JP4245827B2 - Cr含有窒化チタン膜 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、耐摩耗性に優れ、且つ摩擦係数の低いCr含有窒化チタン膜に係り、特に蒸気タービン、ガスタービン等の高温で運転される回転機械に用いられる軸受又はシールなどの摺動部材に好適なCr含有窒化チタン膜に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
金属材料から構成される軸受又はシール部材の耐摩耗性又は耐食性を高めるために、その表面にセラミックスコーティングを施すことが広く行われている。セラミックスコーティングに使用されている材質としては、窒化チタン(TiN)、炭化チタン(TiC)、窒化クロム(CrN)、窒化ボロン(BN)およびダイヤモンド状カーボン(DLC)などが挙げられる。これらの中でも、TiN,CrNは既に広く工業化され、硬質膜として金型、切削工具等に応用されている。
【0003】
このような硬質膜を形成する方法としては、従来から、PVD法又はCVD法に代表されるイオンプレーティング法、スパッター蒸着法、プラズマCVD法及びイオン注入法などの表面改質技術が検討されている。特に、真空蒸着法にイオン注入技術を併用したダイナミックミキシング(DM)法は、基材との密着性に優れると同時に、低温での物質合成が可能な膜形成技術として注目されている。
【0004】
セラミックスコーティングの材料のうちで広く実用化されているものの一つである窒化チタン(TiN)は、侵入型化合物を形成する代表的物質であり、面心立方晶の結晶構造であることが知られている。TiNは、Tiの格子に窒素が侵入固溶体として入り、NaCl型結晶構造となる。TiNxの組成領域は、0.8<x<1.16と広くとることができ、この組成領域内でxを変化させた場合、TiNの格子定数が変化することが知られている。TiN膜は、耐摩耗性及び耐食性に優れていることから、一部の軸受又はシール部材などにも使用されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、蒸気タービン及びガスタービンなどの高温で運転される回転機械において、回転機械の高温化に伴い、耐摩耗性、耐高温腐食性及び高摺動性に優れた硬質膜の開発が望まれている。Ti膜をこのような用途に適用することが考えられているが、高温大気又は高温水蒸気中にTiN膜を暴露すると、TiN自体の耐高温腐食性が充分でなく、耐久性に問題があることが、これまでの実験から分かってきている。したがって、現在のTiN膜では、このような用途において充分な摺動特性を発揮することができなかった。
【0006】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたもので、耐摩耗性に優れ且つ低い摩擦係数で摺動性に優れ、耐高温腐食性を向上させることができるCr含有窒化チタン膜を提供することを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明の第1の態様は、Ti及びCrを主成分とする窒化物であって、その結晶粒子が面心立方晶構造で、その結晶方位が(200)面に高配向していることを特徴とするCr含有窒化チタン膜に関する。
【0008】
本発明者らは、窒化チタン膜の耐高温腐食性及び耐酸化性を改善することを目的に、Ti及びN以外の各種元素を含有した窒化物薄膜を得ること、及びそのような窒化物薄膜の形成技術の開発を進めてきた。即ち、窒化チタン薄膜本来の高摺動特性(耐摩耗性、低摩擦係数)を損なわずに、その耐高温腐食性を向上させることを念頭に、Ti及びN以外の各種元素を添加した窒化物薄膜の形成技術に関する研究を行った。その結果、窒化チタンを主成分として、更にCrを含有する窒化物において、その結晶構造が面心立方晶(fcc)で、結晶粒子の結晶方位が(200)面に高配向している場合に、良好な摩擦摩耗特性を示すことを見出した。この場合、得られる薄膜のビッカース硬さは2500以上である。
【0009】
また、本発明の第2の態様は、Crを含有する窒化チタンが下記の化学組成であることを特徴とするCr含有窒化チタン膜に関する。
化学組成:Ti(100-x)Crx窒化物
ここで、30at%<x≦60at%
不純物:酸素及び炭素
(酸素又は炭素の含有量は数at%程度)
本発明の第1の態様及び第2の態様におけるCr含有窒化チタン膜は、ダイナミックミキシング(DM)法を用い、金属元素であるTi及び添加元素を真空蒸着させながら窒素をイオン注入することによって形成するのが良い。この方法によれば、基材との密着性の高い成膜ができると共に、低温での物質合成が可能である。基材としては、熱膨張係数が11×10-6以下であるSUS420J2鋼又はSUS630鋼などのステンレス鋼又はINCOLOY909合金などのNi基合金又はハステロイ合金を用いることが、密着性を維持する上で好ましい。
【0010】
イオンビームの加速電圧は40kV以下であることが好ましい。40kV以上であると、イオンビームの加速装置が大掛かりになり、処理コストが高くなったり、放射線の対策が必要となったりする。また、イオンビームの投与エネルギーが1kV以下では、基材との密着力が不足し、高温摺動部材に適した硬質膜が得られない。
【0011】
X線回折法(XRD)の測定結果から、窒化物薄膜の結晶粒子の大きさは数nmから100nmであることが望ましいことが推定された。形成する硬質膜の膜厚は、処理コスト及び膜残留応力などの種々の要因を考慮して、数十μm以下が好適であるが、その用途によって種々の厚さとすることができる。
【0012】
添加元素(Cr)の比率は、DM法において、Ti及び添加元素(Cr)の蒸発速度をそれぞれ制御することによって行うことができる。TiNは、Tiの格子に窒素が侵入固溶体として入り、面心立方晶の結晶構造となる。DM法において、窒素イオンビームの照射条件、例えば、イオンの加速電圧、電流密度、投与エネルギー(W/cm2)及び照射角度などの条件を制御することによって結晶粒子の結晶方位を(200)面に配向させることが可能である。そして、Crの含有量が増すほど、TiN(200)面に高配向する。
【0013】
本発明の第3の態様は、本発明の第1の態様及び第2の態様のCr含有窒化チタン膜の製造方法において、Cr及びTiを同時に基材上に真空蒸着すると共に、窒素を主体とするイオンビームを照射することにより、Cr含有窒化チタンを形成することを特徴とするCr含有窒化チタン膜の製造方法に関する。
【0014】
本発明の第4の態様は、可動部材と静止部材との組合わせからなり、該可動部材又は静止部材のいずれか一方が金属からなり、他方がカーボンを含む材料からなる摺動部材において、前記金属からなる可動部材又は静止部材の摺動面に本発明の第1の態様又は第2の態様のCr含有窒化チタン膜を形成したことを特徴とする摺動部材に関する。
【0015】
以下、図面を参照しながら、本発明の具体的形態について説明する。以下の説明は、本発明の一つの具体的形態を説明するものであり、本発明はこれによって限定されるものではない。
【0016】
【発明の実施の形態】
図1は、ダイナミックミキシング(DM)装置の構成を示す概略図である。ダイナミックミキシングは、気密な成膜室11内に、基材Wを下面に保持する銅製のホルダ12と、ホルダの下方に配置されたフィラメント13a、14aを有する蒸発源13、14と、基材Wに対して斜め下方からイオンを入射可能なイオン源15を備えている。銅製ホルダ12は、基材Wを面内均一に成膜するために回転軸16により回転するように構成されており、また、イオンビーム照射による基材Wの温度上昇を防ぐために、回転軸16を介して水冷されている。
【0017】
図1に示す装置によって基板材料の硬質膜被覆処理を行った。基板材料としては、SUS420J2鋼(ステンレス鋼)及びINCOLOY909合金(Ni基合金)を用いた。それぞれの基材の化学組成及び熱処理条件を、表1及び表2に示す。形成された各種硬質材の特性評価には長さ30mm×幅20mm×厚さ1mmの試験片を用い、高温大気及び高温蒸気中における摩擦摩耗試験にはリング形状の試験片(回転リング:外径35mm、内径15mm、厚さ7mm;固定リング:外径35mm、内径23.5mm、厚さ10mm)を用いた。各基材を、表面粗さRaが0.05μm以内となるまでラッピング仕上げをし、アセトンにて超音波洗浄を行った後、図1のDM装置のホルダ12に取り付けた。
【0018】
【表1】
【0019】
【表2】
【0020】
まず、成膜室11の内部を、到達圧力が5×10-5Pa以下になるまで真空排気し、加速電圧10kV、イオン電流密度2.0A/m2、照射角度45°、照射時間300秒(s)で窒素イオンビームを照射して、基材表面のスパッタークリーニングを行った。次に、窒素イオンビーム源15において電流密度を制御しながら窒素ビームを照射しつつ、蒸気源13、14からTi及び添加元素(Cr)を蒸発させ、それぞれの蒸発速度を制御しながら下表3に示す成膜条件で成膜を行った。Ti及びCrの蒸着速度は、水晶振動子式膜厚計でモニターした。実験では、窒素イオンの注入量(イオン電流密度:2.0A/m2)を一定として、Ti及びCrの蒸発速度を変えることによって、Ti−Cr−N系の硬質膜を、膜厚が約4μmになるまで成膜した。
【0021】
【表3】
【0022】
形成された硬質膜の組成は、X線光電子分光法(XPS)で調べた。分析条件を下表4に示す。硬質膜の結晶配向性、格子面面間隔、格子定数をX線回折法(CuKα線を用いたθ−2θ法)で調べた。また、結晶面の同定は、JCPDSPDFカードと照合して行った。
【0023】
【表4】
【0024】
膜厚は、膜の断面を走査型電子顕微鏡(SEM)観察によって測定した。膜の硬さ測定には、マイクロビッカース硬度計を用いた。荷重は、5〜25gで測定した。
【0025】
ダイナミックミキシング(DM)法で作製したTiN(参考例)、Ti−Al−N系(参考例)及びTi−Cr−N系(本発明)のそれぞれの硬質膜の組成、結晶構造、結晶配向性及びビッカース硬さを調べた結果を表5に示す。表中の組成分析は、アルゴンイオンによってスパッタクリーニングした後、XPSによって行った。TiCrN(1)、TiCrN(2)及びTiCrN(3)のX線回折パターンを図2に示す。TiCrN(1)、TiCrN(2)及びTiCrN(3)では、TiN膜と同じ面心立方晶(fcc)の結晶構造で、TiN(111)及びTiN(200)に回折したピークが認められる。Crの含有量が増すほど、TiN(200)面に高配向し、この回折ピークが広がる傾向にある。TiCrN(3)は、TiCrN(1)及びTiCrN(2)に比較して、ビッカース硬さが最も硬く、3300である。TiAlN(1)、TiAlN(2)及びTiAlN(3)では、TiN膜と同じ面心立方晶(fcc)の結晶構造で、TiN(111)に高配向したピークが確認された(図示せず)。TiAlN(3)は、ビッカース硬さが最も硬く、3500である。
【0026】
【表5】
【0027】
図3は、高温蒸気暴露試験装置の概略構造を示す図である。高温蒸気暴露試験装置は、トラップ17、試験片Wを保持するステンレス製の密閉容器からなるケース18、ケース18を所定温度に維持する電気炉からなるオーブン炉19、オーブン炉19に水蒸気を供給する水蒸気発生装置20から構成されている。各種硬質被覆が形成されたSUS420J2鋼の耐高温腐食性を調べるために、オーブン炉19によって温度を一定に保持できるケース18内に試験片Wをセットし、ケース18に水蒸気発生装置20から蒸気を連続供給した。高温蒸気暴露試験条件を下表6に示す。試験温度を450℃に保持し、試験時間を50時間(hr)、300時間(hr)及び1000時間(hr)と変えることにより、蒸気暴露後に形成される酸化物層の厚さに及ぼす時間の影響を調べた。高温蒸気暴露試験後の暴露面の腐食状況を、光学顕微鏡及び走査型電子顕微鏡(SEM)で観察した。
【0028】
【表6】
【0029】
高温蒸気暴露試験後に、暴露面を光学顕微鏡及び走査型電子顕微鏡で観察したところ、腐食面は平滑であり、被覆材の割れ及び剥離は観察されなかった。
高温蒸気暴露試験後の硬質膜に、Arイオンビームによるスパッタリングを一定時間行って減厚し、X線光電子分光法(XPS)によって表面の組成分析及び状態分析を行った。
【0030】
高温蒸気(試験温度450℃)暴露試験後に生成した酸化物層の厚さに及ぼすCr添加量の影響を調べた結果を図4に示す。図4において、横軸はCr添加量(%)を示し、縦軸は生成した酸化物層の厚さ(nm)を示す。図中の酸化物層の厚さは、深さ方向にXPSによる元素分析を行い、酸素の最大濃度が半分になる深さとして求めた。図4より、従来のTiN膜と比べて、本発明に係るTiCrN膜は、高温蒸気暴露試験後に生成した酸化物層の厚さが薄く、したがって高温蒸気に対する耐腐食性に優れていることが分かる。
【0031】
高温蒸気暴露試験後におけるDM−TiN及びTiCrN(3)硬質膜に生成した腐食層の深さ方向XPS元素分析の結果を図5に示す。図5(a)はDM−TiNの結果を示し、図5(b)はDM−TiCrN(3)の結果を示す。図5(a)及び(b)において、横軸はスパッタ深さ(nm)を示し、縦軸は原子濃度(%)を示す。DM−TiN(従来例)と比較すると、本発明に係るTiCrN(3)では、酸化物層の厚さが薄くなっていることが分かる。TiCrN(3)の場合、最表層はCr及び酸素のみで、Ti2pに由来するスペクトルがなく、Cr酸化物が生成したものと考えられる。
【0032】
高温蒸気に対する暴露試験後のTiCrN(3)被覆材に生成した酸化物層のCr2p及びTi2pのスペクトルをそれぞれ図6及び図7に示す。図6(a)において、横軸はスパッタ深さ(nm)を示し、縦軸は原子濃度(%)を示す。図6(b)は、図6(a)のA点、B点及びC点におけるスペクトルを示す。同様に、図7(a)において、横軸はスパッタ深さ(nm)を示し、縦軸は原子濃度(%)を示し、図7(b)は、図7(a)のA点、B点及びC点におけるスペクトルを示す。最表層から20nm付近(A点)におけるCr2pのスペクトルから、576.3eV及び578.1〜579.8eV(Cr2O3に相当するエネルギー)にピークが認められ(図6(b)−A)、最表層にはCr2O3が存在すると考えられる。最表層から90nm付近(B点)におけるCr2pスペクトルから、576.3eV(Cr2O3に相当するエネルギー)にピークが認められ、574.6eV(CrNに相当するエネルギー)に肩が認められることから(図6(b)−B)、Cr2O3及び一部CrNが存在すると推定される。また、Ti2pスペクトルにおいては、454.8eV(TiNに相当するエネルギー)から高エネルギー側にピークがシフトしているが(図7(b)−B)、これはTiNとTiO2が混在しているためであると考えられる。以上の結果から、Crを添加することで、Crの酸化物が最表層に形成されて、TiNの耐酸化性が改善されたものと考えられる。
【0033】
摩擦摩耗試験は、高温大気及び高温蒸気の2つの雰囲気で行い、基板材料に各種硬質膜を形成したものと高温用カーボンリングのリング形状の試験片どうしを、一定のすべり速度、押し付け面圧のもとで互いに摺動することによって行った。図8は、大気摩耗試験装置を示す概略図である。高温大気摩耗試験装置は、硬質被覆材からなる回転リング31を保持する回転リング用ホルダ32と、高温用カーボンからなる固定リング34を保持する固定リング用ホルダ35とを備えている。回転リング用ホルダ32はモータ(図示せず)に連結されて回転可能になっており、固定リング用ホルダ35には荷重が負荷されるようになっている。固定リング用ホルダ35に隣接して試験片温度測定用熱電対38が設けられ、回転リング用ホルダ32に隣接して雰囲気温度測定用熱電対39が設けられている。高温大気における摺動試験条件を表7に示す。また、高温蒸気摩耗試験装置は、図8に示す装置において、回転リング31及び固定リング34の摺動面を囲むように高温蒸気が供給できるようになっている。この装置を用い、雰囲気を大気中から蒸気中に変えた他は表7に示す摺動条件で、高温蒸気摩擦摩耗試験を行った。試験片の摩擦力は、トルクメータ(図示せず)で測定した。摩擦係数μは、摺動面が荷重Wを均一に支えるものとして、摩擦力によるトルクTから次式(1)によって算出した。
【0034】
【式1】
【0035】
ここで、Sは摺動面積;r1,r2はそれぞれ摺動部の外半径、内半径;Tはトルク;Wは押し付け荷重を表す。また、摺動試験後、摺動表面の損傷状況を光学顕微鏡、触針式表面粗さ計で観察、測定した。
【0036】
【表7】
【0037】
次に、大気中における摩擦摩耗特性試験の結果を示す。
DM−TiN、DM−TiAlN(3)及びDM−TiCrN(3)で被覆したSUS420J2鋼と高温用カーボンを組合せて、室温及び450℃における摩擦摩耗特性を調べた結果を図9に示す。図9から明らかなように、Crを含有したTiNは、概ね摩擦摩耗特性が良好であることが分かる。特に、DM−TiCrN(3)は、摩擦係数が0.1以下で、室温及び450℃の摺動試験でも殆ど摩耗した形跡が認められず、カーボンに対する攻撃性が小さく、最も優れた摩擦摩耗特性を示した。
【0038】
450℃の高温大気中におけるTiN被覆SUS420J2鋼及びDM−TiCrN(3)被覆SUS420J2鋼の摩擦特性を、それぞれ図10及び図11に示す。TiN被覆材では、走行距離1700m付近から摩擦係数が変動することが認められる(図10)。これに対してDM−TiCrN(3)被覆材は、他の硬質材と比較して、摩擦係数が最も小さく(μ=0.03〜0.08)、良好な摩擦特性を示した(図11)。
【0039】
450℃の高温大気摺動試験後におけるTiCrN(3)被覆SUS420J2鋼の摺動面をSEM観察したところ、TiCrN(3)被覆層の剥離及び割れ等の損傷がなく、良好な摺動面であることが観察された。TiCrN(3)摺動面を深さ方向にXPS分析した結果を図12に示す。摺動面の表層(厚さ0〜150nm)において、酸素、炭素及びリンが確認された。TiCrN(3)被覆材に生成したTi及びCrの酸化物表層に相手材のカーボン(構成元素:炭素、リン)が移着したものと考えられる。
【0040】
DM−TiN、DM−TiAlN(3)及びDM−TiCrN(3)を被覆したSUS420J2鋼と高温用カーボンを組合せて、室温及び450℃の高温蒸気中における摩擦摩耗特性を調べた結果を図13に示す。図13から明らかなように、450℃の高温蒸気中においては、良好な摩擦摩耗特性を示した。特に、DM−TiCrN(3)被覆材では、開発目標である摩擦係数<0.1、膜の損傷深さ<0.5μm、及びカーボンの摩耗量<5×10-3mm3を全てクリアーしており、優れた摩擦摩耗特性を示した。
【0041】
450℃の高温蒸気中におけるTiN被覆SUS420J2鋼及びDM−TiCrN(3)被覆SUS420J2鋼の摩擦特性を、それぞれ図14及び図15に示す。TiN被覆材では、走行距離800m付近から摩擦係数が0.1以下となり、安定した摩擦特性を示した(図14)。また、DM−TiCrN(3)被覆材は、走行距離1000m付近から摩擦係数が0.1以下となり、良好な摩擦特性を示した(図15)。
【0042】
450℃の高温蒸気摺動試験後におけるTiCrN(3)被覆SUS420J2鋼の摺動面の深さ方向XPS元素分析した結果を図16に示す。摺動面の表層(厚さ0〜100nm)において、酸素、炭素及びリンが確認された。高温大気中での摩擦摩耗試験の結果と同様に、TiCrN(3)被覆材に生成したTi及びCrの酸化物表層に相手材のカーボン(構成元素:炭素、リン)が移着したものと考えられる。
【0043】
以上の実験を総括すると、次のように整理することができる。
1.Cr含有窒化チタンの窒素量について
Cr含有窒化チタンの結晶構造、結晶配向性及びビッカース硬さなどの性質は、窒素量に大きく依存する。本発明者らは、チタン及びクロム蒸発速度、窒素イオン注入条件、成膜中の圧力を制御することで、Cr含有窒化チタンの窒素量を検討してきた。
【0044】
本発明では、窒素量が35〜40at%であるとき、Cr含有窒化チタンが面心立方晶の結晶構造で、結晶粒子が(200)面に優先配向した。この場合のビッカース硬さは2500以上であった。窒素量は、本発明で提示した範囲に限定されるものではなく、Cr含有窒化チタンが面心立方晶の結晶構造で、結晶粒子が(200)面に高配向し、ビッカース硬さが2500以上であればよいと考えられる。このことを考慮すると、窒素量が20at%以上、50%以下であることが好ましい。
【0045】
本発明のTi−Cr−N系の結晶構造、結晶配向性及びビッカース硬さは表5に示した。本発明のTiCrN(1)、TiCrN(2)及びTiCrN(3)のX線回折パターンは図2に示した。TiCrN(1)、TiCrN(2)及びTiCrN(3)では、TiN膜と同じ面心立方晶で、TiN(200)面に高配向したもので、Crの含有量が増すほど、TiN(200)に優先配向し、この回折ピークが広がる傾向にある。
【0046】
2.(200)面と摩擦摩耗特性との関係について
摺動材料では、以下の摩擦摩耗特性が要求されている。
(1)摩擦係数が0.15以下。
(2)相手材のカーボン摩耗量が10×10-3mm3以下。
【0047】
従来のCr含有窒化チタンは、(111)面に優先配向したものであり、実用に耐える充分な摩擦摩耗特性が得られなかった。本発明では、I(200)/I(111)強度比と摩擦摩耗特性との関連を調べ、I(200)/I(111)強度比が1.2以上の場合、実用に十分耐える摩擦摩耗特性であることを明らかにした。ここでは、(200)面に優先配向したCr含有窒化チタン膜が優れた摩擦摩耗特性を示したが、その摩擦摩耗機構についてはまだ解明されていない。
【0048】
従来のTiN、本発明のTiCrN(1)、TiCrN(2)及びTiCrN(3)で被覆したSUS420J2鋼とカーボンを組合せて、450℃の高温蒸気中における摩擦係数及びカーボン摩耗量を図17に示す。
【0049】
XRDのI(200)/I(111)強度比が大きくなると共に、摩擦係数及び相手材のカーボン摩耗量が小さくなる傾向が示される。
3.Cr含有量と摩擦摩耗特性との関係について
摺動材料では、以下の摩擦摩耗特性が要求されている。
(1)摩擦係数が0.15以下。
(2)硬質膜の損傷深さが2.0μm以下。
(3)相手材のカーボン摩耗量が10×10-3mm3以下。
【0050】
CrとTiとの合計量を基準とするCr含有率が15at%であるCr含有窒化チタン膜(TiCrN(1))では、硬質膜の損傷深さが約1.6μm以上となってしまった。このことより、本発明者らは、CrとTiとの合計量を基準とするCr含有率が30at%を越えたTiCrN(2)及びTiCrN(3)の場合、摩擦係数、膜の損傷深さ及びカーボン摩耗量が充分小さく、特に好ましい摺動材料であることを明らかにした。したがって、本発明に係るCr含有窒化チタン膜においては、CrとTiとの合計量を基準とするCr含有率は30at%〜44at%であることが特に好ましい。しかしながら、この範囲に限定されるものではなく、Cr含有窒化チタンが面心立方晶の結晶構造で、結晶粒子が(200)面に高配向し、ビッカース硬さが2500以上であればよいと考えられる。このことを考慮すると、本発明に係るCr含有窒化チタン膜において、CrとTiとの合計量を基準とするCr含有率は、30at%より大きく、60at%以下であることが好ましく、50at%以下であることが更に好ましい。したがって、本発明のCr含有窒化チタン膜は、Ti (1−x) Cr x N(式中、0.3< x ≦0.6(原子濃度))と表すことができる。
【0051】
従来のTiN、本発明のTiCrN(1)、TiCrN(2)及びTiCrN(3)で被覆したSUS420J2鋼とカーボンを組合せて、室温、250℃及び450℃の高温蒸気中における摩擦摩耗特性を調べた結果を図18に示す。
【0052】
次に、本発明を蒸気タービン用のメイティングリングへ適用した具体的事例を説明する。図19は、蒸気タービンの非接触端面シールの構成例を示す図である。図19において、シールハウジング51に収容された回転軸52には、軸スリーブ53が設けられている。軸スリーブ53は、キー54を介して、回転環55(メイティングリング)を保持している。各回転環55に対向して、固定環56が設けられている。回転環55の基材として、ステンレス鋼(SUS420J2)を用い、その摺動面に、本発明の高温摺動部材用硬質膜をダイナミックミキシング法で形成する。また、図示は省略するが、回転環55の摺動面には、高圧側Hから低圧側Lに向けて溝が形成されている。
【0053】
各固定環56は、ピン57を介して、シールリングリテーナ58に接続されており、シールリングリテーナ58とシールハウジング51との間には、スプリング59が介装されている。そして、各固定環56は、スプリング59及びシールリングリテーナ58を介して、回転環55に押し付けられている。なお、60はロックプレート、61はシエアリングキーである。
【0054】
上記の構成の非接触端面シールにおいて、回転軸52が回転することにより、回転環55と固定環56とが相対運動し、これにより、回転環55に形成した溝が高圧側Hの流体を巻き込んで、密封面に流体膜を形成する。この流体膜により、密封面が非接触状態となり、回転環55と固定環56との間の密封面間にわずかな隙間が形成される。
【0055】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、窒化チタン薄膜本来の高摺動特性(耐摩耗性、低摩擦係数)を損なわずに、その耐高温腐食性を向上させた、Cr含有窒化チタン膜を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 ダイナミックミキシング(DM)装置の構成を示す概念図である。
【図2】 TiCrN(1)、TiCrN(2)及びTiCrN(3)のX線回折パターンを示す図である。
【図3】 高温蒸気暴露試験装置の構造を示す概略図である。
【図4】 高温蒸気(試験温度450℃)への暴露試験後に生成した酸化物層の厚さに及ぼすCr添加量の影響を調べた結果を示す図である。
【図5】 高温蒸気暴露試験後におけるDM−TiN及びDM−TiCrN(3)に生成した腐食層の深さ方向XPS元素分析の結果を示す図である。図5(a)はDM−TiNの結果を示し、図5(b)はDM−TiCrN(3)の結果を示す。
【図6】 高温蒸気への暴露試験後のTiCrN(3)被覆材に生成した酸化物層のCr2pのスペクトルを示す図である。図6(a)において、横軸はスパッタ深さ(nm)を示し、縦軸は原子濃度(%)を示す。図6(b)は、図6(a)のA点、B点及びC点におけるスペクトルを示す。
【図7】 高温蒸気への暴露試験後のTiCrN(3)被覆材に生成した酸化物層のTi2pのスペクトルを示す図である。図7(a)において、横軸はスパッタ深さ(nm)を示し、縦軸は原子濃度(%)を示す。図7(b)は、図7(a)のA点、B点及びC点におけるスペクトルを示す。
【図8】 、高温大気摩耗試験装置を示す概略図である。
【図9】 DM−TiN、DM−TiAlN(3)及びDM−TiCrN(3)被覆SUS420J2鋼と高温用カーボンとを組合わせて、室温及び450℃における摩擦特性を調べた結果を示す図である。
【図10】 450℃の高温大気中におけるTiN被覆SUS420J2鋼の摩擦特性を示す図である。
【図11】 450℃の高温大気中におけるDM−TiCrN(3)被覆SUS420J2鋼の摩擦特性を示す図である。
【図12】 TiCrN(3)摺動面を深さ方向にXPS分析した結果を示す図である。
【図13】 DM−TiN、DM−TiAlN(3)及びDM−TiCrN(3)被覆SUS420J2鋼と高温用カーボンとを組合わせて、室温及び450℃の高温蒸気中における摩擦摩耗特性を調べた結果を示す図である。
【図14】 450℃の高温蒸気中におけるTiN被覆SUS420J2鋼の摩擦特性を示す図である。
【図15】 450℃の高温蒸気中におけるDM−TiCrN(3)被覆SUS420J2鋼の摩擦特性を示す図である。
【図16】 450℃の高温大気摺動試験後におけるTiCrN(3)被覆SUS420J2鋼の摺動面を深さ方向XPS元素分析した結果を示す図である。
【図17】 従来のTiN、本発明のTiCrN(1)、TiCrN(2)及びTiCrN(3)被覆SUS420J2鋼とカーボンとを組合わせて、450℃の高温蒸気中における摩擦係数及びカーボン摩耗量を調べた結果を示す図である。
【図18】 従来のTiN、本発明のTiCrN(1)、TiCrN(2)及びTiCrN(3)被覆SUS420J2鋼とカーボンとを組合わせて、室温、250℃及び450℃の高温蒸気中における摩擦摩耗特性を調べた結果を示す図である。
【図19】 蒸気タービンの非接触端面シールの構成例を示す図である。
【符号の説明】
11:成膜室; 12:ホルダ; 13,14:蒸発源; 13a,14a:フィラメント; 15:イオン源; 16:回転軸; 17:トラップ; 18:ケース; 19:オーブン炉; 20:水蒸気発生装置; W:基板;
31:回転リング; 32:回転リング用ホルダ;34:固定リング; 35:固定リング用ホルダ; 38:試験片温度測定用熱電対;39:雰囲気温度測定用熱電対;
51:シールハウジング; 52:回転軸; 53:軸スリーブ; 54:キー; 55:回転環; 56:固定環; 57:ピン; 58:シールリングリテーナ; 59:スプリング; 60:ロックプレート; 61:シエアリングキー。
Claims (8)
- Cr及びTiを同時に基材上に真空蒸着すると共に、窒素を主体とするイオンビームを照射することにより形成したCr含有窒化チタン膜であって、
結晶粒子が面心立方晶構造で、結晶方位が(200)面に配向しており、
Ti (1-x) Cr x N(式中、0.3< x ≦0.6(原子濃度))で表され且つ窒素量がTiとCrとNとの合計量を基準として20at%以上50at%以下である、
Cr含有窒化チタン膜。 - 前記式中、0.3< x ≦0.44(原子濃度)である、請求項1に記載のCr含有窒化チタン膜。
- ビッカース硬さが2500以上である、請求項1又は2に記載のCr含有窒化チタン膜。
- Cr及びTiを同時に基材上に真空蒸着すると共に、窒素を主体とするイオンビームを照射して、結晶粒子の結晶方位を(200)面に配向させ、Ti (1-x) Cr x N(式中、0.3< x ≦0.6(原子濃度))で表され且つ窒素量がTiとCrとNとの合計量を基準として20at%以上50at%以下であるCr含有窒化チタン膜を形成させる、方法。
- 金属基材の表面上に、請求項1〜3のいずれかに記載のCr含有窒化チタン膜が形成されていることを特徴とする耐摩耗性金属材料。
- 可動部材と静止部材との組合わせからなり、該可動部材又は静止部材のいずれか一方が金属からなり、他方がカーボンを含む材料からなる摺動部材において、前記金属からなる可動部材又は静止部材の摺動面に請求項1〜3のいずれかに記載のCr含有窒化チタン膜を形成したことを特徴とする摺動部材。
- 前記可動部材が蒸気タービンの非接触端面シールを構成する回転環であり、前記静止部材が蒸気タービンの非接触端面シールを構成する固定環である、請求項6に記載の摺動部材。
- 回転環又は固定環の摺動面に請求項1〜3のいずれかに記載のCr含有窒化チタン膜を形成したことを特徴とする非接触端面シールを具備する蒸気タービン。
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