such as 2-diethoxy-2-phenylacetophenone and 1,1-dichloroacetophenone; 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2- Aminoacetophenones such as dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1; anthraquinones such as 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone; 2 Thioxanthones such as 4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, and 2,4-diisopropylthioxanthone; Ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyldimethyl ketal; Benzophenones such as benzophenone; or xanthones; (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-pentylphosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, ethyl Phosphine oxides such as -2,4,6-trimethylbenzoylphenyl phosphinate; various peroxides and the like, and these known and commonly used photopolymerization initiators may be used alone or in combination of two or more. In combination it can be used.

また、上記のような光重合開始剤(D)は、N,N−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、N,N−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステル、ペンチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、トリエチルアミン、トリエタノールアミン等の三級アミン類のような光増感剤の1種あるいは2種以上と組み合わせて用いることができる。
これらの光重合開始剤(D)及び光増感剤の配合割合は、前記カルボキシル基含有樹脂(B)及び/又はカルボキシル基含有感光性樹脂(B’)100質量部当り、1〜30質量部が適当であり、好ましくは、5〜20質量部である。
The photopolymerization initiator (D) is composed of N, N-dimethylaminobenzoic acid ethyl ester, N, N-dimethylaminobenzoic acid isoamyl ester, pentyl-4-dimethylaminobenzoate, triethylamine, triethanolamine. It can be used in combination with one or more photosensitizers such as tertiary amines.
The blending ratio of these photopolymerization initiator (D) and photosensitizer is 1 to 30 parts by mass per 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin (B) and / or carboxyl group-containing photosensitive resin (B ′). Is suitable, and preferably 5 to 20 parts by mass.

本発明の第一の特徴である微粉ほう酸(E)は、ジェットミル、ボールミル、ロールミルなどにより微粉化した平均粒経(D50)が、20μm以下、好ましくは5μm以下のものが用いられる。このように微粉化したものは、吸湿・再凝集しやすくなるため、粉砕後は速やかに使用することが好ましい。またペースト中に含まれる樹脂や溶剤などとともに粉砕することも出来る。
このような平均粒経(D50)20μm以下のほう酸(E)の配合割合は、前記ほう酸を除く無機微粒子(A)100質量部当り、0.01〜10質量部が適当であり、好ましくは、0.1〜2質量部である。
The fine powder boric acid (E), which is the first feature of the present invention, has an average particle size (D 50 ) of 20 μm or less, preferably 5 μm or less, finely pulverized by a jet mill, ball mill, roll mill or the like. The finely powdered product is likely to absorb moisture and re-aggregate, so that it is preferably used immediately after pulverization. Moreover, it can also grind | pulverize with resin, a solvent, etc. which are contained in a paste.
The blending ratio of boric acid (E) having an average particle size (D 50 ) of 20 μm or less is suitably 0.01 to 10 parts by weight per 100 parts by weight of inorganic fine particles (A) excluding boric acid, preferably 0.1 to 2 parts by mass.

本発明の感光性ペーストは、組成物を有機溶媒で希釈することによりペースト化し、容易に塗布することが可能となる。また、乾燥によって造膜して接触露光を可能とさせるために、適宜の量の有機溶媒を配合することができる。しかし、有機溶媒に水が含まれる場合、前記ほう酸を除く無機微粒子(A)から金属イオンが溶出し、ゲル化を促進してしまう。そのため本発明の第二の特徴として、疎水性溶媒(F)を用いる点にある。
なお、本発明で言う疎水性溶媒(F)とは、水と自由に混合せず、分離してしまう溶媒であり、好ましくは25℃の水100gに対する溶解度が20g以下、より好ましくは、溶解度が10g以下の有機溶媒である。
本発明の疎水性溶媒(F)としては、例えば、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテートなどの酢酸エステル類、プロピレングリコールフェニルエーテルなどのグリコールエーテル類、メチルエチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼンなどの芳香族炭化水素類;オクタン、デカンなどの脂肪族炭化水素;石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサなどの石油系溶剤、さらに2,2,4−トリメチルー1,3−ペンタンジオールモノイソブチレートやテルピオネールなどのアルコール類が挙げられ、これらを単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
なお、上記疎水性溶媒(F)は、感光性ペーストを調整する時のみに用いて、その後、キャリアフィルムに塗布・乾燥したグリーンシートとして、供給することも可能である。
また、必要に応じて、親水性溶媒を併用することも可能であるが、その場合、全溶媒中の疎水性溶媒の量が、30質量%以上となることが好ましい。このような親水性溶媒としては、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートなどが挙げられる。
The photosensitive paste of the present invention becomes a paste by diluting the composition with an organic solvent, and can be easily applied. In addition, an appropriate amount of an organic solvent can be blended in order to form a film by drying and enable contact exposure. However, when water is contained in the organic solvent, metal ions are eluted from the inorganic fine particles (A) excluding the boric acid, and gelation is promoted. Therefore, the second feature of the present invention is that the hydrophobic solvent (F) is used.
The hydrophobic solvent (F) referred to in the present invention is a solvent that does not mix freely with water but separates, and preferably has a solubility in 100 g of water at 25 ° C. of 20 g or less, and more preferably has a solubility of 20 g or less. 10 g or less of organic solvent.
Examples of the hydrophobic solvent (F) of the present invention include acetates such as propylene glycol methyl ether acetate and dipropylene glycol methyl ether acetate, glycol ethers such as propylene glycol phenyl ether, and ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; Aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethylbenzene; aliphatic hydrocarbons such as octane and decane; petroleum solvents such as petroleum ether, petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha and solvent naphtha, and 2,2,4 -Alcohols such as trimethyl-1,3-pentanediol monoisobutyrate and terpionele are mentioned, and these can be used alone or in combination of two or more.
The hydrophobic solvent (F) can be used only when preparing a photosensitive paste, and then supplied as a green sheet applied and dried on a carrier film.
Further, if necessary, a hydrophilic solvent can be used in combination. In that case, the amount of the hydrophobic solvent in the total solvent is preferably 30% by mass or more. Examples of such hydrophilic solvents include propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether acetate, and the like.

本発明の感光性ペーストは、組成物の保存安定性を向上させるため、多価アルコール(G)を配合することができる。これら多価アルコール(G)は、前記平均粒経(D50)20μm以下のほう酸(E)の酸性度を上げる効果があり、前記カルボキシル基含有樹脂の分子量、酸価等により、ゲル化スピードが速い樹脂に用いた場合の保存安定性向上に、有効に作用する。
このような多価アルコール(G)としては、マンニトール、ソルビトール、デキストリン、フラクトースグリセリンなどが挙げられ、中でも吸湿性の低いD(−)−マンニトールが好ましい。
上記多価アルコール(G)の配合量としては、前記平均粒経(D50)20μm以下のほう酸(E)1質量部に対して0.01〜10質量部が適当であり、好ましくは、0.5〜2質量部である。
The photosensitive paste of the present invention can contain a polyhydric alcohol (G) in order to improve the storage stability of the composition. These polyhydric alcohols (G) have the effect of increasing the acidity of boric acid (E) having an average particle size (D 50 ) of 20 μm or less, and the gelation speed is increased depending on the molecular weight, acid value, etc. of the carboxyl group-containing resin. Effectively improves storage stability when used in fast resins.
Examples of such a polyhydric alcohol (G) include mannitol, sorbitol, dextrin, fructose glycerin, etc. Among them, D (−)-mannitol having a low hygroscopic property is preferable.
The blending amount of the polyhydric alcohol (G) is suitably 0.01 to 10 parts by mass with respect to 1 part by mass of boric acid (E) having an average particle size (D 50 ) of 20 μm or less, preferably 0. .5 to 2 parts by mass.

本発明の感光性ペーストは、さらに必要に応じて、シリコーン系、アクリル系等の消泡・レベリング剤、皮膜の密着性向上のためのシランカップリング剤、等の他の添加剤を配合することもできる。さらにまた、必要に応じて、公知慣用の酸化防止剤や、焼成時における基板との結合成分としての金属酸化物、ケイ素酸化物、ホウ素酸化物などの微粒子を添加することもできる。   If necessary, the photosensitive paste of the present invention may further contain other additives such as a defoaming / leveling agent such as silicone and acrylic, and a silane coupling agent for improving the adhesion of the film. You can also. Furthermore, if necessary, fine particles such as metal oxides, silicon oxides, boron oxides, and the like, which are known and commonly used antioxidants, and as binding components to the substrate during firing may be added.

以上説明したような本発明の感光性ペーストは、予めフィルム状に成膜されている場合には基板上にラミネートすればよいが、ペースト状の場合には、スクリーン印刷法、バーコーター、ブレードコーターなど適宜の塗布方法で基板、例えばPDPの前面基板となるガラス基板に塗布し、次いで指触乾燥性を得るために、熱風循環式乾燥炉や遠赤外線乾燥炉等で、例えば約60〜120℃で5〜40分程度乾燥させて有機溶剤を蒸発させ、タックフリーの塗膜を得る。その後、選択的露光、現像、焼成を行なって所定の焼成物パターンを形成する。   The photosensitive paste of the present invention as described above may be laminated on a substrate when it is previously formed into a film, but in the case of a paste, a screen printing method, a bar coater, a blade coater For example, about 60 to 120 ° C. in a hot-air circulating drying furnace or a far-infrared drying furnace in order to apply to a substrate, for example, a glass substrate serving as a front substrate of a PDP by a suitable coating method. The organic solvent is evaporated by drying for about 5 to 40 minutes to obtain a tack-free coating film. Thereafter, selective exposure, development, and firing are performed to form a predetermined fired product pattern.

上記選択的露光は、所定の露光パターンを有するネガマスクを用いた接触露光及び非接触露光が可能である。露光光源としては、ハロゲンランプ、高圧水銀灯、レーザー光、メタルハライドランプ、ブラックランプ、無電極ランプなどが使用される。露光量としては50〜1000mJ/cm程度が好ましい。 The selective exposure can be contact exposure and non-contact exposure using a negative mask having a predetermined exposure pattern. As the exposure light source, a halogen lamp, a high-pressure mercury lamp, a laser beam, a metal halide lamp, a black lamp, an electrodeless lamp, or the like is used. The exposure amount is preferably about 50 to 1000 mJ / cm 2 .

また、前記現像には、スプレー法、浸漬法等が用いられる。現像液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、珪酸ナトリウムなどの金属アルカリ水溶液や、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミンなどのアミン水溶液、特に約1.5質量%以下の濃度の希アルカリ水溶液が好適に用いられるが、組成物中のカルボキシル基含有樹脂のカルボキシル基がケン化され、未硬化部(未露光部)が除去されればよく、上記のような現像液に限定されるものではない。また、現像後に不要な現像液の除去のため、水洗や酸中和を行なうことが好ましい。   For the development, a spray method, a dipping method or the like is used. Developers include aqueous alkali metal solutions such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate and sodium silicate, and aqueous amine solutions such as monoethanolamine, diethanolamine and triethanolamine, especially about 1.5% by mass or less. A dilute alkaline aqueous solution having a concentration of 1 is preferably used, as long as the carboxyl group of the carboxyl group-containing resin in the composition is saponified and the uncured part (unexposed part) is removed. It is not limited to. Further, it is preferable to perform washing with water and acid neutralization in order to remove unnecessary developer after development.

上記現像によりパターン形成された基板は、空気中又は窒素雰囲気下、約400〜600℃で焼成することにより、所望の焼成物パターンを形成することができる。なお、この時の昇温速度は、20℃/分以下に設定することが好ましい。   The substrate patterned by the above development can be fired at about 400 to 600 ° C. in air or in a nitrogen atmosphere to form a desired fired product pattern. In addition, it is preferable to set the temperature increase rate at this time to 20 degrees C / min or less.

なお、所望の焼成物パターンの種類に応じて、無機微粒子(A)成分を適宜選定することができる。例えば、電極パターンの形成の場合には、導電性粉末が用いられるが、焼成性を向上させるために適量のガラス微粒子を併用することが好ましい。特に、黒色電極パターンを形成する場合には、さらに黒色顔料も用いられる。また、ブラックマトリックスパターンの場合には、ガラス微粒子と黒色顔料が用いられ、隔壁パターンの形成にはガラス微粒子が用いられる。   In addition, an inorganic fine particle (A) component can be suitably selected according to the kind of desired baked material pattern. For example, in the case of forming an electrode pattern, a conductive powder is used, but it is preferable to use an appropriate amount of glass fine particles in combination in order to improve the firing property. In particular, when forming a black electrode pattern, a black pigment is also used. In the case of a black matrix pattern, glass fine particles and black pigment are used, and glass fine particles are used to form the partition pattern.

以下に実施例及び比較例を示して本発明について具体的に説明するが、本発明が下記実施例に限定されるものでないことはもとよりである。なお、「部」及び「%」とあるのは、特に断りがない限り全て質量基準である。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples. “Parts” and “%” are based on mass unless otherwise specified.

〈実施例及び比較例に用いた材料〉
重量平均分子量が約10,000、酸価が60mgKOH/gのメチルメタクリレート(MMA)とメチルアクリレート(MA)からなるカルボキシル基含有樹脂(B−1)と重量平均分子量が約50,000、酸価が120mgKOH/gのMMAとMAからなるカルボキシル基含有樹脂(B−2)を用い、以下の表に示す組成比にて配合し、攪拌機により攪拌調整した。
光重合性モノマー(C)はトリメチロールプロパントリメタクリレート(TMPTMA)を使用し、光重合開始剤(D)は2−ジメチルアミノ−2−(4−メチルベンジル)−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン(イルガキュア379、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製)を用いた。
溶媒は、疎水性溶媒(F)としてジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート(DPMA、ダウケミカル社製)およびソルベッソ#200(エクソンモービル化学社製)を用い、また比較例の親水性溶媒としてトリプロピレングリコールメチルエーテル(TPM、ダウケミカル社製)を用いた。
ほう酸については、市販品(関東化学社製)の平均粒経790μmのほう酸粉末(D1)をジェットミルで粉砕を行い、平均粒経20μmのほう酸(D2)、及び平均粒経1.7μm(D3)の微粉末を得た。
なお粒経の測定方法はレーザー法で、測定装置はマスターサイザー2000(乾式)である。
さらに、ガラス粉末としては、PbO 60%、B 20%、SiO 15%、Al 5%を粉砕し、熱膨張係数α300=70×10−7/℃、ガラス転移点445℃、平均粒径1.6μmとしたものを使用した。また添加剤としてシリコンオイルKS−66(信越化学工業社製)を加えた。
<Materials used in Examples and Comparative Examples>
A carboxyl group-containing resin (B-1) composed of methyl methacrylate (MMA) and methyl acrylate (MA) having a weight average molecular weight of about 10,000 and an acid value of 60 mgKOH / g, a weight average molecular weight of about 50,000, and an acid value Was blended at a composition ratio shown in the following table using a carboxyl group-containing resin (B-2) composed of MMA and MA of 120 mgKOH / g, and stirred and adjusted with a stirrer.
The photopolymerizable monomer (C) uses trimethylolpropane trimethacrylate (TMPTMA), and the photopolymerization initiator (D) is 2-dimethylamino-2- (4-methylbenzyl) -1- (4-morpholinophenyl). ) Butanone (Irgacure 379, manufactured by Ciba Specialty Chemicals) was used.
As the solvent, dipropylene glycol methyl ether acetate (DPMA, manufactured by Dow Chemical Company) and Solvesso # 200 (ExxonMobil Chemical Company) were used as the hydrophobic solvent (F), and tripropylene glycol methyl was used as the hydrophilic solvent of the comparative example. Ether (TPM, manufactured by Dow Chemical Company) was used.
As for boric acid, a commercially available product (manufactured by Kanto Chemical Co., Inc.) boric acid powder (D1) having an average particle size of 790 μm was pulverized by a jet mill, boric acid (D2) having an average particle size of 20 μm, and an average particle size of 1.7 μm (D3). ) Was obtained.
In addition, the measuring method of a particle diameter is a laser method, and a measuring apparatus is Mastersizer 2000 (dry type).
Furthermore, as the glass powder, PbO 60%, B 2 0 3 20%, SiO 2 15%, Al 2 0 3 5% were pulverized, thermal expansion coefficient α 300 = 70 × 10 −7 / ° C., glass transition point What set it as 445 degreeC and the average particle diameter of 1.6 micrometers was used. Silicone oil KS-66 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was added as an additive.

実施例1〜6
下記表1に示す成分を、表に示す組成比にて配合し、攪拌機により攪拌後、3本ロールミルにより練肉して感光性ペーストを得た。
Examples 1-6
The components shown in Table 1 below were blended in the composition ratios shown in the table, stirred with a stirrer, and then kneaded with a three-roll mill to obtain a photosensitive paste.


比較例1〜9
下記表2に示す成分を、表に示す組成比にて配合し、攪拌機により攪拌後、3本ロールミルにより練肉して感光性ペーストを得た。





Comparative Examples 1-9
The components shown in Table 2 below were blended in the composition ratios shown in the table, stirred with a stirrer, and then kneaded with a three-roll mill to obtain a photosensitive paste.






このようにして得られた実施例例1〜6及び比較例1〜9の各ペーストについて、作成直後の粘度と25℃1週間保管後、25℃1ヶ月保管後の粘度をそれぞれ測定し、作成直後の粘度からの増加率を算出した。これらの評価結果を、下記表3に示す。   For each of the pastes of Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 9 thus obtained, the viscosity immediately after creation, the viscosity after storage for 1 week at 25 ° C., and the viscosity after storage for 1 month at 25 ° C. were measured, respectively. The rate of increase from the immediate viscosity was calculated. These evaluation results are shown in Table 3 below.

現像性:25℃1ヶ月保管後の実施例例1〜6及び比較例1〜9の各ペーストについて以下の方法で現像性を調べた。
(評価基板)この評価に使用する基板は、ITO膜付きガラス基板上に、評価用ペーストを300メッシュのポリエステルスクリーンを用いて全面に塗布し、次いで、熱風循環式乾燥炉にて90℃で20分間乾燥して指触乾燥性の良好な皮膜を形成した。その後、光源をメタルハライドランプとし、ライン幅10〜100μm、スペース幅100μmのストライプ状のネガマスクをもちいて、組成物上の積算光量が100mJ/cmとなるように露光した後、液温25℃の0.5wt%NaCO水溶液を用いて現像を30秒間行い、水洗した。
(評価方法)現像後のライン形状については、現像まで終了したパターンを顕微鏡観察し、ラインに不規則なばらつきがなく、現像残渣等がないかどうかで評価した。これらの評価結果を、下記表3に示す。
ライン形状の評価基準は以下の通りである。
○:不規則なばらつきがなく、現像残渣等がない。
△:不規則なばらつき、現像残渣等がある。
×:現像不可。





Developability: Each paste of Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 9 after storage at 25 ° C for 1 month was examined for developability by the following method.
(Evaluation Substrate) The substrate used for this evaluation was coated on the entire surface of an ITO film-coated glass substrate using a 300-mesh polyester screen, and then heated at 90 ° C. in a hot air circulating drying oven. The film was dried for 5 minutes to form a film having good dryness to the touch. Thereafter, a metal halide lamp was used as the light source, and exposure was performed using a striped negative mask having a line width of 10 to 100 μm and a space width of 100 μm so that the integrated light amount on the composition was 100 mJ / cm 2 . Development was performed for 30 seconds using a 0.5 wt% aqueous solution of Na 2 CO 3 and washed with water.
(Evaluation Method) The line shape after development was evaluated by observing the pattern that had been completed up to development under a microscope, and whether there was no irregular variation in the line and there was no development residue. These evaluation results are shown in Table 3 below.
The evaluation criteria for the line shape are as follows.
○: There is no irregular variation and there is no development residue.
Δ: Irregular variation, development residue, etc.
X: Development is impossible.





表3に示す結果から明らかなように、実施例1〜6の本発明の感光性ペーストは、比較例の感光性ペーストに比べて保存安定性に優れていることが判る。例えば、親水性溶媒のみを用いた比較例1は、25℃,1ヶ月後にはゲル化しており、ほう酸の平均粒径(D50)20μmを超えるものを使用した比較例2,3の増粘率は、実施例に比べて大きいことが判る。
また、多価アルコールを加えた実施例5は、添加していない実施例4に比べて、保存安定性が向上していることも判る。
As is clear from the results shown in Table 3, it can be seen that the photosensitive pastes of the present invention of Examples 1 to 6 are superior in storage stability as compared with the photosensitive pastes of Comparative Examples. For example, Comparative Example 1 using only a hydrophilic solvent is gelled after 25 months at 25 ° C., and thickening of Comparative Examples 2 and 3 using boric acid having an average particle size (D 50 ) exceeding 20 μm. It can be seen that the rate is large compared to the example.
Moreover, it turns out that Example 5 which added the polyhydric alcohol is improving the storage stability compared with Example 4 which is not added.

面放電方式のAC型PDPの部分分解斜視図である。It is a partial exploded perspective view of a surface discharge AC type PDP.

符号の説明Explanation of symbols

1 前面ガラス基板
2a,2b 表示電極
3,3a,3b 透明電極
4,4a,4b バス電極
5 透明誘電体層
6 保護層
10 ブラックマトリックス
11 背面ガラス基板
12 リブ
13 アドレス電極
14a,14b,14c 蛍光
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Front glass substrate 2a, 2b Display electrode 3, 3a, 3b Transparent electrode 4, 4a, 4b Bus electrode 5 Transparent dielectric layer 6 Protective layer 10 Black matrix 11 Back glass substrate 12 Rib 13 Address electrode 14a, 14b, 14c Fluorescence

Claims (4)

(A)ほう酸を除く無機微粒子、(B)カルボキシル基含有樹脂、(C)光重合性モノマー、(D)光重合開始剤、(E)平均粒経(D50)20μm以下のほう酸、及び(F)疎水性溶媒を含有することを特徴とする感光性ペースト。 (A) inorganic particles excluding boric acid, (B) a carboxyl group-containing resin, (C) photopolymerizable monomer, (D) a photopolymerization initiator, (E) The average particle size (D 50) 20 [mu] m or less of boric acid and, ( F) A photosensitive paste containing a hydrophobic solvent. さらに(G)多価アルコールを含有することを特徴とする請求項1に記載の感光性ペースト。 Furthermore, (G) polyhydric alcohol is contained, The photosensitive paste of Claim 1 characterized by the above-mentioned. 前記ほう酸を除く無機微粒子(A)が、ガラス微粒子、黒色顔料、及び導電性粉末からなる群から選ばれた少なくとも1種であることを特徴とする請求項1又は2に記載の感光性ペースト。 The photosensitive paste according to claim 1 or 2, wherein the inorganic fine particles (A) excluding boric acid are at least one selected from the group consisting of glass fine particles, black pigments, and conductive powders. 前記請求項1乃至3のいずれか一項に記載の感光性ペーストを用いて得られるパターンが、フラットパネルディスプレイの隔壁パターン、誘電体パターン、電極パターン、及びブラックマトリックスパターンからなる群から選ばれた少なくとも1種であることを特徴とする焼成物パターン。
The pattern obtained using the photosensitive paste according to any one of claims 1 to 3 is selected from the group consisting of a partition pattern, a dielectric pattern, an electrode pattern, and a black matrix pattern of a flat panel display. A fired product pattern, which is at least one kind.
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