JP4248256B2 - 固体撮像装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、それぞれが複数行に亘って配置された光電変換部を有する光電変換セルが行方向に複数配置された固体撮像装置に関し、特に光電変換セルにおける光電変換部の面積の向上及び光電変換セルのサイズの縮小を実現できる固体撮像装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
固体撮像装置としては、複数行に亘って配置された光電変換部に蓄積される電荷信号を増幅する共通アンプを有するものが知られている(特許文献1を参照)。
【0003】
以下、前述の共通アンプを有する固体撮像装置について図6を参照しながら説明する。
【0004】
図6において、201a、201b、201c及び201dは各画素の光電変換を行なうフォトダイオードよりなる光電変換部であり、206は共通アンプとなる増幅用トランジスタであり、202a、202b、202c及び202dは光電変換部201a〜201dに蓄積された電荷信号を増幅用トランジスタ206の入力部に転送する転送用トランジスタであり、203a、203b、203c及び203dは転送用トランジスタ202a〜202dに転送信号を出力する転送信号線であり、204は増幅用トランジスタ206の入力部をリセットするリセット用トランジスタである。205はリセット用トランジスタ204のゲートバイアスであり、207は増幅用トランジスタ206を選択する選択用トランジスタであって、増幅用トランジスタ206及び選択用トランジスタ207はソースフォロア回路を構成している。また、208は出力線であり、209は電源である。
【0005】
前述のように、共通アンプとなる増幅用トランジスタ206を有する光電変換セルにおいては、1つの光電変換セルを構成する4つの光電変換部201a〜201dから出力された電荷信号は増幅用トランジスタ206により増幅される。各画素は1つの光電変換部201a、201b、201c又は201dと、1つの転送用トランジスタ202a、202b、202c又は202dを含むと共に、増幅用トランジスタ206、リセット用トランジスタ204及び選択用トランジスタ207からなる共通回路の一部を含んでいる。尚、カラー信号を読み取る場合には、光電変換部201a,201dにGフィルターが配置され、光電変換部201cにBフィルターが配置され、光電変換部201bにRフィルターが配置される。
【0006】
前述の固体撮像装置においては、転送信号が転送信号線203aより転送用トランジスタ202aに印加されると、光電変換部201aに蓄積された電荷信号は、増幅用トランジスタ206のゲートに転送された後、増幅用トランジスタ206及び選択用トランジスタ207により構成されるソースフォロア回路を介して出力線208に出力される。この場合、転送信号線203a〜203dに印加する転送信号の印加タイミングをずらすことにより、光電変換部201a〜201dからの信号は、転送信号を印加するタイミングにおいて混合されることなる出力線208に出力される。
【0007】
【特許文献1】
特開2001−292453号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、光電変換セルのサイズの微細化が要求されるが、この場合でも、光電変換部201a〜201dの面積は低減しないことが好ましい。
【0009】
ところが、前記従来の固体撮像装置においては、光電変換部201a〜201d毎に転送信号線203a、203b、203c及び203dが必要である。つまり、光電変換セルが4つの光電変換部201a〜201dを有する場合には、4本の転送信号線203a〜203dが必要である。このため、転送信号線203a〜203dの面積は低減できないので、光電変換セルのサイズの微細化を図る場合には、光電変換部201a〜201dの面積を低減せざるを得ないと言う問題がある。しかしながら、前述のように光電変換部201a〜201dの面積は低減しないことが好ましい。
【0010】
前記に鑑み、本発明は、光電変換部の面積を低減することなく、光電変換セルのサイズの微細化を実現できるようにすることを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するため、本発明に係る固体撮像装置は、2行2列に配置された光電変換部を有する光電変換セルが複数配列された固体撮像装置であって、光電変換セルは、第1行第1列に位置する第1の光電変換部、第2行第1列に位置する第2の光電変換部、第1行第2列に位置する第3の光電変換部、及び第2行第2列に位置する第4の光電変換部を有し、固体撮像装置は、第1の行に位置する第1の光電変換部及び第3の光電変換部に蓄積される第1の電荷信号及び第3の電荷信号をそれぞれ増幅して第1の増幅電荷信号及び第3の増幅電荷信号として出力する第1の共通アンプと、第2の行に位置する第2の光電変換部及び第4の光電変換部に蓄積される第2の電荷信号及び第4の電荷信号をそれぞれ増幅して第2の増幅電荷信号及び第4の増幅電荷信号として出力する第2の共通アンプと、第1の電荷信号を第1の共通アンプに転送すると共に第2の電荷信号を第2の共通アンプに転送する第1の転送信号線と、第1の転送信号線と異なるタイミングで、第3の電荷信号を第1の共通アンプに転送すると共に第4の電荷信号を第2の共通アンプに転送する第2の転送信号線と、第1の共通アンプから出力される第1の増幅電荷信号及び第3の増幅電荷信号を異なるタイミングで転送する第1の共通信号出力線と、第2の共通アンプから出力される第2の増幅電荷信号及び第4の増幅電荷信号を異なるタイミングで転送する第2の共通信号出力線と、第1及び第2の2本の共通信号出力線から転送される第1〜第4の増幅電荷信号を、2行2列に配列された光電変換部の各行及び列に対応する4本の出力信号線に出力する出力変換回路とを備え、列方向に隣接する2つの光電変換セルにおいて、一方の光電変換セルにおける第1の行に位置する第1及び第3の光電変換部に蓄積される電荷信号を増幅する第1の共通アンプは、他方の光電変換セルにおける第2の行に位置する第2及び第4の光電変換部に蓄積される電荷信号を増幅する第2の共通アンプと共通になっており、出力変換回路は、列方向に隣接する2つの光電変換セル内の同じ位置にある光電変換部の第1〜第4の増幅電荷信号を、4本の出力信号線にそれぞれ変換して出力することを特徴とする。
【0012】
本発明に係る固体撮像装置によると、第1の一対の光電変換部に蓄積される第1の電荷信号及び第2の電荷信号は、第1の共通アンプにより増幅されて、第1の増幅電荷信号及び第2の増幅電荷信号として出力されると共に、第2の一対の光電変換部に蓄積される第3の電荷信号及び第4の電荷信号は、第2の共通アンプにより増幅されて、第3の増幅電荷信号及び第4の増幅電荷信号として出力される。その後、第1の増幅電荷信号及び第3の増幅電荷信号は第1の出力線から異なるタイミングで出力されると共に、第2の増幅電荷信号及び第4の増幅電荷信号は第2の出力線から異なるタイミングで出力される。
【0013】
このため、第1の共通アンプを介して出力される1つの電荷信号を転送するための転送信号線と、第2の共通アンプを介して出力される1つの電荷信号を転送するための転送信号線とを共通化することができる。すなわち、例えば第2の信号電荷を転送するための転送信号線と第3の信号電荷を転送するための転送信号線とを共通化することができる。
【0014】
従って、光電変換セルにおいて転送信号線が占める面積を低減することができるので、光電変換部の面積を低減することなく、光電変換セルのサイズを縮小することが可能になる。
【0015】
【発明の実施の形態】
(第1の実施形態)
以下、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置について、図1〜図4を参照しながら説明する。尚、第1の実施形態は、図に示すように、R、G、B、Gの4色のカラーフィルタを有する4個の固体撮像素子が4画素を単位として繰り返し配列される構造を有する固体撮像装置を対象としている。
【0016】
図1は、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置を構成する光電変換セルの回路構成を示しており、図1において、1A、1B、1C、1D、2A、2B、2C、2Dは光電変換を行なうフォトダイオードよりなる光電変換部(以下、PD部と記す。)であり、9A、9B、9CはPD部1A〜1D及び2A〜2Dにおいて得られた電荷を蓄積するフローティングディフュージョン(以下、FD部と記す)であり、3A、3B、3C、3D、4A、4B、4C、4Dは電荷をPD部1A〜1D及び2A〜2DからFD部9A、9Bに転送する転送トランジスタであり、10A、10BはFD部9A、9Bに蓄積されている電荷を掃き出すリセットトランジスタであり、11A、11BはFD部9A、9Bに蓄積されている電荷を検出する画素アンプとしての増幅トランジスタであり、15、16は増幅トランジスタ11A、11Bと共にソースフォロアアンプを構成するロードトランジスタである。
【0017】
また、図1において、31は光電変換セルに専用の電源線(以下、VDDCELと記す。)であり、32、33、34、35は転送トランジスタ3A〜3D及び4A〜4Dにパルス電圧を印加する読み出しパルス線(以下、READ)であり、36、37は、FD部9A、9Bの電荷を掃き出すリセットパルス線であり、38、39はFD部9A、9Bで検出された電圧を転送する共通信号出力線(以下、VO線と記す。)であり、40はロードトランジスタ15、16のゲートに信号を印加するロードゲート線(以下、LGCELと記す。)であり、41はロードトランジスタ15、16のソース電源線(以下、SCELと記す。)である。
【0018】
図2は、2本の共通信号出力線38,39から出力される信号を、行方向又は列方向に対応する4本の信号出力線67、68、69、70に変換して出力する回路を示している。
【0019】
図2に示すように、トランジスタ50、52はゲート信号線62の印加信号により制御され、トランジスタ51、53はゲート信号線63の印加信号により制御され、トランジスタ54、56、58、60はゲート信号線64の印加信号により制御され、トランジスタ55、57、59、61はゲート信号線65の印加信号により制御される。尚、共通信号出力線38は図1におけるVO線38と対応し、共通信号出力線39は図1におけるVO線39と対応する。
【0020】
図3及び図4は、図1に示す光電変換セルにおける駆動タイミングを示しており、この駆動タイミングは、水平ブランキング期間中における一連の動作を完結させるものである。電荷信号の検出は、1行目及び2行目のPD部に対して行なわれた後、3行目及び4行目のPD部に対して行なわれる。
【0021】
以下、図3及び図4を参照しながら駆動タイミングについて説明する。
【0022】
まず、LGCEL40に所定電圧を印加して、ロードトランジスタ15、16を定電流にしておいてから、VDDCEL31をHIGH電圧にし、その後、リセットトランジスタ10A、10Bをオンにして、FD部9A、9Bの電荷を掃き出す。この際、増幅トランジスタ11A、11Bによりリセット時の信号レベルを検出すると共に、VDDCEL31を介して初期電圧を設定する。
【0023】
次に、リセットトランジスタ10A、10Bをオフにした後、READ32にHIGH電圧を印加して、転送トランジスタ3A、3Bをオンにすることにより、PD部1Aに蓄積された電荷をFD部9Aに転送すると共にPD部1Bに蓄積された電荷をFD部9Bに転送する。この際、電荷転送の対象となるPD部が異なる行に位置しておれば、READ32にHIGH電圧を印加したときにオンになる転送トランジスタを、転送トランジスタ3A、3Bに代えて、転送トランジスタ3A、4Bにしてもよい。この場合には、PD部1A及びPD部2Bに蓄積された電荷が転送されることになる。
【0024】
次に、FD部9Aに転送された電荷を増幅トランジスタ11Aにより蓄積信号レベルを検出してVO線38に出力すると共に、FD部9Bに転送された電荷を増幅トランジスタ11Bにより蓄積信号レベルを検出してVO線39に出力する。この場合、VO線38又はVO線39への出力と初期電荷転送時の出力との差を出力信号とする。このようにすると、増幅トランジスタ11A、11Bにおける閾値ばらつき及びノイズ成分が除去された出力信号を検出することができる。
【0025】
次に、VDDCEL31をオフにすると共に、RESET36、37をオンにすると、FD部9A及びFD部9BはVDDCEL31と同様のオフレベルになるので、増幅トランジスタ11A、11Bは動作しなくなる。
【0026】
その後、垂直ライン走査回路においてRESET36、37及びREAD32、33が選択されるまで、増幅トランジスタ11A、11Bは動作しないので、非選択状態となる。次の水平ブランキング期間のときに、再びリセットトランジスタ10A、10Bをオンして、FD部9A及びFD部9Bの電荷を掃き出す。この際、増幅トランジスタ11A、11Bによりリセット時の信号レベルを検出して、VDDCEL31を介して初期電圧を設定する。
【0027】
次に、リセットトランジスタ10A、10Bをオフにした後、READ33にHIGH電圧を印加して、転送トランジスタ4A、4Bをオンにすることにより、PD部2Aに蓄積された電荷をFD部9Aに転送すると共にPD部2Bに蓄積された電荷をFD部9Bに転送する。尚、前述のように、READ32にHIGH電圧を印加して転送トランジスタ3A、3Bをオンにする代わりに、READ32にHIGH電圧を印加して転送トランジスタ3A、4Bをオンにする場合には、ここでは、PD部1Bに蓄積された電荷をFD部9Aに転送すると共にPD部2Aに蓄積された電荷をFD部9Bに転送する。
【0028】
次に、FD部9A及びFD部9Bに転送された電荷をそれぞれ増幅トランジスタ11A及び増幅トランジスタ11Bにより蓄積信号レベルを検出して、VO線38及びVO線39に出力する。
【0029】
図4は、増幅トランジスタ11A、11Bからの出力信号を複数の信号線に切り替えたり又は出力信号を入れ替えたりするためのタイミングチャートである。
【0030】
図4におけるREAD32〜READ35は、図1におけるREAD32〜READ35と対応する。尚、図4におけるREAD42〜READ45は図1においては省略されている。また、PULSE62、63は列方向画素の切り替えを行ない、PULSE64、65は行方向画素の入れ替えを行なう。
【0031】
期間T1においては、VO線38から出力されたPD部1Aの電荷信号はトランジスタ50、54を介して出力線67に導かれ、VO線39から出力されたPD部1Bの電荷信号はトランジスタ52、56を介して出力線68に導かれる。また、期間T2においては、VO線38から出力されたPD部2Aの電荷信号はトランジスタ51、58を介して出力線69に導かれ、VO線39から出力されたPD部2Bの電荷信号はトランジスタ53、60を介して出力線70に導かれる。また、期間T3においては、VO線39から出力されたPD部1Cの電荷信号はトランジスタ52、57を介して出力線67に導かれ、VO線38から出力されたPD部1Dの電荷信号はトランジスタ50、55を介して出力線68に導かれる。また、期間T4においては、VO線39から出力されたPD部2Cの電荷信号はトランジスタ53、61を介して出力線69に導かれ、VO線38から出力されたPD部2Dの電荷信号はトランジスタ51、59を介して出力線70に導かれる。
【0032】
図1に示すPD部1A〜1D及び2A〜2Dのうち、行方向の2画素(2個のPD部)及び列方向の2画素(2個のPD部)を1つのグループに設定すると、異なるグループにおいて同じ位置関係にある、PD部1A及びPD部1Cの出力信号、PD部1B及びPD部1Dの出力信号、PD部2A及びPD部2Cの出力信号、PD部2C及びPD部2Dの出力信号はそれぞれ同じ出力線67、68、69、70から出力される。
【0033】
【発明の効果】
本発明に係る固体撮像装置によると、第1の共通アンプを介して出力される電荷信号を転送するための1つの転送信号線と、第2の共通アンプを介して出力される電荷信号を転送するための1つの転送信号線とを共通化できるので、光電変換部の面積を低減することなく、光電変換セルのサイズを縮小することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置の光電変換セルの回路図である。
【図2】 本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置における出力変換回路を示す図である。
【図3】 本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置の光電変換セルの駆動タイミングを示す図である。
【図4】 本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置の光電変換セルの駆動タイミングを示す図である。
【図5】 本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置の色フィルタの配列を示す図である。
【図6】 従来の固体撮像装置の光電変換セルの回路図である。
【符号の説明】
1A、1B、1C、1D、1E、1F 光電変換部
2A、2B、2C、2D、2E、2F 光電変換部
3A、3B、3C、3D、3E 転送トランジスタ
4A、4B、4C、4D、4E 転送トランジスタ
9A、9B、9C、9D フローティングディフュージョン
10A、10B、10C リセットトランジスタ
11A、11B、11C 増幅トランジスタ
15 ロードトランジスタ
16 ロードトランジスタ
31 電源線
32、33、34、35 読み出しパルス線
36、37 リセットパルス線
38、39 共通信号出力線
40 ロードゲート線
41 ソース電源線
50、51、52、53、54、55、56、57、58、59、60、61 トランジスタ
62、63、64、65 ゲート信号線
67、68、69、70 信号出力線

Claims (2)

  1. 2行2列に配置された光電変換部を有する光電変換セルが複数配列された固体撮像装置であって、
    前記光電変換セルは、第1行第1列に位置する第1の光電変換部、第2行第1列に位置する第2の光電変換部、第1行第2列に位置する第3の光電変換部、及び第2行第2列に位置する第4の光電変換部を有し、
    前記固体撮像装置は、
    第1の行に位置する前記第1の光電変換部及び前記第3の光電変換部に蓄積される第1の電荷信号及び第3の電荷信号をそれぞれ増幅して第1の増幅電荷信号及び第3の増幅電荷信号として出力する第1の共通アンプと、
    第2の行に位置する前記第2の光電変換部及び前記第4の光電変換部に蓄積される第2の電荷信号及び第4の電荷信号をそれぞれ増幅して第2の増幅電荷信号及び第4の増幅電荷信号として出力する第2の共通アンプと、
    前記第1の電荷信号を前記第1の共通アンプに転送させると共に前記第2の電荷信号を前記第2の共通アンプに転送させるための、第1の読み出しパルスを転送する第1の転送信号線と、
    前記第1の読み出しパルスと異なるタイミングで、前記第3の電荷信号を前記第1の共通アンプに転送させると共に前記第4の電荷信号を前記第2の共通アンプに転送させるための、第2の読み出しパルスを転送するする第2の転送信号線と、
    前記第1の共通アンプから出力される前記第1の増幅電荷信号及び前記第3の増幅電荷信号を異なるタイミングで転送する第1の共通信号出力線と、
    前記第2の共通アンプから出力される前記第2の増幅電荷信号及び前記第4の増幅電荷信号を異なるタイミングで転送する第2の共通信号出力線と、
    前記第1及び第2の2本の共通信号出力線から転送される前記第1〜第4の増幅電荷信号を、前記2行2列に配列された光電変換部の各行及び列に対応する第1〜第4の出力信号線に出力する出力変換回路と
    を備え、
    列方向に隣接する2つの前記光電変換セルにおいて、一方の光電変換セルにおける第1の行に位置する前記第1及び第3の光電変換部に蓄積される電荷信号を増幅する前記第1の共通アンプは、他方の光電変換セルにおける第2の行に位置する前記第2及び第4の光電変換部に蓄積される電荷信号を増幅する前記第2の共通アンプと共通になっており、前記出力変換回路は、列方向に隣接する2つの前記光電変換セル内の同じ位置にある光電変換部の前記第1〜第4の増幅電荷信号を、前記第1〜第4の出力信号線にそれぞれ変換して出力することを特徴とする、固体撮像装置。
  2. 前記出力変換回路は、
    前記第1の共通出力線に接続された第1のトランジスタ及び第2のトランジスタ、並びに前記第2の共通出力線に接続された第3のトランジスタ及び第4のトランジスタと、
    前記第1のトランジスタに接続された第5のトランジスタ及び第6のトランジスタ、前記第3のトランジスタに接続された第7のトランジスタ及び第8のトランジスタ、前記第2のトランジスタに接続された第9のトランジスタ及び第10のトランジスタ、並びに前記第4のトランジスタに接続された第11のトランジスタ及び第12のトランジスタと、
    前記第1のトランジスタ及び前記第3のトランジスタに接続された第1のゲート信号線、並びに前記第2のトランジスタ及び前記第4のトランジスタに接続された第2のゲート信号線と、
    前記第5のトランジスタ、前記第7のトランジスタ、前記第9のトランジスタ及び前記第11のトランジスタに接続された第3のゲート信号線、並びに前記第6のトランジスタ、前記第8のトランジスタ、前記第10のトランジスタ及び前記第12のトランジスタに接続された第4のゲート信号線と
    を備え、
    前記第1の信号出力線は、前記第5のトランジスタ及び第8のトランジスタに接続され、
    前記第2の信号出力線は、前記第6のトランジスタ及び第7のトランジスタに接続され、
    前記第3の信号出力線は、前記第9のトランジスタ及び第12のトランジスタに接続され、
    前記第4の信号出力線は、前記第10のトランジスタ及び第11のトランジスタに接続されており、
    前記第1及び第2の共通信号出力線から転送される前記第1〜第4の増幅電荷信号を、前記第1及び第2のゲート信号線の印加信号により列方向に対して切り替えを行ない、前記第3及び第4のゲート信号線の印加信号により行方向に対して入れ替えを行なうことで、前記第1〜第4の信号出力線にそれぞれ出力することを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。
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